服部正 HATTORI Tadashi

研究者番号	70326297
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所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2014年度: 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 教授 2008年度: 兵庫県立大学, 高度産業化学技術研究所, 教授 2004年度 – 2008年度: 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 教授 2001年度 – 2003年度: 姫路工業大学, 高度産業科学技術研究所, 教授
審査区分/研究分野	研究代表者材料加工・処理 / 理工系 / 応用光学・量子光工学研究代表者以外分析化学 / 医用生体工学・生体材料学 / ナノ材料・ナノバイオサイエンス / 生物機能・バイオプロセス / 理工系 / 設計工学・機械要素・トライボロジー
キーワード	研究代表者 MEMS / LIGA / NEMS / X線マスク / 放射光 / マイクロシステム / マイクロマシン / Micro Mold / Microsystems / Microfabrication … もっと見る / X-ray mask / Micromachine / Synchrotron orbit radiation / マイクロ・ナノファブリケイション / ナノ・マイクロファブリケーション / ナノマイクロファブリケーション / 放射 / ナノマイクロファブリケーショ / 高アスペクト比加工 / 三次元構造体 / マイクロアクチュエータ / X線リソグラフィ / LIGAプロセス / マイクロファブリケーション / X線リソグラフィー / X線イメージング / ガス増幅 / X線検出器 … もっと見る研究代表者以外アクチュエータ / reaction flow / bio reactor / micro mechanics / bio analysis / on chip analysis / environmental analysis / 反応流 / バイオリアクター / マイクロメカトロニクス / 生体分析 / チップ分析 / 環境分析 / endothelial cell / scaffold / stent / 光化学 / 内皮前駆細胞 / 微細加工 / 生体適合化 / ステント / X線 / 細胞・組織 / 燃料電池 / ナノ材料 / 三次元 / イメージング / 位相 / 顕微鏡 / Ｘ線 / アルキルフェノール / 酵素免疫法 / 多検体分析 / ナノ加工 / 積層型マイクロリアクター / 酵素免疫測定 / Micro-TAS / 内分泌攪乱物質 / 環境ホルモン / ELISA / 前立腺特異抗原 / ノニルフェノール / 酵素免疫測定法 / 放射光マイクロ加工 / マイクロリアクター / リハビリテーション / 精密位置決め / ロボット / 機能性材料 / 特殊環境 / 人工筋肉 / MEMS / 超精密位置決め / モータ / 高分子アクチュエータ / 圧電アクチュエータ / 空気圧アクチュエータ / 静電モータ / 新原理アクチュエータ / マイクロアクチュエータ / 超音波モータ隠す

実験室Ｘ線源によるナノメートル解像度三次元観察を目指した高感度Ｘ線顕微鏡の開発
- 研究代表者
  
  矢代航
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2014
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  ナノ材料・ナノバイオサイエンス
- 研究機関
  東北大学
ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ研究
- 研究代表者
  
  樋口俊郎
- 研究期間 (年度)
  2004 – 2009
- 研究種目
  
  特定領域研究
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  東京大学
ナノ・マイクロ立体加工技術の開発と次世代マイクロアクチュエータへの展開研究代表者
- 研究代表者
  
  服部正
- 研究期間 (年度)
  2004 – 2008
- 研究種目
  
  特定領域研究
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  兵庫県立大学
積層型マイクロリアクターによる多検体・多項目同時分析システムの開発
- 研究代表者
  
  根来誠司
- 研究期間 (年度)
  2004 – 2006
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  生物機能・バイオプロセス
- 研究機関
  兵庫県立大学
積層型微小立体化学システムを用いた環境微量分析法の研究
- 研究代表者
  
  内海裕一
- 研究期間 (年度)
  2004 – 2006
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  分析化学
- 研究機関
  兵庫県立大学
アクティヴ・バイオマテリアルの光駆動精密設計と組織工学の融合によるステント工学
- 研究代表者
  
  松田武久
- 研究期間 (年度)
  2003 – 2005
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  医用生体工学・生体材料学
- 研究機関
  九州大学
次世代アクチュエータ技術の予測調査研究
- 研究代表者
  
  樋口俊郎
- 研究期間 (年度)
  2002
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  設計工学・機械要素・トライボロジー
- 研究機関
  東京大学
ガス増幅型X線イメージング検出器の原理検証研究代表者
- 研究代表者
  
  服部正
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2002
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  応用光学・量子光工学
- 研究機関
  姫路工業大学
放射光による任意形状のマイクロ立体構造体デバイス作製プロセスの研究研究代表者
- 研究代表者
  
  服部正
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2003
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  材料加工・処理
- 研究機関
  姫路工業大学

すべて 2014 2013 2009 2008 2007 2006 2005 2004 その他

すべて雑誌論文学会発表図書

[図書] "アクチュエータ工学",アクチュエータシステム技術企画委員会編集2004
- 著者名/発表者名
  服部正(分担執筆)
- 出版者
  株式会社養賢堂発行
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] A metallic glass grating for X-ray grating interferometers fabricated by imprinting2014
- 著者名/発表者名
  W. Yashiro, D. Noda, T. Hattori, K. Hayashi, A. Momose, and H. Kato
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Exp.
  
  巻: 7 号: 3 ページ: 32501-32501
- DOI
  10.7567/apex.7.032501
- NAID
  210000137015
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24310087, KAKENHI-PROJECT-24656004, KAKENHI-PROJECT-25286040, KAKENHI-PROJECT-26630341
[雑誌論文] 高アスペクト比マイクロコイルの作製と電磁型アクチュエータへの展開2009
- 著者名/発表者名
  野田大二,服部正
- 雑誌名
  
  日本AEM学会誌 Vol.17
  
  ページ: 162-167
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] Fabrication of Spiral Micro Coil Lines for Electromagnetic Actuators2008
- 著者名/発表者名
  M. Setomoto, Y. Matsumoto, S. Yamashita, D. Noda, and T. Hattori
- 雑誌名
  
  Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing Vol.2
  
  ページ: 238-245
- NAID
  130000080773
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] Fabrication and Estimation of Electromagnetic Type Micro-Actuator with Microcoil2008
- 著者名/発表者名
  D. Noda, M. Setomoto, Y. Kobayashi, and T. Hattori
- 雑誌名
  
  Proceedings of the Society of Photo- Optical Instrumentation Engineering Vol.7268
  
  ページ: 7268021-7268028
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] Fabrication of High Aspect Ratio Microcoil Using Dipping Method2008
- 著者名/発表者名
  D. Noda, S. Yamashita, Y. Matsumoto, M. Setomoto, and T. Hattori
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 2007 IEEE International Symposium on Micro-Nano Mecha- tronics and Human Science Vol.2
  
  ページ: 174-179
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] Fabrication of Microcoil with Narrow and High Aspect Ratio Lines for Electromagnetic Actuators2008
- 著者名/発表者名
  D. Noda, M. Setomoto, and T. Hattori,
- 雑誌名
  
  Proceed ings of the 2008 IEEE International Symposium on Micro-Nano Mecha- tronics and Human Science
  
  ページ: 219-224
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] Fabrication of Microcoils Using X-ray Lithography and Metallization2008
- 著者名/発表者名
  D. Noda, Y. Matsumoto, M. Setomoto, and T. Hattori
- 雑誌名
  
  IEEJ Transaction on Sensors and Micromachines Vol.128
  
  ページ: 181-185
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] Cylindrical Coils Created with 3D X-ray Lithography and Metallization for Electromagnetic Actuators2008
- 著者名/発表者名
  Y. Matsumoto, M. Setomoto, D. Noda, and T. Hattori
- 雑誌名
  
  Microsystem Technologies Vol.14
  
  ページ: 1371-1379
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] 電磁型マイクロアクチュエータ用マイクロコイルの製作2007
- 著者名/発表者名
  服部正,野田大二
- 雑誌名
  
  日本設備管理会 Vol.19
  
  ページ: 9-14
- NAID
  10019931941
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] Fabrication and Estimation of Microcoils Using LIGA Process2007
- 著者名/発表者名
  D. Noda, Y. Matsumoto, M. Setomoto, and T. Hattori
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 24th Sensor Symposium on Sensors, Micromach- ines, and Applied Systems
  
  ページ: 161-164
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] 電磁型マイクロアクチュエータ用マイクロコイルの製作2007
- 著者名/発表者名
  服部正,野田大二
- 雑誌名
  
  電気学会誌 Vol.127
  
  ページ: 288-290
- NAID
  10019931941
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] Fabrication of Coil Lines with High Aspect Ratio for Electromagnetic Actuators2007
- 著者名/発表者名
  D. Noda, Y. Matsumoto, M. Setomoto, and T. Hattori
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 2007 IEEE International Symposium on Micro-Nano Mecha- tronics and Human Science
  
  ページ: 436-441
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] Design of Solenoidal Electromagnetic Micro- actuator Utilizing 3D X-ray Lithography and Metallization2007
- 著者名/発表者名
  H. Mochizuki, H. Mekaru, S. Kusumi, N. Sato, M. Shimizu, M. Yamashita, O. Shiada, and T. Hattori
- 雑誌名
  
  Microsystem Technologies Vol.13
  
  ページ: 547-550
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] Fabrication of a Spiral Microcoil Using a 3D-LIGA Process2007
- 著者名/発表者名
  H. Mekaru, S. Kusumi, N. Sato, M. Shimizu, M. Yamashita, O. Shimada, and T. Hattori
- 雑誌名
  
  Microsystem Technologies Vol.13
  
  ページ: 393-402
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] 電磁型マイクロアクチュエータ用マイクロコイルの製作2007
- 著者名/発表者名
  服部正, 野田大二
- 雑誌名
  
  日本設備管理学会誌 19
  
  ページ: 9-14
- NAID
  10019931941
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] LIGAプロセスの三次元化とスパイラル型マイクロコイルの作製2007
- 著者名/発表者名
  銘苅春隆,久住真治,佐藤憲昭,清水正巳,山下満,嶋田修,服部正
- 雑誌名
  
  電気学会論文誌C電子・情報・システム部門誌 Vol.127
  
  ページ: 160-166
- NAID
  10018480428
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] 電磁型マイクロアクチュエータ用マイクロコイルの製作2007
- 著者名/発表者名
  服部正, 野田大二
- 雑誌名
  
  電気学会誌 127
  
  ページ: 288-290
- NAID
  10019931941
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] マイクロアクチュエータの製造技術2006
- 著者名/発表者名
  服部正他
- 雑誌名
  
  日本AEM学会誌 14
  
  ページ: 174-179
- NAID
  110004862755
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] マイクロアクチュエータの超微細三次元加工技術2006
- 著者名/発表者名
  服部正
- 雑誌名
  
  月刊 MATERIAL STAGE Vol.5
  
  ページ: 43-48
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] マイクロ3次元構造体の加工と今後の展開2006
- 著者名/発表者名
  服部正
- 雑誌名
  
  電気学会論文誌Eセンサ・マイクロマシン準部門誌 Vol.126
  
  ページ: 211-215
- NAID
  10017582236
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] An Electromagnetic Actuators Using a Cylindrical Coil Created with 3D X-ray Lithography and Metallization Techniques2006
- 著者名/発表者名
  Y. Matsumoto, S. Yamashita, D. Noda, and T. Hattori
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 2006 IEEE International Symposium on Micro-Nano Mechatro- nics and Human Science
  
  ページ: 143-148
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] Fabri- cation of High Aspect Ratio Coil for Microactuators using LIGA Process2006
- 著者名/発表者名
  D. Noda, Y. Matsumoto, S. Yamashita, M. Setomoto, and T. Hattori
- 雑誌名
  
  Proceedings of the Society of Photo- Optical Instrumentation Engineering Vol.6414
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] マイクロ3次元構造体の加工と今後の展開2006
- 著者名/発表者名
  服部正
- 雑誌名
  
  電気学会論文誌Eセンサ・マイクロマシン準部門誌 126
  
  ページ: 211-215
- NAID
  10017582236
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] マイクロアクチュエータの超微細三次元加工技術2006
- 著者名/発表者名
  服部正
- 雑誌名
  
  月刊MATERIAL STAGE 5
  
  ページ: 43-48
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] マイクロアクチュエータの製造技術2006
- 著者名/発表者名
  服部正,野田大二
- 雑誌名
  
  日本AEM学会誌 Vol.14
  
  ページ: 174-179
- NAID
  110004862755
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] Fabrication of Spiral Micro- Coil Utilizing LIGA Process2006
- 著者名/発表者名
  O. Shimada, S. Kusumi, H. Mekaru, N. Sato, M. Shimizu, M. Yamashita, and T. Hattori
- 雑誌名
  
  JSME International Journal Vol.49
  
  ページ: 74-78
- NAID
  110004082848
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] 次世代マイクロアクチュエータと超微細3次元加工技術2005
- 著者名/発表者名
  服部正
- 雑誌名
  
  機械の研究 57
  
  ページ: 527-534
- NAID
  40006737021
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] マイクロコイルの製作2005
- 著者名/発表者名
  服部正他
- 雑誌名
  
  日本設備管理学会17年度秋季大会
  
  ページ: 90-91
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] 世代マイクロアクチュエータと超微細3次元加工技術2005
- 著者名/発表者名
  服部正
- 雑誌名
  
  機械の研究 Vol.57
  
  ページ: 527-534
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] Development of Three Dimensional LIGA Process to Fabricate Spiral Micro- coil2005
- 著者名/発表者名
  H. Mekaru, S. Kusumi, N. Sato, M. Yamashita, O. Shimada, and T. Hattori
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics Vol.44
  
  ページ: 5749-5754
- NAID
  10016678043
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] Fabrication of Mold Master for Spiral Microcoil Utilizing X-Ray Lithography of Synchrotron Radiation2004
- 著者名/発表者名
  H. Mekaru, S. Kusumi, N. Sato, M. Yamashita, O. Shimada, and T. Hattori
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics Vol.43
  
  ページ: 4036-4040
- NAID
  10013276590
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[雑誌論文] Fabrication of Spiral Micro-Coil Utiliz- ing LIGA Process2004
- 著者名/発表者名
  O. Shimada, S. Kusumi, H. Mekaru, N. Sato, M. Yamashita, and T. Hattori
- 雑誌名
  
  Proceedings of the International Conference on Electrical Engineering 2004
  
  ページ: 553-556
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] Ｘ線Talbot干渉計のための透過型金属ガラス回折格子の作製2014
- 著者名/発表者名
  矢代航、百生敦、野田大二、服部正、林好一、加藤秀実
- 学会等名
  日本金属学会2014春期講演大会
- 発表場所
  東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24310087
[学会発表] Ｘ線Talbot干渉計のための金属ガラス回折格子の作製2013
- 著者名/発表者名
  矢代航，野田大二，服部正，林好一，百生敦，加藤秀実
- 学会等名
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  京田辺
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24310087
[学会発表] マイクロコイルの作製と電磁型アクチュエータへの展開2009
- 著者名/発表者名
  野田大二,瀬戸本勝,小林雄貴,服部正
- 学会等名
  先端技術セミナー2009
- 発表場所
  イーグレ姫路
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 無電解めっき法によるマイクロコイル用シード層の検討2009
- 著者名/発表者名
  小林雄貴,瀬戸本勝,山下健治,野田大二,服部正
- 学会等名
  日本設備管理学会2008年度第4回ナノマイクロ加工研究会
- 発表場所
  兵庫県先端科学技術支援センタ-
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 次世代アクチュエータ研究の成果2009
- 著者名/発表者名
  野田大二,服部正
- 学会等名
  先端技術セミナー2009
- 発表場所
  イーグレ姫路
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] Fabrication and Estimation of Electromagnetic Type Micro-Actuator with Microcoil2008
- 著者名/発表者名
  D. Noda, M. Setemoto, Y. Kobayashi, and T. Hattori
- 学会等名
  SPIE International Symposium on Smart Materials, Nano- and Micro-Smart Systems
- 発表場所
  RMIT University, Melbourne, Australia, 7268-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 二層ニッケル電鋳による高強度マイクロ金型の作製2008
- 著者名/発表者名
  木村太郎,佐和吉敬,山下健治,北谷武,山下満,野田大二,服部正
- 学会等名
  平成20年電気学会全国大会
- 発表場所
  福岡工業大学,3-119
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 高アスペクト比マイクロコイルの作製と電磁型アクチュエータへの展開2008
- 著者名/発表者名
  野田大二,松本吉史,瀬戸本勝,服部正
- 学会等名
  第20回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム
- 発表場所
  別府ビーコンプラザ,23B3-1
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] マイクロコイルの作製と電磁型アクチュエータへの展開2008
- 著者名/発表者名
  野田大二,松本吉史,瀬戸本勝,服部正
- 学会等名
  日本機械学会年次大会
- 発表場所
  横浜国立大学,3203
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] ディッピング法を用いた立体マイクロコイルラインの形成2008
- 著者名/発表者名
  瀬戸本勝,松本吉史,越智大介,野田大二,服部正
- 学会等名
  平成20年電気学会全国大会
- 発表場所
  福岡工業大学,3-117
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 大面積電鋳装置の開発と大面積金型作製技術2008
- 著者名/発表者名
  木村太郎,山下健治,西田諭史,北谷武,佐和吉敬,野田大二,服部正
- 学会等名
  日本設備管理学会2007年度第4回ナノマイクロ加工研究会
- 発表場所
  兵庫県先端科学技術支援センタ-
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 円筒型マイクロコイルを用いた電磁駆動型アクチュエータの作製2008
- 著者名/発表者名
  松本吉史,瀬戸本勝,越智大介,野田大二,服部正
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  明治大学,H19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] Development of a New Nano-Micro Solid Processing Technology Based on a LIGA Process and a Next-Generation Micro Actua- tors2008
- 著者名/発表者名
  D. Noda and T. Hattori
- 学会等名
  The 2nd International Sympo- sium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs
- 発表場所
  APA Hotel & Resort Tokyo Bay Makuhari, Chiba, Japan, B3-1
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] Fabrication of Spiral Micro Coil Lines for Micro Actuators Using X-ray Lithography and Metallization2008
- 著者名/発表者名
  M. Setomoto, Y. Matsumoto, D. Noda, and T. Hattori
- 学会等名
  1th International Conference on New Actuators and 5th International Exhibition on Smart Actuators and Drive Systems
- 発表場所
  Bremen Convention Center, Bremen, Germany, P066
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 円筒型マイクロコイルを用いた電磁ソレノイドの作製2008
- 著者名/発表者名
  松本吉史,瀬戸本勝,越智大介,野田大二,服部正
- 学会等名
  日本設備管理学会2007年度第4回ナノマイクロ加工研究会
- 発表場所
  兵庫県先端科学技術支援センタ-
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] Fabrication of Narrow Pitch and High Aspect Ratio Microcoil for Electromagnetic Micro- actuators2008
- 著者名/発表者名
  D. Noda, Y. Matsumoto, M. Setomoto, D. Ochi, and T. Hattori
- 学会等名
  11th International Conf- erence on New Actuators and 5th International Exhibition on Smart Actuators and Drive Systems (Actuator 2008)
- 発表場所
  Bremen Convention Center, Bremen, Germany, P065
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] LIGAプロセスによる電磁アクチュエータの作製2008
- 著者名/発表者名
  野田大二,松本吉史,瀬戸本勝,服部正
- 学会等名
  日本機械学会第8回機素潤滑設計部門講演会
- 発表場所
  倉敷アイビースクエア,1301
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] マイクロコイルを用いた電磁型アクチュエータの作製2008
- 著者名/発表者名
  野田大二,松本吉史,瀬戸本勝,越智大介,服部正
- 学会等名
  先端技術セミナー2008
- 発表場所
  イーグレ姫路
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 無電解ニッケル-ホウ素めっき法を用いた高硬度金型の作製2008
- 著者名/発表者名
  佐和吉敬,山下健治,北谷武,野田大二,服部正
- 学会等名
  日本設備管理学会平成20年度創立20周年記念大会
- 発表場所
  パシフィコ横浜,OS2-4
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] X線リソグラフィによるマイクロコイルの製作2008
- 著者名/発表者名
  越智大介,瀬戸本勝,松本吉史,野田大二,服部正
- 学会等名
  平成20年電気学会全国大会
- 発表場所
  福岡工業大学,3-118
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] Development of a New Nano-Micro Solid Processing Technology Based on a LIGA Process and a Next-Generation Micro Actuators2008
- 著者名/発表者名
  Daiji Noda and Tadashi Hattori
- 学会等名
  The 2^<nd> International Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs
- 発表場所
  Chiba, Japan
- 年月日
  2008-04-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] Fabrication of Microcoil with Narrow and High Aspect Ratio Lines for Electromagnetic Actuators2008
- 著者名/発表者名
  D. Noda, M. Setomoto, and T. Hattori
- 学会等名
  2008 Inter- national Symposium on Micro-Nano Mechatronics and Human Science
- 発表場所
  Nagoya University, Nagoya, Japan, SA2-1
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] Cylindrical Coils Created with 3D X-ray Lithography and Metallization for Electromagnetic Actuators2007
- 著者名/発表者名
  Y. Matsumoto, M. Setomoto, D. Noda, and T. Hattori
- 学会等名
  7th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology
- 発表場所
  CCI Doubs, Besancon, France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 電磁駆動アクチュエータ用立体コイルラインの形成2007
- 著者名/発表者名
  瀬戸本勝,松本吉史,山下修平,野田大二,服部正
- 学会等名
  平成19年電気学会全国大会
- 発表場所
  富山大学,3-125
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 円筒型マイクロコイルラインの高アスペクト比化とソレノイドアクチュエータへの応用2007
- 著者名/発表者名
  山下修平,松本吉史,瀬戸本勝,奥田孝一,野田大二,服部正
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  芝浦工業大学,L76
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 二層ニッケル電鋳法による高強度マイクロ金型の作製2007
- 著者名/発表者名
  佐和吉敬,木村太郎,山下健治,北谷武,山下満,野田大二,服部正
- 学会等名
  日本設備管理学会平成19年度秋季研究発表大会
- 発表場所
  神戸市産業振興センタ-,A3.2
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] Fabrication of Spiral Micro Coil Lines for Electromagnetic Actuators2007
- 著者名/発表者名
  M. Setomoto, Y. Matsumoto, S. Yamashita, D. Noda, and T. Hattori
- 学会等名
  2nd International Conference on Machine Design and Tribology
- 発表場所
  Hokkaido University, Sapporo, Japan, B02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] Fabrication of Coil Lines with High Aspect Ratio for Electromagnetic Actuators2007
- 著者名/発表者名
  D. Noda, Y. Matsumoto, M. Setomoto, and T. Hattori
- 学会等名
  2007 Inter- national Symposium on Micro-Nano Mechatronics and Human Science
- 発表場所
  Nagoya University, Nagoya, Japan, TA2-2-4
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 高アスペクト比コイルを用いた電磁型アクチュエータ2007
- 著者名/発表者名
  松本吉史,瀬戸本勝,野田大二,山下修平,服部正
- 学会等名
  日本機械学会年次大会
- 発表場所
  関西大学,2902
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] LIGAプロセスによるマイクロコイルの作製と評価2007
- 著者名/発表者名
  野田大二,松本吉史,瀬戸本勝,服部正
- 学会等名
  第24回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- 発表場所
  タワーホール船掘,Po-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 多層ニッケル電鋳による高強度金型の作製2007
- 著者名/発表者名
  木村太郎,佐和吉敬,山下健治,北谷武,山下満,野田大二,服部正
- 学会等名
  第15回機械材料・材料加工技術講演会
- 発表場所
  長岡技術科学大学,117
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 電磁型アクチュエータ用高アスペクト比コイルの作製2007
- 著者名/発表者名
  松本吉史,瀬戸本勝,山下修平,野田大二,服部正
- 学会等名
  先端技術セミナー2007
- 発表場所
  イーグレ姫路
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 高アスペクト比マイクロコイルおよびアクチュエータの作製2007
- 著者名/発表者名
  山下修平,野田大二,服部正
- 学会等名
  日本設備管理学会2006年度第4回ナノマイクロ加工研究会
- 発表場所
  兵庫県先端科学技術支援センタ-
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] マイクロコイルの製作2007
- 著者名/発表者名
  服部正,佐藤憲昭,山下満,島田修
- 学会等名
  日本設備管理学会平成17年度秋季研究発表大会
- 発表場所
  四国電力(株)総合研修所,C1.1
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 高アスペクト比コイルを用いた電磁型アクチュエータ2007
- 著者名/発表者名
  野田大二,山下修平,松本吉史,瀬戸本勝,服部正
- 学会等名
  日本機械学会年次大会
- 発表場所
  関西大学,2901
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] Fabri- cation of High Aspect Ratio Microcoil Using by Dipping Method2007
- 著者名/発表者名
  D. Noda, S. Yamashita, Y. Matsumoto, M. Setomoto, and T. Hattori
- 学会等名
  2nd International Conference on Machine Design and Tribology
- 発表場所
  Hokkaido University, Sapporo, Japan, B01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 高アスペクト比マイクロコイルの作製と電磁型アクチュエータへの展開2007
- 著者名/発表者名
  野田大二,山下修平,松本吉史,瀬戸本勝,服部正
- 学会等名
  第19回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム
- 発表場所
  早稲田大学,B324
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] LIGAプロセスによる微細ラインマイクロコイルの作製2007
- 著者名/発表者名
  野田大二,松本吉史,瀬戸本勝,服部正
- 学会等名
  第15回機械材料・材料加工技術講演会
- 発表場所
  長岡技術科学大学,116
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 電磁型マイクロアクチュエータ用マイクロコイルの製作2006
- 著者名/発表者名
  服部正,野田大二,嶋田修,佐藤憲昭,清水正己,山下満,銘苅春隆
- 学会等名
  平成18年電気学会産業応用部門大会
- 発表場所
  名古屋工業大学,3-03-3
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] Fabrication of Cylindrical Microcoil Line Through Surface Modification for Microactuators2006
- 著者名/発表者名
  S. Yamashita, S. Kusumi, O. Shimada, K. Okuda, D. Noda, and T. Hattori
- 学会等名
  10th International Conference on New Actuators and 4th International Exhibition on Smart Actuators and Drive Systems
- 発表場所
  Bremen Convention Center, Bremen, Germany, P065
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] Development of a New Nano-Micro Solid Processing Technology Based on a LIGA Process and a Next-Generatic Micro Actuator2006
- 著者名/発表者名
  T. Hattori, D. Noda, and H. Ishigaki
- 学会等名
  The 1st International Symposium on Next-Generation Actua- tors Leading Breakthroughs
- 発表場所
  Makuhari Prince Hotel, Chiba, Japan, A02-1
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] LIGAプロセスによる電磁アクチュエータの作製2006
- 著者名/発表者名
  野田大二,松本吉史,服部正
- 学会等名
  日本機械学会第6回機素潤滑設計部門講演会
- 発表場所
  ホテル松島大観荘,2305
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] イオン照射によるPTFEとCu薄膜の密着力向上2006
- 著者名/発表者名
  山下修平,植田寛康,糸魚川貢一,野田大二,奥田孝一,服部正
- 学会等名
  平成18年電気学会全国大会
- 発表場所
  横浜国立大学,3-128
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 電鋳によるマイクロ金型作製2006
- 著者名/発表者名
  山下健治,北谷武,服部正
- 学会等名
  日本設備管理学会2005年度第3回ナノマイクロ加工研究会
- 発表場所
  兵庫県先端科学技術支援センタ-
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] An Electromagnetic Actuators Using a Cylindrical Coil Created with 3D X-ray Lithography and Metallization Techniques2006
- 著者名/発表者名
  Y. Matsumoto, S. Yamashita, D. Noda, and T. Hattori
- 学会等名
  2006 Inter- national Symposium on Micro-Nano Mechatronics and Human Science
- 発表場所
  Nagoya University, Nagoya, Japan, MP1-2-5
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] Fabrication of High Aspect Ratio Micro Coil for Microactuators using Three- Dimensional X-Ray Lithography Tech- nique2006
- 著者名/発表者名
  D. Noda, H. Mochizuki, Y. Matsumoto, S. Kusumi, N. Sato, M. Shimizu, M. Yamashita, O. Shimada, and T. Hattori
- 学会等名
  10th International Conference on New Actuators and 4th International Exhibition on Smart Actuators and Drive Systems
- 発表場所
  Bremen Convention Center, Bremen, Germany, P061
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 円筒コイルを用いた電磁型アクチュエータ2006
- 著者名/発表者名
  望月浩晃,久住真治,佐藤憲昭,清水正己,山下満,嶋田修,野田大二,服部正
- 学会等名
  第19回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  名古屋大学,8P127M
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 高アスペクト比を有する円筒型電磁アクチュエータの作製2006
- 著者名/発表者名
  野田大二,松本吉史,服部正
- 学会等名
  第18回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム
- 発表場所
  神戸国際会館,B2A14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 円筒コイルを用いた電磁型アクチュエータ2006
- 著者名/発表者名
  望月浩晃,野田大二,服部正
- 学会等名
  ニュースバルセミナー2006
- 発表場所
  イーグレ姫路
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] Fabri- cation of High Aspect Ratio Coil for Microactuators Using LIGA Process2006
- 著者名/発表者名
  D. Noda, Y. Matsumoto, S. Yamashita, M. Setemoto, and T. Hattori
- 学会等名
  SPIE International Symposium on Smart Materials, Nano- and Micro- Smart Systems
- 発表場所
  University of Adelaide, Adelaide, Australia, 6414-63
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 3次元X線リソグラフィ及びメタライズによる円筒型コイル作製2006
- 著者名/発表者名
  松本吉史,野田大二,山下修平,服部正
- 学会等名
  日本機械学会年次大会
- 発表場所
  熊本大学,4102
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 円筒コイルを用いた電磁型アクチュエータ2006
- 著者名/発表者名
  望月浩晃,松本吉史,野田大二,服部正
- 学会等名
  平成18年電気学会全国大会
- 発表場所
  横浜国立大学,3-139
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 高アスペクト比コイルを用いた電磁型アクチュエータ2006
- 著者名/発表者名
  野田大二,松本吉史,山下修平,服部正
- 学会等名
  日本機械学会年次大会
- 発表場所
  熊本大学,4101
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] Measurement of Friction Characteristics by an Inertia Drive System and Optimum Design of Piezoelectric Impact Drive Mechanism2006
- 著者名/発表者名
  N. Shibano, Y. Konishi, H. Ishigaki, and T. Hattori
- 学会等名
  10th International Conference on New Actuators and 4th International Exhibition on Smart Actuators and Drive Systems
- 発表場所
  Bremen Convention Center, Bremen, Germany, P072
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] Ni電鋳法によるマイクロ金型の製作2005
- 著者名/発表者名
  木村太郎,中郷直樹,竹田博昭,服部正
- 学会等名
  平成17年電気学会全国大会
- 発表場所
  徳島大学,3-135
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 円筒マイクロコイルのマイクロコイルライン作製2005
- 著者名/発表者名
  山下修平,服部正
- 学会等名
  日本設備管理学会2005年度第2回ナノマイクロ加工研究会
- 発表場所
  兵庫県先端科学技術支援センタ-
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] Ni電鋳法によるマイクロ金型の製作2005
- 著者名/発表者名
  木村太郎,中郷直樹,竹田博昭,服部正
- 学会等名
  日本設備管理学会2004年度第5回ナノマイクロ加工研究会
- 発表場所
  兵庫県立先端科学技術支援センター
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] Ni電鋳によるマイクロ金型の作製2005
- 著者名/発表者名
  木村太郎,服部正
- 学会等名
  日本設備管理学会2005年度第2回ナノマイクロ加工研究会
- 発表場所
  兵庫県先端科学技術支援センタ-
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 円筒型コイルを利用した電磁駆動ソレノイド型マイクロアクチュエータの製作2005
- 著者名/発表者名
  望月浩晃,銘苅春隆,服部正,久住真治,嶋田修,佐藤憲昭,山下満
- 学会等名
  平成17年電気学会全国大会
- 発表場所
  徳島大学,3-121
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] Design of Solenoidal Electromagnetic Microactuator utilizing 3D X-ray Lithography and Metal- lization, PD012005
- 著者名/発表者名
  H. Mochizuki, H. Mekaru, S. Kusumi, N. Sato, M. Yamashita, O. Shimada, and T. Hattori
- 学会等名
  6th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology
- 発表場所
  Hotel Hyundai, Gyeongju, Korea, PD03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] H2Oイオンによる照射によるフッ素樹脂の表面改質2005
- 著者名/発表者名
  山下修平,瀬戸本豊,植田寛康,糸魚川貢一,奥田孝一,服部正
- 学会等名
  日本設備管理学会2004年度第5回ナノマイクロ加工研究会
- 発表場所
  兵庫県立先端科学技術支援センター
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] Fabrication of Spiral Micro- Coil Utilizing LIGA Process2005
- 著者名/発表者名
  O. Shimada, S. Kusumi, H. Mekaru, N. Sato, M. Shimizu, M. Yamashita, and T. Hattori
- 学会等名
  The 2nd JSME/ASME International Conference on Materials and Processing 2005
- 発表場所
  Seattle, Washington, USA, NTM-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 円筒コイルを用いた電磁型アクチュエータ2005
- 著者名/発表者名
  望月浩晃,服部正
- 学会等名
  日本設備管理学会2005年度第2回ナノマイクロ加工研究会
- 発表場所
  兵庫県先端科学技術支援センタ-
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 円筒型コイルを利用した電磁駆動ソレノイド型マイクロアクチュエータの製作2005
- 著者名/発表者名
  望月浩晃,銘苅春隆,服部正,久住真治,嶋田修,佐藤憲昭,山下満
- 学会等名
  日本設備管理学会2004年度第5回ナノマイクロ加工研究会
- 発表場所
  兵庫県立先端科学技術支援センター
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] 3DLIGAプロセスによるスパイラル型マイクロコイルの作製2005
- 著者名/発表者名
  銘苅春隆,久住真治,佐藤憲昭,清水正巳,山下満,嶋田修,服部正
- 学会等名
  第18回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  サンメッセ鳥栖,9C10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] Fabrication of Spiral Microcoil Utilizing 3D-LIGA Process2005
- 著者名/発表者名
  H. Mekaru, S. Kusumi, N. Sato, M. Shimizu, M. Yamashita, O. Shimada, and T. Hattori
- 学会等名
  6th International Workshop on High- Aspect-Ratio Micro-Structure Technol- ogy
- 発表場所
  Hotel Hyundai, Gyeongju, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] LIGAプロセスによるスパイラル型マイクロコイルの試作2005
- 著者名/発表者名
  銘苅春隆,久住真治,佐藤憲昭,清水正巳,山下満,嶋田修,服部正
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  慶應義塾大学,A76
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] Development of 3D- LIGA Process to Fabricate Spiral Microcoil2004
- 著者名/発表者名
  H. Mekaru, S. Kusumi, N. Sato, M. Shimizu, M. Yamashita, O. Shimada, and T. Hattori
- 学会等名
  2004 International Micro processes and Nanotechnology Conference
- 発表場所
  Hotel Hankyu Expo Park, Osaka, Japan, 29A-11-3
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] ソレノイド型マイクロアクチュエータの製作2004
- 著者名/発表者名
  望月浩晃,服部正
- 学会等名
  日本設備管理学会2004年度第2回ナノマイクロ加工研究会
- 発表場所
  (独)産業技術総合研究所つくば東事業所
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] ウォーム成形技術のLIGAプロセスへの応用2004
- 著者名/発表者名
  佐藤憲昭,清水正巳,銘苅春隆,久住真治,山下満,嶋田修,服部正
- 学会等名
  日本機械学会第4回機素潤滑設計部門講演会
- 発表場所
  ホテル大観,201
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] Fabrication of Spiral Micro-Coil Utilizing LIGA Process2004
- 著者名/発表者名
  O. Shimada, S. Kusumi, H. Mekaru, N. Sato, M. Yamashita, and T. Hattori
- 学会等名
  The International Conference on Electrical Engineering 2004
- 発表場所
  Sapporo Convention Center, Sapporo, Japan, OH4-1
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212
[学会発表] シミュレーションによるマイクロ電磁弁の吸引力向上
- 著者名/発表者名
  松本吉史,望月浩晃,野田大二,服部正
- 学会等名
  平成18年電気学会全国大会
- 発表場所
  横浜国立大学,3-138
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16078212

1. 内海裕一 (80326298)

共同の研究課題数: 5件

共同の研究成果数: 0件
2. 銘苅春隆 (30321681)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 18件
3. 横田眞一 (10092579)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
4. 樋口俊郎 (10111569)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
5. 鈴森康一 (00333451)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
6. 黒澤実 (70170090)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
7. 則次俊郎 (70043726)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
8. 根来誠司 (90156159)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
9. 武尾正弘 (40236443)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
10. 吉田和弘 (00220632)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
11. 山本晃生 (40313035)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
12. 神田岳文 (30346449)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
13. 石垣博之 (40081244)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
14. 野田大二 (00378267)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 66件
15. 矢代航 (10401233)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 3件
16. 三木一司 (30354335)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
17. 水谷治央 (40444103)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
18. 松田武久 (60142189)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
19. 木戸秋悟 (10336018)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
20. 下川宏明 (00235681)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
21. 白石昌武 (10091860)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
22. 中田毅 (50256632)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
23. 石垣博行

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 2件

服部 正 HATTORI Tadashi

研究課題

研究成果

共同研究者

実験室Ｘ線源によるナノメートル解像度三次元観察を目指した高感度Ｘ線顕微鏡の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

ナノ・マイクロ立体加工技術の開発と次世代マイクロアクチュエータへの展開研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

積層型マイクロリアクターによる多検体・多項目同時分析システムの開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

積層型微小立体化学システムを用いた環境微量分析法の研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

アクティヴ・バイオマテリアルの光駆動精密設計と組織工学の融合によるステント工学

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

次世代アクチュエータ技術の予測調査研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ガス増幅型X線イメージング検出器の原理検証研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

放射光による任意形状のマイクロ立体構造体デバイス作製プロセスの研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[図書] "アクチュエータ工学",アクチュエータシステム技術企画委員会編集2004

著者名/発表者名

出版者

データソース

[雑誌論文] A metallic glass grating for X-ray grating interferometers fabricated by imprinting2014

著者名/発表者名

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DOI

NAID

データソース

[雑誌論文] 高アスペクト比マイクロコイルの作製と電磁型アクチュエータへの展開2009

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Fabrication of Spiral Micro Coil Lines for Electromagnetic Actuators2008

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

データソース

[雑誌論文] Fabrication and Estimation of Electromagnetic Type Micro-Actuator with Microcoil2008

著者名/発表者名

雑誌名

服部正 HATTORI Tadashi