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鈴木 健太  Suzuki Kenta

研究者番号 60709509
その他のID
  • ORCIDhttps://orcid.org/0000-0003-4354-908X
所属 (現在) 2025年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2017年度 – 2025年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員
2016年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 集積マイクロシステム研究センター, 研究員
審査区分/研究分野
研究代表者
小区分18020:加工学および生産工学関連 / 生産工学・加工学
研究代表者以外
生産工学・加工学 / 小区分18020:加工学および生産工学関連 / 小区分30020:光工学および光量子科学関連
キーワード
研究代表者
飽和蒸気圧 / リソグラフィ / 凝縮性ガス / ナノインプリント / ナノパターン / 充填 / 光ナノインプリント / 微小液滴 / スループット / NIL … もっと見る / デバイス設計・製造プロセス / マイクロ・ナノデバイス / バブル欠陥 / ハイドロフルオロオレフィン … もっと見る
研究代表者以外
成形加工 / ナノインプリント / ナノ構造体 / 成膜 / 射出成型 / 光学デバイス / 自己柱状成膜 / ナノホトニクス / 積層構造 / ナノ印刷 / 金属ナノ構造 / 積層化金属ナノ構造 / ナノ印刷プロセス / 光アイソレータ / メタマテリアル / ナノマイクロ加工 / モールド設計技術 / 凝縮性ガス / 残膜均一化 / モールド設計 / ナノインプリントリソグラフィ / デバイス設計・製造プロセス / 電子・電気材料 / マイクロ・ナノデバイス / 封止 / 平滑化 / 気密封止 / 表面平滑化 / MEMS / 微細加工 / MEMS / 実装 / マイクロデバイス / 常温接合 隠す
  • 研究課題

    (7件)
  • 研究成果

    (53件)
  • 共同研究者

    (9人)
  •  10nm未満のモールド作製とナノインプリントパターンの引きちぎれ防止技術の開発研究代表者

    • 研究代表者
      鈴木 健太
    • 研究期間 (年度)
      2025 – 2027
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分18020:加工学および生産工学関連
    • 研究機関
      国立研究開発法人産業技術総合研究所
  •  ナノ成形構造体と自己組織化成膜技術の融合によるナノ構造体形状制御に関する研究

    • 研究代表者
      栗原 一真
    • 研究期間 (年度)
      2022 – 2024
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分18020:加工学および生産工学関連
    • 研究機関
      国立研究開発法人産業技術総合研究所
  •  積層化金属ナノ構造を利用した極薄光アイソレータの研究開発

    • 研究代表者
      穂苅 遼平
    • 研究期間 (年度)
      2021 – 2023
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分30020:光工学および光量子科学関連
    • 研究機関
      国立研究開発法人産業技術総合研究所
  •  混合凝縮性ガスと微小液滴を用いた超高速光ナノインプリントに関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      鈴木 健太
    • 研究期間 (年度)
      2019 – 2021
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分18020:加工学および生産工学関連
    • 研究機関
      国立研究開発法人産業技術総合研究所
  •  混合凝縮性ガスを導入する光ナノインプリント技術の開発研究代表者

    • 研究代表者
      鈴木 健太
    • 研究期間 (年度)
      2017 – 2018
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      国立研究開発法人産業技術総合研究所
  •  マイクロデバイスの高気密封止のための金属の常温接合に関する研究

    • 研究代表者
      倉島 優一
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2018
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      国立研究開発法人産業技術総合研究所
  •  ナノインプリント領域全域での高速充填と均一残膜を実現するモールド設計技術の研究

    • 研究代表者
      Youn SungーWon
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2018
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      国立研究開発法人産業技術総合研究所

すべて 2022 2021 2020 2019 2018 2017

すべて 雑誌論文 学会発表

  • [雑誌論文] Droplet-Dispensed Ultraviolet Nanoimprint Lithography in Mixed Condensable Gas of Trans-1,3,3,3-Tetrafluoropropene and Trans-1-Chloro-3,3,3-Trifluoropropene2022

    • 著者名/発表者名
      Kenta Suzuki, Tatsuya Okawa, and Sung-Won Youn
    • 雑誌名

      JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY

      巻: 35

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02046
  • [雑誌論文] ナノインプリント技術の配線応用に向けたプロセスとモールド設計2019

    • 著者名/発表者名
      尹 成圓、鈴木 健太、廣島 洋
    • 雑誌名

      エレクトロニクス実装学会誌

      巻: 22 号: 2 ページ: 158-163

    • DOI

      10.5104/jiep.22.158

    • NAID

      130007606390

    • ISSN
      1343-9677, 1884-121X
    • 年月日
      2019-03-01
    • 言語
      日本語
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06035, KAKENHI-PROJECT-19H02046
  • [雑誌論文] Fabrication of high-aspect-ratio micropatterns in soluble block-copolymer polyimides by a UV-assisted thermal imprint process2019

    • 著者名/発表者名
      Youn Sung-Won、Suzuki Kenta、Takagi Hideki、Hiroshima Hiroshi、Kinoshita Yoshinori、Hayashi Katsuhiro
    • 雑誌名

      Journal of Mechanical Science and Technology

      巻: 33 号: 8 ページ: 3755-3760

    • DOI

      10.1007/s12206-019-0718-y

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02046
  • [雑誌論文] Fabrication of High-Aspect-Ratio Micropatterns in Soluble Block-Copolymer Polyimides by an UV-assisted Thermal Imprint Process2019

    • 著者名/発表者名
      Sung-Won Youn, Kenta Suzuki, Takagi Hideki, Hiroshi Hiroshima, Yoshinori Kinoshita, Katsuhiro Hayashi
    • 雑誌名

      Journal of Mechanical Science and Technology

      巻: 印刷中

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06035
  • [雑誌論文] Solubility Property of Condensable Gases of Trans-1-Chloro-3,3,3-Trifluoropropene and Trans-1,3,3,3-Tetrafluoropropene in UV Nanoimprint2019

    • 著者名/発表者名
      Suzuki Kenta、Youn Sung-Won、Hiroshima Hiroshi
    • 雑誌名

      Journal of Photopolymer Science and Technology

      巻: 32 号: 1 ページ: 123-130

    • DOI

      10.2494/photopolymer.32.123

    • NAID

      130007744312

    • ISSN
      0914-9244, 1349-6336
    • 年月日
      2019-06-24
    • 言語
      英語
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02046
  • [雑誌論文] Pt Nanogap Electrode Fabrication by Two-Layer Lift-Off UV-NIL and Nanowire Breakdown2018

    • 著者名/発表者名
      Kyouhei Hashiguchi, Kenta Suzuki, Hiroshi Hiroshima, Yasuhisa Naitoh, Hiroshi Suga
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Nanotechnology

      巻: 17 号: 6 ページ: 1094-1097

    • DOI

      10.1109/tnano.2018.2844125

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06035, KAKENHI-PROJECT-17K14575, KAKENHI-PROJECT-17K14100
  • [雑誌論文] Chip-scale pattern modification method for equalizing residual layer thickness in nanoimprint lithography2018

    • 著者名/発表者名
      Sung-Won Youn, Kenta Suzuki, Hiroshi Hiroshima
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 57 号: 6S1 ページ: 06HG03-06HG03

    • DOI

      10.7567/jjap.57.06hg03

    • NAID

      210000149171

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06035, KAKENHI-PROJECT-17K14575
  • [雑誌論文] Filling Behavior and Mold Release Force in UV Nanoimprinting Using PDMS Mold in Different Atmosphere2018

    • 著者名/発表者名
      Kenta Suzuki, Sung-Won Youn, Hiroshi Hiroshima
    • 雑誌名

      Journal of Photopolymer Science and Technology

      巻: 31 ページ: 295-300

    • NAID

      130007481515

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06035
  • [雑誌論文] Evaluation of Nanoimprinting Multilayer Lift-off Process using Spin-on-glass for Nanogap Electrode Array2018

    • 著者名/発表者名
      Kyohei Hashiguchi, Kenta Suzuki, Hiroshi Hiroshima, Yasuhisa Naitoh, Hiroshi Suga
    • 雑誌名

      Journal of Photopolymer Science and Technology

      巻: 31 号: 2 ページ: 277-282

    • DOI

      10.2494/photopolymer.31.277

    • NAID

      130007481513

    • ISSN
      0914-9244, 1349-6336
    • 年月日
      2018-06-25
    • 言語
      英語
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06035, KAKENHI-PROJECT-17K14575, KAKENHI-PROJECT-17K14100
  • [雑誌論文] Filling Behavior and Mold Release Force in UV Nanoimprinting Using PDMS Mold in Different Atmosphere2018

    • 著者名/発表者名
      Suzuki Kenta、Youn Sung-Won、Hiroshima Hiroshi
    • 雑誌名

      Journal of Photopolymer Science and Technology

      巻: 31 号: 2 ページ: 295-300

    • DOI

      10.2494/photopolymer.31.295

    • NAID

      130007481515

    • ISSN
      0914-9244, 1349-6336
    • 年月日
      2018-06-25
    • 言語
      英語
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14575
  • [雑誌論文] Chip-scale pattern modification method for equalizing residual layer thickness in nanoimprint lithography2018

    • 著者名/発表者名
      Youn Sung-Won、Suzuki Kenta、Hiroshima Hiroshi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 印刷中

    • NAID

      210000149171

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06035
  • [雑誌論文] ナノインプリントリソグラフィ用容積均一化モールドの粒度設計に関する研究2017

    • 著者名/発表者名
      尹成圓、鈴木健太、廣島洋
    • 雑誌名

      精密工学会学術講演会講演論文集

      巻: 2017A 号: 0 ページ: 331-332

    • DOI

      10.11522/pscjspe.2017A.0_331

    • NAID

      130006434329

    • 言語
      日本語
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06035
  • [雑誌論文] Automated Pattern Modification Method to Equalize Residual Layer Thickness in Nanoimprint Lithography2017

    • 著者名/発表者名
      Youn Sung-Won、Suzuki Kenta、Hiroshima Hiroshi
    • 雑誌名

      Conference Proceedings of NNT2017

      巻: 1 ページ: 53-54

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06035
  • [雑誌論文] Basic Verification of Automated Design Method of Capacity-equalized Mold for Nanoimprint Lithography2017

    • 著者名/発表者名
      Sung-Won Youn (尹成圓), Kenta Suzuki, and Hiroshi Hiroshima
    • 雑誌名

      Journal of Nanoscience and Nanotechnology

      巻: 印刷中

    • 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06035
  • [雑誌論文] Basic Verification of Method for Automated Design of Capacity-Equalized Mold for Nanoimprint Lithography2017

    • 著者名/発表者名
      Youn Sung-Won、Suzuki Kenta、Hiroshima Hiroshi
    • 雑誌名

      Journal of Nanoscience and Nanotechnology

      巻: 17 号: 11 ページ: 8475-8479

    • DOI

      10.1166/jnn.2017.15153

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06035
  • [雑誌論文] Fabrication of a Holographic Pattern by UV-NIL Using PFP Gas2017

    • 著者名/発表者名
      Youn Sung-Won、Suzuki Kenta、Hiroshima Hiroshi
    • 雑誌名

      Program book of the 8th Japan-China-Korea MEMS/NEMS 2017

      巻: 1 ページ: 28-29

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06035
  • [学会発表] 混合凝縮性ガス下での光ナノインプリントにおける光硬化性樹脂の微小液滴の充填評価2021

    • 著者名/発表者名
      大川 達也、鈴木 健太、今井 郷充
    • 学会等名
      2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02046
  • [学会発表] 産総研における光ナノインプリントステッパー技術2021

    • 著者名/発表者名
      鈴木 健太
    • 学会等名
      第9回マイクロ・ナノ加工研究会公開講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02046
  • [学会発表] ウェハレベルナノインプリント技術の応用展開に向けた充填挙動の制御や大面積モールド作製に関する研究2020

    • 著者名/発表者名
      尹 成圓、鈴木 健太、廣島 洋
    • 学会等名
      荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02046
  • [学会発表] Approach of fine resist filling technologies for UV-NIL at AIST2019

    • 著者名/発表者名
      尹 成圓、鈴木 健太、廣島 洋
    • 学会等名
      NNT 2019, the 18th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technologies
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02046
  • [学会発表] 混合凝縮性ガスを用いたUVナノインプリントリソグラフィ2019

    • 著者名/発表者名
      鈴木 健太、尹 成圓、廣島 洋
    • 学会等名
      NGL ワークショップ(ワーク ショップ NGL2019)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02046
  • [学会発表] Solubility Property of Condensable Gases of Trans-1-Chloro-3,3,3-Trifluoropropene and Trans-1,3,3,3-Tetrafluoropropene in UV Nanoimprint2019

    • 著者名/発表者名
      鈴木 健太、尹 成圓、廣島 洋
    • 学会等名
      The 36th International Conference of Photopolymer Science and Technology
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02046
  • [学会発表] 混合凝縮性ガスを導入する光ナノインプリントによる線幅20nm以下のパターニング技術の開発2019

    • 著者名/発表者名
      鈴木 健太
    • 学会等名
      第10回集積化MEMS技術研究ワークショップ
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02046
  • [学会発表] 凝縮性ガス下でのナノインプリントにおけるモールド全域の樹脂の充填観察2019

    • 著者名/発表者名
      鈴木 健太、尹 成圓
    • 学会等名
      2019年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02046
  • [学会発表] Fabrication of High Aspect Ratio Micropatterns in Soluble Block-copolymer Polyimide by UV-assisted Thermal Imprint Process2018

    • 著者名/発表者名
      Sung-Won Youn, Kenta Suzuki, and Hiroshi Hiroshima
    • 学会等名
      The 1st Emerging Technologies in Mechanical Engineering (ETME 2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14575
  • [学会発表] Fabrication of Radio-frequency Identification Antenna Patterns on an IC Chip by Ultraviolet Nanoimprint Lithography2018

    • 著者名/発表者名
      鈴木健太,倉島優一,尹成圓,高木秀樹,廣島洋,大島清志,小林英樹
    • 学会等名
      31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14575
  • [学会発表] PDMSレプリカモールドを使用したUVナノインプリントのパターン欠陥と離型力の評価2018

    • 著者名/発表者名
      鈴木健太、尹成園、廣島洋
    • 学会等名
      第32回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14575
  • [学会発表] Evaluation of Nanoimprinting Multilayer Lift-off Process using Spin-on-glass for Nanogap Electrode Array2018

    • 著者名/発表者名
      Kyohei Hashiguchi, Kenta Suzuki, Hiroshi Hiroshima, Yasuhisa Naitoh, and Hiroshi Suga
    • 学会等名
      The 35th International Conference of Photopolymer Science and Technology
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14575
  • [学会発表] Control of pattern capacity in nanoimprint mold by adding 2D/2.5D patterns to obtain uniform residual layer2018

    • 著者名/発表者名
      Sung-Won Youn, Kenta Suzuki, and Hiroshi Hiroshima
    • 学会等名
      The 5th International Conference & Exhibition (NANOPIA2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14575
  • [学会発表] IoTを支える微細配線製造技術2018

    • 著者名/発表者名
      鈴木健太
    • 学会等名
      MEMSセンシング&ネットワークシステム展 2018特別シンポジウム 光×製造×IoT 未来技術セミナー
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14575
  • [学会発表] Design and Fabrication of Mold for Wafer-level Nanoimprint Lithography2018

    • 著者名/発表者名
      尹成圓, 鈴木健太, 廣島洋
    • 学会等名
      韓国機械技術研究院(KIMM) 招待セミナー
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06035
  • [学会発表] Filling Behavior and Mold Release Force in UV Nanoimprinting Using PDMS Mold in Different Atmosphere2018

    • 著者名/発表者名
      Kenta Suzuki, Sung-Won Youn, and Hiroshi Hiroshima
    • 学会等名
      The 35th International Conference of Photopolymer Science and Technology
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06035
  • [学会発表] Filling Behavior and Mold Release Force in UV Nanoimprinting Using PDMS Mold in Different Atmosphere2018

    • 著者名/発表者名
      Kenta Suzuki, Sung-Won Youn, and Hiroshi Hiroshima
    • 学会等名
      The 35th International Conference of Photopolymer Science and Technology
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14575
  • [学会発表] ナノインプリントリソグラフィ用パターン補正プログラム2018

    • 著者名/発表者名
      尹成圓, 鈴木健太, 廣島洋
    • 学会等名
      次世代リソグラフィワークショップNGL2018
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06035
  • [学会発表] Fabrication of High Aspect Ratio Micropatterns in Soluble Block-copolymer Polyimide by UV-assisted Thermal Imprint Process2018

    • 著者名/発表者名
      Sung-Won Youn, Kenta Suzuki, and Hiroshi Hiroshima
    • 学会等名
      The 1st Emerging Technologies in Mechanical Engineering (ETME 2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06035
  • [学会発表] UVナノインプリント法を用いた集光ミラー付きポリマー光導波路の開発2018

    • 著者名/発表者名
      鈴木健太,天野建,乗木暁博
    • 学会等名
      第21回電子デバイス実装研究委員会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14575
  • [学会発表] 光ナノインプリント樹脂への凝縮性ガスの溶解性の評価2018

    • 著者名/発表者名
      鈴木健太, 尹成圓, 廣島洋
    • 学会等名
      エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14575
  • [学会発表] 配線基板作製に向けたナノインプリントモールドパターンの補正およびその作製工程2018

    • 著者名/発表者名
      Sung-Won Youn, Kenta Suzuki, and Hiroshi Hiroshima
    • 学会等名
      精密工学会2018年度秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14575
  • [学会発表] Fabrication of wafer-level mold for nanoimprint lithography using STAMP program and self-alignment etching process2018

    • 著者名/発表者名
      Sung-Won Youn, Kenta Suzuki, and Hiroshi Hiroshima
    • 学会等名
      International Symposium on Precision and Engineering and Sustainable Manufacturing
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06035
  • [学会発表] 配線基板作製に向けたナノインプリントモールドパターンの補正およびその作製工程2018

    • 著者名/発表者名
      尹成圓、鈴木健太、廣島洋
    • 学会等名
      日本精密工学会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06035
  • [学会発表] ナノインプリントリソグラフィ用パターン補正プログラム2018

    • 著者名/発表者名
      尹成圓, 鈴木健太, 廣島洋
    • 学会等名
      次世代リソグラフィワークショップNGL2018
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14575
  • [学会発表] Fabrication of Flexible Replica Mold with 2D and 2.5D Structures Designed by STAMP Program2018

    • 著者名/発表者名
      Sung-Won Youn, Kenta Suzuki, and Hiroshi Hiroshima
    • 学会等名
      9th Japan-China-Korea Joint Conf. on MEMS/NEMS
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14575
  • [学会発表] 光ナノインプリント樹脂への凝縮性ガスの溶解性の評価2018

    • 著者名/発表者名
      鈴木健太, 尹成圓, 廣島洋
    • 学会等名
      エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06035
  • [学会発表] Control of pattern capacity in nanoimprint mold by adding 2D/2.5D patterns to obtain uniform residual layer2018

    • 著者名/発表者名
      Youn Sung-Won、Suzuki Kenta、Hiroshima Hiroshi
    • 学会等名
      The 5th International Conference & Exhibition for Nanotechnology (NANOPIA2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06035
  • [学会発表] Fabrication of wafer-level mold for nanoimprint lithography using STAMP program and self-alignment etching process2018

    • 著者名/発表者名
      Sung-Won Youn, Kenta Suzuki, and Hiroshi Hiroshima
    • 学会等名
      International Symposium on Precision and Engineering and Sustainable Manufacturing
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14575
  • [学会発表] Fabrication of Radio-frequency Identification Antenna Patterns on an IC Chip by Ultraviolet Nanoimprint Lithography2018

    • 著者名/発表者名
      鈴木健太,倉島優一,尹成圓,高木秀樹,廣島洋,大島清志,小林英樹
    • 学会等名
      31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06035
  • [学会発表] Fabrication of Flexible Replica Mold with 2D and 2.5D Structures Designed by STAMP Program2018

    • 著者名/発表者名
      Sung-Won Youn, Kenta Suzuki, and Hiroshi Hiroshima
    • 学会等名
      9th Japan-China-Korea Joint Conf. on MEMS/NEMS
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06035
  • [学会発表] ナノインプリントリソグラフィ用容積均一化モールドの粒度設計に関する研究2017

    • 著者名/発表者名
      尹成圓、鈴木健太、廣島洋
    • 学会等名
      2017日本精密工学会秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06035
  • [学会発表] Fabrication of a Holographic Pattern by UV-NIL Using PFP Gas2017

    • 著者名/発表者名
      Youn Sung-Won、Suzuki Kenta、Hiroshima Hiroshi
    • 学会等名
      8th Japan-China-Korea MEMS/NEMS 2017
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06035
  • [学会発表] Automated Pattern Modification Method to Equalize Residual Layer Thickness in Nanoimprint Lithography2017

    • 著者名/発表者名
      Youn Sung-Won、Suzuki Kenta、Hiroshima Hiroshi
    • 学会等名
      The 16th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology (NNT2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06035
  • [学会発表] Chip-scale pattern modification method for equalizing residual layer thickness in nanoimprint lithography2017

    • 著者名/発表者名
      Youn Sung-Won、Suzuki Kenta、Hiroshima Hiroshi
    • 学会等名
      30st International Microprocesses and Nanotechnology Conferences
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06035
  • [学会発表] Filling behavior and mold release force in UV nanoimprinting using PDMS mold in different atmosphere2017

    • 著者名/発表者名
      Kenta Suzuki, Sung-Won Youn, and Hiroshi Hiroshima
    • 学会等名
      12th IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14575
  • [学会発表] A Mold Pattern Design Method for Wafer-level Nanoimprint Lithography2017

    • 著者名/発表者名
      Youn Sung-Won、Suzuki Kenta、Hiroshima Hiroshi
    • 学会等名
      1st International Workshop on MEMS and Sensor System 2017
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06035
  • 1.  Youn SungーWon (80510065)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 30件
  • 2.  穂苅 遼平 (20759998)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  栗原 一真 (90392612)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  廣島 洋
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 36件
  • 5.  倉島 優一 (70408730)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  高木 秀樹 (00357344)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  中野 美紀 (20415722)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  橋口 恭平
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 1件
  • 9.  菅 洋志
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 1件

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