佐藤理 Sato Osamu

研究者番号	60392619
所属 (現在)	2025年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 主任研究員
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2014年度: 独立行政法人産業技術総合研究所, 計測標準研究部門, 研究員
審査区分/研究分野	研究代表者以外生産工学・加工学
キーワード	研究代表者以外形状測定 / 不確かさ推定 / 三次元計測 / ナノメートル計測

ナノ三次元計測における不確かさ推定手法の体系化
- 研究代表者
  
  高増潔
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2014
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東京大学

すべて 2014 2013 2012 2011 2010

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Random error analysis of profile measurement of large aspheric optical surface using scanning deflectometry with rotation stage Original Research Article2013
- 著者名/発表者名
  Muzheng Xiao, Tomohiko Takamura, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  Precision Engineering 37, No.3 (2013)
  
  巻: 37 号: 3 ページ: 599-605
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2013.01.005
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[雑誌論文] Spatial positioning measurements up to 150 m using temporal coherence of optical frequency comb Original Research Article2013
- 著者名/発表者名
  Xiaonan Wang, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 雑誌名
  
  Precision Engineering 37, No.3 (2013)
  
  巻: 37 号: 3 ページ: 635-639
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2013.01.008
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23656175
[雑誌論文] Fundamental study on nanoremoval processing method for microplastic structures using photocatalyzed oxidation2012
- 著者名/発表者名
  Takahiro Sekino, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: 523-524 ページ: 610-614
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/kem.523-524.610
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23246028
[雑誌論文] Development of a non-contact precision measurement technique using optical frequency combs2012
- 著者名/発表者名
  Taro Onoe, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: 523-524 ページ: 877-882
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/kem.523-524.877
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23656175
[雑誌論文] Absolute measurement of gauge block without wringing using tandem low-coherence interferometry2012
- 著者名/発表者名
  AgustinusWinarno, Satoru Takahashi, AkikoHirai, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 雑誌名
  
  Meas. Sci. Technol.
  
  巻: 23 号: 12 ページ: 1250011-8
- DOI
  10.1088/0957-0233/23/12/125001
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23656175
[雑誌論文] Sub-Nanometer Line Width and Line Profile Measurement Using STEM Images with Metal Coating2012
- 著者名/発表者名
  Haruki Okito, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: 523-524 ページ: 957-960
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/kem.523-524.957
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[雑誌論文] Nanometer profile measurement of large aspheric optical surface by scanning deflectometry with rotatable devices: Uncertainty propagation analysis and experiments2012
- 著者名/発表者名
  Muzheng Xiao, Satomi Jujo, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 36 号: 1 ページ: 91-96
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2011.07.012
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23656175
[雑誌論文] New Non-contact Measurement of Small Inside-diameter Using Tandem Low-coherence Interferometer and Optical Fiber Devices2012
- 著者名/発表者名
  Kenta Matsui, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: 523-524 ページ: 871-876
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/kem.523-524.871
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23656175
[雑誌論文] Space position measurement using long-path heterodyne interferometer with optical frequency comb2012
- 著者名/発表者名
  Xiaonan Wang, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 雑誌名
  
  Optics Express
  
  巻: 20 号: 3 ページ: 2725-2732
- DOI
  10.1364/oe.20.002725
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23656175
[雑誌論文] Absolute Measurement ｏｆ　Ｂａｓelines up to　403 m Using Heterodyne Temporal Coherence Interferometer with Optical Frequency Comb2012
- 著者名/発表者名
  Narin　Chanthawong ，Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 雑誌名
  
  MEASUREMENT SCIENCE AND TECHNOLOGY
  
  巻: 23 号: 5 ページ: 0540031-6
- DOI
  10.1088/0957-0233/23/5/054003
- NAID
  10030593263
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[雑誌論文] Time-of-flight method using multiple pulse train interference as a time recorder2011
- 著者名/発表者名
  Dong Wei, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 雑誌名
  
  Optics Express
  
  巻: 19(6) ページ: 4881-4889
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[雑誌論文] Development of high-precision micro-coordinate measuring machine: Multi-probe measurement system for measuring yaw and straightness motion error of XY linear stage2011
- 著者名/発表者名
  Ping Yang, Tomohiko Takamura, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Osamu Sato, Sonko Osawa, Toshiyuki Takatsuji
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 35 号: 3 ページ: 424-430
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2011.01.004
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[雑誌論文] Theoretical Analysis of Length Measurement Using Interference of Multiple Pulse Trains of a Femtosecond Optical Frequency Comb2011
- 著者名/発表者名
  Dong Wei, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 50(2)
- NAID
  40018283309
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[雑誌論文] Multi-probe scanning system comprising three laser interferometers and one autocollimator for measuring flat bar mirror profile with nanometer accuracy2011
- 著者名/発表者名
  Ping Yang, Tomohiko Takamura, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Osamu Sato, Sonko Osawa, Toshiyuki Takatsuji
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 35 号: 4 ページ: 686-692
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2011.05.001
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[雑誌論文] Simulation-Based Analysis of Influence of Error on Super-Resolution Optical Inspection2011
- 著者名/発表者名
  Ryota Kudo, Shin Usuki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  Int.J.of Automation Technology
  
  巻: 5(2) ページ: 167-172
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[雑誌論文] Development of In-process Visualization System for Laser-assisted Three-dimensional Microfabrication using Photocatalyst Nanoparticles2010
- 著者名/発表者名
  Keisuke Matsuda, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
  
  巻: 11(6) ページ: 811-815
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[雑誌論文] A Multi-probe Measurement Method to Evaluate the Yaw and Straightness Errors of XY Stage on High Precision CMM2010
- 著者名/発表者名
  Ping Yang, Shusaku Shibata, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Osamu Sato, Sonko Osawa, Toshiyuki Takatsuji
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: 447-448 ページ: 590-594
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[雑誌論文] Profile Measurement of Large Aspheric Optical Surface by Scanning Deflectometry with Rotatable Optical Devices-Error Analysis and Pre-experiment-2010
- 著者名/発表者名
  Muzheng Xiao, Satomi Jujo, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: 447-448 ページ: 604-608
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[雑誌論文] Uncertainty Estimation in Intelligent Coordinate and Profile Measurement2010
- 著者名/発表者名
  Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi, Xin Chen
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: 447-448 ページ: 564-568
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Roughness and Line Profile Measurement of Photoresist and FinFET Features by Cross-Section STEM Image for Reference Metrology2014
- 著者名/発表者名
  Kiyoshi Takamasu, Haruki Okitou, Satoru Takahashi, Mitsuru Konno, Osamu Inoue, Hiroki Kawada:
- 学会等名
  SPIE Advanced Lithography 2014, San Jose, USA, 2014年2月24日～27日
- 発表場所
  San Jose, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Line Width and Line Profile Measurement of Photoresist Using STEM Images2013
- 著者名/発表者名
  Haruki Okito, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  ASPEN2013, 5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Taipei, Taiwan 2013年11月12日～15日
- 発表場所
  Taipei, Taiwan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Coherent Imaging Algorithm of Super-Resolution Optical Inspection with Structured Light Shift2013
- 著者名/発表者名
  Ryota Kudo, Hiroki Yokozeki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu:
- 学会等名
  LEM21, The 7th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st CenturyMiyagi, Japan，2013年11月7日～8日
- 発表場所
  ホテル松島大観荘，宮城
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Study on Photocatalyzed Nano-removal Processing Tool for Microstereolithography2013
- 著者名/発表者名
  Yuki Yamaguchi, Takahiro Sekino, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  ASPEN2013, 5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Taipei, Taiwan 2013年11月12日～15日
- 発表場所
  Taipei, Taiwan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Non-contact precision distance measurement technique using two optical frequency combs2013
- 著者名/発表者名
  Taro Onoe, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  ASPEN2013, 5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Taipei, Taiwan 2013年11月12日～15日
- 発表場所
  Taipei, Taiwan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] High-accuracy calibration of CMM using temporal-coherence fiber interferometer with fast-repetition comb laser2013
- 著者名/発表者名
  Narin Chanthawong, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  ASPEN2013, 5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Taipei, Taiwan 2013年11月12日～15日
- 発表場所
  Taipei, Taiwan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Edge Determination Methodology for Cross-Section STEM Image of Photoresist Feature Used for Reference Metrology2013
- 著者名/発表者名
  Kiyoshi Takamasu, Haruki Okitou, Satoru Takahashi, Mitsuru Konno, Osamu Inoue, Hiroki Kawada
- 学会等名
  SPIE Advanced Lithography 2013
- 発表場所
  San Jose, USA
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Study on Lateral Resolution Improvement of Laser-Scanning Imaging for Nano Defects Inspection2013
- 著者名/発表者名
  Hiroki Yokozeki, Ryota Kudo, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  ISMTII2013, The 11thinternational Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments, 2013年7月1日～5日，Aachen, Germany
- 発表場所
  Aachen, Germany
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Nanometer Profile Measurement on Large Aspheric Optical Surface by Scanning Deflectometry with Rotatable Autocollimator -Error Analysis and Measurement Experiments by Using Autocollimator with Wide Measuring Range-2013
- 著者名/発表者名
  Kyohei Ishikawa, Tomohiko Takamura, Muzheng Xiao, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  ISMTII2013, The 11thinternational Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments, 2013年7月1日～5日，Aachen, Germany
- 発表場所
  Aachen, Germany
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Nanometer Profile Measurement of Large Aspheric Optical Surface with Improved Deflectometry Method - Principle Introduction and Experimental Verification -2012
- 著者名/発表者名
  Muzheng Xiao, Tomohiko Takamura, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  XX IMEKO World Congress
- 発表場所
  Busan, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Sub-nanometer calibration of line width measurement and line edge detection by using STEM and sectional SEM2012
- 著者名/発表者名
  Kiyoshi Takamasu, Haruki Okitou, Satoru Takahashi, Mitsuru Konno, Osamu Inoue, Hiroki Kawada
- 学会等名
  SPIE Advanced Lithography 2012
- 発表場所
  San Jose, USA
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Nanometer Profile Measurement of Large Aspheric Optical Surface by Scanning Deflectometry with Rotation Devices - Development of Three Dimensional Measuring Facility and Experiment -2012
- 著者名/発表者名
  Muzheng Xiao, Satomi Jujo, Satom Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  12th euspen International Conference
- 発表場所
  Stockholm, Sweden
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Self-calibration for two-dimensional stage using least squares solution2011
- 著者名/発表者名
  Xin Chen, Guoqing Ding, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  10th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments
- 発表場所
  Daejeon, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] A motion errors and profile measurement system using three laser interferometers and one autocollimator for a high-precision micro-coordinate measuring machine2011
- 著者名/発表者名
  P. Yang, T. Takamura, S. Takahashi, K. Takamasu, O. Sato, S. Osawa, T. Takatsuji
- 学会等名
  11th euspen International Conference
- 発表場所
  Como, Italy
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Sub-nanometer line width and line profile measurement for CD-SEM calibration by using STEM2011
- 著者名/発表者名
  Kiyoshi Takamasu, Haruki Okitou, Satoru Takahashi, Mitsuru Konno, Osamu Inoue, Hiroki Kawada
- 学会等名
  Proc.SPIE AL 2011
- 発表場所
  San Jose, USA
- 年月日
  2011-02-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Nanometer Profile Measurement of Large Aspheric Optical Surface by Scanning Deflectometry with Rotatable Devices - Error Analysis and Experiments -2011
- 著者名/発表者名
  Muzheng Xiao, Satomi Jujo, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  11th euspen International Conference
- 発表場所
  Como, Italy
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Nanometer Profile Measurement of Large Aspheric Optical Surface by Scanning Deflectometry with Rotatable Devices2011
- 著者名/発表者名
  Muzheng Xiao, Satomi Jujo, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  SPIE Optics+Photonics
- 発表場所
  San Diego, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Multi-probe system comprising three laser interferometers and one autocollimator for measuring flat bar mirror profile with nanometer accuracy on a high-precision micro-coordinate measuring machine2011
- 著者名/発表者名
  Ping Yang, Tomohiko Takamura, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Osamu Sato, Sonko Osawa, Toshiyuki Takatsuji
- 学会等名
  SPIE Optics+Photonics
- 発表場所
  San Diego, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Development of high precision Coordinate Measuring Machine - Uncertainty analysis of multi-probe method2011
- 著者名/発表者名
  Tomohiko Takamura, Ping Yang, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Osamu Sato, Sonko Osawa, Toshiyuki Takatsuji
- 学会等名
  10th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments
- 発表場所
  Daejeon, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] On-machine profile measurement by multiple sensors scanning method with two kinds of algorithms2011
- 著者名/発表者名
  Guoqing Ding, Xin Chen, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  10th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments
- 発表場所
  Daejeon, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Absolute Distance Measurement Using Long-Path Heterodyne Interferometer with Optical Frequency Comb2011
- 著者名/発表者名
  Xiaonan Wang, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  FIO/LS Technical Digest, OSA
- 発表場所
  San Jose, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Interferometric Estimation of the Offset-Frequency of Optical Frequency Comb2011
- 著者名/発表者名
  Hirokazu Matsumoto, Xiaonan Wang, Dong Wei, Satoshi Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  FIO/LS Technical Digest, OSA
- 発表場所
  San Jose, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Experimental evaluation of long path heterodyne interferometers with optical-frequency comb and continuous-wave laser2011
- 著者名/発表者名
  Xiaonan Wang, Satoru Takahashi , Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  10th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments
- 発表場所
  Daejeon, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Experimental analysis of influence of error on super-resolution optical inspection using standing wave illumination2011
- 著者名/発表者名
  Ryota Kudo, Shin Usuki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  10th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments
- 発表場所
  Daejeon, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] A Three Laser Interferometers and One Autocollimator System for Measuring the Yaw and Straightness Errors of a X-Y Stage on High Precision CMM2010
- 著者名/発表者名
  Ping Yang, Shusaku Shibata, Tomohiko Takamura, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Osamu Sato, Sonko Osawa, Toshiyuki Takatsuji
- 学会等名
  Proc.10th ISMQC
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2010-09-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] A Novel Exposure Method Based on Dissolved Oxygen Control for Nano-Stereolithography Using Evanescent Light2010
- 著者名/発表者名
  Satoru Takahashi, Toshimune Nagano, Yusuke Kajihara, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  Proc.ASPE2010
- 発表場所
  Atlanta, USA
- 年月日
  2010-11-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Resolution Characteristics of Super-Resolution Optical Inspection Using Standing Wave Illumination2010
- 著者名/発表者名
  Ryota Kudo, Shin Usuki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  Proc.10th ISMQC
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2010-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] A novel length measurement interferometer based on a femtosecond optical frequency comb introduced multi-pulse trains' interference2010
- 著者名/発表者名
  Dong Wei, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  Proc.EOS 2010
- 発表場所
  Paris, France
- 年月日
  2010-10-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Advanced Absolute Length Metrology Based On Pulse Trains' Constructive Interference-Towards Measurements of Meter Order with an Accuracy of Nano Order-2010
- 著者名/発表者名
  Dong Wei, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  Proc.10th ISMQC
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2010-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Height Measurement of a Particle in Evanescent Field Controlling Penetration Depth2010
- 著者名/発表者名
  Takayuki Kurihara, Ryuichi Sugimoto, Ryota Kudo, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  Proc.10th ISMQC
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2010-09-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] New Optical Distance Measurement Without a Prism Refractor Using an Optical Frequency Comb Laser2010
- 著者名/発表者名
  Kazumasa Isaka, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  Proc.10th ISMQC
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2010-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Profile Measurement of Large Aspheric Optical Surface by Scanning Deflectometry with Rotatable Mirror-Enlarging Measuring Range of Autocollimator-2010
- 著者名/発表者名
  Muzheng Xiao, Satomi Jujo, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  Proc.10th ISMQC
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2010-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Super-Heterodyne Interferometric Length Measurement Using the Repetition Frequency of an Optical Frequencies Comb2010
- 著者名/発表者名
  Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  Proc.10th ISMQC
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2010-09-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016

1. 高増潔 (70154896)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 52件
2. 高橋哲 (30283724)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 52件
3. 松本弘一 (00358045)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 17件
4. 古谷涼秋 (50219119)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
5. 三隅伊知子 (40358099)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

佐藤 理 Sato Osamu

研究課題

研究成果

共同研究者

ナノ三次元計測における不確かさ推定手法の体系化

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Random error analysis of profile measurement of large aspheric optical surface using scanning deflectometry with rotation stage Original Research Article2013

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Spatial positioning measurements up to 150 m using temporal coherence of optical frequency comb Original Research Article2013

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Fundamental study on nanoremoval processing method for microplastic structures using photocatalyzed oxidation2012

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Development of a non-contact precision measurement technique using optical frequency combs2012

著者名/発表者名

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[雑誌論文] Absolute measurement of gauge block without wringing using tandem low-coherence interferometry2012

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[雑誌論文] Sub-Nanometer Line Width and Line Profile Measurement Using STEM Images with Metal Coating2012

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[雑誌論文] Nanometer profile measurement of large aspheric optical surface by scanning deflectometry with rotatable devices: Uncertainty propagation analysis and experiments2012

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[雑誌論文] New Non-contact Measurement of Small Inside-diameter Using Tandem Low-coherence Interferometer and Optical Fiber Devices2012

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[雑誌論文] Space position measurement using long-path heterodyne interferometer with optical frequency comb2012

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[雑誌論文] Absolute Measurement ｏｆ Ｂａｓelines up to 403 m Using Heterodyne Temporal Coherence Interferometer with Optical Frequency Comb2012

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[雑誌論文] Time-of-flight method using multiple pulse train interference as a time recorder2011

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[雑誌論文] Development of high-precision micro-coordinate measuring machine: Multi-probe measurement system for measuring yaw and straightness motion error of XY linear stage2011

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[雑誌論文] Theoretical Analysis of Length Measurement Using Interference of Multiple Pulse Trains of a Femtosecond Optical Frequency Comb2011

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[雑誌論文] Multi-probe scanning system comprising three laser interferometers and one autocollimator for measuring flat bar mirror profile with nanometer accuracy2011

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佐藤理 Sato Osamu

[雑誌論文] Absolute Measurement ｏｆ　Ｂａｓelines up to　403 m Using Heterodyne Temporal Coherence Interferometer with Optical Frequency Comb2012