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日暮 栄治  Higurashi Eiji

… 別表記

日暮 英治  ヒグラシ エイジ

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研究者番号 60372405
その他のID
  • ORCIDhttps://orcid.org/0000-0002-7154-4203
所属 (現在) 2025年度: 東北大学, 工学研究科, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2023年度 – 2024年度: 東北大学, 工学研究科, 教授
2016年度 – 2018年度: 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授
2014年度 – 2015年度: 東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授
2010年度 – 2013年度: 東京大学, 先端科学技術研究センター, 准教授
2006年度 – 2008年度: 東京大学, 先端科学技術研究センター, 准教授 … もっと見る
2006年度: 先端科学技術研究センター, 助教授
2005年度 – 2006年度: 東京大学, 先端科学技術研究センター, 助教授
2004年度: 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 隠す
審査区分/研究分野
研究代表者
電子デバイス・電子機器 / 小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連 / 複合材料・表界面工学 / 電子・電気材料工学
研究代表者以外
マイクロ・ナノデバイス / 材料加工・処理 / 応用光学・量子光工学 / 計測工学
キーワード
研究代表者
低温接合 / 常温接合 / 表面粗さ / 銀薄膜 / キャップ層 / 表面活性化接合 / 接合界面制御 / 表面処理 / プラズマ処理 / インジウムボール … もっと見る / 銅 / バンプ形成 / はんだペースト / 再酸化 / 還元処理 / 表面酸化膜 / インジウム / 水素ラジカル / Fast atom beam / Aluminum / Surface activation / Bonding / Gallium nitride / オーミックコンタクト / シリコン / 高速原子ビーム / アルミニウム / 表面活性化 / 接合 / 窒化ガリウム / 半導体レーザ / 高出力光素子 / 高放熱構造 / 金薄膜 / 熱抵抗 / 高出力半導体レーザ / 異種材料集積 / 中間層接合 / 直接接合 / はんだバンプ / 光集積 / 高密度実装 / 金錫 / バンプ / 水素プラズマ … もっと見る
研究代表者以外
表面活性化 / 常温接合 / nitrogen radical / ion irradiation / silicon direct bonding / wafer bonding / surfaace activation / room temperature bonding / low temperature bonding / plasma activation / 気密封止 / ガラス接合 / 表件活性化 / 酸素ラジカル / サファイア接合 / シリコン接合 / タンタル酸リチウム / 酸素プラズマ / 窒素ラジカル / イオン衝撃 / シリコン直接接合 / ウエハ接合 / 低温接合 / プラズマ活性化 / 集積化 / 実装 / 接合 / ウエファボンディング / BIB検出器 / ウェファボンディング / 遠赤外線 / テラヘルツ / 光熱駆動 / MEMS / 共振子 / 無電源 / 光ファイバ / センサ / 計測システム 隠す
  • 研究課題

    (9件)
  • 研究成果

    (163件)
  • 共同研究者

    (8人)
  •  ナノ界面制御による常温接合基盤技術の創出研究代表者

    • 研究代表者
      日暮 栄治
    • 研究期間 (年度)
      2023 – 2025
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
    • 研究機関
      東北大学
  •  水素ラジカル処理によるインジウム表面酸化膜の制御とその応用研究代表者

    • 研究代表者
      日暮 栄治
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2018
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      複合材料・表界面工学
    • 研究機関
      東京大学
  •  化合物半導体の常温接合と高放熱構造への応用研究代表者

    • 研究代表者
      日暮 栄治
    • 研究期間 (年度)
      2013 – 2015
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      東京大学
  •  大気中常温接合の新手法

    • 研究代表者
      須賀 唯知
    • 研究期間 (年度)
      2011 – 2013
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      材料加工・処理
    • 研究機関
      東京大学
  •  ウェファボンディングを用いた遠赤外線BIB型検出器の開発

    • 研究代表者
      土井 靖生
    • 研究期間 (年度)
      2010 – 2012
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      応用光学・量子光工学
    • 研究機関
      東京大学
  •  光マイクロマシンを用いた計測システム

    • 研究代表者
      岩岡 秀人
    • 研究期間 (年度)
      2008 – 2010
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      計測工学
    • 研究機関
      金沢工業大学
  •  水素プラズマを用いた金錫バンプ形成プロセス研究代表者

    • 研究代表者
      日暮 栄治
    • 研究期間 (年度)
      2007 – 2008
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      東京大学
  •  窒化ガリウムの表面活性化接合とその光デバイスへの応用研究代表者

    • 研究代表者
      日暮 栄治
    • 研究期間 (年度)
      2005 – 2006
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      東京大学
  •  常温接合によるウエハスケールMEMSパッケージ

    • 研究代表者
      須賀 唯知
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2006
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      マイクロ・ナノデバイス
    • 研究機関
      東京大学

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すべて 雑誌論文 学会発表

  • [雑誌論文] Low temperature copper-copper bonding in ambient air using hydrogen radical pretreatment2019

    • 著者名/発表者名
      Seongbin Shin, Eiji Higurashi, and Tadatomo Suga
    • 雑誌名

      Proc.of 2019 6th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D)

      巻: 印刷中

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06741
  • [雑誌論文] 水素ラジカル処理した銅表面のX線光電子分光法(XPS)による酸化挙動解析2019

    • 著者名/発表者名
      申盛斌, 日暮栄治, 古山洸太, 山本道貴, 須賀唯知
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)

      巻: 139 号: 2 ページ: 38-39

    • DOI

      10.1541/ieejsmas.139.38

    • NAID

      130007587415

    • ISSN
      1341-8939, 1347-5525
    • 年月日
      2019-02-01
    • 言語
      日本語
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06741
  • [雑誌論文] Short-term Re-oxidation Behavior of Copper after Hydrogen Radical Treatment2018

    • 著者名/発表者名
      S. Shin, E. Higurashi, M. Yamamoto, and T. Suga
    • 雑誌名

      第28回マイクロエレクトロニクスシンポジウム (MES 2018) 論文集

      巻: - ページ: 213-216

    • NAID

      130007731097

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06741
  • [雑誌論文] Evaluation of hydrogen radical treatment for indium surface oxide removal and analysis of re-oxidization behavior2018

    • 著者名/発表者名
      Kohta Furuyama, Kazuyuki Yamanaka, Eiji Higurashi, and Tadatomo Suga
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 57 号: 2S1 ページ: 02BC01-02BC01

    • DOI

      10.7567/jjap.57.02bc01

    • NAID

      210000148625

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06741
  • [雑誌論文] インジウムペーストの水素ラジカル処理による洗浄不要なバンプ作製2018

    • 著者名/発表者名
      古山洸太, 日暮栄治, 須賀唯知
    • 雑誌名

      第32回エレクトロニクス実装学会春季講演大会講演論文集

      巻: - ページ: 173-174

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06741
  • [雑誌論文] Hydrogen radical treatment for suppression of oxidation and contamination at copper surfaces2017

    • 著者名/発表者名
      S. Shin, E. Higurashi, K. Furuyama, and T. Suga
    • 雑誌名

      第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

      巻: -

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06741
  • [雑誌論文] Hydrogen radical treatment for suppression of oxidation and contamination at copper surfaces2017

    • 著者名/発表者名
      S. Shin, E. Higurashi, K. Furuyama, and T. Suga
    • 雑誌名

      The 8th Japan-China-Korea MEMS/NEMS with NANO KOREA 2017

      巻: - ページ: 24-25

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06741
  • [雑誌論文] Hydrogen radical treatment of printed indium solder paste for bump formation2017

    • 著者名/発表者名
      Kohta Furuyama, Eiji Higurashi, and Tadatomo Suga
    • 雑誌名

      2017 IEEE CPMT Symposium Japan (ICSJ)

      巻: - ページ: 157-158

    • DOI

      10.1109/icsj.2017.8240140

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06741
  • [雑誌論文] Hydrogen Radical Treatment for Surface Oxide Removal of Copper2017

    • 著者名/発表者名
      S. Shin, E. Higurashi, K. Furuyama, and T. Suga
    • 雑誌名

      2017 5th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D)

      巻: - ページ: 72-72

    • DOI

      10.23919/ltb-3d.2017.7947468

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06741
  • [雑誌論文] Hydrogen Radical Treatment for Indium Surface Oxide Removal and Re-oxidation Behavior2017

    • 著者名/発表者名
      Kohta Furuyama, Kazuyuki Yamanaka, Eiji Higurashi, and Tadatomo Suga
    • 雑誌名

      2017 5th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D)

      巻: - ページ: 65-65

    • DOI

      10.23919/ltb-3d.2017.7947461

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06741
  • [雑誌論文] 紫外線リフレクタ集積化のためのアルミニウム/チタン/金多層膜を用いた常温ウェハ接合2016

    • 著者名/発表者名
      國宗豊、日暮栄治、須賀唯知
    • 雑誌名

      第30回エレクトロニクス実装学会春季講演大会講演論文集

      巻: なし ページ: 168-170

    • 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [雑誌論文] Room-temperature wafer bonding using Al/Ti/Au layers for integrated reflectors in the ultraviolet spectral region2016

    • 著者名/発表者名
      Eiji Higurashi, Yutaka Kunimune, and Tadatomo Suga
    • 雑誌名

      The 66th Electronic Components and Technology Conference (ECTC 2016)

      巻: 印刷中

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [雑誌論文] 高出力発光ダイオードの高放熱化のための超平滑な金薄膜を介した常温接合2016

    • 著者名/発表者名
      奥村拳、日暮栄治、須賀唯知
    • 雑誌名

      2016年度精密工学春季大会学術講演会講演論文集

      巻: なし ページ: 641-642

    • NAID

      130005263998

    • 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [雑誌論文] Room-Temperature Gold-Gold Bonding Method Based on Argon and Hydrogen Gas Mixture Atmospheric-Pressure Plasma Treatment for Optoelectronic Device Integration2016

    • 著者名/発表者名
      Eiji Higurashi, Michitaka Yamamoto, Takeshi Sato, Tadatomo Suga, and Renshi Sawada
    • 雑誌名

      IEICE Transactions on Electronics

      巻: E99.C 号: 3 ページ: 339-345

    • DOI

      10.1587/transele.E99.C.339

    • NAID

      130005131808

    • ISSN
      0916-8524, 1745-1353
    • 言語
      英語
    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [雑誌論文] Room temperature wafer bonding using an Al/Pt/Au layer for high-power UV LEDs2015

    • 著者名/発表者名
      Yutaka Kunimune, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, and Kei Hagiwara
    • 雑誌名

      The 6th Japan-China-Korea MEMS/NEMS Conference 2015

      巻: なし ページ: 97-98

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [雑誌論文] 高出力光デバイス応用をめざしたAr高周波プラズマ活性化処理による金薄膜を介したウェハ常温接合2015

    • 著者名/発表者名
      奥村拳、日暮栄治、須賀唯知、萩原啓
    • 雑誌名

      2015マイクロエレクトロニクスショー、アカデミックプラザ

      巻: なし ページ: 1-6

    • 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [雑誌論文] 高出力半導体素子における高放熱構造を実現するウェハ常温接合技術2015

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治、須賀唯知
    • 雑誌名

      エレクトロニクス実装学会誌

      巻: 18 号: 7 ページ: 463-468

    • DOI

      10.5104/jiep.18.463

    • NAID

      130005122229

    • ISSN
      1343-9677, 1884-121X
    • 言語
      日本語
    • 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [雑誌論文] 高放熱デバイス応用をめざした常温ウェハ接合2015

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治、奥村拳、須賀唯知
    • 雑誌名

      第29回エレクトロニクス実装学会春季講演大会講演論文集

      巻: なし ページ: 215-215

    • NAID

      130007492583

    • 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [雑誌論文] Surface activated bonding of GaAs and SiC wafers at room temperature for improved heat dissipation in high-power semiconductor lasers2015

    • 著者名/発表者名
      Eiji Higurashi, Ken Okumura, Kaori Nakasuji, and Tadatomo Suga
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 54 号: 3 ページ: 030207-030207

    • DOI

      10.7567/jjap.54.030207

    • NAID

      210000144818

    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [雑誌論文] 常温接合技術の最新動向と光デバイス応用2015

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 雑誌名

      電子情報通信学会2015年ソサイエティ大会講演論文集

      巻: なし

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [雑誌論文] 高機能光マイクロシステム・センサを実現する低温接合技術の最新動向2015

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 雑誌名

      第10回電子デバイス実装研究委員会資料

      巻: なし ページ: 49-56

    • 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [雑誌論文] The Influence of Air Exposure Time on Bonding Strength in Au-Au Surface Activated Wafer Bonding2015

    • 著者名/発表者名
      Ken Okumura, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, Kei Hagiwara
    • 雑誌名

      2015 International Conference on Electronics Packaging & iMAPS All Asia Conference (ICEP-IAAC 2015)

      巻: なし ページ: 448-451

    • DOI

      10.1109/icep-iaac.2015.7111055

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [雑誌論文] 高機能光マイクロシステム・センサを実現する低温接合技術2014

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 雑誌名

      電子情報通信学会2014年総合大会講演論文集

      巻: なし

    • NAID

      130003385019

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [雑誌論文] 高出力半導体レーザの高放熱構造をめざしたGaAs/SiC常温接合に関する研究2014

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治、中筋香織、須賀唯知
    • 雑誌名

      第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(電気学会 センサ・マイクロマシン部門主催)

      巻: なし ページ: 1-5

    • NAID

      40020161268

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [雑誌論文] 低温接合技術に基づく異種材料集積技術とフォトニクス応用2014

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 雑誌名

      第28回エレクトロニクス実装学会春季講演大会講演論文集

      巻: なし ページ: 360-361

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [雑誌論文] Low-temperature GaAs/SiC wafer bonding with Au thin film for high-power semiconductor lasers2014

    • 著者名/発表者名
      Ken Okumura, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, and Kei Hagiwara
    • 雑誌名

      2014 International Conference on Electronics Packaging (ICEP)

      巻: なし ページ: 716-719

    • DOI

      10.1109/icep.2014.6826773

    • NAID

      130007428771

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [雑誌論文] Room-Temperature Wafer Bonding With Smooth Au Thin Film in Ambient Air Using Ar RF Plasma Activation2014

    • 著者名/発表者名
      Ken Okumura, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, and Kei Hagiwara
    • 雑誌名

      2014 4th IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D)

      巻: なし ページ: 26-26

    • DOI

      10.1109/ltb-3d.2014.6886165

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [雑誌論文] Room-Temperature GaAs/SiC Wafer Bonding With Au Thin Film for High Power Optical Devices2014

    • 著者名/発表者名
      Ken Okumura, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, and Kei Hagiwara
    • 雑誌名

      The 5th Japan-China-Korea MEMS/NEMS

      巻: なし ページ: 56-57

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [雑誌論文] 高機能光マイクロシステム・センサを実現する低温接合技術2014

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 雑誌名

      電子情報通信学会2014年総合大会講演論文集

      巻: なし

    • NAID

      130003385019

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [雑誌論文] 低温接合技術と光エレクトロニクスデバイス応用に関するレビュー2014

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治、須賀唯知
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)

      巻: 134 号: 6 ページ: 159-165

    • DOI

      10.1541/ieejsmas.134.159

    • NAID

      130004438740

    • ISSN
      1341-8939, 1347-5525
    • 言語
      日本語
    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [雑誌論文] Ar高周波プラズマ活性化処理による金薄膜を介したウェハ常温接合2014

    • 著者名/発表者名
      奥村 拳、日暮 栄治、須賀 唯知、萩原 啓
    • 雑誌名

      第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(電気学会 センサ・マイクロマシン部門主催)

      巻: なし ページ: 1-6

    • NAID

      40020268047

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [雑誌論文] Miniaturized polarization sensors integrated with wire-grid polarizers2014

    • 著者名/発表者名
      山本道貴、日暮栄治、須賀唯知、澤田廉士
    • 雑誌名

      Proceeding of 2014 International Conference on Electronics Packaging (ICEP)

      巻: なし ページ: 376-379

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [雑誌論文] 高出力半導体レーザの高放熱化のための金薄膜を介したGaAs/SiC ウェハの低温接合2014

    • 著者名/発表者名
      奥村拳、日暮栄治、須賀唯知、萩原啓
    • 雑誌名

      第28回エレクトロニクス実装学会春季講演大会講演論文集

      巻: なし ページ: 132-133

    • NAID

      130007428771

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [雑誌論文] Surface Activated Bonding of Laser Diode Chips Using N2 Atmospheric-Pressure Plasma2013

    • 著者名/発表者名
      Michitaka Yamamoto, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, and Renshi Sawada
    • 雑誌名

      Proceedings of International Conference on Electronics Packaging (ICEP 2013)

      巻: なし ページ: 60-63

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [雑誌論文] 大気圧プラズマで活性化したAuスタッドバンプによる半導体光素子の低温接合と光マイクロセンサ応用2013

    • 著者名/発表者名
      山本道貴、日暮栄治、須賀唯知、澤田廉士
    • 雑誌名

      Proceedings of 19th Symposium on “Microjoining and Assembly Technology in electronics”

      巻: なし ページ: 425-430

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [雑誌論文] シリコン/ゲルマニウム常温接合界面の特性評価2013

    • 著者名/発表者名
      佐々木優太・日暮栄治・須賀唯知
    • 雑誌名

      2013年度精密工学春季大会学術講演会講演論文集

      巻: なし ページ: 159-160

    • NAID

      130005031647

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [雑誌論文] 低温接合技術で作製したワイヤグリッド偏光子集積型偏光センサ2013

    • 著者名/発表者名
      池田颯、日暮栄治、須賀唯知、小口寿明
    • 雑誌名

      第28回エレクトロニクス実装学会春季講演大会講演論文集

      巻: なし ページ: 277-278

    • NAID

      130007430015

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [雑誌論文] Room-Temperature Direct Bonding of GaAs and SiC Wafers for Improved Heat Dissipation in High-Power Semiconductor Lasers2013

    • 著者名/発表者名
      Eiji Higurashi, Kaori Nakasuji, and Tadatomo Suga
    • 雑誌名

      Proceedings of International Conference on Electronics Packaging (ICEP 2013)

      巻: なし ページ: 350-354

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [雑誌論文] ワイヤグリッド偏光子を集積した小型偏光センサ2013

    • 著者名/発表者名
      山本道貴、日暮栄治、北島和典、須賀唯知、小口寿明
    • 雑誌名

      第23回マイクロエレクトロニクスシンポジウム(MES 2013)

      巻: なし ページ: 65-68

    • NAID

      130007887274

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [雑誌論文] 総論―低温接合技術とその応用2013

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 雑誌名

      OPTRONICS

      巻: 32 ページ: 72-77

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [雑誌論文] N2大気圧プラズマによる表面活性化を用いた光素子の低温接合2013

    • 著者名/発表者名
      山本道貴、日暮栄治、須賀唯知、澤田廉士
    • 雑誌名

      2013年度精密工学春季大会学術講演会講演論文集

      巻: なし ページ: 161-162

    • NAID

      130005031648

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [雑誌論文] 大気圧プラズマを用いた低温固相接合による偏光検出器の開発2013

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治、北島和典、山本道貴、須賀唯知、小口寿明
    • 雑誌名

      2013年度精密工学秋季大会学術講演会講演論文集

      巻: なし ページ: 515-516

    • NAID

      130004661274

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [雑誌論文] 高機能光マイクロシステム・センサを実現する低温接合技術2013

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治、須賀唯知、澤田廉士
    • 雑誌名

      精密工学会誌

      巻: 79 ページ: 719-724

    • NAID

      130003385019

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [雑誌論文] Low-Temperature Bonding Technologies fbr Photonics Applications, ECS Transactions, Semiconductor Wafer Bonding l2:Science2013

    • 著者名/発表者名
      Eiji Higurashi
    • 雑誌名

      Technology, and Applications

      巻: voL50, no.7 号: 7 ページ: 351-362

    • DOI

      10.1149/05007.0351ecst

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360025
  • [雑誌論文] 低温接合技術に基づく異種材料集積技術と三次元構造光マイクロシステムへの応用2013

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治、澤田廉士、須賀唯知
    • 雑誌名

      光技術コンタクト

      巻: 51 ページ: 24-31

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [雑誌論文] 低温接合技術に基づく異種材料集積技術とフォトニクス応用2013

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 雑誌名

      第28回エレクトロニクス実装学会春季講演大会講演論文集

      巻: なし ページ: 360-361

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [雑誌論文] 窒素大気圧プラズで活性化したAuバンプによる半導体レーザ素子の低温接合2013

    • 著者名/発表者名
      山本道貴、日暮栄治、須賀唯知、澤田廉士
    • 雑誌名

      第5回「集積化MEMSシンポジウム」(応用物理学会集積化MEMS技術研究会主催)

      巻: なし ページ: 1-4

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [雑誌論文] Low-Temperature Bonding Technologies for Photonics Applications2013

    • 著者名/発表者名
      Eiji Higurashi
    • 雑誌名

      ECS Transactions, Semiconductor Wafer Bonding 12: Science, Technology, and Applications

      巻: vol.50, no. 7 ページ: 351-362

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [雑誌論文] GaAs/SiC常温直接ウェハ接合を用いた高出力レーザの高放熱構造に関する研究2013

    • 著者名/発表者名
      中筋香織、日暮栄治、須賀唯知
    • 雑誌名

      第27回エレクトロニクス実装学会春季講演大会論文集

      巻: なし ページ: 252-253

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [雑誌論文]2012

    • 著者名/発表者名
      S.Yamamoto, E.Higurashi, T.Suga, and R.Sawada, J.Micromech
    • 雑誌名

      Microeng

      巻: vol.22, no.5 ページ: 55026-55026

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [雑誌論文] 大気圧プラズマで活性化したAuスタッドバンプによる半導体レーザ素子の低温接合2012

    • 著者名/発表者名
      山本道貴,佐藤丈史,日暮栄治,須賀唯知,澤田廉士
    • 雑誌名

      2012年度精密工学秋季大会学術講演会講演論文集

      巻: なし ページ: 759-760

    • NAID

      130004660912

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [雑誌論文]2012

    • 著者名/発表者名
      E.Higurashi, T.Fukunaga, and T.Suga
    • 雑誌名

      IEEE Journal of Quantum Electronics

      巻: vol.48, no.2 ページ: 182-186

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [雑誌論文] 低温接合技術と高機能センサへの応用2012

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 雑誌名

      第196回有機エレクトロニクス材料研究会講演要旨集

      巻: なし ページ: 1-8

    • NAID

      10030922078

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [雑誌論文] Mechanical and Electrical Characteristics of Direct Bonded Ge/Ge interface2012

    • 著者名/発表者名
      Yuta Sasaki, Wang Chenxi, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, Yasuo Doi, Iwao Hosako
    • 雑誌名

      Proceedings of the Joint Conference of 12th International Conference on Electronics Packaging, 1st IMAPS ALL Asia Conference (ICEP-IAAC2012), April 17-20, 2012, Tbkyo, Japan

      巻: TD2-1 ページ: 254-258

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360025
  • [雑誌論文] Mechanical and Electrical Characteristics of Direct Bonded Ge/Ge interface2012

    • 著者名/発表者名
      Yuta Sasaki, Wang Chenxi, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, Yasuo Doi, Iwao Hosako
    • 雑誌名

      Proceedings of the Joint Conference of 12th International Conference on Electronics Packaging and lst IMAPS ALL Asia Conference(ICEP-IAAC 2012)

      ページ: 254-258

    • URL

      http://www.inemi.org/events/icep-iaac-2012

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360025
  • [雑誌論文] 低温接合技術と高機能センサへの応用2012

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治、須賀唯知
    • 雑誌名

      スマートプロセス学会誌

      巻: 第1巻、第3号 ページ: 106-113

    • NAID

      10030922078

    • URL

      https://www.jstage.jst.go.jp/article/j

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360025
  • [雑誌論文] Low-temperature bonding of laser diode chips using atmospheric-pressure plasma activation of flat topped Au stud bumps with smooth surfaces2012

    • 著者名/発表者名
      Michitaka Yamamoto, Takeshi Sato, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, and Renshi Sawada
    • 雑誌名

      Proceedings of IEEE CPMT (Components, Packaging, and Manufacturing Technology) Symposium Japan

      巻: なし ページ: 35-38

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [雑誌論文] Low-temperature bonding of GaN on Si using a nonalloyed metal Ohmic contact layer for GaN based heterogeneous devices2012

    • 著者名/発表者名
      Eiji Higurashi, Toru Fukunaga, Tadatomo Suga
    • 雑誌名

      IEEE Journal of Quantum Electronics

      巻: 48 号: 2 ページ: 182-186

    • DOI

      10.1109/jqe.2011.2170211

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [雑誌論文] 低温接合技術と高機能センサヘの広用2012

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治、須賀唯知
    • 雑誌名

      スマートプロセス学会誌

      巻: 第1巻、第3号 ページ: 106-113

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360025
  • [雑誌論文] Low-temperature hermetic packaging for microsystems using Au-Au surface-activated bonding at atmospheric pressure environment2012

    • 著者名/発表者名
      Shin-ichi Yamamoto, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, Renshi Sawada
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Microengineering

      巻: 22 号: 5 ページ: 055026-055026

    • DOI

      10.1088/0960-1317/22/5/055026

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [雑誌論文] Geウェハ常温接合界面の機械的・電気的特性評価2011

    • 著者名/発表者名
      佐々木優太、王農礒、日暮栄治、須賀唯知、土井靖生、寳迫巌
    • 雑誌名

      2011年度精密工学秋季大会学術講演会講演論文集

      ページ: 39-39

    • NAID

      130004660542

    • URL

      http://rnavindLgo.jp/books/2012/09/000011291622.php

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360025
  • [雑誌論文] Geウェハ常温接合界面の機械的・電気的特性評価2011

    • 著者名/発表者名
      佐々木優太、工晨曦、日暮栄治、須賀唯知、土井靖生、寶迫巖
    • 雑誌名

      2011年度精密工学秋季大会学術講演会講演論文集

      ページ: 39-39

    • NAID

      130004660542

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360025
  • [雑誌論文] 遠赤外線検出器応用をめざしたGeウェハの常温直接接合2011

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治、倉山竜二、王英輝、須賀唯知、澤山慶博、土井靖生、寳迫巌
    • 雑誌名

      第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(電気学会センサ・マイクロマシン部門)

      ページ: 328-333

    • URL

      http://jglobal.jst.go.jp/public/20090422/20110224161496269

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360025
  • [雑誌論文] Wafer-bonded Ge:Ga blocked-impurity-band far-infrared detectors, Proceedings of Infセared Millimeter and Terahertz Waves(IRMMW-THz)2010

    • 著者名/発表者名
      Sawayama, YりDoi, Y., Kurayama, R., Higurashi, E., Patrashin, M., Hosako,
    • 雑誌名

      201035th International Conference on In-ared, Millimeter and Terahertz

      ページ: 1-2

    • DOI

      10.1109/icimw.2010.5612767

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360025
  • [雑誌論文] 微細はんだ粒子を充填したシリコンモールドと水素ラジカルリフローを用いた微小はんだボール形成2009

    • 著者名/発表者名
      茅野大祐、日暮栄治、須賀唯知
    • 雑誌名

      第23回エレクトロニクス実装学会講演大会講演論文集 13A-10

      ページ: 215-216

    • NAID

      130005469457

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19560337
  • [雑誌論文] Residue-free solder bumping using small AuSn particles by hydrogen radicals2009

    • 著者名/発表者名
      Eiji Higurashi, Daisuke Chino, Tadatomo Suga
    • 雑誌名

      IEICE Transactions on Electronics E92-C

      ページ: 247-251

    • NAID

      10026821130

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19560337
  • [雑誌論文] Residue-free solderbumping using small AuSn particlesby hydrogen radicals2009

    • 著者名/発表者名
      Eiji Higurashi, Daisuke Chino, Tadatomo Suga
    • 雑誌名

      IEICET ransactions on Electronics Vol.E92-C.No.2

      ページ: 247-251

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19560337
  • [雑誌論文] 微細AuSn はんだ粒子の水素ラジカルリフロー特性2008

    • 著者名/発表者名
      茅野大祐、日暮栄治、須賀唯知
    • 雑誌名

      第22回エレクトロニクス実装学会講演大会講演論文集 19B-21

      ページ: 257-258

    • NAID

      130004589261

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19560337
  • [雑誌論文] Surface Activated Bonding for GaN/Al and Electrical Characterization of Bonded Interface2008

    • 著者名/発表者名
      A. Kaneko, E. Higurashi, M. Akaike, T. Suga
    • 雑誌名

      Proc. International Conference on Electronics Packaging (in press)

    • NAID

      130004589249

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360155
  • [雑誌論文] GaNとA1の表面活性化接合と接合界面の電気的特性評価2008

    • 著者名/発表者名
      金子明弘、日暮栄治、赤池正剛、須賀唯知
    • 雑誌名

      第22回エレクトロニクス実装学会講演大会講演論文集

      ページ: 235-236

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360155
  • [雑誌論文] Vibrating Sensing System based on Optical Excitation and Detection using Optical Fiber2008

    • 著者名/発表者名
      H,Iwaoka, D.Chino, T.Ikehara, E.Higurashi
    • 雑誌名

      Proceedings of INSS2008

      ページ: 97-98

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560404
  • [雑誌論文] Surface activated bonding for GaN/Al and electrical characterization of bonded interface2008

    • 著者名/発表者名
      A. Kaneko, E. Higurashi, M. Akaike, T. Suga
    • 雑誌名

      Proc. 22^<nd> JIEP Annual Meeting

      ページ: 235-236

    • NAID

      130004589249

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360155
  • [雑誌論文] Surface Activated Bonding for GaN/Al and Electrical Characterization of Bonded Interface2008

    • 著者名/発表者名
      A. Kaneko, E. Higurashi, M. Akaike, T. Suga
    • 雑誌名

      Proc. International Conference on Electronics Packaging (印刷中)

    • NAID

      130004589249

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360155
  • [雑誌論文] Hydrogen radicalreflow characteristics of small AuSnparticles, Proc2008

    • 著者名/発表者名
      Daiske Chino, Eiji Higurashi, and Tadatomo Suga
    • 雑誌名

      International Conference on Electronics Packaging(ICEP) 10-12

      ページ: 301-304

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19560337
  • [雑誌論文] Effect of SAB process on GaN surfaces for low temperature bonding2007

    • 著者名/発表者名
      T. Wakamatsu, T. Suga, M. Akaike, A. Shigetou, E. Higurashi
    • 雑誌名

      Proc. of 6th International IEEE Conference on Polymersand Adhesives in Microelectronics and Photonics

      ページ: 41-44

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360155
  • [雑誌論文] Room temperature GaN-GaAs direct bonding by argon-beam surfaceactivation2007

    • 著者名/発表者名
      Eiji Higurashi, Yuichiro Tokuda, Masatake Akaike, Tadatomo Suga
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE Vol. 6717

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360155
  • [雑誌論文] Feasibility of SAB using Nano-adhesion Layer for Low Temperature GaN Wafer Bonding2007

    • 著者名/発表者名
      T. Suga, T. Wakamatsu, M. Akaike, A. Shigetou, E. Higurashi
    • 雑誌名

      Proc. of Electronic Components and Technology Conference

      ページ: 1815-1818

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360155
  • [雑誌論文] Room temperature GaN-GaAs direct bonding by argon-beam surface activation2007

    • 著者名/発表者名
      Eiji Higurashi, Yuichiro Tokuda, Masatake Akaike, and Tadatomo Suga
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE Vol.6717

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360155
  • [雑誌論文] Effect of SAB process on GaN surfaces for low temperature bonding2007

    • 著者名/発表者名
      T. Wakamatsu, T. Suga, M. Akaike, A. Shigetou, E. Higurashi
    • 雑誌名

      Proc. of 6th International IEEE Conference on Polymers and Adhesives in Microelectronics and Photonics

      ページ: 41-44

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360155
  • [雑誌論文] Room temperature GaN-GaAs direct bonding by argon-beam surface activation2007

    • 著者名/発表者名
      Eiji Higurashi, Yuichiro Tokuda, Masatake Akaike, Tadatomo Suga
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE Vol. 6717

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360155
  • [雑誌論文] Feasibility of SAB using Nano-adhesion Layer for Low Temperature GaN Wafer Bonding2007

    • 著者名/発表者名
      T. Susa, T. Wakamatsu, M. Akaike, A. Shigetou, E. Higurashi
    • 雑誌名

      Proc. of Electronic Components and Technology Conference

      ページ: 1815-1818

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360155
  • [学会発表] 銀薄膜表面活性化接合のためのTiキャップ層による表面荒れの抑制2024

    • 著者名/発表者名
      蔡元昊,竹内魁,魚本幸,島津武仁,日暮栄治
    • 学会等名
      第38回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K26154
  • [学会発表] Suppression of surface roughening of Ag films by capping layer for Ag/Ag surface activated bonding2023

    • 著者名/発表者名
      Yuanhao Cai, Kai Takeuchi, Miyuki Uomoto, Takehito Shimatsu, and Eiji Higurashi
    • 学会等名
      12th IEEE CPMT symposium Japan (ICSJ 2023)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K26154
  • [学会発表] Low temperature copper-copper bonding in ambient air using hydrogen radical pretreatment2019

    • 著者名/発表者名
      Seongbin Shin, Eiji Higurashi, and Tadatomo Suga
    • 学会等名
      2019 6th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06741
  • [学会発表] Short-term Re-oxidation Behavior of Copper after Hydrogen Radical Treatment2018

    • 著者名/発表者名
      S. Shin, E. Higurashi, M. Yamamoto, and T. Suga
    • 学会等名
      第28回マイクロエレクトロニクスシンポジウム (MES 2018)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06741
  • [学会発表] インジウムペーストの水素ラジカル処理による洗浄不要なバンプ作製2018

    • 著者名/発表者名
      古山洸太, 日暮栄治, 須賀唯知
    • 学会等名
      第32回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06741
  • [学会発表] Hydrogen radical treatment of printed indium solder paste for bump formation2017

    • 著者名/発表者名
      Kohta Furuyama, Eiji Higurashi, and Tadatomo Suga
    • 学会等名
      2017 IEEE CPMT Symposium Japan (ICSJ)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06741
  • [学会発表] Hydrogen Radical Treatment for Indium Surface Oxide Removal and Re-oxidation Behavior2017

    • 著者名/発表者名
      Kohta Furuyama, Kazuyuki Yamanaka, Eiji Higurashi, and Tadatomo Suga
    • 学会等名
      2017 5th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06741
  • [学会発表] Hydrogen radical treatment for suppression of oxidation and contamination at copper surfaces2017

    • 著者名/発表者名
      S. Shin, E. Higurashi, K. Furuyama, and T. Suga
    • 学会等名
      第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06741
  • [学会発表] Hydrogen Radical Treatment for Surface Oxide Removal of Copper2017

    • 著者名/発表者名
      S. Shin, E. Higurashi, K. Furuyama, and T. Suga
    • 学会等名
      2017 5th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06741
  • [学会発表] Hydrogen radical treatment for suppression of oxidation and contamination at copper surfaces2017

    • 著者名/発表者名
      S. Shin, E. Higurashi, K. Furuyama, and T. Suga
    • 学会等名
      The 8th Japan-China-Korea MEMS/NEMS with NANO KOREA 2017
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06741
  • [学会発表] 水素ラジカル処理によるインジウム表面酸化膜除去に関する研究2017

    • 著者名/発表者名
      古山洸太、山中和之、日暮栄治、須賀唯知
    • 学会等名
      23回「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム (Mate 2016)
    • 発表場所
      パシフィコ横浜会議センター、神奈川県横浜市
    • 年月日
      2017-01-31
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06741
  • [学会発表] Introduction of hydrogen radical treatment for the removal of indium surface oxide2016

    • 著者名/発表者名
      Kohta Furuyama, Kazuyuki Yamanaka, Eiji Higurashi, and Tadatomo Suga
    • 学会等名
      The 7th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS 2016
    • 発表場所
      Sapporo Education and Culture Hall, Sapporo, Japan
    • 年月日
      2016-09-21
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06741
  • [学会発表] 高出力発光ダイオードの高放熱化のための超平滑な金薄膜を介した常温接合2016

    • 著者名/発表者名
      奥村拳、日暮栄治、須賀唯知
    • 学会等名
      2016年度精密工学春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京理科大学野田キャンパス、千葉県野田市
    • 年月日
      2016-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [学会発表] 紫外線リフレクタ集積化のためのアルミニウム/チタン/金多層膜を用いた常温ウェハ接合2016

    • 著者名/発表者名
      國宗豊、日暮栄治、須賀唯知
    • 学会等名
      第30回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • 発表場所
      東京工業大学大岡山キャンパス、東京都目黒区
    • 年月日
      2016-03-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [学会発表] Room-temperature wafer bonding using Al/Ti/Au layers for integrated reflectors in the ultraviolet spectral region2016

    • 著者名/発表者名
      Eiji Higurashi, Yutaka Kunimune, and Tadatomo Suga
    • 学会等名
      The 66th Electronic Components and Technology Conference (ECTC 2016)
    • 発表場所
      Las Vegas, Nevada USA
    • 年月日
      2016-05-31
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [学会発表] Heterogeneous integration based on low-temperature bonding for MEMS and sensors2015

    • 著者名/発表者名
      Eiji Higurashi
    • 学会等名
      2015 International Symposium on Smart Sensor and its application in kitchen
    • 発表場所
      Guangdong, China
    • 年月日
      2015-11-09
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [学会発表] Room-temperature wafer bonding for integrated reflectors in UV region in miniaturized biomedical devices, International Conference on Bioelectronics, Biosensors, BioMedical Devices2015

    • 著者名/発表者名
      Yutaka Kunimune, Eiji Higurashi, and Tadatomo Suga
    • 学会等名
      BioMEMS/NEMS and Applications (Bio4Apps 2015)
    • 発表場所
      Kyushu University, Fukuoka, Japan
    • 年月日
      2015-12-09
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [学会発表] 高出力光デバイス応用をめざしたAr高周波プラズマ活性化処理による金薄膜を介したウェハ常温接合2015

    • 著者名/発表者名
      奥村拳、日暮栄治、須賀唯知、萩原啓
    • 学会等名
      2015マイクロエレクトロニクスショー、アカデミックプラザ
    • 発表場所
      東京ビッグサイト、東京都江東区
    • 年月日
      2015-06-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [学会発表] The Influence of Air Exposure Time on Bonding Strength in Au-Au Surface Activated Wafer Bonding2015

    • 著者名/発表者名
      Ken Okumura, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, Kei Hagiwara
    • 学会等名
      2015 International Conference on Electronics Packaging & iMAPS All Asia Conference (ICEP-IAAC 2015)
    • 発表場所
      Kyoto Terrsa, Kyoto, Japan
    • 年月日
      2015-04-14
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [学会発表] Low-temperature packaging technologies for optical microsystems2015

    • 著者名/発表者名
      Eiji Higurashi
    • 学会等名
      17th Electronics Packaging Technology Conference (EPTC 2015)
    • 発表場所
      Marina Mandarin, Singapore
    • 年月日
      2015-12-02
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [学会発表] 常温接合技術の最新動向と光デバイス応用2015

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 学会等名
      電子情報通信学会2015年ソサイエティ大会
    • 発表場所
      東北大学川内北キャンパス、宮城県仙台市
    • 年月日
      2015-09-08
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [学会発表] 高機能光マイクロシステム・センサを実現する低温接合技術の最新動向2015

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 学会等名
      第10回電子デバイス実装研究委員会
    • 発表場所
      日本橋ライフサイエンスビルディング、東京都中央区
    • 年月日
      2015-07-14
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [学会発表] Room temperature wafer bonding using an Al/Pt/Au layer for high-power UV LEDs2015

    • 著者名/発表者名
      Yutaka Kunimune, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, and Kei Hagiwara
    • 学会等名
      The 6th Japan-China-Korea MEMS/NEMS Conference 2015
    • 発表場所
      Xi’an, China
    • 年月日
      2015-09-23
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [学会発表] 水素ラジカル処理したSnAgCuはんだのフラックスレス低温固相接合技術2014

    • 著者名/発表者名
      川合紘夢、日暮栄治、須賀唯知、岡田咲枝、萩原泰三
    • 学会等名
      第28回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • 発表場所
      拓殖大学  文京キャンパス 東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [学会発表] 高機能光マイクロシステム・センサを実現する低温接合技術2014

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 学会等名
      電子情報通信学会2014年総合大会
    • 発表場所
      新潟大学五十嵐キャンパス, 新潟
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [学会発表] 高機能光マイクロシステム・センサを実現する低温接合技術2014

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 学会等名
      電子情報通信学会2014年総合大会
    • 発表場所
      新潟大学
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [学会発表] 高機能光マイクロシステム・センサを実現する低温接合技術2014

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 学会等名
      日本学術振興会科学研究費「特別推進研究」終了報告シンポジウム「MEMSと実時間TEM観察によるナノメカニカル特性評価と応用展開」
    • 発表場所
      東京大学
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [学会発表] 低温接合技術で作製したワイヤグリッド偏光子集積型偏光センサ2014

    • 著者名/発表者名
      池田颯、日暮栄治、須賀唯知、小口寿明
    • 学会等名
      第28回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • 発表場所
      拓殖大学  文京キャンパス 東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [学会発表] 低温接合技術に基づく異種材料集積技術とフォトニクス応用2014

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 学会等名
      第28回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • 発表場所
      拓殖大学  文京キャンパス 東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [学会発表] 低温接合技術に基づく異種材料集積技術とフォトニクス応用2014

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 学会等名
      第28回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • 発表場所
      拓殖大学
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [学会発表] Miniaturized polarization sensors integrated with wire-grid polarizers2014

    • 著者名/発表者名
      So Ikeda, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, Toshiaki Oguchi
    • 学会等名
      2014 International Conference on Electronics Packaging (ICEP)
    • 発表場所
      富山国際会場 富山
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [学会発表] 大気圧プラズマによる表面活性化を用いたAu-Au常温接合2014

    • 著者名/発表者名
      山本道貴、日暮栄治、須賀唯知、澤田廉士
    • 学会等名
      2014年度精密工学春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京大学本郷キャンパス 東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [学会発表] Room-Temperature GaAs/SiC Wafer Bonding With Au Thin Film for High Power Optical Devices2014

    • 著者名/発表者名
      Ken Okumura, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, and Kei Hagiwara
    • 学会等名
      The 5th Japan-China-Korea MEMS/NEMS
    • 発表場所
      Seoul, Korea
    • 年月日
      2014-07-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [学会発表] 高出力半導体レーザの高放熱化のための金薄膜を介したGaAs/SiC ウェハの低温接合2014

    • 著者名/発表者名
      奥村拳、日暮栄治、須賀唯知、萩原啓
    • 学会等名
      第28回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • 発表場所
      拓殖大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [学会発表] Low temperature GaAs/SiC wafer bonding for high-power semiconductor lasers2013

    • 著者名/発表者名
      H. Narusawa, K. Nakasuji, E. Higurashi and T. Suga
    • 学会等名
      The 4th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS (JCK MEMS/NEMS 2013)
    • 発表場所
      Tohoku University
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [学会発表] Surface Activated Bonding of Laser Diode Chips Using N2 Atmospheric-Pressure Plasma2013

    • 著者名/発表者名
      Michitaka Yamamoto, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, and Renshi Sawada
    • 学会等名
      International Conference on Electronics Packaging (ICEP 2013)
    • 発表場所
      大阪国際会議場 大阪
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [学会発表] ワイヤグリッド偏光子を集積した小型偏光センサ2013

    • 著者名/発表者名
      山本道貴、日暮栄治、北島和典、須賀唯知、小口寿明
    • 学会等名
      第23回マイクロエレクトロニクスシンポジウム(MES 2013)
    • 発表場所
      大阪大学 吹田キャンパス、 大阪
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [学会発表] 高出力半導体レーザの高放熱構造をめざしたGaAs/SiC常温接合に関する研究2013

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治、中筋香織、須賀唯知
    • 学会等名
      第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(電気学会 センサ・マイクロマシン部門主催)
    • 発表場所
      仙台国際センター
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [学会発表] N2大気圧プラズマによる表面活性化を用いた光素子の低温接合2013

    • 著者名/発表者名
      山本道貴、日暮栄治、須賀唯知、澤田廉士
    • 学会等名
      2013年度精密工学春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学 東京都
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [学会発表] GaAs/SiC常温直接ウェハ接合を用いた高出力レーザの高放熱構造に関する研究2013

    • 著者名/発表者名
      中筋香織、日暮栄治、須賀唯知
    • 学会等名
      第27回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • 発表場所
      東北大学 川内北キャンパス 宮城県
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [学会発表] 大気圧プラズマを用いた低温固相接合による偏光検出器の開発2013

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治、北島和典、山本道貴、須賀唯知、小口寿明
    • 学会等名
      2013年度精密工学秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      関西大学千里山キャンパス 大阪
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [学会発表] Room-Temperature Direct Bonding of GaAs and SiC Wafers for Improved Heat Dissipation in High-Power Semiconductor Lasers2013

    • 著者名/発表者名
      Eiji Higurashi, Kaori Nakasuji, and Tadatomo Suga
    • 学会等名
      International Conference on Electronics Packaging (ICEP 2013)
    • 発表場所
      大阪国際会議場 大阪
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [学会発表] 窒素大気圧プラズで活性化したAuバンプによる半導体レーザ素子の低温接合2013

    • 著者名/発表者名
      山本道貴、日暮栄治、須賀唯知、澤田廉士
    • 学会等名
      第5回「集積化MEMSシンポジウム」(応用物理学会集積化MEMS技術研究会主催)
    • 発表場所
      仙台国際センター 宮城県
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [学会発表] 大気圧プラズマで活性化したAuスタッドバンプによる半導体光素子の低温接合と光マイクロセンサ応用2013

    • 著者名/発表者名
      山本道貴、日暮栄治、須賀唯知、澤田廉士
    • 学会等名
      19回「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム (Mate 2013)
    • 発表場所
      パシフィコ横浜 神奈川県
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [学会発表] Low-temperature solid-state solder bonding process using hydrogen radicals for MEMS packaging application2013

    • 著者名/発表者名
      Hiromu Kawai, Eiji Higurashi, and Tadatomo Suga
    • 学会等名
      The 4th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS (JCK MEMS/NEMS 2013)
    • 発表場所
      東北大学 宮城県
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [学会発表] Low-Temperature Bonding Technologies for Photonics Applications2012

    • 著者名/発表者名
      Eiji Higurashi
    • 学会等名
      12th International Symposium on Semiconductor Wafer Bonding: Science, Technology and Applications, 222th Electrochemical Society Fall Meeting
    • 発表場所
      Honolulu, Hawaii, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [学会発表] 低温接合技術と高機能センサへの応用2012

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 学会等名
      第4回MEMS実装・パッケージングフォーラム(財団法人マイクロマシンセンター)
    • 発表場所
      東京ビックサイト(東京)
    • 年月日
      2012-07-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360025
  • [学会発表] 大気圧プラズマで活性化したAuスタッドバンプによる半導体レーザ素子の低温接合2012

    • 著者名/発表者名
      山本道貴,佐藤丈史,日暮栄治,須賀唯知,澤田廉士
    • 学会等名
      2012年度精密工学秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      九州工業大学 北九州市
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [学会発表] 低温接合に基づく異種材料集積技術と三次元構造光マイクロシステムへの応用2012

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 学会等名
      社団法人日本オプトメカトロニクス協会光センシング技術部会平成24年度第1回技術部会
    • 発表場所
      機械振興会館(東京)
    • 年月日
      2012-06-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360025
  • [学会発表] Mechanical and electrical Characteristics of Direct Bonded Ge/Ge interface2012

    • 著者名/発表者名
      Yuta Sasaki Wang Chenxi, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, Yasuo Doi, Iwao Hosako
    • 学会等名
      Joint Conference of 12th International Conference on Electronics Packaging and 1st IMAPS ALL Asia Conference
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360025
  • [学会発表] Low-temperature bonding of laser diode chips using atmospheric-pressure plasma activation of flat topped Au stud bumps with smooth surfaces2012

    • 著者名/発表者名
      Michitaka Yamamoto, Takeshi Sato, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, and Renshi Sawada
    • 学会等名
      IEEE CPMT (Components, Packaging, and Manufacturing Technology) Symposium Japan
    • 発表場所
      都メッセ、 京都
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [学会発表] Low-Temperature Bonding Technologies for Photonics Applications2012

    • 著者名/発表者名
      Eiji Higurashi
    • 学会等名
      12th International Symposium on Semiconductor Wafer Bonding: Science, Technology and Applications, 222th Electrochemical Society Fall Meeting
    • 発表場所
      Hilton Hawaiian Village Hotel and Hawaii Convention Center (アメリカ)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360025
  • [学会発表] 大気圧Au-Au表面活性化接合を用いた光マイクロシステムの低温気密パッケージング2012

    • 著者名/発表者名
      山本真一、日暮栄治、須賀唯知、澤田廉士
    • 学会等名
      第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 発表場所
      東京・タワーホール船堀
    • 年月日
      2012-09-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [学会発表] Mechanical and Electrical Characteristics of Direct Bonded Ge/Ge interface2012

    • 著者名/発表者名
      Yuta Sasaki, Wang Chenxi, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, Yasuo Doi, Iwao Hosako
    • 学会等名
      Joint Conference of 12th International Conference on Electronics Packaging and lst IMAPS ALL Asia Conference
    • 発表場所
      Tokyo,Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360025
  • [学会発表] Low-temperature bonding of laser diode chips using atmospheric-pressure plasma activation of flat topped Au stud bumps with smooth surfaces2012

    • 著者名/発表者名
      Michitaka Yamamoto, Takeshi Sato, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, and Renshi Sawada
    • 学会等名
      IEEE CPMT (Components, Packaging, and Manufacturing Technology) Symposium Japan
    • 発表場所
      都メッセ、京都
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [学会発表] 低温接合技術と高機能センサへの応用2012

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 学会等名
      第196回有機エレクトロニクス材料研究会
    • 発表場所
      早稲田大学研究開発センター(東京)
    • 年月日
      2012-10-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360025
  • [学会発表] Low-Temperature Bonding Technologies fbr Photonics Applications2012

    • 著者名/発表者名
      Eiji Higurashi
    • 学会等名
      12th International Symposium on Semiconductor Wafer Bonding:Science, Technology and ApPlications,222th Electrochemical Society Fall Meeting
    • 発表場所
      Hilton Hawaiian Village Hotel and Hawaii Convention Center(アメリカ)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360025
  • [学会発表] Geウェハ常温接合界面の機械的・電気的特性評価2011

    • 著者名/発表者名
      佐々木優太、王農礒、日暮栄治、須賀唯知、土井靖生、寳迫巌
    • 学会等名
      2011年度精密工学秋季大会
    • 発表場所
      金沢大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360025
  • [学会発表] 低温接合と光マイクロデバイス応用2011

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 学会等名
      第190回有機エレクトロニクス材料研究会
    • 発表場所
      早稲田大学(東京都新宿区西早稲田)
    • 年月日
      2011-10-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [学会発表] 低温接合による異種材料集積技術と光マイクロセンサへの応用2011

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治、須賀唯知、澤田廉士
    • 学会等名
      2011年電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道札幌市)
    • 年月日
      2011-09-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [学会発表] Geウェハ常温接合界面の機械的・電気的特性評価2011

    • 著者名/発表者名
      佐々木優太、王晨曦、日暮栄治、須賀唯知、土井靖生、寶迫巌
    • 学会等名
      2011年度精密工学秋季大会
    • 発表場所
      金沢大学(石川県)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360025
  • [学会発表] 遠赤外線検出器応用をめざしたGeウェハの常温直接接合2011

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治、倉山竜二、王英輝、須賀唯知、澤山慶博、上井靖生、寳迫巌
    • 学会等名
      第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(電気学会センサ・マイクロマシン部門)
    • 発表場所
      東京・タワーホール船堀
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360025
  • [学会発表] 低温接合技術とマイクロセンサのチップサイズパケージングへの応用技術2011

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 学会等名
      センシング技術応用研究会第177回研究会例会
    • 発表場所
      オムロン野洲事業所(滋賀県野洲市)
    • 年月日
      2011-11-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [学会発表] 遠赤外線検川器応用をめざしたGeウェハの常温直接接合2011

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治、倉山竜二、王英輝、須賀唯知、澤山慶博、土井靖生、寳迫巌
    • 学会等名
      第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(電気学会センサ・マイクロマシン部門)
    • 発表場所
      東京・タワーホール船堀
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360025
  • [学会発表] 微細はんだ粒子を充填したシリコンモールドと水素ラジカルリフローを用いた微小はんだボール形成2009

    • 著者名/発表者名
      茅野大祐、日暮栄治、須賀唯知
    • 学会等名
      第23回エレクトロニクス実装学会講演大会
    • 発表場所
      関東学院大学
    • 年月日
      2009-03-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19560337
  • [学会発表] Hydrogen radical reflow characteristics of small AuSn particles2008

    • 著者名/発表者名
      Daiske Chino, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga
    • 学会等名
      International Conference on Electronics Packaging 2008 (ICEP 2008)
    • 発表場所
      東京ビッグサイト
    • 年月日
      2008-06-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19560337
  • [学会発表] 微細AuSnはんだ粒子の水素ラジカルリフロー特性2008

    • 著者名/発表者名
      茅野大祐, 日暮栄治, 須賀唯知
    • 学会等名
      第22回エレクトロニクス実装学会講演大会
    • 発表場所
      東京大学
    • 年月日
      2008-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19560337
  • [学会発表] 微細AuSn はんだ粒子の水素ラジカルリフロー特性2008

    • 著者名/発表者名
      茅野大祐、日暮栄治、須賀唯知
    • 学会等名
      第22回エレクトロニクス実装学会講演大会
    • 発表場所
      東京大学
    • 年月日
      2008-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19560337
  • [学会発表] Vibrating Sensing System based on Optical Excitation and Detection using Optical Fiber2008

    • 著者名/発表者名
      H,Iwaoka, D.Chino, T.Ikehara,E.Higurashi
    • 学会等名
      INSS2008
    • 発表場所
      石川県金沢市市民文化ホール
    • 年月日
      2008-06-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560404
  • [学会発表] Hydrogen radicalreflow characteristics of small AuSnparticles2008

    • 著者名/発表者名
      Daiske Chino, Eiji Higurashi, and Tadatomo Suga
    • 学会等名
      International Conference on Electronics Packaging (ICEP)
    • 発表場所
      東京ビッグサイト
    • 年月日
      2008-06-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19560337
  • [学会発表] マイクロシステムにおける接合・実装技術の最新動向

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 学会等名
      精密工学会中国四国支部(香川地区)講習会
    • 発表場所
      香川大学工学部 香川県
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [学会発表] Ar高周波プラズマ活性化処理による金薄膜を介したウェハ常温接合

    • 著者名/発表者名
      奥村 拳、日暮 栄治、須賀 唯知、萩原 啓
    • 学会等名
      第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(電気学会 センサ・マイクロマシン部門主催)
    • 発表場所
      くにびきメッセ(島根県松江市)
    • 年月日
      2014-10-20 – 2014-10-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [学会発表] Room-Temperature Wafer Bonding With Smooth Au Thin Film in Ambient Air Using Ar RF Plasma Activation

    • 著者名/発表者名
      Ken Okumura, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, and Kei Hagiwara
    • 学会等名
      2014 4th IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D)
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 年月日
      2014-07-15 – 2014-07-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [学会発表] マイクロシステムにおける接合・実装技術の最新動向

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 学会等名
      精密工学会中国四国支部(香川地区)講習会
    • 発表場所
      香川大学
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [学会発表] Room-temperature wafer bonding with smooth Au thin film for thermal management of high-power semiconductor lasers

    • 著者名/発表者名
      Ken Okumura, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, Kei Hagiwara
    • 学会等名
      The 3rd Singapore-Japan Research Exchange Seminar
    • 発表場所
      National University of Singapore, Singapore
    • 年月日
      2014-12-08 – 2014-12-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [学会発表] 低温接合に基づく異種材料集積技術と三次元構造光マイクロシステムへの応用

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 学会等名
      社団法人日本オプトメカトロニクス協会光センシング技術部会平成24年度第1回技術部会
    • 発表場所
      (社)日本オプトメカトロニクス協会 東京都
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [学会発表] 低温接合技術と高機能センサへの応用

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 学会等名
      マイクロマシン/MEMS展 第4回MEMS実装・パッケージングフォーラム(財団法人マイクロマシンセンター)
    • 発表場所
      東京ビックサイト 東京都
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [学会発表] 高放熱デバイス応用をめざした常温ウェハ接合

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治、奥村拳、須賀唯知
    • 学会等名
      第29回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • 発表場所
      東京大学 本郷キャンパス
    • 年月日
      2015-03-16 – 2015-03-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [学会発表] Low-temperature GaAs/SiC wafer bonding with Au thin film for high-power semiconductor lasers

    • 著者名/発表者名
      Ken Okumura, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, and Kei Hagiwara
    • 学会等名
      2014 International Conference on Electronics Packaging (ICEP)
    • 発表場所
      Toyama, Japan
    • 年月日
      2014-04-23 – 2014-04-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289085
  • [学会発表] 低温接合技術と高機能センサへの応用

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 学会等名
      第196回有機エレクトロニクス材料研究会
    • 発表場所
      早稲田大学 東京都
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [学会発表] 高機能光マイクロシステム・センサを実現する低温接合技術

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 学会等名
      日本学術振興会科学研究費「特別推進研究」終了報告シンポジウム「MEMSと実時間TEM観察によるナノメカニカル特性評価と応用展開」
    • 発表場所
      東京大学生産技術研究所,東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246125
  • [学会発表] 低温接合技術と高機能センサへの応用

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 学会等名
      マイクロマシン/MEMS展 第4回MEMS実装・パッケージングフォーラム(財団法人マイクロマシンセンター)
    • 発表場所
      東京ビックサイト(東京)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360025
  • 1.  須賀 唯知 (40175401)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 37件
  • 2.  岩岡 秀人 (70440485)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 2件
  • 3.  土井 靖生 (70292844)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 11件
  • 4.  寳迫 巌 (00359069)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 12件
  • 5.  島津 武仁 (50206182)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  マティアル R・ハウラダル (40334354)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  赤池 正剛 (50150959)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 11件
  • 8.  竹内 魁 (20896716)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 2件

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