清水秀己 SHIMIZU Hideki

研究者番号	70126936
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所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2010年度 – 2012年度: 愛知教育大学, 教育学部, 教授 1994年度 – 1995年度: 愛知教育大学, 教育学部, 助教授 1992年度: 愛知教育大学, 教育学部, 助教授
審査区分/研究分野	研究代表者応用物性 / 応用物性・結晶工学研究代表者以外科学教育
キーワード	研究代表者ヘテロエピタキシャル / プラズマアシストCVD / 3C-SiC / β-SiC / 立方晶炭化珪素 / 低温成長 / プロパン / モノシラン / 発光分光分析 / 低温化 … もっと見る / 大面積化 / プラズマプロセシング / プラズマ発光分光分析 / プラズマ温度 / Plasma-Assisted CVD / Hetero-epitaxisyal / Low Temperature Deposition / Large-Area Deposition / Plasma Processing / Optical Emission Spectroscopy / Plasma Temperature … もっと見る研究代表者以外小学校理科 / 理科実験 / 実験・観察 / 理科離れ隠す