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杉田 和之  SUGITA Kazuyuki

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 70009273
その他のID
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2002年度 – 2004年度: 千葉大学, 工学部, 教授
1998年度 – 2000年度: 千葉大学, 工学部, 教授
1987年度 – 1988年度: 千葉大学, 工学部, 助教授
審査区分/研究分野
研究代表者
高分子合成
研究代表者以外
電子・電気材料工学 / 原子力学
キーワード
研究代表者
polymer resist / lithography / photoetching / VUV / 高分子 / リソグラフィー / 表面光化学反応 / 光化学反応 / 真空紫外光 / 光エッチング / レジスト … もっと見る
研究代表者以外
… もっと見る Patterning / J-aggregation / Molecular electronics / Nano fabrication / Nano technology / Dye LB films / Applied voltage LB method / Langmuir-Blodgett films / パターニング / J会合体 / 分子エレクトロニクス / 超微細加工技術 / ナノテクノロジー / 色素LB膜 / 電圧印加累積法 / Langmuir-Blodgett膜 / Ocean Site / Floating-Contact Mode / Adsorption Rate / Hydrophilic / Adsorbents / Vanadium / Uranium / Seawater / 実海域 / 係留装置 / 吸着速度 / 親水性 / 吸着材 / バナジウム / ウラン / 海水 隠す
  • 研究課題

    (3件)
  • 研究成果

    (9件)
  • 共同研究者

    (5人)
  •  電圧印可累積法による色素超薄膜の会合体形成と微細加工技術の高機能化

    • 研究代表者
      串田 正人
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2004
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      千葉大学
  •  親水性高選択的吸着材を作成し実海域の係留装置を用いて海水産ウラン鉱石を作る研究

    • 研究代表者
      斎藤 恭一
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      原子力学
    • 研究機関
      千葉大学
  •  遠紫外光照射による高分子レジストの自己現像と乾式剥膜研究代表者

    • 研究代表者
      杉田 和之
    • 研究期間 (年度)
      1987 – 1988
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      高分子合成
    • 研究機関
      千葉大学

すべて 2004 2003 2002

すべて 雑誌論文

  • [雑誌論文] A Surface-Silylated Single-Layer Resist Using Chemical Amplification for Deep UV Lithography : IIIb. Optimization of PAG and Its Content2004

    • 著者名/発表者名
      Kazuyuki Sugita
    • 雑誌名

      J.Photopolym.Sci.Technol. 17

      ページ: 373-378

    • NAID

      130004464357

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550291
  • [雑誌論文] A Surface-Silylated Single-Layer Resist UsingO Chemical Amplification for Deep UV Lithography : IIIb. Optimization of PAG and Its Content2004

    • 著者名/発表者名
      Kazuyuki Sugita
    • 雑誌名

      J.Photopolym.Sci.Technol. 17

      ページ: 373-378

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550291
  • [雑誌論文] A Surface-Silylated Single-Layer Resist Using Chemical Amplification for Deep UV Lithography : IIIa. Preliminary Results of Optimization of PAG and Content2004

    • 著者名/発表者名
      Kazuyuki Sugita
    • 雑誌名

      Advances in Imaging Materials and Processes

      ページ: 293-299

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550291
  • [雑誌論文] A Surface-Silylated Single-Layer Resist Using Chemical Amplification for Deep UV Lithography : IIIa. Preliminary Results of Optimization of PAG and Its Content2004

    • 著者名/発表者名
      Kazuyuki Sugita
    • 雑誌名

      Advances in Imaging Materials and Processes

      ページ: 293-299

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550291
  • [雑誌論文] Photodegradable Toners for Electrophotography IIIb. Photodegradation and Photocrosslinking of Matrix Resin-Its Dependence on the UV-light Source and Irradiation Conditions and Reaction Mechanism2003

    • 著者名/発表者名
      Kazuyuki Sugita
    • 雑誌名

      Polymeric Mat.Sci.Eng. 88

      ページ: 341-341

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550291
  • [雑誌論文] Photodegradable Toners for Electrophotography III. Accelerated Photodegradation and Suppressed Photocrosslinking of Matrix Resin-Their Dependence on Polymer Composition, UV-light Source, and Irradiation Conditions2003

    • 著者名/発表者名
      Kazuyuki Sugita
    • 雑誌名

      Polymer J. 35

      ページ: 985-992

    • NAID

      10011839508

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550291
  • [雑誌論文] Photodegradable Toners for Electrophotography IIIb. Photodegradation and Photocrosslinking of Matrix Resin - Its Dependence on the UV-light Source and Irradiation Conditions and Reaction Mechanism2003

    • 著者名/発表者名
      Kazuyuki Sugita
    • 雑誌名

      Polymeric Mat.Sci.Eng. 88

      ページ: 341-341

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550291
  • [雑誌論文] Surface-Silylated Single-Layer Resist Using Chemical Amplification for Deep-UV and Vacuum-UV Lithography2002

    • 著者名/発表者名
      K.Sugita A
    • 雑誌名

      J.Photopolym.Sci.Technol. 15

      ページ: 367-370

    • NAID

      40005587710

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550291
  • [雑誌論文] A Surface-Silylated Single-Layer Resist Using Chemical Amplification for Deep-UV and Vacuum-UV Lithography2002

    • 著者名/発表者名
      K.Sugita
    • 雑誌名

      J.Photopolym.Sci.Technol. 15

      ページ: 367-370

    • NAID

      40005587710

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550291
  • 1.  斎藤 恭一 (90158915)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  串田 正人 (70177989)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  小関 健一 (70092054)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  上野 信雄 (40111413)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  山岡 亜夫 (60009256)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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