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齊藤 丈靖  Saito Takeyasu

ORCIDORCID連携する *注記
… 別表記

齋藤 丈靖  サイトウ タケヤス

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研究者番号 70274503
その他のID
外部サイト
所属 (現在) 2025年度: 大阪公立大学, 大学院工学研究科 , 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2022年度 – 2023年度: 大阪公立大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授
2019年度 – 2021年度: 大阪府立大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授
2011年度 – 2018年度: 大阪府立大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授
1996年度 – 1997年度: 九州大学, 工学部, 助手
審査区分/研究分野
研究代表者
小区分26020:無機材料および物性関連 / 反応工学・プロセスシステム / 反応工学・プロセスシステム / 反応・分離工学
研究代表者以外
小区分27010:移動現象および単位操作関連 / 材料加工・組織制御工学 / 化学工学一般 / ナノ材料化学 / 反応・分離工学
キーワード
研究代表者
表面修飾 / キャパシタ / 熱硬化性樹脂 / 賦活 / 電気二重層キャパシタ / 電荷移動抵抗 / 表面官能基 / 活性炭 / 表面反応 / レアメタルフリー … もっと見る / 磁性体 / 超微粒子 / ナノ粒子 / 磁性 / 超臨界二酸化炭素 / 窒化鉄 / 吸脱着 / EQCM / 臭化物イオン / 塩化物イオン / ポリエチレングリコール / 添加剤 / 銅めっき / トリメチルホウ素 / ホール効果 / ド-ピング / p型半導体 / CVD / ダイヤモンド … もっと見る
研究代表者以外
表面修飾 / ナノ粒子 / 徐放性制御 / 細胞培養 / 生育制御 / 養液栽培 / 溶解性制御 / 微小電極 / 二価銅 / 電極反応速度解析 / SPS / 塩素 / 添加剤 / 穴埋め / 銅めっき / ダマシン / 穴埋めっき / 一価銅 / TSV / ultrasonic / methane / boring / drill. / hot-filamnt / chemical vapor deposition / diamond thin film / コーティング / 結晶析出 / マイクロ波プラズマ / CVD / マイクロドリル / ダイヤモンド / 核発生 / 超音波 / メタン / 切削 / ドリル / 熱フィラメント / 気相合成法 / ダイヤモンド薄膜 / 合成機構 / 超臨界水 / 金属酸化物 / 規則配列 / 有機修飾 / ナノ結晶 / 酸化物ナノ粒子 / 有機分子修飾 / 水熱合成 / 金属酸化物ナノ結晶 / 結晶面 / 分離機構 / 細孔制御 / ゼオライト / シリカ / テンプレート / 細孔 / 気体分離 / 無機膜 隠す
  • 研究課題

    (9件)
  • 研究成果

    (51件)
  • 共同研究者

    (11人)
  •  細胞培養液中における金属粒子と細胞間の物理化学的挙動の解析と徐放性制御技術の構築

    • 研究代表者
      倉橋 健介
    • 研究期間 (年度)
      2021 – 2023
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分27010:移動現象および単位操作関連
    • 研究機関
      大阪公立大学工業高等専門学校
  •  超臨界二酸化炭素で構造改変した熱硬化性樹脂由来活性炭による高性能キャパシタ作成研究代表者

    • 研究代表者
      齊藤 丈靖
    • 研究期間 (年度)
      2018 – 2020
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分26020:無機材料および物性関連
    • 研究機関
      大阪府立大学
  •  銅ダマシン配線細孔埋込み時の一価銅イオンの役割

    • 研究代表者
      近藤 和夫
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2018
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      材料加工・組織制御工学
    • 研究機関
      大阪府立大学
  •  超臨界二酸化炭素中における異種元素ドープ窒化鉄ナノ粒子の低温合成と安定性改善研究代表者

    • 研究代表者
      齊藤 丈靖
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2017
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      反応工学・プロセスシステム
    • 研究機関
      大阪府立大学
  •  ナノ材料のハンドリング手法を拡張する多面体酸化物ナノ結晶のプログラマブル集積

    • 研究代表者
      高見 誠一
    • 研究期間 (年度)
      2013 – 2016
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      ナノ材料化学
    • 研究機関
      東北大学
  •  微小流路による電気銅めっき添加物の吸脱着速度解析とめっき析出形状予測法の確立研究代表者

    • 研究代表者
      齊藤 丈靖
    • 研究期間 (年度)
      2011 – 2013
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      反応工学・プロセスシステム
    • 研究機関
      大阪府立大学
  •  気相製膜法によるダイヤモンド被覆マイクロドリルの開発

    • 研究代表者
      諸岡 成治 (諸岡 茂治)
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1998
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      化学工学一般
    • 研究機関
      九州大学
  •  テーラーメイド分子認識性無機薄膜の創製

    • 研究代表者
      草壁 克己
    • 研究期間 (年度)
      1996
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      反応・分離工学
    • 研究機関
      九州大学
  •  トリメチルホウ素を用いたp型半導体ダイヤモンド単結晶薄膜の成長初期過程の制御研究代表者

    • 研究代表者
      齊藤 丈靖
    • 研究期間 (年度)
      1996
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      反応・分離工学
    • 研究機関
      九州大学

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すべて 雑誌論文 学会発表

  • [雑誌論文] Structural Analysis of Furfural Resin-based Active Carbon to Control an Electric Double-layer Capacitor2020

    • 著者名/発表者名
      K. Hokari, S. Suzuki, N. Okamoto, T. Saito, I. Ide, M. Nishikawa, Y. Onishi
    • 雑誌名

      Electrochemistry

      巻: 88 号: 3 ページ: 127-131

    • DOI

      10.5796/electrochemistry.20-63004

    • NAID

      130007840229

    • ISSN
      1344-3542, 2186-2451
    • 年月日
      2020-05-05
    • 言語
      英語
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K04709
  • [雑誌論文] Structural Analysis and Electric Double Layer Capacitor of Furfural Resin-Based Active Carbon with Different Particle Size2019

    • 著者名/発表者名
      K. Hokari, S. Suzuki, N. Okamoto, T. Saito, I.Ide, M. Nishikawa, Y. Onishi,
    • 雑誌名

      Proc. of 2019 International Conference on Electronics Packaging, ICEP 2019

      巻: - ページ: 441-443

    • DOI

      10.23919/icep.2019.8733546

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K04709
  • [雑誌論文] Role of Cuprous ion on Copper Electrodeposition Acceleration2015

    • 著者名/発表者名
      T.Hayashi, S.Matsuura, K.Kataoka, K.Nishimura, M.Kada, K.Kondo, T.Saito, N.Okamoto
    • 雑誌名

      Journal of the Electrochemical Society

      巻: 162(6)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K06511
  • [雑誌論文] Adsorption behavior of poly (ethylene glycol) in the presence of two different kinds of halide ions, Br- and Cl- revealed using a microfluidic device and an EQCM2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Tsujimoto, T. Saito, Y. Miyamoto, N.Okamoto, K. Kondo
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 53 号: 5S2 ページ: 05GA05-05GA05

    • DOI

      10.7567/jjap.53.05ga05

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [雑誌論文] Determination of Current Density Suppression Ability of Poly(ethylene glycol) during Copper2013

    • 著者名/発表者名
      T. Saito, Y. Tsujimoto, Y. Miyamoto, N. Okamoto, K. Kondo
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 52 号: 5S3 ページ: 05FB03-05FB03

    • DOI

      10.7567/jjap.52.05fb03

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [雑誌論文] Adsorption and Desorption Kinetic Study of Organic Additives during Copper Electrodeposition by Microfluidic Reactor2013

    • 著者名/発表者名
      T. Saito, Y. Tsujimoto, Y. Miyamoto, N. Okamoto, K. Kondo
    • 雑誌名

      Proceedings of ICEP 2013

      巻: 13th ページ: 639-644

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [雑誌論文] Adsorption and Desorption Kinetic Study of Organic Additives during Copper Electrodeposition by Microfluidic Reactor2013

    • 著者名/発表者名
      T. Saito, Y. Tsujimoto, Y. Miyamoto, N. Okamoto, K. Kondo
    • 雑誌名

      Proc. of Int. Conf. on Electronics Packaging 2013

      ページ: 639-644

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [雑誌論文] Adsorption Kinetic Study of Poly(ethylene glycol) during Copper Electrodeposition2012

    • 著者名/発表者名
      Takeyasu Saito, Yutaka Miyamoto, Sunao Hattori, Naoki Okamoto, and Kazuo Kondo
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 51

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [雑誌論文] Adsorption Kinetic Study of Poly(ethylene glycol) during Copper Electrodeposition by a Microfluidic Device2012

    • 著者名/発表者名
      T. Saito, Y. Miyamoto, S. Hattori, N. Okamoto, K. Kondo
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 51 号: 5S ページ: 05EA03-05EA03

    • DOI

      10.7567/jjap.51.05ea03

    • NAID

      210000140634

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [雑誌論文] Adsorption Kinetic Study of Poly(ethylene glycol) during Copper Electrodeposition by a Microfluidic Device2012

    • 著者名/発表者名
      T. Saito, Y. Miyamoto, S. Hattori, N. Okamoto, K. Kondo
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 51(5) 号: 5S ページ: 05EA03-05EA03

    • DOI

      10.1143/jjap.51.05ea03

    • NAID

      210000140634

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560872, KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [雑誌論文] 微小流路型反応器を利用した銅めっき液中添加剤作用の解析2012

    • 著者名/発表者名
      齊藤丈靖, 宮本豊, 服部直, 岡本尚樹, 近藤和夫
    • 雑誌名

      信学技報

      巻: 111

    • NAID

      110009546240

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [雑誌論文] 微小流路型反応器を利用した銅めっき液中添加剤作用の解2012

    • 著者名/発表者名
      齊藤丈靖・宮本 豊・服部 直・岡本尚樹・近藤和夫
    • 雑誌名

      信学技報

      巻: Vol.111 No.463

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [雑誌論文] Adosorption and desorption kinetic study of organic additives during copper electrodeposition by microfluidic reactor2011

    • 著者名/発表者名
      Y. Miyamoto, S. Hattori, N. Okamoto, T. Saito, K. Kondo
    • 雑誌名

      Proc. of Int. Conf. on Electronics Packaging 2011

      ページ: 866-870

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [学会発表] 金属ナノ粒子が誘導する細胞増殖効果の検討と細胞周辺の金属イオン濃度解析2024

    • 著者名/発表者名
      井上 昂星、金子 直毅、倉橋 健介、齊藤 丈靖、徳本 勇人
    • 学会等名
      日本植物学会第88大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K04759
  • [学会発表] 金属ナノ粒子の肥料転用における有効性の検証2023

    • 著者名/発表者名
      倉橋 健介、中村 太郎、齊藤 丈靖、中島 壮一朗、岩崎 哲史、徳本 勇人
    • 学会等名
      日本植物学会第87大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K04759
  • [学会発表] 細胞増殖を促進する酸化亜鉛ナノ粒子の粒径最適化技法の構築2023

    • 著者名/発表者名
      中島 壮一朗、 清水 翔太、倉橋 健介、徳本 勇人、齊藤 丈靖
    • 学会等名
      化学工学会第54回秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K04759
  • [学会発表] 金属酸化物ナノ粒子を用いた緑藻に対する細胞増殖効果の解析2023

    • 著者名/発表者名
      中島 壮一朗、倉橋 健介、齊藤 丈靖、徳本 勇人
    • 学会等名
      日本植物学会第87大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K04759
  • [学会発表] ナノ粒子の溶解性制御による植物細胞の増殖促進2022

    • 著者名/発表者名
      倉橋 健介、岩崎 哲史、齊藤丈靖、徳本勇人
    • 学会等名
      第57回植物工場研究センターコンソーシアム研修会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K04759
  • [学会発表] 大腸菌体内で生合成されるAuナノ粒子の物性評価2021

    • 著者名/発表者名
      菊池祥一朗、倉橋健介、徳本勇人、齊藤丈靖
    • 学会等名
      化学工学会第52回秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K04759
  • [学会発表] Preparation of Furfural Resin-Based Active Carbon with Acid Treated Pore Surface Electric Double Layer Capacitor2021

    • 著者名/発表者名
      K. Hokari, S. Shimizu, N. Okamoto, T. Saito, I. Ide, M. Nishikawa, Y. Onishi
    • 学会等名
      the 239th ECS Meeting and the 18th International Meeting on Chemical Sensors (IMCS)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K04709
  • [学会発表] Physical Properties of Furfural Resin-Based Active Carbon for Improved Electric Double Layer Capacitor2020

    • 著者名/発表者名
      K. Hokari, S. Suzuki, N. Okamoto, T. Saito, I. Ide, M. Nishikawa, Y. Onishi
    • 学会等名
      PRiME 2020
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K04709
  • [学会発表] フラン樹脂由来活性炭への酸性表面官能基の導入と電気二重層キャパシタ特性2020

    • 著者名/発表者名
      清水翔太,帆苅奏,岡本尚樹,齊藤丈靖,井手勇,西川昌信,大西慶和
    • 学会等名
      第30回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K04709
  • [学会発表] フラン樹脂由来活性炭の表面構造と電気二重層キャパシタ特性2019

    • 著者名/発表者名
      帆苅 奏,鈴木伸一郎,岡本尚樹,齊藤丈靖,井出 勇,西川昌信,大西慶和
    • 学会等名
      電気化学秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K04709
  • [学会発表] Structural Analysis of Furfural Resin -Based Active Carbon to Control Electric Double Layer Capacitor.2019

    • 著者名/発表者名
      T. Saito, K. Hokari, S. Suzuki, N. Okamoto, I. Ide, M. Nishikawa, Y. Onishi
    • 学会等名
      18th Asian Pacific Confederation of Chemical Engineering (APCChE) 2019, (Sapporo, Japan, Sep.)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K04709
  • [学会発表] 骨格の異なる熱硬化性樹脂由来活性炭の構造解析に基づく電気二重層キャパシタ特性の改善2019

    • 著者名/発表者名
      帆苅 奏,鈴木伸一郎,岡本尚樹,齊藤丈靖,井出 勇,西川昌信,大西慶和
    • 学会等名
      電気化学秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K04709
  • [学会発表] フラン樹脂由来活性炭の粒径及び表面構造と電気二重層キャパシタ特性2019

    • 著者名/発表者名
      帆苅 奏,鈴木伸一郎,岡本尚樹,齊藤丈靖,井出 勇,西川昌信,大西慶和
    • 学会等名
      第21回化学工学会学生発表会(京都大会)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K04709
  • [学会発表] 超臨界流体中で作製した熱硬化性樹脂由来活性炭の電気二重層キャパシタ特性2018

    • 著者名/発表者名
      鈴木伸一郎,帆苅 奏,中澤貴文,岡本尚樹,齊藤丈靖,井出 勇,西川昌信,大西慶和
    • 学会等名
      化学工学会第50回秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K04709
  • [学会発表] 有機鉄化合物を用いた超臨界CO2中での鉄酸化物の作製2017

    • 著者名/発表者名
      田村 遥,岡本尚樹,齊藤丈靖
    • 学会等名
      化学工学会学生発表会第19回豊中大会
    • 発表場所
      大阪大学石橋キャンパス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K14215
  • [学会発表] 超臨界二酸化炭素を用いた酸化鉄薄膜の作成2015

    • 著者名/発表者名
      角 嘉人、刀禰 正利、岡本 尚樹、齊藤 丈靖、近藤 和夫、高見 誠一
    • 学会等名
      化学工学会 第47回秋季大会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道札幌市)
    • 年月日
      2015-09-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K14215
  • [学会発表] 微小流路型反応器とEQCMを用いた銅めっき中添加剤作用の定量化2013

    • 著者名/発表者名
      辻本悠一, 宮本豊, 岡本尚樹, 齊藤丈靖, 近藤和夫
    • 学会等名
      化学工学会第78年会
    • 発表場所
      大阪
    • 年月日
      2013-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [学会発表] Neutron Computed Tomography at the Mixing Point of Supercritical Water and Room Temperature Water in a Tubular Flow Reactor2013

    • 著者名/発表者名
      S. Takami, K. Ozawa, K. Sugioka, T. Tsukada, T. Adschiri, K. Sugioka, N.Takenaka, Y. Saito
    • 学会等名
      The 6th International Symposium on High Pressure Processes Technology
    • 発表場所
      Belgrade, Serbia
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286013
  • [学会発表] Adsorption and Desorption Kinetic Study of Organic Additives during Copper Electrodeposition by Microfluidic Reactor2013

    • 著者名/発表者名
      T. Saito, Y. Tsujimoto, Y. Miyamoto, N. Okamoto, K. Kondo
    • 学会等名
      13th International Symposium on Electronics Packaging (ICEP2013)
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • 年月日
      2013-04-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [学会発表] Adsorption Behavior of Poly (Ethylene Glycol) in the Presence of Different Kinds of Halide Ions with a Microfluidic Device and an EQCM2013

    • 著者名/発表者名
      T. Saito, Y. Tsujimoto, Y. Miyamoto, N.Okamoto, K. Kondo
    • 学会等名
      Advanced Metallization Conference 2013: 23rd Asian Session
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [学会発表] 微小流路型反応器を用いた異種ハロゲンイオン存在下におけるポリエチレングリコール吸着挙動の解析2013

    • 著者名/発表者名
      辻本悠一, 宮本豊, 齊藤丈靖, 岡本尚樹, 近藤和夫
    • 学会等名
      第23回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [学会発表] Adsorption Behavior of Poly (Ethylene Glycol) in the Presence of Different Kinds of Halide Ions with a Microfluidic Device and an EQCM2013

    • 著者名/発表者名
      T. Saito, Y. Tsujimoto, Y. Miyamoto, N. Okamoto, K. Kondo
    • 学会等名
      Advanced Metallization Conference 2013:23rd Asian Session
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 年月日
      2013-10-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [学会発表] 微小流路型反応器を用いた異種ハロゲンイオン存在下におけるポリエチレングリコール吸着挙動の解析2013

    • 著者名/発表者名
      辻本悠一, 宮本豊, 齊藤丈靖, 岡本尚樹, 近藤和夫
    • 学会等名
      第23回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
    • 発表場所
      大阪
    • 年月日
      2013-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [学会発表] 急速液置換による銅めっき用有機添加剤の吸脱着挙動2012

    • 著者名/発表者名
      辻本悠一, 宮本豊, 齊藤丈靖, 岡本尚樹, 近藤和夫
    • 学会等名
      第22回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
    • 発表場所
      大阪
    • 年月日
      2012-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [学会発表] Determination of Current Density Suppression Ability of Poly(ethylene glycol) during Copper Electrodeposition by an EQCM and a Microfluidic Device2012

    • 著者名/発表者名
      T. Saito, Y. Tsujimoto, Y. Miyamoto, N. Okamoto, K. Kondo
    • 学会等名
      Advanced Metallization Conference 2012:22nd Asian Session
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 年月日
      2012-10-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [学会発表] Determination of Current Density Suppression Ability of Poly(ethylene glycol) during Copper Electrodeposition by an EQCM and a Microfluidic Device.2012

    • 著者名/発表者名
      T. Saito, Y. Tsujimoto, Y. Miyamoto, N. Okamoto, K. Kondo
    • 学会等名
      Advanced Metallization Conference 2012: 22nd Asian Session
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [学会発表] 急速液置換による銅めっき用有機系添加剤の吸脱着挙動解析2012

    • 著者名/発表者名
      辻本悠一, 宮本豊, 齊藤丈靖, 岡本尚樹, 近藤和夫
    • 学会等名
      第22回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
    • 発表場所
      大阪
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [学会発表] 微小流路型反応器を利用した銅めっき液中添加剤作用の解析2012

    • 著者名/発表者名
      齊藤丈靖, 宮本豊, 服部直, 岡本尚樹, 近藤和夫
    • 学会等名
      応用物理学会分科会シリコンテクノロジー「配線技術研究集会」
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2012-03-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [学会発表] 急速液置換による銅めっき用有機系添加剤の吸着作用の定量化2012

    • 著者名/発表者名
      宮本豊, 服部直, 岡本尚樹, 齊藤丈靖, 近藤和夫
    • 学会等名
      化学工学会第77年会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2012-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [学会発表] 微小流路型反応器を利用した銅めっき液中添加剤作用の解2012

    • 著者名/発表者名
      齊藤丈靖・宮本 豊・服部 直・岡本尚樹・近藤和夫
    • 学会等名
      応用物理学会シリコンテクノロジー分科会
    • 発表場所
      東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [学会発表] 急速液置換による銅めっき用有機系添加剤の吸脱着挙動解析2011

    • 著者名/発表者名
      宮本 豊・服部 直・岡本尚樹・齊藤丈靖・近藤和夫
    • 学会等名
      第21回マイクロエレクトロニクスシンポジウム(MES2011)
    • 発表場所
      大阪
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [学会発表] 急速液置換による銅めっき用有機系添加剤の吸脱着挙動解析2011

    • 著者名/発表者名
      宮本豊, 服部直, 齊藤丈靖, 岡本尚樹, 近藤和夫
    • 学会等名
      第21回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
    • 発表場所
      大阪
    • 年月日
      2011-09-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [学会発表] Adosorption and desorption kinetic study of organic additives during copper electrodeposition by microfluidic reactor2011

    • 著者名/発表者名
      Y. Miyamoto, S. Hattori, N. Okamoto, T. Saito, K. Kondo
    • 学会等名
      Int. Conf. on Electronics Packaging 2011 (ICEP2011)
    • 発表場所
      Nara, Japan
    • 年月日
      2011-04-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [学会発表] Adsorption and desorption kinetic study of organic additives during copper electrodeposition by microfluidic reactor2011

    • 著者名/発表者名
      Yutaka Miyamoto, Sunao Hattori, Naoki Okamoto, Takeyasu Saito and Kazuo Kondo
    • 学会等名
      ICEP 2011; International Conference on Electronics Packaging
    • 発表場所
      Nara, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [学会発表] 微小流路反応器を用いる銅めっき用有機系添加剤の吸脱着挙動の解析2011

    • 著者名/発表者名
      宮本 豊・服部 直・岡本尚樹・齊藤丈靖・近藤和夫
    • 学会等名
      化学工学会第43回秋季大会
    • 発表場所
      名古屋
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [学会発表] 微小流路反応器を用いる銅めっき用添加剤の吸着挙動の解析2011

    • 著者名/発表者名
      宮本豊, 服部直, 岡本尚樹, 齊藤丈靖, 近藤和夫
    • 学会等名
      化学工学会第43回秋季大会
    • 発表場所
      名古屋
    • 年月日
      2011-09-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [学会発表] Adsorption and Desorption Behavior of Organic Additives During Copper Electrodeposition by Rapid Solution Exchange2011

    • 著者名/発表者名
      T. Saito, Y. Miyamoto, S. Hattori, N. Okamoto, K. Kondo
    • 学会等名
      Advanced Metallization Conference 2011:21st Asian Session
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 年月日
      2011-09-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • [学会発表] Adsorption and Desorption Behavior of Organic Additives During Copper Electrodeposition by Rapid Solution Exchange2011

    • 著者名/発表者名
      Takeyasu Saito, Yutaka Miyamoto, Sunao Hattori, Naoki Okamoto, and Kazuo Kondo
    • 学会等名
      Advanced Metallization Conference 2011: 21st Asian Session
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560922
  • 1.  草壁 克己 (30153274)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  金子 豊 (00169583)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  横井 昌幸 (80359348)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  高見 誠一 (40311550)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 1件
  • 5.  諸岡 成治 (60011079)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  坪田 敏樹 (10304750)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  北條 純一 (20038079)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  近藤 和夫 (50250478)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 2件
  • 9.  倉橋 健介 (60516821)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 6件
  • 10.  冨樫 貴成 (80510122)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  林 太郎
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 1件

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