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貴田 桂介  キダ ケイスケ

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 70102770
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 1990年度: 中部大学, 工学部, 講師
キーワード
研究代表者以外
軸対称表面波によるプラズマ生成 / カスプ磁界配位による拡大 / 静磁界による安定化 / グリッドと平板の組合せ電極 / 多重リング電極構造 / 強磁界領域 / VHF帯 / 大直径ECRプラズマ
  • 研究課題

    (1件)
  • 共同研究者

    (2人)
  •  静磁界を用いたCVD用高周波プラズマ源の開発

    • 研究代表者
      池沢 俊治郎
    • 研究期間 (年度)
      1990
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      中部大学
  • 1.  池沢 俊治郎 (60065282)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  林 洋司 (40097671)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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