木下治久 KINOSHITA Haruhisa

研究者番号	70204948
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所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2007年度: 静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 2005年度 – 2006年度: 静岡大学, 電子工学研究所, 助教授 2001年度 – 2002年度: 静岡大学, 電子工学研究所, 助教授 1997年度 – 1999年度: 静岡大学, 電子工学研究所, 助教授 1990年度 – 1992年度: 静岡大学, 電子工学研究所, 助教授
審査区分/研究分野	研究代表者電子デバイス・機器工学 / 電子材料工学 / 薄膜・表面界面物性研究代表者以外プラズマ理工学 / 応用物理学一般
キーワード	研究代表者マグネトロンプラズマ / スーパーマグネトロンプラズマ / フィールドエミッタ / プラズマCVD / Field emitter / Plasma CVD / Supermagnetron plasma / Magnetron plasma / ダイヤモンド状炭素膜 / 反応性イオンエッチング … もっと見る / プラズマプロセス / プラズマエッチング / 半導体プロセス / ス-パ-マグネトロンプラズマ / Diamond-like carbon films / Diamond-like Carbon film / plasma etching / reactive ion etching / plasma process / quarter-micron etching / low temperature etching / semiconductor process / supermagnetron plasma / magnetron plasma / クォータミクロンエッチング / 低温エッチング / a-CN_x:H膜 / 電界電子放出 / ブイールドエミッタ / アモルファス炭素 / a-C:H膜 / 発光スペクトル / プラズマ診断 … もっと見る研究代表者以外 frequency spectra / hot electrons / Landau damping / ion plasma frequency / Langnuir wave / microwave frequency / parametric instability / 石英板 / 高エネルギー電子 / 反射電力 / 環状スロットアンテナ / 共振器のQ値 / 表面波励起子 / イオンプラズマ振動 / 電子加速機構 / 表面波励起プラズマ / 表面波プラズマの励起機構 / 電子の加熱 / イオン波 / ラングミュア波 / 電磁波 / パラメトリック不安定性 / 遮断密度 / 光励起 / セシウム / 空間電荷中和度 / コジェネレーション / 太陽光 / 熱電子発電器 / 光吸収率 / 仕事関数 / 太陽エネルギー / 光トラップ付エミッタ / エミッタ温度 / 発電効率隠す

無電界電子放出源を目指したナノ構造光起電力薄膜の研究研究代表者
- 研究代表者
  
  木下治久
- 研究期間 (年度)
  2005 – 2007
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  薄膜・表面界面物性
- 研究機関
  静岡大学
高性能微細構造冷陰極電子源の研究研究代表者
- 研究代表者
  
  木下治久
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2002
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  電子デバイス・機器工学
- 研究機関
  静岡大学
光照射をセシウム光電離と電極加熱に利用する高効率熱電子発電器の研究
- 研究代表者
  
  神藤正士
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2000
- 研究種目
  
  萌芽的研究
- 研究分野
  
  応用物理学一般
- 研究機関
  静岡大学
表面波プラズマの励起機構と電磁エネルギーの輸送過程
- 研究代表者
  
  神藤正士
- 研究期間 (年度)
  1998 – 1999
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  プラズマ理工学
- 研究機関
  静岡大学
半導体デバイスプロセス用途・導電性ダイヤモンド状炭素膜のプラズマCVD研究代表者
- 研究代表者
  
  木下治久
- 研究期間 (年度)
  1997 – 1999
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  電子デバイス・機器工学
- 研究機関
  静岡大学
スーパーマグネトロンプラズマを用いたレジストの高精度・超微細エッチング研究代表者
- 研究代表者
  
  木下治久
- 研究期間 (年度)
  1991 – 1992
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  電子材料工学
- 研究機関
  静岡大学
高均一・高密度マグネトロンプラズマの発生の研究研究代表者
- 研究代表者
  
  木下治久
- 研究期間 (年度)
  1990
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  静岡大学

すべて 2008 2007 2006 2005

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Sputter-assisted Plasma CVD of Wide or Narrow Optical Bandgap Amorphous CN_X:H Films Using i-C4H_10/N_2 Supermagnetron Plasma2008
- 著者名/発表者名
  H.Kinoshita, et. al.
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films 516
  
  ページ: 4441-4445
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17656014
[雑誌論文] Surface Etching Effects of Amorphous C:H and CN_X:H Films Formed by Supermagnetron Plasma for Field Emission Use2008
- 著者名/発表者名
  H.Kinoshita, et. al.
- 雑誌名
  
  hin Solid Fi1ms 516
  
  ページ: 3656-3660
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17656014
[雑誌論文] Sputter-assisted Plasma CVD of Polymer-like Amorphous-CN_x : H Films Using Supermagnetron Plasma2007
- 著者名/発表者名
  H.Kinoshita, R.Ikuta, K.Sakurai
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films Vol.515,Issue 9
  
  ページ: 4121-4124
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17656014
[雑誌論文] Fiels-emission Characteristics of Siamond-like Amorphous Carbon Films Deposited by Mixed Gas _N_2 or H_2) Controlled i-C_4H_<10> Supermagnetron Plasma2007
- 著者名/発表者名
  H.Kinoshita, et. al.
- 雑誌名
  
  Thin Solid films 515
  
  ページ: 5142-5146
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17656014
[雑誌論文] Diamond-Like Amorphous Carbon Films Deposited for Field-Emission Use by Upper- Electrode -RF-Power-Controlled Supermagnetron Plasma2006
- 著者名/発表者名
  H.Kinoshita, M.Yamashita, T.Yamaguchi
- 雑誌名
  
  Jpn.J. Appl. Phys. Vol.45,No.10B
  
  ページ: 8401-8405
- NAID
  10018339971
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17656014
[雑誌論文] Formation of Wide and Narrow Optical-Band-Gap Amorphous-CN_x : H Films Using i-C_4H_<10>/N_2 Supermagnetron Plasma2005
- 著者名/発表者名
  Haruhisa Kinoshita, Ryo Ikuta, Katsutoshi Sakurai
- 雑誌名
  
  Appl.Surf.Sci. Vol.244,Issues1-4
  
  ページ: 314-317
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17656014
[学会発表] スーパーマグネトロンプラズマCVDによる発光性a-CN_x:且膜の作製2008
- 著者名/発表者名
  桜井勝俊、木下治久
- 学会等名
  第25回プラズマプロセシング研究会
- 発表場所
  山口
- 年月日
  2008-01-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17656014
[学会発表] スーパーマグネトロンプラズマCVDによるDLC膜の堆積-下電極RF電力依存性-2008
- 著者名/発表者名
  櫻井勝俊、木下治久
- 学会等名
  第55回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  千葉
- 年月日
  2008-03-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17656014
[学会発表] Electroluminescence Properties of a-CNX_:H Films Deposited by Supermagnetron Plasma CVD2007
- 著者名/発表者名
  K.Sakurai, H.Kinoshita, et. al.
- 学会等名
  The 6th International Conference on Globa Research and Education
- 発表場所
  浜松
- 年月日
  2007-09-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17656014
[学会発表] 紫外線照射による大気中におけるa-CN_x:H膜の酸化2007
- 著者名/発表者名
  櫻井勝俊、木下治久
- 学会等名
  電子情報通信学会技術研究会
- 発表場所
  浜松
- 年月日
  2007-05-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17656014
[学会発表] Amorphous CN_X:H Films Formed for Solar Cells Using i-C_4H_<10>/N_2Supermagnetron Plasma2007
- 著者名/発表者名
  木下治久、木山誠、鈴木寛之
- 学会等名
  第20回プラズマ材料科学シンポジウム
- 発表場所
  名古屋
- 年月日
  2007-06-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17656014
[学会発表] 紫外線照射による軟質a-CN_x:H膜の大気中酸化2007
- 著者名/発表者名
  櫻井勝俊、木下治久
- 学会等名
  第68回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  札幌
- 年月日
  2007-09-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17656014
[学会発表] Oxidation of Amorphous Carbon Films by Ultraviolet Light Irradiation and Thermal Annealin2007
- 著者名/発表者名
  H.Kinoshita, et. al.
- 学会等名
  29th International Symposium on Dry Process
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2007-11-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17656014

1. 神藤正士 (60023248)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
2. 畑中義式 (60006278)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
3. 松本治

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
4. 金沢元一

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

木下 治久 KINOSHITA Haruhisa

研究課題

研究成果

共同研究者

無電界電子放出源を目指したナノ構造光起電力薄膜の研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

高性能微細構造冷陰極電子源の研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

光照射をセシウム光電離と電極加熱に利用する高効率熱電子発電器の研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

表面波プラズマの励起機構と電磁エネルギーの輸送過程

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

半導体デバイスプロセス用途・導電性ダイヤモンド状炭素膜のプラズマCVD研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

スーパーマグネトロンプラズマを用いたレジストの高精度・超微細エッチング研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

高均一・高密度マグネトロンプラズマの発生の研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

[雑誌論文] Sputter-assisted Plasma CVD of Wide or Narrow Optical Bandgap Amorphous CN_X:H Films Using i-C4H_10/N_2 Supermagnetron Plasma2008

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Surface Etching Effects of Amorphous C:H and CN_X:H Films Formed by Supermagnetron Plasma for Field Emission Use2008

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Sputter-assisted Plasma CVD of Polymer-like Amorphous-CN_x : H Films Using Supermagnetron Plasma2007

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Fiels-emission Characteristics of Siamond-like Amorphous Carbon Films Deposited by Mixed Gas _N_2 or H_2) Controlled i-C_4H_<10> Supermagnetron Plasma2007

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Diamond-Like Amorphous Carbon Films Deposited for Field-Emission Use by Upper- Electrode -RF-Power-Controlled Supermagnetron Plasma2006

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

データソース

[雑誌論文] Formation of Wide and Narrow Optical-Band-Gap Amorphous-CN_x : H Films Using i-C_4H_<10>/N_2 Supermagnetron Plasma2005

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[学会発表] スーパーマグネトロンプラズマCVDによる発光性a-CN_x:且膜の作製2008

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

年月日

データソース

[学会発表] スーパーマグネトロンプラズマCVDによるDLC膜の堆積-下電極RF電力依存性-2008

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

木下治久 KINOSHITA Haruhisa