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浜口 智志  HAMAGUCHI Satoshi

研究者番号 60301826
その他のID
  • ORCIDhttps://orcid.org/0000-0001-6580-8797
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2022年度 – 2024年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授
2021年度: 大阪大学, 工学研究科, 教授
2015年度 – 2019年度: 大阪大学, 工学研究科, 教授
2016年度: 大阪大学, 工学部, 教授
2012年度 – 2015年度: 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 … もっと見る
2013年度: 大阪大学, 工学系研究科, 教授
2011年度 – 2012年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授
2009年度 – 2010年度: 大阪大学, 工学研究科, 教授
2007年度 – 2009年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授
2006年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授
2004年度 – 2005年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授
2000年度 – 2002年度: 京都大学, エネルギー科学研究科, 助教授
1999年度: 京都大学, 大学院・エネルギー科学研究科, 助教授 隠す
審査区分/研究分野
研究代表者
プラズマ科学 / 理工系 / 中区分14:プラズマ学およびその関連分野 / プラズマエレクトロニクス / プラズマ理工学 / 理工系 / 小区分14010:プラズマ科学関連
研究代表者以外
整形外科学 / プラズマ理工学 / プラズマ科学
キーワード
研究代表者
プラズマ表面相互作用 / プラズマ / 分子動力学シミュレーション / イオンビーム / プラズマプロセス / 反応性プラズマ / 数値シミュレーション / プラズマ医療 / プラズマ・プロセス / PIC-MCC … もっと見る / 活性酸素 / 大気圧プラズマ / シミュレーション / 反応性イオンエッチング / 湯川系 / 強結合プラズマ / マイクロバブル / マイクロプラズマ / 低エネルギーイオン / ICPプラズマ / 単層グラフェン / 表面プロセス工学 / 原子層エッチング ALE / 原子層堆積 ALD / 原子層エッチング ALE / 半導体プロセス / 多階層シミュレーション / プロセス・インフォマティクス / プラズマ・インフォマティクス / 記述子 / 人工知能(AI) / ノンパラメトリック回帰 / スパースモデリング / 深層学習 / 機械学習 / プラズマ加工 / 第一原理シミュレーション / 原子層プロセス / ゲノムスケール / 数費シミュレーション / 代謝モデル / 大腸菌 / ゲノムスケール代謝モデル / 代謝流速均衡解析 / 代謝反応ネットワーク / 酸化ストレス / ion beam / Monte-Carlo simulation / molecular dynamics simulation / ultraviolet / reactive sputtering / etching / plasma / 紫外線照射 / モンテカルロシミュレーション / 紫外線 / 反応性スパッタリング / エッチング / dynamics correlation / transport coefficient / generalized hydrodynamics / particulate / Coulomb crystal / strongly coupled plasma / Yukawa system / dust plasma / 動的相関 / 輸送係数 / 一般化された流体力学 / 微粒子 / クーロン結晶 / ダストプラズマ / capacitively coupled discharge / dual frequency discharge / particle simulation / RF discharge / plasma processing / 容量結合型放電 / 2周波放電 / 粒子シミュレーション / RF放電 / RNS / ROS / 反応拡散移流方程式 / 反応拡散方程式 / プラズマ液体相互作用 / シュミレーション / 生理学的薬物動態モデル / PBPKモデル / PBPKモデル / 生理的薬物動態モデル / 反応性エッチング / ナノ界面 / PMMA / 細胞外マトリックス / 蛋白質 / バイオ関連機器 / たんぱく質 / 表面・界面物性 / ダイヤモンドライクカーボン / プラズマエッチング / プラズマCVD / 反応性ラジカル / 分子動力学 / 光物性 / 膜堆積 / ゼータポテンシャル / 遮蔽クーロン / ゼーターポテンシャル / 誘電誘導 / 電気泳動 / ナノバブル / プラズマジェット / 超臨界流体 / 液中放電 / 大気圧放電 / ストリーマー / タウンゼント理論 / バッシェン曲線 / 電子チャネリング / 電離 / クラスタ / 溶媒和 / 超臨界 … もっと見る
研究代表者以外
逆カスケード / 微細表面構造 / 破骨細胞 / 骨芽細胞 / 微細加工技術 / バイオマテリアル / 骨分化 / 骨 / 培養誘導 / 再生療法 / 軟骨 / 骨再生 / 大型骨欠損 / 無血清培地 / 間葉系前駆細胞 / 骨芽細胞分化 / 骨芽細胞系細胞 / iPS細胞 / 骨再生療法 / poloidal shear flow / Maxwell stress / Reynolds stress / electromagnetic turbulence / electrostatic turbulence / inverse cascade / Zonal flow / マスクウェル応力 / ポロイダルシアー流 / マクスウェル応力 / レイノルズ応力 / 電磁的乱流 / 静電的乱流 / ゾーナル流 / Kelvin-Helmholtz instability / negative shear / velocity shear / magnetic shear / instability / heliotron / stellarator / tokamak / 異常輸送 / 電子温度勾配ドリフト波 / 帯状流 / ケルビン・ヘルムホルツ不安定性 / 負磁気シアー / 速度シアー / 磁気シアー / 不安定性 / ヘリオトロン / ステラレータ / トカマク / フリーラジカル / テラヘルツ分光学 / プラズマ物理学 / 多国籍 / 国際情報交換 / THz分光 / プラズマ分光 / テラヘルツ分光 / フリーラジカル計測 / プラズマ計測 隠す
  • 研究課題

    (23件)
  • 研究成果

    (651件)
  • 共同研究者

    (26人)
  •  二次元材料プラズマ支援原子層堆積におけるプラズマ表面相互作用研究代表者

    • 研究代表者
      浜口 智志
    • 研究期間 (年度)
      2023 – 2024
    • 研究種目
      特別研究員奨励費
    • 審査区分
      小区分14010:プラズマ科学関連
    • 研究機関
      大阪大学
  •  プラズマ支援原子層プロセスの非平衡表面反応の解明研究代表者

    • 研究代表者
      浜口 智志
    • 研究期間 (年度)
      2021 – 2024
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 審査区分
      中区分14:プラズマ学およびその関連分野
    • 研究機関
      大阪大学
  •  機械学習支援によるプラズマ表面反応解析原理の確立研究代表者

    • 研究代表者
      浜口 智志
    • 研究期間 (年度)
      2018 – 2019
    • 研究種目
      挑戦的研究(萌芽)
    • 審査区分
      中区分14:プラズマ学およびその関連分野
    • 研究機関
      大阪大学
  •  代謝モデルシミュレーションによるプラズマ照射細胞応答機構の解明研究代表者

    • 研究代表者
      浜口 智志
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2016
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  多階層シミュレーションによる新規多様材料プラズマプロセスの量子論的理解研究代表者

    • 研究代表者
      浜口 智志
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2019
    • 研究種目
      基盤研究(S)
    • 研究分野
      プラズマエレクトロニクス
    • 研究機関
      大阪大学
  •  大気圧プラズマによるバイオ表面制御機構の多階層シミュレーション解析研究代表者

    • 研究代表者
      浜口 智志
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2017
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      プラズマエレクトロニクス
    • 研究機関
      大阪大学
  •  iPS細胞による次世代骨・軟骨再生療法のための培養誘導技術の開発

    • 研究代表者
      吉川 秀樹
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2016
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      整形外科学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  材料表面マイクロ形状による骨関連細胞の分化と機能の制御

    • 研究代表者
      名井 陽
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2016
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      整形外科学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  プラズマ照射による液中活性種生成とバイオ活性化の数値シミュレーション解析研究代表者

    • 研究代表者
      浜口 智志
    • 研究期間 (年度)
      2013 – 2014
    • 研究種目
      新学術領域研究(研究領域提案型)
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      大阪大学
  •  プラズマ界面相互作用のナノスケール解析研究代表者

    • 研究代表者
      浜口 智志
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2013
    • 研究種目
      新学術領域研究(研究領域提案型)
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      大阪大学
  •  生理学的薬物動態(PBPK)モデルによるプラズマ生体相互作用の解析研究代表者

    • 研究代表者
      浜口 智志
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2013
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  テラヘルツ周波数領域分光法によるプラズマ中のフリーラジカル検出

    • 研究代表者
      北原 英明
    • 研究期間 (年度)
      2011 – 2013
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  プラズマによる原子スケール構造制御の理論・シミュレーション研究研究代表者

    • 研究代表者
      浜口 智志
    • 研究期間 (年度)
      2010 – 2011
    • 研究種目
      新学術領域研究(研究領域提案型)
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      大阪大学
  •  プラズマバイオプロセスにおけるラジカル表面相互作用の系統的解明研究代表者

    • 研究代表者
      浜口 智志
    • 研究期間 (年度)
      2010 – 2012
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  プラズマ表面相互作用における光・ラジカル・電子照射素過程とそのシナジー効果の解明研究代表者

    • 研究代表者
      浜口 智志
    • 研究期間 (年度)
      2007 – 2009
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  高密度媒体プラズマ生成機構のモデル化と数値シミュレーション研究代表者

    • 研究代表者
      浜口 智志
    • 研究期間 (年度)
      2006 – 2007
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      大阪大学
  •  荷電ナノバブルの統計力学と輸送解析研究代表者

    • 研究代表者
      浜口 智志
    • 研究期間 (年度)
      2006 – 2007
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  プラズマスパッタリングにおける光誘起表面反応プロセスの解明研究代表者

    • 研究代表者
      浜口 智志
    • 研究期間 (年度)
      2005 – 2006
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  数値シミュレーションによる超臨界マイクロプラズマ放電機構の解明研究代表者

    • 研究代表者
      浜口 智志
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2005
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      大阪大学
  •  分子動力学シミュレーションによる強結合ダストプラズマの統計力学的性質の解明研究代表者

    • 研究代表者
      浜口 智志
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2002
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      京都大学
  •  磁気閉じ込めにおけるゾーナル流の形成とケルビン・ヘルムホルツ不安定性の研究

    • 研究代表者
      若谷 誠宏
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2002
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      京都大学
  •  トカマクとステラレータの安定化に対する磁気シアーと速度シアーの複合効果の研究

    • 研究代表者
      若谷 誠宏
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      京都大学
  •  粒子シミュレーションによる反応性プラズマダイナミクスの解明研究代表者

    • 研究代表者
      浜口 智志
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      京都大学

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すべて 雑誌論文 学会発表 図書 産業財産権

  • [図書] 半導体製造におけるウェット/ドライエッチング技術2022

    • 著者名/発表者名
      服部 毅、浜口智志、唐橋一浩 他
    • 総ページ数
      300
    • 出版者
      (株)R&D支援センター
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [図書] 第29回プラズマエレクトロニクス講習会;プラズマプロセスの最前線.最先端プラズマプロセスのシミュレーション2018

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 総ページ数
      21
    • 出版者
      応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
    • ISBN
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [図書] Plasma Medical Science, Chap. 6.62018

    • 著者名/発表者名
      Shoko Nishihara and Satoshi Hamaguchi
    • 総ページ数
      7
    • 出版者
      Academic Press
    • ISBN
      0128150041
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [図書] Plasma Medical Science2018

    • 著者名/発表者名
      Kazumasa Ikuse and Satoshi Hamaguchi (co-authors)
    • 出版者
      Academic Press, Elsevier
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [図書] 第29回プラズマエレクトロニクス講習会;プラズマプロセスの最前線.最先端プラズマプロセスのシミュ レーション2018

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 総ページ数
      21
    • 出版者
      応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
    • ISBN
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18753
  • [図書] 高度物理刺激と生体応答2017

    • 著者名/発表者名
      浜口智志 (共著)
    • 総ページ数
      197
    • 出版者
      養賢堂
    • ISBN
      9784842505626
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [図書] 1542 Eighth International Conference on Atomic and Molecular Data and Their Applications ICAMDATA-2012(Chemically reactive species in liquids generated by atmospheric-pressure plasmas and their roles in plasma medicine)2013

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi(ed. by John D. Gillaspy, Wolfgang L. Wiese, and Yuri A. Podpaly)
    • 出版者
      AIP Conf. Proc
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [図書] ケミカルエンジニヤリングvol.58(プラズマ医療の最新動向)2013

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [図書] パリティ1月号(プラズマの医療応用)2013

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [図書] プラズマ原子分子過程ハンドブック2011

    • 著者名/発表者名
      浜口智志、村上泉、加藤太治
    • 総ページ数
      394
    • 出版者
      大阪大学出版会
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [図書] プラズマ原子分子過程ハンドブック2011

    • 著者名/発表者名
      浜口智志、村上 泉、加藤太治
    • 総ページ数
      394
    • 出版者
      大阪大学出版会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [図書] プラズマ原子分子過程ハンドブック2011

    • 著者名/発表者名
      浜口智志、村上泉、加藤太治
    • 総ページ数
      394
    • 出版者
      大阪大学出版会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [図書] ドライ・ウエットエッチング技術全集2009

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 出版者
      技術情報協会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [図書] 第13回プラズマエレクトロニクス サマースクールテキスト2007

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 出版者
      応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会(印刷中)
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Surface chemical reactions of etch stop prevention in plasma-enhanced atomic layer etching of silicon nitride2024

    • 著者名/発表者名
      Tercero Jomar U.、Hirata Akiko、Isobe Michiro、Karahashi Kazuhiro、Fukasawa Masanaga、Hamaguchi Satoshi
    • 雑誌名

      Surface and Coatings Technology

      巻: 477 ページ: 130365-130365

    • DOI

      10.1016/j.surfcoat.2023.130365

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [雑誌論文] Foundations of machine learning for low-temperature plasmas: methods and case studies2023

    • 著者名/発表者名
      Bonzanini Angelo D、Shao Ketong、Graves David B、Hamaguchi Satoshi、Mesbah Ali
    • 雑誌名

      Plasma Sources Science and Technology

      巻: 32 号: 2 ページ: 024003-024003

    • DOI

      10.1088/1361-6595/acb28c

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [雑誌論文] 2022 Review of Data-Driven Plasma Science2023

    • 著者名/発表者名
      Anirudh Rushil、Archibald Rick、Asif M. Salman、Becker Markus M.、Benkadda Sadruddin、Hamaguchi Satoshi、Yamada Hiroshi、Yokoyama Tatsuya et al.
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Plasma Science

      巻: 51 号: 7 ページ: 1750-1838

    • DOI

      10.1109/tps.2023.3268170

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K20426, KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [雑誌論文] Inert-gas ion scattering at grazing incidence on smooth and rough Si and SiO2 surfaces2023

    • 著者名/発表者名
      Cagomoc Charisse Marie D.、Isobe Michiro、Hudson Eric A.、Hamaguchi Satoshi
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science and Technology A

      巻: 41 号: 2 ページ: 023003-023003

    • DOI

      10.1116/6.0002381

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453, KAKENHI-PROJECT-20J20961
  • [雑誌論文] Spectroscopic analysis improvement using convolutional neural networks2023

    • 著者名/発表者名
      Saura N、Garrido D、Benkadda S、Ibano K、Ueda Y、Hamaguchi S
    • 雑誌名

      Journal of Physics D: Applied Physics

      巻: 56 号: 35 ページ: 354001-354001

    • DOI

      10.1088/1361-6463/acd261

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [雑誌論文] First-principles simulation of optical emission spectra for low-pressure argon plasmas and its experimental validation2023

    • 著者名/発表者名
      Jenina Arellano Fatima、Gyulai Morton、Donko Zoltan、Hartmann Peter、Tsankov Tsanko V、Czarnetzki Uwe、Hamaguchi Satoshi
    • 雑誌名

      Plasma Sources Science and Technology

      巻: 32 号: 12 ページ: 125007-125007

    • DOI

      10.1088/1361-6595/ad0ede

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [雑誌論文] Molecular dynamics simulation of amine formation in plasma-enhanced chemical vapor deposition with hydrocarbon and amino radicals2023

    • 著者名/発表者名
      Harumningtyas Anjar Anggraini、Ito Tomoko、Isobe Michiro、Zajickova Lenka、Hamaguchi Satoshi
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science and Technology A

      巻: 41 号: 6

    • DOI

      10.1116/6.0002978

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [雑誌論文] Monolayer Graphene, a perfect hub for the study of out-of-equilibrium phenomena in plasma-surface interactions2023

    • 著者名/発表者名
      P. Vinchon, S. Hamaguchi and L. Stafford
    • 雑誌名

      Proceedings of International Symposium on Plasma Chemistry

      巻: N

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23KF0049
  • [雑誌論文] Molecular dynamics study of SiO2 nanohole etching by fluorocarbon ions2023

    • 著者名/発表者名
      Cagomoc Charisse Marie D.、Isobe Michiro、Hamaguchi Satoshi
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science and Technology A

      巻: 41 号: 2 ページ: 023001-023001

    • DOI

      10.1116/6.0002380

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453, KAKENHI-PROJECT-20J20961
  • [雑誌論文] Global numerical simulation of chemical reactions in phosphate-buffered saline (PBS) exposed to atmospheric-pressure plasmas2023

    • 著者名/発表者名
      Alfianto Enggar、Ikuse Kazumasa、Hamaguchi Satoshi
    • 雑誌名

      Plasma Sources Science and Technology

      巻: 32 号: 8 ページ: 085014-085014

    • DOI

      10.1088/1361-6595/aceeae

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [雑誌論文] High-throughput SiN ALE: surface reaction and ion-induced damage generation mechanisms2023

    • 著者名/発表者名
      Hirata Akiko、Fukasawa Masanaga、Tercero Jomar Unico、Kugimiya Katsuhisa、Hagimoto Yoshiya、Karahashi Kazuhiro、Hamaguchi Satoshi、Iwamoto Hayato
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 62 号: SI ページ: SI1015-SI1015

    • DOI

      10.35848/1347-4065/accde6

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [雑誌論文] Low-energy ion irradiation effects on chlorine desorption in plasma-enhanced atomic layer deposition (PEALD) for silicon nitride2022

    • 著者名/発表者名
      Ito Tomoko、Kita Hidekazu、Karahashi Kazuhiro、Hamaguchi Satoshi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 61 号: SI ページ: SI1011-SI1011

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac629b

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [雑誌論文] The 2021 release of the Quantemol database (QDB) of plasma chemistries and reactions2022

    • 著者名/発表者名
      Tennyson Jonathan、Mohr Sebastian、Hanicinec M、Dzarasova Anna、Smith Carrick、Waddington Sarah、Liu Bingqing、Alves Luis L、Bartschat Klaus、Bogaerts Annemie、Engelmann Sebastian U、Gans Timo、Gibson Andrew R、Hamaguchi Satoshi、
    • 雑誌名

      Plasma Sources Science and Technology

      巻: 31 号: 9 ページ: 095020-095020

    • DOI

      10.1088/1361-6595/ac907e

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [雑誌論文] Why are physical sputtering yields similar for incident ions with different masses??physical sputtering yields of the Lennard-Jones system2022

    • 著者名/発表者名
      Mauchamp Nicolas A、Hamaguchi Satoshi
    • 雑誌名

      Journal of Physics D: Applied Physics

      巻: 55 号: 22 ページ: 225209-225209

    • DOI

      10.1088/1361-6463/ac57dc

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [雑誌論文] The 2022 Plasma Roadmap: low temperature plasma science and technology2022

    • 著者名/発表者名
      Adamovich I,Agarwal S,Ahedo E,Alves LL,Baalrud S,Babaeva N,Bogaerts A,Bourdon A,Bruggeman PJ,Canal C,Choi E H,Coulombe S,Donko Z,Graves DB,Hamaguchi S,Hegemann D,Hori M et al
    • 雑誌名

      Journal of Physics D: Applied Physics

      巻: 55 号: 37 ページ: 373001-373001

    • DOI

      10.1088/1361-6463/ac5e1c

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H05462, KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [雑誌論文] Roles of the reaction boundary layer and long diffusion of stable reactive nitrogen species (RNS) in plasma-irradiated water as an oxidizing media - numerical simulation study2022

    • 著者名/発表者名
      Ikuse Kazumasa、Hamaguchi Satoshi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 61 号: 7 ページ: 076002-076002

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac7371

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [雑誌論文] Foundations of atomic-level plasma processing in nanoelectronics2022

    • 著者名/発表者名
      Arts Karsten、Hamaguchi Satoshi、Ito Tomoko、Karahashi Kazuhiro、Knoops Harm C M、Mackus Adriaan J M、(Erwin) Kessels Wilhelmus M M
    • 雑誌名

      Plasma Sources Science and Technology

      巻: 31 号: 10 ページ: 103002-103002

    • DOI

      10.1088/1361-6595/ac95bc

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [雑誌論文] Five-step plasma-enhanced atomic layer etching of silicon nitride with a stable etched amount per cycle2022

    • 著者名/発表者名
      Hirata Akiko、Fukasawa Masanaga、Tercero Jomar U.、Kugimiya Katsuhisa、Hagimoto Yoshiya、Karahashi Kazuhiro、Hamaguchi Satoshi、Iwamoto Hayato
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 61 号: 6 ページ: 066002-066002

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac61f6

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [雑誌論文] Molecular dynamics simulation of Si trench etching with SiO2 hard masks2022

    • 著者名/発表者名
      Mauchamp Nicolas A.、Hamaguchi Satoshi
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science and Technology A

      巻: 40 号: 5 ページ: 053004-053004

    • DOI

      10.1116/6.0002003

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [雑誌論文] Improving penalized semi supervised nonnegative matrix factorization result’s confidence using deep residual learning approach in spectrum analysis2022

    • 著者名/発表者名
      Saura Nathaniel、Mastumoto Koh、Benkadda Sadruddin、Ibano Kenzo、Lee Heun Tae、Ueda Yoshio、Hamaguchi Satoshi
    • 雑誌名

      Proc. 2022 International Conference on Electrical, Computer and Energy Technologies (ICECET)

      巻: 0 ページ: 1-6

    • DOI

      10.1109/icecet55527.2022.9873493

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [雑誌論文] Self-sputtering of the Lennard-Jones crystal2022

    • 著者名/発表者名
      Mauchamp Nicolas A.、Ikuse Kazumasa、Isobe Michiro、Hamaguchi Satoshi
    • 雑誌名

      Physics of Plasmas

      巻: 29 号: 2 ページ: 023507-023507

    • DOI

      10.1063/5.0077762

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [雑誌論文] Molecular dynamics simulation of oxide-nitride bilayer etching with energetic fluorocarbon ions2022

    • 著者名/発表者名
      Cagomoc Charisse Marie D.、Isobe Michiro、Hudson Eric A.、Hamaguchi Satoshi
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science and Technology A

      巻: 40 号: 6 ページ: 063006-063006

    • DOI

      10.1116/6.0002182

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453, KAKENHI-PROJECT-20J20961
  • [雑誌論文] Structural and electrical characteristics of ion-induced Si damage during atomic layer etching2022

    • 著者名/発表者名
      Hirata Akiko、Fukasawa Masanaga、Kugimiya Katsuhisa、Karahashi Kazuhiro、Hamaguchi Satoshi、Hagimoto Yoshiya、Iwamoto Hayato
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 61 号: SI ページ: SI1003-SI1003

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac6052

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [雑誌論文] Science-based, data-driven developments in plasma processing for material synthesis and device-integration technologies2022

    • 著者名/発表者名
      Kambara Makoto、Kawaguchi Satoru、Lee Hae June、Ikuse Kazumasa、Hamaguchi Satoshi、Ohmori Takeshi、Ishikawa Kenji
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 62 号: SA ページ: SA0803-SA0803

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac9189

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04451, KAKENHI-PROJECT-21H04453, KAKENHI-PROJECT-21H01073
  • [雑誌論文] Monitoring of nonthermal plasma degradation of phthalates by ion mobility spectrometry2021

    • 著者名/発表者名
      Moravsky Ladislav、Michalczuk Bartosz、Hrda Jana、Hamaguchi Satoshi、Matejcik Stefan
    • 雑誌名

      Plasma Processes and Polymers

      巻: 18 号: 7 ページ: 2100032-2100032

    • DOI

      10.1002/ppap.202100032

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [雑誌論文] Surface damage formation during atomic layer etching of silicon with chlorine adsorption2021

    • 著者名/発表者名
      Tinacba Erin Joy Capdos、Isobe Michiro、Hamaguchi Satoshi
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science & Technology A

      巻: 39 号: 4 ページ: 042603-042603

    • DOI

      10.1116/6.0001117

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [雑誌論文] エッチング表面反応の実験的理論的アプローチ2021

    • 著者名/発表者名
      唐橋 一浩, 伊藤 智子, 浜口 智志
    • 雑誌名

      応用物理学会誌「応用物理」

      巻: 91 ページ: 164-168

    • NAID

      130008165355

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [雑誌論文] 機械学習を利用したプラズマ材料プロセッシング2021

    • 著者名/発表者名
      幾世和将、 浜口智志
    • 雑誌名

      プラズマエレクトロニクス分科会会報

      巻: 74 ページ: 3-7

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [雑誌論文] 難エッチング材料に対する原子層エッチング反応解析2021

    • 著者名/発表者名
      伊藤智子,唐橋一浩,浜口智志
    • 雑誌名

      プラズマ・核融合学会誌

      巻: 97 ページ: 522-527

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [雑誌論文] Development of a DC-plasma source for surface functionalization by amino groups2021

    • 著者名/発表者名
      Harumningtyas Anjar Anggraini、Suprapto、Suprihatin Hari、Aziz Ihwanul、Andriyanti Wiwien、Sujitno Tjipto、Purwadi Agus、Hamaguchi Satoshi
    • 雑誌名

      AIP Conference Proceedings

      巻: 11 ページ: 020018-020018

    • DOI

      10.1063/5.0066318

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [雑誌論文] Erratum: “Formation and desorption of nickel hexafluoroacetylacetonate Ni(hfac)2 on a nickel oxide surface in atomic layer etching processes” [J. Vac. Sci. Technol. A 38, 052602 (2020)]2021

    • 著者名/発表者名
      Basher Abdulrahman H.、Krstic Marjan、Fink Karin、Ito Tomoko、Karahashi Kazuhiro、Wenzel Wolfgang、Hamaguchi Satoshi
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science and Technology A

      巻: 39 号: 5 ページ: 057001-057001

    • DOI

      10.1116/6.0001319

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453, KAKENHI-PROJECT-20J10393
  • [雑誌論文] Molecular dynamics simulation for reactive ion etching of Si and SiO2 by SF5+ ions2021

    • 著者名/発表者名
      Tinacba Erin Joy Capdos、Ito Tomoko、Karahashi Kazuhiro、Isobe Michiro、Hamaguchi Satoshi
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science & Technology B

      巻: 39 号: 4 ページ: 043203-043203

    • DOI

      10.1116/6.0001230

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [雑誌論文] Evaluation of nickel self-sputtering yields by molecular-dynamics simulation2021

    • 著者名/発表者名
      Mauchamp Nicolas A.、Isobe Michiro、Hamaguchi Satoshi
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science & Technology A

      巻: 39 号: 4 ページ: 043005-043005

    • DOI

      10.1116/6.0000979

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [雑誌論文] Stability of hexafluoroacetylacetone molecules on metallic and oxidized nickel surfaces in atomic-layer-etching processes2020

    • 著者名/発表者名
      Basher Abdulrahman H.、Krstic Marjan、Takeuchi Takae、Isobe Michiro、Ito Tomoko、Kiuchi Masato、Karahashi Kazuhiro、Wenzel Wolfgang、Hamaguchi Satoshi
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science & Technology A

      巻: 38 号: 2 ページ: 022610-022610

    • DOI

      10.1116/1.5127532

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18526, KAKENHI-PROJECT-15H05736, KAKENHI-PROJECT-18K18753, KAKENHI-PROJECT-20J10393
  • [雑誌論文] Experimental and numerical analysis of the effects of ion bombardment in silicon oxide (SiO2) plasma enhanced atomic layer deposition (PEALD) processes2020

    • 著者名/発表者名
      Li Hu、Ito Tomoko、Karahashi Kazuhiro、Kagaya Munehito、Moriya Tsuyoshi、Matsukuma Masaaki、Hamaguchi Satoshi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 59 号: SJ ページ: SJJA01-SJJA01

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ab8681

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736, KAKENHI-PROJECT-18K18753
  • [雑誌論文] On-wafer monitoring and control of ion energy distribution for damage minimization in atomic layer etching processes2020

    • 著者名/発表者名
      Hirata A.、Fukasawa M.、Kugimiya K.、Nagaoka K.、Karahashi K.、Hamaguchi S.、Iwamoto H.
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 59 号: SJ ページ: SJJC01-SJJC01

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ab7baa

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [雑誌論文] 小特集 プラズマ・インフォマティクス:データ駆動科学のプラズマへの応用 6. まとめ2019

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 雑誌名

      プラズマ・核融合学会誌

      巻: 95 ページ: 560-561

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18753
  • [雑誌論文] Molybdenum Capping Layer Effect on Electromigration Failure of Plasma Etched Copper Lines2019

    • 著者名/発表者名
      Su Jia Quan、Li Mingqian、Kuo Yue、Hamaguchi Satoshi
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 92 号: 5 ページ: 39-46

    • DOI

      10.1149/09205.0039ecst

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [雑誌論文] Effects of excitation voltage pulse shape on the characteristics of atmospheric-pressure nanosecond discharges2019

    • 著者名/発表者名
      Donko Zoltan、Hamaguchi Satoshi、Gans Timo
    • 雑誌名

      Plasma Sources Science and Technology

      巻: 28 号: 7 ページ: 075004-075004

    • DOI

      10.1088/1361-6595/ab270e

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736, KAKENHI-PROJECT-18K18753
  • [雑誌論文] プラズマ・インフォマティクス: プラズマ科学におけるデータ駆動科学の応用2019

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 雑誌名

      静電気学会誌

      巻: 43 ページ: 198-202

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18753
  • [雑誌論文] プラズマ・インフォマティクス:プラズマ科学におけるデータ駆動科学の応用2019

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 雑誌名

      静電気学会誌

      巻: 43 ページ: 198-202

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [雑誌論文] Molecular dynamics simulation of Si and SiO2 reactive ion etching by fluorine-rich ion species2019

    • 著者名/発表者名
      Capdos Tinacba Erin Joy、Isobe Michiro、Karahashi Kazuhiro、Hamaguchi Satoshi
    • 雑誌名

      Surface and Coatings Technology

      巻: 380 ページ: 125032-125032

    • DOI

      10.1016/j.surfcoat.2019.125032

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736, KAKENHI-PROJECT-18K18753
  • [雑誌論文] 小特集 プラズマ・インフォマティクス:データ駆動科学のプラズマへの応用 1. はじめに2019

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 雑誌名

      プラズマ・核融合学会誌

      巻: 95 ページ: 535-536

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18753
  • [雑誌論文] 小特集 プラズマ・インフォマティクス:データ駆動科学のプラズマへの応用 3. 機械学習によるプラズマエッチング率予測2019

    • 著者名/発表者名
      木野日織、幾世和将、DAM Hieu Chi、浜口智志
    • 雑誌名

      プラズマ・核融合学会誌

      巻: 95 ページ: 542-547

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18753
  • [雑誌論文] 小特集 プラズマ・インフォマティクス : データ駆動科学のプラズマへの応用 3. 機械学習によるプラズマエッチング率予測2019

    • 著者名/発表者名
      木野日織、幾世和将、DAM Hieu Chi, 浜口智志
    • 雑誌名

      プラズマ・核融合学会誌

      巻: 95 ページ: 542-547

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [雑誌論文] 小特集 プラズマ・インフォマティクス: データ駆動科学のプラズマへの応用 6. まとめ2019

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 雑誌名

      プラズマ・核融合学会誌

      巻: 95 ページ: 560-561

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [雑誌論文] Special issue: Plasmas for microfabrication2019

    • 著者名/発表者名
      Hamaguchi Satoshi、Agarwal Sumit、Zajickova Lenka、Wertheimer Michael R.
    • 雑誌名

      Plasma Processes and Polymers

      巻: 16 号: 9 ページ: 1990001-1990001

    • DOI

      10.1002/ppap.201990001

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [雑誌論文] Damage recovery and low‐damage etching of ITO in H2/CO plasma: Effects of hydrogen or oxygen2019

    • 著者名/発表者名
      Hirata Akiko、Fukasawa Masanaga、Kugimiya Katsuhisa、Karahashi Kazuhiro、Hamaguchi Satoshi、Nagaoka Kojiro
    • 雑誌名

      Plasma Processes and Polymers

      巻: 16 号: 9 ページ: 1900029-1900029

    • DOI

      10.1002/ppap.201900029

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [雑誌論文] 小特集 プラズマ・インフォマティクス: データ駆動科学のプラズマへの応用 1. はじめに2019

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 雑誌名

      プラズマ・核融合学会誌

      巻: 95 ページ: 535-536

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [雑誌論文] 数値シミュレーション技術の今後2019

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 雑誌名

      静電気学会誌

      巻: 43 ページ: 197-197

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18753
  • [雑誌論文] プラズマ液体相互作用の理論・数値シミュレーション2018

    • 著者名/発表者名
      浜口智志、幾世和将
    • 雑誌名

      静電気学会誌

      巻: 42 ページ: 118-123

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [雑誌論文] Effects of Hydrogen on the Chemically Enhanced Etching of Tin-doped Indium Oxide (ITO),2018

    • 著者名/発表者名
      Hu Li, Kazuhiro Karahashi, Pascal Friederich, Karin Fink, Masanaga Fukasawa, Akiko Hirata, Kazunori Nagahata, Tetsuya Tatsumi, Wolfgang Wenzel, and Satoshi Hamaguchi,
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 印刷中

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [雑誌論文] The effect of photoemission on nanosecond helium microdischarges at atmospheric pressure2018

    • 著者名/発表者名
      Zoltan Donko, Satoshi Hamaguchi, Timo Gans
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys.

      巻: 印刷中

    • NAID

      120006955438

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [雑誌論文] Ion energy and angular distributions in low-pressure capacitive oxygen RF discharges driven by tailored voltage waveforms,2018

    • 著者名/発表者名
      Zoltan Donko, Aranka Derzsi, Mate Vass, Julian Schulze, Edmund Schuengel, and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      Plasma Sources Sci. Technol.

      巻: 27 号: 10 ページ: 104008-104008

    • DOI

      10.1088/1361-6595/aae5c3

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18753, KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [雑誌論文] Impact of non-thermal plasma surface modification on porous calcium hydroxyapatite ceramics for bone regeneration2018

    • 著者名/発表者名
      Moriguchi Yu、Lee Dae-Sung、Chijimatsu Ryota、Thamina Khair、Masuda Kazuto、Itsuki Dai、Yoshikawa Hideki、Hamaguchi Satoshi、Myoui Akira
    • 雑誌名

      PLOS ONE

      巻: 13 号: 3 ページ: e0194303-e0194303

    • DOI

      10.1371/journal.pone.0194303

    • NAID

      120006955437

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [雑誌論文] The future for plasma science and technology2018

    • 著者名/発表者名
      Klaus-Dieter Weltmann, Juergen F. Kolb, Marcin Holub, Dirk Uhrlandt, Milan Simek, Kostya (Ken) Ostrikov, Satoshi Hamaguchi, Uros Cvelbar, Mirko Cernak, Bruce Locke, Alexander Fridman, Pietro Favia, Kurt Becker
    • 雑誌名

      Plasma Process Polym.

      巻: 16 号: 1

    • DOI

      10.1002/ppap.201800118

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18753, KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [雑誌論文] Foundations of low-temperature plasma enhanced materials synthesis and etching2018

    • 著者名/発表者名
      Oehrlein Gottlieb S、Hamaguchi Satoshi
    • 雑誌名

      Plasma Sources Science and Technology

      巻: 27 号: 2 ページ: 023001-023001

    • DOI

      10.1088/1361-6595/aaa86c

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [雑誌論文] Cyclic etching of ITO using H-induced modified-layer,2018

    • 著者名/発表者名
      A. Hirata, M. Fukasawa, K. Nagahata, H. Li, K. Karahashi, S. Hamaguchi, and T. Tatsumi,
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 印刷中

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [雑誌論文] Etching yields and surface reactions of amorphous carbon by fluorocarbon ion irradiation2017

    • 著者名/発表者名
      Karahashi Kazuhiro、Li Hu、Yamada Kentaro、Ito Tomoko、Numazawa Satoshi、Machida Ken、Ishikawa Kiyoshi、Hamaguchi Satoshi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 56 号: 6S2 ページ: 06HB09-06HB09

    • DOI

      10.7567/jjap.56.06hb09

    • NAID

      210000147956

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [雑誌論文] The 2017 Plasma Roadmap: Low temperature plasma science and technology2017

    • 著者名/発表者名
      I. Adanivich, Masaru Hori, et al.
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Applied Physics

      巻: 50 号: 32 ページ: 323001-323001

    • DOI

      10.1088/1361-6463/aa76f5

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-WRAPUP-17H06075, KAKENHI-PROJECT-15H05736, KAKENHI-PROJECT-26246035
  • [雑誌論文] Effects of hydrogen-damaged layer on tin-doped indium oxide etching by H2/Ar plasma2017

    • 著者名/発表者名
      Hirata Akiko、Fukasawa Masanaga、Shigetoshi Takushi、Okamoto Masaki、Nagahata Kazunori、Li Hu、Karahashi Kazuhiro、Hamaguchi Satoshi、Tatsumi Tetsuya
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 56 号: 6S2 ページ: 06HD02-06HD02

    • DOI

      10.7567/jjap.56.06hd02

    • NAID

      210000147961

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [雑誌論文] Effects of Hydrogen Ion Irradiation on Zinc Oxide Etch2017

    • 著者名/発表者名
      Hu Li, Kazuhiro Karahashi, Pascal Friederich, Karin Fink, Masanaga Fukasawa, Akiko Hirata, Kazunori Nagahata, Tetsuya Tatsumi, Wolfgang Wenzel, and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Tech. A

      巻: -

    • NAID

      120006955436

    • 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [雑誌論文] Effects of hydrogen ion irradiation on zinc oxide etching2017

    • 著者名/発表者名
      Li Hu、Karahashi Kazuhiro、Friederich Pascal、Fink Karin、Fukasawa Masanaga、Hirata Akiko、Nagahata Kazunori、Tatsumi Tetsuya、Wenzel Wolfgang、Hamaguchi Satoshi
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Tech. A

      巻: 35 号: 5

    • DOI

      10.1116/1.4982715

    • NAID

      120006955436

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736, KAKENHI-PROJECT-16J00613
  • [雑誌論文] Etching yields and surface reactions of amorphous carbon by fluorocarbon ion irradiation2017

    • 著者名/発表者名
      Kazuhiro Karahashi, Hu Li, Kentaro Yamada, Tomoko Ito, Satoshi Numazawa, Ken Machida, Kiyoshi Ishikawa, and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: -

    • NAID

      210000147956

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [雑誌論文] プラズマの医療応用と医療材料の表面処理技術2016

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 雑誌名

      光技術コンタクト

      巻: 54

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13608
  • [雑誌論文] Mass-selected ion beam study on etching characteristics of ZnO by methane-based plasma2016

    • 著者名/発表者名
      Hu Li, Kazuhiro Karahashi, Masanaga Fukusawa, Kazunori Nagahata, Tetsuya Tatsumi, and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 55

    • NAID

      210000146014

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [雑誌論文] プラズマの医療応用と医療材料の表面処理技術2016

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 雑誌名

      光技術コンタクト

      巻: 54 ページ: 0-0

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [雑誌論文] Molecular dynamics study on fluorine radical multilayer adsorption mechanism during Si, SiO2, and Si3N4 etching processes2016

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Numazawa, Ken Machida, Michiro Isobe, and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 55 号: 11 ページ: 116204-116204

    • DOI

      10.7567/jjap.55.116204

    • NAID

      210000147248

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [雑誌論文] Plasma-Liquid Interactions: A Review and Roadmap2016

    • 著者名/発表者名
      P.J. Bruggeman, M.J. Kushner, S. Hamaguchi et al.
    • 雑誌名

      Plasma Sources Sci. Technol.

      巻: 25 号: 5 ページ: 053002-053002

    • DOI

      10.1088/0963-0252/25/5/053002

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13608
  • [雑誌論文] Atmospheric-pressure plasma-irradiation inhibits mouse embryonic stem cell differentiation to mesoderm and endoderm but promotes ectoderm differentiation2016

    • 著者名/発表者名
      Taichi Miura, Satoshi Hamaguchi and Shoko Nishihara
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys.

      巻: 49

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13608
  • [雑誌論文] 高度物理刺激と生体反応(1) ― 第1章 高度物理刺激の生成法と計測・予測 ―2015

    • 著者名/発表者名
      佐藤岳彦、金澤誠司、浜口智志、小宮敦樹
    • 雑誌名

      機械の研究

      巻: 67 ページ: 673-683

    • NAID

      40020544576

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13608
  • [雑誌論文] Correlation between dry Etching Resistance of Ta masks and the oxidation states of the surface oxide layers2015

    • 著者名/発表者名
      Makoto Satake, Masaki Yamada, Hu Li, Kazuhiro Karahashi, and Satoshi Hamaguchi,
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Tech.

      巻: 33

    • NAID

      120006955433

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [雑誌論文] 高度物理刺激と生体反応(1) ― 第1章 高度物理刺激の生成法と計測・予測 ―2015

    • 著者名/発表者名
      佐藤岳彦、金澤誠司、浜口智志、小宮敦樹
    • 雑誌名

      機械の研究

      巻: 67 ページ: 673-683

    • NAID

      40020544576

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [雑誌論文] 高 度 物 理 刺 激 と 生 体 反 応2015

    • 著者名/発表者名
      佐藤岳彦,金澤誠司, 浜口智志, 小宮敦樹
    • 雑誌名

      機械の研究

      巻: 67 ページ: 1-1

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [雑誌論文] 新規反応触媒開発を目指したゼオライトへのインジウム担持の試み2015

    • 著者名/発表者名
      吉村智, 木内正人, 西本能弘, 安田誠, 馬場章夫, 杢野由明, 杉本敏司, 浜口 智志
    • 雑誌名

      スマートプロセス学会誌

      巻: 4 ページ: 228-233

    • NAID

      130005263569

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [雑誌論文] Numerical simulation of atomic-layer oxidation of silicon by oxygen gas cluster beams2015

    • 著者名/発表者名
      Kohei Mizotani, Michiro Isobe, Kazuhiro Karahashi, and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      Plasma and Fusion Research

      巻: 10

    • NAID

      130005286895

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [雑誌論文] Sputtering yield and surface chemical modification of tin-doped indium oxide (ITO) in hydrocarbonbased plasma etching2015

    • 著者名/発表者名
      Hu Li, Kazuhiro Karahashi, Masanaga Fukusawa, Kazunori Nagahata, Tetsuya Tatsumi, and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Tech. A

      巻: 33

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [雑誌論文] 低温大気圧プラズマによる滅菌技術2014

    • 著者名/発表者名
      伊藤智子 浜口智志
    • 雑誌名

      空気清浄

      巻: 52 ページ: 295-304

    • NAID

      40020292349

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [雑誌論文] Characterization of polymer layer formation during SiO2/SiN etching by fluoro/hydrofluorocarbon plasmas,2014

    • 著者名/発表者名
      Keita Miyake, Tomoko Ito, Michiro Isobe, Kazuhiro Karahashi, Masanaga Fukasawa, Kazunori Nagahata, Tetsuya Tatsumi, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 53

    • NAID

      210000143490

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [雑誌論文] Low energy indium or gallium ion implantations to SiO2 thin films for development of novel catalysts2014

    • 著者名/発表者名
      S. Yoshimura, M. Kiuchi, Y. Nishimoto, M. Yasuda, A. Baba, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      e-J. Surf. Sci. Nanotech.

      巻: 12 ページ: 197-202

    • NAID

      120006955429

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [雑誌論文] Ion beam experiments for the study on plasma-surface interactions2014

    • 著者名/発表者名
      Kazuhiro Karahashi and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys.

      巻: 00

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [雑誌論文] Proliferation assay of mouse embryonic stem (ES) cells exposed to atmospheric pressure plasmas at room temperature2014

    • 著者名/発表者名
      Taichi Miura, Ayumi Ando, Kazumi Hirano, Chika Ogura, Tatsuya Kanazawa, Masamichi Ikeguchi, Atsushi Seki, Shoko Nishihara, and Satoshi Hamaguchi,
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys.

      巻: 47 号: 44 ページ: 445402-445402

    • DOI

      10.1088/0022-3727/47/44/445402

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506, KAKENHI-PUBLICLY-25108514
  • [雑誌論文] Low energy indium or gallium ion implantations to SiO2 thin films for development of novel catalysts2014

    • 著者名/発表者名
      S. Yoshimura, M. Kiuchi, Y. Nishimoto, M. Yasuda, A. Baba, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      e-J. Surf. Sci. Nanotech.

      巻: 12 ページ: 197-202

    • NAID

      120006955429

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [雑誌論文] Characterization of polymer layer formation during SiO2/SiN etching by fluoro/hydrofluorocarbon plasmas2014

    • 著者名/発表者名
      Keita Miyake, Tomoko Ito, Michiro Isobe, Kazuhiro Karahashi, Masanaga Fukasawa, Kazunori Nagahata, Tetsuya Tatsumi, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 53

    • NAID

      210000143490

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [雑誌論文] on beam experiments for the study on plasma-surface interactions2014

    • 著者名/発表者名
      Kazuhiro Karahashi and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys.

      巻: 0

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [雑誌論文] Chemically reactive species in liquids generated by atmospheric-pressure plasmas and their roles in plasma medicine2013

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi,
    • 雑誌名

      AIP Conf. Proc.

      巻: 1542 ページ: 214-222

    • NAID

      120006957321

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [雑誌論文] Dependence of catalytic properties of indium implanted SiO2 thin films on the film-substrate temperature during indium ion implantation2013

    • 著者名/発表者名
      S. Yoshimura, K. Ikuse, K. Kiuchi, Y. Kishimoto, M. Yasuda, A. Baba, and S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      Nucl. Instrum. Meth. B

      巻: 315 ページ: 222-226

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [雑誌論文] Dependence of catalytic properties of indium implanted SiO2 thin films on the film-substrate temperature during indium ion implantation2013

    • 著者名/発表者名
      S. Yoshimura, K. Ikuse, K. Kiuchi, Y. Kishimoto, M. Yasuda, A. Baba, and S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      Nucl. Instrum. Meth. B

      巻: 315 ページ: 222-226

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [雑誌論文] Quantum Cascade Laser (QCL) Absorption Spectroscopy with the Amplitude-to-Time Conversion (ATTC) Technique for Atmospheric-Pressure Plasmas2013

    • 著者名/発表者名
      Takayoshi Yumii, Noriaki Kimura and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys.

      巻: 未定

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Grid-pattern formation of extracellular matrix on silicon by low-temperature atmospheric-pressure plasma jets for neural network biochip fabrication2013

    • 著者名/発表者名
      Ayumi Ando, Hidetaka Uno, Tsuneo Urisu, and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      Appl. Surf. Sci

      巻: 276 ページ: 1-6

    • DOI

      10.1016/j.apsusc.2013.02.001

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] プラズマの医療応用2013

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 雑誌名

      パリティ

      巻: 1月号 ページ: 16-17

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [雑誌論文] Chemically reactive species in liquids generated by atmospheric-pressure plasmas and their roles in plasma medicine,2013

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi,
    • 雑誌名

      AIP Conf. Proc.

      巻: 1542 ページ: 214-222

    • NAID

      120006957321

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [雑誌論文] プラズマの医療応用2013

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 雑誌名

      パリティ

      巻: 1月号 ページ: 16-17

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [雑誌論文] Oxidation of Nitric Oxide by Atmospheric Pressure Plasma in a Resonant Plasma Reactor2013

    • 著者名/発表者名
      Takayoshi Yumii, Takashi Yoshida,Kyoji Doi,Noriaki Kimura, and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys.

      巻: 46

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [雑誌論文] プラズマ医療の最新動向2013

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 雑誌名

      ケミカルエンジニヤリング

      巻: 58 ページ: 915-921

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [雑誌論文] Surface Modification of Poly(methyl methacrylate) by Hydrogen-Plasma Exposure and Its Sputtering Characteristics by Ultraviolet Light Irradiation2013

    • 著者名/発表者名
      Satoru Yoshimura, Kazumasa Ikuse, Satoshi Sugimoto, Kensuke Murai, Kuniaki Honjo, Masato Kiuchi, and Satoshi Hamaguchi,
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 52

    • NAID

      210000142776

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [雑誌論文] Efficient modification of the surface properties of interconnected porous hydroxyapatite by low-pressure low-frequency plasma treatment to promote its biological performance2013

    • 著者名/発表者名
      Dae-Sung Lee, Yu Moriguchi, Akira Myoui, Hideki Yoshikawa and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys.

      巻: 45

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [雑誌論文] プラズマ医療の最新動向2013

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 雑誌名

      ケミカルエンジニヤリング

      巻: 58 ページ: 915-921

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [雑誌論文] Quantum Cascade Laser (QCL) Absorption Spectroscopy with the Amplitude-to-Time Conversion (ATTC) Technique for Atmospheric-Pressure Plasmas2013

    • 著者名/発表者名
      Takayoshi Yumii, Noriaki Kimura and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys.

      巻: 未定

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [雑誌論文] Characteristics of silicon etching by silicon chloride ions2013

    • 著者名/発表者名
      Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Song-Yun Kang, and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Technol. A.

      巻: 31

    • NAID

      120006955427

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [雑誌論文] Grid-pattern formation of extracellular matrix on silicon by low-temperature atmospheric-pressure plasma jets for neural network biochip fabrication2013

    • 著者名/発表者名
      Ayumi Ando, Hidetaka Uno, Tsuneo Uris, and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      Appl. Surf. Sci.

      巻: 276

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [雑誌論文] Oxidation of Nitric Oxide by Atmospheric Pressure Plasma in a Resonant Plasma Reactor,2013

    • 著者名/発表者名
      Takayoshi Yumii, Takashi Yoshida,Kyoji Doi,Noriaki Kimura, and Satoshi Hamaguchi,
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys.

      巻: 46 ページ: 1352021-7

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [雑誌論文] Oxidation of Nitric Oxide by Atmospheric Pressure Plasma in a Resonant Plasma Reactor2013

    • 著者名/発表者名
      Takayoshi Yumii, Takashi Yoshida,Kyoji Doi,Noriaki Kimura, and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys.

      巻: 46

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Chemically reactive species in liquids generated by atmospheric-pressure plasmas and their roles in plasma medicine2013

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      AIP Conf. Proc.

      巻: 未定

    • NAID

      120006957321

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Surface Modification of Poly(methyl methacrylate) by Hydrogen-Plasma Exposure and Its Sputtering Characteristics by Ultraviolet Light Irradiation2013

    • 著者名/発表者名
      Satoru Yoshimura, Kazumasa Ikuse, Satoshi Sugimoto, Kensuke Murai, Kuniaki Honjo, Masato Kiuchi, and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 52 ページ: 0902011-4

    • NAID

      210000142776

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [雑誌論文] Quantum Cascade Laser (QCL) Absorption Spectroscopy with the Amplitude-to-Time Conversion (ATTC) Technique for Atmospheric-Pressure Plasmas2013

    • 著者名/発表者名
      Takayoshi Yumii, Noriaki Kimura, and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys.

      巻: 113 ページ: 2131011-10

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [雑誌論文] Grid-pattern formation of extracellular matrix on silicon by low-temperature atmospheric-pressure plasma jets for neural network biochip fabrication2013

    • 著者名/発表者名
      Ayumi Ando, Hidetaka Uno, Tsuneo Uris, and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      Appl. Surf. Sci.

      巻: 未定

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Grid-pattern formation of extracellular matrix on silicon by low-temperature atmospheric-pressure plasma jets for neural network biochip fabrication2013

    • 著者名/発表者名
      Ayumi Ando, Hidetaka Uno, Tsuneo Uris, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      Appl. Surf. Sci.

      巻: 276(1) ページ: 1-6

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [雑誌論文] Quantum Cascade Laser (QCL) Absorption Spectroscopy with the Amplitude-to-Time Conversion (ATTC) Technique for Atmospheric-Pressure Plasmas2013

    • 著者名/発表者名
      Takayoshi Yumii, Noriaki Kimura, and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys.

      巻: 113

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [雑誌論文] ポリメタクリル酸メチル樹脂の水素プラズマ暴露と低エネルギーアルゴンイオンビームによるエッチング2013

    • 著者名/発表者名
      吉村智, 幾世和将, 杉本敏司, 村井健介, 木内正人, 浜口智志
    • 雑誌名

      J. Vac. Soc. Jpn.

      巻: 56 ページ: 129-132

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [雑誌論文] Chemically reactive species in liquids generated by atmospheric-pressure plasmas and their roles in plasma medicine2013

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      AIP Conf. Proc.

      巻: 未定

    • NAID

      120006957321

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [雑誌論文] ポリメタクリル酸メチル樹脂の水素プラズマ暴露と低エネルギーアルゴンイオンビームによるエッチング2013

    • 著者名/発表者名
      吉村智, 幾世和将, 杉本敏司, 村井健介, 木内正人, 浜口智志
    • 雑誌名

      J. Vac. Soc. Jpn.

      巻: 56 ページ: 129-132

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [雑誌論文] Characteristics of silicon etching by silicon chloride ions2013

    • 著者名/発表者名
      Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Song-Yun Kang, and Satoshi Hamaguchi,
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Technol. A

      巻: 31

    • NAID

      120006955427

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [雑誌論文] Grid-pattern formation of extracellular matrix on silicon by low-temperature atmospheric-pressure plasma jets for neural network biochip fabrication2013

    • 著者名/発表者名
      Ayumi Ando, Hidetaka Uno, Tsuneo Uris, and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      Appl. Surf. Sci.

      巻: 未定

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [雑誌論文] Oxidation of Nitric Oxide by Atmospheric Pressure Plasma in a Resonant Plasma Reactor2013

    • 著者名/発表者名
      Takayoshi Yumii, Takashi Yoshida,Kyoji Doi,Noriaki Kimura, and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys.

      巻: 46

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [雑誌論文] Characteristics of silicon etching by silicon chloride ions2013

    • 著者名/発表者名
      Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Song-Yun Kang, and Satoshi Hamaguchi,
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Technol. A

      巻: 31 ページ: 0313011-5

    • NAID

      120006955427

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [雑誌論文] Grid-pattern formation of extracellular matrix on silicon by low-temperature atmospheric-pressure plasma jets for neural network biochip fabrication2013

    • 著者名/発表者名
      Ayumi Ando, Hidetaka Uno, Tsuneo Uris, and Satoshi Hamaguchi,
    • 雑誌名

      Appl. Surf. Sci.

      巻: 276 ページ: 1-6

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [雑誌論文] Characteristics of silicon etching by silicon chloride ions2013

    • 著者名/発表者名
      Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Song-Yun Kang, and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Technol. A.

      巻: 31

    • NAID

      120006955427

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Microcavity array plasma system for remote chemical processing at atmospheric pressure2012

    • 著者名/発表者名
      Dae-Sung Lee, Satoshi Hamaguchi, Osamu Sakai, Sung-Jin Park and J Gary Eden,
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys.

      巻: 45

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Si damage due to oblique-angle ion impact relevant for vertical gate etching processes2012

    • 著者名/発表者名
      Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Song-Yun Kang, and Satoshi Hamaguchi,
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 51

    • NAID

      210000141076

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [雑誌論文] プラズマの医療応用2012

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 雑誌名

      パリティ

      巻: 1月号 ページ: 16-17

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Low energy metal ion beam production with a modified Freeman-type ion source for development of novel catalysts2012

    • 著者名/発表者名
      S.Yoshimura, M.Kiuchi, Y.Nishimoto, M.Yasuda, A.Baba, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      e-J.Surf.Sci.Nanotech.(2012)

      巻: (掲載確定)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] Extracellular Matrix Patterning for Cell Alignment by Atmospheric Pressure Plasma Jets2012

    • 著者名/発表者名
      Ayumi Ando, Toshifumi Asano, Md.Abu Sayed, Ryugo Tero, Katsuhisa Kitano, Tsuneo Urisu, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys.

      巻: 51

    • NAID

      40019199845

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] Dependence of catalytic properties of Indium-implanted SiO2 thin films on the energy and dose of incident Indium ions2012

    • 著者名/発表者名
      S. Yoshimura, M. Kiuchi, Y. Nishimoto, M. Yasuda, A. Baba, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 520

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Sputtering yields of magnesium hydroxide [Mg(OH)2] by noble-gas ion bombardment2012

    • 著者名/発表者名
      Kazumasa Ikuse, Satoru Yoshimura, Masato Kiuchi, Masaharu Terauchi, Mikihiko Nishitani, and Satoshi Hamaguch
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys.

      巻: 45

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [雑誌論文] Low energy metal ion beam production with a modified Freeman-type ion source for development of novel catalysts2012

    • 著者名/発表者名
      S. Yoshimura, M. Kiuchi, Y. Nishimoto, M. Yasuda, A. Baba, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      e-J. Surf. Sci. Nanotech.

      巻: 10 ページ: 139-144

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Sputtering yields and surface modification of poly(methyl methacrylate) (PMMA) by low-energy Ar+/CF3+ ion bombardment with vacuum ultraviolet (VUV) photon irradiation2012

    • 著者名/発表者名
      S. Yoshimura, Y. Tsukazaki, M. Kiuchi, S. Sugimoto, S. Hamaguchi,.
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys.

      巻: 45

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [雑誌論文] Efficient modification of the surface properties of interconnected porous hydroxyapatite by low-pressure low-frequency plasma treatment to promote its biological performance2012

    • 著者名/発表者名
      Dae-Sung Lee, Yu Moriguchi, Akira Myoui, Hideki Yoshikawa, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Phys. D : Appl. Phys.

      巻: 45(37)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [雑誌論文] Sputtering yields of CaO, SrO, and BaO by monochromatic noble gas ion bombardment2012

    • 著者名/発表者名
      S.Yoshimura, K.Hine, M.Kiuchi, J.Hashimoto, M.Terauchi, Y.Honda, M.Nishitani, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys.

      巻: (掲載予定)

    • NAID

      210000072700

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Si damage due to oblique-angle ion impact relevant for vertical gate etching processes2012

    • 著者名/発表者名
      Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Song-Yun Kang, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys.

      巻: (掲載確定)

    • NAID

      210000141076

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] Sputtering yields of magnesium hydroxide [Mg(OH)2] by noble-gas ion bombardment2012

    • 著者名/発表者名
      Kazumasa Ikuse, Satoru Yoshimura, Masato Kiuchi, Masaharu Terauchi, Mikihiko Nishitani, and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys.

      巻: 45

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Efficient modification of the surface properties of interconnected porous hydroxyapatite by low-pressure low-frequency plasma treatment to promote its biological performance2012

    • 著者名/発表者名
      Dae-Sung Lee, Yu Moriguchi, Akira Myoui, Hideki Yoshikawa and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys.

      巻: 45

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Si damage due to oblique-angle ion impact relevant for vertical gate etching processes2012

    • 著者名/発表者名
      Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Song-Yun Kang, and Satoshi Hamaguchi,
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 51

    • NAID

      210000141076

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Microcavity array plasma system for remote chemical processing at atmospheric pressure2012

    • 著者名/発表者名
      Dae-Sung Lee, Satoshi Hamaguchi, Osamu Sakai, Sung-Jin Park and J Gary Eden,
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys.

      巻: 45

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [雑誌論文] Low energy metal ion beam production with a modified Freeman-type ion source for development of novel catalysts2012

    • 著者名/発表者名
      S.Yoshimura, M.Kiuchi, Y.Nishimoto, M.Yasuda, A.Baba, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      e-J.Surf.Sci.Nanotech.(2012)

      巻: (掲載予定)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Sputtering yields of CaO, SrO, and BaO by monochromatic noble gas ion bombardment2012

    • 著者名/発表者名
      S.Yoshimura, K.Hine, M.Kiuchi, J.Hashimoto, M.Terauchi, Y.Honda, M.Nishitani, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys.

      巻: (掲載確定)

    • NAID

      210000072700

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] Low energy metal ion beam production with a modified Freeman-type ion source for development of novel catalysts2012

    • 著者名/発表者名
      S. Yoshimura, M. Kiuchi, Y. Nishimoto, M. Yasuda, A. Baba, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      e-J. Surf. Sci. Nanotech.

      巻: 10 ページ: 139-144

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [雑誌論文] Efficient modification of the surface properties of interconnected porous hydroxyapatite by low-pressure low-frequency plasma treatment to promote its biological performance2012

    • 著者名/発表者名
      Dae-Sung Lee, Yu Moriguchi, Akira Myoui, Hideki Yoshikawa and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys.

      巻: 45

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [雑誌論文] Si damage due to oblique-angle ion impact relevant for vertical gate etching processes2012

    • 著者名/発表者名
      Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Song-Yun Kang, and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys

      巻: 51 号: 8S1 ページ: 08HB01-08HB01

    • DOI

      10.1143/jjap.51.08hb01

    • NAID

      210000141076

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Dependence of catalytic properties of Indium-implanted SiO2 thin films on the energy and dose of incident Indium ions2012

    • 著者名/発表者名
      S.Yoshimura, M.Kiuchi, Y.Nishimoto, M.Yasuda, A.Baba, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: (掲載確定)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] Dependence of catalytic properties of Indium-implanted SiO2 thin films on the energy and dose of incident Indium ions2012

    • 著者名/発表者名
      S. Yoshimura, M. Kiuchi, Y. Nishimoto, M. Yasuda, A. Baba, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 520 ページ: 4894-4897

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [雑誌論文] Extracellular Matrix Patterning for Cell Alignment by Atmospheric Pressure Plasma Jets2012

    • 著者名/発表者名
      Ayumi Ando, Toshifumi Asano, Md.Abu Saved, Ryugo Tero, Katsuhisa Kitano, Tsuneo Urisu, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys.

      巻: 51

    • NAID

      40019199845

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Microcavity array plasma system for remote chemical processing at atmospheric pressure2012

    • 著者名/発表者名
      Dae-Sung Lee, Satoshi Hamaguchi, Osamu Sakai, Sung-Jin Park and J Gary Eden
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys.

      巻: 45

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [雑誌論文] Sputtering yields and surface modification of poly(methyl methacrylate) (PMMA) by low-energy, Ar+/CF3+ ion bombardment with vacuum ultraviolet (VUV) photon irradiation2012

    • 著者名/発表者名
      S. Yoshimura, Y. Tsukazaki, M. Kiuchi, S.Sugimoto, and S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Phys. D; Appl. Phys

      巻: 45 号: 50 ページ: 1-10

    • DOI

      10.1088/0022-3727/45/50/505201

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075, KAKENHI-PROJECT-22540506, KAKENHI-PROJECT-22612002
  • [雑誌論文] Dependence of catalytic properties of Indium-implanted SiO2 thin films on the energy and dose of incident Indium ions2012

    • 著者名/発表者名
      S.Yoshimura, M.Kiuchi, Y.Nishimoto, M.Yasuda, A.Baba, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: (掲載予定)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Sputtering yields of CaO, SrO, and BaO by monochromatic noble gas ion bombardment2012

    • 著者名/発表者名
      S. Yoshimura, K. Hine, M. Kiuchi, J. Hashimoto, M. Terauchi, Y. Honda, M.Nishitani, and S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 51

    • NAID

      210000072700

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [雑誌論文] Si damage due to oblique-angle ion impact relevant for vertical gate etching processes2012

    • 著者名/発表者名
      Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Song-Yun Kane, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys.

      巻: (掲載予定)

    • NAID

      210000141076

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Sputtering yields and surface modification of poly(methyl methacrylate) (PMMA) by low-energy Ar+/CF3+ ion bombardment with vacuum ultraviolet (VUV) photon irradiation2012

    • 著者名/発表者名
      S. Yoshimura, Y. Tsukazaki, M. Kiuchi, S. Sugimoto, S. Hamaguchi,.
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys.

      巻: 45

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Sputtering yields of CaO, SrO, and BaO by monochromatic noble gas ion bombardment2012

    • 著者名/発表者名
      S. Yoshimura, K. Hine, M. Kiuchi, J. Hashimoto, M. Terauchi, Y. Honda, M.Nishitani, and S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 51

    • NAID

      210000072700

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Plasma Microchannel and Jet Enhanced by an Array of Ellipsoidal Microcavities2011

    • 著者名/発表者名
      D.-S.Lee, O.Sakai, S.-J.Park, J.G.Eden, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      IEEE Trans.Plasma Sci.

      巻: 39 ページ: 2690-2691

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] プラズマ医療におけるプラズマ生体相互作用2011

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 雑誌名

      J.Plasma Fusion Res.

      巻: 87 ページ: 696-703

    • NAID

      110008750649

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] Electron density measurement of inductively coupled plasmas by terahertz time-domain spectroscopy (THz-TDS)2011

    • 著者名/発表者名
      Ayumi Ando, Tomoko Kurose, Vivien Reymond, Katsuhisa Kitano, Hideaki Kitahara, Keisuke Takano, Masahiko Tani, Masanori Hangyo, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Appl.Phys.

      巻: 110

    • NAID

      120006955425

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] 講座原子分子データベースの構築と利用:はじめに:-原子分子データベースの概要とプラズマ研究への応用-2011

    • 著者名/発表者名
      村上泉, 長壁正樹, 池田勝則, 西浦正樹, 小田昭紀, 菅原広剛, 浜口智志
    • 雑誌名

      J.Plasma Fusion Res

      巻: 88 ページ: 35-47

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] Plasma Microchannel and Jet Enhanced by an Array of Ellipsoidal Microcavities2011

    • 著者名/発表者名
      D.-S.Lee, O.Sakai, S.-J.Park, J.G.Eden, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      IEEE Trans.Plasma Sci.

      巻: 39 ページ: 2690-2691

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Numerical analyses of hydrogen plasma generation by nanosecond pulsed high voltages at near-atmospheric pressure2011

    • 著者名/発表者名
      Chieh-Wen Lo and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys

      巻: 44 号: 37 ページ: 375201-375201

    • DOI

      10.1088/0022-3727/44/37/375201

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Hydrogen effects in hydrofluorocarbon plasma etching of silicon nitride : Beam study with CF^+, CF2^+, CHF_2^+, and CH_2F^+ ions2011

    • 著者名/発表者名
      Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Masanaga Fukasawa, Tetsuya Tatsumi, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Vac.Sci.Technol.A

      巻: 29

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Experimental evaluation of CaO, SrO, and BaO sputtering yields by Ne or Xe ions2011

    • 著者名/発表者名
      S.Yoshimura, K.Hine, M.Kiuchi, J.Hashimoto, M.Terauchi, Y.Honda, M.Nishitani, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Phys.D : Appl.Phys

      巻: 44

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Electron density measurement of inductively coupled plasmas by terahertz time-domain spectroscopy (THz-TDS)2011

    • 著者名/発表者名
      Ayumi Ando, Tomoko Kurose, Vivien Reymond, Katsuhisa Kitano, Hideaki Kitahara, Keisuke Takano, Masahiko Tani, Masanori Hangyo, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Appl.Phys.

      巻: 110

    • NAID

      120006955425

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] 講座原子分子データベースの構築と利用:はじめに:-原子分子データベースの概要とプラズマ研究への応用-2011

    • 著者名/発表者名
      村上泉, 長壁正樹, 池田勝則, 西浦正樹, 小田昭紀, 菅原広剛, 浜口智志
    • 雑誌名

      J.Plasma Fusion Res

      巻: 88 ページ: 35-47

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Si recess of Poly-Si Gate Etching : Damage Enhanced by Ion Assisted Oxygen Diffusion2011

    • 著者名/発表者名
      Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Masanaga Fukasawa, Tetsuya Tatsumi, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys.

      巻: 50

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] Dynamics of Near-Atmospheric Pressure Hydrogen Plasmas Driven by Pulsed High Voltages2011

    • 著者名/発表者名
      Chieh-Wen Lo, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      IEEE Trans.Plasma Sci

      巻: 39 ページ: 2100-2101

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Arrangement of PC12 cells on a silicon chip via extracellular matrix (ECM) layer patterning by atmospheric pressure plasmas2011

    • 著者名/発表者名
      Ayumi Ando, Hidetaka Uno, Toshifumi Asano, Tsuneo Urisu, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      Plasma Fusion Res.

      巻: 6

    • NAID

      130002059489

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Numerical analyses of hydrogen plasma generation by nanosecond pulsed high voltages at near-atmospheric pressure2011

    • 著者名/発表者名
      Chieh-Wen Lo, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Phys.D : Appl.Phys.

      巻: 44

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Hydrogen effects in hydrofluorocarbon plasma etching of silicon nitride : Beam study with CF^+, CF2^+, CHF_2^+, and CH_2F^+ ions2011

    • 著者名/発表者名
      Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Masanaga Fukasawa, Tetsuya Tatsumi, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Vac.Sci.Technol.A

      巻: 29

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] Rapid Breakdown-Mechanisms of Open Air Nanosecond Dielectric Barrier Discharges2011

    • 著者名/発表者名
      Tsuyohito Ito, Tatsuya Kanazawa, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      Phys.Rev.Lett.

      巻: 107

    • NAID

      120006955423

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] Improvement of Hydrophilicity of Interconnected Porous Hydroxyapatite by Dielectric Barrier Discharge Plasma Treatment2011

    • 著者名/発表者名
      Dae-Sung Lee, Yu Moriguchi, Kiyoshi Okada, Akira Myoui, Hideki Yoshikawa, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      IEEE Trans.Plasma Sci.

      巻: 39 ページ: 2166-2167

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Improvement of Hydrophilicity of Interconnected Porous Hydroxyapatite by Dielectric Barrier Discharge Plasma Treatment2011

    • 著者名/発表者名
      Dae-Sung Lee, Yu Moriguchi, Kiyoshi Okada, Akira Myoui, Hideki Yoshikawa, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      IEEE Trans.Plasma Sci.

      巻: 39 ページ: 2166-2167

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] Rapid Breakdown Mechanisms of Open Air Nanosecond Dielectric Barrier Discharges2011

    • 著者名/発表者名
      Tsuyohito Ito, Tatsuya Kanazawa, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      Phys.Rev.Lett.

      巻: 107

    • NAID

      120006955423

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Experimental evaluation of CaO, SrO, and BaO sputtering yields by Ne or Xe ions2011

    • 著者名/発表者名
      S.Yoshimura, K.Hine, M.Kiuchi, J.Hashimoto, M.Terauchi, Y.Honda, M.Nishitani, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Phys.D : Appl.Phys

      巻: 44

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] Dynamics of Near-Atmospheric Pressure Hydrogen Plasmas Driven by Pulsed High Voltages2011

    • 著者名/発表者名
      Chieh-Wen Lo, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      IEEE Trans.Plasma Sci

      巻: 39 ページ: 2100-2101

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] Si recess of Poly-Si Gate Etching : Damage Enhanced by Ion Assisted Oxygen Diffusion2011

    • 著者名/発表者名
      Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Masanaga Fukasawa, Tetsuya Tatsumi, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys.

      巻: 50

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Numerical analyses of hydrogen plasma generation by nanosecond pulsed high voltages at near-atmospheric pressure2011

    • 著者名/発表者名
      Chieh-Wen Lo, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Phys.D : Appl.Phys.

      巻: 44

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] Arrangement of PC12 cells on a silicon chip via extracellular matrix (ECM) layer patterning by atmospheric pressure plasmas2011

    • 著者名/発表者名
      Ayumi Ando, Hidetaka Uno, Toshifumi Asano, Tsuneo Urisu, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      Plasma Fusion Res.

      巻: 6

    • NAID

      130002059489

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] Micro pattern formation of extracellular-matrix (ECM) layers by atmospheric-pressure plasmas and cell culture on the patterned EGMs2011

    • 著者名/発表者名
      Ayumi Ando, Tomoko Kurose, Vivien Reymond, Katsuhisa Kitano, Hideaki Kitahara, Keisuke Takano, Masahiko Tani, Masanori Hangyo, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Phys.D : Appl.Phys.

      巻: 44

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] プラズマ医療におけるプラズマ生体相互作用2011

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 雑誌名

      J.Plasma Fusion Res.

      巻: 87 ページ: 696-703

    • NAID

      110008750649

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Hydrogen effects in hydrofluorocarbon plasma etching of silicon nitride: Beam study with CF+, CF2+, CHF2+, and CH2F+ ions2011

    • 著者名/発表者名
      Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Masanaga Fukasawa, Tetsuya Tatsumi, and Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Technol. A

      巻: 29 号: 5

    • DOI

      10.1116/1.3610981

    • NAID

      120006955424

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Micro pattern formation of extracellular-matrix (ECM) layers by atmospheric-pressure plasmas and cell culture on the patterned ECMs2011

    • 著者名/発表者名
      Ayumi Ando, Tomoko Kurose, Vivien Reymond, Katsuhisa Kitano, Hideaki Kitahara, Keisuke Takaao, Masahiko Tani, Masanori Hangyo, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Phys.D : Appl.Phys.

      巻: 44

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] Effect of light irradiation from inductively coupled Ar plasma on etching yields of SiO_2 film by CF_3 ion beam injections2010

    • 著者名/発表者名
      S.Yoshimura, Y.Tsukazaki, K.Ikuse, M.Kiuchi, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Phys.: Conference Series

      巻: 232

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] Protein pattering by atmospheric-pressure plasmas2010

    • 著者名/発表者名
      A.Ando, A.Sayed, T.Asano, R.Tero, K.Kitano, T.Urisu, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Phys.: Conf.Series

      巻: 227

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] Novel catalysts : indium implanted SiO2 thin films2010

    • 著者名/発表者名
      S.Yoshimura, K.Hine, M.Kiuchi, Y.Nishimoto, M.Yasuda, A.Baba, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Appl.Surf.Sci.

      巻: 257 ページ: 192-196

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] Facile Creation of Biointerface on Commodity Plastic Surface by Combination of Atmospheric Plasma and Reactive Polymer Coating2010

    • 著者名/発表者名
      Naoki Kanayama, Swapan Kumar Saha, Naoki Nakayama, Jun Nakanishi, Katsuhisa Kitano, Satoshi Hamaguchi, Yukiko Nagasaki
    • 雑誌名

      J.Photopolymer Sci.Tech.

      巻: 23 ページ: 579-583

    • NAID

      130004833370

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Effects of Hydrogen Incorporation in the Formation of Hydrogenated Diamond-like Carbon Films2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Murakami, K.Hosaka, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Phys. : Conf.Series

      巻: 232

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Particle-in-Cell Simulations of High-Pressure Hydrogen Plasmas Driven by Nano-second Pulsed High-Voltages2010

    • 著者名/発表者名
      C.W.Lo, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Phys. : Conf.Series

      巻: 232

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Reverse Propagation of Atmospheric Pressure Plasma Jets2010

    • 著者名/発表者名
      Tsuyohito Ito, Aurelien Raddenzati, Artabaze Shams, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys.

      巻: 49

    • NAID

      40017341196

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Electric field measurements in near-atmospheric pressure nitrogen and air based on a four-wave mixing scheme2010

    • 著者名/発表者名
      S.Mueller, T.Ito, K.Kobayashi, D.Luggenholscher, U.Czarnetzki, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Phys. : Conf.Series

      巻: 227

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Electron density measurement for plasmas by Terahertz time-domain spectroscopy2010

    • 著者名/発表者名
      A.Ando, H.Kitahara, T.Kurose, K.Kitano, K.Takano, M.Tani, M.Hangyo, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Phys. : Conf.Series

      巻: 227

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Evaluation of Si etching yields by Cl^+, Br^+, and HBr^+ ion irradiation2010

    • 著者名/発表者名
      Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Song-Yun Kang, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Phys.: Conf.Series

      巻: 232

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] Novel catalysts : indium implanted SiO2 thin films2010

    • 著者名/発表者名
      S.Yoshimura, K.Hine, M.Kiuchi, Y.Nishimoto, M.Yasuda, A.Baba, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Appl.Surf.Sci.

      巻: 257 ページ: 192-196

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Molecular dynamics simulation of the formation of sp3 hybridized bonds in hydrogenated diamond-like carbon deposition processes2010

    • 著者名/発表者名
      Y. Murakami, S. Horiguchi, and S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      Phys. Rev. E

      巻: 81 号: 4

    • DOI

      10.1103/physreve.81.041602

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Molecular dynamics simulation of the formation of sp3 hybridized bonds in hydrogenated diamond-like carbon deposition processes2010

    • 著者名/発表者名
      Y. Murakami, S. Horiguchi, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      Phys. Rev. E. 81

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文] Effects of Hydrogen Incorporation in the Formation of Hydrogenated Diamond-like Carbon Films2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Murakami, K.Hosaka, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Phys.: Conf.Series

      巻: 232

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] Electric field measurements in near-atmospheric pressure nitrogen and air based on a four-wave mixing scheme2010

    • 著者名/発表者名
      S.Mueller, T.Ito, K.Kobayashi, D.Luggenholscher, U.Czarnetzki, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Phys.: Conf.Series

      巻: 227

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] Electron density measurement for plasmas by Terahertz time-domain spectroscopy2010

    • 著者名/発表者名
      A.Ando, H.Kitahara, T.Kurose, K.Kitano, K.Takano, M.Tani, M.Hangyo, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Phys.: Conf.Series

      巻: 227

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] Evaluation of Si etching yields by Cl^+, Br^+, and HBr^+ ion irradiation2010

    • 著者名/発表者名
      Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Song-Yun Kang, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Phys. : Conf.Series

      巻: 232

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Protein pattering by atmospheric-pressure plasmas2010

    • 著者名/発表者名
      A.Ando, A.Sayed, T.Asano, R.Tero, K.Kitano, T.Urisu, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Phys. : Conf.Series

      巻: 227

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Molecular dynamics simulation of the formation of sp3 hybridized bonds in hydrogenated diamond-like carbon deposition processes2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Murakami, S.Horiguchi, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Phys.Rev.E.

      巻: 81

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] Plasma-surface Interactions in Material Processing2010

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Phys.Conf.Series

      巻: 257

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] Effect of light irradiation from inductively coupled Ar plasma on etching yields of SiO_2 film by CF_3 ion beam injections2010

    • 著者名/発表者名
      S.Yoshimura, Y.Tsukazaki, K.Ikuse, M.Kiuchi, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Phys. : Conference Series

      巻: 232

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Plasma-surface Interactions in Material Processing2010

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Phys. : Conf.Series

      巻: 257

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Particle-in-Cell Simulations of High-Pressure Hydrogen Plasmas Driven by Nano-second Pulsed High-Voltages2010

    • 著者名/発表者名
      C.W.Lo, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Phys.: Conf.Series

      巻: 232

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] Molecular dynamics simulation of the formation of sp3 hybridized bonds in hydrogenated diamond-like carbon deposition processes2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Murakami, S.Horiguchi, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Phys.Rev.E.

      巻: 81

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [雑誌論文] Reverse Propagation of Atmospheric Pressure Plasma Jets2010

    • 著者名/発表者名
      Tsuyohito Ito, Aurelien Raddenzati, Artabaze Shams, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys.

      巻: 49

    • NAID

      40017341196

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] Facile Creation of Biointerface on Commodity Plastic Surface by Combination of Atmospheric Plasma and Reactive Polymer Coating2010

    • 著者名/発表者名
      Naoki Kanayama, Swapan Kumar Saha, Naoki Nakayama, Jun Nakanishi, Katsuhisa Kitano, Satoshi Hamaguchi, Yukiko Nagasaki
    • 雑誌名

      J.Photopolymer Sci.Tecb.

      巻: 23 ページ: 579-583

    • NAID

      130004833370

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [雑誌論文] 分子動力学シミュレーションニよる硬質炭素膜形成メカニズムの解析2009

    • 著者名/発表者名
      村上泰夫、浜口智志
    • 雑誌名

      J.Plasma Fusion Res. 85

      ページ: 674-679

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文] Sputtering yields of Au by low-energy noble gas ion bombard ment2009

    • 著者名/発表者名
      K.Ikuse, S.Yoshimura, K.Hine, M.Kiuchi, S.Hamaguchi,
    • 雑誌名

      J.Phys.D : Appl.Phys. 42

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文] CF_3^+イオンビームを用いたポリメタクリル酸メチル樹脂のエッチングにおける紫外光照射の効果2009

    • 著者名/発表者名
      幾世和将, 吉村智, 塚崎泰裕, 木内正人, 浜口智志
    • 雑誌名

      Journal of the Vacuum Society of Japan (印刷中)

    • NAID

      10024897826

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文] CF3+イオンビームを用いたポリメタクリル酸メチル樹脂のエッチングにおける紫外光照射の効果2009

    • 著者名/発表者名
      幾世和将, 吉村智, 塚崎泰裕, 木内正人, 浜口智志
    • 雑誌名

      J. Vac. Soc. Jpn. 52

      ページ: 127-130

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文] ドライエッチング表面解析 : 原子スケールアプローチ」浜口智志、小特集「ドライエッチングの科学と技術の新局面2009

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 雑誌名

      プラズマ核融合学会誌 85

      ページ: 177-184

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文] Atomic-Scale Numerical Simulations of Structural Properties in Carbon-Based Thin Film Deposition Processes,2009

    • 著者名/発表者名
      Yasuo Murakami, Seishi Horiguchi, Satoshi Hamaguchi
    • 雑誌名

      Proceedings of the 19th International Symposium on Plasma Chemistry, (ed.By A.von Keudell, J.Winter, M.Boke, V.Schlz-von der Gathen, July 26-31, 2009, Bochum, Germany) 1

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文] 「ドライエッチング表面解析:原子スケールアプローチ」小特集:ドライエッチングの科学と技術の新局面2009

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 雑誌名

      プラズマ核融合学会誌 85

      ページ: 177-184

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文] "Atomic-Scale Numerical Simulations of Structural Properties in Carbon-Based Thin Film Deposition Processes, " Proceedings of the 19th International Symposium on Plasma Chemistry2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Murakami, S. Horiguchi, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Winter, M. Boke, V. Schlz-von der Gathen

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文] Effect of Ultraviolet Light Irradiation on Etching Process of Poly(methylmethacrylate)by Ion Beam Injections2009

    • 著者名/発表者名
      S.Yoshimura, K.Ikuse, Y.Tsukazaki, M.Kiuchi, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Phys. : Conf.Series 191

      ページ: 120301-5

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文] Sputtering yields of Au by low-energy noble gas ion bombardment2009

    • 著者名/発表者名
      K. Ikuse, S. Yoshimura, K. Hine, M. Kiuchi, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys. 42

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文] ドライエッチング表面解析 : 原子スケールアプローチ2009

    • 著者名/発表者名
      浜口 智志
    • 雑誌名

      プラズマ核融合学会誌 (印刷中)

    • NAID

      110007227634

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文] 分子動力学シミュレーションによる硬質炭素膜形成メカニズムの解析2009

    • 著者名/発表者名
      村上泰夫、浜口智志
    • 雑誌名

      J. Plasma Fusion Res. 85

      ページ: 674-679

    • NAID

      110007468378

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文] Effect of Ultraviolet Light Irradiation on Etching Process of Poly(methyl methacrylate) by Ion Beam Injections2009

    • 著者名/発表者名
      S. Yoshimura, K. Ikuse, Y. Tsukazaki, M. Kiuchi, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Phys. :Conf. Series 191

      ページ: 0120301-5

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文]2009

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 雑誌名

      ドライ・ウエットエッチング技術全集(第3章第1節執筆担当)(技術情報協会)

      ページ: 221-237

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文] CF_3^+イオンビームを用いたポリメタクリル酸メチル樹脂のエッチングにおける紫外光照射の効果2009

    • 著者名/発表者名
      幾世和将, 吉村智, 塚崎泰裕, 木内正人, 浜口智志
    • 雑誌名

      J.Vac.Soc.Jpn. 52

      ページ: 127-130

    • NAID

      10024897826

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文] 光照射を重畳したCF_3イオンビームによるSiO_2エッチング率の測2008

    • 著者名/発表者名
      幾世和将, 吉村智, 滝澤敏史, 唐橋一浩, 木内 正人, 浜口智志
    • 雑誌名

      真空 (印刷中)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文] 低エネルギー質量分離イオンビーム照射装置を用いたSiO_2/Si基板へのインジウムイオン注入2008

    • 著者名/発表者名
      日根清裕, 吉村智, 唐橋一浩, 木内正人, 浜口智志
    • 雑誌名

      真空 (印刷中)

    • NAID

      10021157088

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文] Experimental evaluation of MgO sputtering yields by monochromatic Ne, Kr, or Xe ion beam2008

    • 著者名/発表者名
      K. Hine, S. Yoshimura, K. Ikuse, M. Kiuchi, J. Hashimoto, M. Terauchi, M. Nishitani, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 517

      ページ: 835-840

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文] Measurement of Au sputtering yields by Ar and He ions with a low-energy mass selected ion beam system2008

    • 著者名/発表者名
      K. Hine, S. Yoshimura, K. Ikuse, M. Kiuchi, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      Journal of Physics: Conference Series 106

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文] 低周波大気圧マイクロプラズマジェット2008

    • 著者名/発表者名
      北野勝久、 浜口智志
    • 雑誌名

      応用物理 77(印刷中)

    • NAID

      10021108982

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18030009
  • [雑誌論文] 光照射を重畳したCF3イオンビームによるSiO2エッチング率の測定2008

    • 著者名/発表者名
      幾世和将, 吉村智, 滝沢敏史, 唐橋一浩, 木内正人, 浜口智志
    • 雑誌名

      Journal of the Vacuum Society of Japan 51

      ページ: 158-161

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文] Measurement of sticking probability and sputtering yield of Au by low-energy mass selected ion beams with a quartz crystal microbalance2008

    • 著者名/発表者名
      K. Ikuse, S. Yoshimura, M. Kiuchi, K. Hine, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      Journal of Physics: Conference Series 106

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文] Measurement of Au sputtering yields by Ar and He ions with a low-energy mass selected ion beam system2008

    • 著者名/発表者名
      K. Hine, S. Yoshimura, K. Ikuse, M. Kiuchi, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      Journal of Physics : Conference Series 106

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文] 低エネルギー質量分離イオンビーム照射装置を用いたSiO_2/Si基板へのインジウムイオン注入2008

    • 著者名/発表者名
      幾世和将, 吉村智, 滝沢敏史, 唐橋一浩, 木内正人, 浜口智志
    • 雑誌名

      Journal of the Vacuum Society of Japan 51

      ページ: 218-220

    • NAID

      10021157088

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文] 低エネルギー質量分離イオンビーム照射装置を用いたSiO2/Si基板へのインジウムイオン注入2008

    • 著者名/発表者名
      幾世和将, 吉村智, 滝沢敏史, 唐橋一浩, 木内正人, 浜口智志
    • 雑誌名

      Journal of the Vacuum Society of Japan 51

      ページ: 218-220

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文] 光照射を重畳したCF_3イオンビームによるSiO_2エッチング率の測定2008

    • 著者名/発表者名
      幾世和将, 吉村智, 滝沢敏史, 唐橋一浩, 木内正人, 浜口智志
    • 雑誌名

      Journal of the Vacuum Society of Japan 51

      ページ: 158-161

    • NAID

      10021156954

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文] Measurement of sticking probability and sputtering yield of Au by low-energy mass selected ion beams with a quartz crystal microbalance2008

    • 著者名/発表者名
      K. Ikuse, S. Yoshimura, M. Kiuchi, K. Hine, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      Journal of Physics : Conference Series 106

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文] Energy Dependence of Crystalline Structure on Ion Beam Deposited Au Thin Films2007

    • 著者名/発表者名
      T.Takizawa, T.Maeda, M.Kiuchi, S.Yoshimura, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Phil.Mag. (in press)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Temporal evolution of ion fragment production from dimethylsilane by a hot tungsten wire and compounds deposited on the tungsten surface2007

    • 著者名/発表者名
      S.Yoshimura, A.Toh, M.Kiuchi, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. (印刷中)

    • NAID

      10018901450

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Molecular dynamics simulation analyses on injection angle dependence of SiO2 sputtering yields by fluorocarbon beams2007

    • 著者名/発表者名
      T.Kawase, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Thin Solid films (in press)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Synthesis of uniformly distributed metal nanoparticles with dispersion stability by nonequilibrium atmospheric plasma jets2007

    • 著者名/発表者名
      H., Furusho・D., Miyamoto・Y., Nagasaki・K., Kitano・S., Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Photopolymer Sci. Tech. 20

      ページ: 229-233

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18030009
  • [雑誌論文] Control of atomic layer degradation on Si substrate,2007

    • 著者名/発表者名
      Y.Nakamura, T.Tatsumi, S.Kobayashi, K.Kugimiya, T.Harano, A.Ando, T.Kawase, S.Hamaguchi, S.Iseda
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Tech. A (印刷中)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Molecular dynamics simulations of organic polymer dry etching at high substrate temperatures2007

    • 著者名/発表者名
      M.Yamashiro, H.Yamada, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. (印刷中)

    • NAID

      10018901408

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Measurement of Au Sputtering Yields by Neon with Low-Energy Mass Analyzed Ion Beam System2007

    • 著者名/発表者名
      K.Hine, S.Yoshimura, M.Kiuchi, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Shinku (in press) (in Japanese)

    • NAID

      10019928259

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Measurement of Magnesium Oxide Sputtering Yields by He and Ar Ions with a Low-Energy Mass-Selected Ion Beam System2007

    • 著者名/発表者名
      K. Hine, S. Yoshimura, K. Ikuse, M. Kiuchi, J. Hashimoto, M. T Terauchi, M. Nishitani, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Applied Phys. 46

    • NAID

      210000063805

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文] Energy Dependence of Crystalline Structure on Ion Beam Deposited Au Thin Films2007

    • 著者名/発表者名
      T.Takizawa, T.Maeda, M.Kiuchi, S.Yoshimura, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Phil. Mag. (印刷中)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Control of atomic layer degradation on Si substrate2007

    • 著者名/発表者名
      Y.Nakamura, T.Tatsumi, S.Kobayashi, K.Kugimiya, T.Harano, A.Ando, T.Kawase, S.Hamaguchi, S.Iseda
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Tech. A (印刷中)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Time evolution of electrode voltage distribution in large-area capacitively coupled plasmas2007

    • 著者名/発表者名
      M.Matsukuma, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Thin Solid films (印刷中)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Temporal evolution of ion fragment production from dimethylsilane by a hot tungsten wire and compounds deposited on the tungsten surface2007

    • 著者名/発表者名
      S.Yoshimura, A.Toh, M.Kiuchi, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. (in press)

    • NAID

      10018901450

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] 低エネルギー質量分離イオンビーム照射装置を用いたネオンによる金のスパッタ率の測定2007

    • 著者名/発表者名
      日根清裕, 吉村智, 木内正人, 浜口智志
    • 雑誌名

      真空 (印刷中)

    • NAID

      10019928259

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Atomic-level simulation of non-equilibrium surface chemical reactions under plasma-wall interaction2007

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi, M.Yamashiro, H.Yamada
    • 雑誌名

      Comp.Phys.Comm. (in press)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Measurement of Magnesium Oxide Sputtering Yields by He and Ar Ions with a Low-Energy Mass-Selected Ion Beam System2007

    • 著者名/発表者名
      K. Hine, S. Yoshimura, K. Ikuse, M. Kiuchi, J. Hashimoto, M. Terauchi, M. Nishitani, S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Applied Phys. 46

    • NAID

      210000063805

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文] Molecular dynamics simulations of organic polymer dry etching at high substrate temperatures2007

    • 著者名/発表者名
      M.Yamashiro, H.Yamada, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. (in press)

    • NAID

      10018901408

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Textbook for the 13th Plasma Electronics Summer School2007

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Plasma Electronics Division, Japan Society of Applied Physics (in press) (in Japanese)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Time evolution of electrode voltage distribution in large-area capacitively coupled plasmas2007

    • 著者名/発表者名
      M.Matsukuma, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Thin Solid films (in press)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Atomic-level simulation of non-equilibrium surface chemical reactions under plasma-wall interaction2007

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi, M.Yamashiro, H.Yamada
    • 雑誌名

      Comp. Phys. Comm. (印刷中)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] ドライエッチング・プロセスシミュレーション2007

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 雑誌名

      真空 (印刷中)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Molecular dynamics simulation analyses on injection angle dependence of SiO_2 sputtering yields by fluorocarbon beams2007

    • 著者名/発表者名
      T.Kawase, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Thin Solid films (印刷中)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Dry Etching Process Simulation2007

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Shinku (in press) (in Japanese)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Control of atomic layer degradation on Si substrate2007

    • 著者名/発表者名
      Y.Nakamura, T.Tatsumi, S.Kobayashi, K.Kugimiya, T.Harano, A.Ando, T.Kawase, S.Hamaguchi, S.Iseda
    • 雑誌名

      J.Vac.Sci.Tech.A (in press)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Numerical analysis of incident angle effects in reactive sputtering deposition of amorphous SiO_22006

    • 著者名/発表者名
      M.Taguchi, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 45 (10B)

      ページ: 8163-8167

    • NAID

      10018339149

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Fragment Ions of Dimethylsilane Produced by Hot Tungsten Wires2006

    • 著者名/発表者名
      S.Yoshimura, A.Toh, S.Sugimoto, M.Kiuchi, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 45 (10B)

      ページ: 8204-8207

    • NAID

      10018339336

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Molecular dynamics simulation study on substrate temperature dependence of sputtering yields for an organic polymer under ion bombardment2006

    • 著者名/発表者名
      M.Yamashiro, H.Yamada, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Appl.Phys. 101(4)

    • NAID

      120006955417

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Molecular dynamics study on Ar ion bombardment effects in amorphous SiO_2 deposition processes2006

    • 著者名/発表者名
      M.Taguchi, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys. 100 (12)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Fragment ions of methylsilane produced by hot tungsten wires2006

    • 著者名/発表者名
      S.Yoshimura, A.Toh, T.Maeda, S.Sugimoto, M.Kiuchi, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 45 (3A)

      ページ: 1813-1815

    • NAID

      40007177952

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Fragment Ions of Dimethylsilane Produced by Hot Tungsten Wires2006

    • 著者名/発表者名
      S.Yoshimura, A.Toh, S.Sugimoto, M.Kiuchi, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 45 (10B)

      ページ: 8204-8207

    • NAID

      10018339336

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Molecular dynamics study on Ar ion bombardment effects in amorphous SiO2 deposition processes2006

    • 著者名/発表者名
      M.Taguchi, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Appl.Phys. 100 (12)

    • NAID

      120006955416

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Molecular dynamics study on Ar ion bombardment effects in amorphous SiO_2 deposition processes,2006

    • 著者名/発表者名
      M.Taguchi, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys. 100 (12)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] フリーマン型イオン源におけるメチルシランのフラグメントイオンとタングステンワイヤ表面状態2006

    • 著者名/発表者名
      藤章至, 吉村智, 杉本敏司, 木内正人, 浜口智志
    • 雑誌名

      真空 49 (6)

      ページ: 383-385

    • NAID

      10017598622

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Temporal evolution of ion fragment production from methylsilane by a hot tungsten wire2006

    • 著者名/発表者名
      S.Yoshimura, A.Toh, T.Toyoshima, M.Kiuchi, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      J.Appl.Phys. 100 (9)

    • NAID

      120006955415

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Radio-Frequency (RF)-driven atmospheric-pressure plasmas in contact with liquid2006

    • 著者名/発表者名
      K.Kitano, H.Aoki, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 14(10B)

      ページ: 8294-8297

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18030009
  • [雑誌論文] Numerical analysis of incident angle effects in reactive sputtering deposition of amorphous SiO22006

    • 著者名/発表者名
      M.Taguchi, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 45(10B)

      ページ: 8163-8167

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Molecular dynamics simulation study on substrate temperature dependence of sputtering yields for an organic polymer underion bombardment2006

    • 著者名/発表者名
      M.Yamashiro, H.Yamada, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys. 101(4)

    • NAID

      120006955417

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Numerical analysis of incident angle effects in reactive sputtering deposition of amorphous SiO_22006

    • 著者名/発表者名
      M.Taguchi, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 45(10B)

      ページ: 8163-8167

    • NAID

      10018339149

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Fragment Ions Produced from Methylsilane by Hot Tungsten and Compounds Deposited on Tungsten Surface2006

    • 著者名/発表者名
      A.Toh, S.Yoshimura, S.Sugimoto, M.Kiuchi, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Shinku 49(6) (in Japanese)

      ページ: 383-385

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] 低エネルギー質量分離イオンビーム照射装置を用いた金の堆積率の測定2006

    • 著者名/発表者名
      日根清裕, 吉村智, 前田拓也, 木内正人, 浜口智志
    • 雑誌名

      真空 49 (3)

      ページ: 55-57

    • NAID

      10018133603

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Molecular dynamics simulation study on substrate temperature dependence of sputtering yields for an organic polymer under ion bombardment2006

    • 著者名/発表者名
      M.Yamashiro, H.Yamada, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys. 101 (4)

    • NAID

      120006955417

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Temporal evolution of ion fragment production from methylsilane by a hot tungsten wire2006

    • 著者名/発表者名
      S.Yoshimura, A.Toh, T.Toyoshima, M.Kiuchi, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys. 100 (9)

    • NAID

      120006955415

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Fragment ions of methylsilane produced by hot tungsten wires2006

    • 著者名/発表者名
      S.Yoshimura, A.Toh, T.Maeda, S.Sugimoto, M.Kiuchi, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 45

      ページ: 1813-1815

    • NAID

      40007177952

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Measurement of Au Deposition Rates with Low-Energy Mass Separated Ion Beam Deposition Apparatus2006

    • 著者名/発表者名
      K.Hine, S.Yoshimura, T.Maeda, M.Kiuchi, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Shinku 49(3) (in Japanese)

      ページ: 55-57

    • NAID

      10018133603

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Molecular dynamics simulation of the formation of sp3 hybridized bonds in hydrogenated diamond-like carbon deposition processes

    • 著者名/発表者名
      Y.Murakami, S.Horiguchi, S.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Phys.Rev.E (印刷中)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [雑誌論文] 低エネルギー質量分離イオンビーム照射装置を用いた金の堆積率の測定

    • 著者名/発表者名
      日根清裕, 吉村智, 前田拓也, 木内正人, 浜口智志
    • 雑誌名

      真空 (印刷中)

    • NAID

      10018133603

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17340174
  • [雑誌論文] Plasma generation inside externally supplied Ar bubbles in water

    • 著者名/発表者名
      H., Aoki・K., Kitano・S., Hamaguchi
    • 雑誌名

      Plasma Sources Science and Technology 17(in press)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18030009
  • [雑誌論文] Plasma generation inside externally supplied Ar bubbles in water

    • 著者名/発表者名
      H. Aoki, K. Kitano, and S. Hamaguchi
    • 雑誌名

      Plasma Sources Science and Technology 17(in press)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18654101
  • [産業財産権] Etching method for oxide semiconductor film2021

    • 発明者名
      Satoshi Hamaguchi et al.
    • 権利者名
      Satoshi Hamaguchi et al.
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2021
    • 取得年月日
      2022
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [産業財産権] 人工骨、及び人工骨の製造方法2021

    • 発明者名
      浜口 智志、出口 智子、他
    • 権利者名
      浜口 智志、出口 智子、他
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2021
    • 取得年月日
      2022
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [産業財産権] 酸化物半導体膜のエッチング方法2019

    • 発明者名
      平田瑛子、辰巳哲也、深沢正永、浜口智志、唐橋一浩
    • 権利者名
      ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2019-003234
    • 出願年月日
      2019
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [産業財産権] 人工骨、及び人工骨の製造方法2019

    • 発明者名
      浜口智志、出口智子、杦本敏司、海渡貴司、吉川秀樹、朝森千永子
    • 権利者名
      国立大学法人大阪大学、(株)Aimedic MMT
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2019
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [産業財産権] 人工骨、及び人工骨の製造方法2018

    • 発明者名
      浜口智志、出口智子、杦本敏司、吉川秀樹、海渡貴司、朝森千永子
    • 権利者名
      大阪大学、株式会社Aimedic MMT
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2018-150717
    • 出願年月日
      2018
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [産業財産権] 特願2014-412402014

    • 発明者名
      唐橋一浩、浜口智志、瀬木利夫、松尾二郎、木下啓蔵、溝谷浩平
    • 権利者名
      唐橋一浩、浜口智志、瀬木利夫、松尾二郎、木下啓蔵、溝谷浩平
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2014-041240
    • 出願年月日
      2014-03-04
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [産業財産権] エッチング方法および装置2014

    • 発明者名
      唐橋一浩、浜口智志、瀬木利夫、松尾二郎、木下啓蔵、溝谷浩平
    • 権利者名
      唐橋一浩、浜口智志、瀬木利夫、松尾二郎、木下啓蔵、溝谷浩平
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2014-041240
    • 出願年月日
      2014-03-04
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [産業財産権] エッチング方法および装置2014

    • 発明者名
      唐橋一浩、浜口智志、瀬木利夫、松尾二郎、木下啓蔵、溝谷浩平
    • 権利者名
      国立大学法人大阪大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2014-041240
    • 出願年月日
      2014-03-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [産業財産権] Plasma producing apparatus and method of plasma production2012

    • 発明者名
      K. Kitano, S. Hamaguchi, H. Aoki
    • 権利者名
      K. Kitano, S. Hamaguchi, H. Aoki
    • 産業財産権種類
      特許
    • 取得年月日
      2012
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [産業財産権] バイオセラミックスを含む人工骨の改質方法と、その方法で改質された人工骨2012

    • 発明者名
      浜口智志 吉川秀樹 他
    • 権利者名
      大阪大学
    • 産業財産権番号
      2012-085854
    • 出願年月日
      2012-04-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [産業財産権] バイオセラミックスを含む人工骨の改質方法と、その方法で改質された人工骨」2012

    • 発明者名
      浜口智志、吉川秀樹 他
    • 権利者名
      浜口智志、吉川秀樹 他
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2012-085854
    • 出願年月日
      2012-04-04
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [産業財産権] バイオセラミックスを含む人工骨の改質方法と、その方法で改質された人工骨2012

    • 発明者名
      浜口智志 吉川秀樹 他
    • 権利者名
      浜口智志 吉川秀樹 他
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2012-085854
    • 出願年月日
      2012-04-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [産業財産権] バイオセラミックスを含む人工骨の改質方法と、その方法で改質された人工骨2012

    • 発明者名
      浜口智志、吉川秀樹、名井陽、森口 悠、増田一仁、小嶋保次、大野信男、小泉 剛、時政大造
    • 権利者名
      国立大学法人大阪大学、株式会社電子技研
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2012-085854
    • 出願年月日
      2012-04-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [産業財産権] 人工骨、人工骨製造装置及び人工骨製造方法2011

    • 発明者名
      浜口智志 吉川秀樹 他、
    • 権利者名
      大阪大学
    • 出願年月日
      2011-09-16
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [産業財産権] 人工骨、人工骨製造装置及び人工骨製造方法2011

    • 発明者名
      浜口智志、森口悠、増田一仁、岡田潔、名井陽、吉川秀樹、李大成
    • 権利者名
      国立大学法人大阪大学
    • 出願年月日
      2011-09-16
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [産業財産権] 人工骨、人工骨製造装置及び人工骨製造方法2011

    • 発明者名
      浜口智志、森口悠、増田一仁、岡田潔、名井陽、吉川秀樹、李大成
    • 権利者名
      国立大学法人大阪大学
    • 出願年月日
      2011-09-16
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [産業財産権] 人工骨、人工骨製造装置及び人工骨製造方法2010

    • 発明者名
      浜口智志、森口悠、増田一仁、岡田潔、名井陽、吉川秀樹
    • 権利者名
      国立大学法人大阪大学
    • 産業財産権番号
      2010-207645
    • 出願年月日
      2010-09-16
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [産業財産権] 人工骨、人工骨製造装置及び人工骨製造方法2010

    • 発明者名
      浜口智志、森口悠、増田一仁、岡田潔、名井陽、吉川秀樹
    • 権利者名
      国立大学法人大阪大学
    • 産業財産権番号
      2010-207645
    • 出願年月日
      2010-09-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [産業財産権] 炭素膜の製造法2008

    • 発明者名
      浜口智志、村上泰夫
    • 権利者名
      大阪大学、キャノンアネルバ
    • 産業財産権番号
      2008-109129
    • 出願年月日
      2008-04-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [産業財産権] 炭素膜の製造法2008

    • 発明者名
      浜口智, 村上泰夫
    • 権利者名
      大阪大学, キャノンアネルバ
    • 産業財産権番号
      2008-109129
    • 出願年月日
      2008-04-18
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [産業財産権] プラズマ生成装置およびプラズマ生成方法2007

    • 発明者名
      北野勝久、青木裕紀、浜口智志
    • 権利者名
      財団法人大阪産業振興機構、国立大学法人大阪大学
    • 出願年月日
      2007-06-12
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18030009
  • [産業財産権] 殺菌方法および装置2007

    • 発明者名
      北野勝久、井川聡、浜口智志
    • 権利者名
      北野勝久、井川聡、浜口智志
    • 出願年月日
      2007-09-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18030009
  • [産業財産権] プラズマ生成装置およびプラズマ発生方法2006

    • 発明者名
      北野勝久, 浜口智志
    • 権利者名
      財団法人大阪産業振興機構, 国立大学法人大阪大学
    • 産業財産権番号
      2006-334800
    • 出願年月日
      2006-12-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18030009
  • [産業財産権] グロープラズマの発生装置及びグロープラズマ発生方法2006

    • 発明者名
      北野勝久, 青木裕紀, 浜口智志
    • 権利者名
      財団法人大阪産業振興機構, 国立大学法人大阪大学
    • 出願年月日
      2006-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18030009
  • [学会発表] プラズマによる超微細加工:原子層プロセス2023

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      兵庫県マテリアルズ・インフォマティクス講演会:放射光による微細加工(半導体)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [学会発表] Role of Machine Learning2023

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      76th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [学会発表] Plasma-enhanced atomic layer processing for semiconductor processing2023

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Global Plasma Forum (GPF) in Aomori
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [学会発表] Machine learning application to plasma modelling2023

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      97th IUVSTA Workshop on Plasma-Assisted Conversion of Gases for a Sustainable Future
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [学会発表] How Can Machine Learning Help Process Development?2023

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      AVS 69th International Symposium & Exhibition
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [学会発表] Atomic Layer Processing toward Sub-nm-node Semiconductor Device Manufacturing2023

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      21st International Nanotech Symposium and Exhibition
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [学会発表] Plasma-surface interactions of atomic-layer processing toward sub-nm node semiconductor devices2023

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      3rd Plasma Thin Film International Union Meeting (PLATHINIUM)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [学会発表] Surface Reaction Mechanisms of Thermal and Plasma-Enhanced Atomic Layer Etching (ALE) Processes2023

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      AVS 23rd International Conference on Atomic Layer Deposition
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [学会発表] Plasma surface interactions for atomic layer processes2023

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      44th International Symposium on Dry Process (DPS 2023),
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [学会発表] サブナノメートル半導体デバイス製造にむけたプラズマプロセス技術2023

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      VACUUM2023真空展
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [学会発表] Introduction to data science applied to plasma science and technologies2022

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Le Stiudium Conference, On-line Meeting on Artificial Intelligence for Plasma Science
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [学会発表] Plasma Processing; From Fundamentals to Atomic Layer Processes2022

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      The 22nd International Vacuum Congress (IVC-22)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [学会発表] Machine-learning based analyses of plasma processing2022

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      14th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2022)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [学会発表] Atomic-level control of plasma processing toward sub-nm node technologies2022

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      International Symposium on Semiconductor Manufacturing
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [学会発表] Dry Etching Processes; from Fundamentals to Latest Applications2022

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Advanced Metallization Conference 2022, 31st Asian Session (ADMETA Plus 2022)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [学会発表] Plasma process control with machine learning2022

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      4th International Symposium of the Vacuum Society of the Phillippines (ISVSP 2022)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [学会発表] サブナノメータノード半導体デバイス製造をめざしたプラズマプロセスの理解2022

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      第39回プラズマプロセシング研究会/第34回プラズマ材料科学シンポジウム
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [学会発表] プラズマ表面相互作用研究の新たな展開2021

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      第37回 九州・山口プラズマ研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [学会発表] サブnmノード時代のプロセス・イノベーションを支える基礎科学2021

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      東京エレクトロン(株) セミナー
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [学会発表] Plasma-surface interactions of atomic layer etching2021

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      International Workshop on Multidisciplinary Research/ Taiwan Vacuum Society (TVS)-2021 Annual Symposium)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [学会発表] データ駆動プラズマ科学と半導体プロセス2021

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      (公社)日本表面真空学会SP部会 第167回定例研究報告会 (2021年6月24日(木) オンライン)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [学会発表] プラズマと表面の相互作用2021

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      令和3年度日本表面真空学会九州支部学術講演会「新奇な薄膜・表面現象とその応用の最前線」
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [学会発表] Plasma processing challenges in the era of sub-nanometer-node semiconductor devices2021

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      The International Union for Vacuum Science, Technique and Applications (IUVSTA) webinar series
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [学会発表] Amine formation on the surface of porous calcium-phosphate artificial bone by low-pressure pulsed plasma polymer deposition2021

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      8th International Conference on Plasma Medicine/10th International Symposium on Plasma Bioscience (August 3-6, 2021, Online Conference)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [学会発表] Understanding of plasma surface interaction - from the point of view of quantum chemistry and plasma physics2021

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      74th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC) (October 4 - 8, 2021, online), Foundation Talk,
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04453
  • [学会発表] Challenges of Advanced Plasma Etching Technologies2020

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      3rd International Symposium of the Vacuum Society of the Philippines
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Challenges of Advanced Plasma Etching Technologies2020

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      3rd International Symposium of the Vacuum Society of the Philippines
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18753
  • [学会発表] Computational study on the formation of nickel hexafluoro-acetylacetonate complexes Ni(hfac)2 on a rough NiO surface during plasma enhanced thermal atomic layer etching (ALE) processes2019

    • 著者名/発表者名
      Abdulrahman H. Basher, Marjan Krstic, Michiro Isobe, Tomoko Ito, Karin Fink, Masato Kiuchi, Kazuhiro Karahashi, Takae Takeuchi, Wolfgang Wenzel, and Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      the 72nd Annual Gaseous Electronics Conference GEC
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18753
  • [学会発表] Molecular Dynamics Simulation of Etching, Deposition, and Surface Modification in Plasma Processing2019

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi, Michiro Isobe, Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi
    • 学会等名
      the 62nd Annual Technical Conference of Society of Vacuum Coaters
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18753
  • [学会発表] Molecular Dynamics Simulation: Nanometer-scale Hole Etching of SiO2 with Carbon Mask2019

    • 著者名/発表者名
      Charisse Marie D. Cagomoc, Michiro Isobe, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      24th International Symposium on Plasma Chemistry
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18753
  • [学会発表] Atomic Layer Etching: its Science and Technology2019

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Joint Conference of XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) and the 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Mechanisms of thermal atomic layer etching (ALE) of metals by deprotonation and complex formation of hexafluoroacetylacetone (hfacH)2019

    • 著者名/発表者名
      Abdulrahman H. Basher, Ikutaro Hamada, Marjan Krstic, Michiro Isobe, Tomoko Ito, Karin Fink, Kazuhiro Karahashi, Yoshitada Morikawa, Wolfgang Wenzel, and Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      the AVS 66th International Symposium & Exhibition
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18753
  • [学会発表] Analyses of Hexafluoroacetylacetone (Hfac) Adsorbed on Transition Metal Surfaces2019

    • 著者名/発表者名
      Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      AVS 18th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2019) and the 5th International Atomic Layer Etching Workshop (ALE 2019)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18753
  • [学会発表] 原子層エッチングプロセスにおける表面反応解析2019

    • 著者名/発表者名
      伊藤智子, 唐橋一浩, 浜口智志
    • 学会等名
      4th Atomic Layer Process (ALP) Workshop
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18753
  • [学会発表] 半導体デバイス製造用プラズマプロセスにおける表面反応機構2019

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      日本表面真空学会学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18753
  • [学会発表] 半導体デバイス製造用プラズマプロセスにおける表面反応機構2019

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      日本表面真空学会学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Numerical Simulation of Plasma-Liquid Interaction2019

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      9th International Symposium for Plasma Bioscience
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Molecular dynamic simulation of F-based reactive ion etching of Si, SiO2 and Si3N4 substrates2019

    • 著者名/発表者名
      Erin Joy Capdos Tinacba, Michiro Isobe, Kazuhiro Karahashi, and Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      the 62nd Annual Technical Conference of Society of Vacuum Coaters
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18753
  • [学会発表] Atomic Layer Etching: its Science and Technology2019

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi, Michiro Isobe, Tomoko Ito, and Kazuhiro Karahashi
    • 学会等名
      Joint Conference of XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) and the 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18753
  • [学会発表] Prediction ability and importance of descriptors of single-element physical sputtering yields based on sparse modeling2019

    • 著者名/発表者名
      Hiori Kino, Kazumasa Ikuse, Hieu Chi Dam, and Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      2nd International Conference on Data Driven Plasma Science
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18753
  • [学会発表] Sputtering Yield Prediction by Machine Learning2019

    • 著者名/発表者名
      Kazumasa Ikuse, Hiori Kino, and Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      2nd International Conference on Data Driven Plasma Science
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18753
  • [学会発表] Molecular Dynamics Simulation of Etching, Deposition, and Surface Modification in Plasma Processing2019

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      62nd Annual Technical Conference of Society of Vacuum Coaters
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Surface reactions of atomic layer etching processes2019

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      22nd Symposium on Applications of Plasma Processes (SAPP XXII)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Sputtering of surfaces made of Lennard-Jones atoms: A Molecular Dynamics study2019

    • 著者名/発表者名
      Nicolas Mauchamp, Michiro Isobe, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Joint Conference of XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) and the 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18753
  • [学会発表] Prediction of Etch Rates for New Materials by Machine Learning - Case Study for Physical Sputtering2019

    • 著者名/発表者名
      Kazumasa Ikuse, Hiori Kino, and Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      the AVS 66th International Symposium & Exhibition
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18753
  • [学会発表] Numerical Simulation of Plasma Water Treatment with Chlorine2018

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      2nd International Workshop On Plasma Agriculture (IWOPA2)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Current Status and Future Challenges in Modeling and Numerical Simulation for Plasma Medicine,2018

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      8th International Symposium of Plasma Biosciences (ISPB 2018)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] ヘキサフルオロアセチルアセトン吸着表面金属(Ni, Cu)におけるエッチング反応2018

    • 著者名/発表者名
      伊藤智子、唐橋一浩、浜口智志
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Numerical and experimental analyses of atmospheric-pressure plasmas and plasma-liquid interaction2018

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      2nd International Symposium of the Vacuum Society of the Philippines (ISVSP)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] アトミックレイヤーエッチング:その科学と技術2018

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18753
  • [学会発表] Molecular dynamics simulation of SiO2 atomic-layer etching (ALE) by fluorocarbon and argon plasmas2018

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      AVS 18th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2018) and the 5th International Atomic Layer Etching Workshop (ALE 2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Numerical Simulation of Reactions and Transport of Chemical Species in Water Exposed to Atmospheric-Pressure Plasma2018

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      22nd International Conference on Gas Discharges and Their Applications
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Surface reactions mechanisms of atomic layer etching for SiO2, SiN, and metal films2018

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      RUB Japan Science Days 2018 : Society 5.0, Chance and Risks of Digital Transformation and the Responsibility of Universities
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18753
  • [学会発表] Atomistic simulations of plasma-surface interaction for ALD and ALE processes,2018

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      High Performance Computing for Plasma Applications Workshop, 71st Annual Gaseous Electronics Conference (GEC)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18753
  • [学会発表] ナノデバイス作製のためのプラズマ制御2018

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      日本学術振興会「先端ナノデバイス・材料テクノロジー第151委員会」平成30年度第5回研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18753
  • [学会発表] Plasma Surface Functionalization of Biocompatible Materials2018

    • 著者名/発表者名
      Tomoko Ito, Anjar Anggraini Harumningtyas, Satoshi Sugimoto, and Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      2nd International Workshop On Plasma Agriculture (IWOPA2)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] フルオロカーボン(Cx Fy+)イオンによるSiO2およびSiエッチング反応2018

    • 著者名/発表者名
      唐橋一浩、李虎、伊藤智子、浜口智志
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Challenges for the development of plasma-based atomic layer processing - numerical and experimental analyses of plasma-exposed surface reactions at the atomic level,2018

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      45th Conference on Plasma Physics, European Physical Society (EPS)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Molecular Dynamics Simulation for Physical Sputtering of Surfaces made of Lennard-Jones Atoms2018

    • 著者名/発表者名
      Nicolas Aini Mauchamp、Michiro Isobe、Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Surface reactions mechanisms of atomic layer etching for SiO2, SiN, and metal films,2018

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      RUB Japan Science Days 2018 : Society 5.0, Chance and Risks of Digital Transformation and the Responsibility of Universities
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Surface Reaction Analysis by Molecular Dynamics (MD) Simulation for SiO2 Atomic Layer Etching (ALE)2018

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      AVS 65th International Symposium & Exhibition
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Atomistic simulations of plasma-surface interaction for ALD and ALE processes2018

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      High Performance Computing for Plasma Applications Workshop, 71st Annual Gaseous Electronics Conference
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Plasma Modeling and Simulation2018

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Summer School, 7th International Conference on Plasma Medicine (ICPM7)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Modeling and Numerical Simulation of Liquid Chemical Reactions, Surface Modification of Biomaterials, and Some Biological Reactions used in Plasma Medicine2018

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      7th International Conference on Plasma Medicine (ICPM7)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] 最先端プラズマプロセスのシミュレーション2018

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      第29回プラズマエレクトロニクス講習会 プラズマプロセスの基礎と先端分野への応用
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18753
  • [学会発表] Challenges for the development of plasma-based atomic layer processing - numerical and experimental analyses of plasma-exposed surface reactions at the atomic level2018

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      45th Conference on Plasma Physics, European Physical Society (EPS)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18753
  • [学会発表] プラズマ医療:生体材料プロセスとプラズマ液体相互作用2017

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      第2回「プラズマバイオサイエンス基盤研究促進」 勉強会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Reactive Species Generated in Water Exposed to Atmospheric-pressure Plasmas or Water Discharge2017

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      10th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Evaluation of Nickel Self-Sputtering Yields by Molecular Dynamics Simulation2017

    • 著者名/発表者名
      Nicolas Aini Mauchamp、Michiro Isobe、Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Science of Plasma-Surface Interaction for Modern Semiconductor Process Technologies2017

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      AVS 64th International Symposium & Exhibition
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Etching mechanisms of ITO by low energy hydrocarbon ions2017

    • 著者名/発表者名
      Hu Li, Kazuhiro Karahashi, Masanaga Fukasawa, Akiko Hirata, Kazunori Nagahata, Tetsuya Tatsumi, Pascal Friederich, Karin Fink, Wolfgang Wenzel, and Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      39th International Symposium on Dry Process (DPS2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Amino Group Surface Modification of Cell Culture Polystyrene Dishes by an Inverter Plasma Process2017

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Sugimoto, Tomoko Ito, Kai Kubota, Kazuma Nishiyama and Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      10th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Ni表面に対するヘキサフルオロアセチルアセトンによる表面反応の解明2017

    • 著者名/発表者名
      伊藤智子、唐橋一浩、浜口智志
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] 大気圧プラズマによって気液界面に生成される次亜塩素酸の数値シミュレーション解析2017

    • 著者名/発表者名
      幾世和将、浜口智志
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Effects of Ion induced Damages on Etching Characteristics of ITO Thin Films2017

    • 著者名/発表者名
      Hu Li, , K. Karahashi, M. Fukasawa, A. Hirata, K. Nagahata, T. Tatsumi, and S. Hamaguchi
    • 学会等名
      AVS 64th International Symposium & Exhibition
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Molecular dynamics simulations of atomic-layer etching (ALE) of SiO2,2017

    • 著者名/発表者名
      Yuki Okada, Michiro Isobe, and Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      82nd IUVSTA Workshop on Plasma-based Atomic Layer Processes
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Challenges of plasma etching: reactive ion etching of non-conventional materials2017

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      The 21st Symposium on Application of Plasma Processes
    • 発表場所
      Strbske Pleso, Slovakia
    • 年月日
      2017-01-13
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Surface reactions of metal surfaces with adsorbed organic compounds by Ar+ ion irradiation2017

    • 著者名/発表者名
      Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi and, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      39th International Symposium on Dry Process (DPS2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Analyses of plasma surface interactions with atomic-level numerical simulations and ion/radical beam experiments2017

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      SPEC Seminar
    • 発表場所
      Hwaseong, Gyeonggi, Korea
    • 年月日
      2017-02-10
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Collision Cascade Dynamics for Self-Sputtering of Lennard-Jones Atoms2017

    • 著者名/発表者名
      Nicolas A. Mauchamp, Michiro Isobe, and Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      39th International Symposium on Dry Process (DPS2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Numerical Simulation of Plasma-induced Hypochlorous Acid Generation at the Plasma-liquid Interface2017

    • 著者名/発表者名
      Kazumasa Ikuse and Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      10th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] 金属表面におけるXeF2曝露によるフッ化物層のエッチング反応2017

    • 著者名/発表者名
      唐橋一浩、伊藤智子、浜口智志
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] プラズマ医療: 医療における放電プラズマの活用2017

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      メディカルジャパン 2017大阪 第3回日本医療総合展
    • 発表場所
      インテック大阪、大阪府大阪市住之江区
    • 年月日
      2017-02-15
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13608
  • [学会発表] 気液界面プラズマにおける理論モデルおよびシミュレーション解析の現状と課題2017

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      Plasma Conference 2017
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Molecular dynamics simulations of high-density polyethylene etching by argon plasma2017

    • 著者名/発表者名
      Aubrey Faith Mella, Trung Phung, Magdaleno Vasquez Jr., and Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      10th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Cyclic etching of ITO using controlled modified-layer2017

    • 著者名/発表者名
      A. Hirata, M. Fukasawa, K. Nagahata, H. Li, K. Karahashi, S. Hamaguchi, and T. Tatsumi
    • 学会等名
      39th International Symposium on Dry Process (DPS2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Plasma Etching of Unconventional Materials: Is There Any Systematic Approach?2017

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      Semicon Korea
    • 発表場所
      COEX, Seoul, Korea
    • 年月日
      2017-02-08
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Si, SiO2, and Si3N4 Etching Characteristics of Silicon Halide Ions (SiFx+, SiClx+, and SiBrx+)2017

    • 著者名/発表者名
      K. Karahashi, T. Ito, H. Li, Y. Muraki, M. Matsukuma, and S. Hamaguchi
    • 学会等名
      AVS 64th International Symposium & Exhibition
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] XPS Analysis of Adsorbed Organic Compounds on Magnetic Materials Surfaces2017

    • 著者名/発表者名
      Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi and, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      82nd IUVSTA Workshop on Plasma-based Atomic Layer Processes
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] SiN/SiO2積層深孔加工におけるパターン内壁の表面組成解析2017

    • 著者名/発表者名
      岩瀬拓、唐橋一浩、浜口智志
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Hによる変質層を用いたITOエッチレートの高精度制御2017

    • 著者名/発表者名
      平田瑛子、深沢正永、長畑和典、李虎、伊藤智子、唐橋一浩、浜口智志、辰巳哲也
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] フルオロカーボンプラズマとアルゴンプラズマによるSiO2原子層エッチングの分子動力学シミュレーション2017

    • 著者名/発表者名
      岡田裕貴、磯部倫郎、浜口智志
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] プラズマプロセスの最先端:半導体デバイスの原子層精度加工から医療応用まで2017

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      工学研究科材料系/アトミックデザイン研究センター・産総研共同研究シンポジウム
    • 発表場所
      大阪府吹田市
    • 年月日
      2017-03-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] 数学・情報科学的手法は未来の製造業にどう役立つか?-半導体産業の例2017

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      大阪大学MMDSワークショップ “工学と数学の接点を求めて”
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Molecular dynamics simulations of atomic-layer etching (ALE) of SiO22017

    • 著者名/発表者名
      Yuki Okada, Michiro Isobe, Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, and Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      39th International Symposium on Dry Process (DPS2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] プラズマ技術が拓く新しい診断・治療・創薬の未来2017

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      第9回プラズマ医療・健康産業シンポジウム
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Molecular Dynamics Simulation of Ni Self-sputtering and Modeling of Interatomic Potential Functions2017

    • 著者名/発表者名
      N. Mauchamp, M. Isobe, and S. Hamaguchi
    • 学会等名
      AVS 64th International Symposium & Exhibition
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] 分子動力学シミュレーションによるプラズマプロセス表面反応機構解析2017

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      2017年度精密工学会秋季大会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Molecular dynamics simulation of Ni self-sputtering and modeling of interatomic potential functions2017

    • 著者名/発表者名
      Nicolas Mauchamp, Michiro Isobe and Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      82nd IUVSTA Workshop on Plasma-based Atomic Layer Processes
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] プラズマによって誘起された液中次亜塩素酸の反応輸送シミュレーション解析2017

    • 著者名/発表者名
      幾世和将、浜口智志
    • 学会等名
      Plasma Conference 2017
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Surface reactions of nickel by carbon monoxide cluster beams2017

    • 著者名/発表者名
      Kazuhiro Karahashi, Toshio Seki, Keizo Kinoshita, Jiro Matsuo, and Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      82nd IUVSTA Workshop on Plasma-based Atomic Layer Processes
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Numerical Simulations of Atomic-Layer Etching (ALE) for SiO2 and SiN2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Okada, R. Sugano, M. Isobe, T. Ito, H. Li, K. Karahashi, and S. Hamaguchi
    • 学会等名
      AVS 64th International Symposium & Exhibition
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Customising ion flux-energy distributions in low-pressure capacitive RF discharges2017

    • 著者名/発表者名
      Z. Donko, J. Schulze, E. Schuengel, A. Derzsi, M. Vass, and S. Hamaguchi
    • 学会等名
      82nd IUVSTA Workshop on Plasma-based Atomic Layer Processes
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Analyses of device manufacturing processes by molecular dynamics simulations2017

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD) 2017 Workshop 1
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Numerical simulation for metabolic reactions of E. coli in water exposed to plasma irradiation2017

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      2017 International Forum on Functional Materials (IFFM2017):7th International Symposium on Plasma Biosciences (ISPB2017-7)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] He+イオン照射により前処理されたZnOエッチング機構の解明2017

    • 著者名/発表者名
      李虎、伊藤智子、唐橋一浩、深沢正永、平田瑛子、長畑和典、辰巳哲也、浜口智志
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] プラズマプロセス制御のためのプラズマシミュレーション基礎~表面反応の理解を中心に~2017

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜、神奈川県横浜市
    • 年月日
      2017-03-14
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Molecular dynamics simulation of damage formation in Ni due to H+ ion bombardment2017

    • 著者名/発表者名
      Trung Phung, 礒部倫郎, 森川良忠, 稲垣耕司, 浜口智志
    • 学会等名
      2017年度精密工学会秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Aerospace & Automotive2016

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Future in Plasma Science II
    • 発表場所
      INP Greifswald, Germany
    • 年月日
      2016-02-15
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Atomic-scale analyses of plasma etching for unconventional materials in microelectronics2016

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      the AVS 63rd International Symposium & Exhibition
    • 発表場所
      Nashville, TN, USA
    • 年月日
      2016-11-06
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Liquid-Phase Chemically Reactive Species generated by Water Discharges or Atmospheric-Pressure Discharges2016

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      20th International Vacuum Congress (IVC)
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • 年月日
      2016-08-21
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13608
  • [学会発表] 多能性幹細胞から分化誘導した骨芽細胞系細胞の特性2016

    • 著者名/発表者名
      宮本諭、濱本秀一、吉田清志、岡本美奈、奥崎大介、後藤直久、浜口智志、吉川秀樹、名井陽
    • 学会等名
      日本再生医療学会
    • 発表場所
      大阪
    • 年月日
      2016-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26293336
  • [学会発表] Analyses of surface reactions and damage formation in plasma etching processes: a study based on beam experiments and molecular dynamics simulation2016

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      The 6th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology
    • 発表場所
      Dream Center, Gyeongju, Korea
    • 年月日
      2016-09-26
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Plasma-based Functionalization of Polystyrene Surfaces of Cell Culture Plates2016

    • 著者名/発表者名
      1.Nishiyama K, Ito T, Sugimoto S, Gotoh K, Isobe M, Okamoto M, Myoui A, Yoshikawa H, and Hamaguchi S.
    • 学会等名
      the AVS 63rd International Symposium & Exhibition
    • 発表場所
      Nashville, TN, USA
    • 年月日
      2016-11-06
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26462263
  • [学会発表] Dynamics of reactive oxygen species generated in liquid exposed to gas discharges2016

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      International Conference on Electrical Discharges with Liquids (ICEDL 2016)
    • 発表場所
      Kocaeli University, Kocaeli,Turkey
    • 年月日
      2016-03-13
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Plasma-based Functionalization of Polystyrene Surfaces of Cell Culture Plates2016

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      the AVS 63rd International Symposium & Exhibition
    • 発表場所
      Nashville, TN, USA
    • 年月日
      2016-11-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Generation and transport of liquid-phase reactive species due to plasma-liquid interaction2016

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      43rd IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS2016)
    • 発表場所
      The Banff Center, Banff, Alberta, Canada
    • 年月日
      2016-06-20
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13608
  • [学会発表] Plasma-based Functionalization of Polystyrene Surfaces of Cell Culture Plates2016

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      AVS 63rd International Symposium & Exhibition
    • 発表場所
      Nashville, TN, USA
    • 年月日
      2016-11-06
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13608
  • [学会発表] Atomic Scale Analyses of Plasma Surface Reactions using Molecular Dynamics Simulations and Ion/radical Beam Experiments2016

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      the 2nd Pacific Rim Symposium on Surfaces, Coatings & Interfaces
    • 発表場所
      Kohala Coast, Hawaii,USA
    • 年月日
      2016-12-11
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] プラズマ医療研究の現状と将来展望2016

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      第8回プラズマ医療・健康産業シンポジウム
    • 発表場所
      産業技術総合研究所・臨海副都心センター 東京都江東区
    • 年月日
      2016-12-22
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13608
  • [学会発表] Numerical Simulations of Plasma-Generated Reactive Species in Water2016

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      Gordon Research Conference (GRC) Plasma Processing Science
    • 発表場所
      Proctor Academy, Andover, NH, USA
    • 年月日
      2016-07-24
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13608
  • [学会発表] Atomic-scale Surface Reaction Mechanisms of Plasma Processing for Modern Semiconductor Devices2016

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      International Workshop on Advanced Materials and Nanotechnology 2016
    • 発表場所
      Ha Noi, Vietnam
    • 年月日
      2016-11-03
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Dynamics of reactive oxygen species generated in liquid exposed to gas discharges2016

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      International Conference on Electrical Discharges with Liquids (ICEDL 2016),
    • 発表場所
      Kocaeli (Turkey)
    • 年月日
      2016-03-13
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13608
  • [学会発表] Numerical simulation of the generation of reactive oxygen and nitrogen species (RONS) in water by atmospheric-pressure plasmas and their effects on Escherichia coli (E. coli)2016

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      International Workshop on Advanced Materials and Nanotechnology 2016
    • 発表場所
      Ha Noi, Vietnam
    • 年月日
      2016-11-03
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13608
  • [学会発表] Plasma-Liquid Interaction2016

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      43rd IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS2016)
    • 発表場所
      The Banff Center, Banff, Alberta, Canada
    • 年月日
      2016-06-20
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13608
  • [学会発表] Atomic-scale analyses of non-equilibrium surface chemical reactions in dry etching processes for modern semiconductor devices2016

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      1st International Symposium of the Vacuum Society of the Philippines (ISVSP2016)(
    • 発表場所
      Ateneo de Manila University, Quezon City, Philippines
    • 年月日
      2016-01-14
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Analysis of Amino Group Formation on Polystyrene Surfaces by Nitrogen-Hydrogen-Based Plasma Irradiation2015

    • 著者名/発表者名
      Gotoh, K., Itsuki, D., Michiro Isobe1, Sugimoto, S., Miyamoto, S., Myoui, A., Yoshikawa, H., Hamaguchi, S.
    • 学会等名
      American Vacuum Society 62nd International Syposium
    • 発表場所
      San Jose, U. S. A.
    • 年月日
      2015-10-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26293336
  • [学会発表] Transporters of highly reactive species in water exposed to a low-temperature atmospheric pressure plasma2015

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      5th International Symposium on Plasma Biosciences (ISPB2015-5)
    • 発表場所
      Jeju (Korea)
    • 年月日
      2015-06-24
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13608
  • [学会発表] Transport of highly reactive oxygen and nitrogen species (RONS) generated by plasma-liquid interaction in water2015

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      3rd International Symposium on New Plasma and Electrical Discharge Applications and on Dielectric Materials (ISNPEDADM)
    • 発表場所
      Saint Gilles Les Bains (France)
    • 年月日
      2015-10-26
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13608
  • [学会発表] Optimization of culture conditions for directing osteogenesis differentiation of mouse induced pluripotent stem cells2015

    • 著者名/発表者名
      Miyamoto, S.,Myoui, A., Okuzaki, D., Goto, N., Hamaguchi, S., Yoshikawa, H.
    • 学会等名
      International Society for Stem Cell Research 2015 Annual Meeting
    • 発表場所
      Stockholm, Sweden
    • 年月日
      2015-06-24
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26293336
  • [学会発表] Transporters of highly reactive species in water exposed to a low-temperature atmospheric pressure plasma2015

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      5th International Symposium on Plasma Biosciences (ISPB2015-5)
    • 発表場所
      Ramada Plaza Jeju Hotel, Jeju, Korea
    • 年月日
      2015-06-24
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Transport of highly reactive oxygen and nitrogen species (RONS) generated by plasma-liquid interaction in water2015

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      3rd International Symposium on New Plasma and Electrical Discharge Applications and on Dielectric Materials (ISNPEDADM)
    • 発表場所
      Saint Gilles Les Bains, Les Bains, Reunion Island, France
    • 年月日
      2015-10-26
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Aerospace & Automotive2015

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Future in Plasma Science
    • 発表場所
      INP Greifswald, Germany
    • 年月日
      2015-07-12
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05736
  • [学会発表] Numerical simulation of chemical reactions and diffusion of ROS/RNS in water exposed to an atmospheric-pressure plasma2014

    • 著者名/発表者名
      Kazumasa Ikuse, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Book of Abstracts of International Symposium on Non-equilibrium Plasma and Complex-System Sciences (IS-NPCS)
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] umerical simulation of dynamics of chemically reactive species in water generated by atmospheric pressure plasmas2014

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      COST (European Cooperation in Science and Technology) TD1208 Annual Meeting
    • 発表場所
      Lisbon, Portugal
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [学会発表] Reaction-diffusion simulation of ROS/RNS in liquid exposed to an atmospheric-pressure plasma2014

    • 著者名/発表者名
      Kazumasa Ikuse, Tatsuya Kanazawa, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Book of Abstracts of 8th International Conference on Reactive Plasmas / 31st Symposium on Plasma Processing (ICRP-8/SPP-31)
    • 発表場所
      Fukuoka International Congress Center, Fukuoka, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] Improvement of biocompatibility of hydroxyapatite and polystyrene surface for cell culture by low-pressure plasmas2014

    • 著者名/発表者名
      Dai Itsuki, Tomoko Ito, Satoshi Sugimoto, Yu Moriguchi, Satoshi Miyamoto, Akira Myoui, Hideki Yoshikawa, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Book of Abstracts of International Symposium on Non-equilibrium Plasma and Complex-System Sciences (IS-NPCS)
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] Ion and Radical Beam Studies on Plasma Etching Mechanisms2014

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      SEMICON Korea 2014
    • 発表場所
      COEX, Seoul, Korea
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [学会発表] プラズマ先端材料プロセスとその医療応用2014

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      第6回プラズマ医療・健康産業シンポジウム
    • 発表場所
      ( 独) 産業技術総合研究所・臨海副都心センター・東京都
    • 年月日
      2014-12-22
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [学会発表] Computational and experimental atomic-scale analyses of surface damage formation in reactive ion etching (RIE) processes for Si based materials,2014

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      8th International Conference on Reactive Plasmas / 31st Symposium on Plasma Processing (ICRP-8/SPP-31)
    • 発表場所
      Fukuoka International Congress Center, Fukuoka, Japan
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [学会発表] Reactive species generated in water irradiated by low-temperature atmospheric-pressure plasma jets2014

    • 著者名/発表者名
      Kensaku Goto, Tomoko Ito, Kazumasa Ikuse, Dai Itsuki, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Book of Abstracts of International Symposium on Non-equilibrium Plasma and Complex-System Sciences (IS-NPCS)
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] Nano-scale damage formation during plasma etching analysed by multi-beam experiments and molecular dynamics (MD) simulation,2014

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      he 9th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing (JSPP2014)/ EU COST MP1101 Workshop on Atmospheric Plasma Processes and Sources
    • 発表場所
      Bohinjska Bistrica and Lake Bohinj, Slovenia
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [学会発表] Nano-scale damage formation during plasma etching analysed by multi-beam experiments and molecular dynamics (MD) simulation2014

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      The 9th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing (JSPP2014)/ EU COST MP1101 Workshop on Atmospheric Plasma Processes and Sources
    • 発表場所
      Bohinjska Bistrica and Lake Bohinj, Slovenia
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [学会発表] Numerical simulation of dynamics of chemically reactive species in water generated by atmospheric pressure plasmas2014

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Book of Abstracts of COST (European Cooperation in Science and Technology) TD1208 Annual Meeting"Electrical discharges with liquids for future applications"
    • 発表場所
      Lisbon, Portugal
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] Computational and experimental atomic-scale analyses of surface damage formation in reactive ion etching (RIE) processes for Si based materials2014

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      8th International Conference on Reactive Plasmas / 31st Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Fukuoka International Congress Center, Fukuoka, Japan
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [学会発表] Numerical simulation of dynamics of chemically reactive species in water generated by atmospheric pressure plasmas2014

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      COST (European Cooperation in Science and Technology) TD1208 Annual Meeting
    • 発表場所
      Lisbon, Portugal
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] Ion and Radical Beam Studies on Plasma Etching Mechanisms2014

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      SEMICON Korea 2014
    • 発表場所
      COEX, Seoul, Korea
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [学会発表] Oxidation of Potassium Iodide in Aqueous Environment by Atmospheric Plasma Jets2014

    • 著者名/発表者名
      Masato Kiuchi, Kuniaki Honjo, Tomoko Ito, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Book of Abstracts of International Symposium on Non-equilibrium Plasma and Complex-System Sciences (IS-NPCS)
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] Free radicals in liquid generated by atmospheric-pressure plasma application and their effects on biological systems2013

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      3rd International Symposium for Plasma Bioscience (ISPB2013-3),
    • 発表場所
      Ramada Plaza Jeju Hotel, Jeju, Korea
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] Dynamical structures of reactive species distributions in plasmas and liquids for low-temperature plasma medical devices2013

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Proceedings of the 40th European Physical Society (EPS) Conference on Plasma Physics
    • 発表場所
      Espoo, Finland
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] Recent progress of Molecular Dynamics (MD) simulation techniques for the analysis of plasma-surface interaction2013

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      the 8th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT 2013)
    • 発表場所
      National Chiao Tung University, Hsinchu, Taiwan
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [学会発表] Numerical simulation of ROS/RNS generation in liquid and their effects on biological systems2013

    • 著者名/発表者名
      Tatsuya Kanazawa, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Book of Abstracts of the 21st in International Symposium on Plasma Chemistry
    • 発表場所
      Cairns, Australia
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] Needs for atomic and molecular database in modern plasma processing2013

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi,
    • 学会等名
      he Japan-Australia Commemorative Workshop (JAWS25)
    • 発表場所
      Australian National University, Canberra, Australia
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [学会発表] Generation of free radicals in liquid by atmospheric-pressure plasmas and its application to biology and medicine2013

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      the 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12) and Asia-Europe Physics Summit (ASEPS)
    • 発表場所
      International Conference Hall, Makuhari Messe, Chiba, Japan
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] Free radicals in liquid generated by atmospheric-pressure plasma application and their effects on biological systems2013

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      a Book of Abstracts of 2013 International Forum on Functional Materials (IFFM2013) and 3rd International Symposium for Plasma Bioscience (ISPB2013-3), 2nd International Symposium on Chemical & Biological Detection (ISCBD-2), 2nd Internatinal Symposium on Medical Diagnosis Using Bionano Sensor
    • 発表場所
      Ramada Plaza Jeju Hotel, Jeju, Korea
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] Effects of Reactive Species Generated by Low-Temperature Atmospheric -Pressure Plasmas on Mouse Embryonic Stem (ES) Cells2013

    • 著者名/発表者名
      Taichi Miura, Ayumi Ando, Kazumi Hirano, Chika Ogura, Tatsuya Kanazawa, Masamichi Ikeguchi, Shoko Nishihara, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Book of Abstracts of 2012 Japan Society of Applied Physics (JSAP)- Material Research Society (MRS) Joint Symposia
    • 発表場所
      Doshisha University Kyotanabe Campus, Kyoto
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] プラズマ科学技術の建築分野での活用2013

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      建築研究開発コンソーシアム(CBRD) テクニカルフォーラム
    • 発表場所
      晴海トリトンスクエア、東京都中央区
    • 年月日
      2013-04-19
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [学会発表] Plasma surface modification of porous hydroxyapatite artificial bones2013

    • 著者名/発表者名
      Yu Moriguchi, Dae-Sung Lee, Kazuto Masuda, Hideki Yoshikawa, Satoshi Hamaguchi, Myoui Akira
    • 学会等名
      Book of Abstracts of Orthopaedic Research Society (ORS) 2013 Annual Meeting
    • 発表場所
      San Antonio, TX, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] Generation of ROS/RNS in liquid exposed to an atmospheric-pressure plasma2013

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Book of Abstracts of 2012 Japan Society of Applied Physics (JSAP)- Material Research Society (MRS) Joint Symposia
    • 発表場所
      Doshisha University Kyotanabe Campus, Kyoto
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] プラズマ・ラジカルの物理とその医療応用2013

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      日本物理学会第68回年次大会
    • 発表場所
      広島大学東広島キャンパス 広島県東広島市
    • 年月日
      2013-03-26
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [学会発表] Free radicals in liquid generated by atmospheric-pressure plasma application and their effects on biological systems,2013

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      3rd International Symposium for Plasma Bioscience (ISPB2013-3)
    • 発表場所
      Ramada Plaza Jeju Hotel, Jeju, Korea
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [学会発表] Generation of ROS/RNS in liquid exposed to an atmospheric-pressure plasma2013

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      2012 Japan Society of Applied Physics (JSAP)- Material Research Society (MRS) Joint Symposia (Sept. 16-20, 2013
    • 発表場所
      Doshisha University Kyotanabe Campus, Kyoto
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [学会発表] Dynamical structures of reactive species distributions in plasmas and liquids for low-temperature plasma medical devices2013

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      the 40th European Physical Society (EPS) Conference on Plasma Physics
    • 発表場所
      Espoo, Finland
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] 高エネルギー水素イオン入射によるSi表面の増殖酸化2013

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学京田辺キャンパス、 京都府京田辺市
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [学会発表] プラズマを用いた半導体および医療プロセス2013

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      応用物理学会関西支部平成25年第一回講演会「関西のプラズマ・エレクトロニクス研究の現状と若手からの発信」
    • 発表場所
      、京都大学桂キャンパス ローム記念館および船井哲良記念講堂
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [学会発表] Needs for atomic and molecular database in modern plasma processing2013

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      the Japan-Australia Commemorative Workshop (JAWS25)
    • 発表場所
      University House, Australian National University, Canberra, Australia
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [学会発表] Numerical simulation of ROS/RNS generation in liquid and their effects on biological systems2013

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      the 21st in International Symposium on Plasma Chemistry
    • 発表場所
      Cairns, Australia
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] Dynamical structures of reactive species distributions in plasmas and liquids for low-temperature plasma medical devices2013

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      the 40th European Physical Society (EPS) Conference on Plasma Physics
    • 発表場所
      Espoo, Finland,
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [学会発表] Generation of free radicals in liquid by atmospheric-pressure plasmas and its application to biology and medicine2013

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi,
    • 学会等名
      the 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12) and Asia-Europe Physics Summit
    • 発表場所
      International Conference Hall, Makuhari Messe, Chiba, Japan,
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [学会発表] 高エネルギー水素イオン入射によるSi表面の増殖酸化2013

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学京田辺キャンパス、 京都府京田辺市
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [学会発表] Generation of free radicals in liquid by atmospheric-pressure plasmas and its application to biology and medicine2013

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Book of Abstracts of the 12^<th> Asia Pacific Physics Conference (APPC12) and Asia-Europe Physics Summit (ASEPS)
    • 発表場所
      International Conference Hall, Makuhari Messe, Chiba, Japan
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] Generation of ROS/RNS in liquid exposed to an atmospheric-pressure plasma2013

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      2012 Japan Society of Applied Physics (JSAP)- Material Research Society (MRS) Joint Symposia
    • 発表場所
      Doshisha University Kyotanabe Campus, Kyoto
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] Characterization of polymer layer formation during SiO2/SiN etching by fluoro/hydrofluorocarbon plasmas2013

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      35th International Symposium on Dry Process (DPP2013)
    • 発表場所
      Ramada Plaza Jeju Hotel, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [学会発表] Recent progress of Molecular Dynamics (MD) simulation techniques for the analysis of plasma-surface interaction2013

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      8th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT 2013)
    • 発表場所
      National Chiao Tung University, Hsinchu, Taiwan
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [学会発表] Needs for atomic and molecular database in modern plasma processing2013

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      apan-Australia Commemorative Workshop (JAWS25)
    • 発表場所
      Cairns, Australia
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] Study on plasma-surface interaction in LIA3362012

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      CNRS-LIA336 Workshop
    • 発表場所
      Kyushu University, Hakozaki Campus, Japan
    • 年月日
      2012-09-21
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [学会発表] Ion beam studies on plasma-surface interactions SRC2012

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Semiconductor Research Corporation (SRC) NMS(Nanomanufacturing Sciences)Patterning Annual Review
    • 発表場所
      Chicago, Il, USA
    • 年月日
      2012-09-25
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [学会発表] Chemically reactive species in liquids generated by atmospheric-pressure plasmas and their roles in plasma medicine2012

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      8th International Conference on Atomic and Molecular Data and Their Applications (ICAMDATA-8)
    • 発表場所
      National Institute of Standards and Technology (NIST), Gaithersburg, MD,USA
    • 年月日
      2012-09-30
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [学会発表] Ion beam studies on plasma-surface interactions2012

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      Semiconductor Research Corporation (SRC) & Tokyo Electron (TEL) Workshop on Future Materials and Processes for Nanotechnology
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 年月日
      2012-02-17
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [学会発表] Plasma treatment of artificial bones2012

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      2nd International Symposium for Plasma Biosciences (SPB2012)
    • 発表場所
      Seoul, Korea
    • 年月日
      2012-08-12
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [学会発表] Applications of non-equilibrium plasmas in medicine2012

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      International Symposium for 25th Anniversary of H-mode Bifurcation Theory
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan(招待講演)
    • 年月日
      2012-01-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Applications of non-equilibrium plasmas in medicine2012

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      International Symposium for 25th Anniversary of H-mode Bifurcation Theory
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan(招待講演)
    • 年月日
      2012-01-24
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [学会発表] Cell proliferation enhanced by atmospheric-pressure plasma application for cells of interest in orthopedics2012

    • 著者名/発表者名
      Kazuto Masuda, Satoshi Hamaguchi, Yu Moriguchi, Tatsuya Kanazawa, Ayumi Ando, Kiyoshi Okada, Akira Myoui, Hideki Yoshikawa
    • 学会等名
      Book of Abstracts of 4th International Conference on Plasma Medicine
    • 発表場所
      Orléans, France
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] Numerical Simulation of Reactive Species in Liquids in Contact with Atmospheric Pressure Plasmas2012

    • 著者名/発表者名
      Tatsuya Kanazawa, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Book of Abstracts of 4th International Conference on Plasma Medicine
    • 発表場所
      Orléans, France
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] Ion-bombardment-induced diffusion and drift of impurity atomsin solids2012

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      IUMRS (International Union of Materials Research Societies)-International Conference on Electronic Materials (IUMRS-ICEM 2012)
    • 発表場所
      Yokohama, Japan
    • 年月日
      2012-09-23
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [学会発表] Cell proliferation enhanced by atmospheric-pressure plasma application for cells of interest in orthopedics2012

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      4th International Conference on Plasma Medicin
    • 発表場所
      Orleacute;ans, France
    • 年月日
      2012-06-17
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [学会発表] Numerical analysis of nano-second pulsed discharge near atmospheric pressure2012

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      International Workshop “Physics of Microplasmae
    • 発表場所
      Bochum, Germany
    • 年月日
      2012-05-30
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [学会発表] Plasma Surface Modification of Artificial Bones for Bone Regeneration2012

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      4th International Conference on Plasma Medicine
    • 発表場所
      Orleacute;ans, France
    • 年月日
      2012-06-17
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [学会発表] Numerical analysis of nano-second pulsed discharge near atmospheric pressure2012

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      International Workshop "Physics of Microplasmas"
    • 発表場所
      Bochum, Germany
    • 年月日
      2012-05-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Chemically reactive species in liquids generated by atmospheric-pressure plasmas and their roles in plasma medicine2012

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Book of Abstracts of The 8th International Conference on Atomic and Molecular Data and Their Applications
    • 発表場所
      National Institute of Standards and Technology (NIST), Gaithersburg, MD, USA
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] 大気圧放電に接する液中に生成される活性酸素・活性窒素2012

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      2012年度原子分子データ応用フォーラムセミナー:高Zプラズマの原子過程と、酸素分子が関係する原子分子過程とその応用
    • 発表場所
      核融合科学研究所岐阜県土岐市
    • 年月日
      2012-12-11
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [学会発表] プラズマ医療研究の最前線2012

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会第29回年会
    • 発表場所
      クローバープラザ 福岡県春日市
    • 年月日
      2012-11-17
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [学会発表] Plasma Biomedicine in Orthopedics2012

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Workshop on Plasma Biomedicine, 65th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Austin, TX USA
    • 年月日
      2012-10-22
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [学会発表] Plasma Surface Modification of Artificial Bones for Bone Regeneration2012

    • 著者名/発表者名
      Yu Moriguchi, Dae-Sung Lee, Kazuto Masuda, Myoui Akira, Hideki Yoshikawa, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Book of Abstracts of 4th International Conference on Plasma Medicine
    • 発表場所
      Orléans, France
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] 大気圧・液中プラズマ照射によるバイオ・ナノプロセス2012

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      応用物理理学会励起ナノプロセス研究会主催第8回励起ナノプロセス研究会
    • 発表場所
      大阪大学中之島センター大阪市北区
    • 年月日
      2012-12-17
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [学会発表] Analyses of elementary ion-surface interactions for low-damage plasma etching processes2012

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Korean Physical Society (KPS) 2012 Spring Meeting
    • 発表場所
      Daejeon Convention Center, Daejeon, Korea
    • 年月日
      2012-04-25
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [学会発表] Analyses of plasma-surface interactions by numerical simulations and multi-beam experiments2012

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      4th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology 2012 (ICMAP2012)
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 年月日
      2012-07-04
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [学会発表] Plasma Diagnosis by Terahertz Frequency-Domain Spectroscopy2012

    • 著者名/発表者名
      Hideaki Kitahara, Masahiko Tani, Katsuhisa Kitano, Satoshi Hamaguchi, and Masanori Hangyo
    • 学会等名
      The 8th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Todaiji Culture Center, Todaiji Temple, Nara
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23540573
  • [学会発表] Roles of hydrogen for hydrofluorocarbon (HFC) plasma etchingof silicon nitride (SiN)2012

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      American Vacuum Society (AVS) 59th International Symposium Exhibition
    • 発表場所
      Tampa, FL USA
    • 年月日
      2012-10-28
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [学会発表] プラズマ技術の紹介と現況2012

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      建築研究開発コンソーシアム(CBRD) プラズマの建築利用研究会第一回研究会
    • 発表場所
      晴海区民館、東京都中央区
    • 年月日
      2012-08-26
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110711
  • [学会発表] Numerical analysis of nano-second pulsed discharge near atmospheric pressure2012

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi , Chieh-Wen Lo
    • 学会等名
      International Workshop"Physics of Microplasmas"
    • 発表場所
      Bochum, Germany
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] Ion beam studies on plasma-surface interactions2012

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      Semiconductor Research Corporation (SRC) & Tokyo Electron (TEL) Workshop on Future Materials and Processes for Nanotechnology
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 年月日
      2012-02-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Plasma Biomedicine in Orthopedics2012

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Bulletin of the American Physical Society 57 (8) (2012) (Workshop on Plasma Biomedicine, 65^<th> Annual Gaseous Electronics Conference)
    • 発表場所
      Austin, TX
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] Plasma treatment of artificial bones2012

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Book of Abstract of the 2nd International Symposium for Plasma Biosciences (SPB2012)
    • 発表場所
      Seoul, Korea
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] Chemically reactive species in liquids generated by atmospheric-pressure plasmas and their roles in plasma medicine2012

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      8th International Conference on Atomic and Molecular Data and Their Applications (ICAMDATA-8)
    • 発表場所
      Gaithersburg, MD, USA
    • 年月日
      2012-09-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Plasma medicine in orthopaedics2011

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      the 1st International Symposium for Plasma Biosciences
    • 発表場所
      Seoul, Korea
    • 年月日
      2011-08-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Ionization-front propagation in nano-second pulsed plasmas near atmospheric pressure : analyses by particle-in-cell (PIC) simulation2011

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      the 22nd International Conference on Numerical Simulation of Plasmas
    • 発表場所
      Long Branch, NJ.USA(招待講演)
    • 年月日
      2011-09-07
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [学会発表] Plasma Surface Treatment of Artificial Bones and its Application to Regenerative Medicine2011

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      8th International Conference on Flow Dynamics
    • 発表場所
      Sendai, Japan(招待講演)
    • 年月日
      2011-11-09
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [学会発表] 整形外科分野におけるプラズマ技術応用の可能性2011

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学、神奈川県厚木市
    • 年月日
      2011-03-24
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [学会発表] Interactions of Low-Temperature Atmospheric-Pressure Plasmas with Cells, Tissues, and Biomaterials for Orthopaedic Applications2011

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      The 40th Winter Annual Conference of the Korean Vacuum Society
    • 発表場所
      Gangwon-d, Korea(invited)
    • 年月日
      2011-02-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Ionization-front propagation in nano-second pulsed plasmas near atmospheric pressure: analyses by particle-in-cell (PIC) simulation2011

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      the 22nd International Conference on Numerical Simulation of Plasmas
    • 発表場所
      Long Branch, NJ. USA
    • 年月日
      2011-09-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] プラズマ医療の現状と課題2011

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      第885回Technical Seminar
    • 発表場所
      総評会館(東京)(招待講演)
    • 年月日
      2011-08-31
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Ionization-front propagation in nano-second pulsed plasmas near atmospheric pressure : analyses by particle-in-cell (PIC) simulation2011

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      the 22nd International Conference on Numerical Simulation of Plasmas
    • 発表場所
      Long Branch, NJ.USA(招待講演)
    • 年月日
      2011-09-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Discharge Formation Mechanisms of Nano-Second High-Pressure Hydrogen Discharges2011

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      the 3rd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology
    • 発表場所
      Dalian, China
    • 年月日
      2011-07-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Recent development of plasma medicine2011

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      2011 Northeastern Asian Symposium on Plasma Fusion
    • 発表場所
      Daejeon, Korea(招待講演)
    • 年月日
      2011-09-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Effects of Low-Temperature Atmospheric-Pressure Plasmas Application on Cell Proliferation and Biomaterial Surface Modification2011

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      2011 Japan-Taiwan Symposium on Polyscale Technologies for Biomedical Engineering and Environmental Sciences/The 5th Polyscale Technology Workshop (PT-BMES 2011/PTW-5)
    • 発表場所
      Noda, Chiba, Japan
    • 年月日
      2011-03-07
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [学会発表] Plasma medicine in orthopaedics2011

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      the 1st International Symposium for Plasma Biosciences
    • 発表場所
      Seul, Korea(招待講演)
    • 年月日
      2011-08-14
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [学会発表] 磁性体およびSi系材料反応性イオンエッチングの表面反応解析2011

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      応用物理学会シリコンテクノロジー分科会第133会研究会「最先端プラズマプロセスにおけるダメージ/バラつき/異物制御」
    • 発表場所
      東京大学弥生キャンパス、東京都文京区(招待講演)
    • 年月日
      2011-02-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] 磁性体およびSi系材料反応性イオンエッチングの表面反応解析2011

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      応用物理学会シリコンテクノロジー分科会第133会研究会「最先端プラズマプロセスにおけるダメージ/バラつき/異物制御」
    • 発表場所
      東京大学弥生キャンパス、東京都文京区(招待講演)
    • 年月日
      2011-02-18
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [学会発表] Plasma-Tissue Interaction-Roles of Bio-interfaces in Plasma Medicine2011

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      21st Material Research Society Japan
    • 発表場所
      Yokohama, Japan(招待講演)
    • 年月日
      2011-12-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Ion beam studies on plasma-surface interactions2011

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      Semiconductor Research Corporation (SRC) CEMPI Back End Processes Review
    • 発表場所
      Denton, TX, USA
    • 年月日
      2011-11-07
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [学会発表] Interactions of Low-Temperature Atmospheric-Pressure Plasmas with Cells, Tissues, and Biomaterials for Orthopaedic Applications2011

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      The 40th Winter Annual Conference of the Korean Vacuum Society
    • 発表場所
      Gangwon-d, Korea(invited)
    • 年月日
      2011-02-09
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [学会発表] Interactions of Low-Temperature Atmospheric-Pressure Plasmas with Cells, Tissues, and Biomaterials for Orthopaedic Applications2011

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      The 40th Winter AnnualConference of the Korean Vacuum Society
    • 発表場所
      Gangwon-do, Korea
    • 年月日
      2011-02-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] 最近のプラズマ医療研究の動向2011

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      第1回プラズマ医療・健康産業シンポジウム/第5回光・プラズマプロセスのバイオ応用ワークショップ
    • 発表場所
      大阪大学中之島センター、大阪市
    • 年月日
      2011-03-22
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [学会発表] Recent development of plasma medicine2011

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      2011 Northeastern Asian Symposium on Plasma Fusion
    • 発表場所
      Daejeon, Korea(招待講演)
    • 年月日
      2011-09-25
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [学会発表] 最近のプラズマ医療研究の動向2011

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      第1回プラズマ医療・健康産業シンポジウム/第5回光・プラズマプロセスのバイオ応用ワークショップ
    • 発表場所
      大阪大学中之島センター、大阪市
    • 年月日
      2011-03-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Plasma-Tissue Interaction-Roles of Bio-interfaces in Plasma Medicine2011

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      21st Material Research Society Japan
    • 発表場所
      Yokohama, Japan(招待講演)
    • 年月日
      2011-12-19
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [学会発表] Discharge Formation Mechanisms of Nano-Second High-Pressure Hydrogen Discharges2011

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      the 3rd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology
    • 発表場所
      Dalian, China
    • 年月日
      2011-07-04
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [学会発表] 整形外科分野におけるプラズマ技術応用の可能性2011

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学、神奈川県厚木市
    • 年月日
      2011-03-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Particle-in-cell (PIC) simulation analysis of the ionization-front propagation in the formation phase of a nano-second pulsed atmospheric-pressure hydrogen plasma2011

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      The 20th International Symposium on Plasma Chemistry
    • 発表場所
      Philadelphia, USA
    • 年月日
      2011-07-24
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [学会発表] Ion beam studies on plasma-surface interactions2011

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      Semiconductor Research Corporation (SRC) CEMPI Back End Processes Review
    • 発表場所
      Denton, TX, USA
    • 年月日
      2011-11-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Molecular dynamics (MD) simulation for semiconductor nanotechnology2011

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      Intemational Symposium on Renewable Energy & Materials Tailoring
    • 発表場所
      Kyoto, Japan(招待講演)
    • 年月日
      2011-09-18
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [学会発表] Plasma medicine in orthopaedics2011

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      the 1st International Symposium for Plasma Biosciences
    • 発表場所
      Seul, Korea(招待講演)
    • 年月日
      2011-08-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] 新しいプラズマ科学技術:ライフイノベーションへの挑戦:イントロダクション2011

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      Plasma Conference 2011
    • 発表場所
      石川県立音楽堂(金沢市)
    • 年月日
      2011-11-22
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [学会発表] プラズマ医療の現状と課題2011

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      第885回Technical Seminar
    • 発表場所
      総評会館(東京)(招待講演)
    • 年月日
      2011-08-31
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [学会発表] Molecular dynamics (MD) simulation for semiconductor nanotechnology2011

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      International Symposium on Renewable Energy & Materials Tailoring
    • 発表場所
      Kyoto, Japan(招待講演)
    • 年月日
      2011-09-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Plasma Surface Treatment of Artificial Bones and its Application to Regenerative Medicine2011

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      8th International Conference on Flow Dynamics
    • 発表場所
      Sendai, Japan(招待講演)
    • 年月日
      2011-11-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Effects of Low-Temperature Atmospheric-Pressure Plasmas Application on Cell Proliferation and Biomaterial Surface Modification2011

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      2011 Japan-Taiwan Symposium on Polyscale Technologies for Biomedical Engineering and Environmental Sciences/The 5th Polyscale Technology Workshop (PT-BMES 2011/PTW-5)
    • 発表場所
      Noda, Chiba, Japan
    • 年月日
      2011-03-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] 新しいプラズマ科学技術:ライフイノベーションへの挑戦:イントロダクション2011

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      Plasma Conference 2011
    • 発表場所
      石川県立音楽堂(金沢市)
    • 年月日
      2011-11-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Particle-in-cell (PIC) simulation analysis of the ionization-front propagation in the formation phase of a nano-second pulsed atmospheric-pressure hydrogen plasma2011

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      The 20th International Symposium on Plasma Chemistry
    • 発表場所
      Philadelphia, USA
    • 年月日
      2011-07-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Molecular dynamics simulation study on sputtering of graphite or amorphous carbon by low-energy hydrogen or its isotope ion beams2010

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      the 37th IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS2010)
    • 発表場所
      Norfolk, Virginia, USA
    • 年月日
      2010-06-20
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [学会発表] Dynamics of near-atmospheric-pressure hydrogen plasmas driven by pulsed high voltages2010

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      The 37th IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS2010)
    • 発表場所
      Norfolk, Virginia, USA
    • 年月日
      2010-06-20
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [学会発表] PLASMA SURFACE INTERACTIONS IN MATERIAL PROCESSING2010

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      The 25th Summer School and International Symposium on the Physics of Ionized Gases (SPIG2010)
    • 発表場所
      Donji Milanovac, Serbia(invited)
    • 年月日
      2010-08-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] 反応性イオンによるPt, CoおよびPtCoエッチング反応2010

    • 著者名/発表者名
      唐橋一浩, 伊藤智子, 浜口智志
    • 学会等名
      2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス、平塚
    • 年月日
      2010-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] Plasma surface interactions in material processing2010

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      The 25th Summer School and International Symposium on the Physics of Ionized Gases (SPIG 2010)
    • 発表場所
      Donji Milanovac, Serbia
    • 年月日
      2010-08-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Molecular dynamics simulation study on sputtering of graphite or amorphous carbon by low-energy hydrogen or its isotope ion beams2010

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      the 37th IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS2010)
    • 発表場所
      Norfolk, Virginia, USA
    • 年月日
      2010-06-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Plasma Stimulation for Cell Proliferation and Their Possible Applications in Orthopedics2010

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      The 3rd International Conference on Plasma Medicine (ICPM-3)
    • 発表場所
      Greifswald, Germany
    • 年月日
      2010-09-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Dynamics of near-atmospheric-pressure hydrogen plasmas driven by pulsed high voltages2010

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      The 37th IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS2010)
    • 発表場所
      Norfolk, Virginia, USA
    • 年月日
      2010-06-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] PLASMA SURFACE INTERACTIONS IN MATERIAL PROCESSING2010

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      The 25th Summer School and International Symposium on the Physics of Ionized Gases (SPIG2010)
    • 発表場所
      Donji Milanovac, Serbia(invited)
    • 年月日
      2010-08-30
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [学会発表] Plasma Stimulation for Cell Proliferation and Their Possible Applications in Orthopedics2010

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      The 3rd International Conference on Plasma Medicine (ICPM-3)
    • 発表場所
      Greifswald, Germany
    • 年月日
      2010-09-19
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-22110508
  • [学会発表] MDシミュレーションによるプラズマ対向炭素材料のエッチング特性2009

    • 著者名/発表者名
      山城昌志、浜口智志
    • 学会等名
      日本大学生産工学部第42回学術講演会
    • 発表場所
      日本大学生産工学部津田沼キャンパス、津田沼
    • 年月日
      2009-12-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] Effects of Hydorgen Incorporation in the Formation of Hydrogenated Diamond-like Carbon Films,2009

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      the 4th International Symposium on Atomic Technology
    • 発表場所
      Maiko Villa, Kobe
    • 年月日
      2009-11-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] New trends in modeling and simulations for plasma technologies2009

    • 著者名/発表者名
      S. Hamaguchi
    • 学会等名
      Memorial Symposium for the Retirement of Professor Tachibana, "Toward the Next Generation of Plasma Science and Technology, "
    • 発表場所
      Kyoto University, Kyoto
    • 年月日
      2009-05-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] Effects of Hydrogen Incorporation in the Formation of Hydrogenated Diamond-like Carbon Films2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Murakami, S. Hamaguchi
    • 学会等名
      the 4th International Symposium on Atomic Technology
    • 発表場所
      Maiko Villa, Kobe
    • 年月日
      2009-11-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] 低エネルギーイオンビーム照射装置を用いたシリカ基板へのインジウムおよびガリウムの注入2009

    • 著者名/発表者名
      吉村智、塚崎泰裕、木内正人、浜口智志
    • 学会等名
      第50回真空に関する連合講演会
    • 発表場所
      学習院目白キャンパス、東京
    • 年月日
      2009-11-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] EFFECTS OF ULTRAVIOLET LIGHT IRRADIATION ON REACTIVE ION ETCING OF ORGANIC POLYMERS AND SiO22009

    • 著者名/発表者名
      K. Ikuse, S. Yoshimura, K. Hine, K. Karahashi, M. Kiuchi, S. Hamaguchi
    • 学会等名
      International Congress on Plasma Physics (ICPP)2008
    • 発表場所
      Fukuoka International Congress Center
    • 年月日
      2009-09-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] Molecular dynamics simulation of plasma surface interaction for low-damage processing2009

    • 著者名/発表者名
      S. Hamaguchi
    • 学会等名
      the 21st International Conference on Numerical Simulation of Plasmas 2009
    • 発表場所
      Lisbon, Portugal
    • 年月日
      2009-10-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] Etching mechanisms of FeCo magnetic films by chemically reactive energetic ion injections2009

    • 著者名/発表者名
      K. Karahashi, T. Ito, Y. Matsumoto, S. Hamaguchi
    • 学会等名
      American Vacuum Society (AVS) 56th International Symposium & Exhibition
    • 発表場所
      San Jose, CA, USA
    • 年月日
      2009-11-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] Thermal desorption of hydrogen from H+ irradiated Si(100) surfaces2009

    • 著者名/発表者名
      C. Thomas, K. Karahashi, S. Hamaguchi
    • 学会等名
      the 4th International Symposium on Atomic Technology
    • 発表場所
      Maiko Villa, Kobe
    • 年月日
      2009-11-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] Beam study of the plasma-surface reaction in reactive ion etching2009

    • 著者名/発表者名
      Kazuhiro Karahashi, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロせシング研究会
    • 発表場所
      名古屋大学豊田講堂・シンポシオン
    • 年月日
      2009-02-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] Si etching by Br+ and HBr+ ion irradiation2009

    • 著者名/発表者名
      Tomoko Ito, K. Karahashi, S. -Y. Kang, S. Hamaguchi
    • 学会等名
      the 4th International Symposium on Atomic Technology
    • 発表場所
      Maiko Villa, Kobe
    • 年月日
      2009-11-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] Cl+, Br+イオン照射によるSiエッチング反応における水素の影響2009

    • 著者名/発表者名
      伊藤智子, 唐橋一浩, 康松潤, 浜口智志
    • 学会等名
      2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山大学、富山
    • 年月日
      2009-09-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] 反応性イオンによるFe-Co合金エッチング反応2009

    • 著者名/発表者名
      唐橋一浩, 松本祥志, 高須庸一, 犬飼和明, 上原裕二, 浜口智志
    • 学会等名
      第32回日本磁気学会学術講演会
    • 発表場所
      東北学院大学多賀城キャンパス
    • 年月日
      2009-09-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] Molecular dynamics simulation of plasma surface interaction for low-damage processing,"2009

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      the 21st International Conference on Numerical Simulati on of Plasmas 2009
    • 発表場所
      Lisbon, Portugal
    • 年月日
      2009-10-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] Molecular Dynamics Simulation on Plasma Surface Interaction-from Industrial Plasma Processing to Fusion Applications2009

    • 著者名/発表者名
      M. Yamashiro, A. Suzuki, M. Isobe, S. Hamaguchi
    • 学会等名
      17th Symposium on Application of Plasma Processes
    • 発表場所
      Liptovsky Jan, Slovakia
    • 年月日
      2009-01-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] New trends in modeling and simulations for plasma technologies,2009

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      Memorial Symposium for the Retirement of Professor Tachibana, "Toward the Next Generation of Plasma Science and Technology,"
    • 発表場所
      Kyoto University, Kyoto
    • 年月日
      2009-05-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] Effects of hydrogen bombardment during polysilicon gate etching by HBr/O2 plasmas2009

    • 著者名/発表者名
      T. Ito, K. Karahashi, M. Fukasawa, S. Kobayashi, N. Kuboi, T. Tatsumi, S. Hamaguchi
    • 学会等名
      American Vacuum Society (AVS) 56th International Symposium & Exhibition
    • 発表場所
      San Jose, CA, USA
    • 年月日
      2009-11-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] Atmospheric Pressure Plasmas and Their Biological Applications2009

    • 著者名/発表者名
      S. Hamaguchi, S. Ikawa, T. Ito, K. Kitano, A. Tani
    • 学会等名
      the 7th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Chateau Liblice, Liblice, Czech Republic
    • 年月日
      2009-04-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] Atmospheric Pressure Plasmas and Their Biological Applications,2009

    • 著者名/発表者名
      S.Hamaguchi
    • 学会等名
      the 7th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Chateau Liblice, Liblice, Czech Republic
    • 年月日
      2009-04-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] 大気圧・高気圧プラズマ研究の新しい展開2009

    • 著者名/発表者名
      浜口 智志
    • 学会等名
      日本物理学会
    • 発表場所
      岩手大学
    • 年月日
      2009-09-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] 分子動力学シミュレーションを用いた低誘電率SiOCHエッチング特性の解明2009

    • 著者名/発表者名
      鈴木歩太、礒部倫朗、浜口智志
    • 学会等名
      第9回関西コロキアム電子デバイスワークショップ
    • 発表場所
      関西大学、大阪
    • 年月日
      2009-10-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] Atomic-Scale Numerical Simulations of Structural Properties in Carbon-Based Thin Film Deposition Processes2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Murakami, O. Watabe, S. Horiguchi, S. Hamaguchi
    • 学会等名
      the 19th International Symposium on Plasma Chemistry
    • 発表場所
      Ruhr University Bochum
    • 年月日
      2009-07-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] Measurement of sputtering/etching yields by CF3 ion beam injection with UV light irradiation2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Tsukazaki, K. Ikuse, S. Yoshimura, M. Kiuchi, S. Hamaguchi
    • 学会等名
      the 4th International Symposium on Atomic Technology
    • 発表場所
      Maiko Villa, Kobe
    • 年月日
      2009-11-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] C1^+, Br^+イオン照射によるSiエッチング反応の評価2009

    • 著者名/発表者名
      伊藤 智子, 松本 祥志, 唐橋 一浩, 康 松潤, 浜口 智志
    • 学会等名
      2009年春季第56回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      筑波大学
    • 年月日
      2009-03-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] NeおよびXeイオンの照射によるMgO, CaO, SrO, BaOのスパッタ率測定2009

    • 著者名/発表者名
      吉村 智, 日根清裕, 木内正人, 橋本 潤, 寺内正治, 本多洋介, 坂井全弘, 西谷幹彦, 浜口智志
    • 学会等名
      2009年春季第56回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      筑波大学
    • 年月日
      2009-03-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] Generation of Dust Seeds by Sputtering of Carbon-based Plasma Facing Materials under Low-energy H/D/T Ion Bombardment2008

    • 著者名/発表者名
      Masashi Yamashiro, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      22nd IAEA Fusion Energy Conference
    • 発表場所
      Geneva, Switzerland
    • 年月日
      2008-10-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] Molecular dynamics simulation of carbon thin film deposition processes2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Murakami, S. Horiguchi, S. Hamaguchi
    • 学会等名
      The 6th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Okinawa
    • 年月日
      2008-04-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] イオン・分子ビーム装置を用いたプラズマ表面相互作用の研究2008

    • 著者名/発表者名
      伊藤智子, 松本祥志, 唐橋一浩, 浜口智志
    • 学会等名
      第2回三大学(東京理科大学・筑波大学・大阪大学)連携学生研究会「アトミック/ポリスケールテクノロジー連携研究会」
    • 発表場所
      東京理科大学長万部キャンパス
    • 年月日
      2008-08-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] テラヘルツ時間領域分光法によるCH4/Arプラズマの電子密度計測2008

    • 著者名/発表者名
      安藤あゆみ, 黒瀬智子, 北野 勝久北原 英明, 高野恵介, 谷正彦, 萩行正憲, 浜口智志
    • 学会等名
      第2回三大学(東京理科大学・筑波大学・大阪大学)連携学生研究会「アトミック/ポリスケールテクノロジー連携研究会」
    • 発表場所
      東京理科大学長万部キャンパス
    • 年月日
      2008-08-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] Molecular dynamics simulation of carbon thin film deposition processes2008

    • 著者名/発表者名
      Yasuo Murakami, Seishi Horiguchi, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      The 6th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing (JSPP2008)
    • 発表場所
      Okinawa
    • 年月日
      2008-04-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] Atomic-scale numerical simulations of SiOCH film etching processes by energetic CF3 beams2008

    • 著者名/発表者名
      A. Suzuki, T. Takizawa, M. Isobe, S. Hamaguchi
    • 学会等名
      The 6th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Okinawa
    • 年月日
      2008-04-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] Etching characteristics of Low-k SiOCH films by fluorocarbon beams : molecular dynamics study2008

    • 著者名/発表者名
      Ayuta Suzuki, Michiro Isobe, Shoji Kobayashi, Masanaga Fukasawa, Tetsuya Tatsumi, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      AVS 55th International Symposium and Exhibition
    • 発表場所
      Hynes Convention Center, Boston
    • 年月日
      2008-10-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] プラズマ表面相互作用研究の最近の動向 : プロセスから核融合まで2008

    • 著者名/発表者名
      浜口智志,山城昌志,鈴木歩太,礒部倫郎,唐橋一浩
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部第12回 支部大会
    • 発表場所
      九州大学筑紫地区総合研究棟筑紫ホール
    • 年月日
      2008-12-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] Atomic-scale numerical simulations of SiOCH film etching processes by energetic CF_3 beams2008

    • 著者名/発表者名
      Ayuta Suzuki, Toshifumi Takizawa, Michiro Isobe, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      The 6th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing (JSPP2008)
    • 発表場所
      Okinawa
    • 年月日
      2008-04-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] MgO sputtering yields by noble gas ions at relatively low injection energies2008

    • 著者名/発表者名
      S. Yoshimura, K. Hine, M. Matsukuma, K. Ikuse, M. Kiuchi, T. Nakao, J. Hashimoto, M. Terauchi, M. Nishitani, S. Hamaguchi
    • 学会等名
      15^<th> International Display Workshops
    • 発表場所
      Toki Messe Niigata Convention Center, Niigata, Japan
    • 年月日
      2008-12-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] Molecular Dynamics Simulations of Low-k SiOCH film etching by fluorocarbon plasmas2008

    • 著者名/発表者名
      Ayuta Suzuki, Michiro Isobe, Shoji Kobayashi, Masanaga Fukasawa, Tetsuya Tatsumi, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      2008 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)
    • 発表場所
      Tsukuba, EPOCAL
    • 年月日
      2008-09-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] CF_3^+ ion induced etching reactions of SiO_2 and Si2008

    • 著者名/発表者名
      Kazuhiro Karahashi Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      AVS 55th International Symposium and Exhibition
    • 発表場所
      Hynes Convention Center, Boston
    • 年月日
      2008-10-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] CF3イオンビームを用いたPMMAエッチングにおける光照射重畳効果2008

    • 著者名/発表者名
      幾世和将, 吉村智, 木内正人, 浜口智志
    • 学会等名
      第49回真空に関する連合講演会
    • 発表場所
      松江市くにびきメッセ
    • 年月日
      2008-10-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] Sputtering characteristics of carbon-based materials exposed to H/D/T plasmas …molecular dynamics simulation study2008

    • 著者名/発表者名
      Masashi Yamashiro, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      50th Annual Meeting of the Division of Plasma Physics
    • 発表場所
      Hyatt Regency Hotel Dallas, Texas
    • 年月日
      2008-11-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] Atomic-scale numerical simulations of surface reactions in carbon-based thin film deposition processes2008

    • 著者名/発表者名
      Yasuo Murakami, Seishi Horiguchi, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      AVS 55th International Symposium and Exhibition
    • 発表場所
      Hynes Convention Center, Boston
    • 年月日
      2008-10-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] Estimation of electron densities of plasmas by terahertz time-domain spectroscopy2008

    • 著者名/発表者名
      K., Kitano・T., Kurose・A., Ando・H., Kitahara・K., Takano・M., Tani・M., Hangyo・S., Hamaguchi
    • 学会等名
      2nd International Symposium of Atomic Technologies
    • 発表場所
      兵庫県淡路夢舞台
    • 年月日
      2008-10-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18030009
  • [学会発表] Chemical reaction induced by glow plasmas inside bubbles in water2007

    • 著者名/発表者名
      H. Aoki, K. Kitano, and S. Hamaguchi
    • 学会等名
      第2回アトミック/ポリスケールテクノロジー連携研究会
    • 発表場所
      東京理科大学長万部キャンパス
    • 年月日
      2007-08-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18654101
  • [学会発表] テラヘルッ時間領域分光法を用いたArプラズマの電子密度測定2007

    • 著者名/発表者名
      黒瀬智子, 北野勝久, 安藤あゆみ, 北原英明, 谷正彦, 萩行正憲, 浜口智志
    • 学会等名
      第2回アトミック/ポリスケールテクノロジー連携研究会
    • 発表場所
      東京理科大学長万部キャンパス
    • 年月日
      2007-08-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18030009
  • [学会発表] 低エネルギー領域における酸化マグネシウム薄膜のスパッタ率測定2007

    • 著者名/発表者名
      日根清裕, 吉村智, 幾世和将, 木内正人, 橋本潤, 寺内正治, 西谷幹彦, 浜口智志
    • 学会等名
      第2回アトミック/ポリスケールテクノロジー連携研究会
    • 発表場所
      東京理科大学長万部キャンパス
    • 年月日
      2007-08-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19204056
  • [学会発表] Chemical reactions induced by glow plasmas generated in bubbles in water2007

    • 著者名/発表者名
      H. Aoki, K. Kitano, and S. Hamaguchi
    • 学会等名
      The 18th International Symposium on Plasma Chemistry
    • 発表場所
      京都大学吉田キャンパス
    • 年月日
      2007-08-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18654101
  • [学会発表] 大気圧・液中プラズマ照射によるバイオ・ナノプロセス

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      応用物理理学会励起ナノプロセス研究会主催第8回励起ナノプロセス研究会
    • 発表場所
      大阪大学中之島センター 大阪市北区
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Study on plasma-surface interaction in LIA336

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      CNRS-LIA336 Workshop
    • 発表場所
      Kyushu University, Hakozaki Campus, Japan
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Analyses of elementary ion-surface interactions for low-damage plasma etching processes

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Korean Physical Society (KPS) 2012 Spring Meeting
    • 発表場所
      Daejeon Convention Center, Daejeon, Korea
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] プラズマの医療応用研究最先端

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      Plasma 2014
    • 発表場所
      朱鷺メッセ 新潟コンベンションセンター、新潟市
    • 年月日
      2014-11-18 – 2014-11-21
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [学会発表] Plasma Biomedicine in Orthopedics

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Workshop on Plasma Biomedicine, 65th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Austin, TX, USA
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] One dimensional reaction diffusion simulation of ROS/RNS in liquid generated by plasma irradiation

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      The 4th International Symposium for Plasma Biosciences (SPB2014) and The 3rd International Symposium on Chemical & Biological Detection (ISCBD-3)
    • 発表場所
      Delpino Resort, Sokcho, Gangwon-do, Korea
    • 年月日
      2014-08-17 – 2014-08-20
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [学会発表] Formation of a reaction boundary layer in liquid exposed to low-temperature atmospheric-pressure plasma in ambient air

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      the 48th Annual Conference of the Korean Vacuum Society
    • 発表場所
      Welli Hilli Park, Gangwon-do, Korea
    • 年月日
      2015-01-09 – 2015-01-11
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [学会発表] Numerical analysis of nano-second pulsed discharge near atmospheric pressure

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      International Workshop “Physics of Microplasmas”
    • 発表場所
      Bochum, Germany
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Chemically reactive species in liquids generated by atmospheric-pressure plasmas and their roles in plasma medicine

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      8th International Conference on Atomic and Molecular Data and Their Applications (ICAMDATA-8)
    • 発表場所
      National Institute of Standards and Technology (NIST), Gaithersburg, MD, USA
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Roles of hydrogen for hydrofluorocarbon (HFC) plasma etching of silicon nitride (SiN)

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      American Vacuum Society (AVS) 59th International Symposium & Exhibition
    • 発表場所
      Tampa, Fl, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Analyses of plasma-surface interactions by numerical simulations and multi-beam experiments

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      4th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology 2012 (ICMAP2012)
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Plasma induced liquid chemistry: modelling

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      Lorenz Center Workshop: Gas/Plasma-Liquid Interface: Transport, Chemistry and Fundamental Data
    • 発表場所
      Lorentz Center, Leiden, Netherlands
    • 年月日
      2014-08-04 – 2014-08-08
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [学会発表] プラズマ技術の紹介と現況

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      建築研究開発コンソーシアム(CBRD) プラズマの建築利用研究会第一回研究会
    • 発表場所
      晴海区民館、東京都中央区
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] 大気圧放電に接する液中に生成される活性酸素・活性窒素

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      2012年度原子分子データ応用フォーラムセミナー:高Zプラズマの原子過程と、酸素分子が関係する原子分子過程とその応用
    • 発表場所
      核融合科学研究所 岐阜県土岐市
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] 細胞培養プレートのプラズマ表面処理

    • 著者名/発表者名
      斉宮大,杉本敏司,宮本諭, 名井陽, 吉川秀樹, 浜口 智志
    • 学会等名
      応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26293336
  • [学会発表] Modification of hydroxyapatite and polystyrene surface for cell culture by low-pressure plasmas

    • 著者名/発表者名
      Dai Itsuki, Tomoko Ito, Satoshi Sugimoto, Yu Moriguchi, Satoshi Miyamoto, Akira Myoui, Hideki Yoshikawa, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      International Conference on Plasma Medicine
    • 発表場所
      Nara, Japan
    • 年月日
      2014-05-18 – 2014-05-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26293336
  • [学会発表] Cell proliferation enhanced by atmospheric-pressure plasma application for cells of interest in orthopedics

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      4th International Conference on Plasma Medicine
    • 発表場所
      Orlean, France
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] Cell proliferation enhanced by atmospheric-pressure plasma application for cells of interest in orthopedics

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      4th International Conference on Plasma Medicine
    • 発表場所
      Oreleans, France
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Plasma Surface Modification of Artificial Bones for Bone Regeneration

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      4th International Conference on Plasma Medicine
    • 発表場所
      Orlean, France
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] Optimization of culture conditions for directing osteogenesis differentiation of mouse induced pluripotent stem cells

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Miyamoto, Akira Myoui, Daisuke Okuzaki, Naohisa Goto, Satoshi Hamaguchi, Hideki Yoshikawa
    • 学会等名
      International Society for Stem Cell Research, 2015 Annual Meeting
    • 発表場所
      Stockholm, Sweden
    • 年月日
      2015-06-24 – 2015-06-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26293336
  • [学会発表] GENERATION AND TRANSPORT OF REACTIVE OXYGEN SPECIES IN PLASMA IRRADIATED LIQUID

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      Pacific Rim Symposium on Surfaces, Coatings and Interfaces (PacSurf 2014)
    • 発表場所
      Hapuna Beach Prince Hotel, Kohala Coast, Hawaii, USA
    • 年月日
      2014-12-07 – 2014-12-11
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [学会発表] 大気圧・液中プラズマ照射によるバイオ・ナノプロセス

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      応用物理理学会励起ナノプロセス研究会主催第8回励起ナノプロセス研究会
    • 発表場所
      大阪大学中之島センター 大阪市北区
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] Plasma Surface Modification of Artificial Bones for Bone Regeneration

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      4th International Conference on Plasma Medicine
    • 発表場所
      Oreleans, France
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Plasma treatment of artificial bones

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      2nd International Symposium for Plasma Biosciences (SPB2012)
    • 発表場所
      Seoul, Korea
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] 浜口智志 プラズマ・ラジカルの物理とその医療応用

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      日本物理学会第68回年次大会
    • 発表場所
      広島大学東広島キャンパス 広島県東広島市
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] プラズマ医療研究の最前線」

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会第29回年会
    • 発表場所
      クローバープラザ 福岡県春日市
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] Chemically reactive species in liquids generated by atmospheric-pressure plasmas and their roles in plasma medicine

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      8th International Conference on Atomic and Molecular Data and Their Applications (ICAMDATA-8)
    • 発表場所
      National Institute of Standards and Technology (NIST), Gaithersburg, MD, USA
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] New Challenges for Plasma Processing

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      2nd International Symposium on Non-equilibrium Plasma and Complex-System Sciences (2nd IS-NPCS)
    • 発表場所
      Ruhr University, Bochum (RUB), Bochum, Germany
    • 年月日
      2014-09-30 – 2014-10-02
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [学会発表] 「はじめに」「まとめ」シンポジウムXIII. プラズマ医療:その素過程の物理・化学

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      Plasma 2014
    • 発表場所
      朱鷺メッセ 新潟コンベンションセンター、新潟市
    • 年月日
      2014-11-18 – 2014-11-21
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [学会発表] REACTION AND TRANSPORT OF PLASMA-GENERATED REACTIVE SPECIES IN LIQUID

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      The 20th Symposium on Application of Plasma Processes (SAPP2014)
    • 発表場所
      Tatranska; Lomnica, Slovakia
    • 年月日
      2015-01-17 – 2015-01-22
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [学会発表] プラズマ科学技術の建築分野での活用

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      建築研究開発コンソーシアム(CBRD) テクニカルフォーラム
    • 発表場所
      晴海トリトンスクエア、東京都中央区
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Ion-bombardment-induced diffusion and drift of impurity atoms in solids

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      IUMRS (International Union of Materials Research Societies)-International Conference on Electronic Materials (IUMRS-ICEM 2012)
    • 発表場所
      Yokohama, Japan
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Plasma Surface Modification of Cell Culture Plates

    • 著者名/発表者名
      Dai Itsuki, Satoshi Sugimoto, Satoshi Miyamoto, Akira Myoui, Hideki Yoshikawa, Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      International symposium on non-equilibrium plasma and complex-system sciences
    • 発表場所
      Bochum, Germany
    • 年月日
      2014-09-30 – 2014-10-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26293336
  • [学会発表] Plasma Biomedicine in Orthopedics

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Workshop on Plasma Biomedicine, 65th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Austin, TX, USA
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Liquid-phase chemical reactions induced by low-temperature atmospheric-pressure plasmas relevant to plasma medicine

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      the 17th International Congress on Plasma Physics (ICPP2014)
    • 発表場所
      Instituto Superior Technico, Lisbon
    • 年月日
      2014-09-15 – 2014-09-19
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • [学会発表] 大気圧放電に接する液中に生成される活性酸素・活性窒素

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      2012年度原子分子データ応用フォーラムセミナー:高Zプラズマの原子過程と、酸素分子が関係する原子分子過程とその応用
    • 発表場所
      核融合科学研究所 岐阜県土岐市
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] Plasma treatment of artificial bones

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      2nd International Symposium for Plasma Biosciences (SPB2012)
    • 発表場所
      Seoul, Korea
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] プラズマ医療研究の最前線」

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会第29回年会
    • 発表場所
      クローバープラザ 福岡県春日市
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] Ion beam studies on plasma-surface interactions SRC

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Hamaguchi
    • 学会等名
      Semiconductor Research Corporation (SRC) NMS (Nanomanufacturing Sciences) Patterning Annual Review
    • 発表場所
      Chicago, Il, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22244075
  • [学会発表] プラズマ・ラジカルの物理とその医療応用」

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      日本物理学会第68回年次大会
    • 発表場所
      広島大学東広島キャンパス 広島県東広島市
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24654195
  • [学会発表] 「まとめ」シンポジウムV. 非平衡極限プラズマ研究の展開と普遍性

    • 著者名/発表者名
      浜口智志
    • 学会等名
      Plasma 2014
    • 発表場所
      朱鷺メッセ 新潟コンベンションセンター、新潟市
    • 年月日
      2014-11-18 – 2014-11-21
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-25108506
  • 1.  若谷 誠宏 (00109357)
    共同の研究課題数: 4件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  北野 勝久 (20379118)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 6件
  • 3.  吉村 智 (40294029)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 56件
  • 4.  鹿田 真一 (00415689)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  山田 英明 (90443233)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  吉川 秀樹 (60191558)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 8件
  • 7.  名井 陽 (10263261)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 8件
  • 8.  北原 英明 (20397649)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 1件
  • 9.  萩行 正憲 (10144429)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 1件
  • 10.  谷 正彦 (00346181)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 1件
  • 11.  木内 正人 (50356862)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 17件
  • 12.  寒川 誠二 (30323108)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  幾世 和将 (20795778)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  後藤 直久 (60448157)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 4件
  • 15.  笠井 秀明 (00177354)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 16.  Dino Wilson (60379146)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 17.  中田 研 (00283747)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 18.  中村 憲正 (50273719)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 19.  梅澤 明弘 (70213486)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 20.  福田 寛二 (50201744)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 21.  岡本 美奈 (50457008)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 1件
  • 22.  VINCHON PIERRE
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 1件
  • 23.  石川 健治
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 1件
  • 24.  堀 勝
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 2件
  • 25.  山田 弘司
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 1件
  • 26.  竹内 孝江
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 1件

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