松井伸介 Matsui Shinsuke

研究者番号	50612769
その他のID
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2019年度 – 2023年度: 千葉工業大学, 工学部, 教授 2013年度 – 2017年度: 千葉工業大学, 工学部, 教授 2012年度: 千葉工業大学, 工学部, 准教授
審査区分/研究分野	研究代表者小区分18020:加工学および生産工学関連 / 生産工学・加工学
キーワード	研究代表者 AFM / ポリシング / 研磨加工 / メカノケミカル / 研磨 / ダイヤモンド / パワーデバイス / 液中雰囲気 / ナノスクラッチ / GaN … もっと見る / ポリッシング / 石英 / スクラッチ加工 / SiC / アルミナ / 切れ刃 / 硬脆材料 / 加工変質層 / メカのケミカル作用 / 原子間力顕微鏡隠す

研究課題
(4件)
研究成果
(45件)

パワーデバイス用難研磨材料のためのAFMスクラッチ等による研磨加工現象の究明研究代表者
- 研究代表者
  
  松井伸介
- 研究期間 (年度)
  2022 – 2024
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  千葉工業大学
AFM触針スクラッチ加工による加工現象の研究研究代表者
- 研究代表者
  
  松井伸介
- 研究期間 (年度)
  2019 – 2022
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  千葉工業大学
AFMを用いた研磨加工素過程とナノ・マイクロ加工の研究研究代表者
- 研究代表者
  
  松井伸介
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2017
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  千葉工業大学
エイエフエムナノ加工による研磨加工素過程のシミュレーション実験に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  松井伸介
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2014
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  千葉工業大学

すべて 2023 2022 2021 2020 2019 2017 2016 2015 2014 2013 2012 その他

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] 光ファイバ端面のAFMによるナノ・マイクロ加工2014
- 著者名/発表者名
  松井伸介　梅村茂　佐藤天哉
- 雑誌名
  
  日本材料科学会誌“材料の科学と工学”
  
  巻: 51 ページ: 28-32
- NAID
  40020003957
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560143
[雑誌論文] 光ファイバ端面マイクロテーパ加工技術の開発(第2報)2013
- 著者名/発表者名
  松井伸介　阿部宜輝
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 57 号: 7 ページ: 459-464
- DOI
  10.11420/jsat.57.459
- NAID
  10031182909
- ISSN
  0914-2703, 1880-7534
- 言語
  日本語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560143
[雑誌論文] Development of micro milling tool made of single crystalline diamond for ceramic cutting2013
- 著者名/発表者名
  Hirofumi Suzuki, Mutsumi Okada, Katsuji Fujii, Shinsuke Matsui, Yutaka Yamagata
- 雑誌名
  
  CIRP Annals of Manufacturing Technology
  
  巻: 62 ページ: 59-62
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560143
[雑誌論文] 高精度加工用真空ピンチャックの開発 (第2報)2013
- 著者名/発表者名
  松井伸介　宇根暢篤　鴨打輝正
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 79 号: 12 ページ: 1246-1250
- DOI
  10.2493/jjspe.79.1246
- NAID
  130003384966
- ISSN
  0912-0289, 1882-675X
- 言語
  日本語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560143
[学会発表] UV直接照射アシストによるGaN基板の研磨の評価2023
- 著者名/発表者名
  小菅春毅　松井伸介，河村昌悟，三井貴彦，嶋田貴大，矢島利康，二宮大輔，灘原大
- 学会等名
  2023年度砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K03844
[学会発表] UV直接照射アシストによるGaN基板の研磨の評価第5報～砥粒径とpHの変化による加工特性の評価～2023
- 著者名/発表者名
  河村昌悟，小城慶也，松井伸介，三井貴彦，嶋田貴大，矢島利康，二宮大輔，灘原大
- 学会等名
  2023年度精密工学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K03844
[学会発表] Highly efficient polishing of GaN substrates by UV irradiation assist with mesh polisher made of durable plastics2023
- 著者名/発表者名
  SHINSUKE Matsui, SHOGO Kawamura, HARUKI Kosuge, TAKAHIKO Mitsui, TAKAHIRO Shimada, TOSHIYASU Yajima, DAISUKE Ninomiya, DAI Nadahara
- 学会等名
  The 25th International Symposium on Advances in Abrasive Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K03844
[学会発表] AFMスクラッチによる研磨加工特性の評価-第12報：各種スクラッチ触針の材料基板に対する加工特性-2023
- 著者名/発表者名
  小城慶也、松井伸介、鳥居典博
- 学会等名
  2023年度砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K03844
[学会発表] AFM スクラッチによる研磨加工特性の評価　第 1１報：各種材料基板に対するスクラッチ加工2022
- 著者名/発表者名
  礒野泰地，松井伸介，鳥居典博
- 学会等名
  2022年度砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2022）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[学会発表] UV 直接照射アシストによる GaN 基板の研磨の評価第 4 報～pHと酸化剤の変化による加工特性の評価～2022
- 著者名/発表者名
  河村昌悟　松井伸介　山本栄一　矢島利康　二宮大輔
- 学会等名
  精密工学会秋季全国大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K03844
[学会発表] Characterization of high-speed polishing system with small rectangular pads by quantification of material-removal amount and comparison with simulation2022
- 著者名/発表者名
  Shinsuke MATSUI , Kouta HIROSHIMA , and Atsunobu UNE
- 学会等名
  19th International Conference on Precision Engineering
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[学会発表] Evaluation of machining characteristics by Atomic-force-microscopy scratching2022
- 著者名/発表者名
  Taichi ISONO , Shinsuke MATSUI , Norihiro TORII
- 学会等名
  19th International Conference on Precision Engineering
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[学会発表] Highly efficient polishing of GaN substrates by direct UV irradiation assist2022
- 著者名/発表者名
  T. Kanaeda, S. Matsui, E. Yamamoto, T. Yajima, D. Ninomiya
- 学会等名
  19th International Conference on Precision Engineering
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K03844
[学会発表] UV直接照射アシストによるGaN基板の研磨の評価第3報～研磨速度に対するポリシャの効果～2021
- 著者名/発表者名
  金枝知季　松井伸介，山本栄一，矢島利康　二宮大輔
- 学会等名
  精密工学会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[学会発表] AFMスクラッチによる加工特性評価ー第10報：アルミナ，SiC触針による加工の比較検討ー2021
- 著者名/発表者名
  礒野泰地，松井伸介
- 学会等名
  砥粒加工学会全国大会　ABTEC2021
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[学会発表] 光ファイバ先端マイクロ形状加工の検討2021
- 著者名/発表者名
  鈴木春成，松井伸介
- 学会等名
  精密工学会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[学会発表] 矩形小型パッドによる高速研磨技術の検討（第4報） -パッドに形成した溝効果による加工形状と加工量の検討-2021
- 著者名/発表者名
  廣島　康太　松井伸介，宇根　篤暢
- 学会等名
  精密工学会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[学会発表] UV-light assist chemical mechanical polishing of GaN with mesh polisher made of chemical durable plastics2020
- 著者名/発表者名
  Shinsuke Matsui, Mizuki Akahori,Takuma Suzuki,Eiichi Yamamoto,Tsubasa Bando,Yasutoshi Yajima and Daisuke Ninomiya
- 学会等名
  2020 euspen’s international conference and exhibition
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[学会発表] UV直接照射アシストによるGaN基板の研磨の評価　第2報～酸化剤を用いた研磨高能率化～2020
- 著者名/発表者名
  上田大成、松井伸介、山本栄一、坂東翼、矢島利康、二宮大輔
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[学会発表] AFMによる光ファイバ端面のナノ・マイクロ加工　第9報 ―SiC触針による加工の検討―2020
- 著者名/発表者名
  赤坂孝幸，松井伸介
- 学会等名
  2020年度砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[学会発表] UV直接照射アシストによるGaN基板の研磨の評価2019
- 著者名/発表者名
  赤堀瑞樹、松井伸介、矢島利康、二宮大輔、山本栄一、坂東　翼、上田大成
- 学会等名
  2019年度精密工学会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[学会発表] AFMスクラッチ加工による研磨加工特性評価2019
- 著者名/発表者名
  赤坂　孝幸、松井　伸介
- 学会等名
  2019年度砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[学会発表] 小型研磨機によるSiC基板の研磨特性の評価(第2報)2019
- 著者名/発表者名
  鈴木　拓磨、松井　伸介、矢島　利康、二宮　大輔
- 学会等名
  2019年度砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[学会発表] 小型研磨機を用いたGaNの研磨加工の検討　酸化剤とpH及びUVの効果2019
- 著者名/発表者名
  鈴木拓磨、松井伸介、矢島利康、二宮大輔、山本栄一
- 学会等名
  2019年度精密工学会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[学会発表] 矩形小型パッドによる高速研磨技術の検討（第3報）;パッドに形成した溝効果による高速化の検討と形状評価2019
- 著者名/発表者名
  中野尭仁、松井伸介、宇根篤暢
- 学会等名
  2019年度精密工学会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[学会発表] 紫外線照射・小型研磨機による酸・アルカリの効果と評価2019
- 著者名/発表者名
  上田　大成、松井　伸介、矢島　利康、二宮　大輔、山本　栄一
- 学会等名
  2019年度砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04130
[学会発表] AFMナノ・マイクロスクラッチ加工による研磨加工特性評価2017
- 著者名/発表者名
  木村　賢之心，松井　伸介
- 学会等名
  2017年砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2017)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05731
[学会発表] GaN研磨加工高能率化の研究（第1報） -小型研磨機を用いた反射型光路による紫外線照射と強アルカリ機能水の効果-2017
- 著者名/発表者名
  藤野雄大,松井伸介,遠藤謙人矢島利康,二宮大輔, 山本栄一,伊東利洋
- 学会等名
  2017年精密工学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05731
[学会発表] Nano micro-scratch machining by atomic force microscope (AFM) for investigating fundamental characteristics of polishing2017
- 著者名/発表者名
  S. Matsui and K. Kimura
- 学会等名
  EUSPEN'S 17th International Conference & Exhibition
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05731
[学会発表] High speed orbital revolution polishing with grooved small rectangular pad2017
- 著者名/発表者名
  Shinsuke Matsui and Atsunobu Une
- 学会等名
  The 20th International Symposium on Advances in Abrasive Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05731
[学会発表] Nano micro-scratch machining by atomic force microscope (AFM) for investigating fundamental characteristics of polishing2017
- 著者名/発表者名
  Shinsuke Matsui and Ken-noshin Kimura
- 学会等名
  17th International Conference & Exhibition(EUSPEN)
- 発表場所
  Hannover, Germany
- 年月日
  2017-05-29
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05731
[学会発表] 小型研磨機によるGaNの研磨加工特性の評価 -アルカリ液と紫外線照射の効果-2017
- 著者名/発表者名
  藤野雄大，松井伸介，遠藤謙人，矢島利康，二宮大輔，山本栄一，伊東利洋
- 学会等名
  2017年砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2017)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05731
[学会発表] Nano-micro scratch machining by atomic force microscope (AFM) to investigate the fundamental characteristics of the polishing.2016
- 著者名/発表者名
  Shinsuke Matsui and Mao Shiseki
- 学会等名
  The 19th International Symposium on Advances in Abrasive Technology
- 発表場所
  Stockholm, Sweden
- 年月日
  2016-10-02
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05731
[学会発表] AFMによる光ファイバ端面のナノ・マイクロ加工　第5報ー加工における触針材質および雰囲気の影響ー2016
- 著者名/発表者名
  志関　真生、松井　伸介
- 学会等名
  2016年度砥粒加工学会学術講演会
- 発表場所
  兵庫県立大学姫路環境人間キャンパス（兵庫県姫路市）
- 年月日
  2016-08-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05731
[学会発表] 水素添加ECR スパッタカーボン膜形成における基板バイアスの効果2016
- 著者名/発表者名
  明石幸治、松井伸介、梅村　茂、若井　俊
- 学会等名
  精密工学会秋季全国大会
- 発表場所
  茨城大学水戸キャンパス（茨城県水戸市）
- 年月日
  2016-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05731
[学会発表] 小径パッドによる部分研磨の検討2016
- 著者名/発表者名
  松井伸介、青山卓也
- 学会等名
  2016年度砥粒加工学会学術講演会
- 発表場所
  兵庫県立大学姫路環境人間キャンパス（兵庫県姫路市）
- 年月日
  2016-08-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05731
[学会発表] AFMによる光ファイバ端面のナノ・マイクロ加工2016
- 著者名/発表者名
  志関真生、松井伸介
- 学会等名
  精密工学会秋季全国大会
- 発表場所
  茨城大学水戸キャンパス（茨城県水戸市）
- 年月日
  2016-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05731
[学会発表] ＡＦＭによる光ファイバ端面のナノ・マイクロ加工　第4報‐触針摩耗の検討‐2015
- 著者名/発表者名
  志関真生　松井伸介
- 学会等名
  ２０１５年度砥粒加工学会学術講演会
- 発表場所
  慶応義塾大学日吉キャンパス(神奈川県横浜市）
- 年月日
  2015-09-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05731
[学会発表] Subsurface Damaged Layer Reduction with Atomic Force Microscope Scratch Nano Machinig on Optical fiber End Plane2014
- 著者名/発表者名
  S. Matsui, S. Umemura, T. Sato
- 学会等名
  european society for precision engineering & nanotechnology
- 発表場所
  Dubrovnik, Croatia
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560143
[学会発表] Characterization of Nano-micro machining made by Atomic Force Microscope Scratch on Optical-fiber End Plane2013
- 著者名/発表者名
  Shinsuke Matsui, Shigeru Umemura
- 学会等名
  ASPE 2013 Annual Meeting
- 発表場所
  St. Paul USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560143
[学会発表] AFMによる光ファイバ端面のナノ･マイクロ加工第２報-液雰囲気の検討-2013
- 著者名/発表者名
  佐藤天哉　松井伸介　梅村茂
- 学会等名
  砥粒加工学会
- 発表場所
  日本大学　東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560143
[学会発表] AFMによる光ファイバ端面のナノ・マイクロ加工2012
- 著者名/発表者名
  松井伸介
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2012）
- 発表場所
  同志社大学（京都府）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560143
[学会発表] AFMによる光ファイバ端面のナノ･マイクロ加工　第3報－低ダメージ加工の検討－
- 著者名/発表者名
  佐藤天哉　松井伸介　梅村茂
- 学会等名
  2014年度砥粒加工学会学術講演会
- 発表場所
  岩手大学（岩手県盛岡市）
- 年月日
  2014-09-11 – 2014-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560143
[学会発表] ECRスパッタ法による高硬度･極薄膜作成のための検討
- 著者名/発表者名
  若井俊　上方翔平　松井伸介　梅村茂
- 学会等名
  2015年度精密工学会春季大会
- 発表場所
  東洋大学（東京都文京区）
- 年月日
  2015-03-17 – 2015-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560143
[学会発表] AFMスクラッチ加工の加工特性の評価
- 著者名/発表者名
  佐藤天哉　松井伸介　梅村茂
- 学会等名
  2014年度精密工学会秋季大会
- 発表場所
  鳥取大学（鳥取県鳥取市）
- 年月日
  2014-09-16 – 2014-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560143

松井 伸介 Matsui Shinsuke

研究課題

研究成果

パワーデバイス用難研磨材料のためのAFMスクラッチ等による研磨加工現象の究明研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

AFM触針スクラッチ加工による加工現象の研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

AFMを用いた研磨加工素過程とナノ・マイクロ加工の研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

エイエフエムナノ加工による研磨加工素過程のシミュレーション実験に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] 光ファイバ端面のAFMによるナノ・マイクロ加工2014

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

データソース

[雑誌論文] 光ファイバ端面マイクロテーパ加工技術の開発(第2報)2013

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

ISSN

言語

データソース

[雑誌論文] Development of micro milling tool made of single crystalline diamond for ceramic cutting2013

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] 高精度加工用真空ピンチャックの開発 (第2報)2013

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

ISSN

言語

データソース

[学会発表] UV直接照射アシストによるGaN基板の研磨の評価2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] UV直接照射アシストによるGaN基板の研磨の評価第5報 ～砥粒径とpHの変化による加工特性の評価～2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Highly efficient polishing of GaN substrates by UV irradiation assist with mesh polisher made of durable plastics2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] AFMスクラッチによる研磨加工特性の評価-第12報：各種スクラッチ触針の材料基板に対する加工特性-2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] AFM スクラッチによる研磨加工特性の評価 第 1１報：各種材料基板に対するスクラッチ加工2022

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] UV 直接照射アシストによる GaN 基板の研磨の評価第 4 報～pHと酸化剤の変化による加工特性の評価～2022

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Characterization of high-speed polishing system with small rectangular pads by quantification of material-removal amount and comparison with simulation2022

著者名/発表者名

学会等名

データソース

松井伸介 Matsui Shinsuke

[学会発表] UV直接照射アシストによるGaN基板の研磨の評価第5報～砥粒径とpHの変化による加工特性の評価～2023

[学会発表] AFM スクラッチによる研磨加工特性の評価　第 1１報：各種材料基板に対するスクラッチ加工2022

[学会発表] UV直接照射アシストによるGaN基板の研磨の評価第3報～研磨速度に対するポリシャの効果～2021

[学会発表] UV直接照射アシストによるGaN基板の研磨の評価　第2報～酸化剤を用いた研磨高能率化～2020

[学会発表] AFMによる光ファイバ端面のナノ・マイクロ加工　第9報 ―SiC触針による加工の検討―2020

[学会発表] 小型研磨機を用いたGaNの研磨加工の検討　酸化剤とpH及びUVの効果2019