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鍋澤 浩文  nabesawa hirofumi

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 50416145
その他のID
所属 (現在) 2025年度: 富山県産業技術研究開発センター, その他部局等, 部長
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2016年度 – 2017年度: 富山県工業技術センター, その他部局等, 副主幹研究員
2015年度: 富山県工業技術センター, その他部局等, 研究員
2012年度: 富山県工業技術センター, その他部局等, 研究員
2012年度: 富山県工業技術センター, 中央研究所, 主任研究員
2010年度 – 2011年度: 富山県工業技術センター, 中央研究所・加工技術課, 主任研究員
審査区分/研究分野
研究代表者
生産工学・加工学 / マイクロ・ナノデバイス
キーワード
研究代表者
反応性イオンエッチング / マイクロ・ナノデバイス / プラズマ加工 / マイクロ流体デバイス / フッ素樹脂 / コロイダルリソグラフィー / ポリマー微細加工 / ポリマー
  • 研究課題

    (2件)
  • 研究成果

    (6件)
  • 共同研究者

    (1人)
  •  フッ素樹脂の微細加工法の提案とマイクロ流体デバイスへの応用研究代表者

    • 研究代表者
      鍋澤 浩文
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2017
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      富山県工業技術センター
  •  反応性イオンエッチング法によるポリマー表面のモフォロジー制御とその応用研究代表者

    • 研究代表者
      鍋澤 浩文
    • 研究期間 (年度)
      2010 – 2012
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      マイクロ・ナノデバイス
    • 研究機関
      富山県工業技術センター

すべて 2017 2016 2015 2010

すべて 雑誌論文 学会発表

  • [雑誌論文] Microstructure Formation on Polytetrafluoroethylene (PTFE) and Perfluoroalkoxy (PFA) Bulk Plates by a Magnetron Enhanced Reactive Ion Etching System2017

    • 著者名/発表者名
      Hirofumi NABESAWA, Takeshi HITOBO, Toyohisa ASAJI, Takashi ABE, Minoru SEKI
    • 雑誌名

      Journal of the Vacuum Society of Japan

      巻: 印刷中

    • NAID

      130006900166

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K05749
  • [学会発表] 反応性イオンエッチング法によるポリマーの微細加工と2017

    • 著者名/発表者名
      鍋澤浩文
    • 学会等名
      日本学術振興会 荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会 第226回研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K05749
  • [学会発表] Polymer Micro-Fabrication and Its Application to Biomicrofluidic Devices2016

    • 著者名/発表者名
      Hirofumi Nabesawa, Masumi Yamada, Minoru Seki
    • 学会等名
      The 33rd International Conference of Photopolymer Science and Technology
    • 発表場所
      Makuhari Messe
    • 年月日
      2016-06-22
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K05749
  • [学会発表] Reactive ion etching of fluorocarbon polymer using stencil mask2015

    • 著者名/発表者名
      Masato MIZUOCHI, Hiroki SHIMADA, Hirofumi NABESAWA, Minoru SEKI
    • 学会等名
      7th International Symposium on Microchemistry and Microsystems (ISMM2015)
    • 発表場所
      京都大学桂キャンパス
    • 年月日
      2015-06-08
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K05749
  • [学会発表] コロイダルリソグラフィーによるポリマープレートの微細加工2010

    • 著者名/発表者名
      蛭間崇元, 鍋澤浩文, 人母岳, 若林傑, 関実
    • 学会等名
      第22回化学とマイクロ・ナノシステム研究会
    • 発表場所
      名古屋大学医学部(愛知県)
    • 年月日
      2010-11-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22510132
  • [学会発表] コロイダルリソグラフィ一によるポリマープレートの微細加工2010

    • 著者名/発表者名
      蛭間崇元, 鍋澤浩文, 人母岳, 若林傑, 関実
    • 学会等名
      第22回化学とマイクロ・ナノシステム研究会
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 年月日
      2010-11-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22510132
  • 1.  関 実 (80206622)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 5件

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