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高谷 裕浩  TAKAYA Yasuhiro

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 70243178
その他のID
外部サイト
所属 (現在) 2025年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2022年度 – 2024年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授
2016年度 – 2021年度: 大阪大学, 工学研究科, 教授
2012年度 – 2015年度: 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授
2013年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授
2010年度 – 2011年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授 … もっと見る
2009年度: 大阪大学, 工学研究科, 教授
2006年度 – 2008年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授
2006年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授
1998年度 – 2005年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教授
1997年度: 大阪大学, 工学部, 助教授
1995年度 – 1996年度: 大阪大学, 工学部, 講師
1993年度 – 1994年度: 大阪大学, 工学部, 助手 隠す
審査区分/研究分野
研究代表者
生産工学・加工学 / 機械工作・生産工学 / 小区分18020:加工学および生産工学関連 / 中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野 / 材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
研究代表者以外
機械工作・生産工学 / 生産工学・加工学 / 小区分21030:計測工学関連 / 知能機械学・機械システム / 中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野 / 計測工学 / 機械材料・材料力学
キーワード
研究代表者
光放射圧 / 加工計測 / 電子増強ラマン散乱効果 / 加工現象解析 / マイクロ部品 / レーザトラッピング / フォトンメトロロジー / Radiation pressure / Laser trapping / マイクロプローブ … もっと見る / Micropart / FDTD simulation / Microparts / ナノ微細加工 / 局在型表面プラズモン / 伝搬型表面プラズモン / フォトニック・ナノジェット / 水酸化フラーレン / フェムト秒パルスレーザ / ナノテクノロジー / インプロセス計測 / レーザ応用計測 / クラック先端応力場 / ナノ・インプロセス計測 / レーザフィラメント / ナノ・クラック計測 / 精密ガラス加工表面 / 量子もつれ光子対 / ラマン分光 / 散乱ドレスト光子 / 光スピンホール効果 / 量子的ゴーストイメージング / 光子散乱 / ナノ表面トポグラフィ / エンジニアード・サーフェス / 量子もつれ光子 / 後方散乱ラマン分光 / 残留応力 / ガラス加工表面マイクロクラック / 予測型マイクロクラック計測 / ドレスト光子フォノン / 量子もつれ光子プローブ / 仮想量子ドット / ナノ・サーフェスインテグリティ / ガラス加工表面 / 時間・空間選択性 / 超微細レーザ加工 / ナノ局所界面計測 / 光周波数コム・ラマン散乱解析 / 液中超短パルスレーザ加工 / 三次元表面トポグラフィ / 逆散乱問題 / 散乱分光計測 / ファイバレーザー / 面計測 / フーリエ変換光学系 / レーザー逆散乱法 / 散乱分光計 / 光周波数コム / 3次元表面トポグラフィ / ナノ機械加工 / 原子構造体 / ドレスト光子 / 量子もつれ / フォトン・プローブ / Multi-scale measurement / Nanometrology / Surface fine figure / Three dimensional surface / Microprobe / 複合計測 / ナノ計測 / 表面微細形状 / 3次元形状 / Vibro-probe / Silica particle / Optical fiber / Micro-probe / Nano-CMM / 大気中トラップ / 振動型プローブ / シリカ微粒子 / 光ファイバー / ナノCMM / Solidification process analysis / Color doped resin / Overthang form / Image exposure / LCD mask / Stereolithography / 濃淡画像マスク / 動的露光法 / 動画像マスク / FDTDシミュレーション / 樹脂硬化プロセス解析 / 色素添加光硬化性樹脂 / オーバーハング形状 / 面露光法 / 微小部品 / 液晶マスク / 光造形 / Probe tip / Evanescent Light / IR Laser / COP / Nano-defect / Sub-surface / Silicon wafer / エバネセント光検出ユニット / AFM探針 / 赤外エバネセント場 / COP欠陥 / プローブ / 有限差分時間領域法 / エバネセント場 / 赤外レーザ / 加工表面層欠陥 / シリコンウェハ / Optical torque / Particle / Micromachining / Machining tool / Diamond thin film / Silicon mold / Radiation pressure force / 光硬化性樹脂 / TDFD法 / ナノ加工痕 / 円偏光 / 光放射圧トルク / 回転微粒子 / マイクロ加工 / 加工ツール / ダイヤモンド薄膜 / シリコンモールド / マイクロパーツ / レーザーアブレーション / 超微細レーザー加工計測 / ナノ局所界面 / ナノ粒子 / ラマン散乱計測 / 超短パルスレーザー加工 / 化学的相互作用 / 反応性ナノ粒子 / 表面微細構造クラスター / ナノ研磨プロセス / 表面増強ラマン散乱 / 加工量計測 / 定在場スケール / 非熱的アブレーション加工 / フェムト秒パルスレーザー / 微粒子レンズ / 超高アスペクト比微細加工 / 超短パルスレーザー / 加工現象計測・解析 / 表面増強ラマン散乱法 / 分子加工原理 / 材料除去過程 / ナノデジタルパターニング / 加工機能性超微粒子 / 位相シフトデジタルホログラフィ / FDTD法 / 位相再構成シミュレーション / 自己組織化加工制御 / 周波数コムレーザー / ホログラフィー干渉 / ナノ3次元構造 / ポンプープローブ法 / 動的ナノメトロロジー / アクティブ計測 / 超高速表面弾性波 / 超時間分解能 / ナノ変位計測 / ナノ加工 / 強制振動 / 共振現象 / レンズ効果 / レーザアブレーション / 微粒子 / レーザ後方散乱 / 電磁波散乱シミュレーション / レーザ後方散乱パターン / ブリュースター角 / 深さ推定 / 電磁波散乱シュミレーション / インデンテーション / マイクロクラック / 超精密加工表面層 / 脆性材料 / Mirau干渉顕微鏡 / 位置検出プローブ / 微小粒子 / 3次元座標計測 / マイクロマシニング / 高次回折光 / 短波長レーザ / 工具切れ刃先端形状 / 超精密ダイヤモンドバイト / 超精密切削加工 / 縮退4光波混合 / 光屈折性素子 / 位相共役光 / 超精密3次元曲面 / 形状計測 … もっと見る
研究代表者以外
ナノテクノロジー / 光放射圧 / 半導体 / ナノ粒子 / 研磨加工 / CMP / フォトンカウンティング / 偏光計測 / ゴーストイメージング / Laser applied measurement / 光応用計測 / レーザトラッピング / シリコンウエハ / 平坦化 / 光周波数コム / シングルピクセルイメージング / 弱測定 / 光相関 / 光スピンホール効果 / 光相関イメージング / エリプソメトリ / レーザ応用計測 / ナノインプロセス計測 / laser trapping / optical radiation pressure / 微粒子 / Optical measurement / Silicon wafer / 表面欠陥 / nanotechnology / 超精密 / フーリエ変換 / 逆散乱 / インプロセス計測 / パルストレイン / パルストレインビーム / コヒーレントフォノン / レーザ加工 / ナノ加工 / 微細加工 / 平坦加工 / フラーレン / 相関計測 / 超解像顕微鏡 / 非線形光学効果 / 超解像 / 量子もつれ / 顕微鏡 / 量子もつれ光子対 / 量子光学効果 / 表面形状計測 / スピンホール効果 / 残留応力測定 / 光弾性計測 / 超薄膜計測 / 弱値測定 / 微細構造計測 / 膜厚計測 / 表面粗さ計測 / 弱値増大効果 / 薄膜計測 / 表面粗さ / 電子ビーム / モアレ / グラフェン / 3次元微細加工 / 一括露光 / フォトリソグラフィ / 三次元リソグラフィ / ホログラフィ / 機械学習 / 高アスペクト比構造 / タルボット効果 / 3次元リソグラフィ / 高感度イメージング / 散乱光検出 / 光子イメージング / 超微弱光イメージング / コンプレッシブセンシング / 光相関顕微鏡 / 散乱光イメージング / 散乱光計測 / 欠陥検出 / 微弱光イメージング / ディープラーニング / エリプソメトリー / エリプソメータ / 蛍光顕微鏡 / 高感度画像計測 / 画像計測 / semiconductor / silicon wafer / planarization / polishing process / レーザトラップ / Semiconductor / Laser light scattering / SiO2 thin film / CMP process / Nano-inprocess measurement / Surface defect / 光散乱 / 薄膜表面 / CMP加工 / Fraunhofer diffraction / Fourier transform / Nano in-process measurement / 3D Micro-Profile / Phase retrieval / Optical Inverse Scattering / レーザー応用計測 / マイクロ加工計測 / 微細形状計測 / 位相回復 / Particle / 3D position / Linnik interferometer / Radiation pressure force / Position detecting probe / Laser trapping in air / Microparts / Nano-CMM / Mirau干渉計 / マイクロパ-ツ / 3次元位置座標 / Linnik干渉計 / 位置検出プローブ / 大気中レーザトラッピング / マイクロパーツ / ナノCMM / optical processing / diamond grain / mechanochemical polishing / micro-machining / ダイヤモンド / 超精密加工 / マイクロ加工 / Surface fitting / Master model / CAD model / 3-D free form surface / Reverse engineering / On-machine measurement / 3-D form measurement / 形状処理 / 金型 / 曲面あてはめ / マスタモデル / CADモデル / 自由曲面 / リバースエンジニアリング / オンマシン計測 / 3次元形状計測 / BSO crystal / Photorefractive crystal / Nano-technology / In-process measurement / Contamination / Surface defects inspection / BSO / ミ-散乱 / Fraunhofer回折 / BSO結晶 / 光誘起屈折率効果結晶 / 微小付着異物 / 表面欠陥検査 / シリコンウェハ / exponential density filter / optical Fourier transform / inverse scattering phase retrieval / fine profile measurement / inprocess measurement / micromachining / 指数型光減少フィルタ / 光学的フーリエ変換 / 逆散乱位相法 / 微細形状測定 / マイクロマシニング / レーザーアブレ-ション / レーザーアブレーション / 表面加工 / ダメージレス加工 / レーザー加工 / 表面励起 / ダブルパルス / アブレーション / インコヒーレント励起 / コヒーレント励起 / 表面励起加工 / フェムト秒レーザー / 真球度 / マイクロプローブ / マイクロ球 / WGM / テーパファイバ / Whispering gallery mode / 直径計測 / マイクロCMM / デバイストークスアインシュタインの法則 / 偏光解消 / 粘性計測 / 回転ブラウン運動 / 回転拡散係数 / ブラウン運動 / 蛍光偏光法 / 原子直接加工 / コヒーレント振動 / フェムト秒パルス / 非平衡状態 / 原子加工 / フェムト秒レーザ / 三次元計測 / 機械工学・生産工学 / ナノメートル計測 / 計測工学 / 研磨スラリー / Cu-CMP / フラーレンC60 / カーボン / UVレーザ / 水酸化フラーレン / 超平坦加工 / カーボンナノ粒子 / 超砥粒 / スラリー 隠す
  • 研究課題

    (43件)
  • 研究成果

    (274件)
  • 共同研究者

    (27人)
  •  レーザフィラメント電子増強ラマン分光によるガラス表面層のナノ・インプロセス計測研究代表者

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      2022 – 2024
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分18020:加工学および生産工学関連
    • 研究機関
      大阪大学
  •  量子もつれ光子対プローブによる光相関超解像イメージング

    • 研究代表者
      水谷 康弘
    • 研究期間 (年度)
      2022 – 2024
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分21030:計測工学関連
    • 研究機関
      大阪大学
  •  光子散乱量子効果に基づいたエンジニアード・サーフェス・メトロロジーの学理基盤構築研究代表者

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      2021 – 2024
    • 研究種目
      挑戦的研究(開拓)
    • 審査区分
      中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
    • 研究機関
      大阪大学
  •  光周波数コム・ラマン散乱による超微細パルスレーザ加工現象の選択的実時間解析研究代表者

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      2019 – 2021
    • 研究種目
      挑戦的研究(萌芽)
    • 審査区分
      中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
    • 研究機関
      大阪大学
  •  量子もつれ光子プローブによるガラス加工表面層のナノ・サーフェスインテグリティ計測研究代表者

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      2019 – 2021
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分18020:加工学および生産工学関連
    • 研究機関
      大阪大学
  •  光周波数コムによる光スピンホール効果を用いたサブナノ構造の形状測定

    • 研究代表者
      水谷 康弘
    • 研究期間 (年度)
      2019 – 2021
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分21030:計測工学関連
    • 研究機関
      大阪大学
  •  グラフェンと電子ビームによる原子モアレを用いた大面積3次元微細加工法

    • 研究代表者
      水谷 康弘
    • 研究期間 (年度)
      2018 – 2019
    • 研究種目
      挑戦的研究(萌芽)
    • 審査区分
      中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
    • 研究機関
      大阪大学
  •  計量ドレスト光子プローブによる原子構造体の3次元加工現象解析に関する基礎研究研究代表者

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      2017 – 2018
    • 研究種目
      挑戦的研究(萌芽)
    • 研究分野
      材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
    • 研究機関
      大阪大学
  •  光周波数コム散乱分光による三次元表面トポグラフィの広帯域・レーザー逆散乱測定研究代表者

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2018
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  サブナノオーダ欠陥評価のための物性分析光相関顕微鏡の開発

    • 研究代表者
      水谷 康弘
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2018
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      計測工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  光相関イメージング法を用いた2次元エリプソメトリの開発

    • 研究代表者
      水谷 康弘
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2016
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      大阪大学
  •  超微細パルスレーザー加工過程におけるナノ局所界面温度・物性の選択的ラマン計測研究代表者

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2015
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  時間分解コヒーレントフォノン制御を用いた表面原子のインプロセスナノ加工・計測

    • 研究代表者
      林 照剛
    • 研究期間 (年度)
      2013 – 2015
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      九州大学
      大阪大学
  •  その場計測制御による超高アスペクト比微細形状のフォトニック・ナノジェット加工研究代表者

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2015
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  蛍光ナノプローブを用いた微量サンプルの超精密粘度計測技術の開発

    • 研究代表者
      林 照剛
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2013
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      機械材料・材料力学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  球内周回光伝搬モード観測によるマイクロ球形状のスキャンレス計測

    • 研究代表者
      道畑 正岐
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2013
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  局在・伝搬型表面プラズモン励起ラマン計測による反応性ナノ粒子研磨プロセスの可視化研究代表者

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2013
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  デジタルナノパターニング技術開拓のための水酸化フラーレン分子加工原理に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      2009 – 2011
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  フェムトパルストレインビームを用いたコヒーレント振動制御による原子加工

    • 研究代表者
      林照 剛 (林 照剛)
    • 研究期間 (年度)
      2009 – 2011
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  自己組織化加工制御のためのナノ3次元構造インプロセス計測に関する基礎研究研究代表者

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      2008 – 2009
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  ナノスケール生産基盤におけるコア計測技術に関する企画調査

    • 研究代表者
      高増 潔
    • 研究期間 (年度)
      2006 – 2007
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      東京大学
  •  フェムト秒時間分解変位計測に関する基礎研究研究代表者

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      2006 – 2007
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  フラーレンナノ粒子の光放射圧制御による超平坦化CMP加工に関する研究

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      2005 – 2006
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  カーボン機能ナノ粒子の光放射圧運動制御による超微細加工に関する研究

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2006
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  微粒子レンズを用いた共振レーザアブレーションによる自律型ナノ加工に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2005
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  フラーレンナノ粒子の光放射圧制御とその超平坦化CMP加工への応用に関する研究

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2004
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  変調光放射圧トラッピングプローブによる微細加工形状のナノ複合計測に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2006
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  光放射圧制御ナノCMP加工装置の開発

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2003
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  高アスペクト比をもつ微細加工形状計測用レーザトラッピングプローブに関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2002
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  半導体CMP加工における薄膜表面欠陥のナノインプロセス計測に関する研究

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2001
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  非積層型液晶3次元光造形装置の開発研究代表者

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2002
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  赤外エバネセント光を利用したシリコンウェハ加工表面層のナノ欠陥計測法に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  微細三次元加工形状の光逆散乱ナノインプロセス計測装置の開発

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  光放射圧マイクロ加工ツールの試作開発研究代表者

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 1999
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  超精密加工表面層のマイクロクラック・インプロセス計測法に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1998
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  光放射圧を利用した微粒子操作によるマイクロ加工に関する研究

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1999
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  ナノCMMレーザトラッピングプローブの試作開発

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1998
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  ナノ3次元座標測定機のためのレーザトラップ非接触プローブに関する基礎的研究研究代表者

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      1995
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  シリコンウェハ加工表面欠陥のナノインプロセス計測に関する研究

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1996
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  非接触3次元形状計測に基づく意匠設計支援システムの開発

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1996
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  超精密ダイヤモンド工具切れ刃の非接触先端形状計測に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      1994
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  位相共役光を用いた超精密3次元曲面の自動形状計測に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      1993
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  フレキシブルマイクロマシニングにおけるナノインプロセス計測に関する研究

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      1993 – 1994
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学

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  • [図書] Progress in Optomechatronic Technologies "chapter 4"2014

    • 著者名/発表者名
      Atsushi Adachi, Masaki Michihata, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya
    • 総ページ数
      205
    • 出版者
      Springer International Publishing
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [雑誌論文] Phase Retrieval Algorithm for Surface Topography Measurement Using Multi-Wavelength Scattering Spectroscopy2024

    • 著者名/発表者名
      Itakura Satoshi、Uenohara Tsutomu、Mizutani Yasuhiro、Takaya Yasuhiro
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology

      巻: 18 号: 1 ページ: 92-103

    • DOI

      10.20965/ijat.2024.p0092

    • ISSN
      1881-7629, 1883-8022
    • 年月日
      2024-01-05
    • 言語
      英語
    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18159
  • [雑誌論文] Relationship between the kernel size of a convolutional layer and the optical point spread function in ghost imaging using deep learning for identifying defect locations2022

    • 著者名/発表者名
      S. Kataoka, Y. Mizutani, T. Uenohara, Y. Takaya, O. Matoba
    • 雑誌名

      Applied Optics

      巻: 61 号: 23 ページ: 6714-6721

    • DOI

      10.1364/ao.460145

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-20H05886, KAKENHI-PROJECT-23K22769
  • [雑誌論文] Noise-robust deep learning ghost imaging using a non-overlapping pattern for defect position mapping2022

    • 著者名/発表者名
      S. Kataoka, Y. Mizutani, T. Uenohara, Y. Takaya, O. Matoba
    • 雑誌名

      Applied Optics

      巻: 61 号: 34 ページ: 10126-10133

    • DOI

      10.1364/ao.470770

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-20H05886, KAKENHI-PROJECT-23K22769
  • [雑誌論文] Structure estimation of deep neural network for triangulation displacement sensors2022

    • 著者名/発表者名
      Mizutani Y.、Kataoka S.、Nagai Y.、Uenohara T.、Takaya Y.
    • 雑誌名

      CIRP Annals

      巻: - 号: 1 ページ: 425-428

    • DOI

      10.1016/j.cirp.2022.04.043

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02154, KAKENHI-PLANNED-20H05886, KAKENHI-PROJECT-23K22769
  • [雑誌論文] Ghost Imaging with Deep Learning for Position Mapping of Weakly Scattered Light Source2021

    • 著者名/発表者名
      Mizutani Yasuhiro、Kataoka Shoma、Uenohara Tsutomu、Takaya Yasuhiro
    • 雑誌名

      Nanomanufacturing and Metrology

      巻: 4 号: 1 ページ: 37-45

    • DOI

      10.1007/s41871-020-00085-0

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02154
  • [雑誌論文] First Step Toward Laser Micromachining Realization by Photonic Nanojet in Water Medium2021

    • 著者名/発表者名
      Reza Aulia Rahman, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani, and Yasuhiro Takaya
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology

      巻: 15 号: 4 ページ: 492-502

    • DOI

      10.20965/ijat.2021.p0492

    • NAID

      130008062467

    • ISSN
      1881-7629, 1883-8022
    • 年月日
      2021-07-05
    • 言語
      英語
    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21919, KAKENHI-PROJECT-20K14627
  • [雑誌論文] フォトニックナノジェットを用いたレーザ微細加工に関する研究(第1報) —フォトニックナノジェットの基本的加工特性—2020

    • 著者名/発表者名
      上野原努, 水谷康弘, 高谷裕浩
    • 雑誌名

      精密工学会誌

      巻: 86 号: 1 ページ: 113-119

    • DOI

      10.2493/jjspe.86.113

    • NAID

      130007782514

    • ISSN
      0912-0289, 1882-675X
    • 年月日
      2020-01-05
    • 言語
      日本語
    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21919, KAKENHI-PROJECT-18J10140
  • [雑誌論文] Comparison of intensity distribution of photonic nanojet according to Gaussian beam and radially polarization beam incidence2019

    • 著者名/発表者名
      Uenohara Tsutomu、Mizutani Yasuhiro、Takaya Yasuhiro
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 60 ページ: 274-279

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2019.07.019

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21919, KAKENHI-PROJECT-18J10140
  • [雑誌論文] タルボット効果による多重露光リソグラフィを用いた3次元ナノ周期構造の作製2019

    • 著者名/発表者名
      中西弘樹, 篠崎充, 水谷康弘, 高谷裕浩
    • 雑誌名

      精密工学会誌

      巻: 85 号: 8 ページ: 710-716

    • DOI

      10.2493/jjspe.85.710

    • NAID

      130007687564

    • ISSN
      0912-0289, 1882-675X
    • 年月日
      2019-08-05
    • 言語
      日本語
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18811
  • [雑誌論文] Wide-range Axial Position Measurement for Jumping Behavior of Optically Trapped Microsphere near Surface using Chromatic Confocal Sensor2015

    • 著者名/発表者名
      Shin-ichi Ueda, Masaki Michihata, Terutake Hayashi and Yasuhiro Takaya
    • 雑誌名

      Int. J. of Optmechatronics

      巻: 9 号: 2 ページ: 131-140

    • DOI

      10.1080/15599612.2015.1034901

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [雑誌論文] Measurement of stylus-probe sphere diameter for micro-CMM based on spectral fingerprint of whispering gallery mode2014

    • 著者名/発表者名
      Masaki Michihata, Ayano Fukui, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya
    • 雑誌名

      CIRP Annals - Manufacturing Technology

      巻: 55 号: 1 ページ: 469-472

    • DOI

      10.1016/j.cirp.2014.02.002

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [雑誌論文] 蛍光偏光法を用いたナノ粒子粒径計測に関する研究(第1報)-蛍光DNAプローブを用いた回転拡散係数測定システムの開発-2014

    • 著者名/発表者名
      石崎佑樹,林 照剛,道畑正岐,高谷裕浩
    • 雑誌名

      精密工学会誌

      巻: 2 ページ: 214-219

    • NAID

      130003394534

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [雑誌論文] 蛍光偏光法を用いたナノ粒子粒径計測に関する研究(第1報)-蛍光DNAプローブを用いた回転拡散係数測定システムの開発-2014

    • 著者名/発表者名
      石崎佑樹,林照剛,道畑正岐,高谷裕浩
    • 雑誌名

      精密工学会誌

      巻: VOl.80, No.3 ページ: 214-219

    • NAID

      130003394534

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [雑誌論文] Measurement of stylus-probe sphere diameter for micro-CMM based on spectral fingerprint of whispering gallery mode2014

    • 著者名/発表者名
      M. Michihata, T. Hayashi, A. Adachi, Y. Takaya
    • 雑誌名

      CIRP Annals

      巻: vol. 63, no. 1(in press)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [雑誌論文] ポリグリセロール修飾ナノダイヤモンドを用いた銅膜の平坦化加工に関する研究2014

    • 著者名/発表者名
      村井亮太,高谷裕浩,林照剛,道畑正岐,小松直樹
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌

      巻: Vol.58, No.2 ページ: 97-102

    • NAID

      130004835699

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656104
  • [雑誌論文] Surface analysis of the chemical polishing process using a fullerenol slurry by Raman spectroscopy under surface plasmon excitation2013

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi, Ryota Murai, Kazumasa Kano
    • 雑誌名

      Annals of the CIRP

      巻: Vol.62, Issue 1 号: 1 ページ: 571-574

    • DOI

      10.1016/j.cirp.2013.03.019

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656104
  • [雑誌論文] Development of nanoparticle sizing system using fluorescence polarization2013

    • 著者名/発表者名
      Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, and Kok Fonog Lee
    • 雑誌名

      ACTA IMEKO

      巻: Vol. 2, No. 2 ページ: 67-72

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [雑誌論文] New technique for single-beam gradient-force optical trapping in air2013

    • 著者名/発表者名
      M.Michihata, T.Yoshikane, T.Hayashi, Y.Takaya
    • 雑誌名

      International journal of Optomechatronics

      巻: 7 号: 1 ページ: 46-59

    • DOI

      10.1080/15599612.2012.760122

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [雑誌論文] Development of nanoparticle sizing system integrated with optical microscopy using fluorescence polarization2012

    • 著者名/発表者名
      Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya and Masaki Michihata
    • 雑誌名

      International Journal of Nanomanufacturing

      巻: Vol. 8, Nos. 1/2 ページ: 54-56

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [雑誌論文] Dimensional measurement of microform with high aspect ratio using an opticaly controlled particle with standing wave scale sensing2012

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Michihata, Terutake Hayashi, Taisuke Washitani
    • 雑誌名

      Annals of the CIRP

      巻: Vol.61, Issue 1 ページ: 479-482

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [雑誌論文] Chemical mechanical polishing of patterend copper wafer surface using water-soluble fullerenol slurry2011

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Hirotaka Kishida, Terutake Hayashi, Masaki Michihata
    • 雑誌名

      Annals of the CIRP

      巻: Vol.60 ページ: 567-570

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [雑誌論文] Chemical mechanical polishing of patterned copper wafer surface using water-soluble fullerenol slurry2011

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Hirotaka Kishida, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Ken Kokubo
    • 雑誌名

      CIRP Annals-Manufacturing Technology

      巻: Vol.60, Issue1 ページ: 567-570

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [雑誌論文] Performance of water-soluble fullerenol as novel functional molecular abrasive grain for polishing nanosurfaces2009

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Hideaki Tachika, Terutake Hayashi, Ken Kokubo, Keisuke Suzuki
    • 雑誌名

      The 59th CIRP general assembly, CIRP Annals. Manufacturing Technology

      巻: Vol.58, Issue1 ページ: 495-498

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [雑誌論文] Performance of water-soluble fullerenol as novel functional molecular abrasive grain for polishing nanosurfaces2009

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Hideaki Tachika, Terutake Hayashi, Ken Kokubo, Keisuke Suzuki
    • 雑誌名

      CIRP Annals 1巻

      ページ: 495-498

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [雑誌論文] 水酸化フラーレンスラリーを用いたCu-CMP加工に関する研究2009

    • 著者名/発表者名
      田近英之, 高谷裕浩, 林照剛, 田名田祐樹, 小久保研, 鈴木恵友
    • 雑誌名

      精密工学会誌 Vol.75 No.4

      ページ: 489-495

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [雑誌論文] 水酸化フラーレンスラリーを用いたCu-CMP加工法に関する研究-研磨特性の検証-2009

    • 著者名/発表者名
      田近英之, 高谷裕浩, 林照剛, 田名田祐樹, 小久保研, 鈴木恵友
    • 雑誌名

      精密工学会誌論文集,精密工学会誌

      巻: Vol.75, No.4 ページ: 489-495

    • NAID

      130000421625

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [雑誌論文] フェムト秒パルスレーザ干渉を用いた短時間分解能計測2007

    • 著者名/発表者名
      長井孝之(阪大), 高谷裕浩
    • 雑誌名

      平成18年度関西学生会卒業研究発表講演会 大阪

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18656047
  • [雑誌論文] Evaluation of Laser Trapping Probe Properties for Coordinate Measurement2006

    • 著者名/発表者名
      Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Terutake Hayashi
    • 雑誌名

      Instrumentation and Computer-Vision System (SPIE) Vol. 6375

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] A Novel Surface Finishing Technique for Microparts Using an Optically Controlled Microparticle Tool2006

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Kenshiro Hida, Takashi Miyoshi, Torutake Hayashi
    • 雑誌名

      CIRP ANNALS VOL.55/1

      ページ: 613-616

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Study on nano-3D position detection using laser trapping probe with circular motion2006

    • 著者名/発表者名
      Yuto Nagasaka, Yasuhiro TAKAYA, Takashi MIYOSHI, Terutake Hayashi
    • 雑誌名

      The 6th Manufacturing & Machine Tool Conference, Hayama

      ページ: 129-130

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Evaluation of Laser Trapping Probe Properties for Coordinate Measurement2006

    • 著者名/発表者名
      Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Terutake Hayashi
    • 雑誌名

      Instrumentation and Computer-Vision System (SPIE) Vol.6375

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] レーザトラッピングプローブを用いた高精度3次元座標計測に関する研究2006

    • 著者名/発表者名
      道畑正岐, 高谷裕浩, 三好隆志, 林照剛
    • 雑誌名

      2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 東京

      ページ: 1053-1054

    • NAID

      130005027106

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] レーザトラップを用いたナノ3次元位置検出プローブに関する研究-2次元振動プローブの特性評価-2006

    • 著者名/発表者名
      長坂雄人, 高谷裕浩, 三好隆志, 林照剛
    • 雑誌名

      日本機械学会第6回生産加工・工作機械部門講演会 葉山

      ページ: 129-130

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] 輪帯エバネッセント照明による回路パターン付きSiウエハの表面異物欠陥検出法に関する研究(第1報): 欠陥検出原理とその検証実験2006

    • 著者名/発表者名
      吉岡淑江, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋哲
    • 雑誌名

      精密工学会誌 72・7

      ページ: 878-883

    • NAID

      110004744884

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18636002
  • [雑誌論文] The 3D) manipulation of a microsphere for nano-CMM probe using single fiber optical trapping2006

    • 著者名/発表者名
      Sang In Eom, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Terutake Hayashi
    • 雑誌名

      Proceedings of Optics and Photonics 2006 (SPIE) Vol.6326, (CD_ROM)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] UVレーザを用いた微粒子トラップによる微細加工に関する研究2006

    • 著者名/発表者名
      日高敏揮, 高谷裕浩, 三好隆志, 林 照剛
    • 雑誌名

      日本機械学会 第6回生産加工・工学機械部門講演会講演論文集 (in print)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] 光放射圧を利用した微粒子制御によるナノ仕上げ加工に関する研究(第2報) -局所マイクロ領域におけるナノ平滑化特性-2006

    • 著者名/発表者名
      檜田健史郎, 三好隆志, 高谷裕浩, 林照剛
    • 雑誌名

      2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 東京

      ページ: 1195-1196

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656052
  • [雑誌論文] レーザトラップを用いたナノ3次元位置検出プローブに関する研究? 2次元振動プローブの特性評価?2006

    • 著者名/発表者名
      長坂雄人, 高谷裕浩, 三好隆志, 林照剛
    • 雑誌名

      日本機械学会第6回生産加工・工作機械部門講演会 葉山

      ページ: 129-130

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Novel CMP Technique for Copper Surface Finishing with Fullerene Nano-Particle2006

    • 著者名/発表者名
      H.Tanada, T.Miyoshi, Y.Takaya, T.Hayashi, K.Suzuki
    • 雑誌名

      Proceeding of ASPE 21st Annual Meeting (ASPE'06), Monterey, California

      ページ: 595-598

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] Study on High Precise-3-Dimensional Coordinate Measurement with Laser Trapping Probe2006

    • 著者名/発表者名
      Masaki MICHIHATA, Yasuhiro TAKAYA, Takashi MIYOSHI, Terutake HAYASHI
    • 雑誌名

      Proceedings of 2006 JSPE general meeting in spring, Tokyo

      ページ: 1053-1054

    • NAID

      130005027106

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] 光放射圧を利用した微粒子制御によるナノ仕上加工に関する研究-局所マイクロ領域におけるナノ平滑化特性-2006

    • 著者名/発表者名
      檜田健史郎, 三好隆志, 高谷裕浩, 林 照剛
    • 雑誌名

      2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 (in press)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] The 3D manipulation of a microsphere for nano-CMM probe using single fiber optical trapping2006

    • 著者名/発表者名
      Sang In Eom, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Terutake Hayashi
    • 雑誌名

      Proceedings of Optics and Photonics 2006 (SPIE) Vol. 6326(CD-ROM)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] フラーレンナノ粒子を用いたCu-CMPの研究-研磨の基本特性2006

    • 著者名/発表者名
      田名田祐樹, 三好隆志, 高谷裕浩, 林 照剛
    • 雑誌名

      2006年度精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集

      ページ: 15-16

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] A Novel Surface Finishing Technique for Microparts Using an Optically Controlled Microparticle Tool2006

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Kenshiro Hida, Takashi Miyoshi, Terutake Hayashi
    • 雑誌名

      CIRP ANNALS VOL. 55/1

      ページ: 613-616

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] レーザトラッピングによるナノCMMプローブに関する研究(第13報)-横方向強制振動型プローブの振動検出系の改良-2005

    • 著者名/発表者名
      今井敬次郎, 高谷裕浩, 三好隆志
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会春季大会学術講演会論文集 東京(発表予定)

    • NAID

      130004657757

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Nano-Position Sensing Using Optically Motion-controlled Microprobe with PSD Based on Laser Trapping Technique2005

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Keijiro Imai, Syuichi Dejima, Takashi Miyoshi
    • 雑誌名

      CIRP ANNALS VOL.54/1

      ページ: 467-470

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Dynamic Properties Measurement of Vibrating Microprobe for Nano-Position Sensing Using Radiation Pressure Control2005

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Keijiro Imai, Shuichi Dejima, Takashi Miyoshi
    • 雑誌名

      SPIE Vol.5930(CD-ROM)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Study on the Nano-CMM Probe based on Laser Trapping Technology using an Optical Fiber -Fundamental Analysis of the Optical Fiber Trapping2005

    • 著者名/発表者名
      Sang In EOM, Yasuhiro TAKAYA, Takashi MIYOSHI
    • 雑誌名

      Proceedings of The 3nd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21) Nagoya

      ページ: 365-370

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Dynamic Properties Measurement of Vibrating Microprobe for Nano-Position Sensing Using Radiation Pressure Control2005

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Keijiro Imai, Shuichi Dejima, Takashi Miyoshi
    • 雑誌名

      SPIE Vol. 5930, (CD-ROM)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Study of probing technique for nano-CMM using laser trap- improvement of vibration detection unit-2005

    • 著者名/発表者名
      Keijiro IMAI, Yasuhiro TAKAYA, Takashi MIYOSH1
    • 雑誌名

      Proceedings of 2005 JSPE general meeting in spring, Tokyo

      ページ: 1003-1004

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Dynamic Properties Measurement of Vibrating Microprobe for Nano-Position Sensing Using Radiation Pressure Control2005

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Keijiro Imai, Shuichi Dejima, Takashi Miyoshi
    • 雑誌名

      SPIE Vol. 5930(CD-ROM)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Study on the Nano-CMM Probe based on Laser Trapping Technology using an Optical Fiber-Fundamental Analysis of the Optical Fiber Trapping2005

    • 著者名/発表者名
      Sang In EOM, Yasuhiro TAKAYA, Takashi MIYOSHI
    • 雑誌名

      Proceedings of The 3nd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21), Nagoya

      ページ: 365-370

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] 光放射圧を利用した微粒子制御によるナノ仕上加工に関する研究-加工特性の解析-2005

    • 著者名/発表者名
      檜田健史郎, 三好隆志, 高谷裕浩, 林 照剛
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集

      ページ: 943-944

    • NAID

      130004657252

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] Laser-assisted CMP for Copper Wafer2005

    • 著者名/発表者名
      T.Ha, K.Kimura, T.Miyoshi, Y.Takaya
    • 雑誌名

      Material Science Forum Vol.2(in press)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656041
  • [雑誌論文] Laser - assisted CMP for Copper Wafer2005

    • 著者名/発表者名
      Taeho Ha, Keiichi Kimura, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya
    • 雑誌名

      Trans Tech Publications, Material Science Forum Vol.502

      ページ: 351-356

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] Nano-Position Sensing Using Optically Motion-controlled Microprobe with PSD) Based on Laser Trapping Technique2005

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Keijiro Imai, Shuichi Dejima, Takashi Miyoshi
    • 雑誌名

      CIRP ANNALS VOL.54/1

      ページ: 467-470

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Nano-fishing Using a Micro-perticle Controlled by Optical Radiation Force2005

    • 著者名/発表者名
      Kenshiro Hida, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi
    • 雑誌名

      Proceedings of the 20th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'05) USA

      ページ: 464-467

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656052
  • [雑誌論文] レーザトラッピングによるナノCMMプローブに関する研究(第13報)-横方向強制振動型プローブの振動検出系の改良-2005

    • 著者名/発表者名
      今井 敬次郎, 高谷 裕浩, 三好 隆志
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 東京

      ページ: 1013-1014

    • NAID

      130004657757

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Study on the Nano-CMM Probe based on Laser Trapping Technology using an Optical Fiber - Fundamental Analysis of the Optical Fiber Trapping2005

    • 著者名/発表者名
      Sang In EOM, Yasuhiro TAKAYA, Takashi MIYOSHI
    • 雑誌名

      Proceedings of The 3nd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21) Nagoya

      ページ: 365-370

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Nano-Position Sensing Using Optically Motion-controlled Microprobe with PSD Based on Laser Trapping Technique2005

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Keijiro Imai, Syuichi Dejima, Takashi Miyoshi
    • 雑誌名

      CIRP ANNALS VOL. 54/1

      ページ: 467-470

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Nano-finishing Using a Micro-particle Controlled by Optical Radiation Force2005

    • 著者名/発表者名
      Kenshiro Hida, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi
    • 雑誌名

      Proceedings of the 20^<th> American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'05) Vol.37

      ページ: 464-467

    • NAID

      130004657252

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] 光放射圧を利用した微粒子制御によるナノ仕上げ加工に関する研究 -加工特性の解析-2005

    • 著者名/発表者名
      檜田健史郎, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 林 照剛
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 京都

      ページ: 943-944

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656052
  • [雑誌論文] Vibrational Probing Technique for the Nano-CMM based on Optical Radiation Pressure Control2004

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, K.Imai, Taeho Ha, Takashi Miyoshi
    • 雑誌名

      CIRP ANNALS VOL. 53/1

      ページ: 389-392

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Laser Planarization Process for Copper Surface2004

    • 著者名/発表者名
      K.Kimura, Y.Takaya, T.Miyoshi, T.Miyamoto
    • 雑誌名

      Proc.of The 1st Pac-Rim Int.Conference on Planarization CMP and its Application Technology Vol.1

      ページ: 173-178

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656041
  • [雑誌論文] 光放射圧を利用した微粒子制御によるナノ仕上加工に関する研究2004

    • 著者名/発表者名
      檜田健史郎, 三好隆志, 高谷裕浩
    • 雑誌名

      2004年度精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 大阪

      ページ: 43-44

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656052
  • [雑誌論文] Nano-CMM probing technique using optical fiber trapping (2nd report)-Fundamental analysis of laser trapping using optical fiber-2004

    • 著者名/発表者名
      Takaki HASHIMOTO, Yasuhiro TAKAYA, Takashi MIYOSHI
    • 雑誌名

      Proceedings of 2004 JSPE general meeting in spring, Tokyo

      ページ: 673-674

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Position Sensitivity of Micro Probe with Transverse Vibration Using Optical Trap2004

    • 著者名/発表者名
      Keijiro Imai, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Taeho Ha, Keiichi Kimura
    • 雑誌名

      Proceedings of International Symposium on Photonics in Measurement 2004, VDI-Berichte 1844

      ページ: 277-284

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] 光放射圧を利用した微粒子制御によるナノ加工に関する研究2004

    • 著者名/発表者名
      檜田健史郎, 三好隆志, 高谷裕浩
    • 雑誌名

      精密工学会2004年度関西地方定期公演会論文集

      ページ: 43-44

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] レーザ複合ナノCMP平坦加工に関する研究2004

    • 著者名/発表者名
      宮本利樹, 三好隆志, 高谷裕浩, 木村景一
    • 雑誌名

      精密工学会2004年度関西地方定期公演会論文集

      ページ: 41-42

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] レーザ複合ナノCMP平坦加工に関する研究-レーザ照射によるCu表面層の除去加工特性2004

    • 著者名/発表者名
      宮本利樹, 三好隆志, 高谷裕浩, 木村景一, 鈴木恵友
    • 雑誌名

      2004年度精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 大阪

      ページ: 41-42

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656052
  • [雑誌論文] レーザトラッピングによるナノCMMプローブに関する研究(第12報)-横方向強制振動型プローブ測定物近傍での振動特性-2004

    • 著者名/発表者名
      今井敬次郎, 高谷裕浩, 三好隆志
    • 雑誌名

      2004年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集 島根

      ページ: 993-994

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Position Sensitivity of Micro Probe with Transverse Vibration Using Optical Trap2004

    • 著者名/発表者名
      Keijiro Imai, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Taeho Ha, Keiichi
    • 雑誌名

      Proceedings of International Symposium on Photonics in Measurement 2004 Frankfurt

      ページ: 277-284

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Laser Planarization Process for Copper Surface2004

    • 著者名/発表者名
      K.Kimura, Y.Takaya, T.Miyoshi, T.Miyamoto
    • 雑誌名

      Proc.of The 1st Pac-Rim Int.Conference on Planarization CMP and its Application Technology Vol.1

      ページ: 173-178

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] レーザトラッピングによるナノCMMプローブに関する研究(第12報)?横方向強制振動型プローブの測定物近傍での振動特性?2004

    • 著者名/発表者名
      今井敬次郎, 高谷裕浩, 三好隆志
    • 雑誌名

      2004年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集 島根

      ページ: 993-994

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Study of Probing Technique for Nano-CMM Using Laser Trap(12nd Report)-Basic Characteristic of Vibration Probe-2004

    • 著者名/発表者名
      Keijiro IMAI, Yasuhiro TAKAYA, Takashi MIYOSHI
    • 雑誌名

      Proceedings of 2004 JSPE general meeting in autumn, Shimane

      ページ: 993-994

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Vibrational Probing Technique for the Nano-CMM based on Optical Radiation Pressure Control2004

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, K.Imal, Taeho Ha, Takashi Miyoshi
    • 雑誌名

      CIRP ANNALS VOL.53/1

      ページ: 389-392

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Laser Planarization Process Assisted by Chemical Mechanical Polishing for Copper Surface2004

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Keiichi Kimura, Takashi Miyoshi, Toshiki Miyamoto, Keisuke Suzuki
    • 雑誌名

      Proceedings of the 19th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'04) Vol.34

      ページ: 705-708

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656052
  • [雑誌論文] Laser Planarization Process Assisted by Chemical Mechanical Polishing for Copper Surface2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Takaya, K.Kimura, T.Miyoshi, T.Miyamoto, K.Suzuki
    • 雑誌名

      Proc.of the 19th American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'04) Vol.34

      ページ: 705-708

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206017
  • [雑誌論文] Vibrational Probing Technique for the Nano-CMM based on Optical Radiation Pressure Control2004

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, K.Imai, Taeho Ha, Takashi Miyoshi
    • 雑誌名

      CIRP ANNALS VOL.53/1

      ページ: 389-392

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] レーザ複合ナノCMP平坦加工に関する研究2004

    • 著者名/発表者名
      宮本利樹, 三好隆志, 高谷裕浩, 木村景一
    • 雑誌名

      精密工学会2004年度関西地方定期公演会論文集

      ページ: 41-42

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656041
  • [雑誌論文] Position Sensitivity of Micro Probe with Transverse Vibration Using Optical Trap2004

    • 著者名/発表者名
      Keijiro Imai, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Taeho Ha, Keiichi Kimura
    • 雑誌名

      Proceedings of International Symposium on Photonics in Measurement 2004 VDI-Berich te 1844

      ページ: 277-284

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] 光ファイバを用いたナノCMMプローブの研究(第2報)-光ファイバによるレーザトラッピング基礎特性解析-2004

    • 著者名/発表者名
      橋本隆希, 高谷裕浩, 三好隆志
    • 雑誌名

      2004年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 東京

      ページ: 673-674

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Fundamental Properties of The Forced Vibrational Laser Traooing Probe for The Nano-CMM2003

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro TAKAYA, Keijiro IMAI, Taeho Ha, Takashi MIYOSHI
    • 雑誌名

      Proceedings of 2003 JSPE Hokkaido branch meeting, Muroran

      ページ: 3-4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] 強制振動型ナノCMMレーザトラッピングプローブの基本特性2003

    • 著者名/発表者名
      高谷裕浩, 今井 敬次郎, 河 兌坪, 三好隆志
    • 雑誌名

      2003年度精密工学会北海道支部学術講演会講演論文集 室蘭

      ページ: 3-4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Fundamental Analysis on the Novel 3-D Probing Technique for Microparts Using the Optical Fiber Trapping2003

    • 著者名/発表者名
      Takaki Hashimoto, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi, Ryusuke Nakajima
    • 雑誌名

      Proceedings of the 18th American Society for Precision Engineering Annual Meeting Portland

      ページ: 83-86

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Nano-CMM Probe using' Optical Fiber Trapping-Trapping Force Simulation using FDTD Method-2003

    • 著者名/発表者名
      Takaki HASHIMOTO, Yasuhiro TAKAYA, Takashi MIYOSHI, Ryuusuke NAKAJIMA
    • 雑誌名

      Proceedings of 2003 JSPE Kansai Branch regular meeting, Osaka

      ページ: 71-72

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] Fundamental Analysis on the Novel 3-D Probing Technique for Microparts Using the Optical Fiber Trapping2003

    • 著者名/発表者名
      Takaki Hashimoto, Yasuhiro Takaya, Takashi Miyoshi. Ryusuke Nakajima
    • 雑誌名

      Proceedings of the 18th American Society for Precision Engineering Annual Meeting, Portland

      ページ: 83-86

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [雑誌論文] 光ファイバを用いたナノCMMプローブの研究 -トラップカのFDTDシミユレーションー2003

    • 著者名/発表者名
      橋本隆希, 高谷裕浩, 三好隆志, 中島隆介
    • 雑誌名

      2003年度精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 大阪

      ページ: 71-72

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206016
  • [産業財産権] 微細構造体及びその製造方法2019

    • 発明者名
      水谷康弘,高谷裕浩,中西宏樹,江崎隆,牧浦良彦
    • 権利者名
      水谷康弘,高谷裕浩,中西宏樹,江崎隆,牧浦良彦
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2019-203528
    • 出願年月日
      2019
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18811
  • [産業財産権] 微細構造体及びその製造方法2019

    • 発明者名
      水谷康弘,高谷裕浩,中西宏樹,江崎隆,牧浦良彦
    • 権利者名
      水谷康弘,高谷裕浩,中西宏樹,江崎隆,牧浦良彦
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2019-203525
    • 出願年月日
      2019
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18811
  • [産業財産権] レーザー加工装置,レーザー加工方法及び加工物の製造方法2014

    • 発明者名
      林 照剛,高谷裕浩,道畑正岐
    • 権利者名
      林 照剛,高谷裕浩,道畑正岐
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2014
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289017
  • [産業財産権] 被加工物の目的材料除去を行う加工方法及び加工装置2004

    • 発明者名
      高谷 裕浩, 三好 隆志, 木村 景一
    • 産業財産権番号
      2004-088359
    • 出願年月日
      2004-03-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656052
  • [産業財産権] 被加工物の目的材料除去を行う加工方法および加工装置2004

    • 発明者名
      高谷 裕浩, 三好 隆志, 木村 景一
    • 産業財産権番号
      2004-088359
    • 出願年月日
      2004-03-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656052
  • [学会発表] 高解像度化深層学習を用いたサブピクセルゴーストイメージングによる広域微小欠陥検査(第4報)-多方向特徴抽出による推定精度の向上-2023

    • 著者名/発表者名
      片岡 将磨, 水谷 康弘, 上野原 努, 高谷 裕浩
    • 学会等名
      2023年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18159
  • [学会発表] 高解像度化深層学習を用いたサブピクセルゴーストイメージングによる広域微小欠陥検査(第5報)-マルチスケール推定による欠陥位置推定精度の改善-2023

    • 著者名/発表者名
      片岡 将磨, 水谷 康弘, 上野原 努, 高谷 裕浩
    • 学会等名
      2024年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18159
  • [学会発表] Stroboscopic sampling moire microscope for investigation of MEMS’ full surface in-plane vibration2023

    • 著者名/発表者名
      Mona Yadi, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani, Yoshiharu Morimoto and Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      ISMTII2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18159
  • [学会発表] 時間的スパース性を用いたオンマシン工具位置画像計測(第一報)-フレーム間差分を用いた切りくずの検出と除去-2023

    • 著者名/発表者名
      嶋田 剛, 水谷 康弘, 片岡将磨, 上野原 努, 高谷 裕浩
    • 学会等名
      2024年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18159
  • [学会発表] 量子もつれ光子対を用いたゴーストイメージングによる超解像顕微鏡(第2報)-量子もつれ光子対の空間的相関性を用いた高解像度化による近接2欠陥の識別-2023

    • 著者名/発表者名
      吉岡未稀, 水谷康弘, 片岡将磨, 上野原努, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2023年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18159
  • [学会発表] Prediction Uncertainty Evaluation of Deep Learning Ghost Imaging Based on the Feature Map2023

    • 著者名/発表者名
      Shoma Kataoka, Yasuhiro Mizutani, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      OPTM2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18159
  • [学会発表] Propagation Enhancement Factor in the Spin Hall Effect of Light (SHEL) Observation for Smooth Optics Measurement2023

    • 著者名/発表者名
      Naila Zahra, Yasuhiro Mizutani, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      International Conference on Instrumentation, Control and Automation (ICA2023)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18159
  • [学会発表] 広帯域光周波数コム散乱分光による表面トポグラフィ計測に関する基礎的研究(第9報)-波長と散乱電場のフーリエスペクトルとの相関を利用した散乱電場の補正-2023

    • 著者名/発表者名
      板倉 聡史, 上野原 努, 水谷 康弘, 高谷 裕浩
    • 学会等名
      2024年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18159
  • [学会発表] 光後方散乱パターンによるガラスマイクロクラックの構造解析2023

    • 著者名/発表者名
      山本楓真, 高谷裕浩, 水谷康弘, 上野原努
    • 学会等名
      日本機械学会2022年度学生員卒業研究発表講演会,2023
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22646
  • [学会発表] マルチチャンネルゴーストイメージングを用いた外観検査法2023

    • 著者名/発表者名
      織田 健太郎, 水谷 康弘, 片岡将磨, 上野原 努, 高谷 裕浩
    • 学会等名
      2024年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18159
  • [学会発表] 光学的空間周波数フィルタリングを用いたレーザ逆散乱法によるうねり計測に関する研究2023

    • 著者名/発表者名
      谷ノ上 樹生, 板倉聡史, 上野原 努, 水谷 康弘, 高谷 裕浩
    • 学会等名
      2024年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18159
  • [学会発表] 光空間周波数フィルタを用いたレーザ逆散乱法によるうねり計測に関する研究2023

    • 著者名/発表者名
      谷ノ上 樹生, 板倉 聡史, 上野原 努, 水谷 康弘, 高谷 裕浩
    • 学会等名
      日本機械学会2023年度年次大会,
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18159
  • [学会発表] 広帯域光周波数コム散乱分光による表面トポグラフィ計測に関する基礎的研究(第7報)-矩形溝計測による表面トポグラフィ計測原理の検証-2023

    • 著者名/発表者名
      板倉聡史, 上野原努, 水谷康弘, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2023年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18159
  • [学会発表] 切削液の二光子励起蛍光を利用した工具刃先形状の機上計測に関する基礎研究2023

    • 著者名/発表者名
      秋田仁, 上野原努, 水谷康弘, 高谷裕浩
    • 学会等名
      日本機械学会2022年度学生員卒業研究発表講演会,2023
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22646
  • [学会発表] Development of Ellipsometry Based on Spin Hall Effect of Light (6th report)-Accuracy affecting parameters-2023

    • 著者名/発表者名
      Zahra Naila, 水谷 康弘, 上野原 努, 高谷 裕浩
    • 学会等名
      2024年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18159
  • [学会発表] ブリュースタ入射微弱レーザ散乱光子計数によるナノ表面性状計測に関する基礎研究2023

    • 著者名/発表者名
      玉置俊介, 上野原努, 水谷康弘, 高谷裕浩
    • 学会等名
      日本機械学会2022年度学生員卒業研究発表講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18159
  • [学会発表] ラマン分光法を用いた光学結晶のクラック周辺における分子構造変化の計測2023

    • 著者名/発表者名
      板倉聡史, 上野原 努, 水谷 康弘, 高谷 裕浩
    • 学会等名
      2023年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18159
  • [学会発表] Deep Groove Measurement using Broadband Optical Frequency Comb Scattering Spectroscopy2023

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Itakura, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      The 10th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN 2023)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18159
  • [学会発表] 後方散乱光のラマン分光によるガラス加工表面におけるクラック周辺の分子構造変化の計測2022

    • 著者名/発表者名
      坂下初音, 上野原努, 水谷康弘, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02042
  • [学会発表] 広帯域光周波数コム散乱分光による表面トポグラフィ計測に関する基礎的研究(第6報)-VIPA分光法を用いた表面像と回折像分光における単一光ファイバによる強度分布測定の空間分解能の検証-2022

    • 著者名/発表者名
      板倉聡史, 上野原 努, 水谷康弘, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2022年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18159
  • [学会発表] 深層学習による高速ゴーストイメージングを 用いた広域微小欠陥位置検出2022

    • 著者名/発表者名
      片岡将磨, 水谷康弘, 上野原努, 高谷裕浩
    • 学会等名
      日本機械学会第 14 回生産加工・工作機械部門講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22769
  • [学会発表] Ellipsometry based on spin Hall effect of light (SHEL) using modified weak measurement for surface area measurement2022

    • 著者名/発表者名
      Naila Zahra, Yasuhiro Mizutani, Zhehan Li, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      OPTM2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18159
  • [学会発表] 量子もつれ光子対を用いたゴース トイメージングによる超解像顕微鏡(第 2 報)-量子もつれ光子対の空間的相関性を 用いた高解像度化による近接 2 欠陥の識別-2022

    • 著者名/発表者名
      吉岡未稀, 水谷康弘, 片岡将磨, 上野原努, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2023 年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22769
  • [学会発表] 高解像度化深層学習を用いたサブピクセル ゴーストイメージングによる広域微小欠陥検査 (第 2 報) -近接 2 欠陥の識別-2022

    • 著者名/発表者名
      片岡将磨, 水谷康弘, 上野原 努, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2022 年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22769
  • [学会発表] Ellipsometry based on spin Hall effect of light (SHEL) using modified weak measurement for surface area measurement2022

    • 著者名/発表者名
      Naila Zahra, Yasuhiro Mizutani, Zhehan Li, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      Optical Technology and Measurement for Industrial Applications Conference 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02154
  • [学会発表] Noise Robust Deep Learning Ghost Imaging using Non-overlap Binary Pattern2022

    • 著者名/発表者名
      Shoma Kataoka, Yasuhiro Mizutani, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Takaya, Osamu Ma- toba
    • 学会等名
      SI-Thru2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22769
  • [学会発表] 深層学習を用いたゴーストイメージングの 不確かさ評価に関する検討(第1報)-データ拡張入力による不確かさ評価-2022

    • 著者名/発表者名
      片岡将磨, 水谷康弘, 上野原努, 高谷裕浩
    • 学会等名
      Optics & PhotonicsJapan2022
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22769
  • [学会発表] 量子もつれ光子対を用いたゴーストイメージングによる超解像顕微鏡(第1報) -量子もつれ光子対分布の縮小投影方式の検討-2022

    • 著者名/発表者名
      吉岡未稀, 水谷康弘, 家中幹大, 片岡将磨, 上野原努, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18159
  • [学会発表] Super-resolution microscope with Ghost Imaging using quantum entangled photon pairs2022

    • 著者名/発表者名
      Mizuki Yoshioka, Yasuhiro Mizutani, Shoma Kataoka, Kenta Ienaka, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      The 19th International Conference on Precision Engineering
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18159
  • [学会発表] 量子もつれ光子対分布の縮小投影 を用いた量子ゴーストイメージングによる超解像顕微鏡 (量子もつれ光子対分布によ る異方倍率の改善)2022

    • 著者名/発表者名
      吉岡未稀, 水谷康弘, 片岡将磨, 上野原努, 高谷裕浩
    • 学会等名
      日本機械学会第 14 回生産加工・工作機械部門講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22769
  • [学会発表] Ghost Imaging with Complementary Correlation Calculations Using Deep Learning2022

    • 著者名/発表者名
      Shoma Kataoka, Yasuhiro Mizutani, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Takaya, Osamu Ma- toba
    • 学会等名
      ODF’22
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22769
  • [学会発表] 高解像度化深層学習を用いたサブピクセル ゴーストイメージングによる広域微小欠陥検査(第 3 報)-欠陥推定確率の不確かさ 評価-2022

    • 著者名/発表者名
      片岡将磨, 水谷康弘, 上野原努, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2023年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22769
  • [学会発表] フィジカルモデルに基づいた三角測量におけ る畳み込みニューラルネットワークと推定不確かさの検討2022

    • 著者名/発表者名
      水谷康弘, 片岡将麿, 上野原努, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2023 年度精密工学会春季 大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22769
  • [学会発表] Optical Inverse Scattering Phase Retrieval Algorithm for Surface Topography Measurement by Optical Frequency Comb Scattering Spectroscopy2022

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Itakura, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      International Symposium on Flexible Automation
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18159
  • [学会発表] Super- resolution microscope with Ghost Imaging using quantum entangled photon pairs2022

    • 著者名/発表者名
      M. Yoshioka, Y. Mizutani, S. Kataoka, K. Ienaka, T. Uenohara, Y. Takaya
    • 学会等名
      The 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2022 in Nara)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22769
  • [学会発表] Image Processing Aspect of Transverse Shift Measurement in the Spin Hall Effect of Light (SHEL) Ellipsometry2022

    • 著者名/発表者名
      Naila Zahra, Yasuhiro Mizutani, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      The 19th International Conference on Precision Engineering
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18159
  • [学会発表] 偏光量子もつれ光子対を用いた非走査型位相シフト干渉計(第一報) -偏光変調を用いた位相シフトの検討-2022

    • 著者名/発表者名
      家中乾大, 水谷康弘, 上野原努, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02042
  • [学会発表] Periodic Surface Topography Measurement by Broadband Optical Frequency Comb Scattering Spectroscopy2022

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Itakura, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      The 19th International Conference on Precision Engineering
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18159
  • [学会発表] 量子もつれ光子対分布の縮小投影を用いた量子ゴーストイメージングによる超解像顕微鏡(量子もつれ光子対分布による異方倍率の改善)2022

    • 著者名/発表者名
      吉岡未稀, 水谷康弘, 片岡将磨, 上野原努, 高谷裕浩
    • 学会等名
      日本機械学会第14回生産加工・工作機械部門講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18159
  • [学会発表] Development of Ellipsometry Based on Spin Hall Effect of Light (5th report)-2D distribution of SHEL shift for evaluation of sub-nanometer surface topography-2021

    • 著者名/発表者名
      LIZHEHAN,水谷康弘,上野原努,田所利康,高谷裕浩
    • 学会等名
      2021年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02154
  • [学会発表] Development of Ellipsometry Based on Spin Hall Effect of Light (5th report) -2D distribution of SHEL shift for evaluation of sub-nanometer surface topography-2021

    • 著者名/発表者名
      LI ZHEHAN, 水谷康弘, 上野原努, 田所利康, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2021年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02154
  • [学会発表] 量子もつれ光源を用いた表面形状と薄膜の同時計測 (量子もつれ光子の生成)2021

    • 著者名/発表者名
      家中 乾大, 上野原 努, 水谷 康弘, 高谷 裕浩
    • 学会等名
      本機械学会2021年度年次大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02042
  • [学会発表] First Photon-detection Ghost imaging for weak light imaging2021

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Mizutani, Shoma Kataoka, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      The 7th Biomedical Imaging and Sensing Conference (BISC2021)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02154
  • [学会発表] 光後方散乱によるガラスのマイクロクラック計測2021

    • 著者名/発表者名
      高谷 裕浩
    • 学会等名
      日本機械学会2021年度年次大会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02042
  • [学会発表] 広帯域光周波数コム散乱分光による表面トポグラフィ計測に関する基礎的研究(第4報) ―VIPA 分光法を用いた回折像分光における光ファイバの空間モード分散の影響―2021

    • 著者名/発表者名
      板倉 聡史, 上野原 努, 水谷 康弘, 高谷 裕浩
    • 学会等名
      2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21919
  • [学会発表] Scanning 2D Surface Profilometry by using Spin-Hall Effect of Light2021

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Mizutani, Li Zhehan, Yoshiyasu Tadokoro, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      International Symposium on Optomechatoronic Technology
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02154
  • [学会発表] DETECTION OF SHOCK WAVE IN LASER ABLATION USING A PHOTONIC NANOJET2021

    • 著者名/発表者名
      Tsutomu Uenohara, Makoto Yasuda, Yasuhiro Mizutani, and Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      XXIII IMEKO World Congress
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21919
  • [学会発表] Ghost imaging with probability estimation using convolutional neural network: improving estimation accuracy using parallel convolutional neural network2021

    • 著者名/発表者名
      Kataoka, Shoma, Mizutani, Yasuhiro, Uenohara, Tsutomu, Takaya, Yasuhiro
    • 学会等名
      SPIE Technologies and Applications of Structured Light
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02154
  • [学会発表] フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究 (第9報) 入射光の振幅分布と位相分布による強度分布の制御2021

    • 著者名/発表者名
      上野原 努, 高田 泰成, 水谷 康弘, 高谷 裕浩
    • 学会等名
      2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21919
  • [学会発表] Residual stress measurement based on Raman spectroscopy of backscattered light from microcracks in machined glass surface layer - Raman spectroscopic study for stress measurement in the vicinity of an indentation crack2021

    • 著者名/発表者名
      Hatsune Sakashita, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani, and Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st century (LEM21)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02042
  • [学会発表] フォトニックナノジェットによる水中アブレーション加工の特性解明に関する研究2021

    • 著者名/発表者名
      山本 航生, 上野原 努, 水谷 康弘, 高谷 裕浩
    • 学会等名
      2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21919
  • [学会発表] 広帯域光周波数コム散乱分光による表面トポグラフィ計測に関する基礎的研究(第5報) ―Gerchberg-Saton 法による位相復元における表面構造による散乱光遮断の影響―2021

    • 著者名/発表者名
      板倉聡史, 上野原努, 水谷康弘, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21919
  • [学会発表] 後方散乱光のラマン分光によるガラス加工表面クラックの残留応力計測に関する基礎研究2021

    • 著者名/発表者名
      坂下 初音, 上野原 努, 水谷 康弘, 高谷 裕浩
    • 学会等名
      2021年度砥粒加工学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02042
  • [学会発表] LASER MICRO MACHINING USING A PHOTONIC NANOJET IN WATER MEDIUM2021

    • 著者名/発表者名
      Tsutomu Uenohara, Reza Aulia Rahman, Yasuhiro Mizutani, and Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      the ASME 2021 16th International Manufacturing Science and Engineering Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21919
  • [学会発表] SUB-MICROMETER SCALE LASER MACHINING USING POSITION CONTROLLED PHOTONIC NANOJET2020

    • 著者名/発表者名
      Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      Leading Edge Manufacturing/Materials&Processing
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21919
  • [学会発表] フォトニックナノジェットを利用した液中レーザナノ加工に関する研究(第3報) 長焦点深度特性による加工特性2020

    • 著者名/発表者名
      上野原努, レザアウリアラーマン, 水谷康弘, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2020年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21919
  • [学会発表] 後方散乱光のラマン分光によるガラスマイクロクラック計測に関する研究2020

    • 著者名/発表者名
      坂下初音, 上野原努, 水谷康弘, 高谷裕浩
    • 学会等名
      日本機械学会関西学生会2019 年度学生員卒業研究発表講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02042
  • [学会発表] 光後方散乱パターンの空間周波数解析に基づくガラス加工表面のマイクロクラック形状の評価2020

    • 著者名/発表者名
      並河峻佑, 上野原努, 水谷康弘, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2020年度砥粒加工学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02042
  • [学会発表] 光スピンホール効果エリプソメトリの開発(第4報) 表面粗さ計測の解析的検討2020

    • 著者名/発表者名
      Li Zhehan, 水谷 康弘, 上野原 努, 高谷 裕浩
    • 学会等名
      2020年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02154
  • [学会発表] もつれ光子対を用いた表面形状計測の高分解能化に関する基礎研究2020

    • 著者名/発表者名
      家中乾太, 上野原努, 水谷康弘, 高谷裕浩
    • 学会等名
      日本機械学会関西学生会2019 年度学生員卒業研究発表講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02042
  • [学会発表] Detection of Surface Roughness by Ellipsometry based on Spin Hall Effect of Light2020

    • 著者名/発表者名
      Zhehan Li, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      ICPE2020
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02154
  • [学会発表] タルボット効果を用いた広範囲 3 次元リソグラフィ(第4報) -入射光の複素振幅分布制御による構造の周期および形状制御-2020

    • 著者名/発表者名
      中西弘樹, 上野原努, 水谷康弘, 牧浦良彦, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2020 年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18811
  • [学会発表] Surface shape measurement by using entanglement photon state (the 2nd report) -interference and distance measurement-2020

    • 著者名/発表者名
      Zhang Congxian, 家中乾大, 上野原努, 水谷康弘, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2020年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02042
  • [学会発表] IN-LIQUID LASER NANOMACHINING BY PHOTONIC NANOJET IN LASER TRAPPING SYSTEM2020

    • 著者名/発表者名
      Reza Aulia Rahman, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      Leading Edge Manufacturing/Materials&Processing
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21919
  • [学会発表] フォトニックナノジェットを用いたレーザアブレーション加工のリアルタイムモニタリングに関する研究2020

    • 著者名/発表者名
      安田諒, 上野原努, 水谷康弘, 高谷裕浩
    • 学会等名
      関西学生会2020年度学生員卒業研究発表講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21919
  • [学会発表] In-Liquid Laser Nanomachining by Photonic Nanojet in Optical Tweezers Configuration2019

    • 著者名/発表者名
      Reza Aulia Rahman, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      ISMQC 2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21919
  • [学会発表] Fabrication of three dimensional nano-periodic structure by the Talbot lithography using multiple exposure2019

    • 著者名/発表者名
      Hiroki Nakanishi, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      Proc. SPIE 11142
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18811
  • [学会発表] Fabrication of Three Dimensional High Aspect Ratio Structure by Talbot Lithography2019

    • 著者名/発表者名
      Ryu Ezaki, Yasuhiro Mizutani, Yoshihiko Makiura, Hiroshi Yokota, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      ASPEN2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18811
  • [学会発表] Study on In-Liquid Laser Nanomachining by Photonic Nanojet in Optical Tweezers Configuration (1st report) - Investigation on machining realization by numerical simulations -2019

    • 著者名/発表者名
      RAHMAN Reza Aulia, UENOHARA Tsutomu, MIZUTANI Yasuhiro, and TAKAYA Yasuhiro
    • 学会等名
      2019年度精密工学会学術講演会秋季大会講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21919
  • [学会発表] High-speed ghost imaging with deep learning2019

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Mizutani, Otoki Yagi, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      Optical Technology and Measurement for Industrial Applications (OPTM2019)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04375
  • [学会発表] Shape control of nano periodic structure using hologram-assisted Talbot lithography2019

    • 著者名/発表者名
      Hroki Nakanishi, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      ISMTII2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18811
  • [学会発表] Laser micro machining using a photonic nanojet controlled by intensity distribution of incident laser2019

    • 著者名/発表者名
      Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      ISMTII 2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21919
  • [学会発表] タルボット効果を用いた広範囲3次元リソグラフィ (第2報) -多重露光を援用した3次元ナノ周期構造の作製-2019

    • 著者名/発表者名
      中西弘樹, 水谷康弘, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2019年度精密工学会春季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18811
  • [学会発表] タルボットリソグラフィにおけるホログラムを用いたナノ周期構造の形状制御2019

    • 著者名/発表者名
      中西弘樹, 水谷康弘, 牧浦良彦, 横田博, 高谷裕浩
    • 学会等名
      日本光学会年次学術 講演会Optics&PhotonicsJapan2019
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18811
  • [学会発表] 3D surface measurement for tens-nanometers-scale groove using entanglement photons2019

    • 著者名/発表者名
      Congxiang Zhang, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      ASPEN2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02042
  • [学会発表] High-speed single pixel imaging with deep learning2019

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      OIT2019
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02154
  • [学会発表] タルボット効果を用いたフォトリソグラフィによる高アスペクト比構造の作製2019

    • 著者名/発表者名
      江崎隆, 水谷康弘, 高谷裕浩
    • 学会等名
      日本機械学会 関西学生会2018年度学生員卒業研究発表講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18811
  • [学会発表] 広帯域光周波数コム散乱分光による表面トポグラフィ計測に関する基礎的研究 -光周波数コムファイバーレーザの広帯域化-2019

    • 著者名/発表者名
      高橋一平,水谷康弘,高谷裕浩
    • 学会等名
      2019年精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04246
  • [学会発表] タルボット効果を用いた広範囲3次元リソグラフィ(第3報) -高分子膜への構造転写手法の開発-2019

    • 著者名/発表者名
      江崎隆,水谷康弘,金子新,牧浦良彦,横田博,高谷裕浩
    • 学会等名
      2019年度精密工学会秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18811
  • [学会発表] Measurement of microcrack on machined glass surface based on Fourier analysis of laser backscattering pattern2019

    • 著者名/発表者名
      Shunsuke Namikawa, Yasuhiro Mizutani, Genichiro Hagiwara, Satoshi Kawarabata, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      ASPEN2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02042
  • [学会発表] タルボット効果を用いた広範囲3次元リソグラフィ(第2報)多重露光を援用した3次元ナノ周期構造の作製2019

    • 著者名/発表者名
      中西弘樹, 水谷康弘, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2019年度精密工学会春季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18811
  • [学会発表] フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究(第 8 報) ~マイクロ球に照射する集光ビームパラメータによる加工制御~2019

    • 著者名/発表者名
      上野原努,高谷裕浩,水谷康弘
    • 学会等名
      2019年度精密工学会学術講演会秋季大会講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21919
  • [学会発表] 量子もつれフォトンを利用した新計測原理に関する基礎研究 -量子もつれ光源の開発と計測手法の提案-2019

    • 著者名/発表者名
      Congxiang Zhang, 水谷康弘,高谷裕浩
    • 学会等名
      2019度精密工学会学術講演会秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02042
  • [学会発表] 全反射照明による多波長光相関イメージングを用いたサブマイクロスケール3次元形状計測に関する研究 (第1報)基本原理の検証2018

    • 著者名/発表者名
      八木音樹, 水谷康弘, 高谷裕浩
    • 学会等名
      日本機械学会 2018年度 年次大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04375
  • [学会発表] Fundamental study on entangled photon probe for quantum optical metrology - Development of the entangled photon source -2018

    • 著者名/発表者名
      Fumitake Yano, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      The Japan Society for Precision Engineering 17th International Conference on Precision Engineering (ICPE2018)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K18828
  • [学会発表] First photon ghost imaging by single photon counting2018

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Mizutani, Hiroki Taguchi, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      International symposium on optomechatoronic technology
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04375
  • [学会発表] 量子もつれ光子プローブに関する研究― 量子もつれ光源の評価 ―2018

    • 著者名/発表者名
      矢野 史剛,高谷 裕浩,水谷 康弘
    • 学会等名
      日本機械学会関西学生会2017年度学生員卒業研究発表講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K18828
  • [学会発表] 微弱励起光による光相関を用いた蛍光イメージングに関する研究(第3報) 検出器の時間分解能が画像コントラストに及ぼす影響2018

    • 著者名/発表者名
      田口 寛樹,水谷 康弘,高谷 裕浩
    • 学会等名
      2018年 精密工学会 春季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04375
  • [学会発表] Fundamental Study on Photon Metrology - Role of photon as information media for measurement -2018

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya and Yasuhiro Mizutani
    • 学会等名
      CIRP 2018 Winter Meetings
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K18828
  • [学会発表] 3次元表面トポグラフィ計測のための光周波数コムファイバーレーザの広帯域化2018

    • 著者名/発表者名
      高橋一平,高谷裕浩,水谷康弘
    • 学会等名
      2018年度精密工学会関西地方定期学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04246
  • [学会発表] Fundamental study on entangled photon probe for quantum optical metrology - Development of the entangled photon source -2018

    • 著者名/発表者名
      Ippei Takahashi, Yasuhiro Takaya and Yasuhiro Mizutani
    • 学会等名
      The Japan Society for Precision Engineering 17th International Conference on Precision Engineering (ICPE2018),
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04246
  • [学会発表] 次元表面トポグラフィ計測のための光周波数コムファイバーの発振特性の調査2017

    • 著者名/発表者名
      乾 和磨,高谷 裕浩,水谷 康弘
    • 学会等名
      2017年精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04246
  • [学会発表] First Photon Detection Ghost Imaging2017

    • 著者名/発表者名
      Hiroki Taguchi, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      OSA Imaging and Applied Optics Congress
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • 年月日
      2017-06-29
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13914
  • [学会発表] 微弱励起光による光相関を用いた蛍光イメージングに関する研究(第 2 報)単一光子検出における高感度イメージング法の検討2017

    • 著者名/発表者名
      田口寛樹, 水谷康弘, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2017年度 精密工学会春季学術講演会
    • 発表場所
      慶應大学(神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13914
  • [学会発表] Ghost imaging for single photon counting2017

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Mizutani, Hiroki Taguchi, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      The 7th Korea-Japan Workshop on Digital Holography and Information Photonics
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04375
  • [学会発表] 3次元表面トポグラフィ計測のための光周波数コムファイバーレーザーの発振特性2017

    • 著者名/発表者名
      乾 和磨,高谷 裕浩,水谷 康弘
    • 学会等名
      精密工学会2017年度関西地方定期学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04246
  • [学会発表] 微弱励起光による光相関を用いた蛍光イメージングに関する研究(第2報) 単一光子検出における高感度イメージング法の検討2017

    • 著者名/発表者名
      田口寛樹,水谷康弘,高谷裕浩
    • 学会等名
      2017年 精密工学会 春季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04375
  • [学会発表] First Photon Detection Ghost Imaging2017

    • 著者名/発表者名
      Hiroki Taguchi, Yasuhiro Mizutani and Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      OSA Imaging and Applied Optics Congress 2017
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04375
  • [学会発表] 全反射照明を用いた多波長光相関による 3 次元形状計測に関する研究2017

    • 著者名/発表者名
      八木音樹,水谷康弘,高谷裕浩
    • 学会等名
      精密工学会関西支部講演会 2017
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04375
  • [学会発表] 光スピンホール効果エリプソメトリの開発(第一報)基本原理の検証2017

    • 著者名/発表者名
      藤田寛之,水谷康弘,高谷裕浩
    • 学会等名
      2017年度 精密工学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京理科大学(千葉県・野田市)
    • 年月日
      2017-03-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13914
  • [学会発表] 微弱励起光による光相関を用いた蛍光イメージングに関する研究(第 1 報) 光相関イメージングにおける効率的な照明法の検討2016

    • 著者名/発表者名
      田口寛樹,水谷康弘,高谷裕浩
    • 学会等名
      2016年 精密工学会 秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04375
  • [学会発表] Illumination Pattern Analysis for Fluorescent Ghost Imaging2016

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Mizutani, Hiroki Taguchi, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON OPTICAL MEMORY 2016
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04375
  • [学会発表] Ghost Imaging Ellipsometry2016

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya, Yukitoshi Otani
    • 学会等名
      International symposium on Optomechatoronic Technology
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04375
  • [学会発表] サブ nm オーダ分解能を有するスピンホール効果プローブの開発2016

    • 著者名/発表者名
      水谷 康弘,上田 和徳,高谷 裕浩1
    • 学会等名
      精密工学会2016年春季大会
    • 発表場所
      千葉
    • 年月日
      2016-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13914
  • [学会発表] 微弱励起光による光相関を用いた蛍光イメージングに関する研究(第1報) 光相関イメージングにおける効率的な照明法の検討2016

    • 著者名/発表者名
      田口寛樹, 水谷康弘, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2016年度 精密工学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      茨城大学(茨城県・水戸市)
    • 年月日
      2016-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13914
  • [学会発表] Single-pixel imaging by Hadamard transform and ghost imaging and its application for hyperspectral imaging2016

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Mizutani, Kyuki Shibuya, Hiroki Taguchi, Tetsuo Iwata, Yasuhiro Takaya, Takeshi Yasui
    • 学会等名
      Photonics ASIA, Proc. SPIE Vol. 10021
    • 発表場所
      中国,北京市
    • 年月日
      2016-10-12
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13914
  • [学会発表] 光相関による微弱蛍光イメージング2016

    • 著者名/発表者名
      田口寛樹, 水谷康弘, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2016年度 精密工学会関西地方定期学術講演会
    • 発表場所
      島津製作所(京都府・京都市)
    • 年月日
      2016-07-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13914
  • [学会発表] Ghost imaging ellipsometry2016

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya, Yukitoshi Otani
    • 学会等名
      International Symposium on Optomechatoronic Technology
    • 発表場所
      板橋文化センター(東京都・板橋区)
    • 年月日
      2016-11-07
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13914
  • [学会発表] 微弱光イメージングを可能にするゴーストイメージング2016

    • 著者名/発表者名
      水谷 康弘,渋谷 九輝,高谷 裕浩
    • 学会等名
      レーザー学会学術講演会第36回年次大会
    • 発表場所
      名古屋
    • 年月日
      2016-01-10
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13914
  • [学会発表] フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究 (第2報) ―ビームの位置制御による加工特性の解明―2016

    • 著者名/発表者名
      上野原 努,高谷裕浩,水谷康弘
    • 学会等名
      2016年度精密工学会学術講演会春季大会
    • 発表場所
      東京理科大学 野田キャンパス(千葉県・野田市)
    • 年月日
      2016-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] Single-pixel imaging by Hadamard transform and its application for hyperspectral imaging2016

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Mizutani, b, Kyuki Shibuya, Hiroki Taguchi, Tetsuo Iwata, Yasuhiro Takaya, and Takeshi Yasui
    • 学会等名
      Photonics ASIA 2016
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04375
  • [学会発表] 光放射圧プローブを用いた表面微細形状の評価技術に関する研究(第3報) ―レーザ捕捉微小球レンズの試料面近傍における位置制御―2016

    • 著者名/発表者名
      山口悠希,道畑正岐,水谷康弘,高谷裕浩
    • 学会等名
      2016年度精密工学会学術講演会春季大会
    • 発表場所
      東京理科大学 野田キャンパス(千葉県・野田市)
    • 年月日
      2016-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] 光相関による微弱蛍光イメージング2016

    • 著者名/発表者名
      田口寛樹,水谷康弘,高谷裕浩
    • 学会等名
      2016年度 精密工学会関西支部講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04375
  • [学会発表] 光放射圧プローブを用いた表面微細形状の評価技術に関する研究(第2報) ―レーザトラッピングされたマイクロ球によるイメージング―2016

    • 著者名/発表者名
      金鐘剛,道畑正岐,高谷裕浩,水谷康弘
    • 学会等名
      2016年度精密工学会学術講演会春季大会
    • 発表場所
      東京理科大学 野田キャンパス(千葉県・野田市)
    • 年月日
      2016-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] 表面増強ラマン分光法による反応性ナノ粒子を用いたCu-CMPの化学的研磨作用分析2016

    • 著者名/発表者名
      旭真史,高谷裕浩,水谷康弘
    • 学会等名
      2016年度精密工学会学術講演会春季大会
    • 発表場所
      東京理科大学 野田キャンパス(千葉県・野田市)
    • 年月日
      2016-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630027
  • [学会発表] 光放射圧プローブによる表面微細形状計測に関する研究2015

    • 著者名/発表者名
      金 鐘剛,道畑正岐,高谷裕浩
    • 学会等名
      精密工学会2015年度関西地方定期学術講演会
    • 発表場所
      京都工芸繊維大学(京都府・京都市)
    • 年月日
      2015-06-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] Fluorescence microscope by using computational ghost imaging2015

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Mizutani, Kyuki Shibuya, Yoshihiko Makiura, Hiroki Maruoka, Tetsuo Iwata, and Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      International Symposium on Optomechatronics Technology (ISOT 2015)
    • 発表場所
      ニューシャテル,スイス
    • 年月日
      2015-10-15
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13914
  • [学会発表] Experimental study on measurement the surface topography by laser trapping probe2015

    • 著者名/発表者名
      Jonggang Kim, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
    • 発表場所
      Harbin (China)
    • 年月日
      2015-08-15
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究(第1報) ~ビームの位置制御技術の検討2015

    • 著者名/発表者名
      上野原努,高谷裕浩,水谷康弘
    • 学会等名
      2015年度精密工学会学術講演会秋季大会
    • 発表場所
      東北大学(宮城県・仙台市)
    • 年月日
      2015-09-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] 表面テクスチャ観察に用いる光放射圧制御微小球レンズの運動解析2015

    • 著者名/発表者名
      山口悠希,道畑正岐,高谷裕浩
    • 学会等名
      精密工学会2015年度関西地方定期学術講演会
    • 発表場所
      京都工芸繊維大学(京都府・京都市)
    • 年月日
      2015-06-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] Optically trapped microprobe for nano-profile measurement based on interpolation method of standing wave scale using chromatic system2015

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Shinichi Ueda
    • 学会等名
      XXII MEKO World Congress
    • 発表場所
      Prague (Czech Republic)
    • 年月日
      2015-08-30
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] Analysis of chemical reaction in Cu-CMP with reactive nanoparticles based on Raman spectra enhanced by surface plasmon2015

    • 著者名/発表者名
      Masafumi ASAHI, Yasuhiro TAKAYA, Masaki MICHIHATA
    • 学会等名
      Leading Edge Manufacturing in 21st Century
    • 発表場所
      京都リサーチパーク (京都府・京都市)
    • 年月日
      2015-10-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630027
  • [学会発表] 光放射圧プローブによる定在場スケールを用いた三次元形状 のスキャニング測定 (第5報) ―定在場スケール内挿によるスキャニング測定―2015

    • 著者名/発表者名
      上田真一,高谷裕浩,道畑正岐
    • 学会等名
      2015年度精密工学会学術講演会春季大会
    • 発表場所
      東洋大学 (東京都)
    • 年月日
      2015-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] 表面増強ラマン分光法による水酸化フラーレンを用いたCu-CMPの化学反応プロセス解析―表面増強ラマン分光装置の検証―2015

    • 著者名/発表者名
      旭真史,高谷裕浩,水谷康弘
    • 学会等名
      2015年度砥粒加工学会学術講演会
    • 発表場所
      慶応大学(神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2015-09-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630027
  • [学会発表] 表面テクスチャ観察に用いる微小球レンズの光放射圧運動制御に関する研究2015

    • 著者名/発表者名
      山口悠希,高谷裕浩,道畑正岐
    • 学会等名
      2014年度日本機械学会関西学生会卒業研究発表講演会
    • 発表場所
      京都大学 (京都市)
    • 年月日
      2015-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] 周波数領域蛍光法を用いたナノ粒子粒径評価に関する研究(第3 報) -DNA を用いたナノ粒子計測プローブの開発-2014

    • 著者名/発表者名
      林 照剛,石崎佑樹,道畑正岐,高谷裕浩,田中慎一
    • 学会等名
      2014年度精密工学会春期全国大会
    • 発表場所
      東京大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [学会発表] フェムトパルストレインによるコヒーレントフォノン励起加工に関する研究(第二報) -コヒーレントフォノン励起状態の時間分解計測-2014

    • 著者名/発表者名
      林 照剛, 大菊崇弘, 道畑正岐, 高谷裕浩
    • 学会等名
      精密工学会春期全国大会
    • 発表場所
      東京大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289017
  • [学会発表] 周波数領域蛍光法を用いたナノ粒子粒径評価に関する研究(第二報) -粒径と蛍光DNAプローブの回転拡散係数の関係性についての検討-2014

    • 著者名/発表者名
      石崎佑樹,林照剛,道畑正岐,高谷裕浩
    • 学会等名
      2014年度精密工学会春期全国大会
    • 発表場所
      東京大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [学会発表] WGM共振を利用した微小球の直径計測 (第2報) -WGM波長スペクトルを用いた球径の推定方法-2014

    • 著者名/発表者名
      道畑正岐,足立 篤,林 照剛,高谷裕浩
    • 学会等名
      2014年度精密工学会学術講演会春季大会
    • 発表場所
      東京大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [学会発表] フェムトパルストレインによるコヒーレントフォノン励起加工に関する研究(第三報) -テラヘルツ帯域でのエネルギー伝達機構の検討-2014

    • 著者名/発表者名
      林 照剛, 大島玄喜, 道畑正岐, 高谷裕浩
    • 学会等名
      精密工学会春期全国大会
    • 発表場所
      東京大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289017
  • [学会発表] Measurement of axial position of a microsphere using chromatic confocal system for probe system based on the laser trapping with the standing wave scale2014

    • 著者名/発表者名
      Shin-ichi Ueda, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      International Symposium on Optomechatronic Technologies 2014
    • 発表場所
      University of Washington (Seattle, USA)
    • 年月日
      2014-11-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] フォトニックナノジェットを利用した表面微細加工に関する研究2014

    • 著者名/発表者名
      上野原努,道畑正岐,高谷裕浩,林 照剛
    • 学会等名
      2014年度砥粒加工学会学術講演会 (ABTEC2014)
    • 発表場所
      岩手大学(岩手市)
    • 年月日
      2014-09-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] 光放射圧プローブによる定在場スケールを用いた三次元形状のスキャニング測定(第 4 報) ~マイクロ球光軸方向位置の共焦点計測~2014

    • 著者名/発表者名
      上野原努,道畑正岐,高谷裕浩,林 照剛
    • 学会等名
      2014年度精密工学会学術講演会秋季大会
    • 発表場所
      鳥取大学 (鳥取市)
    • 年月日
      2014-09-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] 局在型表面プラズモン励起ラマン分光による水酸化フラーレンのCu-CMP加工特性解析2014

    • 著者名/発表者名
      旭真史,高谷裕浩,林照剛,道畑正岐
    • 学会等名
      日本機械学会関西支部学生員卒業研究発表講演会
    • 発表場所
      大阪府立大学(堺市)
    • 年月日
      2014-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656104
  • [学会発表] 表面プラズモン励起ラマン計測による水酸化フラーレン分子加工原理に関する研究2014

    • 著者名/発表者名
      村井亮太,高谷裕浩,林照剛,道畑正岐
    • 学会等名
      2014年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京大学(東京都)
    • 年月日
      2014-03-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656104
  • [学会発表] 周波数領域蛍光法を用いたナノ粒子粒径評価に関する研究(第二報)-粒径と蛍光DNAプローブの回転拡散係数の関係性についての検討-2014

    • 著者名/発表者名
      石崎佑樹,林照剛,道畑正岐,高谷裕浩
    • 学会等名
      2014年度精密工学会学術講演会春季大会
    • 発表場所
      東京大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [学会発表] WGM共振を利用した微小球の直径計測(第2報) -WGM波長スペクトルを用いた球径の推定方法-2014

    • 著者名/発表者名
      道畑正岐,足立篤,林照剛,高谷裕浩
    • 学会等名
      2014年度精密工学会学術講演会春季大会講演論文集
    • 発表場所
      東京大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [学会発表] 周波数領域蛍光法を用いたナノ粒子粒径評価に関する研究(第3報)-DNAを用いたナノ粒子計測プローブの開発-2014

    • 著者名/発表者名
      林照剛,石崎佑樹,道畑正岐,高谷裕浩,田中慎一
    • 学会等名
      2014年度精密工学会学術講演会春季大会
    • 発表場所
      東京大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [学会発表] Development of nanoparticles sizing method based on fluorescence polarization2013

    • 著者名/発表者名
      Yuki Ishizaki,Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      ISMQC2013
    • 発表場所
      University, Cracow, Poland (Best paper award)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [学会発表] Study on surface processing by using femto-second pulse train beam with excitation of coherent phonon2013

    • 著者名/発表者名
      Terutake Hayashi, Yusuke Fukuta, Masaki Michihata, and Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      28th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering, (ASPE2013)
    • 発表場所
      St. Paul, Minnesota, USA,
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289017
  • [学会発表] Optimization of coupling condition in distance between the sphere and the tapered fiber for diameter measurement of microsphere by using WGM resonance2013

    • 著者名/発表者名
      Atsushi Adachi, Masaki Michihata, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      International Symposium on Optomechatronic Technologies (ISOT2013)
    • 発表場所
      Jeju island, South Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [学会発表] 光放射圧プローブによる定在場スケールを用いた三次元形状のスキャニング測定(第2報)―定在場中でのプローブ球の挙動解析―2013

    • 著者名/発表者名
      鷲谷泰佑,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩
    • 学会等名
      2013年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学(東京)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] CMMによる高精度測定のための微小球共振を用いたプローブ球の直径測定2013

    • 著者名/発表者名
      峨家諒介、道畑正岐、林 照剛、高谷裕浩
    • 学会等名
      2013年度精密工学会学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [学会発表] WGモード解析に基づくマイクロプローブの直径計測原理に関する研究2013

    • 著者名/発表者名
      足立篤,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩
    • 学会等名
      2012年度日本機械学会関西学生会卒業研究発表講演会
    • 発表場所
      大阪工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [学会発表] Fundamental Study on Chemical Mechanical Polishing of Copper Wafer Surface using Water-soluble Fullerenol as a Functional Molecule2013

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi
    • 学会等名
      The collaborative conference on Materials Research (CCMR) 2013
    • 発表場所
      Jeju Island(South Korea)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656104
  • [学会発表] WGM共振を利用した微小球の直径計測(第1報) -結合条件が共振ピークに与える影響-2013

    • 著者名/発表者名
      足立篤,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩
    • 学会等名
      2013年度精密工学会学術講演会秋季大会講演論文集
    • 発表場所
      関西大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [学会発表] 表面微細構造を用いた光放射圧プローブスタイラスの捕捉(第2報)―基板材料と表面離脱性の関係―2013

    • 著者名/発表者名
      吉兼匡昭,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩
    • 学会等名
      2013年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学(東京)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] Fundamental verification of diameter measurement of a micro-CMM probe by using whispering gallery mode resonance2013

    • 著者名/発表者名
      M. Michihata, R. Gake, T. Hayashi, Y. Takaya
    • 学会等名
      Proc. the 11th international symposium on measurement technology and intelligent instruments
    • 発表場所
      Aachen/Braunschweig, Germany
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [学会発表] Fundamental Study on Chemical Mechanical Polishing of Copper Wafer Surface using Water-soluble Fullerenol as a Functional Molecule2013

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi
    • 学会等名
      The collaborative conference on Materials Research (CCMR) 2013
    • 発表場所
      Jeju Island(South Korea)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656104
  • [学会発表] Micro-probing system for coordinate metrology using a particle controlled by optical radiation pressure based on standing wave scale sensing method2013

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi
    • 学会等名
      International Conference on Optics in Precision Engineering and Nanotechnology (icOPEN) 2013
    • 発表場所
      Singapore
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] 光放射圧プローブによる定在場スケールを用いた三次元形状のスキャニング測定(第3報)~スケールの内挿誤差の検討~2013

    • 著者名/発表者名
      上田真一,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩
    • 学会等名
      2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      関西大学 (吹田市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] Fundamental verification of diameter measurement of a micro-CMM probe by using whispering gallery mode resonance2013

    • 著者名/発表者名
      Masaki Michihata, Ryosuke Gake, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      The 11th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII)
    • 発表場所
      Aachen
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [学会発表] CMMによる高精度測定のための微小球共振を用いたプローブ球の直径測定2013

    • 著者名/発表者名
      峨家諒介,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩
    • 学会等名
      2013年度精密工学会学術講演会春季大会講演論文集
    • 発表場所
      東京工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [学会発表] Fundamental verification of diameter measurement of a micro-CMM probe by using whispering gallery mode resonance2013

    • 著者名/発表者名
      Masaki Michihata, Ryosuke Gake, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      The 11th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII)
    • 発表場所
      Aachen/Braunschweig, Germany
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [学会発表] Development of nanoparticles sizing method based on fluorescence polarization2013

    • 著者名/発表者名
      Yuki Ishizaki, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      ISMQC2013
    • 発表場所
      University, Cracow, Poland
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [学会発表] Optimization of coupling condition in distance between the sphere and the tapered fiber for diameter measurement of microsphere by using WGM resonance2013

    • 著者名/発表者名
      A. Adachi, M. Michihata, T. Hayashi, Y. Takaya
    • 学会等名
      International symposium on optomechatronic technologies
    • 発表場所
      Jeju island, South Korea, M1C-3
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [学会発表] 表面微細構造を用いた光放射圧プローブスタイラスの捕捉(第2報)~基板材質と表面離脱性の関係~2013

    • 著者名/発表者名
      吉兼匡昭、道畑正岐、林 照剛、高谷裕浩
    • 学会等名
      2013年度精密工学会学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [学会発表] WGM共振を利用した微小球の直径計測 (第1報) -結合条件が共振ピークに与える影響-2013

    • 著者名/発表者名
      足立篤,道畑正岐,林 照剛,高谷裕浩
    • 学会等名
      2013年度精密工学会学術講演会秋季大会
    • 発表場所
      関西大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656102
  • [学会発表] Mode selective probing method of micro trench structure using optically trapped probe2012

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi and Taisuke Washitani
    • 学会等名
      ISOT’12 (International Symposium on Optomechatronic Technologies)
    • 発表場所
      Paris (France)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] Development of Nano Particle Sizing System Using Fluorescence Polarization2012

    • 著者名/発表者名
      Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, and Kok Foong Lee
    • 学会等名
      XX IMEKO World Congress Metrology for Green Growth
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656088
  • [学会発表] Development of a Novel Surface Processing System Using Femtosecond Pulse Train2012

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Fukuta, Terutake Hayashi, Masaki Michihata and Yasuhiro Takaya,
    • 学会等名
      International Conference on Precision Engineering
    • 発表場所
      To be published
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656041
  • [学会発表] Scanning measurement of step height and freeform surface by using optically trapped microsphere2012

    • 著者名/発表者名
      Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Taisuke Washitani, Terutake Hayashi
    • 学会等名
      The 12th euspen International Conference
    • 発表場所
      Stockholm (Sweden)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] 水酸化フラーレンを用いたCu-CMPにおける化学反応過程の解明(第一報)-In-situラマン分光分析装置の開発ー2012

    • 著者名/発表者名
      鹿野和昌, 高谷裕浩, 林照剛, 道畑正岐, 小久保研
    • 学会等名
      精密工学会, 2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
    • 発表場所
      首都大学東京
    • 年月日
      2012-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [学会発表] New technique of single-beam gradient-force laser trapping in air condition2012

    • 著者名/発表者名
      Masaki MICHIHATA, Tadaaki YOSHIKANE, Terutake HAYASHI and Yasuhiro TAKAYA
    • 学会等名
      ISOT’12 (International Symposium on Optomechatronic Technologies)
    • 発表場所
      Paris (France)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] フェムトパルストレインによる表面原子加工システムの開発2012

    • 著者名/発表者名
      福田悠介, 林照剛, 道畑正岐, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2012年度精密工学会春季大会学術講演会(2012)
    • 発表場所
      金沢大学
    • 年月日
      2012-09-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656041
  • [学会発表] In Situ Raman Analysis of Chemical Reaction for Copper CMP Using Water-soluble Fullerenol2011

    • 著者名/発表者名
      Kazumasa Kano, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi, Masaki Michihata and Ken Kokubo
    • 学会等名
      Asian Symposium for Precision Engineering and Nanotechnology 2011
    • 発表場所
      China, Hong Kong
    • 年月日
      2011-11-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [学会発表] 水酸化フラーレンを用いたCu-CMP加工に関する研究(第3報)-パターンウエハの研磨特製の評価-2011

    • 著者名/発表者名
      岸田裕貴, 高谷裕浩, 林照剛, 道畑正岐, 小久保研
    • 学会等名
      精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
    • 発表場所
      東洋大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [学会発表] フェムトパルストレインによる表面原子加工技術の開発2011

    • 著者名/発表者名
      福田悠介, 林照剛, 道畑正岐, 高谷裕浩
    • 学会等名
      2011年度精密工学会秋期大会学術講演会講演論文集
    • 発表場所
      金沢大学
    • 年月日
      2011-09-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656041
  • [学会発表] 水酸化フラーレンを用いたCu-CMP加工における表面反応層の形成2010

    • 著者名/発表者名
      岸田裕貴, 高谷裕浩, 林照剛, 道畑正岐, 小久保研
    • 学会等名
      2010年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(JSPE)
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 年月日
      2010-09-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [学会発表] Verification of Generation and Removal Process of Surface Brittle Film, In Polishing Water Soluble Fullerenol, Proc2010

    • 著者名/発表者名
      Kazumasa Kano, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya, Ken Kokubo
    • 学会等名
      10th International Symposium on Measurement and Quality Control(ISMQC)
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • 年月日
      2010-09-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [学会発表] Weakly Copper-Fullerenol Layer on Chemical Mechanical Polishing Using Water Soluble Fullerenol, Proc2010

    • 著者名/発表者名
      Hirotaka Kishida, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Ken Kokubo
    • 学会等名
      2010 American Society for Precision Engineering(ASPE)
    • 発表場所
      Atlanta, USA
    • 年月日
      2010-11-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [学会発表] 水酸化フラーレンにおける脆性膜の生成および除去過程の検討2010

    • 著者名/発表者名
      鹿野和昌, 高谷裕浩, 林照剛
    • 学会等名
      精密工学会2010年度関西地方定期学術講演会
    • 発表場所
      京都大学
    • 年月日
      2010-05-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [学会発表] Performance of water-soluble fullerenol as novel functional molecular abrasive grain for polishing nanosurfaces2009

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Takaya, Hideaki Tachika, Terutake Hayashi, Ken Kokubo, Keisuke Suzuki
    • 学会等名
      The 59th CIRP general assembly
    • 発表場所
      Boston, USA
    • 年月日
      2009-08-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [学会発表] Effect of Fullerene Poly-hydroxide on Cu-CMP Process2009

    • 著者名/発表者名
      Hirotaka Kishida, Terutake hayashi, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      The 5th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st
    • 発表場所
      Century, Japan
    • 年月日
      2009-12-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360064
  • [学会発表] フェムト秒レーザ干渉を用いた超時間分解能ナノ変位計測に関する研究2008

    • 著者名/発表者名
      中塚雄貴, 高谷裕浩, 林照剛
    • 学会等名
      2007年度日本機械学会関西支部学生員卒業研究発表講演会
    • 発表場所
      大阪大学
    • 年月日
      2008-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18656047
  • [学会発表] Development of a Novel Surface Processing System Using Femtosecond Pulse Train

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Fukuta, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya
    • 学会等名
      14th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2012)
    • 発表場所
      Awaji, Hyogo(2012年11月発表予定)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656041
  • [学会発表] 局在型表面プラズモン励起ラマン分光による水酸化フラーレンのCu-CMP加工特性解析

    • 著者名/発表者名
      旭真史,高谷裕浩,林照剛,道畑正岐
    • 学会等名
      日本機械学会関西支部学生員卒業研究発表講演会
    • 発表場所
      大阪府立大学 (堺市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656104
  • [学会発表] フォトニック・ナノジェットを利用した微細加工に関する基礎研究

    • 著者名/発表者名
      上野原 努,高谷裕浩,林照剛,道畑正岐
    • 学会等名
      日本機械学会関西支部学生員卒業研究発表講演会
    • 発表場所
      大阪府立大学 (堺市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] フォトニック・ナノジェットの生成に関する研究 ―ベッセルビーム照明条件の検討―

    • 著者名/発表者名
      大島玄喜,高谷裕浩,林照剛,道畑正岐
    • 学会等名
      2013年度精密工学会関西地方定期学術講演会
    • 発表場所
      大阪工業大学(大阪市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246028
  • [学会発表] フェムトパルストレインによるコヒーレントフォノン励起加工に関する研究(第 2 報) -コヒーレントフォノンの時間分解計測システムの開発-

    • 著者名/発表者名
      大菊 崇弘, 林 照剛, 道畑 正岐, 高谷 裕浩
    • 学会等名
      精密工学会春期全国大会
    • 発表場所
      東洋大学
    • 年月日
      2015-03-17 – 2015-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289017
  • 1.  三好 隆志 (00002048)
    共同の研究課題数: 17件
    共同の研究成果数: 59件
  • 2.  林 照剛 (00334011)
    共同の研究課題数: 12件
    共同の研究成果数: 93件
  • 3.  水谷 康弘 (40374152)
    共同の研究課題数: 12件
    共同の研究成果数: 118件
  • 4.  高橋 哲 (30283724)
    共同の研究課題数: 9件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  道畑 正岐 (70588855)
    共同の研究課題数: 8件
    共同の研究成果数: 73件
  • 6.  上野原 努 (10868920)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 38件
  • 7.  島田 尚一 (20029317)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  幸田 盛堂
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  河 兌坪
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  小久保 研 (20304008)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 12件
  • 11.  柴田 隆行 (10235575)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  楢原 弘之 (80208082)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  高増 潔 (70154896)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  高 偉 (70270816)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 1件
  • 15.  高辻 利之 (20357362)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 16.  笹島 和幸 (80170702)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 17.  古谷 涼秋 (50219119)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 18.  岩田 哲郎 (50304548)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 2件
  • 19.  沢田 祐造
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 20.  大杉 幸久
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 21.  村上 光平
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 22.  松宮 貞行
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 23.  木村 景一
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 24.  高橋 一平
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 3件
  • 25.  谷田 航大
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 26.  鈴木 恵友
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 27.  的場 修
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 2件

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