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鎌倉 望  KAMAKURA Nozomu

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 50323118
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2000年度: 東北大学, 電気通信研究所, 助手
審査区分/研究分野
研究代表者以外
固体物性Ⅰ(光物性・半導体・誘電体) / 電子デバイス・機器工学
キーワード
研究代表者以外
Multiple internal reflection / Infrared spectroscopy / Semiconductor / 多重内部反射 / 赤外分光 / 半導体 / Oxidation / Reaction mechanism / Adsorption-desorption / Surface … もっと見る / 酸化 / 反応機構 / 吸着・脱離 / 表面 / Large-diameter Si wafer / In-line monitoring / organic materials / surface contamination / インライン・モニタリング / シリコン / 大口径ウェーハ / インライン・モニタ / 有機物 / 表面汚染 隠す
  • 研究課題

    (2件)
  • 共同研究者

    (4人)
  •  多重内部反射赤外分光による半導体表面水素反応ダイナミクスの研究

    • 研究代表者
      庭野 道夫
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2001
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      固体物性Ⅰ(光物性・半導体・誘電体)
    • 研究機関
      東北大学
  •  Siウェーハ表面汚染インライン赤外診断装置の開発研究

    • 研究代表者
      庭野 道夫
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      東北大学
  • 1.  庭野 道夫 (20134075)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  木村 康男 (40312673)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  庄子 大生 (30312672)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  遠田 義晴 (20232986)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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