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土屋 智由  Tsuchiya Toshiyuki

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 60378792
その他のID
所属 (現在) 2025年度: 京都大学, 工学研究科, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2019年度 – 2025年度: 京都大学, 工学研究科, 教授
2020年度: 京都大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授
2018年度: 京都大学, 工学研究科, 准教授
2016年度: 京都大学, 工学研究科, 准教授
2012年度 – 2015年度: 京都大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 … もっと見る
2011年度: 京都大学, 大学院・工学研究科, 准教授
2007年度 – 2011年度: 京都大学, 工学研究科, 准教授
2009年度: 京都大学, 大学院・工学研究科, 准教授
2007年度: 京都大学, 准教授
2006年度: 京都大学, 工学研究科, 助教授 隠す
審査区分/研究分野
研究代表者
機械材料・材料力学 / 小区分20010:機械力学およびメカトロニクス関連 / 中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野 / 中区分20:機械力学、ロボティクスおよびその関連分野 / 小区分19020:熱工学関連 / ナノマイクロシステム
研究代表者以外
小区分24010:航空宇宙工学関連 / 中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野 / 大区分C / 航空宇宙工学
キーワード
研究代表者
MEMS / 単結晶シリコン / ナノギャップ / 顕微ラマン分光 / シリコン / SOI / 静電アクチュエータ / へき開 / 引張試験 / 機械特性 … もっと見る / 二酸化シリコン / 高温試験 / 腐食疲労 / 酸化 / 疲労試験 / 面接触 / マイクロシステム / 熱輸送計測 / neuromorphic computing / noise resiliency / Neuromorphic computing / Noise resiliency / Phase modulation / Surface Acoustic Wave / Reservoir Computing / センサ / リザバーコンピューティング / ベンチマークタスク / 非線形振動子 / 機械学習 / コグニティブコンピューティング / 伝熱 / 熱輸送 / サーモリフレクタンス / サーモリフレクタンス法 / カシミール力 / 熱放射 / 熱アクチュエータ / 熱電子放出 / へき開破壊 / 静電櫛歯アクチュエータ / 熱膨張アクチュエータ / 光チョッパ / マイクロマシン / 共振子 / 時間分解応力測定 / 振動子 / 光チョッパー / 動的局所応力計測 / 酸素析出欠陥 / 信頼化 / 共振振動 / 力学特性 / 寿命予測 / 信頼性 / 電子ビーム露光 / 静電容量 / フラーレン … もっと見る
研究代表者以外
電気推進 / 超小型衛星 / イオン液体 / 潤滑油 / トライボロジー / 境界潤滑 / 電界放出 / イオンビーム / エレクトロスプレー / 機械要素 / 量子ビーム分析 / 添加剤 / 中性粒子 / 潤滑 / ナノ隙間 / 流体潤滑 / ナノすきま / 摩擦係数 / 推力可変 / 高密度 / 微細加工 / 粒子計算 隠す
  • 研究課題

    (17件)
  • 研究成果

    (112件)
  • 共同研究者

    (21人)
  •  超小型エレクトロスプレー宇宙推進機における「疑似」質量損失機構の解明

    • 研究代表者
      鷹尾 祥典
    • 研究期間 (年度)
      2024 – 2026
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分24010:航空宇宙工学関連
    • 研究機関
      横浜国立大学
  •  面と面の接触の理解に向けてーへき開ナノギャップを用いた物理現象計測ー研究代表者

    • 研究代表者
      土屋 智由
    • 研究期間 (年度)
      2024 – 2027
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 審査区分
      中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
    • 研究機関
      京都大学
  •  境界潤滑の科学-添加剤吸着層の構造・物性に基づく低摩擦現象の本質的理解

    • 研究代表者
      平山 朋子
    • 研究期間 (年度)
      2023 – 2027
    • 研究種目
      基盤研究(S)
    • 審査区分
      大区分C
    • 研究機関
      京都大学
  •  境界潤滑層の構造とダイナミクス-低摩擦をもたらす潤滑油分子の最適設計

    • 研究代表者
      平山 朋子
    • 研究期間 (年度)
      2023
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 審査区分
      中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
    • 研究機関
      京都大学
  •  機械が機械学習するコグニティブセンシングシステム研究代表者

    • 研究代表者
      土屋 智由
    • 研究期間 (年度)
      2022 – 2024
    • 研究種目
      挑戦的研究(開拓)
    • 審査区分
      中区分20:機械力学、ロボティクスおよびその関連分野
    • 研究機関
      京都大学
  •  理想ナノすきまにおける境界/流体潤滑場での原理的摩擦力学特性の取得

    • 研究代表者
      平山 朋子
    • 研究期間 (年度)
      2022 – 2023
    • 研究種目
      挑戦的研究(萌芽)
    • 審査区分
      中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
    • 研究機関
      京都大学
  •  ナノギャップの熱輸送計測ー放射から熱伝導への遷移領域の解明ー研究代表者

    • 研究代表者
      土屋 智由
    • 研究期間 (年度)
      2021 – 2023
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分19020:熱工学関連
    • 研究機関
      京都大学
  •  微小電極間エレクトロスプレー現象解明による超小型宇宙推進機の多用途化

    • 研究代表者
      鷹尾 祥典
    • 研究期間 (年度)
      2021 – 2023
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分24010:航空宇宙工学関連
    • 研究機関
      横浜国立大学
  •  MEMS共振器を用いたリザバーコンピューティング研究代表者

    • 研究代表者
      土屋 智由
    • 研究期間 (年度)
      2021 – 2022
    • 研究種目
      特別研究員奨励費
    • 審査区分
      小区分20010:機械力学およびメカトロニクス関連
    • 研究機関
      京都大学
  •  MEMS共振器を用いたリザバーコンピューティング研究代表者

    • 研究代表者
      土屋 智由
    • 研究期間 (年度)
      2020 – 2022
    • 研究種目
      特別研究員奨励費
    • 審査区分
      小区分20010:機械力学およびメカトロニクス関連
    • 研究機関
      京都大学
  •  推力密度の飛躍的な増加と冗長系の確保が可能な超小型エレクトロスプレー宇宙推進機

    • 研究代表者
      鷹尾 祥典
    • 研究期間 (年度)
      2018 – 2020
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分24010:航空宇宙工学関連
    • 研究機関
      横浜国立大学
  •  3D-MEMS加工技術を利用したマイクロ宇宙推進機の抜本的な推進効率の向上

    • 研究代表者
      鷹尾 祥典
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2016
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      航空宇宙工学
    • 研究機関
      横浜国立大学
  •  ナノギャップの熱物性計測デバイス研究代表者

    • 研究代表者
      土屋 智由
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2015
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      ナノマイクロシステム
    • 研究機関
      京都大学
  •  顕微ラマン分光を用いたMEMS共振構造体の時間分解局所応力測定研究代表者

    • 研究代表者
      土屋 智由
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2013
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      機械材料・材料力学
    • 研究機関
      京都大学
  •  カーボンナノ構造体力学特性評価のための静電力駆動、静電容量検出MEMSデバイス研究代表者

    • 研究代表者
      土屋 智由
    • 研究期間 (年度)
      2007
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      機械材料・材料力学
    • 研究機関
      京都大学
  •  シリコンマイクロ構造体の高信頼化に資する表面酸化反応疲労現象の解明研究代表者

    • 研究代表者
      土屋 智由
    • 研究期間 (年度)
      2007 – 2011
    • 研究種目
      若手研究(S)
    • 研究分野
      機械材料・材料力学
    • 研究機関
      京都大学
  •  MEMSデバイスの高信頼化のための単結晶シリコンの表面反応疲労現象の理解と制御研究代表者

    • 研究代表者
      土屋 智由
    • 研究期間 (年度)
      2006 – 2007
    • 研究種目
      若手研究(A)
    • 研究分野
      機械材料・材料力学
    • 研究機関
      京都大学

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すべて 雑誌論文 学会発表 図書

  • [図書] シリコンの破壊と疲労(第1編 第12章 3節) 服部敏雄他編:破壊力学大系2012

    • 著者名/発表者名
      佐藤 一雄,土屋智由
    • 総ページ数
      9
    • 出版者
      エヌ・ティー・エス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656087
  • [図書] 破壊力学大系シリコンの破壊と疲労(第1編第12章3節)(服部敏雄他編)2012

    • 著者名/発表者名
      佐藤一雄, 土屋智由
    • 総ページ数
      9
    • 出版者
      エヌ・ティー・エス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [図書] 破壊力学大系2012

    • 著者名/発表者名
      佐藤一雄、土屋智由
    • 出版者
      エヌ・ティース・エス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [図書] Reliability of MEMS2008

    • 著者名/発表者名
      T. Tsuchiya
    • 総ページ数
      303
    • 出版者
      Wiley VCH
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [図書] Comprehensive Microsystems(Chapter 1.01 Silicon and related materials)2007

    • 著者名/発表者名
      T. Tsuchiya
    • 出版者
      Elsevier
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18686013
  • [図書] Comprehensive Microsystems (Chapter 1.01 Silicon and related materials)2007

    • 著者名/発表者名
      T. Tsuchiya
    • 出版者
      Elsevier
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [雑誌論文] Adsorption Characteristics and Mechanical Responses of Lubricants Containing Polymer Additives under Fluid Lubrication with a Narrow Gap2024

    • 著者名/発表者名
      Hirayama Tomoko、Yamashita Naoki、Yamamoto Waka、Shirode Kenta、Okada Akira、Hatano Naoya、Tsuchiya Toshiyuki、Yamada Masako
    • 雑誌名

      Langmuir

      巻: 40 号: 12 ページ: 6229-6243

    • DOI

      10.1021/acs.langmuir.3c03725

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18756, KAKENHI-PROJECT-23H05448
  • [雑誌論文] Non-linear processing with a Surface Acoustic Wave reservoir computer2023

    • 著者名/発表者名
      Claude Meffan, Taiki Ijima, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya
    • 雑誌名

      Microsystem Technologies

      巻: -

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21F20799
  • [雑誌論文] Numerical calculation of thermoreflectance coefficient of c-Si for wavelengths of 200?800 nm and temperatures of 300?500 K2023

    • 著者名/発表者名
      Shimofuri Masaki、Murakami Taichi、Miyake Shugo、Banerjee Amit、Hirotani Jun、Tsuchiya Toshiyuki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 62 号: 11 ページ: 112006-112006

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ad07f8

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01261
  • [雑誌論文] Design and Fabrication of Ionic Liquid Electrospray Thruster with Two-Stage Electrodes2023

    • 著者名/発表者名
      Akane NISHIMURA, Hirohide KATSUTA, Yoshinori TAKAO, Toshiyuki TSUCHIYA
    • 雑誌名

      Journal of Evolving Space Activities

      巻: 1 号: 0 ページ: n/a

    • DOI

      10.57350/jesa.7

    • ISSN
      2758-1802
    • 言語
      英語
    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01530
  • [雑誌論文] Gap distance dependence on field emission at the nanogap between silicon cleavage surfaces2023

    • 著者名/発表者名
      Akura Yuki、Shimofuri Masaki、Banerjee Amit、Hirotani Jun、Tsuchiya Toshiyuki
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science & Technology B

      巻: 41 号: 2 ページ: 022805-022805

    • DOI

      10.1116/6.0002456

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01261
  • [雑誌論文] Nanometer Order Separation Control of Large Working Area Nanogap Created by Cleavage of Single-Crystal Silicon Along {111} Planes Using a MEMS Device2023

    • 著者名/発表者名
      Shimofuri Masaki、Banerjee Amit、Hirotani Jun、Hirai Yoshikazu、Tsuchiya Toshiyuki
    • 雑誌名

      Journal of Microelectromechanical Systems

      巻: 32 号: 1 ページ: 67-73

    • DOI

      10.1109/jmems.2022.3213999

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01261
  • [雑誌論文] Non-linear processing with a surface acoustic wave reservoir computer2023

    • 著者名/発表者名
      Meffan Claude、Ijima Taiki、Banerjee Amit、Hirotani Jun、Tsuchiya Toshiyuki
    • 雑誌名

      Microsystem Technologies

      巻: 29 号: 8 ページ: 1197-1206

    • DOI

      10.1007/s00542-023-05463-4

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18289
  • [雑誌論文] Uniform needle-emitter arrays for ionic liquid electrospray thrusters with precise thrust control2021

    • 著者名/発表者名
      Tachibana Fumiya、Tsuchiya Toshiyuki、Takao Yoshinori
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 60 号: SC ページ: SCCL06-SCCL06

    • DOI

      10.35848/1347-4065/abe997

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01623
  • [雑誌論文] 超小型高推力密度エレクトロスプレースラスタの研究開発2019

    • 著者名/発表者名
      鷹尾 祥典、土屋 智由、長尾 昌善、村上 勝久
    • 雑誌名

      日本航空宇宙学会誌

      巻: 67 号: 1 ページ: 5-11

    • DOI

      10.14822/kjsass.67.1_5

    • NAID

      130007542890

    • ISSN
      0021-4663, 2424-1369
    • 年月日
      2019-01-05
    • 言語
      日本語
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01623
  • [雑誌論文] Microfabricated emitter array for an ionic liquid electrospray thruster2017

    • 著者名/発表者名
      Kaito Nakagawa, Toshiyuki Tsuchiya, and Yoshinori Takao
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 56

    • NAID

      210000147943

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K14247
  • [雑誌論文] シリコンの機械的信頼性2015

    • 著者名/発表者名
      土屋 智由
    • 雑誌名

      機械の研究

      巻: 67 ページ: 183-190

    • NAID

      40020378324

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600062
  • [雑誌論文] Effect of crystallographic orientation on tensile fractures of (100) and (110) silicon microstructures fabricated from silicon-on-insulator wafers2015

    • 著者名/発表者名
      上杉晃生,平井義和,菅野公二,土屋智由,田畑修
    • 雑誌名

      Micro and Nano Letters

      巻: 10 号: 12 ページ: 678-682

    • DOI

      10.1049/mnl.2015.0334

    • NAID

      120005712973

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-13J01559, KAKENHI-PROJECT-26600062
  • [雑誌論文] Electrostatic Tensile Testing Device With Nanonewton and Nanometer Resolution2012

    • 著者名/発表者名
      T.Tsuchiya
    • 雑誌名

      Journal of Microelectromechanical Systems

      巻: Vol.21(印刷中) 号: 3 ページ: 523-529

    • DOI

      10.1109/jmems.2011.2182503

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [雑誌論文] Fatigue Testing of Polycrystalline Silicon Thin-film Membrane Using Out-of-plane Bending Vibration2012

    • 著者名/発表者名
      Tomoki Tanemura, Shuichi Yamashita, Hiroyuki Wado, Yukihiro, Takeuchi, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 51 号: 11S ページ: 11PA02-11PA02

    • DOI

      10.1143/jjap.51.11pa02

    • NAID

      210000141610

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656087
  • [雑誌論文] 加工条件の異なる(110)<110>単結晶シリコン薄膜の引張試験2012

    • 著者名/発表者名
      上杉晃生、平井義和、菅野公二、土屋智由、田畑修
    • 雑誌名

      電気学会センサ・マイクロマシン部門誌

      巻: Vol.132

    • NAID

      10031019952

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [雑誌論文] Measurement of anisotropic fatigue life in micrometre-scale single-crystal silicon specimens2010

    • 著者名/発表者名
      T. Ikehara, T. Tsuchiya
    • 雑誌名

      Micro & Nano Letters Vol. 5 No. 1

      ページ: 49-52

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [雑誌論文] Tensile and Tensile-Mode Fatigue Testing of Microscale Specimens in Constant Humidity Environment2010

    • 著者名/発表者名
      T. Tsuchiya, Y. Yamaji, K. Sugano, O. Tabata
    • 雑誌名

      Experimental Mechanics Vol. 50 No. 4

      ページ: 509-516

    • NAID

      120002191878

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [雑誌論文] Tensile and Tensile-Mode Fatigue Testing of Microscale Specimens in Constant Humidity Environment2010

    • 著者名/発表者名
      T. Tsuchiya, Y. Yamaji, K. Sugano, O. Tabata
    • 雑誌名

      Experimental Mechanics

      巻: Vol.50, No.4 ページ: 509-516

    • NAID

      120002191878

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [雑誌論文] Measure ment of anisotropic fatigue life in micrometre-scale single-crystal silicon specimens2010

    • 著者名/発表者名
      T. Ikehara, T. Tsuchiya
    • 雑誌名

      Micro & Nano Letters

      巻: Vol.5, No.1 号: 1 ページ: 49-52

    • DOI

      10.1049/mnl.2009.0073

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [雑誌論文] マイクロ・ナノ材料の試験方法2010

    • 著者名/発表者名
      土屋智由
    • 雑誌名

      塑性と加工

      巻: 51 ページ: 1048-1052

    • NAID

      10027128642

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [雑誌論文] Tensile Testing of Single Crystal Silicon Thin Films at 600oC Using IR Heating2010

    • 著者名/発表者名
      T. Tsuchiya, T. Ikeda, A. Tsunematsu, K. Sugano, O. Tabata
    • 雑誌名

      Sensors and Materials

      巻: Vol.22, No.1 ページ: 1-12

    • URL

      http://122.249.91.209/myukk/Journal/Download.php?fn=SM0784.pdf

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [雑誌論文] Tensile Testing of Single Crystal Silicon Thin Films at 600℃ Using IR Heating2010

    • 著者名/発表者名
      T.Tsuchiya
    • 雑誌名

      Sensors and Materials 22

      ページ: 1-12

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [雑誌論文] Tensile and Tensile-Mode Fatigue Testing of Microscale Specimens in Constant Humidity Environment2010

    • 著者名/発表者名
      T.Tsuchiya
    • 雑誌名

      Experimental Mechanics

      巻: 50 ページ: 509-516

    • NAID

      120002191878

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [雑誌論文] Tensile and Tensile-Mode Fatigue Testing of Microscale Specimens in Constant Humidity Environment2010

    • 著者名/発表者名
      T.Tsuchiya
    • 雑誌名

      Experimental Mechanics 50

      ページ: 509-516

    • NAID

      120002191878

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [雑誌論文] Design and fabrication of a differential capacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes2009

    • 著者名/発表者名
      T.Tsuchiya
    • 雑誌名

      IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering 4

      ページ: 345-351

    • NAID

      10025774459

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [雑誌論文] Design and fabrication of differential capacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb2009

    • 著者名/発表者名
      T. Tsuchiya
    • 雑誌名

      IEET Transactions on Electrical and Electronic Engineering 4

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [雑誌論文] High-cycle fatigue of micromachined single-crystal silicon measured using high-resolution patterned specimens2008

    • 著者名/発表者名
      T. Ikehara, T. Tsuchiya
    • 雑誌名

      Journal of Microme chanics and Microen gineering

      巻: Vol.18, No.7 号: 7 ページ: 75004-75004

    • DOI

      10.1088/0960-1317/18/7/075004

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [雑誌論文] Tensile-Mode Fatigue Tests and Fatigue Life Predictions of Single Crystal Silicon in Humidity Controlled2007

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Yamaji, Koji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya
    • 雑誌名

      The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems

      ページ: 267-270

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18686013
  • [雑誌論文] Tensile mode fatigue test of silicon thin films using electrostatic grip system2006

    • 著者名/発表者名
      Toshiyuki Tsuchiya, Yusuke Yamaji, Koji Sugano, Osamu Tabata
    • 雑誌名

      The 9th International Fatigue Congress

      ページ: 47-47

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18686013
  • [雑誌論文] Tensile and Tensile-mode Fatigue Test of Single Crystal Silicon in Various Environments2006

    • 著者名/発表者名
      Toshiyuki Tsuchiya, Yusuke Yamaji, Koji Sugano, Osamu Tabata
    • 雑誌名

      Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology

      ページ: 230-230

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18686013
  • [学会発表] Theoretical Analysis of (100) Silicon Ring Gyroscope with Chamfered Rectangle Springs2024

    • 著者名/発表者名
      Ayumu Takahashi, Shuya Okayama, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya
    • 学会等名
      The 11th IEEE International Symposium on Inertial Sensors & Systems, INERTIAL 2024 (2024/3/25-28, Hiroshima, JAPAN)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18289
  • [学会発表] Exploring Surface Acoustic Wave Devices for Sound-Based Reservoir Computing2024

    • 著者名/発表者名
      Claude Meffan, Taiki Ijima, Amit Banerjee, Jun Hirotani, and Toshiyuki Tsuchiya
    • 学会等名
      The 37th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2024), Austin, TX, (January 21-15, 2024), pp. 529-532.
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18289
  • [学会発表] Ionic Liquid Electrospray Thrusters with Different Types of Emitter Structures2023

    • 著者名/発表者名
      Yoshinori Takao, Masayoshi Nagao, Toshiyuki Tsuchiya, and Ryudo Tsukizaki
    • 学会等名
      11th Asian Joint Conference on Propulsion and Power, Kanazawashi Cultural Hall, Kanazawa, Japan
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01530
  • [学会発表] 物理リザバーコンピューティングへの実装を目的とした表面弾性波位相変調デバイスの開発2023

    • 著者名/発表者名
      井嶋 泰貴,Robert Claude Meffan,Amit Banerjee,廣谷 潤,土屋 智由
    • 学会等名
      日本機械学会2023年度年次大会, 東京都立大学 南大沢キャンパス,2023年9月3-6日,J224p-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18289
  • [学会発表] Development of surface acoustic wave phase modulators for physical reservoir computing2023

    • 著者名/発表者名
      Taiki Ijima, Claude Meffan, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya
    • 学会等名
      49th international conference on Micro and Nano Engineering (MNE2023) (Berlin, Germany), Sep. 25-28, 2023, pp. 417-418.
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18289
  • [学会発表] Physical Resevoir Computing using Nonlinear MEMS Resonator Having High Memory Capacity at “Edge of Chaos"2023

    • 著者名/発表者名
      Hiroki Takemura, Takahiro Mizumoto, Amit Banerjee, Jun Hirotani, and Toshiyuki Tsuchiya
    • 学会等名
      The 36th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2023)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18289
  • [学会発表] Optimisation of a physical reservoir computer’s parameters using a genetic algorithm2023

    • 著者名/発表者名
      Claude Meffan, Taiki Ijima, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya
    • 学会等名
      Deep learning meets Neuromorphic Hardware (a Workshop of European Conference on Machine Learning and Principles and Practice of Knowledge Discovery in Databases) (Turin, Italy) Sep. 18, 2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18289
  • [学会発表] PMA系高分子添加剤を含む潤滑油の流体潤滑特性(第1報)ーマイクロ流路デバイスを用いた圧力-流量特性評価ー2023

    • 著者名/発表者名
      山本和佳、山下直輝、平山朋子、土屋智由
    • 学会等名
      トライボロジー会議2023春東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18756
  • [学会発表] Optimisation of a physical reservoir computer’s parameters using a genetic algorithm non-linear search2023

    • 著者名/発表者名
      Claude Meffan, Taiki Ijima, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya
    • 学会等名
      49th international conference on Micro and Nano Engineering (MNE2023) (Berlin, Germany), Sep. 25-28, 2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18289
  • [学会発表] 共振型加速度センサを一体化したMEMSリザバーコンピューティングによる人間行動認識2023

    • 著者名/発表者名
      千賀美咲,水本昂宏,Amit Banerjee,廣谷潤,土屋智由
    • 学会等名
      第15回集積化MEMSシンポジウム,熊本城ホール,熊本,2023年11月6-9日
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18289
  • [学会発表] PMA系高分子添加剤を含む潤滑油の流体潤滑特性(第1報)ーマイクロ流路デバイスを用いた圧力-流量特性評価ー2023

    • 著者名/発表者名
      山本和佳、山下直輝、平山朋子、土屋智由
    • 学会等名
      トライボロジー会議2023春東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23H05448
  • [学会発表] 面取り矩形支持ばねを用いた(100)単結晶シリコンリング型振動ジャイロの理論解析2023

    • 著者名/発表者名
      高橋歩夢,岡山修也,Amit Banerjee,廣谷潤,土屋智由
    • 学会等名
      第15回集積化MEMSシンポジウム,熊本城ホール,熊本,2023年11月6-9日
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18289
  • [学会発表] IONIC LIQUID ELECTROSPRAY THRUSTER WITH TWO-STAGE ELECTRODES ON GLASS SUBSTRATE2023

    • 著者名/発表者名
      Akane Nishimura, Toshiyuki Tsuchiya, and Yoshinori Takao
    • 学会等名
      36th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Science Congress Center Munich, Germany
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01530
  • [学会発表] Human Activity Recognition using Intelligent Resonant Accelerometer Employing MEMS Reservoir Computing2023

    • 著者名/発表者名
      Takahiro Mizumoto, Amit Banerjee, Jun Hirotani, and Toshiyuki Tsuchiya
    • 学会等名
      The 22nd International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers’23)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18289
  • [学会発表] 反射率温度依存性を用いたレーザー光反射強度計測による表面温度の非接触測定2023

    • 著者名/発表者名
      村上 大志, 土屋 智由, 霜降 真希, 三宅 修吾
    • 学会等名
      第14回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01261
  • [学会発表] MEMSリザバーコンピューティング2023

    • 著者名/発表者名
      土屋 智由
    • 学会等名
      第42回マイクロナノ先端技術交流会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18289
  • [学会発表] Characterization of gap-distance dependency on field emission at nanogap between silicon cleavage surfaces by numerical calculations2022

    • 著者名/発表者名
      Yuki Akura, Masaki Shimofuri, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya
    • 学会等名
      2022 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE 2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01261
  • [学会発表] Neuroaccelerometer using reservoir computing with parametric nonlinear response2022

    • 著者名/発表者名
      Takahiro Mizumoto, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya
    • 学会等名
      The 48th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE) and Eurosensors 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18289
  • [学会発表] パルス電圧印加を用いた間隔可変単結晶シリコンナノギャップの電子輸送特性計測2022

    • 著者名/発表者名
      霜降 真希, 廣谷 潤, Banerjee Amit, 土屋 智由
    • 学会等名
      第13回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01261
  • [学会発表] A non-linear SAW resonator as a reservoir computing node2022

    • 著者名/発表者名
      Claude Meffan, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya
    • 学会等名
      2022 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE 2022), Nagoya, Japan, Aug. 28-31, 2022, A2-2-03.
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21F20799
  • [学会発表] Fabrication and Performance Characterization of an Ionic Liquid Electrospray Thruster with a Grooved Needle Emitter Shape2022

    • 著者名/発表者名
      Koki Matsukawa, Hirohide Katsuta, Yuiko Nakashima, Akane Nishimura, Toshiyuki Tsuchiya, and Yoshinori Takao
    • 学会等名
      37th International Electric Propulsion Conference, Massachusetts Institute of Technology, Boston, MA, USA
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01530
  • [学会発表] MEMS Resevoir Computing -Sensors Become More Intelligent-2022

    • 著者名/発表者名
      Toshiyuki Tsuchiya
    • 学会等名
      Asia-Pacific Conference of Transducers and MIcro-Nano Technology (APCOT 2022)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18289
  • [学会発表] Intrinsic Friction Behaviour Originated from Molecular Structure of Lubricant in Nanoscale Gap Fabricated by MEMS2022

    • 著者名/発表者名
      Wataru Yagi, Yuanlin Xia, Toshiyuki Tsuchiya and Tomoko Hirayama
    • 学会等名
      TRIBOCHEMISTRY BEAUNE 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18756
  • [学会発表] Design and Fabrication of Ionic Liquid Electrospray Thruster with Two-Stage Electrodes2022

    • 著者名/発表者名
      Akane Nishimura, Yoshinori Takao, and Toshiyuki Tsuchiya
    • 学会等名
      33rd International Symposium on Space Technology and Science
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01530
  • [学会発表] 知能化共振加速度センサの記憶容量と感度の関係2022

    • 著者名/発表者名
      水本 昂宏, Banerjee Amit, 廣谷 潤, 土屋 智由
    • 学会等名
      第14回「集積化MEMSシンポジウム」
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18289
  • [学会発表] Observation of Pull-In by Casimir Force in MEMS-Controlled Nanogap Fabricated by Silicon Cleavage2022

    • 著者名/発表者名
      Masaki Shimofuri, Yoshikazu Hirai, Amit Banerjee, and Toshiyuki Tsuchiya
    • 学会等名
      The 35th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01261
  • [学会発表] 熱膨張アクチュエータによる変調機構を備えた環状結合非線形振動子群によるMEMSリザバーコンピューティング2022

    • 著者名/発表者名
      武田 侑大、水本 昂宏、竹村 拓樹、Banerjee Amit、廣谷 潤、土屋 智由
    • 学会等名
      日本機械学会 2022年度 年次大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18289
  • [学会発表] 半導体へき開面ナノギャップにおける電界電子放出特性のギャップ間隔依存性の数値計算による評価2022

    • 著者名/発表者名
      安倉 祐樹、霜降 真希、Banerjee Amit、廣谷 潤、土屋 智由
    • 学会等名
      日本機械学会 2022年度 年次大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01261
  • [学会発表] 真空ナノギャップを用いた熱電子発電実現に向けて2022

    • 著者名/発表者名
      土屋智由
    • 学会等名
      伝熱学会 関西支部 第17回関西伝熱セミナー
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01261
  • [学会発表] A non-linear SAW resonator as a reservoir computing node2022

    • 著者名/発表者名
      Claude Meffan, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya
    • 学会等名
      2022 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE 2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18289
  • [学会発表] SOI-MEMS device for fabrication and physical properties measurement of single-crystal silicon nanogap with (111) cleavage plane surfaces2021

    • 著者名/発表者名
      Masaki Shimofuri, Yoshikazu Hirai, Amit Banerjee, Toshiyuki Tsuchiya
    • 学会等名
      34th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2021)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01261
  • [学会発表] 単結晶シリコンへき開面ナノギャップ間の熱電界電子トンネリング計測2021

    • 著者名/発表者名
      霜降 真希, 吉村 光葵, 文 和彦, 平井 義和, Banerjee Amit, 土屋 智由
    • 学会等名
      日本機械学会 2021年度 年次大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01261
  • [学会発表] イオン液体エレクトロスプレースラスタのための二段電極構造の作製2021

    • 著者名/発表者名
      西邑 亜香音, 鷹尾 祥典, 土屋 智由
    • 学会等名
      第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01530
  • [学会発表] エレクトロスプレースラスタの一様なエミッタアレイ電極作製とイオン放出実験2021

    • 著者名/発表者名
      橘郁哉, 森田寛之, 土屋智由, 鷹尾祥典
    • 学会等名
      令和2年度 宇宙輸送シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01623
  • [学会発表] イオン液体エレクトロスプレースラスタの二段電極作製に向けたガラス貫通加工の検討2020

    • 著者名/発表者名
      西邑亜香音, 鷹尾祥典, 土屋智由
    • 学会等名
      第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01623
  • [学会発表] Ionic Liquid Electrospray Thrusters with Uniform Needle-Emitter Arrays for Precise Thrust Control2020

    • 著者名/発表者名
      Fumiya Tachibana, Toshiyuki Tsuchiya, and Yoshinori Takao
    • 学会等名
      33rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2020)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01623
  • [学会発表] Development of Ionic Liquid Electrospray Thrusters with a Massive Emitter Array for Higher Thrust Density2019

    • 著者名/発表者名
      Yoshinori Takao, Naoki Inoue, Kanata Suzuki, Fumiya Tachibana, Masayoshi Nagao, Katsuhisa Murakami, and Toshiyuki Tsuchiya
    • 学会等名
      36th International Electric Propulsion Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01623
  • [学会発表] 2段電極一体化構造のイオン液体エレクトロスプレースラスタの試作2019

    • 著者名/発表者名
      松本有紀子, 橘郁哉, 土屋智由, 鷹尾祥典
    • 学会等名
      第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01623
  • [学会発表] MEMS加工技術を利用したエレクトロスプレースラスタの作製とイオンビーム計測2019

    • 著者名/発表者名
      橘 郁哉,土屋 智由,鷹尾 祥典
    • 学会等名
      第63回宇宙科学技術連合講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01623
  • [学会発表] 超小型人工衛星に搭載可能なマイクロ電気推進機2018

    • 著者名/発表者名
      鷹尾祥典, 土屋智由, 長尾昌善, 村上勝久
    • 学会等名
      安全工学シンポジウム2018
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01623
  • [学会発表] エレクトロスプレースラスタにおけるイオンビーム引き出し機構の数値解析2017

    • 著者名/発表者名
      江本一磨, 土屋智由, 鷹尾祥典
    • 学会等名
      日本機械学会関東学生会第56回学生員卒業研究発表講演会
    • 発表場所
      東京理科大学葛飾キャンパス(東京都葛飾区)
    • 年月日
      2017-03-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K14247
  • [学会発表] イオン液体を使ったエレクトロスプレースラスタにおけるビーム抽出実験と数値解析2017

    • 著者名/発表者名
      中川洋人, 江本一磨, 井上直樹, 土屋智由, 長尾昌善, 鷹尾祥典
    • 学会等名
      第57回 航空原動機・宇宙推進講演会
    • 発表場所
      沖縄県市町村自治会館(沖縄県那覇市)
    • 年月日
      2017-03-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K14247
  • [学会発表] 高密度化したエミッタチップを用いたエレクトロスプレースラスタの製作と電流特性計測2017

    • 著者名/発表者名
      中川洋人, 井上直樹, 土屋智由, 長尾昌善, 鷹尾祥典
    • 学会等名
      平成28年度 宇宙輸送シンポジウム
    • 発表場所
      JAXA宇宙科学研究所(神奈川県相模原市)
    • 年月日
      2017-01-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K14247
  • [学会発表] イオンビームと電子源を利用した超小型衛星用電気推進機の実用例とその課題2017

    • 著者名/発表者名
      鷹尾祥典, 小泉宏之, 土屋智由, 長尾昌善
    • 学会等名
      日本学術振興会真空ナノエレクトロニクス第158委員会 第14回真空ナノエレクトロニクスシンポジウム
    • 発表場所
      アクトシティ浜松コングレスセンター(静岡県浜松市)
    • 年月日
      2017-03-02
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K14247
  • [学会発表] Particle-in-Cell法によるイオン液体を用いたエレクトロスプレースラスタの性能評価2017

    • 著者名/発表者名
      江本一磨, 土屋智由, 鷹尾祥典
    • 学会等名
      平成28年度 宇宙輸送シンポジウム
    • 発表場所
      JAXA宇宙科学研究所(神奈川県相模原市)
    • 年月日
      2017-01-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K14247
  • [学会発表] Microfabricated Emitter Arrays for an Ionic Liquid Electrospray Thruster2016

    • 著者名/発表者名
      Kaito Nakagawa, Toshiyuki Tsuchiya, and Yoshinori Takao
    • 学会等名
      29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2016)
    • 発表場所
      ANAクラウンプラザホテル京都(京都府京都市)
    • 年月日
      2016-11-08
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K14247
  • [学会発表] Electromechanical Fabrication of Conformal Nanogap Electrodes for Thermotunnelling Cooling2016

    • 著者名/発表者名
      Amit Banerjee, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata
    • 学会等名
      The 11th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2016)
    • 発表場所
      Sendai & Matsushima-bay, Miyagi, Japan
    • 年月日
      2016-04-17
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600062
  • [学会発表] イオン液体を用いたエレクトロスプレースラスタにおけるイオンビーム引き出し機構の数値解析2016

    • 著者名/発表者名
      江本一磨, 土屋智由, 鷹尾祥典
    • 学会等名
      第60回 宇宙科学技術連合講演会
    • 発表場所
      函館アリーナ(北海道函館市)
    • 年月日
      2016-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K14247
  • [学会発表] イオン液体を用いたエレクトロスプレースラスタにおけるイオンビーム抽出特性2016

    • 著者名/発表者名
      中川洋人, 土屋智由, 鷹尾祥典
    • 学会等名
      日本航空宇宙学会 第47期定時社員総会および年会講演会
    • 発表場所
      東京大学山上会館(東京都文京区)
    • 年月日
      2016-04-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K14247
  • [学会発表] イオン液体を用いたエレクトロスプレースラスタの試作2016

    • 著者名/発表者名
      中川洋人,土屋智由,鷹尾祥典
    • 学会等名
      平成27年度 宇宙輸送シンポジウム
    • 発表場所
      JAXA宇宙科学研究所
    • 年月日
      2016-01-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K14247
  • [学会発表] Mems Based Test-Stand Device for “Nano” Characterization2016

    • 著者名/発表者名
      T. Tsuchiya
    • 学会等名
      The 11th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2016)
    • 発表場所
      Sendai & Matsushima-bay, Miyagi, Japan
    • 年月日
      2016-04-17
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600062
  • [学会発表] イオン液体を用いたエレクトロスプレースラスタにおけるビーム引き出し特性の電極形状依存2016

    • 著者名/発表者名
      中川洋人, 土屋智由, 鷹尾祥典
    • 学会等名
      第60回 宇宙科学技術連合講演会
    • 発表場所
      函館アリーナ(北海道函館市)
    • 年月日
      2016-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K14247
  • [学会発表] イオン液体を用いたエレクトロスプレースラスターにおけるイオンビーム抽出特性2016

    • 著者名/発表者名
      中川洋人,土屋智由,鷹尾祥典
    • 学会等名
      日本航空宇宙学会第47期定時社員総会および年会講演会
    • 発表場所
      東京大学 山上会館
    • 年月日
      2016-04-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K14247
  • [学会発表] 時間分解顕微ラマン分光によるSi振動子の動的応力測定のための両側静電駆動型MEMS光チョッパ2013

    • 著者名/発表者名
      小北雄亮, 谷山彰, 平井義和, 田畑修, 土屋智由
    • 学会等名
      第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,電気学会
    • 発表場所
      仙台国際センター,仙台
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656087
  • [学会発表] 時間分解顕微ラマン分光のためのプルイン型MEMS光チョッパの動作特性2013

    • 著者名/発表者名
      谷山彰,小北雄亮,平井義和,田畑修,土屋智由
    • 学会等名
      日本実験力学会2013年度年次講演会
    • 発表場所
      由利本荘市文化交流館,由利本荘
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656087
  • [学会発表] 時間分解顕微ラマン分光によるSi振動子の動的応力測定のための両側静電駆動型MEMS光チョッパ2013

    • 著者名/発表者名
      小北雄亮, 谷山彰, 平井義和, 田畑修, 土屋智由
    • 学会等名
      第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 発表場所
      仙台国際センター,仙台
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656087
  • [学会発表] 時間分解顕微ラマン分光のためのプルイン型MEMS光チョッパの動作特性2013

    • 著者名/発表者名
      谷山彰, 小北雄亮, 平井義和, 田畑修, 土屋智由
    • 学会等名
      日本実験力学会2013年度年次講演会
    • 発表場所
      由利本荘市文化交流館,由利本荘
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656087
  • [学会発表] Material and Device Reliability in Si MEMS Sensors2012

    • 著者名/発表者名
      Toshiyuki Tsuchiya
    • 学会等名
      The 6th IEEE Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2012)
    • 発表場所
      Nanjing, China
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656087
  • [学会発表] Effect of crystallographic orientations and surface morphologies on fracture and fatigue of single crystal silicon2012

    • 著者名/発表者名
      Toshiyuki Tsuchiya
    • 学会等名
      Okumetic-Nagoya University Seminar 2012
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [学会発表] Self-dependent equivalent circuit modeling of electrostatic comb transducers for integrated MEMS2011

    • 著者名/発表者名
      T.Tsuchiya
    • 学会等名
      The 19th IFIP/IEEE International Conference on Very Large Scale Integration
    • 発表場所
      Hong Kong
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [学会発表] MEMSデバイスの高信頼化のための薄膜評価技術2010

    • 著者名/発表者名
      土屋智由
    • 学会等名
      日本実験力学会ナノ計測分科会第1回研究会
    • 発表場所
      姫路、兵庫県立大学
    • 年月日
      2010-01-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [学会発表] 高信頼, 高機能MEMSの実現に向けたデバイス設計, 解析, 評価2010

    • 著者名/発表者名
      土屋智由
    • 学会等名
      第20回マイクロナノ先端技術交流会
    • 発表場所
      東京、マイクロマシンセンタ
    • 年月日
      2010-03-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [学会発表] 単結晶シリコン扇型振動子の疲労試験2010

    • 著者名/発表者名
      土屋智由
    • 学会等名
      マルチスケールモデリングによる材料科学研究会第2回研究会
    • 発表場所
      東京、東京大学
    • 年月日
      2010-03-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [学会発表] Technologies, applications, and reliabilities of microelectromechanical systems (MEMS)2009

    • 著者名/発表者名
      土屋智由
    • 学会等名
      The 9th Society of Exploration Geophysicist of Japan International Symposium
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [学会発表] MEMS素子のモデリング技術2009

    • 著者名/発表者名
      土屋智由
    • 学会等名
      電子情報通信学会 2009年ソサイエティ大会エレクトロニクス講演論文集2
    • 発表場所
      新潟、新潟大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [学会発表] 単結晶シリコン引張試験における表面酸化の影響評価2008

    • 著者名/発表者名
      土屋智由
    • 学会等名
      日本機械学会2008年度年次大会
    • 発表場所
      横浜国立大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [学会発表] Fabrication of free-standing fullerene nanowire using direct electronbeam writing and sacrificial dry etching2008

    • 著者名/発表者名
      T. Tsuchiya
    • 学会等名
      21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
    • 発表場所
      Tucson, Arizona, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19656030
  • [学会発表] Accelerated lifetime test method for structural materials in MEMS devices using resonant vibration2008

    • 著者名/発表者名
      T. Tsuchiya
    • 学会等名
      Korea-Japan-China MEMS Standardization Workshop 2008
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2008-06-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [学会発表] 単結晶シリコンMEMSデバイスの破壊と疲労2008

    • 著者名/発表者名
      土屋智由
    • 学会等名
      応用物理学会結晶工学分科会第129回研究会
    • 発表場所
      京都
    • 年月日
      2008-07-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [学会発表] Effect of Surface Oxide Layer on Mechanical Properties of Single Crystalline Silicon2007

    • 著者名/発表者名
      K. Miyamoto, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata
    • 学会等名
      Material Research Society Meeting
    • 発表場所
      Boston
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [学会発表] Effect of Surface Oxide Layer on Mechanical Properties of Single Crystalline Silicon2007

    • 著者名/発表者名
      K. Miyamoto, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata
    • 学会等名
      Material Research Society Meeting
    • 発表場所
      Boston, MA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [学会発表] 高温薄膜引張試験装置の開発2007

    • 著者名/発表者名
      土屋智由
    • 学会等名
      日本機械学会2007年度年次大会
    • 発表場所
      大阪府吹田市(関西大学)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19676002
  • [学会発表] 高温薄膜引張試験装置の開発2007

    • 著者名/発表者名
      土屋智由
    • 学会等名
      日本機械学会2007年度年次大会
    • 発表場所
      大阪府吹田市(関西大学)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18686013
  • [学会発表] Fabrication of free-standing fullerene nanowire using direct electronbeam writing and sacrificial dry etching2007

    • 著者名/発表者名
      T. Tsuchiya
    • 学会等名
      MRS fall meeting 2007
    • 発表場所
      Boston, MA, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19656030
  • [学会発表] 多段ICP-RIEプロセスにより一括作製したシリコンナノワイヤのMEMS引張試験

    • 著者名/発表者名
      土屋智由, 鈴木淳也, 平井義和, 田畑修
    • 学会等名
      日本機械学会2014年度年次大会
    • 発表場所
      東京電機大学, 東京
    • 年月日
      2014-09-07 – 2014-09-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600062
  • [学会発表] 一本鎖DNAにより孤立アセンブルした単層カーボンナノチューブの電気特性

    • 著者名/発表者名
      外薗洸佑, 鈴木淳也, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    • 学会等名
      第6回「集積化 MEMS シンポジウム」
    • 発表場所
      松江
    • 年月日
      2014-10-20 – 2014-10-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600062
  • 1.  鷹尾 祥典 (80552661)
    共同の研究課題数: 4件
    共同の研究成果数: 25件
  • 2.  平山 朋子 (00340505)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 4件
  • 3.  長尾 昌善 (80357607)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 3件
  • 4.  三宅 修吾 (60743953)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 2件
  • 5.  廣谷 潤 (80775924)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 21件
  • 6.  富永 大輝 (50513694)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  日野 正裕 (70314292)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  張 賀東 (80345925)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  池原 毅 (10344102)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 3件
  • 10.  村越 庸一 (40358156)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  山下 直輝 (50847746)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 2件
  • 12.  杉山 正明 (10253395)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  大西 洋 (20213803)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  井上 倫太郎 (80563840)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 15.  霜降 真希 (81018563)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 16.  中川 洋人
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 8件
  • 17.  江本 一磨
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 4件
  • 18.  井上 直樹
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 2件
  • 19.  MEFFAN ROBERT
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 20.  MEFFAN ROBERT CLAUDE
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 4件
  • 21.  上杉 晃生
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 3件

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