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竹田 晋吾  タケダ シンゴ

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 60373528
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2005年度: (財)高輝度光科学研究センター, 利用研究促進部門, 協力研究員
2005年度: (財)高輝度光科学研究センター, 利用研究促進部門構造物性Iグループ, 協力研究員
2004年度: 財団法人高輝度光科学研究センター, 利用研究促進部門I・構造物性Iグループ, 協力研究員
審査区分/研究分野
研究代表者
応用物性・結晶工学
研究代表者以外
応用物性・結晶工学
キーワード
研究代表者
半導体デバイス / サブミクロン / 光学計 / ゾーンプレート / 評価 / 歪みシリコン / マイクロ回折 / X線
研究代表者以外
THIN FILM / INTERFACE … もっと見る / MICRO-AREA / STRAIN / SYNCHROTRON RADIATION / X-RAY DIFFRACTION / 薄膜 / 界面物性 / 微小領域 / 歪み / シンクロトロン放射光 / X線回折 隠す
  • 研究課題

    (2件)
  • 共同研究者

    (2人)
  •  高分解能マイクロX線回折測定による半導体材料・デバイスのナノスケール歪分布計測

    • 研究代表者
      木村 滋
    • 研究期間 (年度)
      2005 – 2006
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      応用物性・結晶工学
    • 研究機関
      (財)高輝度光科学研究センター
  •  高分解能マイクロX線回折法による歪みシリコン基板の研究研究代表者

    • 研究代表者
      竹田 晋吾
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2005
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      応用物性・結晶工学
    • 研究機関
      (財)高輝度光科学研究センター
  • 1.  木村 滋 (50360821)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  坂田 修身 (40215629)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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