清水浩貴 Shimizu Hiroki

… 別表記

清水浩喜シミズヒロキ

研究者番号	50323043
その他のID
外部サイト
所属 (現在)	2025年度: 九州工業大学, 大学院工学研究院, 准教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2021年度 – 2024年度: 九州工業大学, 大学院工学研究院, 准教授 2017年度 – 2019年度: 九州工業大学, 大学院工学研究院, 准教授 2015年度: 九州工業大学, 大学院工学研究院, 准教授 2012年度 – 2014年度: 九州工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 2010年度 – 2012年度: 九州工業大学, 大学院・工学研究院, 准教授 … もっと見る 2007年度 – 2008年度: 九州工業大学, 工学部, 准教授 2005年度 – 2006年度: 九州工業大学, 工学部, 助教授 2000年度 – 2004年度: 東北大学, 大学院・工学研究科, 助手隠す
審査区分/研究分野	研究代表者生産工学・加工学 / 小区分18020:加工学および生産工学関連研究代表者以外機械工作・生産工学 / 生産工学・加工学 / 知能機械学・機械システム / 航空宇宙工学 / 知能機械学・機械システム
キーワード	研究代表者 MEMS / 多点法 / 走査形状測定 / 真直度測定 / 平面度測定 / 機械加工面 / 多点法形状計測 / 運動誤差計測 / 加工計測 / 精密位置決め … もっと見る / 結晶異方性エッチング / 単結晶シリコン / スクイーズ効果 / 直動ステージ / ソフトウェアデータム / 平面計測 / 誤差分離 / 機上計測 / カンチレバー式変位計 / MEMS変位計 / 平面形状測定 / 形状計測 / オンマシン測定 / 運動誤差測定 / 真直度 / 平面度 / 形状測定 / 法線角誤差 / 金型 / 光学素子 / 角度センサ / レーザーオートコリメーション / 精密形状測定 … もっと見る研究代表者以外 accuracy / angle grid / sensor / 高速工具サーボ / 角度格子 / センサ / 角度情報 / 多自由度 / 位置姿勢検出 / 角度センサ / fast tool servo / Force sensor / Stiffness / measurement force / Three-dimensional / Micro-structured surface / Nanofabrication / Nanometrology / 力センサ / 誤差 / 剛性 / 測定力 / 3次元 / 微細形状 / ナノ加工 / ナノ計測 / closed-loop control / slope / multi-degee-of-freedom / surface motor / position measurement / 制御 / エンコーダ / 他自由度 / 高精度化 / クローズドループ制御 / サーフェスモータ / high-accuracy / optical sensor / profile / calibration / slope sensor / flatness / silicon wafer / metrology / 4分割PD / オートコリメーション / 感度 / 角度プローブ / 測定時間 / 高精度 / 光センサ / 形状 / 校正 / 平坦度 / シリコンウエハ / 測定 / self-calibration / scanning laser beam / angle information / multi degrees of freedom / position and attitude detection / 自律校正 / 精度 / 光走査 / 電熱加速型推進機 / ロケット推進機 / 電熱推進機 / ジメチルエーテル / ロケット / 航空宇宙工学 / 三次元形状 / AFM / アライメント / 光プローブ / 工具 / マイクロ / 計測 / 3次元形状 / エッジ / ピコメートル / ナノメートル / 変調 / 変位センサ / PZT / ナノチューブ / インデンテーション / マルチビーム / バルーン型プローブ / フォトダイオード / 硬さセンサ / マイクロセンサ / 生体内異物 / 触診 / 癌隠す

単結晶シリコンの多条微細V溝構造をかみ合わせた直動ステージ研究代表者
- 研究代表者
  
  清水浩貴
- 研究期間 (年度)
  2024 – 2026
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  九州工業大学
機上測定用3×3センサアレイの開発と冗長データを活用する平面形状測定法の提案研究代表者
- 研究代表者
  
  清水浩貴
- 研究期間 (年度)
  2021 – 2024
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  九州工業大学
機械加工面用オンマシンナノプロファイラデバイスの開発研究代表者
- 研究代表者
  
  清水浩貴
- 研究期間 (年度)
  2017 – 2019
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  九州工業大学
機械平面形状計測のための多点変位同時測定デバイスの開発研究代表者
- 研究代表者
  
  清水浩貴
- 研究期間 (年度)
  2013 – 2015
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  九州工業大学
ジメチルエーテルをプロペラントとするアークジェット推進機とそのデュアルモード化
- 研究代表者
  
  橘武史
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2012
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  航空宇宙工学
- 研究機関
  九州工業大学
運動誤差測定用3点法マイクロプローブユニットの開発と新調整アルゴリズムの実証研究代表者
- 研究代表者
  
  清水浩貴
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2012
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  九州工業大学
次世代マイクロダイヤモンドツールの3Dナノメートルエッジ形状の高速高精度計測
- 研究代表者
  
  高偉
- 研究期間 (年度)
  2006 – 2008
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東北大学
ナノチューブを用いた次世代3次元ピコインデンターチップに関する研究
- 研究代表者
  
  高偉
- 研究期間 (年度)
  2004 – 2005
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  知能機械学・機械システム
- 研究機関
  東北大学
法線方向照射型レーザーオートコリメーション法による複雑曲面形状測定装置の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  清水浩貴
- 研究期間 (年度)
  2004 – 2005
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  九州工業大学
   東北大学
形状測定機能を持つナノ加工プローブによる大面積3次元微細計測基準面の高精度創成
- 研究代表者
  
  高偉
- 研究期間 (年度)
  2003 – 2004
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東北大学
マイクロ角度センサアレイを用いた微小癌触診用小型硬さ分布測定プローブの開発
- 研究代表者
  
  高偉
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2003
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  知能機械学・機械システム
- 研究機関
  東北大学
次世代3軸精密ステージ用のサーフェスエンコーダの開発
- 研究代表者
  
  清野慧
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2006
- 研究種目
  
  基盤研究(S)
- 研究分野
  
  知能機械学・機械システム
- 研究機関
  東北大学
次世代400mmシリコンウエハ平坦度の自律的超精密測定システムの開発
- 研究代表者
  
  高偉
- 研究期間 (年度)
  2000 – 2002
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  東北大学
角度情報をベースとする多自由度位置・姿勢検出法の研究
- 研究代表者
  
  清野慧
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2001
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  東北大学

すべて 2024 2023 2022 2021 2019 2018 2017 2015 2014 2012 2011 2005 2004 その他

すべて雑誌論文学会発表産業財産権

[雑誌論文] A MEMS Device Integrating Multiple Cantilever Displacement Sensors to Evaluate Flat Machined Surfaces2022
- 著者名/発表者名
  Shimizu Hiroki、Graduate School of Engineering, Kyushu Institute of Technology 1-1 Sensui-cho, Tobata-ku, Kitakyushu-shi, Fukuoka 804-8550, Japan、Tamiya Koichi、Mizukami Shoichiro、Tamaru Yuuma
- 雑誌名
  
  International Journal of Automation Technology
  
  巻: 16 号: 5 ページ: 582-587
- DOI
  10.20965/ijat.2022.p0582
- ISSN
  1881-7629, 1883-8022
- 年月日
  2022-09-05
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03791
[雑誌論文] Feasibility study of multi-point two-dimensional profile measurement by 3-2-1 and 3×3 sensor layout2021
- 著者名/発表者名
  Fujiwara Ryotaro、Shimizu Hiroki
- 雑誌名
  
  Measurement: Sensors
  
  巻: 18 ページ: 100358-100358
- DOI
  10.1016/j.measen.2021.100358
- NAID
  120007179334
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03791
[雑誌論文] Square Layout Four-Point Method for Two-Dimensional Profile Measurement and Self-Calibration Method of Zero-Adjustment Error2018
- 著者名/発表者名
  Shimizu H., Yamashita R., Hashiguchi T., Miyata T., Tamaru Y.
- 雑誌名
  
  International Journal of Automation Technology
  
  巻: 12 号: 5 ページ: 707-713
- DOI
  10.20965/ijat.2018.p0707
- NAID
  130007472276
- ISSN
  1881-7629, 1883-8022
- 年月日
  2018-09-05
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06082
[雑誌論文] An Extended Auto-Collimation Method Combined with a Deflect Optical System for Non-Contact Profile Measurement2005
- 著者名/発表者名
  Hiroki SHIMIZU, Yoji WATANABE, Wei GAO, Satoshi KIYONO
- 雑誌名
  
  Proc. of 4th International euspen Conference Vol.1
  
  ページ: 249-252
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16760084
[雑誌論文] 光干渉型サーフェスエンコーダに関する研究2005
- 著者名/発表者名
  渡辺陽司, 高偉, 清水浩貴, 清野慧
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 71・8
  
  ページ: 1051-1055
- NAID
  10016679183
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14102017
[雑誌論文] An Extended Auto-Collimation Method Combined with a Deflect Optical System for Non-Contact Profile Measurement2005
- 著者名/発表者名
  Hiroki SHIMIZU, Yoji WATANABE, Wei GAO, Satoshi KIYONO
- 雑誌名
  
  Proc.of 4th International euspen Conference (発表予定)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16760084
[雑誌論文] Precision Positioning of a Five Degree-of-Freedom Planar Motion Stage2005
- 著者名/発表者名
  Shuichi Dejima, Wei Gao, Hiroki Shimizu, Satoshi Kiyono, Yoshiyuki Tomita
- 雑誌名
  
  Mechatronics 15・8
  
  ページ: 969-987
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14102017
[雑誌論文] Fabrication of a Multi-cell Photodiode for a MDOF Surface Encoder2004
- 著者名/発表者名
  Y.Watanabe, W.Gao, H.Shimizu, S.Kiyono
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 2nd International Symposium on Nanomanufacturing
  
  ページ: 591-595
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14102017
[産業財産権] 検出装置2004
- 発明者名
  清野慧, 渡辺陽司, 高偉, 清水浩貴
- 権利者名
  (株)東北テクノアーチ
- 出願年月日
  2004-05-07
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14102017
[学会発表] 3×3 正方形配置センサユニットを用いた平面形状測定：第 2 報 ―形状測定用デバイスの設計―2024
- 著者名/発表者名
  野田樹生，中原洸太朗，田丸雄摩，清水浩貴
- 学会等名
  2024 年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03791
[学会発表] 3×3正方形配置センサユニットを用いた平面形状測定－測定データ接続法の比較－2023
- 著者名/発表者名
  時實拓紀，野田樹生，田丸雄摩，清水浩貴
- 学会等名
  2023年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03791
[学会発表] High sensitivity MEMS displacement sensor device for planar shape measurement by deposition of piezoelectric materials2019
- 著者名/発表者名
  K. Murayama, Y. Tamaru, H. Shimizu
- 学会等名
  8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06082
[学会発表] Error Evaluation of Straightness Measurement Using a MEMS Device Integrating 10 Cantilever Displacement Sensors2019
- 著者名/発表者名
  Hiroki Shimizu, Shoichiro Mizukami, Makoto Manabe, Yuuma Tamaru
- 学会等名
  The 14th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06082
[学会発表] A novel compensation method of zero-adjustment error in flatness measurement using serial four-point method2017
- 著者名/発表者名
  Hiroki SHIMIZU1, Ryousuke YAMASHITA, Takuya HASHIGUCHI, Tasuku MIYATA
- 学会等名
  The 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06082
[学会発表] Redesign of cantilever displacement sensor to improve sensitivity and channel separation2015
- 著者名/発表者名
  Hiroki Shimizu
- 学会等名
  8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- 年月日
  2015-10-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420057
[学会発表] MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発（第7報）―デバイス探針の摩耗評価装置の製作―2015
- 著者名/発表者名
  清水浩貴
- 学会等名
  2015年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  東北大学
- 年月日
  2015-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420057
[学会発表] Design of a MEMS device for scanning profile measurement with three cantilever displacement sensors2015
- 著者名/発表者名
  Hiroki Shimizu
- 学会等名
  12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments
- 発表場所
  National Taiwan University, Taipei, Taiwan
- 年月日
  2015-09-22
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420057
[学会発表] 角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定（第1報）―測定原理の検討と基礎的検証―2014
- 著者名/発表者名
  藤田豊栄, 清水浩貴, 田丸雄摩
- 学会等名
  2014年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420057
[学会発表] MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（第4報）―表面荒れを抑えた探針製作法―2014
- 著者名/発表者名
  殘華智仁, 清水浩貴, 田丸雄摩, 坂本憲児
- 学会等名
  2014年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420057
[学会発表] 三点法を用いた機上測定用機械加工面形状計測装置2014
- 著者名/発表者名
  松本恵太, 清水浩貴, 田丸雄摩, 山下亮祐
- 学会等名
  日本機械学会九州支部第67期総会・講演会
- 発表場所
  九州工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420057
[学会発表] MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発(第3報ピエゾ抵抗体の試作と製作プロセスの統合)2012
- 著者名/発表者名
  水頭正一郎,清水浩貴,田丸雄摩
- 学会等名
  2012年度精密工学会秋季大会
- 発表場所
  九州工業大学(福岡)
- 年月日
  2012-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760099
[学会発表] MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（第3報）―ピエゾ抵抗体の試作と製作プロセスの統合―2012
- 著者名/発表者名
  水頭正一郎・清水浩貴・田丸雄摩
- 学会等名
  2012 年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  九州工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760099
[学会発表] MEMS 技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発(第2 報マルチカンチレバーデバイスの基本設計と試作)2012
- 著者名/発表者名
  柳原慎也,水頭正一郎,清水浩貴,田丸雄摩,馬場昭好
- 学会等名
  2012年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  首都大学東京(東京)
- 年月日
  2012-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760099
[学会発表] MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発-センサ間隔誤差の影響シミュレーションとマルチカンチレバーの基本設計-2011
- 著者名/発表者名
  秋好崇宏, 清水浩貴, 田丸雄摩
- 学会等名
  2011年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東洋大学(東京都)(震災により当日講演中止)
- 年月日
  2011-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760099
[学会発表] MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発(第2報)-マルチカンチレバーデバイスの基本設計と試作-2011
- 著者名/発表者名
  柳原慎也, 水頭正一郎, 清水浩貴, 田丸雄摩, 馬場昭好
- 学会等名
  2011年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  首都大学東京(東京都)
- 年月日
  2011-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760099
[学会発表] MEMS 技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発(センサ間隔誤差の影響シミュレーションとマルチカンチレバーの基本設計)2011
- 著者名/発表者名
  秋好崇宏,清水浩貴,田丸雄摩
- 学会等名
  2011年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東洋大学(東京)
- 年月日
  2011-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760099
[学会発表] MEMS技術を応用した多点法走査型形状測定用センサデバイスの開発（第5報）―平面測定用デバイスの設計と構造解析―
- 著者名/発表者名
  菊地洋輝, 清水浩貴, 田丸雄摩, 坂本憲児
- 学会等名
  2014年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  鳥取大学鳥取キャンパス
- 年月日
  2014-09-16 – 2014-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420057
[学会発表] 角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定（第2報）-長ピッチ測定を援用した2次誤差軽減法の検討-
- 著者名/発表者名
  夘田将太, 清水浩貴, 田丸雄摩
- 学会等名
  2015年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東洋大学白山キャンパス
- 年月日
  2015-03-17 – 2015-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420057
[学会発表] MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発（第6報）-平面測定用デバイスの製作-
- 著者名/発表者名
  菊地洋輝, 清水浩貴, 田丸雄摩, 坂本憲児
- 学会等名
  2015年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東洋大学白山キャンパス
- 年月日
  2015-03-17 – 2015-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420057

1. 高偉 (70270816)

共同の研究課題数: 7件

共同の研究成果数: 3件
2. 田丸雄摩 (30284590)

共同の研究課題数: 5件

共同の研究成果数: 16件
3. 清野慧 (40005468)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 3件
4. 厨川常元 (90170092)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
5. 小野崇人 (90282095)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
6. 居冰峰 (10431529)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
7. 山中将 (20292229)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
8. 竹内修三

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
9. 橘武史 (50179719)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
10. 各務聡 (80415653)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
11. 馬場昭好 (80304872)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件
12. 坂本憲児 (10379290)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 3件
13. 松本健郎 (30209639)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
14. 荒井義和 (20455801)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
15. 張世宙 (30282099)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
16. 青木純 (40374954)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
17. 岡崎祐一

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
18. 大石弘

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

清水 浩貴 Shimizu Hiroki

清水 浩喜 シミズ ヒロキ

研究課題

研究成果

共同研究者

単結晶シリコンの多条微細V溝構造をかみ合わせた直動ステージ研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

機上測定用3×3センサアレイの開発と冗長データを活用する平面形状測定法の提案研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

機械加工面用オンマシンナノプロファイラデバイスの開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

機械平面形状計測のための多点変位同時測定デバイスの開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

運動誤差測定用3点法マイクロプローブユニットの開発と新調整アルゴリズムの実証研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

法線方向照射型レーザーオートコリメーション法による複雑曲面形状測定装置の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

清水浩貴 Shimizu Hiroki

清水浩喜シミズヒロキ