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田中 浩  Tanaka Hiroshi

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 60609957
その他のID
所属 (現在) 2025年度: 愛知工業大学, 工学部, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2025年度: 愛知工業大学, 工学部, 教授
2022年度 – 2023年度: 愛知工業大学, 工学部, 教授
2014年度 – 2016年度: 鶴岡工業高等専門学校, その他部局等, 教授
審査区分/研究分野
研究代表者
小区分21050:電気電子材料工学関連 / 小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連 / ナノマイクロシステム
キーワード
研究代表者
ウエットエッチング / グリーンプロセス / マイクロピラミッド / シリコン / 黒鉛 / アルカリ水溶液 / 次世代デバイス / 液滴 / 界面活性剤作用 / 極低濃度エッチング液 … もっと見る / 平滑エッチング / 高速エッチング / 低濃度 / グリーン化 隠す
  • 研究課題

    (3件)
  • 研究成果

    (11件)
  •  アルカリ溶液への黒鉛添加による電子デバイス材料の結晶異方性エッチング特性制御研究代表者

    • 研究代表者
      田中 浩
    • 研究期間 (年度)
      2025 – 2027
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分21050:電気電子材料工学関連
    • 研究機関
      愛知工業大学
  •  液滴を用いたウエットプロセスによる電子デバイス材料の加工研究研究代表者

    • 研究代表者
      田中 浩
    • 研究期間 (年度)
      2022 – 2024
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
    • 研究機関
      愛知工業大学
  •  Si異方性ウエットエッチングのグリーンプロセス研究研究代表者

    • 研究代表者
      田中 浩
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2016
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      ナノマイクロシステム
    • 研究機関
      鶴岡工業高等専門学校

すべて 2023 2022 2017 2016 2015 その他

すべて 雑誌論文 学会発表 図書

  • [図書] 先端半導体製造プロセスの 最新動向と微細化技術2023

    • 著者名/発表者名
      田中 浩(第6章第1節分担執筆)
    • 総ページ数
      630
    • 出版者
      技術情報協会
    • ISBN
      9784861049828
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K04225
  • [雑誌論文] 低濃度アルカリ液滴を用いたシリコン異方性エッチング方法とその加工特性2022

    • 著者名/発表者名
      TANAKA Hiroshi、NAGASAWA Takumi、KAWAHARA Yuuto
    • 雑誌名

      スマートプロセス学会誌

      巻: 11 号: 5 ページ: 209-214

    • DOI

      10.7791/jspmee.11.209

    • ISSN
      2186-702X, 2187-1337
    • 年月日
      2022-09-10
    • 言語
      日本語
    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K04225
  • [雑誌論文] Si (100) and (110) etching properties in 5, 15, 30 and 48 wt% KOH aqueous solution containing Triton-X-1002017

    • 著者名/発表者名
      H. Tanaka, M. Takeda and K. Sato
    • 雑誌名

      Microsystem Technologies

      巻: - 号: 12 ページ: 5343-5350

    • DOI

      10.1007/s00542-017-3368-y

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26390042
  • [学会発表] 低濃度液滴を用いたシリコンアルカリ異方性ウエットエッチング方法 ―1%と5%KOH水溶液による加工特性―2023

    • 著者名/発表者名
      河原 宏紀,田中 浩
    • 学会等名
      日本機械学会第14回マイクロナノシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K04225
  • [学会発表] 低濃度液滴を用いたシリコンアルカリ異方性ウエットエッチング方法 ーエッチング加工特性に与える要因ー2023

    • 著者名/発表者名
      河原宏紀,田中浩
    • 学会等名
      表面技術協会第147回講演大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K04225
  • [学会発表] Suppress the generation of micro pyramid on Si (100) surface etched in 1wt%KOH solution using air bubbling2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Saito and H. Tanaka
    • 学会等名
      The 8th Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2016)
    • 発表場所
      Kanazawa, Japan
    • 年月日
      2016-06-26
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26390042
  • [学会発表] 低濃度アルカリ水溶液によるシリコン異方性ウエット エッチング加工特性2015

    • 著者名/発表者名
      田中 浩,齋藤祐樹,佐藤一雄
    • 学会等名
      2015年度日本機械学会年次大会
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2015-09-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26390042
  • [学会発表] 1wt%KOH水溶液によるSi異方性ウエットエッチング加工特性2015

    • 著者名/発表者名
      齋藤祐樹,田中 浩
    • 学会等名
      日本機械学会第7回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟)
    • 年月日
      2015-10-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26390042
  • [学会発表] Development of high speed and precise Si anisotropic wet etching technology in mass production for automotive sensor2015

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi TANAKA
    • 学会等名
      Five Days Workshop cum Certificate Course on MEMS & NEMS - Design and Fabrication with Experimental Hands on Sessions
    • 発表場所
      India Institute of Technology, Hyderabad
    • 年月日
      2015-12-14
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26390042
  • [学会発表] TMAH水溶液によるシリコン異方性ウエットエッチングの 高温および低濃度での加工特性

    • 著者名/発表者名
      田中 浩,齋藤祐樹
    • 学会等名
      日本機械学会第6回 マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • 発表場所
      くにびきメッセ(松江)
    • 年月日
      2014-10-20 – 2014-10-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26390042
  • [学会発表] KOH水溶液に微量界面活性剤を添加した場合の シリコン異方性エッチング加工特性

    • 著者名/発表者名
      武田将人,田中 浩,佐藤一雄
    • 学会等名
      日本機械学会第6回 マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • 発表場所
      くにびきメッセ(松江)
    • 年月日
      2014-10-20 – 2014-10-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26390042

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