内田寛 Uchida Hiroshi

研究者番号	60327880
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 上智大学, 理工学部, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2022年度 – 2024年度: 上智大学, 理工学部, 教授 2018年度: 上智大学, 理工学部, 教授 2016年度 – 2017年度: 上智大学, 理工学部, 准教授 2012年度 – 2013年度: 上智大学, 理工学部, 准教授 2009年度 – 2010年度: 上智大学, 理工学部, 准教授 … もっと見る 2007年度 – 2008年度: 上智大学, 理工学部, 助教 2007年度: 上智大学, 上智大学・理工学部, 助教 2006年度: 上智大, 理工学部, 助手 2005年度: 上智大学, 理工学部, 助手 2004年度: 上智大学, 理工学部・化学科, 助手 2001年度 – 2003年度: 上智大学, 理工学部, 助手隠す
審査区分/研究分野	研究代表者電子・電気材料工学 / 材料加工・処理 / 小区分27020:反応工学およびプロセスシステム工学関連 / 無機材料・物性 / 材料加工・処理研究代表者以外小区分26020:無機材料および物性関連 / 無機材料・物性
キーワード	研究代表者超臨界流体 / 無機材料 / 金属酸化物 / 二酸化炭素 / 酸化物 / 薄膜 / 有機金属化合物 / 薄膜プロセス / 半導体デバイス / マイクロ波 … もっと見る / 単結晶 / 水熱合成 / 圧電体 / ゾルゲル / ナノシート / 結晶配向性 / 分極 / チタン酸ジルコン酸鉛 / 強誘電体 / 材料加工・処理 / 超臨界流体堆積 / 薄膜材料 / 薄膜堆積 / 金属板 / シリコンウェハー / イオン署換 / 高価数イオン / ネオジム / イオン置換 / 化学溶液法 / チタン酸ビスマス / 強誘電体薄膜 / 組成制御 / 多成分系酸化物薄膜 / 超音波発振式噴霧器 / ミストCVD … もっと見る研究代表者以外二次元成長 / 薄膜 / 格子ミスマッチ / 導電性 / 濃厚環境 / 化学溶液堆積法 / STEM-EELS / 配位子場 / PZT / 2次元構造秩序 / 核生成・成長 / 結晶成長 / 強誘電体薄膜 / 局所配位構造 / 界面構造 / 核生成 / 濃厚環境結晶成長 / 強誘電体 / 温度依存性 / 残留歪み / 誘電体薄膜 / サイズ効果隠す

金属酸化物単結晶の高速成長を実現するための水熱反応プロセスの構築研究代表者
- 研究代表者
  
  内田寛
- 研究期間 (年度)
  2023 – 2025
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分27020:反応工学およびプロセスシステム工学関連
- 研究機関
  上智大学
2次元構造秩序の自己組織化に着目した濃厚環境下の強誘電体薄膜成長メカニズム
- 研究代表者
  
  木口賢紀
- 研究期間 (年度)
  2022 – 2024
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分26020:無機材料および物性関連
- 研究機関
  熊本大学
酸化物ナノシート表面におけるPZT薄膜の配向成長およびドメイン形成機構の解明研究代表者
- 研究代表者
  
  内田寛
- 研究期間 (年度)
  2016 – 2018
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  無機材料・物性
- 研究機関
  上智大学
超臨界流体反応場における有機金属化合物の分解反応解析と薄膜堆積プロセスへの応用研究代表者
- 研究代表者
  
  内田寛
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2013
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  材料加工・処理
- 研究機関
  上智大学
原料リサイクルシステムを備えた薄膜合成プロセスの構築研究代表者
- 研究代表者
  
  内田寛
- 研究期間 (年度)
  2009 – 2010
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  材料加工・処理
- 研究機関
  上智大学
"サイズ効果フリー"誘電体の誘電特性におよぼす残留歪と温度の影響
- 研究代表者
  
  舟窪浩
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2008
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  無機材料・物性
- 研究機関
  東京工業大学
超臨界流体を反応場とした結晶質酸化物薄膜の低温成膜研究代表者
- 研究代表者
  
  内田寛
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2008
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  上智大学
超臨界流体を利用した半導体デバイス用酸化物薄膜材料合成プロセスの構築研究代表者
- 研究代表者
  
  内田寛
- 研究期間 (年度)
  2005 – 2006
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  上智大学
ビスマス層状構造酸化物強誘電体薄膜へのion-codopeによる強誘電特性の制御研究代表者
- 研究代表者
  
  内田寛
- 研究期間 (年度)
  2003 – 2004
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  上智大学
有機金属溶液のミスト供給による多成分系酸化物薄膜のCVD成膜プロセス研究代表者
- 研究代表者
  
  内田寛
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2002
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  材料加工・処理
- 研究機関
  上智大学

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すべて雑誌論文学会発表図書

[図書] 半導体・MEMSのための超臨界流体2012
- 著者名/発表者名
  近藤英一(著・編集),上野和良,内田寛,曽根正人,生津英夫,服部毅(著),堀照夫,森口誠[分担]
- 出版者
  コロナ社
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760602
[雑誌論文] Polarization switching behavior of one-axis-oriented lead zirconate titanate films fabricated on metal oxide nanosheet layer2017
- 著者名/発表者名
  Uchida Hiroshi、Ichinose Daichi、Shiraishi Takahisa、Shima Hiromi、Kiguchi Takanori、Akama Akihiko、Nishida Ken、Konno Toyohiko J.、Funakubo Hiroshi
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 56 号: 10S ページ: 10PF10-10PF10
- DOI
  10.7567/jjap.56.10pf10
- NAID
  210000148387
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06731, KAKENHI-PROJECT-26220907, KAKENHI-PROJECT-15H04118, KAKENHI-PROJECT-15H04121
[雑誌論文] “Effect of the Annealing Temperature on Dielectric Properties of Bi_<1.5>Zn_<1.0>Nb_<1.5>O_7 Films Prepared by MOCVD2009
- 著者名/発表者名
  Hiroshi Funakubo, Shingo Okaura, Muneyasu Suzuki, Hiroshi Uchida, Seiichiro Koda
- 雑誌名
  
  Key Eng. Mater. 388
  
  ページ: 175-178
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360294
[雑誌論文] “Fabrication of conductive oxide polycrystalline BaPbO_3 films by chemical solution deposition and their electrical resistivity2009
- 著者名/発表者名
  Hiroshi Naganuma, Kayoko Yamada, Hiromi Shima, Kensuke Akiyama, Takashi Iijima, Hiroshi Funakubo, Soichiro Okamura
- 雑誌名
  
  J Electroceram 22
  
  ページ: 78-81
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360294
[雑誌論文] Fabrication of conductive oxide polycrystalline BaPbO_3 films by chemical solution deposition and their electrical resistivity2009
- 著者名/発表者名
  Hiroshi Naganuma, Kayoko Yamada, Hiromi Shima, Kensuke Akiyama, Takashi Iijima, Hiroshi Funakubo, and Soichiro Okamura
- 雑誌名
  
  J Electroceram 22
  
  ページ: 78-81
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360294
[雑誌論文] Effect of the Annealing Temperature on Dielectric Properties of Bi_<1.5>Zn_<1.0>Nb_<1.5>O_7 Films Prepared by MOCVD2009
- 著者名/発表者名
  Hiroshi Funakubo, Shingo Okaura, Muneyasu Suzuki, Hiroshi Uchida, and Seiichiro Koda
- 雑誌名
  
  Key Eng. Mater 388
  
  ページ: 175-178
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360294
[雑誌論文] Degradation free Dielectric Property Using Bismuth Layer structure Dielectrics Having Natural Superlattice Structure2008
- 著者名/発表者名
  Hiroshi Funakubo
- 雑誌名
  
  J. Ceram. Soc. Jpn 116(12)
- NAID
  110007007486
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360294
[雑誌論文] Degradation-free Dielectric Property Using Bismuth Layer-structure Dielectrics Having Natural Superlattice Structure2008
- 著者名/発表者名
  Hiroshi Funakubo
- 雑誌名
  
  J. Ceram. Soc. Jpn. 116(12)
- NAID
  110007007486
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360294
[雑誌論文] “Low strain sensitivity of the dielectric property of pryrochlore Bi-Zn-Nb-O films2008
- 著者名/発表者名
  Hiroshi Funakubo, Shingo Okaura, Muneyau Suzuki, Hiroshi Uchida, Seiichiro Koda, Rikyu Ikariyama, Tomoaki Yamada
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Lett. 92
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360294
[雑誌論文] Temperature Dependency of Dielectric Properties in Epitaxially Grown SrBi_4Ti_4O^<15> Films with Different Orientation2008
- 著者名/発表者名
  Hiroshi Funakubo Muneyasu Suzuki, Kenji Takahashi and Takayuki Watanabe
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials 368-372
  
  ページ: 1811-1813
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360294
[雑誌論文] Temperature Dependency of Dielectric Properties in Epitaxially Grown SrBi_4Ti_4O_<15> Films with Different Orientation2008
- 著者名/発表者名
  Hiroshi Funakubo, Muneyasu Suzuki, Kenji Takahashi, and Takayuki Watanabe
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials 368-372
  
  ページ: 1811-1813
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360294
[雑誌論文] Low strain sensitivity of the dielectric property of pryrochlore Bi-Zn-Nb-O films2008
- 著者名/発表者名
  Hiroshi Funakubo, Shingo Okaura, Muneyasu Suzuki, Hiroshi Uchida, Seiichiro Koda, Rikyu Ikariyama, and Tomoaki Yamada
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Lett 92
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360294
[雑誌論文] Ti-site Substitution Using the Higher-valent Cation for Enhancing the Ferroelectric Properties of Nd^<3+>-substituted Bismuth Titanate Thin Films2004
- 著者名/発表者名
  H.Uchida et al.
- 雑誌名
  
  Material Research Society Symposium Proceedings 784
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15760225
[雑誌論文] Low-TemperatureProcessing of Sol-Gel Derived Metal OxideThin Films using Supercritical Carbon Dioxide Fluid
- 著者名/発表者名
  Hiroshi UCHIDA, Kaori FUJIOKA andSeiichiro KODA
- 雑誌名
  
  Meter. Res. Soc. Proc 1113E(in press)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19760222
[雑誌論文] Processing for Sol-gel Derived Metal Oxide Thin Films using Supercritical Carbon Dioxide
- 著者名/発表者名
  Yusuke Asai, Saaya Narishige, Kaori Fujioka, Hiroshi Uchida, Seiichiro Koda
- 雑誌名
  
  IOP Conf.Series : Mater. Sci. Eng. Accepted.
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760593
[学会発表] マイクロ波加熱式水熱合成法におけるチタン酸鉛膜堆積および粉体析出挙動の解析2024
- 著者名/発表者名
  野地航平、横田幸恵、内田寛
- 学会等名
  第4回酸素酸塩材料科学研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K04490
[学会発表] 金属酸化物テンプレート上における化学溶液堆積法由来PZT薄膜の結晶成長機構の解明2023
- 著者名/発表者名
  内田寛, 山崎佑介, 横田幸惠, 島宏美, 白石貴久, 木口賢紀, 舟窪浩
- 学会等名
  日本セラミックス協会電子材料部会第43回電子材料研究討論会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K23031
[学会発表] マイクロ波加熱式水熱堆積法によるチタン酸鉛膜の低温合成2023
- 著者名/発表者名
  野地航平、横田幸恵、内田寛
- 学会等名
  公益社団法人日本セラミックス協会第36回秋季シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K04490
[学会発表] 固相エピタキシーによるPb(Zr,Ti)O3薄膜成長メカニズムのSTEM-EELS 解析2023
- 著者名/発表者名
  木口賢紀, 内田寛, 白石貴久
- 学会等名
  日本金属学会2023年秋期講演大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K23031
[学会発表] ナノシート界面上に作製された一軸配向性チタン酸ジルコン酸鉛膜の特性評価2017
- 著者名/発表者名
  内田寛、一ノ瀬大地、島宏美、白石貴久、木口賢紀、赤間章裕、西田謙、今野豊彦、舟窪浩
- 学会等名
  第33回強誘電体応用会議 (FMA34)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06731
[学会発表] 金属酸化物ナノシート層を利用したBaTiO3薄膜の結晶配向制御2016
- 著者名/発表者名
  大井智雄, 野口慶人, 茂木翔太, 金鎭雄, 島宏美, 西田謙, 木口賢紀, 赤間章裕, 今野豊彦, 舟窪浩, 内田寛
- 学会等名
  第33回強誘電体応用会議 (FMA33)
- 発表場所
  コープイン京都、京都
- 年月日
  2016-05-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06731
[学会発表] ナノシート界面層上におけるPZT膜の一軸配向成長2016
- 著者名/発表者名
  宮崎竜斗, 一ノ瀬大地, 金鎭雄, 島宏美, 木口賢紀, 赤間章裕, 西田謙, 今野豊彦, 舟窪浩, 内田寛
- 学会等名
  日本セラミックス協会電子材料部会　第36回エレクトロセラミックス研究討論会
- 発表場所
  ユニオンビル（富士通労働会館）, 川崎
- 年月日
  2016-10-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06731
[学会発表] ジルコニウムβ-ジケトン錯体の熱的挙動と金属酸化物形成反応2014
- 著者名/発表者名
  塩川真里奈、井﨑克史、内田寛
- 学会等名
  日本セラミックス協会2014年年会
- 発表場所
  慶応義塾大学日吉キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760602
[学会発表] ジルコニウムβ-ジケトン錯体の熱的挙動と金属酸化物形成反応2014
- 著者名/発表者名
  塩川真里奈、井﨑克史、内田寛
- 学会等名
  日本セラミックス協会2014年年会
- 発表場所
  慶応大学日吉キャンパス
- 年月日
  2014-03-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760602
[学会発表] ゾルゲル前駆体の超臨界流体処理による酸化ジルコニウム薄膜の作製2013
- 著者名/発表者名
  塩川真里奈、井﨑克史、内田寛
- 学会等名
  日本セラミックス協会第26回秋季シンポジウム
- 発表場所
  信州大学　長野キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760602
[学会発表] 超臨界流体処理による酸化ジルコニウム薄膜の作製2013
- 著者名/発表者名
  塩川真里奈、井﨑克史、内田寛
- 学会等名
  日本セラミックス協会第26回秋季シンポジウム
- 発表場所
  信州大学長野キャンパス
- 年月日
  2013-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760602
[学会発表] 超臨界流体堆積法による二酸化ケイ素薄膜の作製に及ぼす添加剤の影響2013
- 著者名/発表者名
  井﨑克史、塩川真里奈、内田寛
- 学会等名
  日本セラミックス協会第26回秋季シンポジウム
- 発表場所
  信州大学長野キャンパス
- 年月日
  2013-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760602
[学会発表] 超臨界流体堆積法による二酸化ケイ素薄膜の作製に及ぼす添加剤の影響2013
- 著者名/発表者名
  井崎克史、塩川真里奈、内田寛
- 学会等名
  日本セラミックス協会第26回秋季シンポジウム
- 発表場所
  信州大学　長野キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760602
[学会発表] Dielectric Property of Titanium Dioxide Thin Films Fabricated by Supercritical Fluid Deposition2012
- 著者名/発表者名
  Hiroshi Uchida, Yuuki Nakagawa, Yuma Hayakawa, Kazuyuki Sekino and Seiichiro Koda
- 学会等名
  10^<th> International Symposium on Supercritical Fluids (ISSF2012)
- 発表場所
  Hyatt Regency San Francisco
- 年月日
  2012-05-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760602
[学会発表] バッチ式超臨界流体堆積法による二酸化ケイ素薄膜の作製2012
- 著者名/発表者名
  井﨑克史、中川祐希、幸田清一郎、内田寛
- 学会等名
  日本セラミックス協会第25回秋季シンポジウム
- 発表場所
  名古屋大学東山キャンパス
- 年月日
  2012-09-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760602
[学会発表] 超臨界流体堆積法によるキャパシタ用二酸化チタン薄膜の低温合成2012
- 著者名/発表者名
  中川祐希、早川右真、幸田清一郎、内田寛
- 学会等名
  日本セラミックス協会第25回秋季シンポジウム
- 発表場所
  名古屋大学東山キャンパス
- 年月日
  2012-09-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760602
[学会発表] 超臨界二酸化炭素流体中におけるチタン(IV)βジケトン錯体の溶解度2010
- 著者名/発表者名
  早川右真、関野一幸、内田寛、幸田清一郎
- 学会等名
  化学工学会第42回秋季大会
- 発表場所
  同志社大学
- 年月日
  2010-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760593
[学会発表] 超臨界二酸化炭素流体処理による酸化チタン薄膜の合成2010
- 著者名/発表者名
  浅井悠祐、内田寛、幸田清一郎
- 学会等名
  日本セラミックス協会第48回セラミックス基礎科学部会
- 発表場所
  沖縄コンベンションセンター
- 年月日
  2010-01-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760593
[学会発表] 超臨界二酸化炭素流体中における各種チタン錯体の溶解度2010
- 著者名/発表者名
  早川右真、関野一幸、内田寛、幸田清一郎
- 学会等名
  化学工学会第42回秋季大会
- 発表場所
  同志社大学
- 年月日
  2010-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760593
[学会発表] Processing for Sol-gel Derived Metal Oxide Thin Films using Supercritical Carbon Dioxide2010
- 著者名/発表者名
  Hiroshi Uchida, Yusuke Asai, Saaya Narishige, Kaori Fujioka, Seiichiro Koda
- 学会等名
  3^<rd> International Congress on Ceramics (ICC3)
- 発表場所
  Grand Cube Osaka.
- 年月日
  2010-11-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760593
[学会発表] Processing for Sol-gel Derived Metal Oxide Thin Films using Supercritical Carbon Dioxide2010
- 著者名/発表者名
  Yusike Asai, Saaya Narishige, Kaori Fujioka, Hiroshi Uchida, Seiichiro Koda
- 学会等名
  The 3^<rd> International Congress on Ceramics (ICC3)
- 発表場所
  Osaka International Convention Center
- 年月日
  2010-11-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760593
[学会発表] 超臨界二酸化炭素流体処理による酸化チタン薄膜の合成2010
- 著者名/発表者名
  浅井悠介、内田寛、幸田清一郎
- 学会等名
  日本セラミックス協会題48回基礎科学討論会
- 発表場所
  沖縄コンベンションセンター
- 年月日
  2010-01-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760593
[学会発表] 超臨界二酸化炭素流体を用いたガラス基板上での結晶質酸化チタン薄膜の合成2009
- 著者名/発表者名
  浅井悠祐、内田寛、幸田清一郎
- 学会等名
  日本セラミックス協会第22回秋季シンポジウム
- 発表場所
  愛媛大学
- 年月日
  2009-09-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760593
[学会発表] 超臨界二酸化炭素流体中におけるチタン(IV)βジケトン錯体の溶解度2009
- 著者名/発表者名
  関野一幸、内田寛、幸田清一郎
- 学会等名
  化学工学会第41回秋季大会
- 発表場所
  広島大学
- 年月日
  2009-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21760593
[学会発表] Si基板上における(001)高配向性(Ca, Sr)Bi_4Ti_4O_<15>薄膜の作製2009
- 著者名/発表者名
  水谷佑樹, 内田寛, 舟窪浩, 幸田清一郎
- 学会等名
  日本セラミックス協会2009年度年会
- 発表場所
  東京理科大学野田キャンパス
- 年月日
  2009-03-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360294
[学会発表] Si基板上における(001)高配向性(Ca, Sr)Bi_4Ti_4O_<15>薄膜の作製2009
- 著者名/発表者名
  水谷佑樹, 内田寛, 舟窪浩, 幸田清一郎
- 学会等名
  日本セラミックス協会 2009年度年会
- 発表場所
  東京理科大学野田キャンパス
- 年月日
  2009-03-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360294
[学会発表] Low-Temperature Processing of Sol-Gel Derived Metal Oxide Thin Films using Supercritical Carbon Dioxide Fluid2008
- 著者名/発表者名
  Hiroshi UCHIDA, Kaori FUJIOKA and Seiichiro KODA
- 学会等名
  MRS Fall Meeting 2008
- 発表場所
  Boson, MA, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19760222
[学会発表] 化学溶液法による(001)配向(Ca, Sr)Bi_4Ti_4O_<15>薄膜の作製2008
- 著者名/発表者名
  水谷佑樹, 内田寛, 舟窪浩, 幸田清一郎
- 学会等名
  2008年度秋季第69回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  中部大学
- 年月日
  2008-09-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360294
[学会発表] Low- Temperature Processing of Sol- Gel Derived Metal Oxide Thin Films using Supercritical Carbon Dioxide Fluid2008
- 著者名/発表者名
  Hiroshi UCHIDA, et.al.
- 学会等名
  MRS Fall Meeting 2008
- 発表場所
  Hynes Convention Center (Boston, MA, USA)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19760222
[学会発表] 化学溶液法による(001)配向(Ca, Sr)Bi_4Ti_4_O_<15>薄膜の作製2008
- 著者名/発表者名
  水谷佑樹, 内田寛, 舟窪浩, 幸田清一郎
- 学会等名
  2008年度秋季第69回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  中部大学
- 年月日
  2008-09-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360294
[学会発表] Degradation Free Characteristics of c-axis Oriented Bismuth Layer-Structured Dielectrics2007
- 著者名/発表者名
  Hiroshi Funakubo, Kenji Takahashi, Muneyasu Suzuki, Takashi Kojima, Takayuki Watanabe, Kazumi Kato, Yukio Sakashita, Kazushi Sumitani and Osami Sakata
- 学会等名
  International Symposium on Integrated Ferroelectrics (ISIF 2007)
- 発表場所
  Bordeaux, France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360294
[学会発表] Degradation Free Characteristics of c axis Oriented Bismuth Layer Structured Dielectrics2007
- 著者名/発表者名
  Hiroshi Funakubo, Kenji Takahashi, Muneyasu Suzuki, Takashi Kojima, Takayuki Watanabe, Kazumi Kato, Yukio Sakashita, Kazushi Sumitani, and Osami Sakata
- 学会等名
  International Symposium on Integrated Ferroelectrics(ISIF 2007)
- 発表場所
  Bordeaux, France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19360294
[学会発表] 超臨界二酸化炭素流体中における有機金属化合物の分解および酸化物薄膜の堆積2007
- 著者名/発表者名
  内田寛、加納富由樹、助川太一、由井和子、幸田清一郎
- 学会等名
  日本セラミックス協会第20回秋季シンポジウム
- 発表場所
  名古屋工業大学
- 年月日
  2007-09-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19760222

1. 舟窪浩 (90219080)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
2. 木口賢紀 (70311660)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件
3. 白石貴久 (50758399)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件
4. 船窪浩

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 16件

内田 寛 Uchida Hiroshi

研究課題

研究成果

共同研究者

金属酸化物単結晶の高速成長を実現するための水熱反応プロセスの構築研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

2次元構造秩序の自己組織化に着目した濃厚環境下の強誘電体薄膜成長メカニズム

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

酸化物ナノシート表面におけるPZT薄膜の配向成長およびドメイン形成機構の解明研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

超臨界流体反応場における有機金属化合物の分解反応解析と薄膜堆積プロセスへの応用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

原料リサイクルシステムを備えた薄膜合成プロセスの構築研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

"サイズ効果フリー"誘電体の誘電特性におよぼす残留歪と温度の影響

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

超臨界流体を反応場とした結晶質酸化物薄膜の低温成膜研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

超臨界流体を利用した半導体デバイス用酸化物薄膜材料合成プロセスの構築研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ビスマス層状構造酸化物強誘電体薄膜へのion-codopeによる強誘電特性の制御研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

有機金属溶液のミスト供給による多成分系酸化物薄膜のCVD成膜プロセス研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[図書] 半導体・MEMSのための超臨界流体2012

著者名/発表者名

出版者

データソース

[雑誌論文] Polarization switching behavior of one-axis-oriented lead zirconate titanate films fabricated on metal oxide nanosheet layer2017

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

データソース

[雑誌論文] “Effect of the Annealing Temperature on Dielectric Properties of Bi_<1.5>Zn_<1.0>Nb_<1.5>O_7 Films Prepared by MOCVD2009

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] “Fabrication of conductive oxide polycrystalline BaPbO_3 films by chemical solution deposition and their electrical resistivity2009

著者名/発表者名

内田寛 Uchida Hiroshi

[学会発表] 固相エピタキシーによるPb(Zr,Ti)O3薄膜成長メカニズムのSTEM-EELS 解析2023