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馬 敏雅  MA Minya

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 60255263
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 1998年度: 学習院大学, 計算機センター, 助手
1994年度: 学習院大学, 理学部, 客員研究員
1993年度: 学習院大学, 理学部, 助手
審査区分/研究分野
研究代表者以外
応用物性 / 応用物性・結晶工学
キーワード
研究代表者以外
SIMOX / intrinsic gettering / denuded zone / 光散乱トモグラフィー / OSF (Oxidation Induced Stacking Faults) / micro-defects / LST (Light Scattering Tomography) / photoluminescence mapping / elastic scattering / Laser Scanning Tomography … もっと見る / growth-in defects / Light Scattering Tomography / 半導体微小欠陥 / 微小欠陥 / 半導体 / 評価法 / OSF(Oxidation induced Stacking Faults) / 微少欠陥 / LST(Light Scattering Tomography) / 蛍光 / 弾性散乱 / LST(Laser Scanning Tomography) / 成長欠陥 / 光散乱断層画法 / diffraction of light / multi-quantum layr / GaAs wafer / Cz-Si / Si wafer / チタン・サファイャー・レーザ / 半導体レーザー / 固体表面状態 / 超薄膜干渉縞 / 干渉縞 / Device Technology / Liquid Crystal Display / Integrated Circuits / Surface Roughness / Diffraction / Interference Fringes / 面の粗さ / 光の回折 / 多重量子井戸構造積層膜 / 高温超伝導被膜の均質性 / 析出酸化物微粒子の粒径 / CZ-Siウエハ- / EL2 center / dislocation / lattice defects / tomography (LST) / ZnSe single crystal / GaAs single crystal / silicon wafers / semiconductors / 結晶欠陥 / 非接触検査 / 非破壊検査 / 半導体ウエハー / Brewster角照明 / 赤外線散乱 / Characterization / Semiconductors / Defects in Crystals / Light Scattering / イントリンシック・ゲッタリング / 赤外線 / シリコン・ウエハ- / 転位組織 / 格子欠陥 / セレン化亜鉛単結晶 / 砒化カリュゥム単結晶 / シリコン単結晶 / トモグラフィー / 光散乱 隠す
  • 研究課題

    (3件)
  • 共同研究者

    (6人)
  •  散乱光と蛍光を同時に、かつ、別々の断層図とする半導体微少欠陥の検出法

    • 研究代表者
      小川 智哉
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 1999
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      応用物性・結晶工学
    • 研究機関
      学習院大学
  •  赤外線散乱法による半導体結晶内の欠陥の検出と評価

    • 研究代表者
      小川 智哉
    • 研究期間 (年度)
      1992 – 1994
    • 研究種目
      一般研究(A)
    • 研究分野
      応用物性
    • 研究機関
      学習院大学
  •  超薄膜干渉計の試作

    • 研究代表者
      小川 智哉
    • 研究期間 (年度)
      1992 – 1994
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      応用物性
    • 研究機関
      学習院大学
  • 1.  小川 智哉 (50080437)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  雄山 泰直 (20265573)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  坂井 一文 (40205703)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  楢岡 清威
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  都留 俊英 (30306526)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  南郷 脩史
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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