北嶋武 Kitajima Takeshi

研究者番号	50424198
その他のID	https://orcid.org/0000-0002-0884-6751
所属 (現在)	2025年度: 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群), 電気情報学群, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2015年度: 防衛大学校, 電気情報学群, 准教授 2013年度 – 2015年度: 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工, その他部局等, 准教授 2012年度: 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工, 電気情報学群, 准教授 2009年度 – 2011年度: 防衛大学校, 電気情報学群, 准教授
審査区分/研究分野	研究代表者理工系 / 薄膜・表面界面物性研究代表者以外電力工学・電力変換・電気機器
キーワード	研究代表者電子・電気材料 / プラズマ加工 / 表面・界面物性 / ナノ材料研究代表者以外表面処理 / 触媒作用 / 高反応性 / 短パルス電圧 / 大気圧非平衡プラズマ

高速繰り返し短パルス電圧による高反応性大気圧非平衡プラズマの生成
- 研究代表者
  
  中野俊樹
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2015
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  電力工学・電力変換・電気機器
- 研究機関
  防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工
プラズマ-ナノ粒子-基板相互界面反応場の局所診断研究代表者
- 研究代表者
  
  北嶋武
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2011
- 研究種目
  
  新学術領域研究(研究領域提案型)
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  防衛大学校
準安定原子を活用したソフトプラズマ支援原子層堆積プロセス研究代表者
- 研究代表者
  
  北嶋武
- 研究期間 (年度)
  2009 – 2011
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  薄膜・表面界面物性
- 研究機関
  防衛大学校

すべて 2016 2015 2014 2013 2012 2011 2010 2009 その他

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] プラズマ支援原子層堆積プロセスによるナノスケール薄膜の形成と評価2012
- 著者名/発表者名
  北嶋武、中野俊樹
- 雑誌名
  
  防衛大学校理工学研究報告
  
  巻: 50 ページ: 111-116
- NAID
  40019781819
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[雑誌論文] HfO_2 film growth by Ar/O_2 plasma enhanced atomic layer deposition
- 著者名/発表者名
  Takeshi Kitajima, Toshiki Nakano
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology A
  
  巻: (投稿中)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[学会発表] He/O2混合ガスを用いて生成した短パルス狭ギャップ大気圧非平衡プラズマによる高分子表面酸化2016
- 著者名/発表者名
  門脇俊輔、中野俊樹、北嶋　武
- 学会等名
  平成28年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- 発表場所
  九州工業大学　戸畑キャンパス
- 年月日
  2016-09-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560359
[学会発表] 短電圧パルス狭ギャップ大気圧非平衡プラズマによる高分子表面処理2016
- 著者名/発表者名
  門脇俊輔、中野俊樹、北嶋　武
- 学会等名
  平成28年電気大会全国大会
- 発表場所
  東北大学　川内北キャンパス
- 年月日
  2016-03-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560359
[学会発表] 狭ギャップ電極系用いた大気圧非平衡プラズマの生成と診断2015
- 著者名/発表者名
  中野俊樹，北嶋武
- 学会等名
  第62回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東海大学湘南キャンパス
- 年月日
  2015-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560359
[学会発表] 狭ギャップ大気圧非平衡プラズマの生成と高分子表面処理への応用2015
- 著者名/発表者名
  門脇俊輔、中野俊樹、北嶋　武
- 学会等名
  平成27年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- 発表場所
  金沢大学　角間キャンパス
- 年月日
  2015-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560359
[学会発表] 短パルス電圧によって生成された狭ギャップ大気圧非平衡プラズマの生成2015
- 著者名/発表者名
  中野俊樹，北嶋武
- 学会等名
  平成27年電気学会全国大会
- 発表場所
  東京都市大学世田谷キャンパス
- 年月日
  2015-03-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560359
[学会発表] He/O2混合ガスによる狭ギャップ大気圧非平衡プラズマの生成と高分子表面処理への応用2015
- 著者名/発表者名
  門脇俊輔、中野俊樹、北嶋　武
- 学会等名
  2015年放電学会年次大会
- 発表場所
  防衛大学校
- 年月日
  2015-12-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560359
[学会発表] 狭ギャップ電極系による大気圧非平衡プラズマの生成2014
- 著者名/発表者名
  中野俊樹, 北嶋武
- 学会等名
  平成26年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- 発表場所
  信州大学長野キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560359
[学会発表] 短パルス電圧による大気圧非平衡プラズマ生成時の放電遅れ時間分布と発光強度の関係2013
- 著者名/発表者名
  中野俊樹、白井博之、北嶋武
- 学会等名
  平成25年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- 発表場所
  横浜国立大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560359
[学会発表] 方形波電圧パルスによる大気圧非平衡プラズマ生成時のパルス幅の最適化の検討2013
- 著者名/発表者名
  中野俊樹、白井博之、北嶋武
- 学会等名
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  同志社大学京田辺キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560359
[学会発表] Size effect of Hf nitridation under nitrogen plasma exposure2012
- 著者名/発表者名
  T.Kitajima, T.Nakano
- 学会等名
  4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials, P3-045A
- 発表場所
  中部大学(愛知県)
- 年月日
  2012-03-07
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-22110520
[学会発表] SiO_2膜上Hfナノ粒子への窒素プラズマ照射によるHfSiON膜作製～N原子表面反応へのHfのサイズ効果22012
- 著者名/発表者名
  北嶋武、中野俊樹
- 学会等名
  応用物理学会第59回応用物理学関係連合講演会,17p-B8-10
- 発表場所
  早稲田大学(東京都)
- 年月日
  2012-03-17
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-22110520
[学会発表] Size effect of Hf nitridation under nitrogen plasma exposure2012
- 著者名/発表者名
  Takeshi Kitajima, Toshiki Nakano
- 学会等名
  4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
- 発表場所
  中部大学(愛知県)
- 年月日
  2012-03-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[学会発表] Plasma Diagnostics and Nanoscale Surface Processing-Application to SiO_2, High-k PVD and ALD2011
- 著者名/発表者名
  T. Kitajima, T. Nakano
- 学会等名
  American Vacuum Society 58th International Symposium
- 発表場所
  ナッシュビルコンベンションセンター(アメリカ合衆国、テネシー州)
- 年月日
  2011-11-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[学会発表] 窒素プラズマ誘起固液界面反応によるHfSiON膜作製:層間SiO_2厚さの影響2011
- 著者名/発表者名
  北嶋武
- 学会等名
  応用物理学会第58回応用物理学関連連合講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学(神奈川県)
- 年月日
  2011-03-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[学会発表] Nitrogen Plasma induced HfSiON growth from Hf nanoparticles on SiO_2/Si(100)-Roughness improvement by interfacial SiO_2-2011
- 著者名/発表者名
  北嶋武
- 学会等名
  3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
- 発表場所
  名古屋工業大学(愛知県)
- 年月日
  2011-03-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[学会発表] High-k/substrate interface reaction by plasma assisted ALD and PVD2011
- 著者名/発表者名
  T.Kitajima, T.Nakano
- 学会等名
  Plasma Conference 2011, 24G10
- 発表場所
  石川県立音楽堂(石川県)
- 年月日
  2011-11-24
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-22110520
[学会発表] SiO_2膜上Hfナノ粒子への窒素プラズマ照射によるHfSiON膜作製～N原子表面反応へのHfのサイズ効果2011
- 著者名/発表者名
  北嶋武、中野俊樹
- 学会等名
  応用物理学会第72回応用物理学会学術講演会1a-ZC-16
- 発表場所
  山形大学(山形県)
- 年月日
  2011-09-01
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-22110520
[学会発表] High-k/substrate interface reaction by plasma assisted ALD and PVD2011
- 著者名/発表者名
  T. Kitajima, T. Nakano
- 学会等名
  Plasma Conference 2011
- 発表場所
  石川県立音楽堂(石川県)
- 年月日
  2011-11-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[学会発表] Plasma Diagnostics and Nanoscale Surface Processing-Application to SiO_2, High-k PVD and ALD2011
- 著者名/発表者名
  T.Kitajima
- 学会等名
  American Vacuum Society 58th International Symposium, PS+SS-WeM-3
- 発表場所
  Nashville, Tennessee, USA(invited)
- 年月日
  2011-11-02
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-22110520
[学会発表] O_2プラズマ支援HfO2 ALDでのAr希釈の効果2011
- 著者名/発表者名
  北嶋武、中野俊樹
- 学会等名
  応用物理学会,第72回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  山形大学(山形県)
- 年月日
  2011-08-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[学会発表] SiO_2膜上Hfナノ粒子への窒素プラズマ照射によるHfSiON膜作製～金属Hfの特性と役割2011
- 著者名/発表者名
  北嶋武
- 学会等名
  第58回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学(神奈川県)
- 年月日
  2011-03-27
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-22110520
[学会発表] 窒素プラズマ誘起固液界面反応によるHfSiON膜作製:層間SiO_2厚さの影響2011
- 著者名/発表者名
  北嶋武
- 学会等名
  第58回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学(神奈川県)
- 年月日
  2011-03-25
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-22110520
[学会発表] SiO_2膜上Hfナノ粒子への窒素プラズマ照射によるHfSiON膜作製～金属Hfの特性と役割2011
- 著者名/発表者名
  北嶋武
- 学会等名
  応用物理学会第58回応用物理学関連連合講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学(神奈川県)
- 年月日
  2011-03-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[学会発表] Nitrogen Plasma induced HfSiON growth from Hf nanoparticles on SiO_2/Si(100)-Roughness improvement by interfacial SiO_22011
- 著者名/発表者名
  Takeshi Kitajima
- 学会等名
  第3回先進プラズマ科学と窒化物及びナノ材料への応用に関する国際シンポジウム
- 発表場所
  名古屋工業大学(愛知県)
- 年月日
  2011-03-09
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-22110520
[学会発表] Plasma Diagnostics and Nanoscale Surface Processing-Application to SiO2, High-k PVD and ALD2011
- 著者名/発表者名
  Takeshi Kitajima, Toshiki Nakano
- 学会等名
  American Vacuum Society 58th International Symposium
- 発表場所
  Nashville Convention Center, Nashville, TN, USA(invited)
- 年月日
  2011-11-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[学会発表] O_2プラズマ支援HfO_2 ALDでのAr希釈の効果2011
- 著者名/発表者名
  北嶋武、中野俊樹
- 学会等名
  応用物理学会第72回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  山形大学(山形県)
- 年月日
  2011-08-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[学会発表] 窒素プラズマ誘起固液界面反応によるHfSiON膜作製:界面SiO_2との反応過程2010
- 著者名/発表者名
  北嶋武
- 学会等名
  第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎大学(長崎県)
- 年月日
  2010-09-15
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-22110520
[学会発表] 窒素プラズマ誘起固液界面反応によるHfSiON膜作製:界面SiO_2との反応過程2010
- 著者名/発表者名
  北嶋武
- 学会等名
  応用物理学会第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎大学(長崎県)
- 年月日
  2010-09-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[学会発表] Plasma induced chemistry of self-assembled nanoparticles and underlying surface for High-k film growth2010
- 著者名/発表者名
  北嶋武
- 学会等名
  63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas
- 発表場所
  メゾン・デ・キミー(フランス・パリ)
- 年月日
  2010-10-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[学会発表] 窒素プラズマ誘起固液界面反応によるHfTiSiON膜作製:ナノ粒子均一性の影響2010
- 著者名/発表者名
  北嶋武
- 学会等名
  応用物理学会第57回応用物理学関連連合講演会
- 発表場所
  東海大学(神奈川県)
- 年月日
  2010-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[学会発表] 窒素ICP照射によるSiO_2薄膜上Ti配合HfナノドットからのHfriSiON膜の形成2010
- 著者名/発表者名
  北嶋武
- 学会等名
  応用物理学会第27回プラズマプロセシング研究会
- 発表場所
  横浜市開港記念会館(神奈川県)
- 年月日
  2010-02-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[学会発表] SiO_2膜上Hfナノ粒子への窒素プラズマ照射によるHfSiON膜作製～Hf膜厚依存性2010
- 著者名/発表者名
  北嶋武
- 学会等名
  第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎大学(長崎県)
- 年月日
  2010-09-17
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-22110520
[学会発表] SiO_2膜上Hfナノ粒子への窒素プラズマ照射によるHfSiON膜作製～Hf膜厚依存性2010
- 著者名/発表者名
  北嶋武
- 学会等名
  応用物理学会第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎大学(長崎県)
- 年月日
  2010-09-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[学会発表] HfTiSiON Film Growth by N_2 Plasma Exposure to Hf-Ti Liquid Nano Particles on SiO_2/Si2010
- 著者名/発表者名
  Takeshi Kitajima
- 学会等名
  AVS 57th International Symposium & Exhibition
- 発表場所
  アルバカーキーコンベンションセンター(アメリカ合衆国)
- 年月日
  2010-10-21
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-22110520
[学会発表] Plasma induced chemistry of self-assembled nanoparticles and underlying surface for High-k film growth2010
- 著者名/発表者名
  Takeshi Kitajima
- 学会等名
  63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas
- 発表場所
  メゾン・デ・キミー(フランス・パリ)
- 年月日
  2010-10-08
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-22110520
[学会発表] HfTiSiON Film Growth by N_2 Plasma Exposure to Hf-Ti Liquid Nano Particles on SiO_2/Si2010
- 著者名/発表者名
  Takeshi Kitajima
- 学会等名
  第20回日本MRS学術シンポジウム
- 発表場所
  横浜市開港記念会館(神奈川県)
- 年月日
  2010-12-20
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-22110520
[学会発表] HfTiSiON Film Growth by N_2 Plasma Exposure to Hf-Ti Liquid Nano Particles on SiO_2/Si2010
- 著者名/発表者名
  北嶋武
- 学会等名
  American Vacuum Society 57th International Symposium
- 発表場所
  アルバカーキーコンベンションセンター(アメリカ合衆国)
- 年月日
  2010-10-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[学会発表] SiO_2膜上Hfナノ粒子への窒素プラズマ照射によるHfSiON膜作製2009
- 著者名/発表者名
  北嶋武
- 学会等名
  応用物理学会第70回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  富山大学(富山県)
- 年月日
  2009-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[学会発表] 窒素プラズマ誘起固液界面反応によるTi添加HfSiON膜作製2009
- 著者名/発表者名
  北嶋武
- 学会等名
  応用物理学会第70回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  富山大学(富山県)
- 年月日
  2009-09-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760033
[学会発表] 高周波化バリア放電による高密度小径オゾナイザの開発
- 著者名/発表者名
  辻野純司, 北嶋武, 中野俊樹
- 学会等名
  第 61 回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  青山学院大学相模原キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560359
[学会発表] The influence of the repetition frequency on generation of atmospheric-pressure non-equilibrium plasma by 500-ns rectangular pulses
- 著者名/発表者名
  Toshiki Nakano, Takeshi Kitajima, Hiroyuki Shirai
- 学会等名
  8th International Confernece on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing
- 発表場所
  Fukuoka International Congress Center, Fukuoka, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560359
[学会発表] 短パルス電圧による大気圧非平衡プラズマの生成に関するパルス繰り返し周波数の影響
- 著者名/発表者名
  中野俊樹, 北嶋武
- 学会等名
  平成26年電気学会全国大会
- 発表場所
  愛媛大学城北キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560359

1. 中野俊樹 (10531791)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 12件

北嶋 武 Kitajima Takeshi

研究課題

研究成果

共同研究者

高速繰り返し短パルス電圧による高反応性大気圧非平衡プラズマの生成

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

プラズマ-ナノ粒子-基板相互界面反応場の局所診断研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

準安定原子を活用したソフトプラズマ支援原子層堆積プロセス研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] プラズマ支援原子層堆積プロセスによるナノスケール薄膜の形成と評価2012

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

データソース

[雑誌論文] HfO_2 film growth by Ar/O_2 plasma enhanced atomic layer deposition

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[学会発表] He/O2混合ガスを用いて生成した短パルス狭ギャップ大気圧非平衡プラズマによる高分子表面酸化2016

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

年月日

データソース

[学会発表] 短電圧パルス狭ギャップ大気圧非平衡プラズマによる高分子表面処理2016

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

年月日

データソース

[学会発表] 狭ギャップ電極系用いた大気圧非平衡プラズマの生成と診断2015

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

年月日

データソース

[学会発表] 狭ギャップ大気圧非平衡プラズマの生成と高分子表面処理への応用2015

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

年月日

データソース

[学会発表] 短パルス電圧によって生成された狭ギャップ大気圧非平衡プラズマの生成2015

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

年月日

データソース

[学会発表] He/O2混合ガスによる狭ギャップ大気圧非平衡プラズマの生成と高分子表面処理への応用2015

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

年月日

データソース

[学会発表] 狭ギャップ電極系による大気圧非平衡プラズマの生成2014

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

データソース

[学会発表] 短パルス電圧による大気圧非平衡プラズマ生成時の放電遅れ時間分布と発光強度の関係2013

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

データソース

[学会発表] 方形波電圧パルスによる大気圧非平衡プラズマ生成時のパルス幅の最適化の検討2013

著者名/発表者名

学会等名

北嶋武 Kitajima Takeshi