高増潔 Takamasu Kiyoshi

研究者番号	70154896
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所属 (現在)	2025年度: 東京電機大学, 工学部, 客員教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2022年度: 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授 2015年度 – 2019年度: 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授 2011年度 – 2015年度: 東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 2014年度: 東京大学, 大学院工学系研究科, 教授 2012年度 – 2013年度: 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 … もっと見る 2001年度 – 2010年度: 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 2007年度: 東京大学, 大学院・工学研究科, 教授 2006年度: 東京大学, 大学院工学系研究科, 教授 1997年度: 東京大学, 大学院・工学研究科, 助教授 1995年度 – 1997年度: 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 1993年度 – 1996年度: 東京大学, 工学部, 助教授 1986年度: 東京電機大学, 工学部, 講師隠す
審査区分/研究分野	研究代表者知能機械学・機械システム / 知能機械学・機械システム / 生産工学・加工学研究代表者以外生産工学・加工学 / 小区分15020:素粒子、原子核、宇宙線および宇宙物理に関連する実験 / 機械要素 / 設計工学・機械要素・トライボロジー
キーワード	研究代表者ナノメートル計測 / coordinate measuring machine / 精度評価 / 三次元座標測定機 / 三次元測定 / 形状測定 / 三次元計測 / uncertainty of measurement / 三次元測定機 / 測定の不確かさ … もっと見る / キャリブレーション / 光計測 / 不確かさ推定 / 三次元形状測定 / 座標計測 / calibration / next generation manufacturing system / accuracy evaluation / coordinate metrology / 不確かさ / 校正 / 次世代生産システム / 座標測定 / calibration method / stage / nanometer measurement / 校正手法 / ステージ / evaluation of accuracy / virtual CMM / バーチャル測定機 / Precision Instrument / Thermal Force Analysis / Nanometer Measurement / Coordinate Measureing Machine / ナノメール計測 / 三次元座標測定 / 精密測定機 / 熱応力解析 / Calibration / Optical Measurement / Coordinate Metrology / Three Dimensional Position and Displacement / Mobil Robot / レーザ測長機 / 位置計測 / 3次元計測 / 三次元位置・変位 / 移動ロボット / 大型構造物 / 粗面 / 距離測定 / コムレーザー / フェムト秒レーザ / トレーサビリティ / 超精密計測 / 機械工学・生産工学 / 計測工学 … もっと見る研究代表者以外マイクロマシン / 加工計測 / ナノ欠陥 / 光計測 / マイクロファクトリ / マイクロ・ナノデバイス / 精密位置決め / 欠陥計測 / エバネッセント光 / シミュレーション / 校正 / 圧縮 / 三次元座標導出 / FSR / アライメント / 電気双極子能率 / ミューオン異常磁気能率 / 測長網 / ボールレンズ / パルス間隔 / 自由スペクトル領域 / エタロン / 絶対測長干渉計 / 光周波数コム / EDM / g-2 / muon / ball lens / oprical frequency comb / interferometer / alignment monitor / マクロファクトリ / ナノマイクロ加工 / セルインマイクロファクトリ / シリコンウエハ基板 / 欠陥検査 / ナノ異物 / シリコンウエハ / ナノ計測 / External Optical Feed Back Effect / Method To Estimate The Form / Automated Measurement / Three Dimensional Coordinate Measuring System / Three Dimensional Coordinate Measuring Machine / 非接触プローブ / 帰還光効果 / 形状評価法 / 自動測定 / 三次元座標測定システム / 三次元測定機 / Active vibration control / Crystalline lattice / Virtual CMM / Miniature robot / Optical probe / Coordinate metrology / Software datum / Nanometer metrology / 微動テーブル / 超小型自走機械 / ナノCMM / 自律校正 / 能動制振 / 結晶格子 / 仮想三次元測定機 / 超小型精密自走機械 / 光プローブ / 座標計測 / ナノメートル計測 / ソフトウェアデータム / 超解像 / 局在光 / 超解像計測 / 微小生産科学 / 回折限界 / 回折限界超越 / 高分解能計測 / 内部情報計測 / 非破壊計測 / 微細構造 / 精密微細加工 / ソフトマテリアル / ナノ修正加工 / 超精密加工 / 高速プロトタイピング / イクロ・ナノデバイス / 三次元マイクロ加工 / 酸化チタン / 局在フォトン / マルチフォトンプローブ / 超精密平坦加工面 / マイクロ光造形法 / 光硬化性樹脂 / マイクロ光造形 / 光造形隠す

ミューオンg-2/EDM精密測定のための検出器アライメントモニターの開発
- 研究代表者
  
  久米達哉
- 研究期間 (年度)
  2019 – 2021
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分15020:素粒子、原子核、宇宙線および宇宙物理に関連する実験
- 研究機関
  大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構
自律的欠陥探索・分裂型マルチ近接場プローブによる超平滑加工表面ナノ異物一括計測
- 研究代表者
  
  高橋哲
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2016
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東京大学
複合マイクロ粒子機能構造体生産のための局在光制御セルインマイクロファクトリの開発
- 研究代表者
  
  高橋哲
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2018
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東京大学
局在光場動的制御を用いた次世代微細機能構造のナノ欠陥超解像計測への挑戦
- 研究代表者
  
  高橋哲
- 研究期間 (年度)
  2014
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東京大学
大型構造物を対象としたコムセルフビート距離計を用いた粗面の三次元絶対形状測定研究代表者
- 研究代表者
  
  高増潔
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2015
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  知能機械学・機械システム
- 研究機関
  東京大学
次世代三次元形状の高精度化のための三次元計測における不確かさ推定手法の実用化研究代表者
- 研究代表者
  
  高増潔
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2018
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東京大学
動的局在光場並列制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究
- 研究代表者
  
  高橋哲
- 研究期間 (年度)
  2013
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東京大学
全方位ナノ修正加工を実現する空間光場姿勢制御フォトン励起型マイクロ加工工具の開発
- 研究代表者
  
  高橋哲
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2014
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東京大学
高アスペクト次世代ナノ微細構造加工表面の非破壊内部情報計測に関する
- 研究代表者
  
  高橋哲
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2012
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東京大学
フェムト秒レーザを用いた生産環境のトレーサブル絶対三次元空間化研究代表者
- 研究代表者
  
  高増潔
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2012
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  知能機械学・機械システム
- 研究機関
  東京大学
ナノ三次元計測における不確かさ推定手法の体系化研究代表者
- 研究代表者
  
  高増潔
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2014
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東京大学
局在フォトン相互作用と酸化チタンナノ光触媒を利用したマイクロ三次元金属構造の創製
- 研究代表者
  
  高橋哲
- 研究期間 (年度)
  2008 – 2010
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東京大学
ナノスケール生産基盤におけるコア計測技術に関する企画調査研究代表者
- 研究代表者
  
  高増潔
- 研究期間 (年度)
  2006 – 2007
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  知能機械学・機械システム
- 研究機関
  東京大学
エバネッセント・マルチフォトンプローブによる超精密平坦加工面のナノ欠陥高速計測法
- 研究代表者
  
  高橋哲
- 研究期間 (年度)
  2006 – 2007
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東京大学
エバネッセント局在フォトンを利用したナノ光造形法に関する基礎的研究
- 研究代表者
  
  高橋哲
- 研究期間 (年度)
  2004 – 2005
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東京大学
次世代生産システムにおける三次元計測を中心とした測定の不確かさの研究研究代表者
- 研究代表者
  
  高増潔
- 研究期間 (年度)
  2004 – 2007
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  知能機械学・機械システム
- 研究機関
  東京大学
三次元座標測定における測定の不確かさの評価方法の研究研究代表者
- 研究代表者
  
  高増潔
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2003
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  知能機械学・機械システム
- 研究機関
  東京大学
ナノメートル分解能の三次元座標測定機の改良と精度評価手法の確立研究代表者
- 研究代表者
  
  高増潔
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2003
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  知能機械学・機械システム
- 研究機関
  東京大学
座標計測の高度化に関する研究
- 研究代表者
  
  下河辺明
- 研究期間 (年度)
  1995 – 1996
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  設計工学・機械要素・トライボロジー
- 研究機関
  東京工業大学
nano-CMM(ナノメートル分解能の三次元座標測定機)の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  高増潔
- 研究期間 (年度)
  1995 – 1997
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  知能機械学・機械システム
- 研究機関
  東京大学
移動ロボットの3次元位置・変位の測定方法の研究研究代表者
- 研究代表者
  
  高増潔
- 研究期間 (年度)
  1993 – 1994
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  知能機械学・機械システム
- 研究機関
  東京大学
統合化した三次元座標測定システムの構成
- 研究代表者
  
  大園成夫
- 研究期間 (年度)
  1985 – 1986
- 研究種目
  
  一般研究(B)
- 研究分野
  
  機械要素
- 研究機関
  東京大学

[図書] ナノ・マイクロスケール機械工学2014
- 著者名/発表者名
  石原直，加藤千幸，光石衛，渡邉聡編，高増潔，高橋哲他
- 総ページ数
  266
- 出版者
  東京大学出版
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[図書] 日本機械学会編:機械工学便覧デザイン編β5計測工学2007
- 著者名/発表者名
  高増潔他
- 総ページ数
  350
- 出版者
  日本機械学会
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[図書] 日本機械学会編:機械工学便覧デザイン編β5計測工学2007
- 著者名/発表者名
  高増潔, 他
- 総ページ数
  350
- 出版者
  日本機械学会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[図書] 日本機械学会編: 機械工学便覧デザイン編β3 加工学・加工機器2006
- 著者名/発表者名
  高増潔他
- 総ページ数
  250
- 出版者
  日本機械学会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18636002
[図書] 人と共存するコンピュータ・ロボット学(実世界情報システム)2004
- 著者名/発表者名
  高増潔, 小谷潔(東京大学21世紀COE実世界情報プロジェクト)
- 総ページ数
  292
- 出版者
  オーム社
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] Fabrication of nano/micro dual-periodic structures by multi-beam evanescent wave interference lithography using spatial beats2019
- 著者名/発表者名
  Masui Shuzo、Torii Yuki、Michihata Masaki、Takamasu Kiyoshi、Takahashi Satoru
- 雑誌名
  
  Optics Express
  
  巻: 27 号: 22 ページ: 31522-31522
- DOI
  10.1364/oe.27.031522
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18J21820, KAKENHI-PROJECT-15H02214
[雑誌論文] Comparative evaluation of estimation of step gauge measurement uncertainty via Monte Carlo simulation2019
- 著者名/発表者名
  Miura Yuka、Nakanishi Shoichi、Higuchi Eiichi、Takamasu Kiyoshi、Abe Makoto、Sato Osamu
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 55 ページ: 390-396
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2018.10.007
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[雑誌論文] In-process measurement for cure depth control of nano stereolithography using evanescent light2019
- 著者名/発表者名
  S. Takahashi, D. Kong, M. Michihata, K. Takamasu
- 雑誌名
  
  CIRP Annals - Manufacturing Technology
  
  巻: 68 号: 1 ページ: 527-530
- DOI
  10.1016/j.cirp.2019.04.072
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[雑誌論文] A new measurement method to simultaneously determine group refractive index and thickness of a sample using low-coherence tandem interferometry2019
- 著者名/発表者名
  Winarno Agustinus、Takahashi Satoru、Matsumoto Hirokazu、Takamasu Kiyoshi
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 55 ページ: 254-259
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2018.09.013
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[雑誌論文] Comparative evaluation of estimation of hole plate measurement uncertainty via Monte Carlo simulation2019
- 著者名/発表者名
  Miura Yuka、Nakanishi Shoichi、Higuchi Eiichi、Takamasu Kiyoshi、Abe Makoto、Sato Osamu
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 56 ページ: 496-505
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2019.02.007
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[雑誌論文] Linewidth roughness of advanced semiconductor features using focused ion beam and planar-transmission electron microscope as reference metrology2018
- 著者名/発表者名
  Takamasu Kiyoshi、Takahashi Satoru、Kawada Hiroki、Ikota Masami
- 雑誌名
  
  Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS
  
  巻: 17 号: 04 ページ: 1-1
- DOI
  10.1117/1.jmm.17.4.041010
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[雑誌論文] Surface Imaging Technique by an Optically Trapped Microsphere in Air Condition2018
- 著者名/発表者名
  Michihata Masaki、Kim Jonggang、Takahashi Satoru、Takamasu Kiyoshi、Mizutani Yasuhiro、Takaya Yasuhiro
- 雑誌名
  
  Nanomanufacturing and Metrology
  
  巻: 1 号: 1 ページ: 32-38
- DOI
  10.1007/s41871-018-0004-0
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H04900, KAKENHI-PROJECT-26249006
[雑誌論文] In-process Measurement of Gradient Boundary of Resin in Evanescent-wave-based Nano-stereolithography using Reflection Interference Near Critical Angle2018
- 著者名/発表者名
  Deqing Kong, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 31 号: 3 ページ: 441-446
- DOI
  10.2494/photopolymer.31.441
- NAID
  130007481467
- ISSN
  0914-9244, 1349-6336
- 年月日
  2018-06-25
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[雑誌論文] Modified Linnik microscopic interferometry for quantitative depth evaluation of diffraction-limited microgroove2018
- 著者名/発表者名
  Ye Shiwei、Takahashi Satoru、Michihata Masaki、Takamasu Kiyoshi
- 雑誌名
  
  Measurement Science and Technology
  
  巻: 29 号: 5 ページ: 054011-054011
- DOI
  10.1088/1361-6501/aab008
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006, KAKENHI-PROJECT-15H02214
[雑誌論文] Whispering Gallery Mode共振を用いたマイクロ球の直径計測2018
- 著者名/発表者名
  MICHIHATA Masaki、CHU Bohuai、ZHAO Zheng、HAYASHI Kohei、TAKAMASU Kiyoshi、TAKAHASHI Satoru
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 84 号: 1 ページ: 77-84
- DOI
  10.2493/jjspe.84.77
- NAID
  130006301970
- ISSN
  0912-0289, 1882-675X
- 年月日
  2018-01-05
- 言語
  日本語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[雑誌論文] 組み替えおよび分解可能な超音波検査ロボットの開発と校正手法の提案2018
- 著者名/発表者名
  Matsuno Shigeru、Numata Takashi、Iwahashi Toshihide、Takamasu Kiyoshi、Kotani Kiyoshi、Jimbo Yasuhiko
- 雑誌名
  
  電気学会論文誌Ｃ（電子・情報・システム部門誌）
  
  巻: 138 号: 9 ページ: 1133-1140
- DOI
  10.1541/ieejeiss.138.1133
- NAID
  130007479917
- ISSN
  0385-4221, 1348-8155
- 年月日
  2018-09-01
- 言語
  日本語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006, KAKENHI-PROJECT-15H05324
[雑誌論文] Noncontact method of point-to-point absolute distance measurement using tandem low-coherence interferometry2018
- 著者名/発表者名
  Winarno Agustinus、Masuda Shusei、Takahashi Satoru、Matsumoto Hirokazu、Takamasu Kiyoshi
- 雑誌名
  
  Measurement Science and Technology
  
  巻: 29 号: 2 ページ: 025006-025006
- DOI
  10.1088/1361-6501/aaa16e
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[雑誌論文] In-Process Measurement of Thickness of Cured Resin in Evanescent-Wave-Based Nano-stereolithography Using Critical Angle Reflection2018
- 著者名/発表者名
  Kong Deqing、Michihata Masaki、Takamasu Kiyoshi、Takahashi Satoru
- 雑誌名
  
  Nanomanufacturing and Metrology
  
  巻: 1 号: 2 ページ: 112-124
- DOI
  10.1007/s41871-018-0013-z
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006, KAKENHI-PROJECT-15H02214
[雑誌論文] 温度環境を考慮した三次元測定機の高度化2018
- 著者名/発表者名
  大西徹、高増潔
- 雑誌名
  
  設計工学
  
  巻: 53 号: 4 ページ: 313-322
- DOI
  10.14953/jjsde.2017.2749
- NAID
  130006639076
- ISSN
  0919-2948, 2188-9023
- 言語
  日本語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[雑誌論文] One-shot stereolithography for biomimetic micro hemisphere covered with relief structure2018
- 著者名/発表者名
  Suzuki Yuki、Suzuki Kunikazu、Michihata Masaki、Takamasu Kiyoshi、Takahashi Satoru
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 54 ページ: 353-360
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2018.07.004
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006, KAKENHI-PROJECT-15H02214
[雑誌論文] Theoretical analyses of in-process depth measurements of fine microgrooves based on near-field optical response2017
- 著者名/発表者名
  Takahashi S.、Jin C.、Ye S.、Michihata M.、Takamasu K.
- 雑誌名
  
  CIRP Annals
  
  巻: 66 号: 1 ページ: 503-506
- DOI
  10.1016/j.cirp.2017.04.064
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[雑誌論文] Scanning dimensional measurement using laser-trapped microsphere with optical standing-wave scale2017
- 著者名/発表者名
  Michihata Masaki、Ueda Shin-ichi、Takahashi Satoru、Takamasu Kiyoshi、Takaya Yasuhiro
- 雑誌名
  
  Optical Engineering
  
  巻: 56 号: 06 ページ: 064103-064103
- DOI
  10.1117/1.oe.56.6.064103
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[雑誌論文] A Simulation Study of Plasmonic Substrate for In-Process Measurement of Refractive Index in Nano-Stereolithography2017
- 著者名/発表者名
  Michihata Masaki、Kong Deqing、Takamasu Kiyoshi、Takahashi Satoru
- 雑誌名
  
  International Journal of Automation Technology
  
  巻: 11 号: 5 ページ: 772-780
- DOI
  10.20965/ijat.2017.p0772
- NAID
  130007505873
- ISSN
  1881-7629, 1883-8022
- 年月日
  2017-09-05
- 言語
  英語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[雑誌論文] High-Precision Aspheric Surface Measurement Using Scanning Deflectometry: Three-Dimensional Error Analysis and Experiments2017
- 著者名/発表者名
  Hu Tingzhi、Xiao Muzheng、Wang Xicheng、Wang Chao、Zhang Zhijing、Takamasu Kiyoshi
- 雑誌名
  
  International Journal of Automation Technology
  
  巻: 11 号: 5 ページ: 728-735
- DOI
  10.20965/ijat.2017.p0728
- NAID
  130007505964
- ISSN
  1881-7629, 1883-8022
- 年月日
  2017-09-05
- 言語
  英語
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[雑誌論文] Is the Two-Color Method Superior to Empirical Equations in Refractive Index Compensation?2016
- 著者名/発表者名
  Dong Wei, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 雑誌名
  
  Optics and Photonics Journal
  
  巻: 2016 (6) 号: 08 ページ: 8-13
- DOI
  10.4236/opj.2016.68b002
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[雑誌論文] Non-contact measurement technique for dimensional metrology using optical comb2016
- 著者名/発表者名
  Wiroj Sudatham, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  Measurement
  
  巻: 78 ページ: 381-387
- DOI
  10.1016/j.measurement.2015.07.053
- 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630087, KAKENHI-PROJECT-26249006
[雑誌論文] Non-contact precision profile measurement to rough-surface objects with optical frequency combs2016
- 著者名/発表者名
  Onoe Taro、Takahashi Satoru、Takamasu Kiyoshi、Matsumoto Hirokazu
- 雑誌名
  
  Measurement Science Technology
  
  巻: 27 号: 12 ページ: 124002-124002
- DOI
  10.1088/0957-0233/27/12/124002
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[雑誌論文] Calibration for the sensitivity of multi-beam angle sensor using cylindrical plano-convex lens2016
- 著者名/発表者名
  Chen Meiyun、Takahashi Satoru、Takamasu Kiyoshi
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 46 ページ: 254-262
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2016.05.004
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[雑誌論文] Evanescent Light Exposing System under Nitrogen Purge for Nano- Stereolithography2016
- 著者名/発表者名
  Yuki Suzuki, Hiroyuki Tahara, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 雑誌名
  
  Procedia CIRP
  
  巻: 42 ページ: 77-80
- DOI
  10.1016/j.procir.2016.02.192
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[雑誌論文] Diagonal in space of coordinate measuring machine verification using an optical-comb pulsed interferometer with a ball-lens target2016
- 著者名/発表者名
  Wiroj Sudatham, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 43 ページ: 486-492
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2015.09.017
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630087
[雑誌論文] Multi-beam angle sensor for flatness measurement of mirror using circumferential scan technology2016
- 著者名/発表者名
  Chen Meiyun、Takahashi Satoru、Takamasu Kiyoshi
- 雑誌名
  
  International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
  
  巻: 17 号: 9 ページ: 1093-1099
- DOI
  10.1007/s12541-016-0133-6
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[雑誌論文] Automatic Recording Absolute Length-Measuring System with Fast Optical-Comb Fiber Interferometer2015
- 著者名/発表者名
  Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  International Journal of Automation Technology
  
  巻: 9 号: 5 ページ: 482-486
- DOI
  10.20965/ijat.2015.p0482
- NAID
  130007674121
- ISSN
  1881-7629, 1883-8022
- 年月日
  2015-09-05
- 言語
  英語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630087, KAKENHI-PROJECT-26249006
[雑誌論文] Development of high-precision micro-roundness measuring machine using a high-sensitivity and compact multi-beam angle sensor2015
- 著者名/発表者名
  Meiyun Chen, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 42 ページ: 276-282
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2015.05.009
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[雑誌論文] 変調照明シフトによる超精密加工表面の超解像光学式欠陥計測に関する研究（第4報）2015
- 著者名/発表者名
  工藤良太, 高橋哲, 高増潔
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 81 号: 7 ページ: 684-691
- DOI
  10.2493/jjspe.81.684
- NAID
  130005084685
- ISSN
  0912-0289, 1882-675X
- 言語
  日本語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[雑誌論文] 変調照明シフトによる超精密加工表面の超解像光学式欠陥計測に関する研究 (第3報)2015
- 著者名/発表者名
  工藤良太, 高橋哲, 高増潔
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 81 号: 6 ページ: 562-569
- DOI
  10.2493/jjspe.81.562
- NAID
  130005074035
- ISSN
  0912-0289, 1882-675X
- 言語
  日本語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[雑誌論文] Concept for laser-assisted nano removal beyond the diffraction limit using photocatalyst nanoparticles2015
- 著者名/発表者名
  S. Takahashi, Y. Horita, F. Kaji, Y. Yamaguchi, M. Michihata, K. Takamasu
- 雑誌名
  
  CIRP Annals - Manufacturing Technology
  
  巻: 未定号: 1 ページ: 201-204
- DOI
  10.1016/j.cirp.2015.04.041
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028, KAKENHI-PROJECT-26249006
[雑誌論文] Verification of the positioning accuracy of industrial coordinate measuring machine using optical-comb pulsed interferometer with a rough metal ball targetOriginal Research Article2015
- 著者名/発表者名
  Wiroj Sudatham, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  Precision Engineering 41
  
  巻: 41 ページ: 63-67
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2015.01.007
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630087, KAKENHI-PROJECT-26249006
[雑誌論文] レーザー集光点近傍における光触媒反応を利用した三次元微細構造創製に関する研究2015
- 著者名/発表者名
  堀田陽亮，吉越久倫，松田恵介，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 雑誌名
  
  日本機械学会論文集
  
  巻: 81 号: 832 ページ: 15-00309-15-00309
- DOI
  10.1299/transjsme.15-00309
- NAID
  130005118095
- ISSN
  2187-9761
- 言語
  日本語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[雑誌論文] Performance evaluation of a coordinate measuring machine’s axis using a high-frequency repetition mode of a mode-locked fiber laser2014
- 著者名/発表者名
  Narin Chanthawong, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 雑誌名
  
  International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 15 (8)
  
  巻: 15 (8) 号: 8 ページ: 1507-1512
- DOI
  10.1007/s12541-014-0498-3
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630087, KAKENHI-PROJECT-26249006
[雑誌論文] Length Traceability using Optical Frequency Comb2014
- 著者名/発表者名
  Dong Wei, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials 625
  
  巻: 625 ページ: 322-325
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/kem.625.322
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630087
[雑誌論文] High-accuracy calibration of CMM using temporal-coherence fiber interferometer with fast-repetition comb laser2014
- 著者名/発表者名
  Narin Chanthawong, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials 625
  
  巻: 625 ページ: 66-72
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/kem.625.66
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630087
[雑誌論文] A novel dark field in-process optical inspection method for micro-openings on mirrored surfaces beyond the diffraction limit using active phase control2014
- 著者名/発表者名
  S. Takahashi, H. Yokozeki, D. Fujii, R. Kudo, K. Takamasu
- 雑誌名
  
  CIRP Annals - Manufacturing Technology
  
  巻: 63 号: 1 ページ: 465-468
- DOI
  10.1016/j.cirp.2014.03.035
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630018, KAKENHI-PROJECT-26249006
[雑誌論文] Profile measurement of aspheric surfaces using scanning deflectometry and rotating autocollimator with wide measuring range2014
- 著者名/発表者名
  Kyohei Ishikawa, Tomohiko Takamura, Muzheng Xiao, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  Measurement Science and Technology 25 (6)
  
  巻: 25 (6) 号: 6 ページ: 0640081-7
- DOI
  10.1088/0957-0233/25/6/064008
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630087, KAKENHI-PROJECT-26249006
[雑誌論文] Fabrication and Composition Control of Three-Dimensional Dielectric Metal Microstructure Using Photocatalyst Nanoparticles2014
- 著者名/発表者名
  Hisamichi Yoshigoe, Shotaro Kadoya, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  International Journal of Automation Technology
  
  巻: 8(4) ページ: 523-529
- NAID
  130007674071
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028
[雑誌論文] Lateral resolution improvement of laser-scanning imaging for nano defects detection2014
- 著者名/発表者名
  Hiroki Yokozeki, Ryota Kudo, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  Advanced Optical Technologies
  
  巻: 3(4) 号: 4 ページ: 425-433
- DOI
  10.1515/aot-2014-0030
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630018
[雑誌論文] Two-color absolute length measuring method based on pulse repetition interval lengths2014
- 著者名/発表者名
  Wei, Dong Aketagawa, Masato Takamasu, Kiyoshi Matsumoto, Hirokazu
- 雑誌名
  
  Optical Engineering
  
  巻: 53 号: 12 ページ: 1224131-5
- DOI
  10.1117/1.oe.53.12.122413
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25820171, KAKENHI-PROJECT-26630087, KAKENHI-PROJECT-26249006
[雑誌論文] Random error analysis of profile measurement of large aspheric optical surface using scanning deflectometry with rotation stage Original Research Article2013
- 著者名/発表者名
  Muzheng Xiao, Tomohiko Takamura, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  Precision Engineering 37, No.3 (2013)
  
  巻: 37 号: 3 ページ: 599-605
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2013.01.005
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[雑誌論文] Study on nano thickness inspection for residual layer of nanoimprint lithography using near-field optical enhancement of metal tip2013
- 著者名/発表者名
  S. Takahashi, Y. Ikeda, K. Takamasu
- 雑誌名
  
  CIRP Annals - Manufacturing Technology 62 (2013) 527–530
  
  巻: 62 号: 1 ページ: 527-530
- DOI
  10.1016/j.cirp.2013.03.020
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23656097
[雑誌論文] 現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究 (第4報)2013
- 著者名/発表者名
  大西徹，中西正一，高増潔
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 79 号: 4 ページ: 338-343
- DOI
  10.2493/jjspe.79.338
- NAID
  130004513541
- ISSN
  0912-0289, 1882-675X
- 言語
  日本語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[雑誌論文] Synthetic adjacent pulse repetition interval length method to solve integer ambiguity problem: theoretical analysis2013
- 著者名/発表者名
  D. Wei, K. Takamasu, H. Matsumoto
- 雑誌名
  
  Journal of the European Optical Society
  
  巻: 8 ページ: 130161-6
- DOI
  10.2971/jeos.2013.13016
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23656175
[雑誌論文] Spatial positioning measurements up to 150 m using temporal coherence of optical frequency comb Original Research Article2013
- 著者名/発表者名
  Xiaonan Wang, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 雑誌名
  
  Precision Engineering 37, No.3 (2013)
  
  巻: 37 号: 3 ページ: 635-639
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2013.01.008
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23656175
[雑誌論文] A study of the possibility of using an adjacent pulse repetition interval length as a scale using a Helium-Neon interferometer Original Research Article2013
- 著者名/発表者名
  Dong Wei, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 雑誌名
  
  Precision Engineering 37, No.3 (2013)
  
  巻: 37 号: 3 ページ: 694-698
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2013.02.001
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23656175, KAKENHI-PROJECT-23860013
[雑誌論文] Fundamental study on nanoremoval processing method for microplastic structures using photocatalyzed oxidation2012
- 著者名/発表者名
  Takahiro Sekino, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: 523-524 ページ: 610-614
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/kem.523-524.610
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23246028
[雑誌論文] Development of a non-contact precision measurement technique using optical frequency combs2012
- 著者名/発表者名
  Taro Onoe, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: 523-524 ページ: 877-882
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/kem.523-524.877
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23656175
[雑誌論文] Sub-Nanometer Line Width and Line Profile Measurement Using STEM Images with Metal Coating2012
- 著者名/発表者名
  Haruki Okito, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: 523-524 ページ: 957-960
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/kem.523-524.957
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[雑誌論文] New Non-contact Measurement of Small Inside-diameter Using Tandem Low-coherence Interferometer and Optical Fiber Devices2012
- 著者名/発表者名
  Kenta Matsui, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: 523-524 ページ: 871-876
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/kem.523-524.871
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23656175
[雑誌論文] Absolute Measurement ｏｆ　Ｂａｓelines up to　403 m Using Heterodyne Temporal Coherence Interferometer with Optical Frequency Comb2012
- 著者名/発表者名
  Hirokazu Matsumoto, Xiaonan Wang, Kiyoshi Takamasu, Tomohiro Aoto
- 雑誌名
  
  Applied Physics Express
  
  巻: 5 号: 4 ページ: 0466011-3
- DOI
  10.1143/apex.5.046601
- NAID
  10030593263
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[雑誌論文] Submicrometer thickness layer fabrication for layer-by-layer microstereolithography using evanescent light2012
- 著者名/発表者名
  S. Takahashi, Y. Kajihara, K. Takamasu
- 雑誌名
  
  CIRP Annals - Manufacturing Technology
  
  巻: 61 号: 1 ページ: 219-222
- DOI
  10.1016/j.cirp.2012.03.069
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23246028, KAKENHI-PROJECT-24686006
[雑誌論文] Space position measurement using long-path heterodyne interferometer with optical frequency comb2012
- 著者名/発表者名
  Xiaonan Wang, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 雑誌名
  
  Optics Express
  
  巻: 20 号: 3 ページ: 2725-2732
- DOI
  10.1364/oe.20.002725
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23656175
[雑誌論文] Influence of standing wave phase error on super-resolution optical inspection for periodic microstructures2012
- 著者名/発表者名
  R. Kudo, S. Usuki, S. Takahashi, K. Takamasu
- 雑誌名
  
  Meas. Sci. Technol.
  
  巻: 23 号: 5 ページ: 0540071-13
- DOI
  10.1088/0957-0233/23/5/054007
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23656097
[雑誌論文] Nanometer profile measurement of large aspheric optical surface by scanning deflectometry with rotatable devices: Uncertainty propagation analysis and experiments2012
- 著者名/発表者名
  Muzheng Xiao, Satomi Jujo, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 36 号: 1 ページ: 91-96
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2011.07.012
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23656175
[雑誌論文] Absolute measurement of gauge block without wringing using tandem low-coherence interferometry2012
- 著者名/発表者名
  AgustinusWinarno, Satoru Takahashi, AkikoHirai, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 雑誌名
  
  Meas. Sci. Technol.
  
  巻: 23 号: 12 ページ: 1250011-8
- DOI
  10.1088/0957-0233/23/12/125001
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23656175
[雑誌論文] Temporal coherence shaping based on spectral-domain destructive interference of pulses with different self-phase modulations2012
- 著者名/発表者名
  D. Wei, K. Takamasu, H. Matsumoto
- 雑誌名
  
  Journal of the European Optical Society
  
  巻: 8 ページ: 130181-6
- DOI
  10.2971/jeos.2013.13018
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23656175
[雑誌論文] Remote Internal Diameter Measurement of Ring Gauge based on a Low-coherence Tandem Scheme2012
- 著者名/発表者名
  Dong Wei, Nan Wu, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: 516 ページ: 533-538
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/kem.516.533
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23656175
[雑誌論文] Height measurement of single nanoparticles based on evanescent field modulation2012
- 著者名/発表者名
  Takayuki Kurihara, Ryuichi Sugimoto, Ryota Kudo, S. Takahashi, K. Takamasu
- 雑誌名
  
  International Journal of Nanomanufacturing
  
  巻: 8 号: 5/6 ページ: 419-430
- DOI
  10.1504/ijnm.2012.051105
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[雑誌論文] Absolute Measurement ｏｆ　Ｂａｓelines up to　403 m Using Heterodyne Temporal Coherence Interferometer with Optical Frequency Comb2012
- 著者名/発表者名
  Narin　Chanthawong ，Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 雑誌名
  
  MEASUREMENT SCIENCE AND TECHNOLOGY
  
  巻: 23 号: 5 ページ: 0540031-6
- DOI
  10.1088/0957-0233/23/5/054003
- NAID
  10030593263
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[雑誌論文] Super resolution optical measurements of nanodefects on Si wafer surface using infrared standing evanescent wave2011
- 著者名/発表者名
  S. Takahashi, R. Kudo, S. Usuki, K. Takamasu
- 雑誌名
  
  CIRP Annals - Manufacturing Technology
  
  巻: 60 ページ: 523-526
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656097
[雑誌論文] Multi-probe scanning system comprising three laser interferometers and one autocollimator for measuring flat bar mirror profile with nanometer accuracy2011
- 著者名/発表者名
  Ping Yang, Tomohiko Takamura, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Osamu Sato, Sonko Osawa, Toshiyuki Takatsuji
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 35 号: 4 ページ: 686-692
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2011.05.001
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[雑誌論文] Super resolution optical measurements of nanodefects on Si wafer surface using infrared standing evanescent wave2011
- 著者名/発表者名
  S. Takahashi, R. Kudo, S. Usuki, K. Takamasu
- 雑誌名
  
  CIRP Annals - Manufacturing Technology
  
  巻: 60 号: 1 ページ: 523-526
- DOI
  10.1016/j.cirp.2011.03.053
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23656097
[雑誌論文] Time-of-flight method using multiple pulse train interference as a time recorder2011
- 著者名/発表者名
  Dong Wei, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 雑誌名
  
  Optics Express
  
  巻: 19(6) ページ: 4881-4889
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[雑誌論文] Development of high-precision micro-coordinate measuring machine: Multi-probe measurement system for measuring yaw and straightness motion error of XY linear stage2011
- 著者名/発表者名
  Ping Yang, Tomohiko Takamura, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Osamu Sato, Sonko Osawa, Toshiyuki Takatsuji
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 35 号: 3 ページ: 424-430
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2011.01.004
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[雑誌論文] Theoretical Analysis of Length Measurement Using Interference of Multiple Pulse Trains of a Femtosecond Optical Frequency Comb2011
- 著者名/発表者名
  Dong Wei, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 50(2)
- NAID
  40018283309
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[雑誌論文] Simulation-Based Analysis of Influence of Error on Super-Resolution Optical Inspection2011
- 著者名/発表者名
  Ryota Kudo, Shin Usuki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  Int.J.of Automation Technology
  
  巻: 5(2) ページ: 167-172
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[雑誌論文] Laser direct fabrication of three-dimensional microstructures using photocatalyst nanoparticles2010
- 著者名/発表者名
  Satoru Takahashi, Keisuke Matsuda, Hisamichi Yoshigoe, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  Proceedings of CIRP-HPC 1
  
  ページ: 381-384
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360062
[雑誌論文] 現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究(第3報)-低熱膨張ブロックゲージを用いた温度補正の評価-2010
- 著者名/発表者名
  大西徹, 高瀬省徳, 高増潔
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 76(5) ページ: 541-545
- NAID
  130000421822
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[雑誌論文] Development of In-process Visualization System for Laser-Assisted Three-Dimensional Microfabrication using Photocatalyst Nanoparticles2010
- 著者名/発表者名
  Keisuke Matsuda, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
  
  巻: 11,6 ページ: 811-815
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360062
[雑誌論文] Development of In-process Visualization System for Laser-Assisted Three-Dimensional Microfabrication using Photocatalyst Nanoparticles2010
- 著者名/発表者名
  Keisuke Matsuda, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 11, 6
  
  ページ: 811-815
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360062
[雑誌論文] Development of In-process Visualization System for Laser-assisted Three-dimensional Microfabrication using Photocatalyst Nanoparticles2010
- 著者名/発表者名
  Keisuke Matsuda, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
  
  巻: 11(6) ページ: 811-815
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[雑誌論文] A novel resist surface profilometer for next-generation photolithography using mechano-optical arrayed probe system2010
- 著者名/発表者名
  S.Takahashi, K.Watanabe, K.Takamasu
- 雑誌名
  
  CIRP Annals-Manufacturing Technology
  
  巻: 59 ページ: 521-524
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[雑誌論文] A Multi-probe Measurement Method to Evaluate the Yaw and Straightness Errors of XY Stage on High Precision CMM2010
- 著者名/発表者名
  Ping Yang, Shusaku Shibata, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Osamu Sato, Sonko Osawa, Toshiyuki Takatsuji
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: 447-448 ページ: 590-594
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[雑誌論文] Profile Measurement of Large Aspheric Optical Surface by Scanning Deflectometry with Rotatable Optical Devices-Error Analysis and Pre-experiment-2010
- 著者名/発表者名
  Muzheng Xiao, Satomi Jujo, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: 447-448 ページ: 604-608
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[雑誌論文] Laser direct fabrication of three-dimensional microstructures using photocatalyst nanoparticles2010
- 著者名/発表者名
  Satoru Takahashi, Keisuke Matsuda, Hisamichi Yoshigoe, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  Proceedings of CIRP-HPC
  
  巻: 1 ページ: 381-384
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360062
[雑誌論文] Uncertainty Estimation in Intelligent Coordinate and Profile Measurement2010
- 著者名/発表者名
  Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi, Xin Chen
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: 447-448 ページ: 564-568
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[雑誌論文] Study on resist layer thickness measurement for nanoimprint lithography based on near-field optics2009
- 著者名/発表者名
  S. Takahashi, S. Minamiguchi, T. Nakao, S. Usuki, K. Takamasu
- 雑誌名
  
  International Journal Surface Science and Engineering (印刷中(掲載確定))
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360062
[雑誌論文] Novel laser applications to 3-D micromachining and high-resolution measurement for micor/nano-manufacturing2009
- 著者名/発表者名
  S.Takahashi, K.Takamasu
- 雑誌名
  
  Jsme News -Surface Engineering and Science- 20, 2
  
  ページ: 8-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360062
[雑誌論文] In-process visualization of laser-assisted three-dimensional microfabrication using photocatalyst nanoparticles2009
- 著者名/発表者名
  Keisuke Matsuda, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  Proceedings of ASPEN2009
  
  巻: 206
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360062
[雑誌論文] In-process visualization of laser-assisted three-dimensional microfabrication using photocatalyst nanoparticles2009
- 著者名/発表者名
  Keisuke Matsuda, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  Proceedings of ASPEN 2009,2C6
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360062
[雑誌論文] Novel laser applications to 3-D micromachining and high-reso lution measurement for micor/nano-manufacturing2009
- 著者名/発表者名
  S.Takahashi, K.Takamasu
- 雑誌名
  
  Jsme News -Surface Engineering and Science-
  
  巻: 20, 2 ページ: 8-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360062
[雑誌論文] Intelligent Profile Measurement for Wide-Area Resist Surface Using Multi-Sensor AFM System2008
- 著者名/発表者名
  S. Liu, K. Watanabe, S. Takahashi, K. Takamasu
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials 381-382
  
  ページ: 407-410
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] Study on Scanning Squareness Measurement Method and Uncertainty Estimation2008
- 著者名/発表者名
  X. Chen, K. Takamasu
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials 381-382
  
  ページ: 569-572
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] Development of an in-process confocal positioning system for nano-stereolithography using evaenscent light2008
- 著者名/発表者名
  Y.Kajihara, T.Takeuchi, S.Takahashi, K.Takamasu
- 雑誌名
  
  International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 9, 3
  
  ページ: 51-54
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360062
[雑誌論文] Study on Scanning Squareness Measurement Method and Uncertainty Estimation2008
- 著者名/発表者名
  X.Chen, K.Takamasu
- 雑誌名
  
  Key Enineering Materials 381-382
  
  ページ: 569-572
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] 変調照明シフトによる超精密加工表面の超解像光学式欠陥計測に関する研究(第2報)-定在は照明シフト実験による解像原理の実験的検証-2008
- 著者名/発表者名
  臼杵深, 西岡宏晃, 高橋哲, 高増潔
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 74,6(掲載確定・印刷中)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18656041
[雑誌論文] 変調照明シフトによる超精密加工表面の超解像光学式欠陥計測に関する研究(第1報)-解像特性の理論的検討-2008
- 著者名/発表者名
  臼杵深, 西岡宏晃, 高橋哲, 高増潔
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 74,5(掲載確定・印刷中)
- NAID
  110006668363
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18656041
[雑誌論文] Postural-induced phase shift of respiratory sinus arrhythmia and blood pressure variations : insight from respiratory-phase domain analysis2008
- 著者名/発表者名
  Kiyoshi Kotani, Kiyoshi Takamasu, Yasuhiko Jimbo, Yoshiharu Yamamoto
- 雑誌名
  
  American Journal of Physiology-Heart and Circulatory Physiology 294
  
  ページ: 1481-1489
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] Evanescent light photopolymerization and measurement of cure depth in nanostereolithography2008
- 著者名/発表者名
  Y. Kajihara, Y. Inazuki, T. Takeuchi, S. Takahashi, K. Takamasu
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters 92
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] Uncertainty Estimation Using Monte-Carlo Method Constrained by Correlations of the Data2008
- 著者名/発表者名
  M. Nara, M. Abbe, K. Takamasu
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials 381-382
  
  ページ: 587-590
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] Intelligent Profile Measurement for Wide-Area Resist Surface Using Multi-Sensor AFM System2008
- 著者名/発表者名
  S.Liu, K.Watanabe, S.Takahashi, K.Takamasu
- 雑誌名
  
  Key Emgineering Materials 381-382
  
  ページ: 407-410
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] Evanescent light photopolymerization and measurement of cure depth in nanostereolithography2008
- 著者名/発表者名
  Y.Kajihara, Y.Inazuki, T.Takeuchi, S.Takahashi, K.Takamasu
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters 92
  
  ページ: 931201-3
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] Development of an in-process confocal positioning system for nano-stereolithography using evaenscent light2008
- 著者名/発表者名
  Y. Kajihara, T. Takeuchi, S. Takahashi, K. Takamasu
- 雑誌名
  
  International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 9,3
  
  ページ: 51-54
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360062
[雑誌論文] Uncertainty Estimation Usin Monte-Carlo Method Constrained by Correlations of the Data2008
- 著者名/発表者名
  M.Nara, M.Abbe K.Takamasu
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials 381-382
  
  ページ: 587-590
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] Postural-induced phase shift of respiratory sinus arrhythmia and blood pressure variations: insight from respiratory-phase domain analysis2008
- 著者名/発表者名
  Kiyoshi Kotani, Kiyoshi Takamasu, Yasuhiko Jimbo, Yoshiharu Yamamoto
- 雑誌名
  
  American Journal of Physiology-Heart and Circulatory Physiology 294
  
  ページ: 1481-1489
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] Postural-induced phase shift of respiratory sinus arrhythmia and blood pressure variations:insight from respiratory-phase domain analysis2008
- 著者名/発表者名
  Kiyoshi Kotani, Kiyoshi Takamasu, Yasuhiko Jimbo, Yoshiharu Yamamoto
- 雑誌名
  
  American Journal of Phsiolo-Heart and Circulatory Physiology 294
  
  ページ: 1481-1489
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] Theoretical and numerical analysis of lateral resolution improvement characteristics for fluorescence microscopy using standing evanescent light with image retrieval2008
- 著者名/発表者名
  S Takahashi, S Okada, H Nishioka, S Usuki and K Takamasu
- 雑誌名
  
  Measurement Science and Technology 19(掲載確定・印刷)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18656041
[雑誌論文] Study on Nano-Stereolithography Using Evanescent Light (2nd report)-Photofabrication of Fine Lattice Structures Using Standing Evanescent Light2007
- 著者名/発表者名
  Yusuke Kajihara, Yuichi Inazuki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  Journal of Japan Society for Precision Engineering 73,8
  
  ページ: 934-939
- NAID
  110006368886
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] Respiratory-phase Domain Analysis of Heart Rate Variability can Accurately Estimate Cardiac Vagal Activity during a Mental Arithmetic Task2007
- 著者名/発表者名
  K.Kotani, M.Tachibana, K, Takamasu
- 雑誌名
  
  Methods of Information in Medicine 46,3
  
  ページ: 376-385
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] Study on Spatial Frequency Domain 2-point Method (1st Report)-Calibration of Systematic Error in Case of Combining Two Sets of 2-point Method2007
- 著者名/発表者名
  Xin CHEN, Kiyoshi KOTANI, Kiyoshi TAKAMASU
- 雑誌名
  
  Journal of Japan Society for Precision Engineering 73,6
  
  ページ: 653-658
- NAID
  110006278973
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] 現場環算における三次元測定機の高度化に関する研究(第2報)一直角誤差補正-2007
- 著者名/発表者名
  大西徹, 高瀬省徳, 高増潔
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 73,7
  
  ページ: 818-822
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] 空間周波数領域2点法に関する研究(第1報)-2組の2点法を組合わせる場合の系統誤差の補2007
- 著者名/発表者名
  陳欣, 小谷潔, 高増潔
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 73,6
  
  ページ: 653-658
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] Study on Improvement Methods of CMM (Coordinate Measuring Machine) in Workshop Environment-Correction of Squareness Error2007
- 著者名/発表者名
  Tohru Ohnishi, Shotoku Takase, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  Journal of Japan Society for Precision Engineering 73,7
  
  ページ: 818-822
- NAID
  110006342951
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] 現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究(第1報): 温度ドリフトの評価および補正2007
- 著者名/発表者名
  大西徹, 高瀬省徳, 高増潔
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 73・2
  
  ページ: 270-274
- NAID
  110006163414
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18636002
[雑誌論文] エバネッセント光を利用したナノ光造形疾に関する研究(第2報)一定在エバネッセント光を利用2007
- 著者名/発表者名
  幌原優介, 稲月友一, 高橋哲, 高増潔
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 73,8
  
  ページ: 934-939
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] 現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究(第2報)-直角誤差補正-2007
- 著者名/発表者名
  大西徹, 高瀬省徳, 高増潔
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 73,7
  
  ページ: 818-822
- NAID
  110006342951
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第2報)-定在エバネッセント光を利用2007
- 著者名/発表者名
  梶原優介, 稲月友一, 高橋哲, 高増潔
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 73,8
  
  ページ: 934-939
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] Development of the Method for Estimating Cardiac Vagal Activity in Real-Time during Body Motion and Generation of the Interactive CG2007
- 著者名/発表者名
  Kiyoshi Kotani, Fumiaki Iida, Tomohiro Akagawa, Takashi Saitoh Yasuhiko Jimbo, Yoichiro Kawaguchi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  IEEJ Trans. EIS 127,10
  
  ページ: 1762-1769
- NAID
  10019958910
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] 定在エバネッセント光を用いた超解像顕微法に関する研究(第3報)-解像特性の理論的検討-2007
- 著者名/発表者名
  岡田真一, 西岡宏晃, 臼杵深, 高橋哲, 高増潔
- 雑誌名
  
  2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集芝浦
  
  ページ: 351-352
- NAID
  130005028469
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18656041
[雑誌論文] Respiratory-phase Domain Analysis of Heart Rate Variability can Accurately Estimate Cardiac Vagal Activity during a Mental Arithmetic Task2007
- 著者名/発表者名
  K. Kotani, M. Tachibana, K. Takamasu
- 雑誌名
  
  Methods of Information in Medicine 46,3
  
  ページ: 376-385
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] Investigation of the Influence of Swalloing, Coughing and Vocalizationon Heart Rate Variability with Respiratory-phase Domain Analysis2006
- 著者名/発表者名
  K. Kotani, M. Tachibana, K. Takamasu
- 雑誌名
  
  Methods of Information in Medicine 46・2
  
  ページ: 179-185
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18636002
[雑誌論文] A Super-Resolution Microscopy with Standing Evanescent Light and Image Reconstruction Method2006
- 著者名/発表者名
  Hiroaki Nishioka, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  Proc. of IMEKO XVIII World Congress 12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18656041
[雑誌論文] 平面リニアモータの精度校正に関する研究(第1報)-反射ミラーの形状計測-2006
- 著者名/発表者名
  陳欣, 高増潔, 小谷潔, 石田敏博
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 72・12
  
  ページ: 1542-1546
- NAID
  110004863756
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18636002
[雑誌論文] 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第1報)-欠陥検出特性の検討2006
- 著者名/発表者名
  臼杵深, 西岡宏晃, 高橋哲, 高増潔
- 雑誌名
  
  2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集東京
  
  ページ: 268-269
- NAID
  130005027136
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18656041
[雑誌論文] 定在エバネッセント光を用いた超解像顕微法に関する研究(第2報)-エバネッセント光散乱結像装置の開発-2006
- 著者名/発表者名
  岡田真一, 西岡宏晃, 臼杵深, 高橋哲, 高増潔
- 雑誌名
  
  2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集宇都宮
  
  ページ: 169-170
- NAID
  130004658005
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18656041
[雑誌論文] エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第6報)-ナノ光造形装置による三次元造形-2006
- 著者名/発表者名
  梶原優介, 武内徹, 高橋哲, 高増潔
- 雑誌名
  
  2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集東京電機
  
  ページ: 773-774
- NAID
  130005027597
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656049
[雑誌論文] Development of a Multi-Ball-Cantilever AFM for Measuring Resist Surface2006
- 著者名/発表者名
  Shujie Liu, Shuichi Nagasawa, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  Journal of Robotics and Mechatronics 18・6
  
  ページ: 698-704
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18636002
[雑誌論文] エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第1報)-造形基本特製の理論的・実験敵検討-2006
- 著者名/発表者名
  梶原優介, 稲月友一, 高橋哲, 高増潔
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 72・11
  
  ページ: 1391-1396
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18636002
[雑誌論文] 形体計測における不確かさの見積り(第3報)-区分多項式による直線形体の形状偏差モデル-2005
- 著者名/発表者名
  高増潔
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 71・11
  
  ページ: 1454-1458
- NAID
  110002238043
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第4報)-三次元造形における分解能制御の検討-2005
- 著者名/発表者名
  稲月友一, 梶原優介, 高橋哲, 高増潔
- 雑誌名
  
  2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集慶応
  
  ページ: 39-40
- NAID
  130004657419
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656049
[雑誌論文] エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第5報)-ナノ光造形装置の試作と基本機能の検証-2005
- 著者名/発表者名
  梶原優介, 武内徹, 高橋哲, 高増潔
- 雑誌名
  
  2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集京都
  
  ページ: 1001-1002
- NAID
  130004656647
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656049
[雑誌論文] エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第4報) -三次元造形における分解能制御の検討-2005
- 著者名/発表者名
  稲月友一, 梶原優介, 高橋哲, 高増潔
- 雑誌名
  
  2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集慶応
  
  ページ: 39-40
- NAID
  130004657419
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656049
[雑誌論文] 座標測定機のアーティファクト校正(第3報)-校正後の測定の不確かさの推定-2005
- 著者名/発表者名
  高増潔
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 71・7
  
  ページ: 890-894
- NAID
  10016464429
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] エバネッセント光を用いた微小構造造形2005
- 著者名/発表者名
  高橋哲, 梶原優介, 高増潔
- 雑誌名
  
  第63回レーザ加工学会講演論文集大阪
  
  ページ: 162-168
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656049
[雑誌論文] GPS(製品の幾何特性仕様)に基づいた検証方法-幾何公差の解釈と三次元測定機の不確かさ評価2005
- 著者名/発表者名
  高増潔
- 雑誌名
  
  設計工学 40・2
  
  ページ: 79-85
- NAID
  10014331322
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] ナノ光造形法への新しいレーザー応用技術2005
- 著者名/発表者名
  高橋哲, 梶原優介, 高増潔
- 雑誌名
  
  成形加工 17(3)
  
  ページ: 161-166
- NAID
  10016675506
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656049
[雑誌論文] 座標測定機のアーティファクト校正(第3報)-校正後の測定の不確かさの推定-2005
- 著者名/発表者名
  高増潔, 佐藤理, 下嶋賢, 古谷涼秋
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 71・7(発表予定)
- NAID
  10016464429
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] Photofabrication of Periodic submicron structures using standing evanescent light for Nano-Stereolithography2005
- 著者名/発表者名
  S.Takahashi, Y.Inazuki, Y.Kajihara, K.Takamasu
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 20th American Society for Precision Engineering Annual Meeting Norfolk
  
  ページ: 371-374
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656049
[雑誌論文] エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第2報)-積層プロセスの検討-2004
- 著者名/発表者名
  梶原優介, 稲月友一, 高橋哲, 高増潔
- 雑誌名
  
  2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集島根
  
  ページ: 941-942
- NAID
  130004655839
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656049
[雑誌論文] 計測標準高度化に関する研究2004
- 著者名/発表者名
  高瀬省徳, 大西徹, 高増潔
- 雑誌名
  
  技研所報 40・3
  
  ページ: 17-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第1報)-定在エバネッセント強度分布の適用-2004
- 著者名/発表者名
  稲月友一, 梶原優介, 高橋哲, 高増潔
- 雑誌名
  
  2004年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集東京
  
  ページ: 1285-1286
- NAID
  130004656593
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656049
[雑誌論文] パラレルメカニズムを用いたマイクロフライス盤の開発(第1報,設計パラメータの決定と試作機の製作)2004
- 著者名/発表者名
  佐藤理, 高増潔, 無類井格, Gheorghe Olea
- 雑誌名
  
  設計工学 39・4
  
  ページ: 175-181
- NAID
  10012869260
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] 座標測定機のアーティファクト校正(第2報)-冗長座標測定機の自己校正-2004
- 著者名/発表者名
  高増潔, 下嶋賢, 古谷涼秋, 佐藤理
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 70・5
  
  ページ: 711-715
- NAID
  110001823998
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[雑誌論文] Study of Nano-Stereolithography Using Evaenscent Light2004
- 著者名/発表者名
  Yusuke Kajihara, Yuichi Inazuki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 19th American Society for Precision Engineering Annual Meeting Vol.34
  
  ページ: 149-152
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656049
[雑誌論文] エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第3報)-定在エバネッセント強度分布制御法の確立-2004
- 著者名/発表者名
  稲月友一, 梶原優介, 高橋哲, 高増潔
- 雑誌名
  
  2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集島根
  
  ページ: 943-944
- NAID
  130004655840
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656049
[産業財産権] 母型の製造方法2016
- 発明者名
  高橋哲，鈴木裕貴，鈴木邦和，道畑正岐，高増潔，田中大直，西村涼
- 権利者名
  東京大学，JXエネルギー株式会社
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2016-08-17
- 外国
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[産業財産権] 照明装置および顕微観察装置2013
- 発明者名
  高橋哲,高増潔,工藤良太,臼杵深
- 権利者名
  東京大学
- 出願年月日
  2013-02-25
- 外国
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656097
[産業財産権] 照明装置および顕微観察装置2013
- 発明者名
  高橋哲，高増潔，工藤良太，臼杵深
- 権利者名
  高橋哲，高増潔，工藤良太，臼杵深
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2013-02-25
- 外国
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656097
[産業財産権] 顕微観察装置2012
- 発明者名
  高橋哲,工藤良太,高増潔
- 権利者名
  東京大学
- 産業財産権番号
  2012-178326
- 出願年月日
  2012-08-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656097
[産業財産権] 顕微観察装置2012
- 発明者名
  高橋哲，工藤良太，高増潔
- 権利者名
  高橋哲，工藤良太，高増潔
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2012-178326
- 出願年月日
  2012-08-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656097
[産業財産権] 形状形成方法2010
- 発明者名
  高橋哲, 高増潔
- 権利者名
  高橋哲, 高増潔
- 出願年月日
  2010-10-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360062
[産業財産権] 移動システム2005
- 発明者名
  高増潔, 高橋哲, 小谷潔, 大和淳司
- 権利者名
  高増潔, 高橋哲, 小谷潔, 大和淳司
- 産業財産権番号
  2005-134471
- 出願年月日
  2005-05-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] 光周波数コムを用いた高精度アライメントモニター(第4報) -圧縮されたパルス間隔の基準干渉計を用いた校正2020
- 著者名/発表者名
  久米，三部，安田，道畑，高増
- 学会等名
  2020年度精密工学会春季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H01930
[学会発表] Pulse Interval Calibration of an Optical Frequency Comb Compressed by an Etalon2019
- 著者名/発表者名
  久米，三部，安田，道畑，高増
- 学会等名
  The 8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN 2019)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H01930
[学会発表] Fabrication of nano-and micro-structured surface using spatial beat of evanescent wave interference lithography2019
- 著者名/発表者名
  Shuzo Masui, Masaki, Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahash
- 学会等名
  Proceedings of the 19th international conference of the european society for precision engineering and nanotechnology (euspen 2019)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Pulse Interval of an Optical Frequency Comb Compressed by an Etalon2019
- 著者名/発表者名
  久米，三部，安田，道畑，高増
- 学会等名
  The 14th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2019)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H01930
[学会発表] Linewidth and Roughness Measurement of SAOP by Using FIB and Planer-TEM as Reference Metrology2019
- 著者名/発表者名
  Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi, Hiroki Kawada, Masami Ikota, Stefan Decoster, Frederic Lazzarino, Gian Lorusso
- 学会等名
  SPIE Advanced Lithography, San Jose, USA
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Fabrication of dual-periodic nanostructures with multi-exposure interference lithography using Lloyd’s mirror2019
- 著者名/発表者名
  S. Masui, M. Michihata, K. Takamasu, S. Takahashi
- 学会等名
  8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology(ASPEN2019）
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] 光周波数コムを用いた高精度アライメントモニター(第3報) -リンギングを用いない光周波数コムパルス間隔の校正2019
- 著者名/発表者名
  久米，三部，安田，道畑，高増
- 学会等名
  2019年度精密工学会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H01930
[学会発表] Fabrication of Functional Subwavelength Structured Surface Using Evanescent Wave Interference Lithography2018
- 著者名/発表者名
  Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Toshihiko Shibanuma, Hironao Tanaka, Satoru Takahashi
- 学会等名
  17th International Conference on Precision Engineering
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Improvement of quantitative depth evaluation for diffraction-limited microgroove using LED light source2018
- 著者名/発表者名
  Ye Shiwei, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  XXII World Congress of the International Measurement Confederation （IMEKO 2018）
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Analysing Tapered Fiber-Microsphere Coupling for Diameter Measurement of Microsphere Using Whispering Gallery Mode Resonance2018
- 著者名/発表者名
  Yumeki Kobayashi, Zheng Zhao, Bohuai Chu, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Basic Study on Cell-in-Microfactory System with Localized Light Control2018
- 著者名/発表者名
  Seiko Furuya, Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Non-Contact High Speed Measurements of the Processed-Product Shape Using New Optical Comb Interferometer2018
- 著者名/発表者名
  Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] 局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究（第3報）－FDTD法によるマイクロ粒子の整理駆動現象の解明－2018
- 著者名/発表者名
  古谷成康，増井周造，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2018 年度精密工学会秋季大会学術講演会，函館，2018
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Self-Calibration Method of Nanometer Profile Measurement on Large Aspheric Optical Surface2018
- 著者名/発表者名
  Tomohiko Takamura, Yohan Kondo, Youichi Bitou, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Basic Study on Laser Additive Processing for Nanostructures Based on Optical Trapping Potential2018
- 著者名/発表者名
  Masahiro Hayashi, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Scattered Field Analysis for Diameter Measurement of Tapered Optical Fiber Under Counter-Propagating-Beam Illumination2018
- 著者名/発表者名
  Zheng Zhao, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Investigation of super-resolution microscopy by use of a nano-patterned substrate2018
- 著者名/発表者名
  Ryoko Sakuma, Hiromasa Kume, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  17th International Conference on Precision Engineering （ICPE 2018）
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] In-Process Measurement of Resin's Curing Degree in Micro-Stereolithography Using Internal Reflection at Critical Angle2018
- 著者名/発表者名
  D. Kong, M. Michihata, K. Takamasu, S. Takahashi
- 学会等名
  XXII World Congress of the International Measurement Confederation (IMEKO 2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] 局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究（第 4 報）一定在波制御によるマイクロ粒子整列・搬送に関する研究一2018
- 著者名/発表者名
  藤原和，増井周造，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2019年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] 局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究（第 3 報）一FDTD 法によるマイクロ粒子の整理駆動現象の解明一2018
- 著者名/発表者名
  古谷成康，増井周造，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2018年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Line Width Roughness of Advanced Semiconductor Features by Using FIB and Planar-TEM as Reference Metrology2018
- 著者名/発表者名
  Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi, Hiroki Kawada, Masami Ikota
- 学会等名
  SPIE Advanced Lithography, San Jose, USA
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Improvement of Quantitative Depth Evaluation for Diffraction-Limited Microgroove Using LED Light Source2018
- 著者名/発表者名
  Ye Shiwei1, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  XXII World Congress of the International Measurement Confederation (IMEKO 2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Absolute Measurement of Optical Path Length of the Three-Dimensional Nanoprofiler Based on the Normal Vector Tracing Method by Tandem White Light Interferometer2018
- 著者名/発表者名
  Jungmin Kang, Takao Kitayama, Ryo Kizaki, Yui Toyoshi, Agustinus Winarno, Kiyoshi Takamasu, Kazuya Yamamura, Katsuyoshi Endo
- 学会等名
  ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] 局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究（第2 報）－界面近接光波の任意制御によるマイクロ粒子整理・搬送システムの検討－，2018
- 著者名/発表者名
  古谷成康，増井周造，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2018 年度精密工学会春季大会学術講演会，中央大学，2018，P33
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] 臨界角照明を用いたナノ光造形硬化樹脂のインプロセス計測（基本原理の検証）2018
- 著者名/発表者名
  道畑正岐，孔徳卿，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  日本機械学会 2018年度年次大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Development of a Laser Tracker Using Absolute Length Measurement Technique by an Optical Comb Pulsed Interferometer2018
- 著者名/発表者名
  Shusei Masuda, Tomohiko Takamura, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] In-Process Measurement of Resin’s Curing Degree in Micro-Stereolithography Using Internal Reflection at Critical Angle2018
- 著者名/発表者名
  D. Kong, M. Michihata, K. Takamasu, S. Takahashi
- 学会等名
  XXII World Congress of the International Measurement Confederation （IMEKO 2018）
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] エバネッセント光多方位干渉造形法による次世代表面機能構造の創製（第2 報）－サブ波長表面構造の造形と光学特性評価－，2018
- 著者名/発表者名
  増井周造，鈴木裕貴，道畑正岐，高増潔，高橋哲，柴沼俊彦，田中大直
- 学会等名
  2018 年度精密工学会春季大会学術講演会，中央大学，2018，K08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Fabrication of Functional Subwavelength Structured Surface Using Evanescent Wave Interference Lithography2018
- 著者名/発表者名
  Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Toshihiko Shibanuma, Hironao Tanaka, Satoru Takahashi
- 学会等名
  17th International Conference on Precision Engineering （ICPE 2018）
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] In-Situ Measurement of the Refractive Index and Geometrical Length for Determining the Location of Optical Part Using a Tandem Low-Coherence Interferometry2018
- 著者名/発表者名
  Agustinus Winarno, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Basic Study on Cell-in-Microfactory System with Localized Light Control2018
- 著者名/発表者名
  Seiko Furuya, Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  17th International Conference on Precision Engineering
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Basic Study on Cell-in-Microfactory System with Localized Light Control - Analysis on handling performance of microparticles based on near-surface light wave -2018
- 著者名/発表者名
  Seiko Furuya, Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  17th International Conference on Precision Engineering （ICPE 2018）
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Investigation of Super-Resolution Microscopy by Use of a Nano-Patterned Substrate2018
- 著者名/発表者名
  Ryoko Sakuma, Hiromasa Kume, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Fabrication of Functional Subwavelength Structured Surface Using Evanescent Wave Interference Lithography2018
- 著者名/発表者名
  Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Toshihiko Shibanuma, Hironao Tanaka, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] エバネッセント光多方位干渉造形法による次世代表面機能構造の創製（第 3 報）一うなりによる干渉強度分布の変調特性検討一2018
- 著者名/発表者名
  増井周造，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2018年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] エバネッセント光多方位干渉造形法による次世代表面機能構造の創製（第1 報）－RCWA 法を用いた光学特性解析－，2017
- 著者名/発表者名
  増井周造，鈴木裕貴，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  －，2017 年度精密工学会秋季大会学術講演会，大阪大学，2017，L23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Highly Sensitive Back-Focal-Plane Interferometry for Tracking Nanoparticle Position2017
- 著者名/発表者名
  Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, and Satoru Takahashi
- 学会等名
  Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO2017)
- 発表場所
  San Jose, USA
- 年月日
  2017-05-14
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Highly Sensitive Back-Focal-Plane Interferometry for Tracking Nanoparticle Position2017
- 著者名/発表者名
  Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  CLEO2017, San Jose, USA
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Non-Contact Remote Measurement of Internal Distance Between Two Plane Mirrors by Using a Tandem Low-Coherence Interferometer2017
- 著者名/発表者名
  Winarno Agustinus, Shusei Masuda, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu, Takao Kitayama, Ryota Kudo, Katsuyoshi Endo
- 学会等名
  ASPEN/ASPE 2017, Spring Topical Meeting Manufacture and Metrology of Structured and Freeform Surfaces for Functional Applications
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Accuracy Evaluation of Optical Comb Probe for Coordinate Measuring Machines Verification2017
- 著者名/発表者名
  Shohei Hara, Winarno Agustinus, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第27報）-エバネッセント光による面内形状制御性の解析-2017
- 著者名/発表者名
  松本侑己，鈴木裕貴，道畑正岐，高増潔，高橋哲，工藤宏人
- 学会等名
  2017年度精密工学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川
- 年月日
  2017-03-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Precision Profile Measurement for Small Aspheric Optical Surface by an Multi-beam Angle Sensor2017
- 著者名/発表者名
  Jumpei Miyachi, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Double Imaging Micro-Stereolithography for One-Shot Curing of Surface Micro-Structure Unit2017
- 著者名/発表者名
  Yuki Matsumoto, Yuki Suzuki, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] The Development of an Absolute Internal Distance Measurement Between Two Ball Lenses Within Sub-Micro Accuracy2017
- 著者名/発表者名
  Agustinus Winarno, Shusei Masuda, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] In-process measurement on the thickness of photosensitive resin in evanescent wave-based nano-stereolithography2017
- 著者名/発表者名
  Deqing Kong, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ISMTII 2017, 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Xi'an, China
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] 自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究 (第6報) -数値流体力学を用いた液相プローブの挙動特性に関する解析-2017
- 著者名/発表者名
  浅井祥平，橘一輝，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2017年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  神奈川
- 年月日
  2017-03-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13841
[学会発表] Evaluation Strategy of Spheroidal Distortion for Micro-Sphere Based on Whispering Gallery Mode Resonance2017
- 著者名/発表者名
  K.Hayashi, B. Chu, Z. Zhao, M. Michihata, K. Takamasu, S. Takahashi
- 学会等名
  59th Ilmenau Scientific Colloquium, Ilmenau, Germany
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Thoretical Analysis of Multi-Beam Interference Lithography Combining Evanescent and Propagation Light2017
- 著者名/発表者名
  Shuzo Masui, Yuki Suzuki, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Coordinate measuring machine verification using an optical comb probe with ball-lens targets2017
- 著者名/発表者名
  Shohei Hara, Winarno Agustinus, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  ISMTII 2017, 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Xi'an, China
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Nanometer Profile Measurement on Large Aspheric Optical Surface2017
- 著者名/発表者名
  Xiang Guo, Satoru Takahashi, Yohan Kondo, Youichi Bitou, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Highly Sensitive Back-Focal-Plane Interferometry for Tracking Nanoparticle Position2017
- 著者名/発表者名
  Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  CLEO2017, San Jose, USA
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第26報）ー多光束干渉によるミリオーダ領域のサブミクロン表面微細構造創製ー2017
- 著者名/発表者名
  鈴木裕貴，松本侑己，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2017年度精密工学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川
- 年月日
  2017-03-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Non-contact method of an absolute length measurement between two ball-lenses using a tandem low-coherence interferometer2017
- 著者名/発表者名
  Winarno Agustinus, Shusei Masuda, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  ISMTII 2017, 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Xi'an, China
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Thoretical Analysis of Multi-Beam Interference Lithography Combining Evanescent and Propagation Light2017
- 著者名/発表者名
  Shuzo Masui, Yuki Suzuki, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] 3D-Profile Measurement of Advanced Semiconductor Features by Using FIB as Reference Metrology2017
- 著者名/発表者名
  Kiyoshi Takamasu, Yuuki Iwaki, Satoru Takahashi, Hiroki Kawada, Masami Ikota
- 学会等名
  SPIE Advanced Lithography
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Experimental verification of a novel in-process depth measurements of diffraction limited micro-groove based on near-field optical response2017
- 著者名/発表者名
  Shiwei Ye, Chengshuo Jin, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ISMTII 2017, 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Xi'an, China
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] 自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究 (第5報) -位相利用高感度観察装置による検出-2017
- 著者名/発表者名
  橘一輝，浅井祥平，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2017年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  神奈川
- 年月日
  2017-03-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13841
[学会発表] High-Accuracy Absolute Length Measurement Using Optical-Comb Pulsed Interferometer and Its Application for Verification of Coordinate Measuring Machines2017
- 著者名/発表者名
  Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  ASPEN/ASPE 2017, Spring Topical Meeting Manufacture and Metrology of Structured and Freeform Surfaces for Functional Applications
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Development of nanoparticle detection method based on a new principle combining volatile liquid and optical observation method: Study of highly sensitive optical detection system2017
- 著者名/発表者名
  Kazuki Tachibana, Shohei Asai, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ISMTII 2017, 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Xi'an, China
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Accuracy Improvement in Diameter Measurement of Microsphere Based on Whispering Gallery Mode2017
- 著者名/発表者名
  Masaki Michihata, Bohuai Chu, Zhao Zheng, Kohei Hayashi, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  59th Ilmenau Scientific Colloquium, Ilmenau, Germany
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Numerical investigation on refractive index compensation performance of three-color method2017
- 著者名/発表者名
  Dong Wei, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  ISMTII 2017, 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Xi'an, China
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Monitor Resin Curing Degree for In-process Measurement in Micro-stereolithography2017
- 著者名/発表者名
  Deqing Kong, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] 光触媒ナノ加工工具に関する基礎的研究（第9報）－ナノ粒子位置同定法の検討－2016
- 著者名/発表者名
  増井周造・堀田陽亮・道畑正岐・高増　潔・高橋　哲
- 学会等名
  2016年度精密工学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2016-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Non-Destructive Optical Depth Inspection of Sub-Diffraction Limit Fine Holes -Theoretical analysis of optical responses based on FDTD method-2016
- 著者名/発表者名
  Chengshuo Jin, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ICPE2016, 16th International Conference on Precision Engineering
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] High-sensitive Optical Detection of Fine Particulate Defects by Autonomous Searching Liquid Probe: Observation of Dynamic Interaction with Defects2016
- 著者名/発表者名
  Kazuki Tachibana，Shohei Asai，Masaki Michihata，Kiyoshi Takamasu，Satoru Takahashi
- 学会等名
  Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO2016)
- 発表場所
  San Jose, USA
- 年月日
  2016-06-05
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13841
[学会発表] Precision absolute distance measurement technique onto rough surface object using self-beat signals of optical frequency comb2016
- 著者名/発表者名
  Fuminori Kimura, Taro Onoe, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  euspen2016, 16th International Conference & Exhibition
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Improved back-focal-plane interferometry for monitoring nanoparticle position2016
- 著者名/発表者名
  Shuzo Masui, Yousuke Horita, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, and Satoru Takahashi
- 学会等名
  International Symposium on Optomechatronic Technology 2016
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- 年月日
  2016-11-07
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Theoretical analysis of improved back-focal-plane interferometry for monitoring nanoparticle position2016
- 著者名/発表者名
  Shuzo Masui, Yosuke Horita, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ASPE2016, 31st ASPE Annual Meeting
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Theoretical Analysis of Improved Back-Focal-Plane Interferometry for Monitoring Nanoparticle Position2016
- 著者名/発表者名
  Shuzo Masui, Yousuke Horita, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, and Satoru Takahashi
- 学会等名
  ASPE2016 Annual Meeting
- 発表場所
  Portland, USA
- 年月日
  2016-10-23
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] 全方位姿勢制御型光触媒ナノ加工工具に関する研究（第2報）－液相内における工具創製の実験的検討－2016
- 著者名/発表者名
  堀田陽亮・儲　博懐・増井周造・道畑正岐・高増　潔・高橋　哲
- 学会等名
  2016年度精密工学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2016-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Optical Detection of Fine Particulate Defects with Autonomous Search-and-split Liquid Probe -Characteristics analysis of optical detection-2016
- 著者名/発表者名
  Kazuki Tachibana, Shohei Asai, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ICPE2016, 16th International Conference on Precision Engineering
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Development of non-destructive optical depth measurement of sub-diffraction limit fine holes2016
- 著者名/発表者名
  Chengshuo Jin, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  nanoMan2016, 5th International Conference on Nanomanufacturing
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Theoretical Analysis of Improved Back-Focal-Plane Interferometry for Monitoring Nanoparticle Position2016
- 著者名/発表者名
  Shuzo Masui, Yousuke Horita, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, and Satoru Takahashi
- 学会等名
  31st Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering
- 発表場所
  Portland, Oregon, USA
- 年月日
  2016-10-23
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Improved back-focal-plane interferometry for monitoring nanoparticle position2016
- 著者名/発表者名
  Shuzou Masui, Yosuke Horita, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ISOT2016, International Symposium on Optomechatronics Technologies
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Optical detection of fine particulate defects by autonomous searching liquid probe: theoretical design of high sensitive phase detection system2016
- 著者名/発表者名
  Kazuki Tachibana, Shohei Asai, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  International Symposium on Optomechatronic Technology 2016
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- 年月日
  2016-11-07
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13841
[学会発表] Calibration of refractive index in microsphere diameter measurement based on analysis of polarized whispering gallery mode2016
- 著者名/発表者名
  Bohuai Chu, Masaki Michihata, Kohei Hayashi, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ISOT2016, International Symposium on Optomechatronics Technologies
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Development of 3D form measurement of semiconductor structure - Measurement of FinFET profile using TEM and CD-SEM images2016
- 著者名/発表者名
  Yuki Iwaki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  euspen2016, 16th International Conference & Exhibition
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] 自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究(第3報) 基板上液相プローブの挙動に関する解析2016
- 著者名/発表者名
  浅井祥平，橘一輝，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2016年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2016-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13841
[学会発表] 自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究(第2報) FDTDシミュレーションに基づいた光学的検出特性解析2016
- 著者名/発表者名
  橘一輝，浅井祥平，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2016年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2016-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13841
[学会発表] 自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究（第4報）-液相プローブ高感度観察装置の検討-2016
- 著者名/発表者名
  橘一輝，浅井祥平，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2016年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  茨城
- 年月日
  2016-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13841
[学会発表] In-process measurement for micro-stereolithography using surface plasmon resonance2016
- 著者名/発表者名
  Masaki Michihata, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  ICPE2016, 16th International Conference on Precision Engineering
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Non-contact Precision Profile Measurement to Rough Surface Objects with Optical Frequency Combs2016
- 著者名/発表者名
  Fuminori Kimura, Taro Onoe, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  ICPE2016, 16th International Conference on Precision Engineering
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] A tunable surface-plasmon-resonance substrate for in-process measurement of micro-stereolithography2016
- 著者名/発表者名
  Deqing Kong, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ISOT2016, International Symposium on Optomechatronics Technologies
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Precise alignment monitor by using optical frequency comb for the muon g-2/EDM experiment at J-PARC2016
- 著者名/発表者名
  Tatsuya Kume, Tsutomu Mibe, Shoichiro Nishimura, Mikio Sakurai, Yutaro Satoh, Wiroj Sudatham, Kiyoshi Takamasu, Hiromasa Yasuda
- 学会等名
  IWAA2016, International Workshop on Accelerator Alignment
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究―エバネッセント露光用光硬化性樹脂の開発―2016
- 著者名/発表者名
  松本侑己，鈴木裕貴，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  日本機械学会　第11回生産加工・工作機械部門講演会
- 発表場所
  愛知
- 年月日
  2016-10-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第25報）ー機能性評価に向けた表面微細構造創製装置の開発ー2016
- 著者名/発表者名
  鈴木裕貴，松本侑己，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2016年度精密工学会春秋学術講演会
- 発表場所
  茨城
- 年月日
  2016-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Fabrication of Functional Microstructures by Multi-Beam Interference Lithography Using Evanescent Light2016
- 著者名/発表者名
  Yuki Suzuki, Kunikazu Suzuki, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ICPE2016, 16th International Conference on Precision Engineering
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Optical Detection of Fine Particulate Defects with Autonomous Search-and-split Liquid Probe -Characteristics analysis of optical detection-2016
- 著者名/発表者名
  Kazuki TACHIBANA, Shohei ASAI, Masaki MICHIHATA, Kiyoshi TAKAMASU, Satoru TAKAHASHI
- 学会等名
  16th International Conference on Precision Engineering
- 発表場所
  Hamamatsu, Japan
- 年月日
  2016-11-14
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13841
[学会発表] 後側焦点面干渉法を用いた光触媒ナノ加工粒子変位計測の高感度化2016
- 著者名/発表者名
  増井周造・堀田陽亮・道畑正岐・高増　潔・高橋　哲
- 学会等名
  日本機械学会2016年度年次大会
- 発表場所
  九州
- 年月日
  2016-09-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Evanescent Light Exposing System under Nitrogen Purge for Nano-Stereolithography2016
- 著者名/発表者名
  Yuki Suzuki, Hiroyuki Tahara, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  18th CIRP Conference on Electro Physical and Chemical Machining
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] High-sensitive Optical Detection of Fine Particulate Defects by Autonomous Searching Liquid Probe: Observation of Dynamic Interaction with Defects2016
- 著者名/発表者名
  Kazuki Tachibana, Shohei Asai, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  CLEO2016, Conference on Lasers and Electro-Optics
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] High-sensitive Optical Detection of Fine Particulate Defects by Autonomous Searching Liquid Probe: Observation on Dynamic Interacion with Defects2016
- 著者名/発表者名
  Kazuki Tachibana; Shohei Asai; Masaki Michihata; Kiyoshi Takamasu; Satoru Takahashi
- 学会等名
  CLEO2016, Laser Science to Photonic Applications
- 発表場所
  San Jose, USA
- 年月日
  2016-06-05
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13841
[学会発表] Omnidirectional one-shot exposure micro-stereolithography for biomimetic hemisphere with micro structured surface2016
- 著者名/発表者名
  Yuki Suzuki, Kunikazu Suzuki, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ASPE2016, 31st ASPE Annual Meeting
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Proposal of in-process measurement for micro-stereolithography using surface plasmon resonance2016
- 著者名/発表者名
  Masaki Michihata, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  LANE2016, 9th International Conference on Photonic Technologies
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Optical detection of fine particulate defects by autonomous searching liquid probe: Theoretical design of high sensitive phase detection system2016
- 著者名/発表者名
  Kazuki Tachibana, Shouhei Asai, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ISOT2016, International Symposium on Optomechatronics Technologies
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] 光触媒ナノ工具に関する基礎的研究（第10報）－銀担持による工具チップ性能の向上－2016
- 著者名/発表者名
  儲　博懐・堀田陽亮・増井周造・道畑正岐・高増　潔・高橋　哲
- 学会等名
  2016年度精密工学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2016-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] 3D-Profile Measurement of Advanced2016
- 著者名/発表者名
  Kiyoshi Takamasu, Yuuki Iwaki, Satoru Takahashi, Hiroki Kawada, Masami Ikota, Gian F. Lorusso, Naoto Horiguchi
- 学会等名
  SPIE Advanced Lithography 2016
- 発表場所
  San Jose (USA)
- 年月日
  2016-02-22
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] 後側焦点面干渉法を用いた光触媒ナノ加工粒子変位計測の高感度化2016
- 著者名/発表者名
  増井周造，堀田陽亮，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  日本機械学会年次大会2016
- 発表場所
  福岡
- 年月日
  2016-09-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Development of Advanced Measurement Method of 3D Semiconductor Structure - 3D-Profile Measurement of FinFET using CD-SEM and TEM Images -2016
- 著者名/発表者名
  Yuki Iwaki, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ICPE2016, 16th International Conference on Precision Engineering
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] 全方位姿勢制御型光触媒ナノ加工工具に関する研究（第1報）－姿勢制御ユニット創製に関する実験的検討－2015
- 著者名/発表者名
  堀田陽亮・儲　博懐・道畑正岐・高増　潔・高橋　哲
- 学会等名
  2015年度精密工学会秋季学術講演会
- 発表場所
  東北
- 年月日
  2015-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Absolute precision measurement for space coordinates metrology using an optical-comb pulsed interferometer with a ball lens target2015
- 著者名/発表者名
  Wiroj Sudatham, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  15th euspen International Conference (euspen2015)
- 発表場所
  Leuven (Belgium)
- 年月日
  2015-06-03
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630087
[学会発表] Temporal-Coherence Interferometer Using Optical Comb for CMM Verification2015
- 著者名/発表者名
  Wiroj Sudatham, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  第16回高エネ研メカ・ワークショップ
- 発表場所
  高エネルギー加速器研究機構（茨城県つくば市）
- 年月日
  2015-04-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630087
[学会発表] Fundamental study on fabrication of multi-functional micro device based on micro-beads using photocatalytic reaction2015
- 著者名/発表者名
  Yosuke Horita, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  6th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2015),
- 発表場所
  Harbin (China)
- 年月日
  2015-09-22
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] High-sensitive optical measurement of fine particulate defects on Si wafer surface with liquid probe2015
- 著者名/発表者名
  Kazuki Tachibana, Masaki Michihata, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 発表場所
  京都リサーチパーク（京都府・京都市）
- 年月日
  2015-10-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Line Profile Measurement of Advanced-FinFET Features by Reference Metrology2015
- 著者名/発表者名
  Kiyoshi Takamasu, Yuuki Iwaki, Satoru Takahashi, Hiroki Kawada, Masami Ikota, Atsuko Yamaguchi, Gian F. Lorusso, Naoto Horiguchi
- 学会等名
  SPIE Advanced Lithography
- 発表場所
  San Jose (USA)
- 年月日
  2015-02-23
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Self Calibration Method for Nanometer Profile Measurement on Large Aspheric Optical Surface2015
- 著者名/発表者名
  Yumi Iwago, Tomohiko Takamura, Yohan Kondo, Youichi Bitou, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2015)
- 発表場所
  Taipei (Taiwan)
- 年月日
  2015-09-22
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Non-contact precision profile measurement to rough surface objects with optical frequency combs2015
- 著者名/発表者名
  Taro Onoe, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2015)
- 発表場所
  Taipei (Taiwan)
- 年月日
  2015-09-24
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630087
[学会発表] High-sensitive optical measurement of fine particulate defects on Si wafer surface with liquid probe2015
- 著者名/発表者名
  Kazuki TACHIBANA，Masaki MICHIATA，Satoru TAKAHASHI，Kiyoshi TAKAMASU
- 学会等名
  The 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 発表場所
  Kyoto
- 年月日
  2015-10-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13841
[学会発表] Absolute precision measurement for space coordinates metrology using an optical-comb pulsed interferometer with a ball lens target2015
- 著者名/発表者名
  Wiroj Sudatham, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  15th euspen International Conference (euspen2015)
- 発表場所
  Leuven (Belgium)
- 年月日
  2015-06-01
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Non-contact precision profile measurement to rough surface objects with optical frequency combs2015
- 著者名/発表者名
  Taro Onoe, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2015)
- 発表場所
  Taipei (Taiwan)
- 年月日
  2015-09-22
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] 光学的ナノ異物検出を可能とする高感度液相プローブ計測法の研究2015
- 著者名/発表者名
  橘一輝，高橋哲，高増潔:
- 学会等名
  日本機械学会2015年度年次大会講演論文集
- 発表場所
  北海道
- 年月日
  2015-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13841
[学会発表] Roundness measurement machine using multi-beam angle sensor - experimental verification of multi-beam angle sensor2015
- 著者名/発表者名
  Chen Meiyun, Genki Miyazaki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  15th euspen International Conference (euspen2015)
- 発表場所
  Leuven (Belgium)
- 年月日
  2015-06-01
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Fundamental study on fabrication of multi-functional micro device based on micro-beads using photocatalytic reaction2015
- 著者名/発表者名
  Yosuke Horita, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu and Satoru Takahashi
- 学会等名
  The 6th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2015)
- 発表場所
  Harbin, China
- 年月日
  2015-08-15
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Super-Resolution Optical Measurement Method Using Standing Wave Illumination with Three-Beam Interference2015
- 著者名/発表者名
  Hiromasa Kume, Hiroki Yokozeki, Ryota Kudo, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2015)
- 発表場所
  Taipei (Taiwan)
- 年月日
  2015-09-22
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] 知的計測技術によるナノスケール三次元形状測定2015
- 著者名/発表者名
  高増潔
- 学会等名
  精密測定展2015，精密測定セミナー
- 発表場所
  パシフィコ横浜（神奈川県・横浜市）
- 年月日
  2015-06-09
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Improvement of lateral shape controlling with nitrogen purge for nano-stereolithography using evanescent light2015
- 著者名/発表者名
  Yuki Suzuki, Hiroyuki Tahara, Masaki Michihata, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 発表場所
  京都リサーチパーク（京都府・京都市）
- 年月日
  2015-10-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] STEMによる半導体構造の形状測定2014
- 著者名/発表者名
  高増潔
- 学会等名
  日本学術振興会ナノプローブテクノロジー第167委員会第74回研究会
- 発表場所
  産業技術総合研究所臨海f区都心センター（東京都江東区）
- 年月日
  2014-04-24
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] 光職場ナノ粒子を用いた3次元微細構造創製に関する研究(第3報)-FDTD法を用いた電磁波機能素子への応用可能性の検討-2014
- 著者名/発表者名
  吉越久倫, 門屋祥太郎, 高橋哲, 高増潔
- 学会等名
  2014年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2014-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25630018
[学会発表] 光触媒反応を用いた微細機能ビーズの創製に関する研究2014
- 著者名/発表者名
  門屋祥太郎，吉越久倫，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  2014年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25630018
[学会発表] 三次元座標測定機の基礎2014
- 著者名/発表者名
  高増潔
- 学会等名
  NMIJ計測クラブ　CMMユーザーズクラブ講演会，東京大学
- 発表場所
  東京大学，東京
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] トレーサビリティと精密測定の歴史，精密測定の条件，精密測定における測定不確かさ2014
- 著者名/発表者名
  高増潔
- 学会等名
  精密工学会/精密測定技術振興財団第367回講演会「“はかる”を知る，精密測定の理論と最新動向」
- 発表場所
  東京大学本郷キャンパス（東京都文京区）
- 年月日
  2014-06-16
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] 光触媒反応を用いた微細機能ビーズの創製に関する研究2014
- 著者名/発表者名
  門屋祥太郎, 吉越久倫, 高橋哲, 高増潔
- 学会等名
  2014年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2014-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25630018
[学会発表] Precision measurement technique for rough surface object using self-beat signals of optical frequency comb2014
- 著者名/発表者名
  Taro Onoe, Zongluo Yang, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  14th euspen International Conference
- 発表場所
  Dubrovnik (Croatia)
- 年月日
  2014-06-02
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] 光触媒ナノ粒子を用いた3次元微細構造創製に関する研究（第3報）－FDTD法を用いた電磁波機能素子への応用可能性の検討－2014
- 著者名/発表者名
  吉越久倫，門屋祥太郎，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  2014年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25630018
[学会発表] Nanometer Profile Measurement of Aspheric Surface Using Scanning Deflectometry and Rotating Autocollimator: Self-Calibration Method of Autocollimator2014
- 著者名/発表者名
  Kiyoshi Takamasu, Kyohei Ishikawa, Tomihiko Takamura, Muzheng Xiao, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ASPE/ASPEN Summer Topical Meeting
- 発表場所
  Hawaii (USA)
- 年月日
  2014-06-25
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Roughness and Line Profile Measurement of Photoresist and FinFET Features by Cross-Section STEM Image for Reference Metrology2014
- 著者名/発表者名
  Kiyoshi Takamasu, Haruki Okitou, Satoru Takahashi, Mitsuru Konno, Osamu Inoue, Hiroki Kawada:
- 学会等名
  SPIE Advanced Lithography 2014, San Jose, USA, 2014年2月24日～27日
- 発表場所
  San Jose, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Measurement of Surface Roundness Using a Multi-Beam Angle Sensor2014
- 著者名/発表者名
  Meiyun Chen, Soichiro Ueda, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  11th Laser Metrology for Precision Measurement and Inspection in Industry
- 発表場所
  つくば国際会議場（茨城県つくば市）
- 年月日
  2014-09-02
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] 参照計測ためのTEM画像を用いたレジストおよびFinFETの形状測定2014
- 著者名/発表者名
  高増潔
- 学会等名
  次世代リソグラフィワークショップ2014
- 発表場所
  東京工業大学蔵前会館（東京都目黒区）
- 年月日
  2014-07-18
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Non-Contact Measurement Technique for Dimensional Metrology Using Optical Comb2014
- 著者名/発表者名
  Wiroj Sudatham, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  11th Laser Metrology for Precision Measurement and Inspection in Industry
- 発表場所
  つくば国際会議場（茨城県つくば市）
- 年月日
  2014-09-02
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] 記念講演・精密測定の今後2014
- 著者名/発表者名
  高増潔
- 学会等名
  日本精密測定機器工業会　創立60周年記念講演会
- 発表場所
  ホテルアルジュール竹橋（東京都港区）
- 年月日
  2014-05-21
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006
[学会発表] Experimental Analysis of Laser-Assisted Microfabrication Using TiO2 Nanoparticles2013
- 著者名/発表者名
  H. Yoshigoe, S. Takahashi, K. Takamasu
- 学会等名
  Proceedings of the 13th euspen International Conference, Berlin, Germany, 2013年5月28日～30日
- 発表場所
  Berlin, Germany
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] 多点法による誤差分離手法と不確かさ推定2013
- 著者名/発表者名
  高増潔
- 学会等名
  第14回高エネ研メカ・ワークショップ報告集，つくば
- 発表場所
  高エネルギー加速器研究機構，茨城
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] 光触媒ナノ工具に関する基礎的研究（第2報）－光放射圧を利用した加工位置制御法の検討－2013
- 著者名/発表者名
  関野貴宏，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028
[学会発表] 光触媒ナノ粒子を用いた3次元微細構造創製に関する研究2013
- 著者名/発表者名
  吉越久倫，向井康仁，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028
[学会発表] Line Width and Line Profile Measurement of Photoresist Using STEM Images2013
- 著者名/発表者名
  Haruki Okito, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  ASPEN2013, 5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Taipei, Taiwan 2013年11月12日～15日
- 発表場所
  Taipei, Taiwan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第16報）－可変NA伝搬光・エバネッセント光ハイブリッド露光システムの開発－2013
- 著者名/発表者名
  宮川幸大，松澤亮，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学，東京都
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028
[学会発表] 三次元測定の現状と課題2013
- 著者名/発表者名
  高増潔
- 学会等名
  カールツァイス東京ショールームオープンハウス，東京
- 発表場所
  ホテルメトロポリタンエドモンド，東京
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Edge Determination Methodology for Cross-Section STEM Image of Photoresist Feature Used for Reference Metrology2013
- 著者名/発表者名
  Kiyoshi Takamasu, Haruki Okitou, Satoru Takahashi, Mitsuru Konno, Osamu Inoue, Hiroki Kawada
- 学会等名
  SPIE Advanced Lithography 2013
- 発表場所
  San Jose, USA
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] System Using Evanescent Light and Propagating Light for High Throughput Fabrication,2013
- 著者名/発表者名
  K. Miyakawa, R. Matsuzawa, S. Takahashi, K. Takamasu:
- 学会等名
  ASPE2013, St. Paul, Minnesota, USA, 2013，2013年10月20日～25日
- 発表場所
  St. Paul, Minnesota, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] 半導体の線幅標準に関する研究（第10報）－AFM及びSTEMによるレジスト形状測定－2013
- 著者名/発表者名
  沖藤春樹，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656097
[学会発表] 高誘電率マイクロ機能構造の創製に関する研究2013
- 著者名/発表者名
  向井康仁，吉越久倫，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028
[学会発表] Study on lateral resolution improvement of laser-scanning imaging for nano defects inspection2013
- 著者名/発表者名
  H. Yokozeki, R. Kudo, S. Takahashi , K . Takamasu
- 学会等名
  The 11th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments(オーラル採択済み)
- 発表場所
  アーヘン(ドイツ)
- 年月日
  2013-07-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656097
[学会発表] 光触媒ナノ工具に関する基礎的研究（第2報）－光放射圧を利用した加工位置制御法の検討－2013
- 著者名/発表者名
  関野貴宏，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学，東京都
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028
[学会発表] スポット照明の重複シフトによる光学式超解像検査法－提案手法の理論的検討－2013
- 著者名/発表者名
  工藤良太，横関宏樹，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656097
[学会発表] Study on lateral resolution improvement of laser-scanning imaging for nano defects inspection2013
- 著者名/発表者名
  H. Yokozeki, R. Kudo, S. Takahashi, K. Takamasu
- 学会等名
  The 11th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments
- 発表場所
  アーヘン，ドイツ
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656097
[学会発表] Coherent Imaging Algorithm of Super-Resolution Optical Inspection with Structured Light Shift2013
- 著者名/発表者名
  Ryota Kudo, Hiroki Yokozeki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu:
- 学会等名
  LEM21, The 7th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st CenturyMiyagi, Japan，2013年11月7日～8日
- 発表場所
  ホテル松島大観荘，宮城
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] High-accuracy calibration of CMM using temporal-coherence fiber interferometer with fast-repetition comb laser2013
- 著者名/発表者名
  N. Chanthawong, S. Takahashi, K. Takamasu, H. Matsumoto
- 学会等名
  ASPEN2013
- 発表場所
  Taipei, Taiwan
- 年月日
  2013-11-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656175
[学会発表] High-accuracy calibration of CMM using temporal-coherence fiber interferometer with fast-repetition comb laser2013
- 著者名/発表者名
  Narin Chanthawong, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  ASPEN2013, 5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Taipei, Taiwan 2013年11月12日～15日
- 発表場所
  Taipei, Taiwan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Length Traceability using Optical Frequency Comb2013
- 著者名/発表者名
  Dong Wei1, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  ASPEN2013, 5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Taipei, Taiwan 2013年11月12日～15日
- 発表場所
  Taipei, Taiwan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656175
[学会発表] 三次元測定の現状と課題2013
- 著者名/発表者名
  高増潔
- 学会等名
  機械振興協会　テクノフォーラム　製造現場を支える三次元測定
- 発表場所
  機械振興会館ホール，東京
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Experimental Analysis of Laser-Assisted Microfabrication Using TiO2 Nanoparticles2013
- 著者名/発表者名
  H. Yoshigoe, S. Takahashi, K. Takamasu
- 学会等名
  13th euspen International Conference
- 発表場所
  Berlin, Germany
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028
[学会発表] 光触媒ナノ粒子を用いた3次元微細構造創製に関する研究2013
- 著者名/発表者名
  吉越久倫，向井康仁，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学，東京都
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028
[学会発表] 半導体の線幅標準に関する研究(第10報)-AFM及びSTEMによるレジスト形状測定-2013
- 著者名/発表者名
  沖藤春樹,高橋哲,高増潔
- 学会等名
  2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2013-03-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656097
[学会発表] Study on Lateral Resolution Improvement of Laser-Scanning Imaging for Nano Defects Inspection2013
- 著者名/発表者名
  Hiroki Yokozeki, Ryota Kudo, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  ISMTII2013, The 11thinternational Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments, 2013年7月1日～5日，Aachen, Germany
- 発表場所
  Aachen, Germany
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] 高誘電率マイクロ機能構造の創製に関する研究2013
- 著者名/発表者名
  向井康仁，吉越久倫，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学，東京都
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028
[学会発表] Study on Photocatalyzed Nano-removal Processing Tool for Microstereolithography2013
- 著者名/発表者名
  Yuki Yamaguchi, Takahiro Sekino, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  ASPEN2013, 5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Taipei, Taiwan 2013年11月12日～15日
- 発表場所
  Taipei, Taiwan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Non-contact precision distance measurement technique using two optical frequency combs2013
- 著者名/発表者名
  Taro Onoe, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  ASPEN2013, 5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Taipei, Taiwan 2013年11月12日～15日
- 発表場所
  Taipei, Taiwan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Length Traceability using Optical Frequency Comb2013
- 著者名/発表者名
  D. Wei, K. Takamasu, H. Matsumoto
- 学会等名
  ASPEN2013
- 発表場所
  Taipei, Taiwan
- 年月日
  2013-11-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656175
[学会発表] Length Traceability using Optical Frequency Comb2013
- 著者名/発表者名
  Dong Wei1, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  ASPEN2013, 5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Taipei, Taiwan 2013年11月12日～15日
- 発表場所
  Taipei, Taiwan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Nanometer Profile Measurement on Large Aspheric Optical Surface by Scanning Deflectometry with Rotatable Autocollimator -Error Analysis and Measurement Experiments by Using Autocollimator with Wide Measuring Range-2013
- 著者名/発表者名
  Kyohei Ishikawa, Tomohiko Takamura, Muzheng Xiao, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  ISMTII2013, The 11thinternational Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments, 2013年7月1日～5日，Aachen, Germany
- 発表場所
  Aachen, Germany
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] スポット照明の重複シフトによる光学式超解像検査法-提案手法の理論的検討-2013
- 著者名/発表者名
  工藤良太,横関宏樹,高橋哲,高増潔
- 学会等名
  2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2013-03-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656097
[学会発表] Non-contact precision distance measurement technique using two optical frequency combs2013
- 著者名/発表者名
  Taro Onoe, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  ASPEN2013, 5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Taipei, Taiwan 2013年11月12日～15日
- 発表場所
  Taipei, Taiwan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656175
[学会発表] High-accuracy calibration of CMM using temporal-coherence fiber interferometer with fast-repetition comb laser2013
- 著者名/発表者名
  Narin Chanthawong, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  ASPEN2013, 5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Taipei, Taiwan 2013年11月12日～15日
- 発表場所
  Taipei, Taiwan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656175
[学会発表] エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第16報）－可変NA伝搬光・エバネッセント光ハイブリッド露光システムの開発－2013
- 著者名/発表者名
  宮川幸大，松澤亮，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028
[学会発表] フォトレジスト形状の断面STEM 画像からエッジを決定する方法2013
- 著者名/発表者名
  沖藤春樹，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  第3回ユーザーズミーティングプログラム　パーク・システムズ・ジャパン，東京
- 発表場所
  ベルサール神田，東京
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Non-contact precision distance measurement technique using two optical frequency combs2013
- 著者名/発表者名
  T. Onoe, S. Takahashi, K. Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  ASPEN2013
- 発表場所
  Taipei, Taiwan
- 年月日
  2013-11-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656175
[学会発表] Length measurement based on Pulse repetition interval of a femtosecond optical frequency comb2012
- 著者名/発表者名
  Dong Wei, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  12th euspen International Conference
- 発表場所
  Stockholm, Sweden
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656175
[学会発表] DESIGN VALUE USE TYPE SUPER-RESOLUTION OPTICAL INSPECTION FOR MICROFABRICATED STRUCTURE DEFECTS BY USING STANDING WAVE ILLUMINATION SHIFT2012
- 著者名/発表者名
  R. Kudo, S. Takahashi, K. Takamasu
- 学会等名
  XX IMEKO World Congress
- 発表場所
  釜山，韓国
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656097
[学会発表] DESIGN VALUE USE TYPE SUPER-RESOLUTION OPTICAL INSPECTION FOR MICROFABRICATED STRUCTURE DEFECTS BY USING STANDING WAVE ILLUMINATION SHIFT2012
- 著者名/発表者名
  R. Kudo, S. Takahashi , K. Takamasu
- 学会等名
  XX IMEKO World Congress
- 発表場所
  釜山(韓国)
- 年月日
  2012-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656097
[学会発表] 光触媒ナノ工具に関する基礎的研究2012
- 著者名/発表者名
  関野貴宏，高橋哲，高増
- 学会等名
  2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  九州工業大学，福岡県
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028
[学会発表] Nanometer Profile Measurement of Large Aspheric Optical Surface with Improved Deflectometry Method - Principle Introduction and Experimental Verification -2012
- 著者名/発表者名
  Muzheng Xiao, Tomohiko Takamura, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  XX IMEKO World Congress
- 発表場所
  Busan, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Length measurement based on Pulse repetition interval of a femtosecond optical frequency comb2012
- 著者名/発表者名
  D. Wei, K. Takamasu, H. Matsumoto
- 学会等名
  euspen2012
- 発表場所
  Stockholm, Sweden
- 年月日
  2012-06-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656175
[学会発表] 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第13報)-FDTD法を用いた微細配線の散乱特性解析-2012
- 著者名/発表者名
  天野佑基,工藤良太,高橋哲,高増潔
- 学会等名
  2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2012-03-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656097
[学会発表] Sub-nanometer line width and line profile measurement for CD-SEM calibration by using STEM2012
- 著者名/発表者名
  Kiyoshi Takamasu, Haruki Okitou, Satoru Takahashi, Mitsuru Konno, Osamu Inoue, Hiroki Kawada
- 学会等名
  SPIE Advanced Lithography 2012
- 発表場所
  Sanjose，USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656097
[学会発表] 光周波数コムを用いた絶対距離計測2012
- 著者名/発表者名
  高増潔
- 学会等名
  精密工学会　大規模環境の3次元計測と認識・モデル化技術専門委員会
- 発表場所
  東京大学，東京
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656175
[学会発表] 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第14報)-コヒーレント結像逐次再構成型超解像法-2012
- 著者名/発表者名
  工藤良太,高橋哲,高増潔,臼杵深
- 学会等名
  2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2012-03-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656097
[学会発表] 半導体の線幅標準に関する研究(第9報)-STEM画像を用いたレジスト形状の測定-2012
- 著者名/発表者名
  沖藤春樹,高橋哲,高増潔
- 学会等名
  2012年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  福岡
- 年月日
  2012-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656097
[学会発表] 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査（第13報）－FDTD法を用いた微細配線の散乱特性解析－2012
- 著者名/発表者名
  天野佑基，工藤良太，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  2012年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656097
[学会発表] Sub-nanometer calibration of line width measurement and line edge detection by using STEM and sectional SEM2012
- 著者名/発表者名
  Kiyoshi Takamasu, Haruki Okitou, Satoru Takahashi, Mitsuru Konno, Osamu Inoue, Hiroki Kawada
- 学会等名
  SPIE Advanced Lithography 2012
- 発表場所
  San Jose, USA
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査（第15報）-コヒーレント結像逐次再構成型超解像装置の開発-2012
- 著者名/発表者名
  工藤良太，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  九州工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656097
[学会発表] 半導体の線幅標準に関する研究（第9報）-STEM画像を用いたレジスト形状の測定-2012
- 著者名/発表者名
  沖藤春樹，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  九州工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656097
[学会発表] Super-heterodyne Interferometer for Length-Measurement Using the Beat Signal of Laser Diodes and the Optical Frequency Comb2012
- 著者名/発表者名
  X. N. Wang, S. Takahashi, K. Takamasu, H. Matsumoto
- 学会等名
  12th euspen International Conference
- 発表場所
  Stockholm, Sweden
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第15報)-コヒーレント結像逐次再構成型超解像装置の開発-2012
- 著者名/発表者名
  工藤良太,高橋哲,高増潔
- 学会等名
  2012年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  福岡
- 年月日
  2012-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656097
[学会発表] 知的精密計測のものづくりへの展開　ートレーサビリティとナノメートル標準ー2012
- 著者名/発表者名
  高増潔
- 学会等名
  日本機械学会　革新的工作機械技術に関する研究分科会
- 発表場所
  東京大学，東京
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Round Robin Tests of Uncertainty Estimation for Coordinate Metrology by Software Error Propagation2012
- 著者名/発表者名
  K. Takamasu, S. Takahashi, R. Furutani, M. Abbe
- 学会等名
  XX IMEKO World Congress
- 発表場所
  Busan, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Absolute Measurement of Base Lines up to 400 m Using Temporal Coherence Heterodyne Interferometer of Optical Frequency Comb2012
- 著者名/発表者名
  H. Matsumoto, X. Wang, K. Takamasu
- 学会等名
  XX IMEKO World Congress
- 発表場所
  Busan, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Absolute Measurement of Base Lines up to 400 m Using Temporal Coherence Heterodyne Interferometer of Optical Frequency Comb2012
- 著者名/発表者名
  H. Matsumoto, X. Wang, K. Takamasu
- 学会等名
  XX IMEKO World Congress
- 発表場所
  Busan, Korea
- 年月日
  2012-09-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656175
[学会発表] Step Gauge Measurement Using High-Frequency Repetitions of a Mode-Locked Fiber Laser2012
- 著者名/発表者名
  C. Narin, S. Takahashi, K. Takamasu, H. Matsumoto
- 学会等名
  XX IMEKO World Congress
- 発表場所
  Busan, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656175
[学会発表] Nanometer Profile Measurement of Large Aspheric Optical Surface by Scanning Deflectometry with Rotation Devices - Development of Three Dimensional Measuring Facility and Experiment -2012
- 著者名/発表者名
  Muzheng Xiao, Satomi Jujo, Satom Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  12th euspen International Conference
- 発表場所
  Stockholm, Sweden
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Comparison Experiment for Pulse Repetition Interval Based Length Measurement Linked to a Femtosecond Optical Frequency Comb2012
- 著者名/発表者名
  Dong Wei, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  XX IMEKO World Congress
- 発表場所
  Busan, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Sub-nanometer line width and line profile measurement for CD-SEM calibration by using STEM2012
- 著者名/発表者名
  Kiyoshi Takamasu, Haruki Okitou, Satoru Takahashi, Mitsuru Konno, Osamu Inoue, Hiroki Kawada
- 学会等名
  SPIE Advanced Lithography 2012
- 発表場所
  Sanjose USA
- 年月日
  2012-02-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656097
[学会発表] Comparison Experiment for Pulse Repetition Interval Based Length Measurement Linked to a Femtosecond Optical Frequency Comb2012
- 著者名/発表者名
  D. Wei, K. Takamasu, H. Matsumoto
- 学会等名
  XX IMEKO World Congress
- 発表場所
  Busan, Korea
- 年月日
  2012-09-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656175
[学会発表] Super-heterodyne Interferometer for Length-Measurement Using the Beat Signal of Laser Diodes and the Optical Frequency Comb2012
- 著者名/発表者名
  X. Wang, S. Takahashi, K. Takamasu, H. Matsumoto
- 学会等名
  euspen2012
- 発表場所
  Stockholm, Sweden
- 年月日
  2012-06-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656175
[学会発表] Length measurement based on Pulse repetition interval of a femtosecond optical frequency comb2012
- 著者名/発表者名
  Dong Wei, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  12th euspen International Conference
- 発表場所
  Stockholm, Sweden
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査（第14報）－コヒーレント結像逐次再構成型超解像法－2012
- 著者名/発表者名
  工藤良太，高橋哲，高増潔，臼杵深
- 学会等名
  2012年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656097
[学会発表] エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第15報）ｰエバネッセント露光における樹脂硬化メカニズムの解析ｰ2012
- 著者名/発表者名
  宮川幸大，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  九州工業大学，福岡県
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028
[学会発表] Design Value Use Type Super-Resolution Optical Inspection for Microfabricated Structure Defects by Using Standing Wave Illumination Shift2012
- 著者名/発表者名
  R. Kudo, S. Takahashi, K. Takamasu
- 学会等名
  XX IMEKO World Congress
- 発表場所
  Busan, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] STEMを用いた半導体線幅測定および線形状測定のサブナノメートル校正2012
- 著者名/発表者名
  高増潔
- 学会等名
  応用物理学会　次世代リソグラフィワークショップ（NGL2012）
- 発表場所
  東京工業大学，東京
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Step Gauge Measurement Using High-Frequency Repetitions of a ModeLocked Fiber Laser2012
- 著者名/発表者名
  C. Narin, S. Takahashi, K. Takamasu, H. Matsumoto
- 学会等名
  XX IMEKO World Congress
- 発表場所
  Busan, Korea
- 年月日
  2012-09-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656175
[学会発表] エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第15報）ｰエバネッセント露光における樹脂硬化メカニズムの解析ｰ2012
- 著者名/発表者名
  宮川幸大，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  九州工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028
[学会発表] Step Gauge Measurement Using High-Frequency Repetitions of a Mode-Locked Fiber Laser2012
- 著者名/発表者名
  C. Narin, S. Takahashi, K. Takamasu, H. Matsumoto
- 学会等名
  XX IMEKO World Congress
- 発表場所
  Busan, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] 光触媒ナノ工具に関する基礎的研究2012
- 著者名/発表者名
  関野貴宏，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  九州工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028
[学会発表] 光周波数コムを用いた絶対距離計測2012
- 著者名/発表者名
  高増潔
- 学会等名
  精密工学会　大規模環境の3次元計測と認識・モデル化技術専門委員会
- 発表場所
  東京大学，東京
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Super-heterodyne Interferometer for Length-Measurement Using the Beat Signal of Laser Diodes and the Optical Frequency Comb2012
- 著者名/発表者名
  X. N. Wang, S. Takahashi, K. Takamasu, H. Matsumoto
- 学会等名
  12th euspen International Conference
- 発表場所
  Stockholm, Sweden
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656175
[学会発表] 近赤外エバネッセント定在波を用いた半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第2報)-フィルタによるエラーの影響抑制-2011
- 著者名/発表者名
  工藤良太,高橋哲,高増潔
- 学会等名
  2011年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  金沢
- 年月日
  2011-09-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656097
[学会発表] Absolute Distance Measurement Using Long-Path Heterodyne Interferometer with Optical Frequency Comb2011
- 著者名/発表者名
  Xiaonan Wang, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  FIO/LS Technical Digest, OSA
- 発表場所
  San Jose, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Nanometer Profile Measurement of Large Aspheric Optical Surface by Scanning Deflectometry with Rotatable Devices2011
- 著者名/発表者名
  Muzheng Xiao, Satomi Jujo, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  SPIE Optics+Photonics
- 発表場所
  San Diego, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Development of high precision Coordinate Measuring Machine - Uncertainty analysis of multi-probe method2011
- 著者名/発表者名
  Tomohiko Takamura, Ping Yang, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Osamu Sato, Sonko Osawa, Toshiyuki Takatsuji
- 学会等名
  10th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments
- 発表場所
  Daejeon, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Nanometer Profile Measurement of Large Aspheric Optical Surface by Scanning Deflectometry with Rotatable Devices - Error Analysis and Experiments -2011
- 著者名/発表者名
  Muzheng Xiao, Satomi Jujo, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  11th euspen International Conference
- 発表場所
  Como, Italy
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Pulse repetition interval-based excess fraction method2011
- 著者名/発表者名
  Dong WEI, Kiyoshi TAKAMASU, Hirokazu MATSUMOTO
- 学会等名
  FIO/LS Technical Digest, OSA
- 発表場所
  San Jose, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Nanometer Profile Measurement of Large Aspheric Optical Surface by Scanning Deflectometry with Rotatable Devices: Error Analysis and Experiments -2011
- 著者名/発表者名
  Muzheng Xiao, Satomi Jujo, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  Proceedings of the 11th euspen International Conference
- 発表場所
  Como, Italy
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656175
[学会発表] Sub-nanometer line width and line profile measurement for CD-SEM calibration by using STEM2011
- 著者名/発表者名
  Kiyoshi Takamasu, Haruki Okitou, Satoru Takahashi, Mitsuru Konno, Osamu Inoue, Hiroki Kawada
- 学会等名
  Proc.SPIE AL 2011
- 発表場所
  San Jose, USA
- 年月日
  2011-02-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] 近赤外エバネッセント定在波を用いた半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査（第2報）－フィルタによるエラーの影響抑制－2011
- 著者名/発表者名
  工藤良太，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  2011年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  金沢
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656097
[学会発表] Experimental analysis of influence of error on super-resolution optical inspection using standing wave illumination2011
- 著者名/発表者名
  Ryota Kudo, Shin Usuki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  10th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments
- 発表場所
  Daejeon, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Remote internal diameter measurement of ring gauge based on a low-coherence tandem scheme2011
- 著者名/発表者名
  D. Wei, N. Wu, K. Takamasu and H. Matsumoto
- 学会等名
  ASPEN201
- 発表場所
  Hong Kong
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] 光触媒ナノ粒子を用いた3次元金属微細構造創製に関する研究(第5報)-創製構造体の気相下観察に基づく加工特性の解析-2011
- 著者名/発表者名
  吉越久倫, 関野貴宏, 高橋哲, 高増潔
- 学会等名
  2011年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  東洋大学
- 年月日
  2011-03-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360062
[学会発表] Experimental evaluation of long path heterodyne interferometers with optical-frequency comb and continuous-wave laser2011
- 著者名/発表者名
  X. Wang, S. Takahashi, K. Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  ISMTII2011
- 発表場所
  Daejeon, Korea
- 年月日
  2011-06-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656175
[学会発表] 局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究（第1報）－酸化チタン光触媒ナノ粒子による微細除去加工基本機能の検証－2011
- 著者名/発表者名
  関野貴宏，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  2011年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  金沢大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028
[学会発表] Multi-probe system comprising three laser interferometers and one autocollimator for measuring flat bar mirror profile with nanometer accuracy on a high-precision micro-coordinate measuring machine2011
- 著者名/発表者名
  Ping Yang, Tomohiko Takamura, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Osamu Sato, Sonko Osawa, Toshiyuki Takatsuji
- 学会等名
  SPIE Optics+Photonics
- 発表場所
  San Diego, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] On-machine profile measurement by multiple sensors scanning method with two kinds of algorithms2011
- 著者名/発表者名
  Guoqing Ding, Xin Chen, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  10th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments
- 発表場所
  Daejeon, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Self-calibration for two-dimensional stage using least squares solution2011
- 著者名/発表者名
  Xin Chen, Guoqing Ding, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  10th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments
- 発表場所
  Daejeon, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Remote Internal Diameter Measurement of Ring Gauge based on a Low-coherence Tandem Scheme2011
- 著者名/発表者名
  D. Wei, N. Wu, K. Takamasu, H. Matsumoto
- 学会等名
  ASPEN2011
- 発表場所
  Hong Kong, China
- 年月日
  2011-11-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656175
[学会発表] Interferometric Estimation of the Offset-Frequency of Optical Frequency Comb2011
- 著者名/発表者名
  Hirokazu Matsumoto, Xiaonan Wang, Dong Wei, Satoshi Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  FIO/LS Technical Digest, OSA
- 発表場所
  San Jose, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Experimental evaluation of long path heterodyne interferometers with optical-frequency comb and continuous-wave laser2011
- 著者名/発表者名
  Xiaonan Wang, Satoru Takahashi , Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  10th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments
- 発表場所
  Daejeon, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Experimental analysis of influence of error on super-resolution optical inspection using standing wave illumination2011
- 著者名/発表者名
  Ryota Kudo, Shin Usuki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  10th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments, ISMTII2011
- 発表場所
  Daejeon, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656097
[学会発表] A motion errors and profile measurement system using three laser interferometers and one autocollimator for a high-precision micro-coordinate measuring machine2011
- 著者名/発表者名
  P. Yang, T. Takamura, S. Takahashi, K. Takamasu, O. Sato, S. Osawa, T. Takatsuji
- 学会等名
  11th euspen International Conference
- 発表場所
  Como, Italy
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Experimental analysis of influence of error on super-resolution optical inspection using standing wave2011
- 著者名/発表者名
  R. Kudo, S. Usuki, S. Takahashi, K.Takamasu
- 学会等名
  10th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments
- 発表場所
  Daejeon, Korea
- 年月日
  2011-07-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656097
[学会発表] Experimental evaluation of long path heterodyne interferometers with optical-frequency comb and continuous-wave laser2011
- 著者名/発表者名
  Xiaonan Wang, Satoru Takahashi , Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  Proceedings 10th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments
- 発表場所
  Daejeon, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656175
[学会発表] Remote Internal Diameter Measurement of Ring Gauge based on a Low-coherence Tandem Scheme2011
- 著者名/発表者名
  D. Wei, N. Wu, K. Takamasu and H. Matsumoto
- 学会等名
  Proc. of ASPEN2011
- 発表場所
  Hong Kong, China
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656175
[学会発表] Height Measurement of a Particle in Evanescent Field Controlling Penetration Depth2010
- 著者名/発表者名
  Takayuki Kurihara, Ryuichi Sugimoto, Ryota Kudo, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  Proc.10th ISMQC
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2010-09-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] A Novel Exposure Method Based on Dissolved Oxygen Control for Nano-Stereolithography Using Evanescent Light2010
- 著者名/発表者名
  Satoru Takahashi, Toshimune Nagano, Yusuke Kajihara, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  Proc.ASPE2010
- 発表場所
  Atlanta, USA
- 年月日
  2010-11-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] A Three Laser Interferometers and One Autocollimator System for Measuring the Yaw and Straightness Errors of a X-Y Stage on High Precision CMM2010
- 著者名/発表者名
  Ping Yang, Shusaku Shibata, Tomohiko Takamura, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Osamu Sato, Sonko Osawa, Toshiyuki Takatsuji
- 学会等名
  Proc.10th ISMQC
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2010-09-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] A novel length measurement interferometer based on a femtosecond optical frequency comb introduced multi-pulse trains' interference2010
- 著者名/発表者名
  Dong Wei, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  Proc.EOS 2010
- 発表場所
  Paris, France
- 年月日
  2010-10-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Micro 3-D Fabrication and Nano Scale Metrology by Controlling Localized Light Energy2010
- 著者名/発表者名
  高橋哲, 高増潔
- 学会等名
  4th TU-SNU-UT Joint Symposium
- 発表場所
  Tokyo
- 年月日
  2010-03-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360062
[学会発表] Uncertainty Estimation for Profile Measurement by Multi-Sensors Method2010
- 著者名/発表者名
  Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  Proc.10th ISMQC
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2010-09-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Resolution Characteristics of Super-Resolution Optical Inspection Using Standing Wave Illumination2010
- 著者名/発表者名
  Ryota Kudo, Shin Usuki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  Proc.10th ISMQC
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2010-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Advanced Absolute Length Metrology Based On Pulse Trains' Constructive Interference-Towards Measurements of Meter Order with an Accuracy of Nano Order-2010
- 著者名/発表者名
  Dong Wei, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  Proc.10th ISMQC
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2010-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Improvement of Gauge Block Measurement Without Wringing Using Tandem Low-coherence Interferometer2010
- 著者名/発表者名
  W.Agustinus, A.Hirai, S.Takahashi, K.Takamasu, H.Matsumoto
- 学会等名
  Proc.of the euspen International Conference
- 発表場所
  Delft, Netherlands
- 年月日
  2010-06-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Micro 3-D Fabrication and Nano Scale Metrology by Controlling Localized Light Energy2010
- 著者名/発表者名
  Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  4th TU-SNU-UT Joint Symposium
- 発表場所
  Tokyo,武田ホール
- 年月日
  2010-03-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360062
[学会発表] Sub-nanometer Uncertainty Evaluation of Line Width Measurement by Si Lattice Structures of STEM Image2010
- 著者名/発表者名
  K.Takamasu, K.Kuwabara, S.Takahashi, T.Mizuno, H.Kawada
- 学会等名
  Proc.of the euspen International Conference
- 発表場所
  Delft, Netherlands
- 年月日
  2010-06-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Profile Measurement of Large Aspheric Optical Surface by Scanning Deflectometry with Rotatable Mirror-Enlarging Measuring Range of Autocollimator-2010
- 著者名/発表者名
  Muzheng Xiao, Satomi Jujo, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  Proc.10th ISMQC
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2010-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] 光触媒ナノ粒子を用いた3次元金属微細構造創製に関する研究(第4報)-インプロセス観察に基づく創製特性の実験的検討-2010
- 著者名/発表者名
  松田恵介, 吉越久倫, 高橋哲, 高増潔
- 学会等名
  2010年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
- 年月日
  2010-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360062
[学会発表] New Optical Distance Measurement Without a Prism Refractor Using an Optical Frequency Comb Laser2010
- 著者名/発表者名
  Kazumasa Isaka, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  Proc.10th ISMQC
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2010-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Super-Heterodyne Interferometric Length Measurement Using the Repetition Frequency of an Optical Frequencies Comb2010
- 著者名/発表者名
  Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  Proc.10th ISMQC
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2010-09-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] 光触媒ナノ粒子を用いた3次元金属微細構造創製に関する研究(第3報)-3次元創製プロセスの顕微観察-2009
- 著者名/発表者名
  松田恵介, 高橋哲, 高増潔
- 学会等名
  2009年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  神戸大学
- 年月日
  2009-09-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360062
[学会発表] 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第5報)-定在波照明の2方向シフトを用いた2次元超解像特性の検討-2008
- 著者名/発表者名
  工藤良太, 臼杵深, 高橋哲, 高増潔
- 学会等名
  2008年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  明治大学
- 年月日
  2008-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18656041
[学会発表] 光触媒ナノ粒子を用いた3次元金属微細構造創製に関する研究(第2報)-創製構造体の気相取り出し方法の実験的検討-2008
- 著者名/発表者名
  吉田大助, 武内徹, 高橋哲, 高増潔
- 学会等名
  2008年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  神奈川
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] レジスト表面形状の計測(第五報)-マルチトポセンサの提案-2008
- 著者名/発表者名
  徳田雄一郎高橋哲, 高増潔
- 学会等名
  2008年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  神奈川
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第5報)-定在波照明の2方向シフトを用いた2次元超解像特性の検討-2008
- 著者名/発表者名
  工藤良太, 臼杵深, 高橋哲, 高増潔
- 学会等名
  2008年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  神奈川
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] 半導体の線幅標準に関する研究(第3報)-STEM画像による線幅のエッジおよびピッチの決定2008
- 著者名/発表者名
  桑原一樹, 澤内佑介, 高橋哲, 高増潔
- 学会等名
  2008年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  神奈川
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] Intelligent Profile Measurement for Wide-Area Resist Surface Using Multi-Sensor AFM System2007
- 著者名/発表者名
  Shujie Liu, Kentaro Watanabe, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  ISMTII2007
- 発表場所
  Japan
- 年月日
  2007-09-07
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] Uncertainty Estimation for Coordinate Metrology: Calibration, Form Deviation and Strategy of Measurement2007
- 著者名/発表者名
  K. Takamasu, S. Takahashi, M. Abbe, R. Furutani
- 学会等名
  ISMTII2007
- 発表場所
  Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] Experimenta Verification for Super-resolution Optical Inspection for Semiconductor Defect by using Standing Wave Illumination Shift2007
- 著者名/発表者名
  S. Usuki, H. Nishioka, S. Takahashi, K. Takamasu
- 学会等名
  ISMTII2007
- 発表場所
  Japan
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] 定在エバネッセント光を用いた超解像顕微法に関する研究(第4報)-定在波シフトによる変調散乱光観察実験-2007
- 著者名/発表者名
  岡田真一, 臼杵深, 高橋哲, 高増潔
- 学会等名
  2007年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  旭川
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] Development for a High Percisin Positioning Systems Family with Parallel Structure and Short Planar Motion2007
- 著者名/発表者名
  G. Olea, S. Rathmann, J. Hesselbach, K. Takamasu
- 学会等名
  Euspen 2007
- 発表場所
  Germany
- 年月日
  2007-05-07
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] Uncertainty Estimation Using Monte-Carlo Method Constrained by Correlations of the Data2007
- 著者名/発表者名
  M. Nara, M. Abbe, K. Takamasu
- 学会等名
  ISMTII2007
- 発表場所
  Japan
- 年月日
  2007-09-07
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] Calibration of 6 DOF Parallel Mechanism Driven by Planar Motors2007
- 著者名/発表者名
  Kiyoshi Takamasu, Keisuke Yoshida, Tatsuya Senoo, Xin Chen, Kiyoshi
- 学会等名
  ISMQC 2007
- 発表場所
  India
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] Analysis of Lateral Resoltition Improvement for Fluorescence Microscopy using Standing Evanescent Light2007
- 著者名/発表者名
  S. Takahashi, S. Okada, H. Nishioka, S. Usuki, K. Takamasu
- 学会等名
  ISMTII2007
- 発表場所
  Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] Thin Film Thickness Measurement for Evaluation of Residual layer of Nano-Imprint Lithography Using Near-Field Optics2007
- 著者名/発表者名
  S. Minamiguchi, S. Usuki, S. Takahashi, K. Takamasu
- 学会等名
  ISMQC2007
- 発表場所
  India
- 年月日
  2007-11-07
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] Experimental Verification fbr Super-resolution Optical Inspection fbr Semiconductor Defect by using Standing Wave Illumination Shift2007
- 著者名/発表者名
  Shujie Liu, Kentaro Watanabe, Satoru Takahashi, Kioshi Takamasu
- 学会等名
  ISMTII2007
- 発表場所
  Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] Analysis of Lateral Resolution Improvement for Fluorescence Microscopy using Standing Evanescent Light2007
- 著者名/発表者名
  S. Takahashi, S. Okada, H. Nishioka, S. Usuki, K. Takamasu
- 学会等名
  8th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments
- 発表場所
  東北大学,仙台
- 年月日
  2007-09-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18656041
[学会発表] Uncertainty Estimation for Coordinate Metrology : Calibration, Form Deviation and Strategy of Measurement2007
- 著者名/発表者名
  K. Takamasu, S. Takahashi, M. Abbe, R. Furutani
- 学会等名
  ISMTII2007
- 発表場所
  Japan
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] Experimental Verification for Super-resolution Optical Inspection for Semiconductor Defect by using Standing Wave Illuminatio Shift2007
- 著者名/発表者名
  S. Usuki, H. Nishioka, S. Takahashi, K. Takamasu
- 学会等名
  ISMTII2007
- 発表場所
  Japan
- 年月日
  2007-09-07
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] Calibration of 6 DOF Parallel Mechanism Driven by Planar Motors2007
- 著者名/発表者名
  Kiyoshi Takamasu, Keisuke Yoshida, Tatsuya Senoo, Xin Chen, Kiyoshi
- 学会等名
  ISMQC2007
- 発表場所
  India
- 年月日
  2007-11-07
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] Uncertain Evaluation of CMM b Modelin with Satial Constraint2007
- 著者名/発表者名
  M. Abbe M. Nara K. Takamasu
- 学会等名
  ISMQC 2007
- 発表場所
  India
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] Stud on Scanning Suareness Measurement Method and Uncertainty Estimation2007
- 著者名/発表者名
  Y. Chen, Takamasu
- 学会等名
  ISMTII2007
- 発表場所
  Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] Study on Scanning Squareness Measurement Method and Uncertainty Estimation2007
- 著者名/発表者名
  X. Chen, K. Takamasu
- 学会等名
  ISMTII2007
- 発表場所
  Japan
- 年月日
  2007-09-07
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] Experimental Verification for Super-resolution Optical Inspection for Semiconductor Defect by using Standing Wave Illumination Shift2007
- 著者名/発表者名
  S. Usuki, H. Nishioka, S. Takahashi, K. Takamasu
- 学会等名
  ISMTII2007
- 発表場所
  Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] エバネッセント光を利用したナノ光造形法の研究(第9報)-DMDによるエバネッセント強度分布制御法の検討-2007
- 著者名/発表者名
  武内徹, 梶原優介, 高橋哲, 高増潔
- 学会等名
  2007年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  旭川
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] Analysis of Lateral Resolution Improvement for Fluorescence Microscopy using Standing Evanescent Lisht2007
- 著者名/発表者名
  S. Takahashi, S. Okada, H. Nishioka, S. Usuki, K. Takamasu
- 学会等名
  ISMTII2007
- 発表場所
  Japan
- 年月日
  2007-09-07
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] 定在エバネッセント光を用いた超解像顕微法に関する研究(第4報)-定在波シフトによる変調散乱光観察実験-2007
- 著者名/発表者名
  岡田真一, 臼杵深, 高橋哲, 高増潔
- 学会等名
  2007年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  旭川
- 年月日
  2007-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18656041
[学会発表] Development of laser-assisted microfabrication sysetm for three-dimensional metal structures by photocatalysis2007
- 著者名/発表者名
  S. Takahashi, M. Okuno, Y. Kajihara, K. Takamasu
- 学会等名
  Euspen 2007
- 発表場所
  Germany
- 年月日
  2007-05-07
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] 近接場光を用いたナノインプリント残膜測定法に関する研究(第3報)-偏光特性を利用した残膜厚計測-2007
- 著者名/発表者名
  南口修一, 臼杵深, 高橋哲, 高増潔
- 学会等名
  2007年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  旭川
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] An Optical and Confocal Microscopic System for Nanostereolithography Using Evanescent Light Eliminate of the Nonlinearity in Heterode Interferometer2007
- 著者名/発表者名
  Y. Kajihara, T. Takeuchi, S. Takahashi K. Takamasu
- 学会等名
  ISMTII2007
- 発表場所
  Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] Study on alorithm of reconstructing topography based on topography difference2007
- 著者名/発表者名
  X. Chen, K. Kotani, K. Takamasu
- 学会等名
  Euspen 2007
- 発表場所
  Germany
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] Experimental Verification for Super-resolution Optical Inspection for Semiconductor Defect by using Standing Wave Illumination Shift2007
- 著者名/発表者名
  S. Usuki, H. Nishioka, S. Takahashi, K. Takamasu
- 学会等名
  8th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments
- 発表場所
  東北大学,仙台
- 年月日
  2007-09-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18656041
[学会発表] Analysis of Lateral Resolution Improvement for Fluorescence Microscopy using Standing Evanescent Light2007
- 著者名/発表者名
  S. Takahashi, S. Okada, H. Nishioka, S. Usuki, K. Takamasu
- 学会等名
  ISMTII2007
- 発表場所
  Japan
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] 半導体の線幅標準に関する研究(第2報)-ラインエッジの不確かさ要因-2007
- 著者名/発表者名
  澤内佑介, 高橋哲, 高増潔
- 学会等名
  2007年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  旭川
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] 平面リニアモータシステムの開発(第6報)-6自由度パラレルメカニズムの校正実験-2007
- 著者名/発表者名
  吉田敬亮, 妹尾達也, 陳欣, 小谷潔, 高増潔
- 学会等名
  2007年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  旭川
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] Study on algorithm of reconstructing topography based on topography difference2007
- 著者名/発表者名
  X. Chen, K. Kotani, K. Takamasu
- 学会等名
  Euspen 2007
- 発表場所
  Germany
- 年月日
  2007-05-07
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] 現場環境における三次元測定機の高精度化に関する研究(第5報)-時間的な影響を考慮した温度補正-2007
- 著者名/発表者名
  大西徹, 高瀬省徳, 高増潔
- 学会等名
  2007年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  旭川
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] Thin Film Thickness Measurement for Evaluation of Residual layer of Nano-Imprint Lithography Using Near-Field Optics2007
- 著者名/発表者名
  S. Minamiguchi, S. Usuki, S. Takahashi, K. Takamasu
- 学会等名
  ISMQC 2007
- 発表場所
  India
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] Uncertainty Estimation for Coordinate Metrology:Calibration, Form Deviation and Strategy of Measurement2007
- 著者名/発表者名
  K. Takamasu, S. Takahashi, M. Abbe, R. Furutani
- 学会等名
  ISMTII2007
- 発表場所
  Japan
- 年月日
  2007-09-07
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] Uncertainty Evaluation of CMM by Modeling with Spatial Constraint2007
- 著者名/発表者名
  M. Abbe, M. Nara, K. Takamasu
- 学会等名
  ISMQC2007
- 発表場所
  India
- 年月日
  2007-11-07
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] An Optical and Confocal Microscopic System for Nanostereolithography Using Evanescent Light Eliminate of the Nonlinearity in Heterodyne Interferometer2007
- 著者名/発表者名
  Y. Kajihara, T. Takeuchi, S. Takahashi, K. Takamasu
- 学会等名
  ISMTII2007
- 発表場所
  Japan
- 年月日
  2007-09-07
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16206025
[学会発表] 光触媒ナノ粒子を用いた3次元微細構造創製に関する研究（第4報）－THz波制御素子への応用可能性の検討－
- 著者名/発表者名
  吉越久倫，堀田陽亮，高橋哲,　高増潔
- 学会等名
  2014年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  鳥取
- 年月日
  2014-09-16 – 2014-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028
[学会発表] Non-Contact Measurement Technique for Dimensional Metrology Using Optical Comb
- 著者名/発表者名
  Wiroj Sudatham, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  LMPMI2014 (11th Laser Metrology for Precision Measurement and Inspection in Industry)
- 発表場所
  EPOCHAL Tsukuba, Tsukuba, Japan
- 年月日
  2014-09-02 – 2014-09-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630087
[学会発表] 光触媒ナノ粒子を用いた3次元微細構造創製に関する研究（第2報）－創製構造物の機能化に向けた実験的検討－
- 著者名/発表者名
  吉越久倫，門屋祥太郎，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  大阪
- 年月日
  2013-09-11 – 2013-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028
[学会発表] Fundamental study on the world’s thinnest layered micro-stereolithography using evanescent light
- 著者名/発表者名
  S. Takahashi, H. Tahara, K. Miyakawa, Y. Kajihara, and K. Takamasu
- 学会等名
  ASPE2014 Spring Topical Meeting
- 発表場所
  Berkerley, USA
- 年月日
  2014-04-14 – 2014-04-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028
[学会発表] 光触媒ナノ工具に関する基礎的研究（第5報）－光放射圧制御加工の実験的検証－
- 著者名/発表者名
  山口祐樹，加地史弥，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  2014年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2014-03-18 – 2014-03-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028
[学会発表] Study on Photocatalyzed Nano-removal Processing Tool for Microstereolithography
- 著者名/発表者名
  Yuki Yamaguchi, Takahiro Sekino, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2013)
- 発表場所
  Taipei, Taiwan
- 年月日
  2013-11-13 – 2013-11-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028
[学会発表] Nanometer Profile Measurement of Aspheric Surface Using Scanning Deflectometry and Rotating Autocollimator: Self-Calibration Method of Autocollimator
- 著者名/発表者名
  Kiyoshi Takamasu, Kyohei Ishikawa, Tomihiko Takamura, Muzheng Xiao, Satoru Takahashi
- 学会等名
  Proceeding of ASPE/ASPEN Summer Topical Meeting
- 発表場所
  Hawaii, USA
- 年月日
  2014-06-26 – 2014-06-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630087
[学会発表] 不確かさ算出持ち回り測定：ソフトウェアの誤差伝播による不確かさ解析
- 著者名/発表者名
  高増潔
- 学会等名
  CMM公開講座
- 発表場所
  東京電機大学，東京
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Distance Measurement Using Temporal-Coherence Interferometer with Optical Frequency Comb and Fiber Etalons
- 著者名/発表者名
  Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  Conference Paper Frontiers in Optics
- 発表場所
  Tucson, USA
- 年月日
  2014-10-19 – 2014-10-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630087
[学会発表] 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査（第19 報）－3 光束干渉定在波照明の自動生成法の検討－
- 著者名/発表者名
  久米大将，横関宏樹，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  2015年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2015-03-17 – 2015-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630018
[学会発表] スポット重複移動情報を用いた光学式超解像検査法の開発
- 著者名/発表者名
  金成碩，久米大将，横関宏樹，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  日本機械学会2015年度年次大会
- 発表場所
  北海道
- 年月日
  2015-09-13 – 2015-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630018
[学会発表] Absolute Length-Measuring System by Automatic Interference-Fringe-Peak Detection with Optical-Comb Fiber Interferometer
- 著者名/発表者名
  Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu
- 学会等名
  LMPMI2014 (11th Laser Metrology for Precision Measurement and Inspection in Industry)
- 発表場所
  EPOCHAL Tsukuba, Tsukuba, Japan
- 年月日
  2014-09-02 – 2014-09-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630087
[学会発表] Experimental Analysis of Laser-Assisted Microfabrication Using TiO2 Nanoparticles
- 著者名/発表者名
  H. Yoshigoe, S. Takahashi, K. Takamasu
- 学会等名
  the 13th euspen International Conference (euspen2013)
- 発表場所
  Berlin, Germany
- 年月日
  2013-05-28 – 2013-05-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028
[学会発表] 光触媒ナノ工具に関する基礎的研究（第８報）－放射圧動的制御による高安定トラップ－
- 著者名/発表者名
  加地史弥，堀田陽亮，高橋　哲，高増　潔
- 学会等名
  2015年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2015-03-17 – 2015-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028
[学会発表] スポット照明の重複シフトによる光学式超解像検査法（第4報）－スポット照明超解像型基礎実験装置の基本的機能検証－
- 著者名/発表者名
  横関宏樹，工藤良太，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  2014年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  鳥取
- 年月日
  2014-09-16 – 2014-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630018
[学会発表] スポット照明の重複シフトによる光学式超解像検査法(第5報) －離散的サンプルを用いた提案超解像原理の実験的検証－
- 著者名/発表者名
  横関宏樹，久米大将，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  2015年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2015-03-17 – 2015-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630018
[学会発表] 光触媒ナノ工具に関する基礎的研究（第6報）－インプロセス工具位置観察ユニットの実装－
- 著者名/発表者名
  加地史弥，山口祐樹，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  2014年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  鳥取
- 年月日
  2014-09-16 – 2014-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028
[学会発表] レーザー集光点近傍の光触媒反応を用いた3次元微細構造創製に関する研究
- 著者名/発表者名
  堀田陽亮，吉越久倫，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  日本機械学会第10回生産加工・工作機械部門講演会
- 発表場所
  徳島
- 年月日
  2014-11-15 – 2014-11-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028
[学会発表] 光触媒ナノ工具に関する基礎的研究（第７報）－回折限界を超えた微細除去加工の検討－
- 著者名/発表者名
  堀田陽亮，加地史弥，高橋　哲，高増　潔
- 学会等名
  2015年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2015-03-17 – 2015-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028
[学会発表] GPS規格の概要　－高精度の形状・大きさ・寸法を実現するためのGPS規格－
- 著者名/発表者名
  高増潔
- 学会等名
  2012年度精密工学会春季大会シンポジウム
- 発表場所
  首都大学東京，東京
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査（第18報）－コヒーレント結像逐次再構成型超解像による二次元超解像法のシミュレーションによる検討－
- 著者名/発表者名
  工藤良太，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  2014年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  鳥取
- 年月日
  2014-09-16 – 2014-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630018
[学会発表] Theoretical Analysis of the Spatial Process Resolution of Evanescent Light Exposure for Nano-stereolithography
- 著者名/発表者名
  Hiroyuki TAHARA, Kodai MIYAKAWA, Toshimune NAGANO, Satoru TAKAHASHI and Kiyoshi TAKAMASU
- 学会等名
  the 15th International Conference on Precision Engineering
- 発表場所
  Kanazawa
- 年月日
  2014-07-23 – 2014-07-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028
[学会発表] 光触媒ナノ工具に関する研究（第3報）－微小除去加工特性の実験的解析－
- 著者名/発表者名
  山口祐樹，加地史弥，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  大阪
- 年月日
  2013-09-11 – 2013-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028
[学会発表] Analysis of TiO2 nanotool handling characteristics for microplastic structures based on laser trapping technique
- 著者名/発表者名
  Fumiya KAJI, Yuki YAMAGUCHI, Satoru TAKAHASHI and Kiyoshi TAKAMASU
- 学会等名
  the 15th International Conference on Precision Engineering
- 発表場所
  Kanazawa
- 年月日
  2014-07-23 – 2014-07-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028
[学会発表] 光触媒ナノ加工工具に関する基礎的研究（第4報）－光放射圧によるTiO2工具チップ把持特性－
- 著者名/発表者名
  加地史弥，山口祐樹，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  2014年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2014-03-18 – 2014-03-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246028
[学会発表] 三次元測定機の課題
- 著者名/発表者名
  高増潔
- 学会等名
  CMM技術交流会：TTDC
- 発表場所
  豊田，愛知
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246016
[学会発表] Precision measurement technique for rough surface object using self-beat signals of optical frequency comb
- 著者名/発表者名
  Taro Onoe, Zongluo Yang, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
- 学会等名
  Proceedings of the 14th euspen International Conference
- 発表場所
  Dubrovnik, Croatia
- 年月日
  2014-06-02 – 2014-06-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630087
[学会発表] 微細加工構造の超回折限界光学式計測法の開発
- 著者名/発表者名
  久米大将，横関宏樹，工藤良太，高橋哲，高増潔
- 学会等名
  日本機械学会第10回生産加工・工作機械部門講演会
- 発表場所
  徳島
- 年月日
  2014-11-15 – 2014-11-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630018

1. 高橋哲 (30283724)

共同の研究課題数: 12件

共同の研究成果数: 322件
2. 古谷涼秋 (50219119)

共同の研究課題数: 5件

共同の研究成果数: 6件
3. 大園成夫 (10010878)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
4. 道畑正岐 (70588855)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 41件
5. 松本弘一 (00358045)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 31件
6. 三隅伊知子 (40358099)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
7. 佐藤理 (60392619)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 52件
8. 下河辺明 (40016796)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
9. 三好隆志 (00002048)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
10. 高田孝次 (80126474)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
11. 清野慧 (40005468)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
12. 加藤純一 (70177450)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
13. 久米達哉 (40353362)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件
14. 高谷裕浩 (70243178)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
15. 高偉 (70270816)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件
16. 高辻利之 (20357362)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
17. 笹島和幸 (80170702)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
18. 三部勉 (80536938)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件
19. 韋冬

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件
20. 明田川正人

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件

高増 潔 Takamasu Kiyoshi

研究課題

研究成果

共同研究者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

大型構造物を対象としたコムセルフビート距離計を用いた粗面の三次元絶対形状測定研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

次世代三次元形状の高精度化のための三次元計測における不確かさ推定手法の実用化研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

フェムト秒レーザを用いた生産環境のトレーサブル絶対三次元空間化研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ナノ三次元計測における不確かさ推定手法の体系化研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ナノスケール生産基盤におけるコア計測技術に関する企画調査研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

高増潔 Takamasu Kiyoshi