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佐々木 実  Sasaki Minoru

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 70282100
その他のID
外部サイト
所属 (現在) 2025年度: 豊田工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2019年度 – 2022年度: 豊田工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授
2016年度: 豊田工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授
2007年度 – 2015年度: 豊田工業大学, 工学部, 教授
2008年度: 豊田工業大学, 教授
2006年度: 東北大学, 大学院工学研究科, 助教授 … もっと見る
2001年度 – 2006年度: 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教授
2000年度 – 2001年度: 東北大学, 大学院・工学研究科, 講師
1997年度 – 1999年度: 東北大学, 大学院・工学研究科, 助手
1996年度: 東北大学, 工学部, 助手 隠す
審査区分/研究分野
研究代表者
理工系 / 計測工学 / 小区分18020:加工学および生産工学関連 / スポーツ科学 / 理工系 / 計測工学 / マイクロ・ナノデバイス / 知能機械学・機械システム / 電子デバイス・機器工学 / 応用光学・量子光工学 … もっと見る
研究代表者以外
… もっと見る 知能機械学・機械システム / 機械工作・生産工学 / 理工系 / 小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連 / 天文学 / 電子デバイス・機器工学 / 計測工学 / プラズマエレクトロニクス / 応用物理学一般 / 知能機械学・機械システム / 電子デバイス・電子機器 隠す
キーワード
研究代表者
マイクロマシン / マイクロ・ナノデバイス / 計測工学 / 静電駆動 / 光スキャナ / 集積化 / 先球ファイバ / 光ファイバ / 精密機械加工 / 空気抵抗低減 … もっと見る / 垂直軸風車ブレード / 異方性エッチング / 部分窒化 / 高アスペクト比 / 硬質めっき堆積 / 金型曲面 / 微細加工 / サメ肌リブレット / 三次元フォトリソグラフィ / grating / encoder / resonant cavity / standing wave / interferometer / stacking structure / integration / photodiode / 直接接合 / 回析格子 / エンコーダ / 共振構造 / 定在波 / 干渉計 / 積層構造 / フォトダイオード / 容量 / 容量検出 / スポーツ / 無拘束 / 長期安定性 / 皮膚 / 周波数特性 / 運動中の呼吸測定 / 締め付け無し / 容量計測 / 呼吸センサ / ウェアラブルセンサ / ガス界面 / シート状反応性プラズマ / 拡散長 / 平均自由行程 / Y形合流路 / 層流 / マイクロ流路 / MEMS / マイクロプラズマ / 反応性プラズマ / 温度特性 / Q値 / 感度 / 多結晶シリコン / 薄膜トーションバー / 張力 / 非線形バネ / 非線形効果 / 振動型 / 赤外線センサ / 低電圧駆動 / 温度補償 / マイクロミラー / MEMSアクチュエータ / 先端機能デバイス / 流体解析 / 3次元実装 / 垂直壁 / 3次元デバイス / 3次元フォトリソグラフィ / デバイス設計・製造プロセス / マイクロファブリケーション / 時間変調 / オフセット / 高精度化 / せん断ゲージ / ひずみゲージ / 回転角センサ / マイクロアクチュエータ / アクチュエータ / 光スイッチ / SOIウェーハ / vertical comb / ウェーハ折り曲げ / 三角測量 / SOIウェハ / 縦型櫛歯電極 / 三角測 / ウェハ折り曲げ / 光計測 / フォトリソグラフィー / 光減衰器 / セルフアライメント / フォトリソグラフィ / 追加工 / リソグラフィ / 表面マイクロマシニング / フィルタ / 減衰器 / アライメント / 3次元リソグラフィ / ロ-ダミン / ポリスチレン球 / 微粒子 / Siマイクロマシニング / レーザ発振 / 配列 / マイクロキャビティ / 色素レーザ … もっと見る
研究代表者以外
マイクロマシニング / シリコン / MEMS / マイクロマシン / Micromachining / マイクロアクチュエータ / リソグラフィ / エンコーダ / フォトニック結晶 / サブ波長格子 / 光通信 / エッチング / ナノメートル加工 / ナノメートル / プローブ / AFM / 高密度メモリ / 小型化 / Si微細加工技術 / 蓄電 / コイル / 超電導 / Siウェハ / めっき / 超電導蓄電コイル / シリコン微細加工プロセス / 銅酸化物高温超電導薄膜 / MOD法 / トレンチ / シリコンウェハ / 電力貯蔵 / 超電導コイル / 磁場計算 / 化学機械研磨(CMP) / 極低温冷凍機 / MOD成膜技術 / スパッタ成膜技術 / 銅めっき / シリコン微細加工技術(MEMS) / 超電導磁気エネルギー貯蔵 / 厚い回折格子 / 高分散分光 / 高次回折光 / 透過型回折格子 / 厳密結合波解析(RCWA)法 / 厳密結合波解析(RCWA) / Echelle spectroscopy / Volume grating / Optical switch / Filter / Micro-actuator / Photonic crystal / 光スイッチ / フィルタ / Lithography / Sensor / Robot / Silicon / Grating / Encoder / 回析格子 / 精密機器 / 光エンコーダ / 光リソグラフィ / 非平面リソグラフィ / ロボット用エンコーダ / ロータリーエンコーダ / 光計測 / センサ / ロボット / グレイティング / NANO-OPTICS / ETCHING / SUB-WAVELENGTH / MICROMACHINING / ANTI-REFLECTION / GRATING / 無反射表面 / 高アスペクト比エッチング / 回折格子 / 光学素子 / 電子線描画 / 微細格子 / モスアイ構造 / 反射防止 / グレーティング / ナノ光学 / サブ波長 / 無反射 / グレーディング / Scanning probe microscopy / Charge deposition / High density memory / Atomic force microscopy / 分極反転 / 原子分子操作 / 原子分子加工 / 超高密度メモリー / 原子間力顕微鏡(AFM) / 誘電体薄膜 / 静電容量 / ディスクメモリー / 原子間力顕微鏡 / 電荷畜積 / 走査型プローブ顕微鏡 / 電荷蓄積 / Optical Pattern Generation / Optical Encoder / Non-Planar Lithography / Computer Generated Hologram / プラズマプロセス / 回路格子パターン / 立体加工 / 微細加工 / 計算機ホログラム / レーザ露光 / ホログラフィ / 光露光 / 非平面露光 / 計算機合成ホログラム / 低温大気圧プラズマ / プラズマ医療 / 細胞 / プラズマ / マイクロ流体デバイス / 流れ解析 / マイクロ・ナノデバイス / マイクロ流路デバイス / 垂直面形成 / 配線形成 / 実装技術 / 光モジュール / 斜め露光 / スプレーコート / 垂直配線 / 三次元実装 / シリコンデバイス / 光集積デバイス / 窒化物半導体 / 集積化 / 光デバイス / フォトニック構造 / 可変フィルタ / くし型アクチュエータ / シリコンMEMS / 波長選択フィルタ / シリコンマイクロマシニング / サブミクロン構造 / モールディング / ポリマー / モールド / 表面マイクロマシニング / プローブアレイ / プローブ技術 / ナノマシニング / 近接場光 / カンチレバー / 光導波路 / アモルファスSi / ねじれ振動子 / ニアフィールド / 機械共振 隠す
  • 研究課題

    (28件)
  • 研究成果

    (267件)
  • 共同研究者

    (39人)
  •  精密機械加工と三次元フォトリソグラフィの融合による空気抵抗低減サメ肌模倣造形技術研究代表者

    • 研究代表者
      佐々木 実
    • 研究期間 (年度)
      2019 – 2021
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分18020:加工学および生産工学関連
    • 研究機関
      豊田工業大学
  •  Si微細加工プロセスによる量産型コンパクト超電導磁気エネルギー貯蔵デバイスの開発

    • 研究代表者
      元廣 友美
    • 研究期間 (年度)
      2019 – 2021
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  究極的な高次高分散回折格子の開発

    • 研究代表者
      海老塚 昇
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2016
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      天文学
    • 研究機関
      国立研究開発法人理化学研究所
  •  プラズマ オン チップ

    • 研究代表者
      熊谷 慎也
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2015
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      プラズマエレクトロニクス
    • 研究機関
      豊田工業大学
  •  マイクロ流体界面に形成するシート状反応性プラズマ研究代表者

    • 研究代表者
      佐々木 実
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2013
    • 研究種目
      新学術領域研究(研究領域提案型)
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      豊田工業大学
  •  ウェアラブルな呼吸センサ開発と実践応用に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      佐々木 実
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2014
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      スポーツ科学
    • 研究機関
      豊田工業大学
  •  新しいフォトリソグラフィーでマイクロ流路の側壁にデバイス機能を付加する

    • 研究代表者
      熊谷 慎也
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2013
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      豊田工業大学
  •  非線形効果を用いた振動型高感度赤外線センサ研究代表者

    • 研究代表者
      佐々木 実
    • 研究期間 (年度)
      2009 – 2011
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      計測工学
    • 研究機関
      豊田工業大学
  •  立体パターニングと垂直形状形成技術による三次元実装配線の研究

    • 研究代表者
      大平 文和
    • 研究期間 (年度)
      2008 – 2010
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      香川大学
  •  温度補償した高速応答可能な低電圧静電駆動型マイクロミラー研究代表者

    • 研究代表者
      佐々木 実
    • 研究期間 (年度)
      2007 – 2008
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      豊田工業大学
  •  窒化物半導体とシリコンのモノリシック集積による光マイクロシステム

    • 研究代表者
      羽根 一博
    • 研究期間 (年度)
      2007 – 2011
    • 研究種目
      基盤研究(S)
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      東北大学
  •  3次元フォトリソグラフィによる高機能MEMSデバイス研究代表者

    • 研究代表者
      佐々木 実
    • 研究期間 (年度)
      2006 – 2008
    • 研究種目
      若手研究(A)
    • 研究分野
      マイクロ・ナノデバイス
    • 研究機関
      豊田工業大学
      東北大学
  •  回転角センサー体型MEMS光スキャナ研究代表者

    • 研究代表者
      佐々木 実
    • 研究期間 (年度)
      2005 – 2006
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      東北大学
  •  MEMS技術による光通信用高機能デバイスの研究

    • 研究代表者
      羽根 一博
    • 研究期間 (年度)
      2005 – 2008
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      東北大学
  •  光ファイバ上に展開するマイクロマシニング加工研究代表者

    • 研究代表者
      佐々木 実
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2004
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      東北大学
  •  マイクロアクチュエータと複合した集積型光計測システム研究代表者

    • 研究代表者
      佐々木 実
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2004
    • 研究種目
      若手研究(A)
    • 研究分野
      計測工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  マイクロ・ナノマシニングによる光通信用可変フォトニックデバイスの研究

    • 研究代表者
      羽根 一博
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2006
    • 研究種目
      基盤研究(S)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  近接場光加工の大面積化に関する研究

    • 研究代表者
      羽根 一博
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2003
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      東北大学
  •  3次元フォトリソグラフィによる追加工と光システムの集積化研究代表者

    • 研究代表者
      佐々木 実
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2001
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  マイクロマシニングを用いたシリコン・ナノ・モールディング

    • 研究代表者
      羽根 一博
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2001
    • 研究種目
      萌芽的研究
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  積層構造によって集積化した光計測システムの開発研究代表者

    • 研究代表者
      佐々木 実
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2002
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      計測工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  ロボットの指関節用および精密機器用マイクロ回転エンコーダの試作

    • 研究代表者
      羽根 一博
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2001
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      計測工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  アモルファスSiを利用した光導波路一体型カンチレバーの製作

    • 研究代表者
      羽根 一博
    • 研究期間 (年度)
      1998
    • 研究種目
      特定領域研究(A)
    • 研究機関
      東北大学
  •  マイクロマシニングによる超微細構造光学素子の開発

    • 研究代表者
      羽根 一博
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      東北大学
  •  マイクロマシンプローブを用いたニアフィールドメモリの研究

    • 研究代表者
      羽根 一博
    • 研究期間 (年度)
      1997
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      東北大学
  •  配列したマイクロ共振器を用いたレーザ発振器の開発と応用研究代表者

    • 研究代表者
      佐々木 実
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1998
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      応用光学・量子光工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  ホログラフィック投影による非平面リソグラフィ法の研究

    • 研究代表者
      羽根 一博
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1997
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  原子間力顕微鏡を用いたディスク記憶装置の試作

    • 研究代表者
      羽根 一博
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1997
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      東北大学

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すべて 雑誌論文 学会発表 図書 産業財産権

  • [図書] アクチュエータ研究開発の最前線2011

    • 著者名/発表者名
      樋口俊郎、大岡昌博、佐々木実
    • 出版者
      株式会社エヌ・ティー・エス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [図書] 新アクチュエータ開発最前線-The Next-Generation Actuators-張力を持つ薄膜を利用した静電駆動型マイクロミラーの高速化と低電圧化2011

    • 著者名/発表者名
      佐々木実(分担)第2編 第2章 第5節
    • 出版者
      株式会社ビーケーシー(印刷中)(仮称)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [図書] Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs2010

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki
    • 出版者
      Springer
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [図書] Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs, Part III, Micro Actuators, 11. High-Performance Electrostatic Micromirrors2010

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki
    • 総ページ数
      438
    • 出版者
      Springer, ISBN978-1-84882-990-9
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [図書] レジスト膜を利用した立体加工2009

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 出版者
      テクノシステム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [図書] 「MEMS/NEMS工学全集」3. 11. 2レジスト膜を利用した立体加工2009

    • 著者名/発表者名
      監修桑野博喜、分担佐々木実
    • 出版者
      (株)テクノシステム(2009. 4.22発刊)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [図書] Comprehensive Microsystems2008

    • 著者名/発表者名
      K. Hane, M. Sasaki
    • 出版者
      Elsevier
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [図書] エレクトロニクス実装学会誌(講座ちょっとMEMS第8回),Vol.11, No.32008

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 出版者
      配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ(1)成膜
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [図書] 「次世代センサハンドブック」第10章アクチュエータ10.3静電アクチュエータ2008

    • 著者名/発表者名
      監修 : 藍光郎、分担佐々木実
    • 出版者
      (株)培風館(2008年7月8日初版発行)ISBN978-4-563-06768-7C3055
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [図書] 講座ちょっとMEMS 第6回 MEMSデバイス製作とアセンブリをマッチングする試み2008

    • 著者名/発表者名
      佐々木実, 羽根一博
    • 総ページ数
      4
    • 出版者
      エレクトロニクス実装学会誌(Vol.11, No.1, Jan.2008)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [図書] 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ(2)露光2008

    • 著者名/発表者名
      佐々木実,羽根一博
    • 出版者
      エレクトロニクス実装学会誌
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [図書] Micro-Mirrors(Comprehensive Microsystems)2008

    • 著者名/発表者名
      K. Hane, M. Sasaki
    • 出版者
      Elsevier
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [図書] MEMS用途フォトリソグラフィプロセス2008

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 出版者
      技術情報協会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [図書] 「微細転写・加工技術全集」第4章第3[3]節「MEMS用途フォトリソグラフィプロセス」2008

    • 著者名/発表者名
      分担佐々木実
    • 出版者
      (株)技術情報協会(第1版第1刷2008年8月29日)ISBN978-4-86104-248-5C3053
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [図書] 第10章アクチュエータ,10.3静電アクチュエータ2008

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 出版者
      培風館
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [図書] エレクトロニクス実装学会誌(講座ちょっとMEMS第9回), Vol.11, No.42008

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 出版者
      配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ(2)露光
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [図書] 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ(1)成膜2008

    • 著者名/発表者名
      佐々木実,羽根一博,青柳誠司
    • 出版者
      エレクトロニクス実装学会誌
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [図書] MEMSデバイス製作とアセンブリをマッチングする試み2008

    • 著者名/発表者名
      佐々木実,羽根一博
    • 出版者
      エレクトロニクス実装学会誌
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [図書] レジスト塗布・露光技術2007

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 出版者
      シーエムシー出版
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [図書] Comprehensive Microsystems-Fundamentals,technology and applications-2007

    • 著者名/発表者名
      Kazuhiro Hane, Minoru Sasaki
    • 出版者
      Elsevier Science Ltd.
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [図書] Comprehensive Microsystems-Fundamentals, technology and applications- (Volume Three) : 3.01 Optical systems: Miero-mirrors2007

    • 著者名/発表者名
      編集:Yogesh Gianchandani, Osamu Tabata, Hans Zappe 分担:Kazuhiro Hane, Minoru Sasaki
    • 総ページ数
      63
    • 出版者
      Elsevier Science Ltd
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [図書] MEMSマテリアルの最新技術、第2章 第1節 レジスト塗布・露光技術2007

    • 著者名/発表者名
      監修:江刺正喜, 分担:佐々木実
    • 総ページ数
      10
    • 出版者
      シーエムシー出版
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [図書] ナノオプティクス・ナノフォトニクスのすべて-ナノ光技術の基礎から実用まで- 9.MEMSデバイスと集積化2006

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 総ページ数
      352
    • 出版者
      フロンティア出版
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17040003
  • [雑誌論文] 超電導電力貯蔵装置を小型化するコイル向け全長100 m級スパイラル溝形成2022

    • 著者名/発表者名
      Sasaki Minoru、Noh Joo-Hyong、Takai Osamu、Motohiro Tomoyoshi
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)

      巻: 142 号: 5 ページ: 78-84

    • DOI

      10.1541/ieejsmas.142.78

    • ISSN
      1341-8939, 1347-5525
    • 年月日
      2022-05-01
    • 言語
      日本語
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02195
  • [雑誌論文] Microtextured Die Using Silicon Stencil Mask for Micro-machining of Stainless Steel2022

    • 著者名/発表者名
      Gang Han, Minoru Sasaki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 61 号: SA ページ: SA1012-SA1012

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac1c3b

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K04132
  • [雑誌論文] 三次元フォトリソグラフィ2021

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 雑誌名

      機能材料, 12月号特集「フォトレジスト最前線」

      巻: 41

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K04132
  • [雑誌論文] Estimation of the Electricity Storage Volume Density of Compact SMESs of a New Concept Based on Si Microfabrication Technologies2021

    • 著者名/発表者名
      Motohiro Tomoyoshi、Sasaki Minoru、Noh Joo-hyong、Takai Osamu
    • 雑誌名

      Magnetochemistry

      巻: 7 号: 3 ページ: 44-44

    • DOI

      10.3390/magnetochemistry7030044

    • NAID

      120007180197

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02195
  • [雑誌論文] 微細加工技術を用いた超電導磁気エネルギー貯蔵デバイスの開発における表面処理技術2020

    • 著者名/発表者名
      元廣友美、佐々木 実、盧 柱亨
    • 雑誌名

      工業材料

      巻: 68(2) ページ: 66-74

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02195
  • [雑誌論文] Estimation of Electricity Storage Density of Compact SMESs Composed of Si-wafer Stacks Loaded with Superconducting Thin Film Coils in Spiral Trenches under the Constraints of the Critical Magnetic Flux Density2020

    • 著者名/発表者名
      Motohiro T、Sasaki M、Noh J-H、Takai O、Honma H
    • 雑誌名

      Journal of Physics: Conference Series

      巻: 1590 号: 1 ページ: 012045-012045

    • DOI

      10.1088/1742-6596/1590/1/012045

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02195
  • [雑誌論文] Estimation of electricity storage capacity of compact SMESs composed of stacks of Si-wafers loaded with superconducting thin film coils in spiral trenches formed by MEMS process2019

    • 著者名/発表者名
      Ichiki Y、Ichiki A、Hioki T、Sasaki M、Noh J-H、Takai O、Honma H、Motohiro T
    • 雑誌名

      Journal of Physics: Conference Series

      巻: 1293 号: 1 ページ: 012058-012058

    • DOI

      10.1088/1742-6596/1293/1/012058

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02195
  • [雑誌論文] Plasma-on-chip device for stable irradiation of cells cultured in media with a low-temperature atmospheric pressure plasma2016

    • 著者名/発表者名
      T. Okada, C.-Y. Chang, M. Kobayashi, T. Shimizu, M. Sasaki, S. Kumagai
    • 雑誌名

      Archives of Biochemistry and Biophysics

      巻: in press ページ: 11-18

    • DOI

      10.1016/j.abb.2016.04.001

    • 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600130
  • [雑誌論文] Development of plasma-on-chip: Plasma treatment for individual cells cultured in media2016

    • 著者名/発表者名
      S. Kumagai, C.-Y. Chang, J.-H. Jeong, M. Kobayashi, T. Shimizu, M. Sasaki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 55 号: 1S ページ: 01AF01-01AF01

    • DOI

      10.7567/jjap.55.01af01

    • NAID

      210000145988

    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600130
  • [雑誌論文] An Atmospheric Pressure Inductively Coupled Microplasma Source of Vacuum Ultraviolet Light2014

    • 著者名/発表者名
      R. Sato, D. Yasumatsu, S. Kumagai, K. Takeda, M. Hori, M. Sasaki
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A

      巻: 215 ページ: 144-149

    • DOI

      10.1016/j.sna.2013.09.018

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [雑誌論文] Theoretical Calculation of Electromagnetic Field of Floating Metal Wire for Inductively Coupled Micro Plasma Using Spiral Coil2013

    • 著者名/発表者名
      Kyyoul Yun, Keisuke Fujisaki, Minoru Sasaki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 52 号: 1S ページ: 01AA02-01AA02

    • DOI

      10.7567/jjap.52.01aa02

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [雑誌論文] A Wearable Capacitive Sensor to Monitor Human Respiratory Rate2013

    • 著者名/発表者名
      Subrata Kumar Kundu, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 52 号: 4S ページ: 04CL05-04CL05

    • DOI

      10.7567/jjap.52.04cl05

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24650397
  • [雑誌論文] Investigation of Optical Flatness of Stretched Membrane Drum-Type Micromirror2012

    • 著者名/発表者名
      Subrata Kumar Kundu, Akiyoshi Hikita, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki
    • 雑誌名

      Journal of Lightwave Technology

      巻: Vol.30 号: 10 ページ: 1377-1385

    • DOI

      10.1109/jlt.2012.2186432

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [雑誌論文] Minimising plasma irradiation area by micronozzle device towards single-cell treatment2012

    • 著者名/発表者名
      Ryutaro Shimane, Shinya Kumagai, Masaru Hori, Minoru Sasaki
    • 雑誌名

      Micro and Nano Letters

      巻: 7 号: 12 ページ: 1210-1212

    • DOI

      10.1049/mnl.2012.0555

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [雑誌論文] Multiple-Height Microstructure Fabricated by Deep Reactive IonEtchingd Selective Ashing of Resist Layer Cmbined with Ultraviolet Curing2012

    • 著者名/発表者名
      Shinya Kumagai, Akiyoshi Hikita, Takuya Iwamoto, Takashi Tomikawa, Masaru Hori, Minoru Sasaki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: Vol.51 号: 1S ページ: 01AB04-01AB04

    • DOI

      10.1143/jjap.51.01ab04

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [雑誌論文] Comb-drive GaN micro-mirror on a GaN-on-silicon platform2011

    • 著者名/発表者名
      Y. Wang, T. Sasaki, T. Wu, F. Hu, K. Hane
    • 雑誌名

      J. Micromech. Microeng

      巻: 21(3)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Comb-drive GaN micro-mirror on a GaN-on-silicon platform2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Wang, T.Sasaki, T.Wu, F.Hu, K.Hane
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Microengineering

      巻: 21 号: 3 ページ: 035012-035012

    • DOI

      10.1088/0960-1317/21/3/035012

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [雑誌論文] Characteristics of Improved Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror Device2009

    • 著者名/発表者名
      Takuro AONUMA, Shinya KUMAGAI, Minoru SASAKI, Motoki TABATA, Kazuhiro HANE
    • 雑誌名

      electrical wire (a) (b) Japanese Journal of Applied Physics Vol.48, No.4

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [雑誌論文] Simultaneous Realization of Stabilized Temperature haracteristics and Low-Voltage Driving of Micromirror Using Thin Film Torsion Bar of Tensile Poly-Si2009

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki
    • 雑誌名

      IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics 15(掲載確定)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [雑誌論文] Simultaneous Realization of Stabilized Temperature Characteristics and Low-Voltage Driving of Micromirror Using Thin Film Torsion Bar of Tensile Poly-Si2009

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, M.Fujishima, K.Hane, H.Miura
    • 雑誌名

      IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics 15, No.5

      ページ: 1455-1462

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [雑誌論文] Simultaneous Realization of Stabilized Temperature Characteristics and LowVoltage Drivingof Micromirror Using Thin Film Torsion Bar of Tensile Poly-Si2009

    • 著者名/発表者名
      M. Sasaki, M. Fujishima, K. Hane, H. Miura
    • 雑誌名

      IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics

      巻: Vol.15, No.5 ページ: 1455-1462

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [雑誌論文] Simultaneous Realization of Stabilized Temperature Characteristics and Low-Voltage Driving of Micromirror Using Thin Film Torsion Bar of Tensile Poly-Si2009

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Masayuki Fujishima, Kazuhiro Hane, Hideo Miura
    • 雑誌名

      IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics Vol.15

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [雑誌論文] Driving of micromirror and simultaneous detection of rotation angle using integrated piezoresistive sentsor2009

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, M. Tabata, K.Hane
    • 雑誌名

      J. Opt. A: Pure Appl. Opt vol. 11,(in press)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Design and fabrication of freestanding pitch-variable blazed grating on silicon-on-insulator wafer2009

    • 著者名/発表者名
      Y.Wang, Y.Kanamori, T.Sasaki, K.Hane
    • 雑誌名

      J. Micromech. Microeng vol. 19

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Driving of micromirror and simultaneous detection of rotation angle using integrated piezoresistive sentsor2009

    • 著者名/発表者名
      M. Sasaki
    • 雑誌名

      Journal of Optics A : Pure Applied Optics 11(in press)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Large Displacement Micro XY-Stage with Paired Moving Plates2008

    • 著者名/発表者名
      Minoru SASAKI, Fuminori BONO, Kazuhiro HANE
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.47, No.4

      ページ: 3226-3231

    • NAID

      10022548216

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [雑誌論文] An Optically flat micromirror using stretched membrane with crystallization-induced stress2008

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane, Hideo Miura
    • 雑誌名

      Journal of Optics A : Pure and Applied Optics Vol.10

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [雑誌論文] Development of MEMS Capacitive Sensor Using a MOSFET Structure2008

    • 著者名/発表者名
      H. Izumi, Y. Matsumoto, S. Aoyagi, Y. Harada, S. Shingubara, M. Sasaki, K. Hane, H. Tokunaga
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E 128-E, No.3

      ページ: 102-107

    • NAID

      10021135078

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [雑誌論文] Large Displacement Micro XY-Stage with Paired Moving Plates, Solid State Devices & Materials2008

    • 著者名/発表者名
      M. Sasaki, F. Bono, K. Hane
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 47, No.4

      ページ: 3226-3231

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [雑誌論文] Optically flat micromirror using stretched membrane with crystallization-induced stress2008

    • 著者名/発表者名
      M. Sasaki, T. Sasaki, K. Hane, H. Miura
    • 雑誌名

      Journal of Optics A 10

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [雑誌論文] Development of MEMS Capacitive Sensor Using a MOSFET Structure2008

    • 著者名/発表者名
      Hayato Izumi, Yohei Matsumoto, Seiji Aoyagi, Yusaku Harada, Shoso Shingubara, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane, Hiroshi Tokunaga
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E Vol.128-E, No.3

      ページ: 102-107

    • NAID

      10021135078

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [雑誌論文] Tunable vertical comb for driving micromirror realized by bending drive wafer2007

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki
    • 雑誌名

      IEICE Transactions on Electronics E90-C・1

      ページ: 147-148

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [雑誌論文] Micromirror with two parallel rotation axes for external cavity diode laser2007

    • 著者名/発表者名
      M.Ishimori, M.Sasaki, K.Hane
    • 雑誌名

      IEICE Trans. Electron vol. E90-C

      ページ: 72-77

    • NAID

      110007519559

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Tunable vertical comb for driving micromirror realized by bending drive wafer2007

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, M.Ishimori, J.-H.Song, K.Hane
    • 雑誌名

      IEICE Trans. Electron vol. E90-C

      ページ: 147-148

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Performance of Tense Thin Film Torsion Bar for Large-Rotation and Low-Voltage Driving of Micromirror2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki
    • 雑誌名

      IEEE J. Selected Topics in Quantum Electronics 13(印刷中)

    • NAID

      10022548226

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17040003
  • [雑誌論文] Tunable vertical comb for driving micromirror realized by bending device wafer2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru SASAKI
    • 雑誌名

      IEICE Transaction on Electronics E90-C・1

      ページ: 147-148

    • NAID

      110007519571

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17040003
  • [雑誌論文] Performance of Tense Thin Film Torsion Bar for Large-Rotation and Low-Voltage Driving of Micromirror2007

    • 著者名/発表者名
      M. Sasaki, S. Yuki, K. Hane,
    • 雑誌名

      IEEE J. Selected Topics in Quantum Elect ronics 13, Issue 2

      ページ: 290-296

    • NAID

      10022548226

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [雑誌論文] Geometrical characteristics of silicon cavities etiched in EDP2007

    • 著者名/発表者名
      H.Ju, T.Ohta, M.Ito, M.Sasaki, K.Hane, M.Hori
    • 雑誌名

      J. Micromech. Microeng vol. 17

      ページ: 1012-1016

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Angled Exposure Method for Pattering on Three-Dimensional Structures2007

    • 著者名/発表者名
      V.K. Singh, M. Sasaki, K. Hane
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 46, No.9B

      ページ: 6449-6453

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [雑誌論文] Fabrication of MOSFET Capacitive Sensor using Spray Coating Method2007

    • 著者名/発表者名
      S. Aoyagi, Y. Matsui, K. Makihira, H. Tokunaga, M. Sasaki, K. Hane
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E 127-E, No.3

      ページ: 153-159

    • NAID

      10018737787

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [雑誌論文] Angled exposure method for patterning on three-dimensional structures2007

    • 著者名/発表者名
      V.K.Singh, M.Sasaki, K.Hane
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys vol. 46

      ページ: 6449-6453

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Fabrication of MOSFET Capacitive Sensor using Spray Coating Method2007

    • 著者名/発表者名
      Seiji Aoyagi, Yuichi Matsui, Kenji Makihira, Hiroshi Tokunaga, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E Vol.127-E, No.3

      ページ: 153-159

    • NAID

      10018737787

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [雑誌論文] Angled Exposure Method for Pattering on Three-Dimensional Structures2007

    • 著者名/発表者名
      Vijay Kumar SINGH, Minoru SASAKI, and Kazuhiro HANE
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.46, No.9B

      ページ: 6449-6453

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [雑誌論文] Tunable vertical comb for driving micromirror realized by bending drive wafer2007

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, et al.
    • 雑誌名

      IEICE Transaction on Electronics E90-C・1

      ページ: 147-148

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [雑誌論文] Performance of tense thin-film torsion bar for large rotation and low-voltage driving of micromirror2007

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, S.Yuki, K.Hane
    • 雑誌名

      IEEE J. Selected Topics Quant. Electron vol. 13

      ページ: 290-296

    • NAID

      10022548226

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Tunable vertical comb for driving micromirror realized by bending drive wafer2007

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, et al.
    • 雑誌名

      IEICE Transaction on Electronics E90-C-1

      ページ: 147-148

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [雑誌論文] Performance of Tense Thin Film Torsion Bar for Large-Rotation and Low-Voltage Driving of Micromirror2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Shinya Yuki, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics Vol.13, Issue 2

      ページ: 290-296

    • NAID

      10022548226

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [雑誌論文] Electrostatic actuator with segmented comb electrodes2006

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, F.Bono, K.Hane
    • 雑誌名

      IEEJ Trans. SM vol. 126

      ページ: 168-169

    • NAID

      10017538804

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Large-rotation and low-voltage driving of micromirror realized by tense thin-film torsion bar2006

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, S.Yuki, K.Hane
    • 雑誌名

      IEEE Photonics Technol. Lett vol. 18

      ページ: 1573-1575

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] 位相シフトマスクを利用した立体サンプルの露光法2006

    • 著者名/発表者名
      佐々木実,陳俊中エドウィン,羽根一博
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E Vol.126-E, No.6

      ページ: 241-242

    • NAID

      10017582294

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [雑誌論文] Large-rotation and low-voltage driving of micromirror realized by tense thin-film torsion bar2006

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki
    • 雑誌名

      IEEE Photonics Technology Letters 18・15

      ページ: 1573-1575

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [雑誌論文] Piezoresistive rotation angle sensor integrated in micromirror2006

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, M.Tabata, T.Haga, and K.Hane
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys vol. 45

      ページ: 3789-3793

    • NAID

      10022541010

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Piezoresistive rotation angle sensor integrated in micromirror2006

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, K.Haga, M.Tabata, K.Hane
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 45(in press)

    • NAID

      10022541010

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Exposure method for three-dimensional samples using phase shift mask2006

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, T.Edwin, K.Hane
    • 雑誌名

      IEEJ Trans. SM vol. 126

      ページ: 241-242

    • NAID

      10017586211

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] 位相シフトマスクを利用した立体サンプルの露光法2006

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E 126-E・6

      ページ: 241-242

    • NAID

      10017582294

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [雑誌論文] Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror2006

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 45・4B

      ページ: 3789-3793

    • NAID

      10022541010

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17040003
  • [雑誌論文] 位相シフトマスクを利用した立体サンプルへの微細パターン露光法2006

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 雑誌名

      電気学会研究会資料センサ・マイクロマシン準部門総合研究会,2006.5.15-16 MSS-06-19

      ページ: 89-92

    • NAID

      10017586211

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [雑誌論文] Large-Rotation and Low-Voltage Driving of Micromirror Realized by Tense Thin Film Torsion Bar2006

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki
    • 雑誌名

      IEEE Photonics Technology Letters 18・15

      ページ: 1573-1575

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17040003
  • [雑誌論文] 分割した櫛歯電極型静電駆動アクチュエータ2006

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E 126-E・4

      ページ: 168-169

    • NAID

      10017538804

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17040003
  • [雑誌論文] 位相シフトマスクを利用した立体サンプルの露光法2006

    • 著者名/発表者名
      佐々木実, et al.
    • 雑誌名

      電気学会論文誌 E 126・6

      ページ: 241-242

    • NAID

      10017582294

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [雑誌論文] Exposure method for three-dimensional samples using phase shift mask2006

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, et al.
    • 雑誌名

      IEEJ Transaction Sensors and Micromachines E126-6

      ページ: 241-242

    • NAID

      10017586211

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [雑誌論文] 位相シフトマスクを利用した立体サンプルの露光法2006

    • 著者名/発表者名
      佐々木実, 陳俊中エドウィン, 羽根一博
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E (印刷中)

    • NAID

      10017582294

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [雑誌論文] Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror2006

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, Motoki Tabata, Tsukasa Haga, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 45,No.4B(in press)

    • NAID

      10022541010

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17040003
  • [雑誌論文] Piezoresistive rotation angle sensor integrated in micromirror2006

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 45・4B

      ページ: 3789-3793

    • NAID

      10022541010

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] 分割した櫛歯電極型静電駆動アクチュエータ2006

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E 126・4

      ページ: 168-169

    • NAID

      10017538804

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [雑誌論文] Deposition of thin and uniform photoresist on three-dimensional structures using fast flow in spray coating2005

    • 著者名/発表者名
      V.K.Singh, M.Sasaki, K.Hane, Y.Watanabe, H.Takamatsu, M.Kawakita, H.Hayashi
    • 雑誌名

      J. Micromech. Microeng vol. 15

      ページ: 2339-2345

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Fiber-optical switch using cam-micromotor driven by scratch drive Actuators2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Kanamori, Y.Aoki, M.Sasaki, H.Hosoya, A.Wada, K.Hane
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Microengineering 15

      ページ: 118-123

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14655094
  • [雑誌論文] Deposition of thin and uniform photoresist on three-dimensional structures using fast flow in spray coating2005

    • 著者名/発表者名
      V.K.Singh, M.Sasaki, K.Hane, Y.Watanabe, H.Takamatsu, M.Kawakita, H.Hayashi
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Microengineering 15・12

      ページ: 2339-2345

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] 高機能マイクロミラーデバイス2005

    • 著者名/発表者名
      佐々木実, 羽根一博
    • 雑誌名

      光アライアンス,日本工業出版 16,No.12

      ページ: 30-34

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17040003
  • [雑誌論文] Technique for preparing defect-free spray coated resist-film on three-dimensional micro-electromecanical systems2005

    • 著者名/発表者名
      V.K.Singh, M.Sasaki, J.-H.Song, K.Hane
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys vol. 44

      ページ: 2016-2020

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Technique for preparing defect-free spray coated resist-film on three-dimensional micro-electromecanical systems2005

    • 著者名/発表者名
      V.K.Singh, M.Sasaki, J.-H.Song, K.Hane
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 44・4A

      ページ: 2016-2020

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [雑誌論文] Compact triangular sensor array constructed by wafer bending2005

    • 著者名/発表者名
      S.Endou, M.Ishimori, M.Sasaki, K.Hane
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 44・4B

      ページ: 2874-2878

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [雑誌論文] Development of MEMS-based Optical Surge Suppressor2005

    • 著者名/発表者名
      T.Hirata, I.Mitama, M.Abe, K.Makita, K.Shiba, K.Hane, M.Sasaki
    • 雑誌名

      Proceedings of OFC/NFOEC 2005 Conference

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14655094
  • [雑誌論文] Piezoresistive rotation angle sensor integrated in micromirror2005

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, M.Tabata, T.Haga, K.Hane
    • 雑誌名

      Extended abstracts of Int. Conf. on Solid State Devices and Materials, D-1-2(2005.9.13-15,Kobe).

      ページ: 72-73

    • NAID

      10022541010

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17040003
  • [雑誌論文] Compact Triangulation Sensor Array Constructed by Wafer Bending2005

    • 著者名/発表者名
      S.Endou, M.Ishimori, M.Sasaki, K.Hane
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys.Part 1 (in press)

    • NAID

      10015705947

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14702039
  • [雑誌論文] Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror Device2005

    • 著者名/発表者名
      Motoki Tabata, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Proceedings of the 22nd Sensor Symposium

      ページ: 45-48

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17040003
  • [雑誌論文] An Assembly Method for Ball Lens Using Wafer Bonding2004

    • 著者名/発表者名
      F.Nakai, M.Sasaki, K.Hane, K.Yokomizo, K.Hori
    • 雑誌名

      Proceedings of International Conference Optical MEMS

      ページ: 116-117

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [雑誌論文] Resonant Cavity Thin Film Photodiode for Compact Displacement Sensor2004

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Fuki Nakai, Xiaoyu Mi, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys.Part 1 Vol.43, 4B

      ページ: 2381-2386

    • NAID

      10012950324

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14702039
  • [雑誌論文] Rotation Angle Sensor in Micromirror Device2004

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Tsukasa Haga, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      2004 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS, D-4

      ページ: 46-47

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14702039
  • [雑誌論文] An Assembly Method for Ball Lens Using Wafer Bonding2004

    • 著者名/発表者名
      F.Nakai, M.Sasaki, K.Hane, K.Yokomizo, K.Hori
    • 雑誌名

      2004 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS, P-26

      ページ: 116-117

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14655094
  • [雑誌論文] MEMS技術による光学システムの集積化2004

    • 著者名/発表者名
      佐々木実, 羽根一博, 金森義明
    • 雑誌名

      光アライアンス Vol.15,No.6

      ページ: 1-5

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14655094
  • [雑誌論文] Low-Voltage Bulk Micromirror Device Using Tense Thin Film Torsion Bar2004

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yuuki, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      2004 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS, P-12

      ページ: 88-89

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14702039
  • [雑誌論文] Compact Triangulation Sensor Array Constructed by Folded Wafer2004

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Endou, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of the 2004 International Conference on Solid State Devices and Materials, I-6-4

      ページ: 386-387

    • NAID

      10022538827

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14702039
  • [雑誌論文] Resonant Cavity Thin Film Photodiode for Compact Displacement Sensor2004

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, F.Nakai, X.Mi, K.Hane
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 43

      ページ: 2381-2386

    • NAID

      10012950324

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [雑誌論文] Flow Condition in Resist Spray and Patterning Performance for Three-Dimensional Photolithographyover Deep Structures2004

    • 著者名/発表者名
      V.Singh, M.Sasaki, K.Hane, M.Esashi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 43

      ページ: 2387-2391

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [雑誌論文] Improved Resist Film Quality Prepared by Spray Coating for 3D-MEMS2004

    • 著者名/発表者名
      V.Singh, M.Sasaki, K.Hane, Y.Watanabe, M.Kawakita, H.Hayahi
    • 雑誌名

      Proceedings of International Conference Optical MEMS

      ページ: 118-119

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [雑誌論文] Three-dimensional SOI-HEMS Constructed by Buckled Bridges ad Vertical Comb Drive Actuator2004

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, D.Briand, W.Noell, N.de Rooij, K.Hane
    • 雑誌名

      IEEE J.Selected Topics in Quantum Electronics Vol.10, No.3

      ページ: 455-461

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14702039
  • [雑誌論文] Three-Dimensional SOI-MEMS Constructed by Buckled Bridges and Vertical Comb Drive Actuator2004

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, D.Briand, W.Noell, N.de Rooij, K.Hane
    • 雑誌名

      IEEE Journal of Selected Topics Quantum Electronics 10

      ページ: 455-461

    • NAID

      120002070119

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14102022
  • [産業財産権] 呼吸センサおよび呼吸を計測する方法2015

    • 発明者名
      佐々木実、寺澤槙恵、鈴木陽久、水野寛隆
    • 権利者名
      佐々木実、寺澤槙恵、鈴木陽久、水野寛隆
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2015-002331
    • 出願年月日
      2015-02-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24650397
  • [産業財産権] 浮遊電極がシールドされた誘導結合型マイクロプラズマ源2014

    • 発明者名
      佐々木実
    • 権利者名
      佐々木実
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2014-034796
    • 出願年月日
      2014-02-26
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [産業財産権] トーションバーを用いた静電駆動型マイクロミラーデバイス2010

    • 発明者名
      佐々木実, 羽根一博
    • 権利者名
      東北大学
    • 出願年月日
      2010-01-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [産業財産権] トーションバーを用いた静電駆動型マイクロミラーデバイス2010

    • 発明者名
      佐々木実、羽根一博
    • 権利者名
      東北大学
    • 取得年月日
      2010-01-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [産業財産権] 露光方法及び露光装置2006

    • 発明者名
      佐々木実, 羽根一博
    • 権利者名
      国立大学法人東北大学, ウシオ電機株式会社
    • 出願年月日
      2006-10-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [産業財産権] マイクロミラーデバイス及びマイクロミラーデバイスを利用した装置2006

    • 発明者名
      佐々木実, 羽根一博
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権番号
      2006-141324
    • 出願年月日
      2006-05-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17040003
  • [産業財産権] 露光方法及び露光装置2006

    • 発明者名
      佐々木実他2名
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権番号
      2006-273326
    • 出願年月日
      2006-10-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [産業財産権] マイクロミラーデバイスとその製造方法,マイクロミラーデバイスの角度計測方法,およびマイクロミラーデバイス応用装置2005

    • 発明者名
      佐々木実、羽根一博
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権番号
      2005-219851
    • 出願年月日
      2005-07-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [産業財産権] マイクロミラーデバイス、マイクロミラーデバイスの製造方法、マイクロミラーデバイスの計測方法、及び、マイクロミラーデバイスを利用した装置2005

    • 発明者名
      佐々木実, 羽根一博
    • 権利者名
      国立大学法人東北大学
    • 産業財産権番号
      2005-219851
    • 出願年月日
      2005-07-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17040003
  • [産業財産権] ピエゾ抵抗型角度センサを組み込んだマイクロミラー2004

    • 発明者名
      佐々木実, 羽根一博
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権番号
      2004-241132
    • 出願年月日
      2004-08-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14702039
  • [産業財産権] トーションバーを用いた静電駆動型マイクロミラーデバイス2004

    • 発明者名
      佐々木実, 結城慎也, 羽根一博
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権番号
      2004-140525
    • 出願年月日
      2004-05-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14702039
  • [産業財産権] 光学装置、光学装置組立体、光学装置集合体、光学素子固定手段、光学装置部品、光学装置の製造方法、光学装置の組立方法2004

    • 発明者名
      横溝 寛治, 堀 和仁, 羽根 一博, 佐々木 実
    • 権利者名
      ソニー株式会社
    • 産業財産権番号
      2004-240276
    • 出願年月日
      2004-08-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14655094
  • [学会発表] 翼用リブレット形成のためのプレス金型曲面の微細加工 ―三次元フォトリソグラフィによる曲面加工―2022

    • 著者名/発表者名
      池ヶ谷巧, 佐々木実
    • 学会等名
      2022年度塑性加工春季講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K04132
  • [学会発表] Deposition of PFCs Films on Die with Microstructures using CF4 Gas2022

    • 著者名/発表者名
      Gang Han, Masaya Watanabe, Seiya Fujita, Minoru Sasaki
    • 学会等名
      14th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 15th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science, 07P-33
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K04132
  • [学会発表] めっき法を用いた小型SMESのための超電導体材料上への銅膜形成2021

    • 著者名/発表者名
      信夫勇佑, 荒川太郎,盧柱亨,高井治, 本間英雄, 元廣友美, 佐々木実
    • 学会等名
      日本材料科学学会2021年度学術講演大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02195
  • [学会発表] シリコンハードマスクを用いたステンレス鋼のドライエッチング2021

    • 著者名/発表者名
      韓剛, 佐々木実
    • 学会等名
      第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K04132
  • [学会発表] マイクロマシン・センサシステム技術委員会の活動について」1-A-p1-1, 企画セッション:スマート社会・ライフサイエンス応用に向けたセンサ・マイクロマシンの研究動向2020

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 学会等名
      令和 2 年 電気学会 基礎・材料・共通部門大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02195
  • [学会発表] Estimation of Electricity Storage Density of Compact SMESs Composed of Si wafer Stacks Loaded with Superconducting Thin Film Coils in Spiral Trenches under the Constraint of Critical Magnetic Flux Density2019

    • 著者名/発表者名
      T. Motohiro, M. Sasaki, J.-H. Noh
    • 学会等名
      The 32nd International Symposium on Superconductivity (ISS2019), December 3rd-5th, Kyoto, Japan
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02195
  • [学会発表] Stacking 4” Si Wafer with Parallel 3-Stepped Micro-Trenches to Deposit Superconducting Material for Magnetic Energy Storage2019

    • 著者名/発表者名
      M. Sasaki, Y. Suzuki, T. Hioki, T. Motohiro,
    • 学会等名
      2019 6th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02195
  • [学会発表] Copper thin film formation on superconductor material for compact SMES using plating method2019

    • 著者名/発表者名
      Kaito Seki, Joo-Hyoung Noh, Yoshio Horiuchi, Osamu Takai, Hideo Honma, Tomoyoshi Motohiro, Tatsumi Hioki, Minoru Sasaki and Taro Arakawa
    • 学会等名
      The 8th International Symposium on Materials Science and Surface Technology (MSST2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02195
  • [学会発表] Over 100m Length Single Spiral Silicon Micro-Trench with 3-Step Smooth Sidewalls to Deposit Superconducting Material for Magnetic Energy Storage2019

    • 著者名/発表者名
      M. Sasaki, Y. Suzuki, K. Adachi, T. Hioki, T. Motohiro
    • 学会等名
      International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02195
  • [学会発表] Plasma-on-chip: Plasma-on-Chip: Evidence of Reactive Species Through Through-Holes2016

    • 著者名/発表者名
      J.-S. Oh, S. Kojima, A. Hatta, M. Sasaki, S. Kumagai
    • 学会等名
      ISPlasma 2016/IC-PLANTS 2016
    • 発表場所
      Nagoya University, Nagoya, Japan
    • 年月日
      2016-03-06
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600130
  • [学会発表] Measurement of Reactive Species for the Development of Plasma-on-Chip2016

    • 著者名/発表者名
      J.-S. Oh, S. Kojima, A. Hatta, M. Sasaki, S. Kumagai
    • 学会等名
      2016年春季応用物理学会
    • 発表場所
      東京工業大学 大岡山キャンパス (東京都・目黒区)
    • 年月日
      2016-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600130
  • [学会発表] Plasma-on-Chip for Treatment of Individual Cells Cultured in Medium2015

    • 著者名/発表者名
      C.-Y. Chang, J.-H. Jeong, M. Kobayashi, T. Shimizu, M. Sasaki, S. Kumagai
    • 学会等名
      2015年秋季応用物理学会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場 (愛知県・名古屋市)
    • 年月日
      2015-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600130
  • [学会発表] Plasma-on-chip device for analyzing interactions between plasma gas and individual cells2015

    • 著者名/発表者名
      C.-Y. Chang, J.-H. Jeong, M. Kobayashi, T. Shimizu, M. Sasaki, S. Kumagai
    • 学会等名
      The International Chemical Congress of Pacific Basin Societies 2015 (Pacifichem 2015)
    • 発表場所
      Honolulu, Hawaii, USA
    • 年月日
      2015-12-15
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600130
  • [学会発表] 容量計測型呼吸センサのための衣服組み込み電極2015

    • 著者名/発表者名
      寺澤槙恵、熊谷慎也、佐々木実
    • 学会等名
      第62回 応用物理学会 春季学術講演会 11p-A29-9
    • 発表場所
      東海大学
    • 年月日
      2015-03-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24650397
  • [学会発表] Irradiating cells cultured in microwells with low-temperature atmospheric pressure plasma2015

    • 著者名/発表者名
      C.-Y. Chang, J.-H. Jeong, M. Kobayashi, T. Shimizu, M. Sasaki, S. Kumagai
    • 学会等名
      he 10th Asian-Europian International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2015)
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 年月日
      2015-09-20
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600130
  • [学会発表] 3D lithography and micro-plasma possibilities for combining with precision machining2014

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki
    • 学会等名
      International Symposium on Micro/Nano Mechanical Machining and Manufacturing (ISMNM 2014) Session B 23
    • 発表場所
      Xi'an, China
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] MEMS Plasma Source and Combinations with Microfluidic Functions2014

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki
    • 学会等名
      MEMS workshop for the 4th International Conference on Small Science (ICSS 2014)
    • 発表場所
      Hong Kong, China
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] 運動時の呼吸リズム観察への新しい呼吸モニターの応用2014

    • 著者名/発表者名
      齊藤満、水藤弘吏、佐々木実
    • 学会等名
      第18回日本体力医学会東海地方会学術集会
    • 発表場所
      愛知県知多郡
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24650397
  • [学会発表] Length Effect of Floating Wire Electrode in Transportable 144MHz Inductively Coupled Micro-Plasma Source2014

    • 著者名/発表者名
      D. Yasumatsu, H. Matsuyama, S. Kumagai, K. Takeda, M. Hori, M. Sasaki
    • 学会等名
      ISPlasma2014/IC-PLANTS2014, 03aP07
    • 発表場所
      名古屋
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] MEMSによるマイクロ流体界面での反応性プラズマ形成2014

    • 著者名/発表者名
      柄崎克樹, 熊谷慎也, 佐々木実
    • 学会等名
      日本機械学会 東海支部 第63期総会・講演会, OS3 MEMSと先進材料, 305
    • 発表場所
      大同大学, 名古屋
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] Delay Masking Process Using UV Cured Resist Layer Combined with Deep Reactive Ion Etching for Multiple Height Microstructures2014

    • 著者名/発表者名
      R. Sato, T. Sawada, S. Kumagai, M. Sasaki
    • 学会等名
      ISPlasma2014/IC-PLANTS2014, 06aB03O
    • 発表場所
      名古屋
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] A Microplasma Reactor Chip for Utilizing Gas-Gas Interface2014

    • 著者名/発表者名
      M. Hashimoto, K. Tsukasaki, R. Sato, S. Kumagai, M. Sasaki
    • 学会等名
      Proc. 8th Int. Conf. on Reactive Plasmas and 31st Symp. on Plasma Processing, 6P-PM-S14-P35
    • 発表場所
      福岡
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] MEMS Nozzle for Localized Irradiation of Atmospheric Pressure Plasma Trapping Micro-Samples2014

    • 著者名/発表者名
      R. Shimane, S. Kumagai, H. Hashizume, T. Ohta, M. Ito, M. Hori, M. Sasaki
    • 学会等名
      ISPlasma2014/IC-PLANTS2014, 06aB05OLN
    • 発表場所
      名古屋
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] 容量計測による衣服型呼吸センサ2014

    • 著者名/発表者名
      クンドウスブラタクマル,熊谷慎也,佐々木実
    • 学会等名
      第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 21pm3-PS082
    • 発表場所
      松江
    • 年月日
      2014-10-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24650397
  • [学会発表] MEMS大気圧プラズマ光源の省電力化2014

    • 著者名/発表者名
      佐藤龍仁,熊谷慎也,堀勝,佐々木実
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会, 19p-PG3-6, p.13-160
    • 発表場所
      青山学院大学, 相模原
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] Enhanced Wavelength Selective Infrared Emission Using Surface Plasmon Polariton and Thermal Energy Confined in Micro-Heater2014

    • 著者名/発表者名
      T. Sawada, K. Masuno, S. Kumagai, M. Ishii, S. Uematsu, M. Sasaki
    • 学会等名
      Proc. the 27th Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems, Th-240, pp.1179-1182
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] Surface Plasmon Polariton Based Wavelength Selective IR Emitter Combined with MEMS Heater with Reduced Thermal Loss2014

    • 著者名/発表者名
      T. Sawada, T. Chikuba, S. Kumagai, K. Masuno, M. Ishii, S. Uematsu, M. Sasaki
    • 学会等名
      Proc. 8th Int. Conf. on Reactive Plasmas and 31st Symp. on Plasma Processing, 5B-AM-08
    • 発表場所
      福岡
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] Micro-Channel Device for Spectrum Measurement Using Optical Fiber Aligned with Bias Spring with Reversely Tapered Profile2013

    • 著者名/発表者名
      H. Iimura, D. Deng, S. Kumagai, Y. Ohishi, M. Sasaki
    • 学会等名
      Proc. 2013 IEEE Int. Conf. on Optical MEMS and Nanophotonics, WM-S2.5, pp.93-94
    • 発表場所
      金沢
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] Etching profile control of alignment spring for combining MEMS micro-channel device and optical fibers2013

    • 著者名/発表者名
      H. Iimura, D. Deng, Y. Ohishi, S. Kumagai, M. Sasaki
    • 学会等名
      Abstracts of The 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12) D2-PMo-5, p.162
    • 発表場所
      幕張メッセ
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] 着衣可能な容量型呼吸センサ2013

    • 著者名/発表者名
      クンドウ スブラタ クマル,熊谷慎也,佐々木実
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会, 29p-PA4-9, p.22-020
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24650397
  • [学会発表] マイクロ流体界面へのシート状反応性プラズマ形成の検証2013

    • 著者名/発表者名
      橋本將寛,柄崎克樹,熊谷慎也,佐々木実
    • 学会等名
      第5回集積化MEMSシンポジウム, 7pm1-E-4
    • 発表場所
      仙台
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] Local micro-plasma irradiation using MEMS nozzles2013

    • 著者名/発表者名
      R. Shimane, H. Asano, S. Kumagai, M. Hori, M. Sasaki
    • 学会等名
      Proceedings of the 6th International Conference on PLAsma-Nano Technology and Science, P-H11
    • 発表場所
      Gero, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] Indirect Wavelength Selective Infrared Micro-Emitter Using Surface Plasmon Polariton for Gas Sensing2013

    • 著者名/発表者名
      T. Sawada, S. Kumagai, K. Masuno, M. Ishii, S. Uematsu, M. Sasaki
    • 学会等名
      The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, M3P.128, pp.518-521
    • 発表場所
      Barcelona, Spain
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] A MICROPLAMA CHIP FOR VUV LIGHT SOURCE2013

    • 著者名/発表者名
      Ryoto Sato, Daisuke Yasumatsu, Shinya Kumagai, Masaru Hori, Minoru Sasaki
    • 学会等名
      The 26th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Poster 113-Mo, pp.705-708.
    • 発表場所
      Taipei, Taiwan
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] MEMS大気圧プラズマ光源2013

    • 著者名/発表者名
      佐藤龍仁,熊谷慎也,堀勝,佐々木実
    • 学会等名
      第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 6AM2-A-3
    • 発表場所
      仙台
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] A Micro Plasma Reactor Chip: Using Interface in Micro-/Nano-Channels towards Materials Processing2013

    • 著者名/発表者名
      M. Hashimoto, R. Sato, S. Kumagai, M. Sasaki
    • 学会等名
      IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conference (IEEE NMDC 2013) WP-2-4
    • 発表場所
      Tainan, Taiwan
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] Surface Plasmon Polariton Based Wavelength Selective IR Emitter Combined with Microheater2013

    • 著者名/発表者名
      T. Sawada, K. Masuno, S. Kumagai, M. Ishii, S. Uematsu, M. Sasaki
    • 学会等名
      Proc. 2013 IEEE Int. Conf. on Optical MEMS and Nanophotonics, TM-S1.5, pp.45-46
    • 発表場所
      金沢
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] MEMSノズルを利用した大気圧プラズマ照射によるマイクロ加工2013

    • 著者名/発表者名
      島根竜太郎, 熊谷慎也, 太田貴之, 伊藤昌文, 堀勝, 佐々木実
    • 学会等名
      第30回プラズマプロセシング研究会 SPP-30, B6-04, pp.103-104
    • 発表場所
      浜松
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] Wavelength Selective Infrared Emission via Surface Plasmon Polariton from MEMS Heater for CO2 Gas Sensing2013

    • 著者名/発表者名
      K. Masuno, T. Sawada, S. Kumagai, M. Ishii, M. Sasaki, S. Uematsu
    • 学会等名
      2013 JSAP-MRS Joint Symposia Abstract DVD, 17p-PM4-26, JSAP-MRS-O-055
    • 発表場所
      京都
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] A microfluidics device with thermocouples fabricated on sidewall2013

    • 著者名/発表者名
      T. Yamaguchi, S. Kumagai, M. Sasaki
    • 学会等名
      JSAP-MRS Joint Symposia
    • 発表場所
      (18a-M3-5)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656066
  • [学会発表] Multiple-Height Microstructure Fabricated by Deep Reactive Ion Etching and Soft Resist Masks Combined with UV Curing2013

    • 著者名/発表者名
      Ryoto Sato, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki
    • 学会等名
      第26回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM26)24a-A-6
    • 発表場所
      九州大学, 福岡
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] Localized Microplasma Generation in MEMS Gas Channel2013

    • 著者名/発表者名
      R. Sato, D. Yasumatsu, S. Kumagai, M. Hori, M. Sasaki
    • 学会等名
      Proc. 20th Int. Display Workshops, MEET5-2, pp.1409-1412
    • 発表場所
      札幌
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] A Microplasma Chip for Radical Monitor2013

    • 著者名/発表者名
      R. Sato, D. Yasumatsu, S. Kumagai, M. Hori, M. Sasaki
    • 学会等名
      Proc. 2013 IEEE Int. Conf. on Optical MEMS and Nanophotonics, TM-S1.4, pp.43-44
    • 発表場所
      金沢
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] MEMS Plasma Source and its Applications2013

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Shinya Kumaga
    • 学会等名
      The 4th International Workshop on Nanotechnology and Application - IWNA 2013, AMN-O35-I, pp.127-128
    • 発表場所
      Vung Tau, Vietnam
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] A Thermocouple Device Fabricated on Trench Sidewall for Measuring Accurate Temperature of Microfluid2013

    • 著者名/発表者名
      T. Yamaguchi, S. Kumagai, M. Sasaki
    • 学会等名
      Extended Abstracts of the 2013 International Conference on Solid State Devices and Materials, Fukuoka
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656066
  • [学会発表] Microfluidic Device with Accurately Aligned Optical Fibers for Measuring Transmission Spectrum Using Supercontinuum Light2013

    • 著者名/発表者名
      H. Iimura, D. Deng, S. Kumagai, Y. Ohishi, M. Sasaki
    • 学会等名
      Extended Abstracts 2013 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials, G-3-2, pp836-837
    • 発表場所
      福岡
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] Localized Plasma Treatment for Individual Cells2013

    • 著者名/発表者名
      R. Shimane, S. Kumagai, M. Hori, M. Sasaki
    • 学会等名
      Extended Abstracts 2013 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials, G-2-6, pp832-833
    • 発表場所
      福岡
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] MEMS Plasma VUV Light Source2013

    • 著者名/発表者名
      R.SATO, S.KUMAGAI, M.HORI, M.SASAKI
    • 学会等名
      Proceedings of 5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials, P1005A, p.71
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] Selective Ashing of One Resist Layer Combined with UV Curing2012

    • 著者名/発表者名
      Shinya Kumagai, Tatsuki Wajima, Yukio Takeuchi, Minoru Sasaki
    • 学会等名
      11th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology (APCPST) 2-P22, p.260.
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] Analysis of Hard Sring Effect of Tense Poly-Si Torsion Bar of Micromirror Proc2012

    • 著者名/発表者名
      Subrata Kumar Kundu, Shouhei Ogawa, Shinya Kumagai, Masayuki Fujishima, Kazuhiro Hane, Minoru Sasaki
    • 学会等名
      2011 IEEE Int. Conf. on Optical MEMS and Nanophotonics
    • 発表場所
      Banff, Canada in schedule
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [学会発表] A MICRO NOZZLE DEVICE TOWARDS PLASMA TREATMENT OF A CELL2012

    • 著者名/発表者名
      R. Shimane, S. Kumagai, M. Hori, M. Sasaki
    • 学会等名
      The 6th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies, ac12000186
    • 発表場所
      Nanjing, China
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] 張力を持つ薄膜MEMSねじり振動子を利用したセンサ2012

    • 著者名/発表者名
      山崎辰也, 佐々木実, 熊谷慎也
    • 学会等名
      日本機械学会東海学生会第43回学生員卒業研究発表講演会,1003
    • 発表場所
      名古屋工業大学
    • 年月日
      2012-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [学会発表] 張力を持つ簿膜MEMSねじり振動子を利用したセンサ2012

    • 著者名/発表者名
      山崎辰山, 佐々木実, 熊谷慎也
    • 学会等名
      日本機械学会,東海学生会,第43回学生員卒業研究発表講演会
    • 発表場所
      名古屋工業大学
    • 年月日
      2012-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [学会発表] マイクロミラー用薄膜トーションバーにおけるハードスプリング効果の評価2012

    • 著者名/発表者名
      小川翔平, 熊谷慎也, 佐々木実
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会講演予稿集15p-GP3-21,p.22-021
    • 発表場所
      早稲田大
    • 年月日
      2012-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [学会発表] Wearable Capacitive Breathing Sensor2012

    • 著者名/発表者名
      Subrata Kumar Kundu, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki
    • 学会等名
      Extended Abstracts of the 2012 International Conference on Solid State Devices and Materials, Late News, PS-11-14L, pp.386-387
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24650397
  • [学会発表] MEMS Indirect Wavelength Selective Infrared Emitter Using Surface Plasmon Polariton2012

    • 著者名/発表者名
      Takahiro Sawada, Shinya Kumagai, Katsuya Masuno, Makoto Ishii, Shouichi Uematsu, Minoru Sasaki
    • 学会等名
      11th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology (APCPST) Oral, 3T-O07, p.56.
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] MEMSノズルを利用したマイクロプラズマ照射2012

    • 著者名/発表者名
      島根竜太郎,浅野博敬,熊谷慎也,堀勝,佐々木実
    • 学会等名
      日本機械学会2012年度年次大会講演論文集 No.12-1, J164031
    • 発表場所
      金沢
    • データソース
      KAKENHI-PUBLICLY-24110720
  • [学会発表] Photoresist Spray Coating For 3D MEMS/NEMS2012

    • 著者名/発表者名
      Shinya Kumagai, Taichi Yamamoto, Hironori Kubo, Minoru Sasaki
    • 学会等名
      2012 IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conference
    • 発表場所
      Hawaii, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656066
  • [学会発表] Dynamic Deformation of Stretched Membrane in Drum-Type Micromirror2011

    • 著者名/発表者名
      Subrata Kumar Kundu, Akiyoshi Hikita, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki
    • 学会等名
      Proceedings of 2011 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science pp.255-260
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [学会発表] Multiple-height Microstructure Fabricated by ICP-RIE and Masking Layers Using Only Photoresists2011

    • 著者名/発表者名
      A.HIKITA, T.IWAMOTO, S.KUMAGAI, M.SASAKI
    • 学会等名
      Proc.3rd Int.Symp.Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials, P2-009A, p.101
    • 発表場所
      名古屋
    • 年月日
      2011-03-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [学会発表] UVキュアによるレジスト硬化を利用した多段階立体構造のエッチング加工2011

    • 著者名/発表者名
      熊谷慎也, 疋田晃義, 岩本拓也, 佐々木実
    • 学会等名
      第58回応用物理学関係連合講演会講演予稿集
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      2011-03-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [学会発表] Nonlinear spring characteristics analyzed by a macro model of an electrostatically driven micromirror device2011

    • 著者名/発表者名
      Shinya Kumagai, Gyu II Shim, Ryoichi Mimoto, Minoru Sasaki
    • 学会等名
      Proceedings of the 4th international conference on manufacturing, machine design and tribology, pp.237-238
    • 発表場所
      Gamagori, Aichi
    • 年月日
      2011-04-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [学会発表] Comb-drive III-nitride micro mirror fabricated by fast atom beam etching2011

    • 著者名/発表者名
      Y. Wang, T. Sasaki, T. Wu, F. Hu, K. Hane
    • 学会等名
      The 16th Int. Conf. Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, M3P
    • 発表場所
      Beijing, China
    • 年月日
      2011-06-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19106007
  • [学会発表] マイクロミラー用簿膜トーションバーの精密計測とハードスプリング効果に関する考察2011

    • 著者名/発表者名
      小川翔平, 熊谷慎也, 佐々木実
    • 学会等名
      日本機械学会東海支部第60期総会講演会講演論文集
    • 発表場所
      豊橋技術科学大学
    • 年月日
      2011-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [学会発表] マイクロミラー用薄膜トーションバーの精密計測とハードスプリング効果に関する考察2011

    • 著者名/発表者名
      小川翔平, 熊谷慎也, 佐々木実
    • 学会等名
      日本機械学会東海支部第60期総会講演会 講演論文集609
    • 発表場所
      豊橋技術科学大学
    • 年月日
      2011-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [学会発表] Nonlinear spring characteristics analyzed b y a macro model of an electrostatically driven micromirror device2011

    • 著者名/発表者名
      Shinya Kumagai, Gyu I1 Shim, Ryoichi Mimoto, Minoru Sasaki
    • 学会等名
      Proceedings of the 4th intnational conference on manufacturing, machine design and tribology
    • 発表場所
      蒲郡
    • 年月日
      2011-04-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [学会発表] Light-Weighted Micromirror Fabricated Using Stacked Photoresist Masks Reaized by UV Curing2011

    • 著者名/発表者名
      A. Hikita, T. Iwamoto, S. Kumagai, M. Sasaki
    • 学会等名
      Proceedings of the 4th International Conference on PLAsma-Nano Technology and Science
    • 発表場所
      高山
    • 年月日
      2011-03-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [学会発表] Light-Weighted Micromirror Fabricated Using Stacked Photoresist Masks Realized by UV Curing2011

    • 著者名/発表者名
      A.Hikita, T.Iwamoto, S.Kumagai, M.Sasaki
    • 学会等名
      Proceedings of the 4th International Conference on PLAsma-Nano Technology and Science, O-06
    • 発表場所
      高山
    • 年月日
      2011-03-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [学会発表] UVキュアによるレジスト硬化を利用した多段階立体構造のエッチング加工2011

    • 著者名/発表者名
      熊谷慎也, 疋田晃義, 岩本拓也, 佐々木実
    • 学会等名
      第58回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集,25a-KU-15,03-039
    • 発表場所
      神奈川工科大学(大震災のため、予稿集による発表扱い)
    • 年月日
      2011-03-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [学会発表] Dynamic Deformation of Stretched Membrane in Drum-Type Micromirror2011

    • 著者名/発表者名
      Subrata Kumar Kundu, Akiyoshi Hikita, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki
    • 学会等名
      Proceedings of 2011 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science
    • 発表場所
      名古屋
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [学会発表] Multiple-height Microstructure Fabricated by ICP-RIE and Masking Layers Using Only Photoresists2011

    • 著者名/発表者名
      A. HIKITA, T. IWAMOTO, S. KUMAGAI, M. SASAKI
    • 学会等名
      Proc. 3rd Int. Symp. Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
    • 発表場所
      名古屋
    • 年月日
      2011-03-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [学会発表] Nonlinear Spring of Thin Film Torsion Bar with Tension for Micromirror2010

    • 著者名/発表者名
      Shouhei Ogawa, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki
    • 学会等名
      Proceedings of the 17th International Display Workshops
    • 発表場所
      博多
    • 年月日
      2010-12-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [学会発表] Nonlinear Spring of Thin Film Torsion Bar with Tension for Micromirror2010

    • 著者名/発表者名
      Shouhei Ogawa, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki
    • 学会等名
      Proceedings of the 17th International Display Workshops, MEET2-3, pp.1581-1584.
    • 発表場所
      博多(invited)
    • 年月日
      2010-12-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [学会発表] スプレーコーティングの気流解析と膜厚分布均一化2010

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 学会等名
      第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 発表場所
      島根県立産業交流会館(島根県)
    • 年月日
      2010-10-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360116
  • [学会発表] Absorbent liquid immersion angled exposure for 3D Photolithography2010

    • 著者名/発表者名
      Hironori Kubo, Minoru Sasaki
    • 学会等名
      IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics
    • 発表場所
      Sapporo
    • 年月日
      2010-08-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360116
  • [学会発表] スプレーコーティングの気流解析と膜厚分布均一化2010

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 学会等名
      第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 発表場所
      島根
    • 年月日
      2010-10-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360116
  • [学会発表] Extending Rotation Range Confirmed by Macro Model of Gap-closing Type Electrostatic Micromirror Controlling Non-linearity of Torsion Bar2009

    • 著者名/発表者名
      G. Il Shim, R. Mimoto, S. Kumagai, M. Sasaki
    • 学会等名
      Proceedings ofThe 16th International Display Workshops
    • 発表場所
      宮崎
    • 年月日
      2009-12-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [学会発表] スプレーコート技術と斜め露光技術による垂直側面への配線形成技術2009

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 学会等名
      中部地区ナノテク総合支援 : ナノ材料創製加工と先端機器分析、平成20年度成果報告会, T20, pp.37-38
    • 発表場所
      名古屋
    • 年月日
      2009-03-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [学会発表] Nonlinear Spring of Thin Film Torsion Bar with Tension for Micromirror2009

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, S.Kumagai, M.Fujishima, K.Hane, H.Miura
    • 学会等名
      Extended Abstracts of the 2009 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials, pp.1328-1329.
    • 発表場所
      Sendai
    • 年月日
      2009-10-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [学会発表] Liquid immersion angled exposure technique for 3D photolithography2009

    • 著者名/発表者名
      TAKAFUMI HOSONO, SHINYA KUMAGAI, MINORU SASAKI
    • 学会等名
      First International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications
    • 発表場所
      Nagoya
    • 年月日
      2009-03-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [学会発表] Micromirror realized by combined surface and bulk micromachining usng isotropic and anisotropic Si etching2009

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki
    • 学会等名
      First International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications (ISPlasma2009) Poster, Mo.-21, p.143
    • 発表場所
      名古屋
    • 年月日
      2009-03-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] 張力の加わったトーションバーを持つマイクロミラーのマクロモデルによる解析2009

    • 著者名/発表者名
      沈規一, 味元良一, 熊谷慎也, 佐々木実
    • 学会等名
      第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集
    • 発表場所
      船堀
    • 年月日
      2009-10-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [学会発表] Microactuator Using Tensile Thin Film2009

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki
    • 学会等名
      International Symposium on Micro-Nano Mechatronics and Human Science
    • 発表場所
      名古屋
    • 年月日
      2009-10-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [学会発表] Extending Rotation Range Confirmed by Macro Model of Gap-closing Type Electrostatic Micromirror Controlling Non-linearity of Torsion Bar2009

    • 著者名/発表者名
      G.Il Shim, R.Mimoto, S.Kumagai, M.Sasaki
    • 学会等名
      Proceedings of The 16th International Display Workshops, MEMS5-3, pp.1501-1504.
    • 発表場所
      Miyazaki
    • 年月日
      2009-12-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [学会発表] Micromirror realized by combined surface and bulk micromachining using isotropic and anisotropic Si etching2009

    • 著者名/発表者名
      MINORU SASAKI, SHINYA KUMAGAI, KAZUHIRO HANE
    • 学会等名
      First International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications
    • 発表場所
      名古屋
    • 年月日
      2009-03-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] MEMS用アッシング装置の開発2009

    • 著者名/発表者名
      岩本拓也,佐々木実,熊谷慎也
    • 学会等名
      日本機械学会東海学生会、第40回学生員卒業研究発表講演会講演前刷集
    • 発表場所
      岐阜大学
    • 年月日
      2009-03-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [学会発表] ギャップクロージング型静電マクロミラーのマクロモデルよるpull-in現象解析2009

    • 著者名/発表者名
      味元良一,佐々木実,熊谷慎也
    • 学会等名
      日本機械学会東海学生会、第40回学生員卒業研究発表講演会講演前刷集
    • 発表場所
      岐阜大学
    • 年月日
      2009-03-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Nonlinear Spring of Thin Film Torsion Bar with Tension for Micromirror2009

    • 著者名/発表者名
      M. Sasaki, S. Kumagai, M. Fujishima, K. Hane, H. Miura
    • 学会等名
      Extended Abstracts of the 2009 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      2009-10-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [学会発表] 張力の加わったトーションバーを持つマイクロミラーのマクロモデルによる解析2009

    • 著者名/発表者名
      沈規一, 味元良一, 熊谷慎也, 佐々木実
    • 学会等名
      第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集,pp.187~190
    • 発表場所
      船堀(東京)
    • 年月日
      2009-10-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [学会発表] Microactuator Using Tensile Thin Film2009

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki
    • 学会等名
      International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, pp.608-613.
    • 発表場所
      Nagoya
    • 年月日
      2009-10-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21656105
  • [学会発表] 「スプレーコート技術と斜め露光技術による垂直側面への配線形成技術」中部地区ナノテク総合支援 : ナノ材料創製加工と先端機器分析2009

    • 著者名/発表者名
      森井裕貴,大平文和,佐々木実
    • 学会等名
      平成20年度成果報告会T20
    • 発表場所
      名古屋
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [学会発表] Conditions of Micromirror Lifted by Buckled Bridges Using Film Stress2008

    • 著者名/発表者名
      M. Sasaki, K. Hane, D. Briand, W. Noell, N. de Rooij
    • 学会等名
      Proceedings of The 15th International Display Workshops, MEMS3-4
    • 発表場所
      Niigata, Japan
    • 年月日
      2008-12-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror Device2008

    • 著者名/発表者名
      Takuro Aonuma, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki, Motoki Tabata, Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      Extended Abstracts of the 2008 International Conference on Solid State Devices and Materials, Tsukuba
    • 発表場所
      Tukuba, Japan
    • 年月日
      2008-09-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Micromirror Using Thin Film Torsion Bar with Crystallization-Induced Stress2008

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki
    • 学会等名
      The 2nd International Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs, pp.149-152
    • 発表場所
      幕張
    • 年月日
      2008-04-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] スプレーコーティングしたレジスト膜の評価方法の検証2008

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 学会等名
      第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, P-1-10, pp.250-253
    • 発表場所
      沖縄
    • 年月日
      2008-10-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [学会発表] レジストの Spray Coating とMEMS応用2008

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 学会等名
      Convertech JAPAN/新機能性材料展テクニカルフォーラム,ナノコーティングセッション予稿集
    • 発表場所
      東京国際展示場
    • 年月日
      2008-02-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [学会発表] A Monitoring Method for Spray Coated Resist Film2008

    • 著者名/発表者名
      Hisayoshi Tajima, Minoru Sasaki
    • 学会等名
      Proceedings of The 25th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems
    • 発表場所
      Okinawa
    • 年月日
      2008-10-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [学会発表] Conductive pattern forming method on vertical wall using spray coating and angled exposure technologies2008

    • 著者名/発表者名
      Hiroki Morii, Fumikazu Oohira, Minoru Sasaki, Toshihiko Ochi, Asumi Yuzuriha, Katsuhito Wani
    • 学会等名
      Proceedings of The 25th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems
    • 発表場所
      Okinawa
    • 年月日
      2008-10-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [学会発表] Stabilization of Temperature Characteristics of Micromirror for Low-Voltage Driving Using Thin Film Torsion Bar of Tensile Poly-Si2008

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki
    • 学会等名
      Program of 2008 IEEE/LEOS Int. Conf. Optical MEMS and Nanophotonics, P12, pp.120-121
    • 発表場所
      Freiburg, Germany
    • 年月日
      2008-08-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Micromirror Using Thin Film Torsion Bar with Crystallization-Induced Stress2008

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Masayuki Fujishima, Hideo Miura, Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      The 2nd International Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs
    • 発表場所
      Makuhari, Japan
    • 年月日
      2008-04-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Conditions of Micromirror Lifted by Buckled Bridges Using Film Stress2008

    • 著者名/発表者名
      M. Sasaki
    • 学会等名
      Proceedings of The 15th International Display Wo rkshops, MEMS3-4, pp.1337-1340
    • 発表場所
      新潟
    • 年月日
      2008-12-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Piezoresistive Rotation Angle Sensor in Micromirror for Feedback Control2008

    • 著者名/発表者名
      Takuro Aonuma, Minoru Sasaki, Shinya Kumagai, Motoki Tabata, Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      Proceedings of the 7th International Conference on Machine Automation
    • 発表場所
      Awaji, Japan
    • 年月日
      2008-09-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Nonlinear Rotational Spring with Tension for Stabilizing Electrostaticaly Driven Micromirror2008

    • 著者名/発表者名
      M. Sasaki
    • 学会等名
      2008 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, Organized Session : SA-2 : Actuators, pp.225-230
    • 発表場所
      名古屋
    • 年月日
      2008-11-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] 3次元フォトリソグラフィと側面へのパターニング技術2008

    • 著者名/発表者名
      佐々木実, 大平文和
    • 学会等名
      平成19年度中部地区ナノテクノロジー・ネットワーク総合支援成果報告会
    • 発表場所
      岡崎
    • 年月日
      2008-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [学会発表] Stabilization of Temperature Characteristics of Micromirror for Low-Voltage Driving Using Thin Film Torsion Bar of Tensile Poly-Si2008

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Masayuki Fujishima, Kazuhiro Hane, Hideo Miura
    • 学会等名
      Program of 2008 IEEE/LEOS Int. Conf. Optical MEMS and Nanophotonics
    • 発表場所
      Freiburg, Germany
    • 年月日
      2008-08-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] レジストのSpray CoatingとMEMS応用2008

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 学会等名
      コンバーティングテクノロジー総合展 テクニカルフォーラム
    • 発表場所
      東京国際展示場
    • 年月日
      2008-02-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [学会発表] Conductive Pattern Forming Method on Vertical Wall using Spray Coating and Angled Exposure Technologies2008

    • 著者名/発表者名
      H. Morii, F. Oohira, M. Sasaki, T. Ochi, A. Yuzuriha
    • 学会等名
      Final Program of 2008 IEEE/LEOS Int. Conf. Optical MEMS and Nanophotonics
    • 発表場所
      Freiburg, Germany
    • 年月日
      2008-08-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [学会発表] Nonlinear Rotational Spring with Tension for Stabilizing Electrostatically Driven Micromirror2008

    • 著者名/発表者名
      M. Sasaki, S. Kumagai, K. Hane
    • 学会等名
      2008 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, Organized Session : SA-2 : Actuators
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 年月日
      2008-11-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Development of MEMS Capacitive Sensor Using a MOSFET Structure2007

    • 著者名/発表者名
      H. Izumi, Y. Matsumoto, S. Aoyagi, Y. Harada, S. Shingubara, M. Sasaki, K. Hane, H. Tokunaga
    • 学会等名
      Proceedings of the 24th Sensor Symposium, pp.254-258
    • 発表場所
      船堀
    • 年月日
      2007-10-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [学会発表] 対になったテーブルを走査する静電駆動型大変位マイクロXYステージ2007

    • 著者名/発表者名
      佐々木実, 坊野史典, 羽根一博
    • 学会等名
      第19回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム・講演論文集B146, pp.124-125
    • 発表場所
      早稲田
    • 年月日
      2007-05-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] "DRIVING OF MICROMIRROR AND SIMULTANEOUS DETECTION OF ROTATION ANGLE USING INTEGRATED PIEZORESISTIVE SENSOR", Digest of Technical Papers of Transducers' 072007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Motoki Tabata, Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      The 14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
    • 発表場所
      Lyon, France
    • 年月日
      2007-06-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Micromirror Using Stretched Thin Film for Lower Electrostatic Driving Voltage and Higher Resonant Frequency2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki
    • 学会等名
      Proceedings of The 14th International Display Workshops, MEMS5-1 Invited
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 年月日
      2007-12-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Optically Flat Micromirror Using Stretched Membrane with Crystallization-Induced Stress2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane, and Hideo Miura
    • 学会等名
      Proceedings of Optical MEMS & Nanophotonics 2007, International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, MC3
    • 発表場所
      Hualien, Taiwan
    • 年月日
      2007-08-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Performance of Tense Thin Film Torsion Bar for Large-Rotation and Low-Voltage Driving of Micromirror2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Shinya Yuki, Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      Extended Abstracts of the 2007 International Conference on Solid State Devices and Materials, D-2-4, pp.92-93
    • 発表場所
      Tsukuba, Japan
    • 年月日
      2007-09-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Development of MEMS Capacitive Sensor Using a MOSFET Structure2007

    • 著者名/発表者名
      Hayato Izumi, Yohei Matsumoto, Seiji Aoyagi, Yusaku Harada, Shoso Shingubara, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane, Hiroshi Tokunaga
    • 学会等名
      Proceedings of the 24th Sensor Symposium
    • 発表場所
      Funabori
    • 年月日
      2007-10-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [学会発表] Driving of micromirror and simultaneous detection of rotation angle using integrated piezoresistive sensor2007

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, M.Tabata, K.Hane
    • 学会等名
      The 14th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
    • 発表場所
      Lyon France
    • 年月日
      2007-06-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] Large Displacement Micro XY-Stage with Paired Moving Plates2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Fuminori Bono, Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      Extended Abstracts of the 2007 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Tsukuba, Japan
    • 年月日
      2007-09-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Micromirror Using Stretched Thin Film for Lower Electrostatic Driving Voltage and Higher Resonant Frequency2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki
    • 学会等名
      The 14th International Display Workshops, MEMS5-1 Invited
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 年月日
      2007-12-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Passivated Piezo-resistive Rotation Angle SensorIntegrated in Micromirror2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Motoki Tabata, and Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      Proceedings of Optical MEMS & Nanophotonics 2007,International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, ThB2
    • 発表場所
      Hualien, Taiwan
    • 年月日
      2007-08-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Optically Flat Micromirror Using Stretched Membrane with Crystallization-Induced Stress2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane, Hideo Miura
    • 学会等名
      Proceedings of The 4th Public Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs
    • 発表場所
      Okinawa, Japan
    • 年月日
      2007-11-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Passivated Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Motoki Tabata, Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      Proc. of Optical MEMS & Nanophotonics 2007, International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, ThB2, pp.193-194
    • 発表場所
      Hualien, Taiwan
    • 年月日
      2007-08-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Optically Flat Micromirror Using Stretched Membrane with Crystallization-Induced Stress2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane, Hideo Miura
    • 学会等名
      International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics
    • 発表場所
      Hualien, Taiwan
    • 年月日
      2007-08-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Optically flat micromirror using stretched membrane with crystallization-induced stress2007

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, T.Sasaki, K.Hane, H.Miura
    • 学会等名
      Int. Conf. on Optical MEMS and Nanophotoincs
    • 発表場所
      Hualien, Taiwan
    • 年月日
      2007-08-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] 「対になったテーブルを走査する静電駆動型大変位マイクロXY ステージ」B1462007

    • 著者名/発表者名
      佐々木実,坊野史典,羽根一博
    • 学会等名
      第19回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム
    • 発表場所
      早稲田大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Optically Flat Micromirror Using Stretched Membrane with Crystallization-Induced Stress2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane, Hideo Miura
    • 学会等名
      Proceedings of The 4th Public Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs, pp.49-52
    • 発表場所
      Okinawa, Japan
    • 年月日
      2007-11-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Performance of tense thin film torsion bar for large-rotation and low-voltage driving of micromirror2007

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, S.Yuki, K.Hane
    • 学会等名
      2007 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Tsukuba, Japan
    • 年月日
      2007-09-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] Performance of Tense Thin Film Torsion Bar for Large-Rotation and Low-Voltage Driving of Micromirror2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Shinya Yuki, Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      Extended Abstracts of the 2007 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Tsukuba, Japan
    • 年月日
      2007-09-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Large Displacement Micro XY-Stage with Paired Moving Plates2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Fuminori Bono, Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      Extended Abstracts of the 2007 International Conference on Solid State Devices and Materials, D-2-2, pp.88-89
    • 発表場所
      Tsukuba, Japan
    • 年月日
      2007-09-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Passivated piezoresistive rotation angle sensor integrated in micromirror2007

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, M.Tabata, K.Hane
    • 学会等名
      Int. Conf. on Optical MEMS and Nanophotoincs
    • 発表場所
      Hualien, Taiwan
    • 年月日
      2007-08-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] Optically Flat Micromirror Designs Using Stretched Membrane with Crystallization-Induced Stress2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane, and Hideo Miura
    • 学会等名
      Proceedings of 2007 IEEE/LEOS Annual Meeting Conference, ThC2
    • 発表場所
      Florida, USA
    • 年月日
      2007-10-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Optically Flat Micromirror Designs Using Stretched Membrane with Crystallization-Induced Stress2007

    • 著者名/発表者名
      Minoru Sasaki, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane, Hideo Miura
    • 学会等名
      Proceedings of 2007 IEEE LEOS Annual Meeting Conference, ThC2, pp.709-710.
    • 発表場所
      Lake Buena Vista, Florida, USA
    • 年月日
      2007-10-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19016003
  • [学会発表] Fiber-Bragg gratuned by micro-heater array2006

    • 著者名/発表者名
      V.K.Singh, M.Sasaki, K.Hane
    • 学会等名
      5th Int. Conf. on Optics-photonics Design and Fabrication
    • 発表場所
      Nara, Japan
    • 年月日
      2006-12-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] 基調講演「ナノ・マイクロ形状と加工技術の現状と動向」Electronic Journal2006

    • 著者名/発表者名
      佐々木実
    • 学会等名
      第137回Technical Symposium,新・微細加工技術徹底検証
    • 発表場所
      品川,コクヨホール
    • 年月日
      2006-08-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [学会発表] Angled exposure method for patterning 3D samples with slant side surfaces2006

    • 著者名/発表者名
      Vijay Kumar Singh, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      Proceedins of 2006 International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 発表場所
      Kamakura
    • 年月日
      2006-10-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [学会発表] Fabrication of MOSFET Capacitive Sensor Using Spray Coating Method2006

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Matsui, Seiji Aoyagi, Kenji Makihira, Hiroshi Tokunaga, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      Proceedings of the 23rd Sensor Symposium
    • 発表場所
      Takamatsu
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [学会発表] Effect of Angled Exposure Light for Three-Dimensional Lithography2006

    • 著者名/発表者名
      Vijay Kumar Singh, Minoru Sasaki and Kazuhiro Hane
    • 学会等名
      Proceedings of the 23rd Sensor Symposium
    • 発表場所
      Takamatsu
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [学会発表] 位相シフトマスクを利用した立体サンプルへの微細パターン露光法2006

    • 著者名/発表者名
      佐々木実,陳俊中エドウィン,羽根一博
    • 学会等名
      MSS-06-19,電気学会研究会資料センサ・マイクロマシン準部門総合研究会
    • 発表場所
      東京大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18681023
  • [学会発表] Piezoresistive rotation angle sensor integrated in micromirror2005

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, M.Tabata, T.Haga and K.Hane
    • 学会等名
      Int. Conf. on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Kobe, Japan
    • 年月日
      2005-09-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] Micro/nano opt-mechanical systems using silicon micromachining technology2005

    • 著者名/発表者名
      K.Hane, M.Sasaki, Y.Kanamori, F.R.Hu
    • 学会等名
      Nanoengineering Symposium 2005
    • 発表場所
      Daeon, Korea
    • 年月日
      2005-10-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] Performance of tense thin film torsion bar for large-rotation and low-voltage driving of micromirror2005

    • 著者名/発表者名
      M.Sasaki, S.Yuuki, K.Hane
    • 学会等名
      IEEE/LEOS Int. Conf. on Optical MEMs and Their Application
    • 発表場所
      Oulu, Finland
    • 年月日
      2005-08-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17068002
  • [学会発表] A microfluidics device with thermocouples fabricated on sidewall

    • 著者名/発表者名
      T. Yamaguchi, S. Kumagai, M. Sasaki
    • 学会等名
      2013 JSAP-MRS Joint Symposia
    • 発表場所
      Doshisha University, Kyoto, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656066
  • [学会発表] Plasma-on-Chip for Controlling Bioreaction of an Individual Cell

    • 著者名/発表者名
      CHUN-YAO CHANG, JONGHYEON JEONG, MIME KOBAYASHI, TETSUJI SHIMIZU, MINORU SASAKI, SHINYA KUMAGAI
    • 学会等名
      ISPlasma 2015 / IC-PLANTS 2015
    • 発表場所
      Nagoya University
    • 年月日
      2015-03-26 – 2015-03-31
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600130
  • [学会発表] Development of Plasma-on-Chip: Plasma Treatment of Individual Cells using Gas-Liquid Interface

    • 著者名/発表者名
      C.-Y. Chang, J.-H. Jeong, M. Kobayashi, T. Shimizu, M. Sasaki, S. Kumagai
    • 学会等名
      2015年 春季応用物理学会
    • 発表場所
      東海大学
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600130
  • [学会発表] A Thermocouple Device Fabricated on Trench Sidewall for Measuring Accurate Temperature of Microfluid

    • 著者名/発表者名
      T. Yamaguchi, S. Kumagai, M. Sasaki
    • 学会等名
      2013 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Hilton Fukuoka, Sea Hawk, Fukuoka, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656066
  • 1.  羽根 一博 (50164893)
    共同の研究課題数: 15件
    共同の研究成果数: 76件
  • 2.  金森 義明 (10333858)
    共同の研究課題数: 8件
    共同の研究成果数: 4件
  • 3.  熊谷 慎也 (70333888)
    共同の研究課題数: 5件
    共同の研究成果数: 51件
  • 4.  江刺 正喜 (20108468)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  大橋 俊朗 (30270812)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  南 和幸 (00229759)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  高橋 ひとみ
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  三浦 英生 (90361112)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 11件
  • 9.  胡 芳仁 (50396545)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 3件
  • 10.  大平 文和 (80325315)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  三原 豊 (50314901)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  吉村 英徳 (30314412)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  KUNDU Subrata (00621327)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 2件
  • 14.  鄭 鍾炫 (90728114)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 15.  大熊 繁 (40111827)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 16.  海老塚 昇 (80333300)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 17.  元廣 友美 (20394421)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 9件
  • 18.  齊藤 満 (80126862)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 19.  山形 豊 (70261203)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 20.  青木 和光 (20321581)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 21.  厨川 常元 (90170092)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 22.  Nguyen HaiMinh (90815862)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 23.  HAN Gang (50880184)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 2件
  • 24.  盧 柱亨 (50313474)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 7件
  • 25.  家城 淳
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 26.  島津 武仁
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 27.  魚本 幸
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 28.  梶原 健
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 29.  奥村 俊雄
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 30.  田中 壱
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 31.  服部 堯
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 32.  尾崎 忍
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 33.  桐野 宙治
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 34.  岡本 隆之
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 35.  細畠 拓也
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 36.  竹田 真宏
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 37.  別所 芳則
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 38.  JEONG JongHyeon
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 6件
  • 39.  斉藤 満
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 1件

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