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上田 洋子  UEDA Yoko

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 70274529
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2000年度: 九大, (総合)理工学研究科, 助手
1999年度: 九州大学, 大学院・総合理工学研究科, 助手
1998年度: 九州大学, 大学院総合理工学研究科, 助手
1995年度 – 1997年度: 九州大学, 大学院・総合理工学研究科, 助手
1995年度: 九州大学, 大学院総合理工学研究科, 助手
審査区分/研究分野
研究代表者
プラズマ理工学
研究代表者以外
プラズマ理工学
キーワード
研究代表者
異常波 / 磁気ミラー / 共鳴領域 / 半導体プロセス用プラズマ / L波 / R波 / 電磁波動 / 電子サイクロトロン共鳴プラズマ / ホロー型電子密度分布。 / ホイッスラ-波 … もっと見る / X波(異常波) / L波(左周り偏波) / R波(右廻り偏波) / ECRプラズマ源 / 大口径一様ECRプラズマ … もっと見る
研究代表者以外
電子ビーム・プラズマ不安定性 / 相関次元 / ダブルプラズマ / 間欠カオス / ECRプラズマ / プラズマカオス / 不安定系 / electron beam plasma instability / ion acoustic instability / corelation dimension / type-1 / intermittent chaos / period doubling / drift velocity / unstable system / 電子ブーム・プラズマ不安定性 / イオン音波不安定性 / タイプ-1 / 周期倍加 / ドリフト速度 / microwave propagation characteristics / amorphous silicon / reactive gas / silane gas / multi-slot antenna / ECR plasma / large diameter plasma / microwave / 反応性プラズマ / マイクロ波伝播特性 / アモルファスシリコン / 反応性ガス / シランガス / マルチスロットアンテナ / 大口径プラズマ / マイクロ波 / correlation dimension / subharmonics / chaos / double plasma / electron beam plasma system / 分岐現象 / カオス過程 / 静電波動 / サブハ-モニクス / カオス / 電子ビーム・プラズマ系 / フルート波 / 間欠性カオス / 磁化プラズマ 隠す
  • 研究課題

    (6件)
  • 共同研究者

    (5人)
  •  ECRプラズマの一様性・制御における電磁波のモード変換・吸収の役割研究代表者

    • 研究代表者
      上田 洋子
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2000
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      九州大学
  •  ECRプロセスプラズマーの一様性における電磁波動の役割研究代表者

    • 研究代表者
      上田 洋子
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1998
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      九州大学
  •  有限磁化プラズマのカオス的振る舞い

    • 研究代表者
      河合 良信
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1998
    • 研究種目
      萌芽的研究
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      九州大学
  •  不安定系におけるカオス現象

    • 研究代表者
      河合 良信
    • 研究期間 (年度)
      1996 – 1997
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      九州大学
  •  新型マイクロ波モードを用いた大面積薄膜製造装置

    • 研究代表者
      河合 良信
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1996
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      九州大学
  •  プラズマ波動系のカオス過程

    • 研究代表者
      河合 良信
    • 研究期間 (年度)
      1994 – 1995
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      九州大学
  • 1.  河合 良信 (10038565)
    共同の研究課題数: 4件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  羽鳥 尹承 (80023729)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  篠原 俊二郎 (10134446)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  田中 雅慶 (90163576)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  藤原 正巳 (10023722)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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