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秋谷 昌宏  AKIYA Masahiro

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 60231833
その他のID
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2007年度 – 2008年度: 武蔵工業大学, 工学部, 教授
1995年度: 武蔵工業大学, 工学部, 教授
1992年度 – 1995年度: 武蔵工業大学, 工学部, 助教授
審査区分/研究分野
研究代表者
電子・電気材料工学
研究代表者以外
表面界面物性 / 応用物性 / プラズマ科学
キーワード
研究代表者
Langmuir-Blodgett film / Activation energy / Void / Electromigration / Mg containing Al-Si alloys / 絶縁膜 / エレクトロマイグレーション / 三元合金膜 / LB膜 / 活性化エネルギー / ボイド / エレクトマイグレーション / Mg含有Al-Si膜 … もっと見る
研究代表者以外
… もっと見る oxidation reaction / interface structure / silicon / Hydrogen termination / 酸化反応 / 界面反応 / 層状成長 / 界面構造 / 酸化機構 / 初期酸化 / シリコン / 水素終端 / atomic-scale / initial stage of oxidation / preoxide / native oxide / 原子スケール / プレオキサイド / 自然酸化膜 / interface reaction / layr by layr growth / oxidation mechanism / initial oxidation / 局所的酸化 / 界面形成過程 / 初期酸化過程 / 平坦性 / シリコン界面 / シリコン酸化膜 / 酸化膜界面 / 金属 / 中枢神経の再生医療 / OH及びCOOH基の形成比率 / 触媒金属 / 熱CVD / プラズマCVD / 脳感覚野 / 培養細胞 / 化学修飾 / 生体埋め込み / 神経細胞(ニューロン) / 神経幹細胞 / 生体適合性・親和性 / OH・COOH基の形成 / プラズマアクティベーション / 生体埋め込み型バイオチップ 隠す
  • 研究課題

    (4件)
  • 研究成果

    (3件)
  • 共同研究者

    (5人)
  •  マルチプラズマ源による生体適合型カーボンナノチューブデバイス創製と生体信号計測

    • 研究代表者
      平田 孝道
    • 研究期間 (年度)
      2007 – 2008
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      武蔵工業大学
  •  水素終端したシリコン面の熱酸化による超平坦シリコン酸化膜/シリコン界面の実現

    • 研究代表者
      服部 健雄
    • 研究期間 (年度)
      1994 – 1995
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      表面界面物性
    • 研究機関
      武蔵工業大学
  •  LSI用高寿命AL薄膜合金の研究研究代表者

    • 研究代表者
      秋谷 昌宏
    • 研究期間 (年度)
      1994 – 1996
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      武蔵工業大学
  •  水素終端シリコンの初期酸化機構と極薄金属膜/極薄シリコン酸化膜界面構造の解明

    • 研究代表者
      服部 健雄
    • 研究期間 (年度)
      1992 – 1993
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      応用物性
    • 研究機関
      武蔵工業大学

すべて 2008 2007

すべて 雑誌論文 学会発表

  • [雑誌論文] Chemical Modification of Carbon Nanotube Based Bio-Nanosensor by Plasma Activation2008

    • 著者名/発表者名
      T. Hirata, S. Amiya, M. Akiya, O. Takei, T. Sakai, T. Nakamura, J. K. Tsuzuku, T. Yamamoto, and R. Hatakeyama
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.47

      ページ: 2067-2071

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19340178
  • [雑誌論文] ナノスコピックプラズマプロセスによるバイオデバイス構築2007

    • 著者名/発表者名
      平田孝道、畠山力三、金子俊郎、岡田健、秋谷昌宏、島谷祐一、一木隆範、赤木貴則
    • 雑誌名

      プラズマ・核融合学会誌 第83巻

      ページ: 647-657

    • NAID

      110006381231

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19340178
  • [学会発表] Culture of Neural Stem Cells on Carbon Nanotube Based Bio Nanosensor Treated by Plasma-Activation Method2008

    • 著者名/発表者名
      T. Hirata, M. Akiya, and T. Sakai,
    • 学会等名
      Proceeding of the International Interdisciplinary- Symposium on Gaseous and Liquid Plasmas (ISGLP2008)
    • 発表場所
      Sendai (Japan)
    • 年月日
      2008-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19340178
  • 1.  服部 健雄 (10061516)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  野平 博司 (30241110)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  平田 孝道 (80260420)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 3件
  • 4.  島谷 祐一 (20154263)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 1件
  • 5.  畠山 力三 (00108474)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 2件

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