田中のぞみ Tanaka Nozomi

研究者番号	60581296
その他のID	https://orcid.org/0000-0002-8392-2224
所属 (現在)	2025年度: 大阪大学, レーザー科学研究所, 特任講師(常勤)
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2025年度: 大阪大学, レーザー科学研究所, 特任講師(常勤) 2019年度 – 2022年度: 大阪大学, レーザー科学研究所, 特任助教(常勤) 2017年度 – 2018年度: 大阪大学, レーザー科学研究所, 特別研究員(RPD) 2015年度: 大阪大学, レーザーエネルギー学研究センタ, 特任研究員(常勤) 2015年度: 大阪大学, レーザーエネルギー学研究センタ, 研究員 … もっと見る 2013年度 – 2014年度: 大阪大学, レーザーエネルギー学研究センタ, 特任研究員 2013年度: 大阪大学, レーザーエネルギー学研究センタ, 研究員 2011年度 – 2012年度: 大阪大学, レーザーエネルギー学研究センター, 特任研究員 2010年度 – 2011年度: 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教隠す
審査区分/研究分野	研究代表者小区分14010:プラズマ科学関連 / プラズマ科学 / プラズマ科学 / 核融合学研究代表者以外核融合学
キーワード	研究代表者極端紫外光 / 極端紫外(EUV)光 / 物質アブレーション / 光電離プラズマ / 光電離 / プラズマ加熱 / レーザー誘起蛍光法 / 光解離水素原子 / スズ汚染除去 / 極端紫外リソグラフィ … もっと見る / EUV光モニタ / デブリ抑制 / EUV光源 / 界面制御 / x線光学素子 / 材料耐性試験 / 表面改質 / 軟X線分光 / アブレーションプラズマ / EUV分光 / 可視分光計測 / 分光計測 / 材料プロセシング / 成膜 / 反射粒子 / 粒子スパッタリング / X線光学 / x線光学 / アブレーション / EUV / 薄膜 / ワイドバンドギャップ材料 / 極端紫外光アブレーション / プラズマ診断 / 光量子ビーム応用 / 極端紫外(EUV)光アブレーション / 物質加熱 / 粒子計測 / プラズマ膨張 / Cavity-Ring-Down法 / 負イオン密度計測 / RF負イオン源 / 水素負イオン源 … もっと見る研究代表者以外ＣＲＤＳ法 / 長時間運転 / 負イオン表面生成 / 中性粒子入射 / セシウム添加 / プラズマ・核融合 / 負イオンビーム / 永久磁石 / ヘリコン波 / 高周波プラズマ / 水素負イオン源 / 高性能負イオン源隠す

真空紫外光による高密度水素ラジカル生成と半導体製造技術ボトルネック解消研究代表者
- 研究代表者
  
  田中のぞみ
- 研究期間 (年度)
  2025 – 2027
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分14010:プラズマ科学関連
- 研究機関
  大阪大学
高強度極端紫外(EUV)光で駆動される物質アブレーション現象の機構解明研究代表者
- 研究代表者
  
  田中のぞみ
- 研究期間 (年度)
  2020 – 2022
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分14010:プラズマ科学関連
- 研究機関
  大阪大学
高強度EUVパルス光を用いたワイドバンドギャップ材料プロセシング研究代表者
- 研究代表者
  
  田中のぞみ
- 研究期間 (年度)
  2017 – 2019
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  プラズマ科学
- 研究機関
  大阪大学
レーザー駆動極端紫外（ＥＵＶ）光源による対材料耐力試験の可能性の実証研究代表者
- 研究代表者
  
  田中のぞみ
- 研究期間 (年度)
  2016 – 2018
- 研究種目
  
  特別研究員奨励費
- 研究分野
  
  プラズマ科学
- 研究機関
  大阪大学
極端紫外(EUV)光アブレーション粒子計測によるEUVプラズマ特性の解明研究代表者
- 研究代表者
  
  田中のぞみ
- 研究期間 (年度)
  2013 – 2015
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  プラズマ科学
- 研究機関
  大阪大学
高密度・定常・高効率水素／重水素負イオン源を用いた負イオン挙動解明と能動制御
- 研究代表者
  
  安藤晃
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2013
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  核融合学
- 研究機関
  東北大学
RF負イオン源を用いた低仕事関数金属表面近傍での水素負イオンの特性評価研究代表者
- 研究代表者
  
  田中のぞみ
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2011
- 研究種目
  
  研究活動スタート支援
- 研究分野
  
  核融合学
- 研究機関
  東北大学

[雑誌論文] Time-resolved measurement of radical populations in extreme-ultraviolet-light-induced hydrogen plasma2022
- 著者名/発表者名
  Liu Chang、Tanaka Nozomi、Zhu Baojun、Nishihara Katsunobu、Fujioka Shinsuke、Sik Kang Kyung、Suh Youngduk、Kim Jeong-Gil、Ozawa Ken、Kubo Minoru
- 雑誌名
  
  Applied Physics Express
  
  巻: 15 号: 3 ページ: 036002-036002
- DOI
  10.35848/1882-0786/ac4faa
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K03893
[雑誌論文] Energy and charge distribution of Si ions in EUV ablation plasma2021
- 著者名/発表者名
  Tanaka Nozomi、Deguchi Ryo、Wada Nao、Nishimura Hiroaki
- 雑誌名
  
  Proc. of SPIE Vol. 11886, International Conference on X-Ray Lasers 2020
  
  巻: 11886 ページ: 26-26
- DOI
  10.1117/12.2591978
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K03893
[雑誌論文] 高強度・高フルエンスパルスEUV光による材料プロセシング2020
- 著者名/発表者名
  田中のぞみ
- 雑誌名
  
  光アライアンス
  
  巻: 31 ページ: 5-9
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05727
[雑誌論文] Mitigation of debris from a laser plasma EUV source and from focusing optics for thin film deposition by intense EUV radiation2020
- 著者名/発表者名
  Tanaka Nozomi、Wada Nao、Kageyama Yasuyuki、Nishimura Hiroaki
- 雑誌名
  
  High Energy Density Physics
  
  巻: 37 ページ: 100865-100865
- DOI
  10.1016/j.hedp.2020.100865
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K03893
[雑誌論文] Creation and Functional Control of Metal Nanoparticle-Polymer Interface by Laser Plasma EUV Light Excitation2018
- 著者名/発表者名
  K. Yasuda, N. Tanaka, N. Wada, and H. Nishimura
- 雑誌名
  
  Proceedings of 2018 International Conference on Electronics Packaging and iMAPS All Asia Conference (ICEP-IAAC)
  
  巻: 印刷中
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16J40173
[雑誌論文] Creation and Functional Control of Metal Nanoparticle-Polymer Interface by Laser Plasma EUV Light Excitation2018
- 著者名/発表者名
  K. Yasuda, N. Tanaka, N. Wada, and H. Nishimura,
- 雑誌名
  
  IEEE Explore, ICEP-IAAC 2018 Proceedings
  
  巻: －ページ: 535-538
- DOI
  10.23919/icep.2018.8374644
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05727, KAKENHI-PROJECT-16J40173
[雑誌論文] Surface Layer Modification of Metal Nanoparticle Supported Polymer by Irradiation of Laser-Driven Extreme Ultraviolet Light2018
- 著者名/発表者名
  N. Tanaka, R. Deguchi, N. Wada, K. Yasuda, A. Yogo, H. Nishimura
- 雑誌名
  
  X-Ray Lasers 2016. ICXRL 2016. Springer Proceedings in Physics
  
  巻: 202 ページ: 377-381
- DOI
  10.1007/978-3-319-73025-7_56
- ISBN
  9783319730240, 9783319730257
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16J40173
[雑誌論文] 高フルエンス極端紫外(EUV)光照射による金属ナノ粒子担持ポリマーの表面改質2017
- 著者名/発表者名
  田中のぞみ, 安田清和, 和田直, 西村博明
- 雑誌名
  
  電子機器トータルソリューション展2017 アカデミックプラザ研究成果発表論文集
  
  巻: －
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16J40173
[雑誌論文] 高フルエンスEUV光による材料表面改質2016
- 著者名/発表者名
  田中のぞみ, 安田清和, 出口亮, 和田直, 余語覚文, 西村博明
- 雑誌名
  
  レーザー学会第502回研究報告書
  
  巻: 502
- 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16J40173
[雑誌論文] Spectroscopic measurements of ablation plasma generated with laser-driven intense extreme ultraviolet (EUV) light2016
- 著者名/発表者名
  N. Tanaka, K. Hane, H. Shikata, M. Masuda, K. Nagatomi, A. Sunahara, M. Yoshida, S. Fujioka, and H. Nishimura
- 雑誌名
  
  Journal of Physics: Conference Series
  
  巻: 688 ページ: 012122-012122
- DOI
  10.1088/1742-6596/688/1/012122
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25800303, KAKENHI-PROJECT-16J40173
[雑誌論文] Spectroscopic observation of ablation plasma generated with a laser-driven extreme light source2015
- 著者名/発表者名
  M. Masuda, N. Tanaka, K. Hane, A. Sunahara, S. Fujioka, and H, Nishimura
- 雑誌名
  
  Applied Physics B: Lasers and Optics
  
  巻: 119 号: 3 ページ: 421-425
- DOI
  10.1007/s00340-015-6041-0
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24540545, KAKENHI-PROJECT-25800303, KAKENHI-PROJECT-25400539
[雑誌論文] Characterization of material ablation driven by laser generated intense extreme ultraviolet (EUV) light2015
- 著者名/発表者名
  N. Tanaka, M. Masuda, R. Deguchi, M. Murakami, A. Suahara, S. Fujioka, A. Yogo, and H. Nishimura
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Lett.
  
  巻: 107 号: 11 ページ: 114101-114101
- DOI
  10.1063/1.4930958
- 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25400539, KAKENHI-PROJECT-25800303, KAKENHI-PROJECT-26287146
[雑誌論文] Characteristics of Volume Produced Negative Hydrogen Ions in a Field-Effect-Transistor Based Ion Source2013
- 著者名/発表者名
  N. Tanaka, T. Funaoi, K. Oikawa, Y. Saito, H. Nakano, and A. Ando
- 雑誌名
  
  AIP conference Proceedings
  
  巻: vol. 1515 ページ: 263-269
- DOI
  10.1063/1.4792793
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360408, KAKENHI-PROJECT-24654187
[雑誌論文] Laser measurement of H^-ions in a field-effect-transistor based radio frequency ion source2012
- 著者名/発表者名
  N. Tanaka, T. Matsuno, T. Funaoi, A. Ando, Y. Tauchi, H. Nakano, K. Tsumori, Y. Takeiri
- 雑誌名
  
  Review of Scientific Instrument
  
  巻: 83 ページ: 1-3
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22860009
[雑誌論文] H^- beam extraction from a cesium seeded field effect transistor based radio frequency negative hydrogen ion source2012
- 著者名/発表者名
  A.Ando
- 雑誌名
  
  Review of Scientific Instruments
  
  巻: 83 号: 2
- DOI
  10.1063/1.3684720
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22860009, KAKENHI-PROJECT-23360408
[雑誌論文] Laser measurement of H-ions in a field-effect-transistor based radio frequency ion source2012
- 著者名/発表者名
  N. Tanaka, T. Matsuno, T. Funaoi, A. Ando, Y. Tauchi, H. Nakano, K. Tsumori, Y. Takeiri
- 雑誌名
  
  Review of Scientific Instruments
  
  巻: 83 号: 2
- DOI
  10.1063/1.3680549
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21654083, KAKENHI-PROJECT-22860009, KAKENHI-PROJECT-23360408
[雑誌論文] H^-beam extraction from a cesium seeded field effect transistor based radio frequency negative hydrogen ion source2012
- 著者名/発表者名
  A. Ando, T. Matsuno, T. Funaoi, N. Tanaka, K. Tsumori, Y. Takeiri
- 雑誌名
  
  Review of Scientific Instruments
  
  巻: 83 ページ: 1-3
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22860009
[雑誌論文] Characteristics of Hydrogen Negative Ion Source with FET based RF system2011
- 著者名/発表者名
  A. Ando, T. Matsuno, T. Funaoi, N. Tanaka, Y. Takeiri, K. Tsumori
- 雑誌名
  
  AIP conf. Proc
  
  巻: 1390 ページ: 322-328
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22860009
[産業財産権] 露光装置及び汚染除去装置2022
- 発明者名
  田中のぞみ他7名
- 権利者名
  田中のぞみ他7名
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2022
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K03893
[学会発表] Spectroscopic diagnostics of H-radicals formed by an extreme ultraviolet light source generated with a laser produced plasma2023
- 著者名/発表者名
  James Edward Hernandez, Nozomi Tanaka, Yubo Wang, Katsunobu Nishihara, Shinsuke Fujioka, Atsushi Sunahara, Tomoyuki Johzaki, Kyung Sik Kang, Youngduk Suh, Jeong-Gil Kim, Shinji Ueyama, Ken Ozawa
- 学会等名
  応用物理学会春期学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K03893
[学会発表] Comparison of focusing optics for extreme vacuum ultraviolet and vacuum ultraviolet emission from laser produced plasma2023
- 著者名/発表者名
  Nozomi Tanaka, Yubo Wang, Katsunobu Nishihara, Shinsuke Fujioka, Atsushi Sunahara, Tomoyuki Johzaki, Kyung Sik Kang, Youngduk Suh, Jeong-Gil Kim, Shinji Ueyama, Ken Ozawa
- 学会等名
  応用物理学会春期学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K03893
[学会発表] A high-transmittance Schwarzschild objective (SO) to focus high-intensity EUV-VUV light from laser-plasma light source2022
- 著者名/発表者名
  Yubo Wang, Nozomi Tanaka, Katsunobu Nishihara, Shinsuke Fujioka, Atsushi Sunahara, Tomoyuki Johzaki, Kyung Sik Kang, Youngduk Suh, Jeong-Gil Kim, Shinji Ueyama, Ken Ozawa
- 学会等名
  応用物理学会秋期学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K03893
[学会発表] Actively controlled radical production in a photo-ionized hydrogen plasma for tin contamination cleaning2022
- 著者名/発表者名
  N. Tanaka, Y. Wang, K. Nishihara, S. Fujioka, A. Sunahara, T. Johzaki, Kyung Sik Kang, Youngduk Suh, Jeong-Gil Kim, S. Ueyama, K. Ozawa
- 学会等名
  6th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K03893
[学会発表] Characteristics of the extreme ultraviolet spectrum from a laser produced plasma2022
- 著者名/発表者名
  Nozomi Tanaka, Yubo Wang, James Edward Hernandez, Katsunobu Nishihara, Shinsuke Fujioka, Atsushi Sunahara, Tomoyuki Johzaki, Kyung Sik Kang, Youngduk Suh, Jeong-Gil Kim, Shinji Ueyama, Ken Ozawa
- 学会等名
  応用物理学会秋期学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K03893
[学会発表] Energy and charge distribution of Si ions in EUV ablation plasma2021
- 著者名/発表者名
  Nozomi Tanaka, Ryo Deguchi, Nao Wada, Hiroaki Nishimura
- 学会等名
  International Conference on X-ray Lasers (ICXRL) 2021
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K03893
[学会発表] Optical Emission Spectroscopy (OES) measurement of EUV-induced plasma parameters in hydrogen2021
- 著者名/発表者名
  Chang Liu, Nozomi Tanaka, Baojun Zhu, Katsunobu Nishihara, Shinsuke Fujioka, Kyung Sik Kang, Youngduk Suh, Jeong-Gil Kim, Ken Ozawa, Minoru Kubo
- 学会等名
  The 68th Japan Society of Applied Physics spring meeting
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K03893
[学会発表] Comprehensive measurements of hydrogen radicals in hydrogen plasma induced by intense extreme ultraviolet radiation2021
- 著者名/発表者名
  N. Tanaka, B. Zhu, C. Liu, Y. Wang, K. Nishihara, S. Fujioka, Kyung Sik Kang, Youngduk Suh, Jeong-Gil Kim, K. Ozawa, M. Kubo
- 学会等名
  The 30th International Toki Conference
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K03893
[学会発表] レーザープラズマX線による材料改質と材料加工2019
- 著者名/発表者名
  田中のぞみ, 高垣昂佑, 安田清和, 西村博明
- 学会等名
  第74回年次大会, 2019年3月15日
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16J40173
[学会発表] Laser Produced Plasma EUV source for Materials Testing2019
- 著者名/発表者名
  Nozomi Tanaka, Kosuke Takagaki, and Hiroaki Nishimura
- 学会等名
  The 11th International Conference on Inertial Fusion Sciences and Applications (IFSA2019)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05727
[学会発表] レーザープラズマX線による材料改質と材料加工2019
- 著者名/発表者名
  田中のぞみ, 高垣昂佑, 安田清和, 西村博明
- 学会等名
  第74回年次大会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05727
[学会発表] 高強度パルスEUV光による材料プロセシングに向けたレーザー駆動光源のデブリ抑制法開発2018
- 著者名/発表者名
  田中のぞみ, 和田直, 景山恭行, 西村博明
- 学会等名
  応用物理学会春期学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05727
[学会発表] 高強度・高フルエンスパルスEUV光による材料プロセシング2018
- 著者名/発表者名
  田中のぞみ, 安田清和, 景山恭行, 西村博明
- 学会等名
  第89回レーザー加工学会講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05727
[学会発表] Laser-plasma EUV source for advanced materials processing2018
- 著者名/発表者名
  N. Tanaka, N. Wada, Y. Kageyama, K. Yasuda, H. Nishimura
- 学会等名
  The 16th International Conference on X-ray Lasers
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05727
[学会発表] 高強度・高フルエンスパルスEUV光による材料プロセシング2018
- 著者名/発表者名
  田中のぞみ, 安田清和, 景山恭行, 西村博明
- 学会等名
  第89回レーザー加工学会講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16J40173
[学会発表] Laser-plasma EUV source for advanced materials processing2018
- 著者名/発表者名
  N. Tanaka, N. Wada, Y. Kageyama, K. Yasuda, H. Nishimura
- 学会等名
  The 16th International Conference on X-ray Lasers
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16J40173
[学会発表] 高強度パルスEUV光による材料プロセシングに向けたレーザー駆動光源のデブリ抑制法開発2018
- 著者名/発表者名
  田中のぞみ, 和田直, 景山恭行, 西村博明
- 学会等名
  応用物理学会春期学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16J40173
[学会発表] Creation and Functional Control of Metal Nanoparticle-Polymer Interface by Laser Plasma EUV Light Excitation2018
- 著者名/発表者名
  K. Yasuda, N. Tanaka, N. Wada, and H. Nishimura
- 学会等名
  ICEP-IAAC2018
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16J40173
[学会発表] レーザー駆動EUV光を用いた材料プロセスのための不純物抑制2017
- 著者名/発表者名
  和田直, 田中のぞみ, 出口亮, 景山恭行, 余語覚文, 西村博明
- 学会等名
  応用物理学会春期学術講演会
- 発表場所
  神奈川県横浜市(パシフィコ横浜)
- 年月日
  2017-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16J40173
[学会発表] レーザー駆動 EUV光源による光学系の損傷とスパッタ粒子の抑制2017
- 著者名/発表者名
  和田直、田中のぞみ、景山恭行、余語覚文、西村博明
- 学会等名
  Plasma Conference 2017
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16J40173
[学会発表] 高フルエンスレーザー駆動極端紫外(EUV)光による金属ナノ粒子担持高分子材料の表面改質2017
- 著者名/発表者名
  田中のぞみ, 安田清和, 出口亮, 和田直, 余語覚文, 西村博明
- 学会等名
  応用物理学会春期学術講演会
- 発表場所
  神奈川県横浜市(パシフィコ横浜)
- 年月日
  2017-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16J40173
[学会発表] レーザー駆動 EUV光源による光学系の損傷とスパッタ粒子の抑制2017
- 著者名/発表者名
  和田直、田中のぞみ、景山恭行、余語覚文、西村博明
- 学会等名
  Plasma Conference 2017
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05727
[学会発表] 高フルエンス極端紫外(EUV)光照射による金属ナノ粒子担持ポリマーの表面改質2017
- 著者名/発表者名
  田中のぞみ, 安田清和, 和田直, 西村博明
- 学会等名
  電子機器トータルソリューション展2017 アカデミックプラザ
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16J40173
[学会発表] Surface layer modification of metal nanoparticle supported polymer by irradiation of laser driven extreme ultraviolet light2016
- 著者名/発表者名
  N. Tanaka, R. Deguchi , N. Wada, K. Yasuda, A. Yogo, and H. Nishimura
- 学会等名
  The 15th International Conference on X-Ray Lasers
- 発表場所
  奈良県奈良市(奈良春日野国際フォーラム)
- 年月日
  2016-05-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16J40173
[学会発表] Characterization of ion plumes generated by laser-driven intense extreme ultraviolet (EUV) light2016
- 著者名/発表者名
  R. Deguchi, N. Tanaka, N. Wada, A. Sunahara, M. Murakami, A. Yogo, and H. Nishimura
- 学会等名
  The 15th International Conference on X-Ray Lasers
- 発表場所
  奈良県奈良市
- 年月日
  2016-05-24
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25800303
[学会発表] レーザー駆動EUV光による物質アブレーションにおけるイオンエネルギーと価数診断2016
- 著者名/発表者名
  出口亮，田中のぞみ，増田将也，砂原淳, 余語覚文，西村博明
- 学会等名
  第63回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学大岡山キャンパス(東京都目黒区)
- 年月日
  2016-03-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25800303
[学会発表] レーザー駆動EUV光による物質アブレーションにおけるイオン膨張に関する研究2015
- 著者名/発表者名
  出口亮, 田中のぞみ, 増田将也, 砂原淳, 余語覚文, 西村博明
- 学会等名
  第62回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川県平塚市
- 年月日
  2015-03-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25800303
[学会発表] PLASMA EXPANSION FROM MATERIAL ABLATION BY INTENSE LASER DRIVEN EXTREME ULTRAVIOLET (EUV) LIGHT2015
- 著者名/発表者名
  N. Tanaka, R. Deguchi, A. Sunahara, M. Murakami, A. Yogo, H. Nishimura
- 学会等名
  The Ninth International Conference on Inertial Fusion Sciences and Applications
- 発表場所
  Bellevue, Washington, USA
- 年月日
  2015-09-21
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25800303
[学会発表] Spectroscopic observation of ablation plasma generated with a laser-driven extreme ultraviolet (EUV) light source2014
- 著者名/発表者名
  M. Masuda, N. Tanaka, A. Sunahara, S. Fujioka, H. Nishimura
- 学会等名
  9th International Conference on Photo-Excited Processes and Applications
- 発表場所
  Matsue, Japan
- 年月日
  2014-09-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25800303
[学会発表] Ion expansion from extreme ultraviolet (EUV) and laser ablation plasmas2014
- 著者名/発表者名
  N. Tanaka, M. Masuda, M. Murakami, A. Sunahara, S. Fujioka, H. Nishimura
- 学会等名
  9th International Conference on Photo-Excited Processes and Applications
- 発表場所
  Matsue, Japan
- 年月日
  2014-10-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25800303
[学会発表] レーザー駆動集光EUV光による物質アブレーションとその応用2014
- 著者名/発表者名
  田中のぞみ, 増田将也, 出口亮, 砂原淳, 村上匡且, 余語覚文, 藤岡慎介, 西村博明
- 学会等名
  Plasma Conference 2014
- 発表場所
  新潟県新潟市
- 年月日
  2014-11-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25800303
[学会発表] 高周波イオン源を用いた高密度プラズマ生成と水素負イオンビーム引き出し2012
- 著者名/発表者名
  船生拓矢、及川幸平、斎藤雄太、田中のぞみ、安藤　晃
- 学会等名
  日本物理学会秋季大会
- 発表場所
  横浜国立大学 (神奈川県横浜市)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360408
[学会発表] 高周波イオン源におけるCRD法を用いた水素負イオン密度計測2012
- 著者名/発表者名
  田中のぞみ
- 学会等名
  日本物理学会第67回年次大会
- 発表場所
  関西学院大学西宮上ケ原キャンパス(兵庫県西宮市)
- 年月日
  2012-03-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22860009
[学会発表] N. Tanaka, T. Funaoi, K. Oikawa, Y. Saito, H. Nakano, A. Ando2012
- 著者名/発表者名
  N. Tanaka, T. Funaoi, K. Oikawa, Y. Saito, H. Nakano, A. Ando
- 学会等名
  3rd International Symposium on Negative Ions, Beams and Sources
- 発表場所
  Agora building (Jyvaskyla, Finland)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360408
[学会発表] FET高周波電源を用いた水素負イオン源の長時間運転2012
- 著者名/発表者名
  船生拓矢、及川幸平、斎藤雄太、田中のぞみ、安藤　晃
- 学会等名
  第9回核融合エネルギー連合講演会
- 発表場所
  神戸国際会議場 (兵庫県神戸市)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360408
[学会発表] Plasma production and H- beam extraction from a FET-based RF ion source2012
- 著者名/発表者名
  A. Ando, T. Funaoi, K. Oikawa, Y. Saito, H. Nakano, N. Tanaka
- 学会等名
  3rd International Symposium on Negative Ions, Beams and Sources
- 発表場所
  Jyvaskyla(Finland)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360408
[学会発表] セシウム添加型高密度負イオン源における水素負イオン特性評価2012
- 著者名/発表者名
  田中のぞみ、船生拓矢、及川幸平、斎藤雄太、中野治久、安藤　晃
- 学会等名
  日本物理学会秋季大会
- 発表場所
  横浜国立大学 (神奈川県横浜市)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360408
[学会発表] 高周波イオン源におけるCRD法を用いた水素負イオン密度計測2012
- 著者名/発表者名
  田中のぞみ、松野哲郎、船生拓也、安藤晃、田内康、津守克嘉、竹入康彦
- 学会等名
  日本物理学会第67回年次大会
- 発表場所
  兵庫県西宮市(関西学院大学西宮上ケ原キャンパス)
- 年月日
  2012-03-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22860009
[学会発表] FETインバータ型高周波電源を用いた高密度プラズマ生成2012
- 著者名/発表者名
  及川幸平、船生拓矢、斎藤雄太、田中のぞみ、安藤　晃
- 学会等名
  電気学会A部門大会
- 発表場所
  秋田大学 (秋田県秋田市)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360408
[学会発表] Plasma production and H- beam extraction from a FET-based RF ion source2012
- 著者名/発表者名
  A. Ando, T. Funaoi, K. Oikawa, Y. Saito, N. Tanaka
- 学会等名
  3rd International Symposium on Negative Ions, Beams and Sources
- 発表場所
  Agora building (Jyvaskyla, Finland)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360408
[学会発表] Characteristics of a plasma produced by a FET based RF ion source2012
- 著者名/発表者名
  及川幸平，斎藤雄太，船生拓矢，田中のぞみ，安藤　晃
- 学会等名
  電気関係学会東北支部連合大会
- 発表場所
  秋田県立大学 (秋田県由利本荘市)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360408
[学会発表] CRD measurements in a FET-based H- ion source2012
- 著者名/発表者名
  N. Tanaka, T. Funaoi, K. Oikawa, Y. Saito, H. Nakano, and A. Ando
- 学会等名
  3rd International Symposium on Negative Ions, Beams and Sources
- 発表場所
  Jyvaskyla(Finland)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360408
[学会発表] 高周波イオン源におけるCRD法を用いた水素負イオン密度計測2012
- 著者名/発表者名
  田中のぞみ、中野治久、松野哲郎、船生拓矢、及川幸平、斎藤雄太、安藤　晃
- 学会等名
  日本物理学会第67回年次大会
- 発表場所
  関西学院大学西宮上ケ原キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360408
[学会発表] Production and Measurement of Negative Hydrogen Ions in a PET based RF Ion Source2011
- 著者名/発表者名
  N.Tanaka
- 学会等名
  21st International Toki Conference
- 発表場所
  Ceratopia Toki (Gifu, Japan)
- 年月日
  2011-11-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22860009
[学会発表] Characteristics of a RF negative hydrogen ion source with a long pulse operation2011
- 著者名/発表者名
  T. Matsuno, T. Funaoi, N. Tanaka, A. Ando, K. Tsumori, Y. Takeiri
- 学会等名
  Plasma Conference 2011
- 発表場所
  石川県立音楽堂
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360408
[学会発表] Laser measurement of H^- ions in a FET based RF ion source2011
- 著者名/発表者名
  N.Tanaka
- 学会等名
  14th International Conference on Ion Sources
- 発表場所
  Giardini-Naxos, Italy
- 年月日
  2011-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22860009
[学会発表] Production and Measurement of Negative Hydrogen Ions in a FET based RF Ion Source2011
- 著者名/発表者名
  N. Tanaka, T. Matsuno, T. Funaoi, A. Ando, Y. Tauchi, H. Nakano, K. Tsumori, Y. Takeiri
- 学会等名
  21st International Toki Conference
- 発表場所
  Toki, Gifu, Japan
- 年月日
  2011-11-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22860009
[学会発表] Production and beam extraction of H- ions in a RF negative ion source2011
- 著者名/発表者名
  T. Funaoi, T. Matsuno, N. Tanaka, A. Ando, K. Tsumori, Y. Takeiri
- 学会等名
  Plasma Conference 2011
- 発表場所
  石川県立音楽堂
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360408
[学会発表] Production and Measurement of Negative Hydrogen Ions in a FET based RF Ion Source2011
- 著者名/発表者名
  N. Tanaka, T. Matsuno, T. Funaoi, A. Ando, Y. Tauchi, H. Nakano, K. Tsumori, Y. Takeiri
- 学会等名
  21st International Toki Conference
- 発表場所
  Toki, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360408
[学会発表] 高周波負イオン源内における水素負イオンのレーザー計測2011
- 著者名/発表者名
  田中のぞみ
- 学会等名
  Plasma Conference 2011
- 発表場所
  石川音楽堂(石川県金沢市)
- 年月日
  2011-11-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22860009
[学会発表] Diagnostics of Negative Hydrogen Ions in a RF Ion Source by Using YAG Laser2011
- 著者名/発表者名
  N. Tanaka, T. Matsuno, T. Funaoi, A. Ando, Y. Tauchi, H. Nakano, K. Tsumori, Y. Takeir
- 学会等名
  Plasma Conference 2011
- 発表場所
  石川県立音楽堂
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360408
[学会発表] Laser measurement of H^-ions in a FET based RF ion source2011
- 著者名/発表者名
  N. Tanaka, T. Matsuno, T. Funaoi, A. Ando, Y. Tauchi, H. Nakano, K. Tsumori, Y. Takeiri
- 学会等名
  14th International Conference on Ion Sources
- 発表場所
  Gairdini-Naxos, Italy
- 年月日
  2011-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22860009
[学会発表] 高周波負イオン源内における水素負イオンのレーザー計測-Diagnostics of Negative Hydrogen Ions in a RF Ion Source by Using YAG laser2011
- 著者名/発表者名
  田中のぞみ、松野哲郎、船生拓也、安藤晃、田内康、津守克嘉、竹入康彦
- 学会等名
  Plasma Conference 2011
- 発表場所
  石川県金沢市(石川音楽堂)
- 年月日
  2011-11-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22860009
[学会発表] RFイオン源における水素負イオン生成2010
- 著者名/発表者名
  松野哲郎、船生拓也、田中のぞみ、安藤晃、田内康、津守克嘉、竹入康彦
- 学会等名
  プラズマ・核融合学会第27回年会(30P18)
- 発表場所
  北海道札幌市(北海道大学学術交流会館)
- 年月日
  2010-11-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22860009
[学会発表] 高周波負イオン源から引き出されたH-ビームの基礎特性2010
- 著者名/発表者名
  田中のぞみ
- 学会等名
  プラズマ・核融合学会第27回年会
- 発表場所
  北海道札幌市
- 年月日
  2010-11-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22860009
[学会発表] 高周波負イオン源から引き出されたH-ビームの基礎特性2010
- 著者名/発表者名
  田中のぞみ、松野哲郎、船生拓也、安藤晃、田内康、津守克嘉、竹入康彦
- 学会等名
  プラズマ・核融合学会第27回年会(30pC02)
- 発表場所
  北海道札幌市(北海道大学学術交流会館)
- 年月日
  2010-11-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22860009
[学会発表] 光・粒子計測を用いたレーザー駆動EUV光源アブレーションプルームの診断
- 著者名/発表者名
  増田将也, 田中のぞみ, 永富健介, 吉田実, 砂原淳, 藤岡慎介, 西村博明
- 学会等名
  第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川県相模原市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25800303
[学会発表] 光・粒子計測を用いた集光EUV及びレーザーによるアブレーションの比較
- 著者名/発表者名
  田中のぞみ, 増田将也, 永富健介, 砂原淳, 吉田実, 藤岡慎介, 西村博明
- 学会等名
  第74回応用物理学会秋期学術講演会
- 発表場所
  京都府京田辺市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25800303
[学会発表] Spectroscopic measurements of ablation plasma generated with laser-driven intense extreme ultraviolet (EUV) light
- 著者名/発表者名
  N. Tanaka, K. Hane, H. Shikata, M. Masuda, K. Nagatomi, A. Sunahara, M. Yoshida, S. Fujioka, and H. Nishimura
- 学会等名
  The Eights International Conference on Inertial Fusion Sciences and Applications
- 発表場所
  奈良県奈良市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25800303

1. 安藤晃 (90182998)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 16件
2. 津守克嘉 (50236949)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件
3. 戸張博之 (70361128)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
4. 竹入康彦 (60179603)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 3件
5. 西村博明 (60135754)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 11件
6. 村上匡且 (80192772)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件
7. 砂原淳 (00370213)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 12件
8. 増田将也

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 9件
9. 永富健介

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件
10. 出口亮

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 5件
11. 和田直

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件

田中 のぞみ Tanaka Nozomi

研究課題

研究成果

共同研究者

真空紫外光による高密度水素ラジカル生成と半導体製造技術ボトルネック解消研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

高強度極端紫外(EUV)光で駆動される物質アブレーション現象の機構解明研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

高強度EUVパルス光を用いたワイドバンドギャップ材料プロセシング研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

レーザー駆動極端紫外（ＥＵＶ）光源による対材料耐力試験の可能性の実証研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

極端紫外(EUV)光アブレーション粒子計測によるEUVプラズマ特性の解明研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

高密度・定常・高効率水素／重水素負イオン源を用いた負イオン挙動解明と能動制御

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

RF負イオン源を用いた低仕事関数金属表面近傍での水素負イオンの特性評価研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Time-resolved measurement of radical populations in extreme-ultraviolet-light-induced hydrogen plasma2022

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Energy and charge distribution of Si ions in EUV ablation plasma2021

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] 高強度・高フルエンスパルスEUV光による材料プロセシング2020

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Mitigation of debris from a laser plasma EUV source and from focusing optics for thin film deposition by intense EUV radiation2020

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Creation and Functional Control of Metal Nanoparticle-Polymer Interface by Laser Plasma EUV Light Excitation2018

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Creation and Functional Control of Metal Nanoparticle-Polymer Interface by Laser Plasma EUV Light Excitation2018

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Surface Layer Modification of Metal Nanoparticle Supported Polymer by Irradiation of Laser-Driven Extreme Ultraviolet Light2018

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

ISBN

データソース

田中のぞみ Tanaka Nozomi