古屋謙治 FURUYA KENJI

… 別表記

古屋護治フルヤケンジ

研究者番号	70229128
その他のID
外部サイト
所属 (現在)	2025年度: 九州大学, 基幹教育院, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2013年度: 九州大学, 基幹教育院, 教授 2012年度: 九州大学, 学内共同利用施設等, 教授 2006年度: 九州大学, 大学院総合理工学研究院, 助教授 2004年度 – 2005年度: 九州大学, 大学院・総合理工学研究院, 助教授 2004年度: 九州大学, 大学院・理工学研究院, 助教授 … もっと見る 2003年度: 九州大学, 大学院・総合理工学研究院, 助手 2003年度: 九州大学, 総合理工学研究院, 助手 1998年度: 九州大学, 大学院総合理工学研究科, 助手 1997年度: 九州大学, 大学院・総合理工学研究科, 助手 1995年度: 九州大学, 大学院・総合理工学研究科, 助手 1993年度: 九州大学, 大学院・総合理工学研究科, 助手 1993年度: 九州大学, 総合理工学研究科, 助手隠す
審査区分/研究分野	研究代表者プラズマ科学 / 物理化学研究代表者以外環境技術・環境材料 / 分析化学 / 構造化学 / 物理化学
キーワード	研究代表者コインシデンス測定 / Mass spectrometry / プラズマ / 質量分析 / 解離性イオン化 / 電子エネルギーロススペクトル / 反応素過程 / Thin Film / Reaction Mechanism / Growth of gaseous molecules … もっと見る / Plasma / Fluorocarbon / 薄膜 / 反応機構 / 気相成長 / フルオロカーボン / Lithium ion / Growth of gaseous molecule / Dication of CF3 / SiO2 etching process / Perfluorocarbon plasma / CF4生成機構 / CF4検出 / パーフルオロカーボン / リチウムイオン / 気相分子成長 / CF3の2価イオン / SiO2エッチングプロセス / パーフルオロカーボンプラズマ / ヨウ素フィルター / 低波数ラマン分光 / ダストプラズマ / アセチレン / エチレン / 発光 / 超励起分子 / 電子衝撃 / 窒素分子 / 酸素分子 / 並進エネルギー分析 / 電子-分子衝突 / 超音速分子線 / 発光スペクトル / 電子衝突 … もっと見る研究代表者以外 NOx / photochemical process / laser / microwave discharge / global warming / exhaust / greenhouse gases / air pollution / エキシマーレーザー / 大気環境保全 / エキシマレーザー / 窒素酸化物 / マイクロ波放電 / 光プロセス / レーザー / マイクロ波プラズマ / 公害防止・対策 / 環境技術 / 大気汚染防止・浄化 / nonradiative relaxation / transient absorption / multi-color enhancement / thermal lens / photothermal spectroscopy / separation analysis / nonfluorescent molecules / single molecule detection / 無幅射綬和 / 分子カウンティング / 無輻射緩和 / 過渡吸収 / 多色増幅効果 / 顕微熱レンズ検出 / 光熱変換分光法 / 分離分析 / 無蛍光性化学種 / 単一分子検出 / Doppler profile / Vibrataional and rotational distribution / Emission cross section / Paschen line / Excited dhydrogen atom / Infrared emission / Reaction dynamics / Electron-impact / 水素 / 断面積 / 赤外発光スペクトル / 超励起状態 / 励起解離 / 振動回転分布、 / 発光断面積、 / パッシェン系列、 / 励起水素原子、 / 赤外発光、 / 反応素過程、 / 電子衝突、 / ドプラー線形 / 振動回転分布 / 発光断面積 / パッシェン系列 / 励起水素原子 / 赤外発光 / 反応素過程 / 電子衝突 / 超励起分子 / コインシデンス測定 / 角度分布 / エネルギー分布 / 電子衝撃 / 電子放出 / 自動イオン化 / 電子エネルギーロス隠す

反応性ダストプラズマ中における周期的ボイド発生メカニズムの解明研究代表者
- 研究代表者
  
  古屋謙治
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2013
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  プラズマ科学
- 研究機関
  九州大学
フルオロカーボンプラズマ下流での気相分子成長とその応用研究代表者
- 研究代表者
  
  古屋謙治
- 研究期間 (年度)
  2005 – 2006
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  プラズマ科学
- 研究機関
  九州大学
液中単一無蛍光性分子の化学種選択的カウンティング法の開発
- 研究代表者
  
  原田明
- 研究期間 (年度)
  2003 – 2006
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  分析化学
- 研究機関
  九州大学
マイクロ波放電及び光プロセスを用いた排ガス処理装置の開発
- 研究代表者
  
  辻正治
- 研究期間 (年度)
  2003 – 2005
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  環境技術・環境材料
- 研究機関
  九州大学
代替パーフルオロカーボンプラズマ中で生成する有害物質の高感度検出研究代表者
- 研究代表者
  
  古屋謙治
- 研究期間 (年度)
  2003 – 2004
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  プラズマ科学
- 研究機関
  九州大学
発光-フラグメントイオンコインシデンス測定で見る超励起分子の解離ダイナミクス研究代表者
- 研究代表者
  
  古屋護治 (古屋謙治)
- 研究期間 (年度)
  1997 – 1998
- 研究種目
  
  奨励研究(A)
- 研究分野
  
  物理化学
- 研究機関
  九州大学
自動イオン化で放出される電子のエネルギー分布と角度分布の測定
- 研究代表者
  
  小川禎一郎
- 研究期間 (年度)
  1997
- 研究種目
  
  萌芽的研究
- 研究分野
  
  物理化学
- 研究機関
  九州大学
電子衝突励起で生成したフラグメントイオンのエネルギー分析研究代表者
- 研究代表者
  
  古屋謙治
- 研究期間 (年度)
  1995
- 研究種目
  
  奨励研究(A)
- 研究分野
  
  物理化学
- 研究機関
  九州大学
電子衝突励起による散乱電子-発光コインシデンス装置の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  古屋謙治
- 研究期間 (年度)
  1993
- 研究種目
  
  奨励研究(A)
- 研究分野
  
  物理化学
- 研究機関
  九州大学
電子による分子の励起・解離素過程の赤外発光スペクトル法による研究
- 研究代表者
  
  小川禎一郎 (小川禎一朗)
- 研究期間 (年度)
  1990 – 1993
- 研究種目
  
  一般研究(A)
- 研究分野
  
  構造化学
- 研究機関
  九州大学

すべて 2013 2007 2006 2005 2004 2003

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Surface Structure and Chemical Bonding of Polymeric Perfluorocarbon in the Initial Stage of Deposition in Ar/c-C_4F_8 plasmas2007
- 著者名/発表者名
  Kenji Furuya et al.
- 雑誌名
  
  24th Symposium on Plasma Processing (SPP-24) Proceedings 2007
  
  ページ: 245-246
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17540471
[雑誌論文] Surface Structure and Chemical Bonding of Polymeric Perfluorocarbon in the Initial Stage of Deposition in Ar/c-C_4F_8 plasmas2007
- 著者名/発表者名
  Kenji Furuya et al.
- 雑誌名
  
  24th Symposium on Plasma Processing (SPP-24) Proceedings
  
  ページ: 245-246
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17540471
[雑誌論文] Growth of fluorocarbon macromolecules in the gas phase : II. The growth mechanisms of large positive ions observed in the downstream region of Ar/CF_4 plasmas2006
- 著者名/発表者名
  Kenji Furuya et al.
- 雑誌名
  
  Jpn.J.Appl.Phys. Vol.45, No.6A
  
  ページ: 5219-5231
- NAID
  10018149285
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17540471
[雑誌論文] Growth of fluorocarbon macromolecules in the gas phase : II. The growth mechanisms of large positive ions observed in the downstream region of Ar/CF_4 plasmas2006
- 著者名/発表者名
  Kenji Furuya et al.
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 45・6A
  
  ページ: 5219-5231
- NAID
  10018149285
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17540471
[雑誌論文] パーフルオロ化合物プラズマ下流における気相分子成長-観測・反応・成膜-2006
- 著者名/発表者名
  古屋謙治他
- 雑誌名
  
  真空 49・3(印刷中)
- NAID
  10018133650
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17540471
[雑誌論文] パーフルオロ化合物プラズマ下流における気相分子成長-観測・反応・成膜-2006
- 著者名/発表者名
  古屋謙治他
- 雑誌名
  
  真空 49・3
  
  ページ: 195-197
- NAID
  10018133650
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17540471
[雑誌論文] リチウムイオン付着法を利用した質量分析2006
- 著者名/発表者名
  古屋謙治
- 雑誌名
  
  ぶんせき 2006・12
  
  ページ: 644-644
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17540471
[雑誌論文] Mass spectrometry using a lithium ion attachment technique2006
- 著者名/発表者名
  Kenji Furuya
- 雑誌名
  
  Bunseki Vol.2006, No.12
  
  ページ: 644-644
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17540471
[雑誌論文] Mass Spectrometric Investigation of Perfluorocarbon Macromolecules in the Downstream Region of Ar/CF_4 Plasmas and the Formation Mechanisms of Large Positive Ions2006
- 著者名/発表者名
  Kenji Furuya et al.
- 雑誌名
  
  6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing (ICRP-6/SPP-23) Proceedings 2006
  
  ページ: 391-392
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17540471
[雑誌論文] Growth of Gaseous Macromolecules in the Downstream Region of Perfluorocompounds Plasmas2006
- 著者名/発表者名
  Kenji Furuya et al.
- 雑誌名
  
  J.Vac.Soc.Jpn. Vol.49, No.3
  
  ページ: 195-197
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17540471
[雑誌論文] Growth of fluorocarbon macromolecules in the gas phase (II). The growth mechanisms of large positive ions observed in the downstream region of Ar/CF_4 plasmas2006
- 著者名/発表者名
  Kenji Furuya et al.
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics (印刷中)
- NAID
  10018149285
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17540471
[雑誌論文] Growth of fluorocarbon macromolecules in the gas phase (II). The growth mechanisms of large positive ions observed in the downstream region of Ar/CF_4 plasmas2006
- 著者名/発表者名
  Kenji FURUYA, Shinobu YUKITA, Akira HARATA
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 45(6A)
  
  ページ: 5219-5231
- NAID
  10018149285
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15205011
[雑誌論文] Mass Spectrometric Investigation of Perfluorocarbon Macromolecules in the Downstream Region of Ar/CF_4 Plasmas and the Formation Mechanisms of Large Positive Ions2006
- 著者名/発表者名
  Kenji Furuya et al.
- 雑誌名
  
  6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing (ICRP-6/SPP-23) Proceedings
  
  ページ: 391-392
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17540471
[雑誌論文] Growth of gaseous macromolecules downstream in perfluorocarbon plasmas and its application to thin film formation2005
- 著者名/発表者名
  K.Furuya, S.Yukita, H.Okumura, R.Nakanishi, M.Makita, A.Harata
- 雑誌名
  
  Plasma Science Symposium 2005/The 22nd Symposium on Plasma Processing (Proceedings)
  
  ページ: 623-624
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15540476
[雑誌論文] Growth of gaseous macromolecules downstream in perfluorocarbon plasmas and its application to thin film formation2005
- 著者名/発表者名
  K.Furuya.S.Yukita, H.Okumura, R.Nakanishi, M.Makita, A.Harata
- 雑誌名
  
  Plasma Science Symposium 2005/The 22nd Symposium on Plasma Processing, Proceedings
  
  ページ: 623-624
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15540476
[雑誌論文] Growth of Fluorocarbon Macromolecules in a Gas Phase (I). Mass Spectroscopic Investigation Down stream in Ar/CF_4 Plasmas.2005
- 著者名/発表者名
  Kenji FURUYA, Shinobu YUKITA, Hiroshi OKUMURA, Akira HARATA
- 雑誌名
  
  Chemistry Letters 34
  
  ページ: 224-225
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15205011
[雑誌論文] Growth of gaseous macromolecules downstream in perfluorocarbon plasmas and its application to thin film formation2005
- 著者名/発表者名
  K.Furuya, S.Yukita, H.Okumura, R.Nakanishi, M.Makita, A.Harata
- 雑誌名
  
  Plasma Science Symposium 2005/The 22nd Symposium on Plasma Processing(Proceedings)
  
  ページ: 623-624
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15540476
[雑誌論文] Growth of fluorocarbon macromolecules in a gas phase (I). Mass spectrometric investigation of products in the downstream region of Ar/CF_4 plasmas2005
- 著者名/発表者名
  K.Furuya.S.Yukita, H.Okumura, A.Harata
- 雑誌名
  
  Chem.Lett. 34
  
  ページ: 224-225
- NAID
  10014364385
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15540476
[雑誌論文] Growth of Fluorocarbon Macromolecules in a Gas Phase(I). Mass Spectrometric Investigation of Products in the Downstream Region of Ar/CF_4 Plasmas2005
- 著者名/発表者名
  Kenji Furuya, Shinobu Yukita, Hiroshi Okumura, Akira Harata
- 雑誌名
  
  Chemistry Letters 34
  
  ページ: 224-225
- NAID
  10014364385
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15540476
[雑誌論文] Growth of Fluorocarbon Macromolecules in a Gas Phase (I). Mass Spectrometric Investigation of Products in the Downstream Region of Ar/CF_4 Plasmas2005
- 著者名/発表者名
  Kenji Furuya, Shinobu Yukita, Hiroshi Okumura, Akira Harata
- 雑誌名
  
  Chemistry Letters 34
  
  ページ: 224-225
- NAID
  10014364385
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15540476
[雑誌論文] ドライエッチング過程で再合成される有害物質の生成機構に関する研究2004
- 著者名/発表者名
  古屋謙治
- 雑誌名
  
  新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)委託「電子デバイス製造プロセスで使用するエッチングガスの代替ガス・システム及び代替プロセスの研究開発」成果報告書(技術研究組合超先端電子技術開発機構(ASET))
  
  ページ: 524-538
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15540476
[雑誌論文] Study on the production mechanism of hazardous gases re-synthesized in dry etching processes (in Japanese)2004
- 著者名/発表者名
  K.Furuya
- 雑誌名
  
  Report of Research and Development of Alternative Gas System and Alternative Process Technology for Etching Gases Used in the Manufacture of Electronic Devices
  
  ページ: 524-538
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15540476
[雑誌論文] Quantitative Analysis of CF4 Produced in the SiO_2 Etching Process Using c-C_4F_8, C_3F_8, and C_2F_6 Plasmas by In Situ Mass Spectrometry2004
- 著者名/発表者名
  Kenji Furuya, Yoshihiko Hatano
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 43
  
  ページ: 342-346
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15540476
[雑誌論文] Quantitative Analysis of CF_4 Produced in the SiO_2 Etching Process by c-C_4F_8,C_3F_8,and C_2F_6 Plasmas Using In-Situ Mass Spectrometry2004
- 著者名/発表者名
  K.Furuya, Y.Hatano
- 雑誌名
  
  Jpn.J.Appl.Phys. 43
  
  ページ: 342-346
- NAID
  10021992333
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15540476
[雑誌論文] Quantitative Analysis of CF_4 Produced in the SiO_2 Etching Process by c-C_4F_8,C_3F_8,and C_2F_6 Plasmas Using In-Situ Mass Spectrometry2003
- 著者名/発表者名
  K.Furuya, Y.Hatano
- 雑誌名
  
  Atomic Collision Research in Japan 29
  
  ページ: 1-2
- NAID
  10021992333
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15540476
[雑誌論文] c-C_4F_8、C_3F_8、およびC_2F_6プラズマを用いたSiO_2エッチングプロセスで生成したCF_4のIn Situ質量分析法による定量分析2003
- 著者名/発表者名
  古屋謙治, 籏野嘉彦
- 雑誌名
  
  九州大学中央分析センター報告 21
  
  ページ: 33-41
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15540476
[雑誌論文] Quantitative Analysis of CF_4 Produced in the SiO_2 Etching Process Using c-C_4F_8, C_3F_8, and C_2F_6 Plasmas by In Situ Mass Spectrometry2003
- 著者名/発表者名
  Kenji Furuya, Yoshihiko Hatano
- 雑誌名
  
  Atomic Collision Research in Japan 29
  
  ページ: 1-2
- NAID
  10011949690
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15540476
[雑誌論文] Quantitative Analysis of CF_4 Produced in the SiO_2 Etching Process Using c-C_4F_8,C_3F_8,and C_2F_6 Plasmas by In Situ Mass Spectrometry (in Japanese)2003
- 著者名/発表者名
  K.Furuya, Y.Hatano
- 雑誌名
  
  Report of the Center of Advanced Instrumental Analysis, Kyushu University 21
  
  ページ: 33-41
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15540476
[学会発表] 反応性プラズマ中での分子成長2013
- 著者名/発表者名
  古屋謙治
- 学会等名
  九重分光関連夏季セミナー
- 発表場所
  大分
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24654197
[学会発表] 反応性プラズマ中での分子成長2013
- 著者名/発表者名
  古屋謙治
- 学会等名
  九重分光関連夏季セミナー2013
- 発表場所
  国立大学九重共同研修所
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24654197

1. 小川禎一郎 (50028156)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
2. 原田明 (90222231)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件
3. 石岡寿雄 (60304838)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
4. 辻正治 (30038608)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
5. 辻剛志 (50284568)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
6. 中島慶治 (50188934)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

古屋 謙治 FURUYA KENJI

古屋 護治 フルヤ ケンジ

研究課題

研究成果

共同研究者

反応性ダストプラズマ中における周期的ボイド発生メカニズムの解明研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

フルオロカーボンプラズマ下流での気相分子成長とその応用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

液中単一無蛍光性分子の化学種選択的カウンティング法の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

マイクロ波放電及び光プロセスを用いた排ガス処理装置の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

代替パーフルオロカーボンプラズマ中で生成する有害物質の高感度検出研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

発光-フラグメントイオンコインシデンス測定で見る超励起分子の解離ダイナミクス研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

自動イオン化で放出される電子のエネルギー分布と角度分布の測定

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

電子衝突励起で生成したフラグメントイオンのエネルギー分析研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

電子衝突励起による散乱電子-発光コインシデンス装置の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

電子による分子の励起・解離素過程の赤外発光スペクトル法による研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Surface Structure and Chemical Bonding of Polymeric Perfluorocarbon in the Initial Stage of Deposition in Ar/c-C_4F_8 plasmas2007

著者名/発表者名

雑誌名

説明

データソース

[雑誌論文] Surface Structure and Chemical Bonding of Polymeric Perfluorocarbon in the Initial Stage of Deposition in Ar/c-C_4F_8 plasmas2007

著者名/発表者名

雑誌名

説明

データソース

[雑誌論文] Growth of fluorocarbon macromolecules in the gas phase : II. The growth mechanisms of large positive ions observed in the downstream region of Ar/CF_4 plasmas2006

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

説明

古屋謙治 FURUYA KENJI

古屋護治フルヤケンジ