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足達 健二  Adachi Kenji

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 60521739
所属 (現在) 2025年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, その他
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2016年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 招へい教授
審査区分/研究分野
研究代表者以外
生産工学・加工学
キーワード
研究代表者以外
ナノマイクロ加工 / 光エッチング / 三次元形状 / フッ素化剤 / 半導体表面
  • 研究課題

    (1件)
  • 研究成果

    (7件)
  • 共同研究者

    (3人)
  •  求電子型フッ素化剤光反応による機能デバイス半導体表面の三次元形状創成加工

    • 研究代表者
      森田 瑞穂
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2016
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学

すべて 2016 2015 2014

すべて 雑誌論文 学会発表 産業財産権

  • [雑誌論文] Effect of metal particles on the Si etching rate with N-fluoropyridinium salts2016

    • 著者名/発表者名
      Masaki Otani, Kentaro Kawai, Kentaro Tsukamoto, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima, and Mizuho Morita
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 55 号: 10 ページ: 1080031-3

    • DOI

      10.7567/jjap.55.108003

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03902, KAKENHI-PROJECT-26289017, KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [産業財産権] エッチング処理用組成物及びエッチング処理方法2016

    • 発明者名
      川合 健太郎、森田 瑞穂、足達 健二、永井 隆文
    • 権利者名
      ダイキン工業株式会社、国立大学法人大阪大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2016-03-04
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289017
  • [産業財産権] エッチング処理用組成物及びエッチング処理方法2015

    • 発明者名
      足達 健二、永井 隆文、森田 瑞穂、川合 健太郎
    • 権利者名
      ダイキン工業株式会社、国立大学法人大阪大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2015-043031
    • 出願年月日
      2015-03-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289017
  • [学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるSi表面ランダムダブルテクスチャ形成2016

    • 著者名/発表者名
      熊田 竜也、川合 健太郎、永井 隆文、足達 健二、有馬 健太、森田 瑞穂
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      東京工業大学 大岡山キャンパス(東京都目黒区)
    • 年月日
      2016-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289017
  • [学会発表] Texturing Low Reflecting Surface of Random Double Inverted Pyramids Using N-fluoropyridinium Salt2014

    • 著者名/発表者名
      Tatsuya Kumada, Kentaro Kawai, Toshinori Hirano, Masaki Otani, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kenta Arima, and Mizuho Morita
    • 学会等名
      40th IEEE PHOTOVOLTAIC SPECIALISTS CONFERENCE
    • 発表場所
      Denver(USA)
    • 年月日
      2014-06-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289017
  • [学会発表] Mask-less formation of anti-reflecting inverted-pyramids to single-crystal Si solar cell by N-fluoropyridinium salts2014

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Kawai, Tatsuya Kumada, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kenta Arima and Mizuho Morita
    • 学会等名
      EMN Summer Meeting
    • 発表場所
      Cancun(Mexico)
    • 年月日
      2014-06-10
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289017
  • [学会発表] Development of Silicon Photo-Etching with N-Fluoropyridinium Salts2014

    • 著者名/発表者名
      Kenji Adachi, Takabumi Nagai, Junichi Uchikoshi, Masaki Otani, Toshinori Hirano, Kentaro Kawai, Mizuho Morita
    • 学会等名
      INTERNATIONAL CONFERENCE ON FLUORINE CHEMISTRY
    • 発表場所
      Pacifico Yokohama(Kanagawa・Yokohama)
    • 年月日
      2014-05-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289017
  • 1.  森田 瑞穂 (50157905)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 4件
  • 2.  川合 健太郎 (90514464)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 4件
  • 3.  有馬 健太
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 1件

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