北嶋孝之 Kitajima Takayuki

研究者番号	50546174
所属 (現在)	2025年度: 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群), システム工学群, 准教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2017年度 – 2019年度: 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群), システム工学群, 准教授 2016年度: 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工, システム工学群, 准教授 2014年度 – 2015年度: 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工, その他部局等, 准教授 2013年度: 防衛大学校, システム工学群, 講師 2012年度 – 2013年度: 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工, その他部局等, 助教 2011年度: 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工, システム工学群, 助教
審査区分/研究分野	研究代表者以外生産工学・加工学
キーワード	研究代表者以外水静圧軸受 / 研削盤 / 静圧軸受 / 水資源 / 材料加工 / 機械要素 / 機械工作 / 環境技術 / 工作機械 / テーブル … もっと見る / プランジャーポンプ / 定流量ポンプ / テーブル負荷容量 / テーブル静剛性 / 圧力 / 速度制御 / アクリル製可視テーブル / 水 / 片側リセス / 静圧テーブル / 定流量 / 作動流体 / シリンダポンプ / 定流量軸受 / 水道水 / ロータリー研削 / シリコンウエハ / 裏面研削 / SiCウエハ / 振幅 / 周波数 / 揺動研削 / 砥石スピンドル / 磁気軸受 / ロータリー研削盤 / 砥石切込み速度 / 摩滅摩耗 / 自生発刃 / 正味研削時間 / 振動研削 / ダイヤモンドカップ砥石 / サファイアウエハ / ロータリ研削盤 / 表面性状 / 研削比 / 加工時間 / ウエハ / サファイア / 振動 / 研削 / 環境 / 切込み / 水静圧 / 国際情報交換 / 表面粗さ / 回転精度 / 静剛性 / スピンドル / 切込み機構 / 静電容量式センサ / 大口径シリコンウエハ / リニアアクチュエータ隠す

定流量水静圧軸受用の低流量ポンプシステムの開発
- 研究代表者
  
  由井明紀
- 研究期間 (年度)
  2017 – 2019
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  神奈川大学
   防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群)
揺動機構内蔵スピンドルを有する硬脆ウエハ研削盤の開発
- 研究代表者
  
  由井明紀
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2017
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群)
切込み機構内蔵水静圧砥石スピンドルの開発
- 研究代表者
  
  由井明紀
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2013
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工

すべて 2017 2016 2015 2014 2013 2012 その他

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Loop Stiffness of Grinding Machine Developed for 450 mm Silicon Wafers2015
- 著者名/発表者名
  J.Kusuyama, T.Kitajima, S.Iwahashi, N.Ogasawara, A.Yui, H.Saito and A.H.Slocum
- 雑誌名
  
  Advanced Material Research
  
  巻: 1136 ページ: 655-660
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420069
[雑誌論文] Development of Vertical-Spindle Rotary Surface Grinding Machine for Large-Scale Silicon-Wafers –Static stiffness of grinding spindle and worktable–2014
- 著者名/発表者名
  A.Yui, A.Honda, T.Kitajima, H.Saito, X.Lu, A.H.Slocum
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 14th euspen International Conference -Dubrovnik
  
  巻: 0 ページ: 0-0
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560147
[雑誌論文] Development of Rotary Table with Constant-flow Hydrostatic Water Bearing for Large Scale Silicon-wafer Grinding Machine2014
- 著者名/発表者名
  G.Okahata, A.Yui, T.Kitajima
- 雑誌名
  
  Advanced Material Research
  
  巻: 1017 ページ: 604-609
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420069
[雑誌論文] Development of vertical-spindle rotary surface grinding machine for large-scale silicon-wafers -static stiffness of grinding spindle and workteble2014
- 著者名/発表者名
  A.Yui, A.Honda, T.Kitajima, H.Sano, X.Lu, A.H.Slocum
- 雑誌名
  
  Proc. of the 14th euspen International Conference
  
  巻: 1 ページ: 339-342
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420069
[雑誌論文] Development of a Vertical-spindle Rotary Surface Grinding Machine for Large Scale Silicon-wafers -Machine Specifications and Performance of Rotary Work Table2013
- 著者名/発表者名
  A.Yui, S.Okuyama, T.Kitajima, G.Okahata, H.Saito, A.H.Slocum
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 13th euspen International Conference -Berlin
  
  巻: 1 ページ: 224-227
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560147
[学会発表] サファイアウエハのロータリ研削における砥石揺動効果に関する研究2017
- 著者名/発表者名
  藪野真大，岩橋伸太郎，楠山純平，北嶋孝之，由井明紀
- 学会等名
  (公社)砥粒加工学会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420069
[学会発表] 切込み機構内蔵砥石スピンドルを用いたシリコンウエハの揺動研削に関する研究2016
- 著者名/発表者名
  藪野真大，北嶋孝之，由井明紀，伊東利洋
- 学会等名
  2016年度砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2016）
- 発表場所
  兵庫県立大学
- 年月日
  2016-08-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420069
[学会発表] 450mmシリコンウエハ用ロータリ研削盤の開発（切込機構内蔵スピンドルの静剛性および位置決め精度）2015
- 著者名/発表者名
  岩橋伸太郎，本多歩，楠山純平，北嶋孝之，由井明紀，齋藤浩嗣，A.H.Slocum
- 学会等名
  日本機械学会，2015年度年次大会
- 発表場所
  北海道大学
- 年月日
  2015-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420069
[学会発表] φ450シリコンウエハ加工用研削盤のループ剛性2015
- 著者名/発表者名
  楠山純平，岩橋伸太郎，北嶋孝之，小笠原永久，由井明紀，齋藤浩嗣，A.H.Slocum
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会ABTEC2015
- 発表場所
  慶應大学
- 年月日
  2015-09-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420069
[学会発表] Development of Vertical-spindle Rotary Surface Grinding Machine for Large Scale Silicon-wafers -Static stiffness of grinding spindle and worktable2014
- 著者名/発表者名
  A.Yui, A.Honda, T.Kitajima, H.Saito, X.Lu, A.H.Slocum
- 学会等名
  14th International Conference of the European Society for Precision Engineering
- 発表場所
  Dubrovnik
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560147
[学会発表] Development of Vertical-spindle Rotary Surface Grinding Machine for Large Scale Silicon-wafers -Machine specifications and performance of riotary-eorktable2013
- 著者名/発表者名
  A.Yui, A.Honda, S.Okuyama, T.Kitajima, G.Okahata, H.Saito, A.H.Slocum
- 学会等名
  13th International Conference of the European Society for Precision Engineering
- 発表場所
  Berlin
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560147
[学会発表] 450mm大口径ウエハ研削盤の開発2013
- 著者名/発表者名
  本多歩，由井明紀，北嶋孝之，岡畑豪，齋藤浩嗣，A.H.Slocum
- 学会等名
  公益社団法人砥粒加工学会
- 発表場所
  日本大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560147
[学会発表] 軸方向送り機能を有するスピンドル装置の開発2013
- 著者名/発表者名
  本多歩，北嶋孝之，由井明紀
- 学会等名
  公益社団法人精密工学会
- 発表場所
  関西大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560147
[学会発表] 軸送り機能を有するスピンドル装置の開発2013
- 著者名/発表者名
  本多歩,北嶋孝之,由井明紀
- 学会等名
  2013年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  関西大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560147
[学会発表] 450mm大口径ウエハ研削盤の開発2012
- 著者名/発表者名
  小祝智之,本多歩,岡畑豪,北嶋孝之,由井明紀,奥山繁樹,小林久志,A.H.Slocum
- 学会等名
  日本機械学会,第9回生産加工・工作機械部門講演会
- 発表場所
  秋田県立大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560147
[学会発表] 450mm大口径ウエハ研削盤の開発ー切込み機構内蔵砥石スピンドルの基本特性
- 著者名/発表者名
  岩橋伸太郎，本多歩，楠山純平，北嶋孝之，由井明紀，齋藤浩嗣，A.H.Slocum
- 学会等名
  日本機械学会
- 発表場所
  徳島大学
- 年月日
  2014-11-15 – 2014-11-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420069

1. 由井明紀 (70532000)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 16件
2. 岡畑豪 (80546169)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件
3. 楠山純平

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 5件
4. Slocum A.H.

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 5件
5. Lu X-D.

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件

北嶋 孝之 Kitajima Takayuki

研究課題

研究成果

共同研究者

定流量水静圧軸受用の低流量ポンプシステムの開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

揺動機構内蔵スピンドルを有する硬脆ウエハ研削盤の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

切込み機構内蔵水静圧砥石スピンドルの開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Loop Stiffness of Grinding Machine Developed for 450 mm Silicon Wafers2015

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Development of Vertical-Spindle Rotary Surface Grinding Machine for Large-Scale Silicon-Wafers –Static stiffness of grinding spindle and worktable–2014

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Development of Rotary Table with Constant-flow Hydrostatic Water Bearing for Large Scale Silicon-wafer Grinding Machine2014

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Development of vertical-spindle rotary surface grinding machine for large-scale silicon-wafers -static stiffness of grinding spindle and workteble2014

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Development of a Vertical-spindle Rotary Surface Grinding Machine for Large Scale Silicon-wafers -Machine Specifications and Performance of Rotary Work Table2013

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[学会発表] サファイアウエハのロータリ研削における砥石揺動効果に関する研究2017

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] 切込み機構内蔵砥石スピンドルを用いたシリコンウエハの揺動研削に関する研究2016

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

年月日

データソース

[学会発表] 450mmシリコンウエハ用ロータリ研削盤の開発（切込機構内蔵スピンドルの静剛性および位置決め精度）2015

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

年月日

データソース

[学会発表] φ450シリコンウエハ加工用研削盤のループ剛性2015

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

年月日

データソース

[学会発表] Development of Vertical-spindle Rotary Surface Grinding Machine for Large Scale Silicon-wafers -Static stiffness of grinding spindle and worktable2014

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

データソース

[学会発表] Development of Vertical-spindle Rotary Surface Grinding Machine for Large Scale Silicon-wafers -Machine specifications and performance of riotary-eorktable2013

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

データソース

[学会発表] 450mm大口径ウエハ研削盤の開発2013

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

データソース

[学会発表] 軸方向送り機能を有するスピンドル装置の開発2013

北嶋孝之 Kitajima Takayuki