LE VANMINH LE VANMINH

研究者番号	60765098
その他のID	https://orcid.org/0000-0002-9815-9233
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2023年度: 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 特任准教授 2018年度 – 2022年度: 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 助教 2016年度 – 2017年度: 東北大学, 工学研究科, 助教
審査区分/研究分野	研究代表者小区分28050:ナノマイクロシステム関連研究代表者以外小区分28050:ナノマイクロシステム関連 / ナノマイクロシステム
キーワード	研究代表者 Piezoelectric thin films / Energy harvesting / Internet of Things / Piezoelectric devices / Piezo MEMS / Nitride piezoelectrics / lead-free piezoelectric / piezoelectric thin films / Energy harvester / doped AlN … もっと見る / Power MEMS / MEMS / nitride piezoelectricity / aluminum nitride / piezoelectric device / piezoelectric thin film / Micro-energy harvesters … もっと見る研究代表者以外マルチ集束イオンビーム / MEMS / マルチイオンビーム / イオン液体 / 集束イオンビーム / 半導体微細加工 / 半導体超微細加 / マイクロマシン / ナノマシン / ionic liquid / ion source / multi-ion sources / Focused ion beams / 材料加工・プロセス / マイクロ・ナノデバイス / ＮＥＭＳ / ナノテクノロジー / ＭＥＭＳ / マルチビーム / ナノ加工技術 / 液体イオン / イオンビームエッチング / 液体イオン源 / イオン源アレイ / Siエッチング / MEMS技術 / マイクロ・ナノマシニング隠す

イオン液体をイオン種としたマルチ集束イオンビームの研究
- 研究代表者
  
  桑野博喜
- 研究期間 (年度)
  2021 – 2023
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分28050:ナノマイクロシステム関連
- 研究機関
  東北大学
Ultra-high performance and environment-friendly micro-energy harvesters towards self-powered micro/nano-systems for the Internet of Things研究代表者
- 研究代表者
  
  LE VANMINH
- 研究期間 (年度)
  2020 – 2021
- 研究種目
  
  若手研究
- 審査区分
  
  小区分28050:ナノマイクロシステム関連
- 研究機関
  東北大学
高機能ナノ自由加工を目指すマルチ集束イオンビーム開発
- 研究代表者
  
  桑野博喜
- 研究期間 (年度)
  2016 – 2020
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  ナノマイクロシステム
- 研究機関
  東北大学

すべて 2022 2021 2019

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] MICROMACHINED MULTI-ION SOURCES INTEGRATED MICRO FLUIDIC CHANNELS2021
- 著者名/発表者名
  Nguyen-Van Chinh, Le-Van Minh, Takahito Ono, and Hiroki Kuwano
- 雑誌名
  
  Proceedings of 2021 IEEE 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
  
  巻: 34 ページ: 14-17
- DOI
  10.1109/mems51782.2021.9375217
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H02093
[雑誌論文] A Micromachined Ionic Liquid Ion Source with Flow-Controlled Segmented Annular Channels2019
- 著者名/発表者名
  Chinh Nguyen-Van、Minh Le-Van、Ono Takahito、Kuwano Hiroki
- 雑誌名
  
  Proceedings of IEEE Transducers 2019
  
  巻: 1 ページ: 1674-1677
- DOI
  10.1109/transducers.2019.8808471
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H02093
[学会発表] EMIM-BF4 multi-ion sources of micromachined Si external wetted emitters with fluidic feeding-flow confinement: from microfabrication to Si etching evaluation2022
- 著者名/発表者名
  Le Van Minh, Nguyen Van Chinh, Hiroki Kuwano
- 学会等名
  The 69th JSAP Spring Meeting 2022
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H01777
[学会発表] A Micromachined Ionic Liquid Ion Source with Flow-Controlled Segmented Annular Channels2019
- 著者名/発表者名
  Chinh Nguyen-Van、Minh Le-Van、Ono Takahito、Kuwano Hiroki
- 学会等名
  20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H02093

1. 桑野博喜 (50361118)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 4件
2. 大口裕之 (40570908)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
3. 小野崇人 (90282095)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

LE VANMINH LE VANMINH

研究課題

研究成果

共同研究者

イオン液体をイオン種としたマルチ集束イオンビームの研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

Ultra-high performance and environment-friendly micro-energy harvesters towards self-powered micro/nano-systems for the Internet of Things研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

高機能ナノ自由加工を目指すマルチ集束イオンビーム開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] MICROMACHINED MULTI-ION SOURCES INTEGRATED MICRO FLUIDIC CHANNELS2021

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] A Micromachined Ionic Liquid Ion Source with Flow-Controlled Segmented Annular Channels2019

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[学会発表] EMIM-BF4 multi-ion sources of micromachined Si external wetted emitters with fluidic feeding-flow confinement: from microfabrication to Si etching evaluation2022

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] A Micromachined Ionic Liquid Ion Source with Flow-Controlled Segmented Annular Channels2019

著者名/発表者名

学会等名

データソース