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小田 昭紀  Oda Akinori

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 70335090
その他のID
外部サイト
所属 (現在) 2025年度: 千葉工業大学, 工学部, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2021年度 – 2024年度: 千葉工業大学, 工学部, 教授
2013年度 – 2018年度: 千葉工業大学, 工学部, 教授
2011年度 – 2013年度: 千葉工業大学, 工学部, 准教授
2007年度: 名古屋工業大学, 工学研究科, 助教
2003年度 – 2006年度: 名古屋工業大学, 工学研究科, 助手
2002年度: 名古屋工業大学, 工学部, 助手
審査区分/研究分野
研究代表者
電力工学・電力変換・電気機器 / 電力工学・電気機器工学 / 電力工学・電気機器工学
研究代表者以外
小区分21010:電力工学関連 / 設計工学・機械機能要素・トライボロジー / 電子デバイス・電子機器 / 理工系 / 電子デバイス・機器工学
キーワード
研究代表者
大気圧プラズマ / ヘリウム / シミュレーション / プラズマCVD / 水素 / メタン / エキシマランプ / キセノン / 炭化水素ガス / 非平衡大気圧プラズマ … もっと見る / ハイドロカーボンプラズマ / 炭化水素プラズマ / プラズマシミュレーション / プラズマ診断 / プラズマ支援CVD / ダイヤモンドライクカーボン膜 / 容量結合型プラズマ / 容量結合プラズマ / 低温プラズマ / ナノカーボン材料 / 高周波放電プラズマ / ガス温度 / 流体モデル / 真空紫外光 / オゾナイザ / 放電シミュレーション / 誘電体バリア放電 / プラズマ / 酸素 / 容量性結合型プラズマ / 大気圧グロー放電 / モデリング / バリア放電 … もっと見る
研究代表者以外
分子動力学法 / プラズマ / プラズマシミュレーション / 電気等価回路 / 数理モデル / 細胞 / 流体モデル / 等価回路解析 / 細胞膜 / プラズマ医療 / 電界 / 電荷 / プラズマ気相蒸着 / ダイヤモンドライクカーボン / プラズマ加工 / プラズマシミュレ―ション / プロズマCVD / シリコン含有ダイヤモンドラークカーボン膜 / マイクロ波 / Si-DLC膜 / 超低摩擦 / シリコン含有ダイヤモンドライクカーボン膜 / 表面分析 / スパッタリング / プラズマCVD / トライボロジー / 低摩擦 / シリコン含有ダイヤモンドライクカーボン / 超高速成膜 / oversized waveguide / Gunn diode / short millimeter wave / harmonic generation / special power combining / オーバーサイズ導波管 / ガンダイオード / 短ミリ波 / 周波数逓倍 / 空間電力合成 / 分子動力学 / 流体シミュレーション / プラズマ気液界面現象 / 非熱平衡大気圧プラズマ / 大気圧グロー放電 / ナノ粒子生成 / プラズマ-液体界面 / 電解反応 / 金属ナノ粒子生成 / プラズマ-液体界面 / 直流グロー放電 / 大気圧プラズマ / 自己組織化 / 金属ナノ粒子 / 古典分子動力学法 / プラズマ電気化学 / 気液界面プラズマ / 非平衡大気圧プラズマ / 高周波伝送線路 / 光励起プラズマ / 半導体 / ドップラー効果 / 周波数変換 隠す
  • 研究課題

    (11件)
  • 研究成果

    (122件)
  • 共同研究者

    (11人)
  •  プラズマ刺激細胞における膜層間電気システムの数理モデリング

    • 研究代表者
      内田 諭
    • 研究期間 (年度)
      2024 – 2026
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分21010:電力工学関連
    • 研究機関
      東京都立大学
  •  プラズマ誘起電荷・電界による生体膜輸送変移の数値的探索

    • 研究代表者
      内田 諭
    • 研究期間 (年度)
      2021 – 2023
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分21010:電力工学関連
    • 研究機関
      東京都立大学
  •  硬質炭素膜の超高速成膜と超低摩擦の両立に向けた学術基盤の構築

    • 研究代表者
      上坂 裕之
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2018
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      設計工学・機械機能要素・トライボロジー
    • 研究機関
      岐阜大学
  •  大気圧ハイドロカーボンプラズマ支援CVDによるDLC成膜技術開発に関する基礎研究研究代表者

    • 研究代表者
      小田 昭紀
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2016
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      電力工学・電力変換・電気機器
    • 研究機関
      千葉工業大学
  •  大気圧プラズマ支援CVDによるナノカーボン材料創製技術の最適化に関する基礎的研究研究代表者

    • 研究代表者
      小田 昭紀
    • 研究期間 (年度)
      2011 – 2013
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      電力工学・電力変換・電気機器
    • 研究機関
      千葉工業大学
  •  粒子輸送と熱的作用を考慮したプラズマと物質の相互ダイナミクスの解析

    • 研究代表者
      杤久保 文嘉
    • 研究期間 (年度)
      2009 – 2013
    • 研究種目
      新学術領域研究(研究領域提案型)
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      首都大学東京
  •  次世代プラズマプロセス用大気圧放電の安定性に関する研究-放電ガス温度の影響-研究代表者

    • 研究代表者
      小田 昭紀
    • 研究期間 (年度)
      2006 – 2007
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      電力工学・電気機器工学
    • 研究機関
      名古屋工業大学
  •  大面積処理用大気圧グロー放電の最適化に関する基礎研究 -放電ガス種依存性-研究代表者

    • 研究代表者
      小田 昭紀
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2005
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      電力工学・電気機器工学
    • 研究機関
      名古屋工業大学
  •  オーバーサイズ導波管を用いた短ミリ波帯空間電力合成器の研究

    • 研究代表者
      ベイ ジョンソク (べい 鐘石)
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2005
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      名古屋工業大学
  •  半導体中の光励起プラズマを利用した周波数アップコンバータの研究

    • 研究代表者
      べい 鐘石 (ペイ 鐘石)
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2003
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      名古屋工業大学
      東北大学
  •  Xeエキシマランプの高性能化を目的としたバリア放電のモデリングに関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      小田 昭紀
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2003
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      電力工学・電気機器工学
    • 研究機関
      名古屋工業大学

すべて 2024 2023 2022 2019 2018 2017 2016 2015 2014 2013 2012 2008 2007 2006 2005 2004 その他

すべて 雑誌論文 学会発表 図書

  • [図書] 現代 電気電子材料2013

    • 著者名/発表者名
      山本秀和,小田昭紀
    • 総ページ数
      189
    • 出版者
      コロナ社
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560325
  • [図書] 現代電気電子材料2013

    • 著者名/発表者名
      山本秀和, 小田昭紀
    • 総ページ数
      189
    • 出版者
      コロナ社
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560325
  • [雑誌論文] Formation of diamond-like carbon film using high-power impulse magnetron sputtering2019

    • 著者名/発表者名
      Iga Kazunori、Oda Akinori、Kousaka Hiroyuki、Ohta Takayuki
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 672 ページ: 104-108

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2019.01.005

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K03602, KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [雑誌論文] 高周波駆動型非平衡大気圧Heプラズマ基礎特性に及ぼす不純物N 2濃度の影響2017

    • 著者名/発表者名
      小森 郷平,小田 昭紀
    • 雑誌名

      電気学会論文誌A(基礎・材料・共通部門誌)

      巻: 137 ページ: 570-576

    • NAID

      130006110513

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [雑誌論文] Noncontact measurement of substrate temperature by optical low-coherence interferometry in high-power pulsed magnetron sputtering2017

    • 著者名/発表者名
      Hattori Katsuhiro、Ohta Takayuki、Oda Akinori、Kousaka Hiroyuki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 57 号: 1S ページ: 01AC03-01AC03

    • DOI

      10.7567/jjap.57.01ac03

    • NAID

      210000148541

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [雑誌論文] Numerical Analysis of Substrate-Incident Carbon Flux in Low-Pressure Radio-Frequency CH4 Plasmas for Deposition of Diamond-Like Carbon Films2015

    • 著者名/発表者名
      A. Oda and H. Kousaka
    • 雑誌名

      Electronics and Communications in Japan

      巻: 98 号: 9 ページ: 31-39

    • DOI

      10.1002/ecj.11727

    • NAID

      130003382671

    • 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420247
  • [雑誌論文] ダイヤモンドライクカーボン成膜用低圧高周波CH<sub>4</sub>プラズマにおける基板への入射炭素フラックスに関する数値解析2014

    • 著者名/発表者名
      小田昭紀,上坂裕之
    • 雑誌名

      電気学会論文誌. A

      巻: 134 号: 1 ページ: 53-59

    • DOI

      10.1541/ieejfms.134.53

    • NAID

      130003382671

    • ISSN
      0385-4205, 1347-5533
    • 言語
      日本語
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560325
  • [雑誌論文] Evolution of Hydride Components Generated by Hydrogen Plasma Irradiation of a Si(110) Surface Investigated With In Situ Infrared Absorption Spectroscopy in Multiple Internal Reflection Geometry2013

    • 著者名/発表者名
      M. Shinohara, Y. Takami, S. Takabayashi, A. Oda, Y. Matsuda, H. Fujiyama
    • 雑誌名

      IEEE Trans. Plasma Sci.

      巻: 41 号: 8 ページ: 1878-1883

    • DOI

      10.1109/tps.2013.2263850

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560325, KAKENHI-PROJECT-23654203, KAKENHI-PUBLICLY-24110716, KAKENHI-PROJECT-24340144, KAKENHI-PUBLICLY-25104720
  • [雑誌論文] Numerical analysis of pressure dependence on carbon nanotube growth in CH_4/H_2 plasmas2008

    • 著者名/発表者名
      A. Oda
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (出版決定済)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18760214
  • [雑誌論文] Numerical Analysis of Fundamental Discharge Properties in Radio-Frequency and Atmospheric-Pressure Glow Discharges in Argon2006

    • 著者名/発表者名
      Akinori Oda
    • 雑誌名

      Proceedings of 8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology and 19th Symposium on Plasma Science for Materials

      ページ: 1-1

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18760214
  • [雑誌論文] A simulation of atmospheric-pressure capacitive discharges in Ar2006

    • 著者名/発表者名
      A.Oda
    • 雑誌名

      Proceedings of 13th Asian Conference on Electrical Discharge (ACED)

      ページ: 1-12

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18760214
  • [雑誌論文] 大気圧容量性結合Heフラズマにおけるガス温度上昇機構の数値解析2006

    • 著者名/発表者名
      小田昭紀
    • 雑誌名

      第53回応用物理学関係連合講演会講演予稿集 1巻

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16760224
  • [雑誌論文] Modeling of Atmospheric-Pressure and Radio-Frequency Discharge Plasmas in Helium - Influence of a Small Admixture of Oxygen on Discharge Properties -2005

    • 著者名/発表者名
      T.Hasegawa, A.Oda, T.Kimura, Y.Oshikane
    • 雑誌名

      Proceedings of Plasma Science Symposium 2005 / The 22nd Symposium on Plasma Processing

      ページ: 113-114

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16760224
  • [雑誌論文] One-Dimensional Fluid Modeling of Radio Frequncy and Atmospheric pressure Glow Discharges in He/O2 Gas Mixture2005

    • 著者名/発表者名
      A.Oda
    • 雑誌名

      Proc.of 27th International Conference on Phemomena in Ionised Gases

      ページ: 17-235

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16760224
  • [雑誌論文] Simulation of Xe Barrier Discharges for Excimer Lamp - Effect of Higher Driving Frequency on Lamp Characteristics -2005

    • 著者名/発表者名
      A.Oda, H.Akashi, Y.Sakai
    • 雑誌名

      Proceedings of Plasma Science Symposium 2005 / The 22nd Symposium on Plasma Processing

      ページ: 115-116

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16760224
  • [雑誌論文] He大気圧・高周波放電プラズマ特性へ及ぼすガス温度の影響2005

    • 著者名/発表者名
      小田昭紀
    • 雑誌名

      第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集 1巻

      ページ: 103-103

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16760224
  • [雑誌論文] Simulation of Radio-Frequency Helium Discharge Plasmas at Atmospheric Pressure2004

    • 著者名/発表者名
      A.Oda, T.Hasegawa, T.Kimura, Y.Oshikane
    • 雑誌名

      Proceedings of 57th Gaseous Electronics Conference

      ページ: 72-72

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16760224
  • [雑誌論文] Analysis of Discharge Properties in Atmospheric Pressure and Low Frequency 02 Barrier Discharges2004

    • 著者名/発表者名
      A.Oda, T.Kimura
    • 雑誌名

      Proceedings of 57th Gaseous Electronics Conference

      ページ: 63-63

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16760224
  • [雑誌論文] Modeling of multi filament discharges in dielectric barrier discharge excimer lamp2004

    • 著者名/発表者名
      H.Akashi, A.Oda, Y.Sakai
    • 雑誌名

      Proceedings of 57th Gaseous Electronics Conference

      ページ: 14-14

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16760224
  • [学会発表] Numerical Analysis of Current Propagation into Cells by Nonthermal Atmospheric Pressure Plasma Irradiation2024

    • 著者名/発表者名
      T. Ishihara, T. Nakajima, S. Sasaki, I. Yagi, K. Tachibana, S. Uchida and A. Oda
    • 学会等名
      6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2024)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01317
  • [学会発表] 低温大気圧プラズマ照射面積変化に伴う細胞への電流伝搬の数値解析2024

    • 著者名/発表者名
      石原 卓也, 中島 大雅, 佐々木 瞬, 八木 一平, 立花 孝介, 内田 諭, 小田昭紀
    • 学会等名
      第41回プラズマプロセシング研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01317
  • [学会発表] 低温大気圧プラズマと細胞の電気的相互作用に及ぼす駆動周波数依存性の数値解析2024

    • 著者名/発表者名
      石原 卓也, 佐々木 瞬, 中島 大雅, 八木 一平, 立花 孝介, 内田 諭, 小田 昭紀
    • 学会等名
      第71回 応用物理学会 春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01317
  • [学会発表] Permeation characteristics of long-lifetime reactive oxygen species through biological membranes under superimposed electric field generated by the irradiation of cold atmospheric pressure plasma2023

    • 著者名/発表者名
      Ryo Ninomiya, Kosuke Takami, Ippei Yagi, Satoshi Uchida, Kosuke Tachibana, Akinori Oda, Takehiko Sato
    • 学会等名
      20th International Conference on Flow Dynamics (ICFD2023)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01317
  • [学会発表] 外部電界下におけるPOPC脂質二重層の膜透過性に関する分子動力学シミュレーション2023

    • 著者名/発表者名
      立花 孝介,岩田 優太,髙見 幸亮,八木 一平,小田 昭紀,内田 諭
    • 学会等名
      第17回分子科学討論会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01317
  • [学会発表] バイオ応用を目的とした大気圧Heプラズマの細胞に対する電気的作用の数値解析2023

    • 著者名/発表者名
      杉野 拓海,佐々木 瞬,小田 昭紀,山内 翔太,八木 一平,内田 諭,立花 孝介
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01317
  • [学会発表] 低温大気圧Heプラズマ照射による細胞へ及ぼす電気的作用の数値解析2023

    • 著者名/発表者名
      小田 昭紀, 佐々木 瞬, 石原 卓也, 中島 大雅, 八木 一平, 立花 孝介, 内田 諭
    • 学会等名
      第84回 応用物理学会 秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01317
  • [学会発表] Permeation characteristics of hydrogen peroxide through biological membranes by applying electric field2023

    • 著者名/発表者名
      Yuta Iwata, Kosuke Takami, Ippei Yagi, Kosuke Tachibana, Akinori Oda, Takehiko Sato and Satoshi Uchida
    • 学会等名
      The XXXVth International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG XXXV)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01317
  • [学会発表] 大気圧プラズマ照射による細胞への電気的応答の数値解析2023

    • 著者名/発表者名
      小田 昭紀, 石原 卓也, 中島 大雅, 八木 一平, 立花 孝介, 内田 諭
    • 学会等名
      2023年度電気学会 基礎・材料・共通部門(A部門)大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01317
  • [学会発表] 大気圧低温プラズマ由来の電界が細胞膜の構造および活性種の膜透過性に与える影響に関する分子動力学シミュレーション2023

    • 著者名/発表者名
      立花 孝介,髙見 幸亮,二宮 諒,八木 一平,小田 昭紀,内田 諭
    • 学会等名
      第33回日本MRS年次大会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01317
  • [学会発表] Effects of Superimposed Electric Field on Structure and Permeability of Biological Membrane Investigated by Molecular Dynamics Simulation2023

    • 著者名/発表者名
      K. Tachibana, K. Takami, R. Ninomiya, I. Yagi, A. Oda, S. Uchida
    • 学会等名
      20th International Conference on Flow Dynamics (ICFD2023)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01317
  • [学会発表] 電界印加による過酸化水素の生体膜透過特性2023

    • 著者名/発表者名
      岩田 優太, 高見 幸亮, 八木 一平, 立花 孝介, 小田 昭紀, 佐藤 岳彦, 内田 諭
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01317
  • [学会発表] 大気圧低温プラズマ照射による細胞への電気的相互作用に関する数値解析2023

    • 著者名/発表者名
      小田 昭紀, 石原 卓也, 中島 大雅, 立花 孝介, 八木 一平, 内田 諭
    • 学会等名
      第33回日本MRS年次大会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01317
  • [学会発表] 電界と電荷による活性酸素種の生体膜透過特性の変化2022

    • 著者名/発表者名
      岩田 優太, 山内 翔太, 八木 一平, 立花 孝介, 小田 昭紀, 佐藤 岳彦, 内田 諭
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01317
  • [学会発表] 細胞への電気穿孔を目的とした大気圧He/N2グロー放電における印加電圧依存性の数値解析2022

    • 著者名/発表者名
      佐々木 瞬,藤田 諒,山内 翔太,内田 諭,立花 孝介,小田 昭紀
    • 学会等名
      令和4年 電気学会 基礎・材料・共通部門大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01317
  • [学会発表] プラズマ照射が生体細胞へ及ぼす影響の解明に向けた大気圧He/N2グロー放電のシミュレーション2022

    • 著者名/発表者名
      佐々木 瞬, 藤田 諒, 山内 翔太, 内田 諭, 立花 孝介, 小田 昭紀
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01317
  • [学会発表] 医療応用を目的とした大気圧Heプラズマの数値解析2022

    • 著者名/発表者名
      杉野 拓海, 佐々木 瞬, 山内 翔太,八木 一平,立花 孝介,内田 諭,小田 昭紀
    • 学会等名
      2022年 放電学会年次大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01317
  • [学会発表] Changes in the permeation characteristics of ROS through biological membranes by discharge plasma-Induced electric field2022

    • 著者名/発表者名
      Yuta Iwata, Ippei Yagi, Kosuke Tachibana, Akinori Oda, Takehiko Sato, Satoshi Uchida
    • 学会等名
      75th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01317
  • [学会発表] Si含有DLC成膜用テトラメチルシランプラズマ特性の計測-プラズマ基礎特性のガス流量依存性- (12a-PB1-92019

    • 著者名/発表者名
      大野 祐也,永井 雅之,小田 昭紀,太田 貴之,上坂 裕之
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] 容量結合型RFプラズマCVD法によるSi含有DLC膜の作製およびその評価 (19A-24)2019

    • 著者名/発表者名
      永井雅之, 大野祐也, 上坂裕之, 太田貴之, 小田昭紀
    • 学会等名
      表面技術協会 139回講演大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] 低圧RF容量結合型炭化水素プラズマによるDLC膜堆積モデルの構築 (11a-PA5-12)2019

    • 著者名/発表者名
      小川 慎, 小田 昭紀, 太田貴之, 上坂 裕之
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] アモルファスカーボン成膜用大気圧 He/CH 4 プラズマの数値解析 (1-085)2019

    • 著者名/発表者名
      小嶋 正宏,大木 一真, 小田 昭紀
    • 学会等名
      平成31年電気学会全国大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] HiPIMSを用いたDLC成膜とその気相診断2018

    • 著者名/発表者名
      太田貴之、伊賀一憲、三輪 侑生、小田昭紀、上坂裕之
    • 学会等名
      電気学会 放電/プラズマ・パルスパワー合同研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] Si含有DLC成膜用テトラメチルシランプラズマの計測 (13B-03)2018

    • 著者名/発表者名
      永井雅之, 大野祐也, 上坂裕之, 太田貴之, 小田昭紀
    • 学会等名
      表面技術協会 138回講演大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] アモルファス炭素膜創製用大気圧炭化水素プラズマのシミュレーション (5-F-a1-3)2018

    • 著者名/発表者名
      小田 昭紀, 小嶋 正宏, 大木 一真 ,太田 貴之,上坂 裕之
    • 学会等名
      平成30年電気学会 基礎・材料・共通部門大会(A部門大会)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] 炭素材料創製用非平衡大気圧炭化水素プラズマのシミュレーショ2018

    • 著者名/発表者名
      大木一真,小田 昭紀,太田 貴之,上坂 裕之
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] 2元スパッタリングを用いて成膜したSi-DLC膜のSi含有量依存性 (C27)2018

    • 著者名/発表者名
      太田 貴之、三輪 侑生、伊賀 一憲、小田 昭紀、上坂 裕之
    • 学会等名
      トライボロジー会議2018秋
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリングによるSi含有DLC膜の成膜2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Miwa, A. Oda, H. Kousaka, and T. Ohta
    • 学会等名
      第28回日本MRS年次大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] Friction Property of Silicon-doped Diamond-like Carbon Film Deposited by Magnetron Sputtering2018

    • 著者名/発表者名
      Yuki Miwa, Akinori Oda, Hiroyuki Kousaka and Takayuki Ohta
    • 学会等名
      10th International Symposium on Advanced Plasma Science (Isplasma2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] Si含有DLC成膜用TMSプラズマの診断 -プラズマ基礎特性のガス圧力依存性-2018

    • 著者名/発表者名
      永井 雅之,大野 祐也,小田 昭紀,太田 貴之,上坂 裕之
    • 学会等名
      平成30年 電気学会全国大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] 二元スパッタリングで成膜されたSi含有DLC膜のトライボ特性2018

    • 著者名/発表者名
      三輪 侑生、小田 昭紀、上坂 裕之、太田 貴之
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] 炭素材料創製用非平衡大気圧炭化水素プラズマの基板入射フラックスに関する数値解析 (21p-PB1-16)2018

    • 著者名/発表者名
      小嶋 正宏, 大木 一真, 小田 昭紀, 太田 貴之, 上坂 裕之
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] Ion energy distribution in high power impulse magnetron sputtering discharge2018

    • 著者名/発表者名
      Takayuki Ohta, Akinori Oda, Hiroyuki Kousaka
    • 学会等名
      JAPAN-RUB Workshop on Plasma Science
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] 大気圧高周波Heプラズマにおける放電モードの遷移メカニズムに関する数値解析2018

    • 著者名/発表者名
      小嶋 正宏,大木 一真,小森 恭平,小田 昭紀
    • 学会等名
      平成30年 電気学会全国大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] Dependence of Si content on Si-doped DLC film deposited by using magnetron sputtering2018

    • 著者名/発表者名
      Yuki Miwa, Akinori Oda, Hiroyuki Kousaka, and Takayuki Ohta
    • 学会等名
      The 40th International Symposium on Dry Process (DPS2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] Comparison of conventional plasma carburizing and new plasma carburizing using microwave-enhanced high-density plasma generated near substrate2018

    • 著者名/発表者名
      Keiichirou NODA, Hiroyuki KOUSAKA, Noritsugu Umehara, Motoyuki Murashima, and Takayuki Tokoroyama
    • 学会等名
      10th International Symposium on Advanced Plasma Science (Isplasma2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] Si含有DLC成膜用炭化水素プラズマの診断 : プラズマ基礎特性の電力依存性2018

    • 著者名/発表者名
      大野 祐也 , 永井 雅之 , 小田 昭紀 , 太田 貴之 , 上坂 裕之
    • 学会等名
      電気学会 プラズマ/パルスパワー/放電合同研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] 質量分析及びプローブ計測によるSi含有DLC成膜用テトラメチルシランプラズマの診断 (5-F-a1-1)2018

    • 著者名/発表者名
      大野 祐也,永井 雅之,小田 昭紀,太田 貴之,上坂 裕之
    • 学会等名
      平成30年電気学会 基礎・材料・共通部門大会(A部門大会)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] Effect of Silicon Content in Diamond-Like Carbon Film Deposited by Magnetron Sputtering2018

    • 著者名/発表者名
      Yuki Miwa, Akinori Oda, Hiroyuki Kousaka, and Takayuki Ohta
    • 学会等名
      The 14th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology (APCPST 2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] FORMATION OF DIAMOND-LIKE CARBON FILM BY HIGH POWER IMPULSE MAGNETRON SPUTTERING AND PLASMA DIAGNOSTICS2018

    • 著者名/発表者名
      Takayuki Ohta, Akinori Oda, Hiroyuki Kousaka
    • 学会等名
      International workshop on plasma synthesis of nanomaterials and its applications for sensor devices
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] スパッタリングにより成膜したSi 含有DLC 膜の摩擦特性2018

    • 著者名/発表者名
      三輪侑生,小田昭紀, 上坂裕之, 太田貴之
    • 学会等名
      表面技術協会第137 回講演大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] スパッタリングを用いて成膜したDLC膜におけるSi添加効果2018

    • 著者名/発表者名
      三輪 侑生,小田 昭紀, 上坂 裕之,太田 貴之
    • 学会等名
      平成30年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリングを用いたSi 含有DLC 膜の成膜2018

    • 著者名/発表者名
      三輪侑生,小田昭紀,上坂裕之,太田貴之
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 第35回年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリングで成膜したSi-DLC 膜の摩擦特性2018

    • 著者名/発表者名
      三輪 侑生、小田 昭紀、上坂 裕之、太田 貴之
    • 学会等名
      第6回応用物理学会スチューデントチャプター(SC)東海地区学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] スパッタリングを用いたSi含有DLC膜におけるSi含有量依存性2018

    • 著者名/発表者名
      三輪侑生,小田昭紀, 上坂裕之, 太田貴之
    • 学会等名
      表面技術協会第138 回講演大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] 質量分析器によるDLC成膜用メタンプラズマの診断2018

    • 著者名/発表者名
      小川 慎,大野 祐也,小田 昭紀,太田 貴之,上坂 裕之
    • 学会等名
      平成30年 電気学会全国大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] Deposition of diamond-like carbon film using high power impulse magnetron sputtering2017

    • 著者名/発表者名
      Takayuki Ohta, Atsushi Ishikawa, Akinori Oda and Hiroyuki Kohsaka
    • 学会等名
      The XXXIIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] DLC成膜用Ar/CH4プラズマの質量分析およびプローブ診断2017

    • 著者名/発表者名
      深井駿,大野裕也,小田昭紀
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] DLC成膜用Ar/CH4プラズマの診断-プラズマ基礎特性のガス流量依存性-2017

    • 著者名/発表者名
      大野 祐也,小田 昭紀
    • 学会等名
      平成29年電気学会 基礎・材料・共通部門大会(A部門大会)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] Friction Characteristics of diamond-like carbon film formed by high power impulse magnetron sputtering2017

    • 著者名/発表者名
      ATSUSHI ISHIKAWA, TAKAYUKI OHTA, AKINORI ODA, HIROYUKI KOUSAKA
    • 学会等名
      10th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-10)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] カーボンターゲットを用いたハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリング中の粒子の挙動2017

    • 著者名/発表者名
      伊賀 一憲、太田 貴之、小田 昭紀、上坂 裕之
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] Friction property of Si-doped DLC film deposited by using dual magnetron sputtering2017

    • 著者名/発表者名
      YUKI MIWA, TAKAYUKI OHTA, AKINORI ODA, HIROYUKI KOUSAKA
    • 学会等名
      10th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-10)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリングを用いたダイヤモンドライクカーボンの成膜2017

    • 著者名/発表者名
      石川敦士,伊賀一憲,太田貴之,小田昭紀,上坂裕之
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリングを用いたダイヤモンドライクカーボン膜の形成2017

    • 著者名/発表者名
      石川 敦士、太田 貴之、小田 昭紀、上坂 裕之
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] 二元同時スパッタを用いたSi含有DLC膜の成膜2017

    • 著者名/発表者名
      三輪 侑生、太田 貴之、小田 昭紀、上坂 裕之
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] 非平衡大気圧Heグロー放電の基礎特性と径方向均一性に及ぼす不純窒素ガス濃度の影響2017

    • 著者名/発表者名
      小森郷平,小田昭紀
    • 学会等名
      2017年 第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420247
  • [学会発表] 質量分析及びプローブによるDLC成膜用炭化水素プラズマの診断2017

    • 著者名/発表者名
      大野祐也,小田昭紀
    • 学会等名
      平成29年 電気学会全国大会
    • 発表場所
      富山大学 五福キャンパス(富山県富山市)
    • 年月日
      2017-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420247
  • [学会発表] 二元同時スパッタリングを用いたシリコン含有ダイヤモンドライクカーボン成膜2017

    • 著者名/発表者名
      三輪侑生、太田貴之、小田昭紀、上坂裕之
    • 学会等名
      電気学会プラズマ研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタを用いて成膜したダイヤモンドライクカーボン膜の摩擦特性2017

    • 著者名/発表者名
      石川敦士, 太田貴之, 小田昭紀, 上坂裕之
    • 学会等名
      Plasma Conference 2017
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] 質量分析法を用いたハイパワーインパルスマグネトロンカーボンスパッタリングの診断2017

    • 著者名/発表者名
      伊賀一憲,太田貴之,小田昭紀,上坂裕之
    • 学会等名
      Plasma Conference 2017
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] DLC成膜用Ar/CH4プラズマの質量分析およびプローブ診断2017

    • 著者名/発表者名
      深井駿,大野裕也,小田昭紀
    • 学会等名
      2017年 第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420247
  • [学会発表] DLC成膜用炭化水素プラズマ基礎特性に及ぼす希釈Arガスの影響2017

    • 著者名/発表者名
      大木一真,小田昭紀
    • 学会等名
      平成29年 電気学会全国大会
    • 発表場所
      富山大学 五福キャンパス(富山県富山市)
    • 年月日
      2017-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420247
  • [学会発表] 炭素薄膜成膜用非平衡大気圧He/H2/CH4プラズマのシミュレーション2017

    • 著者名/発表者名
      大木一真,小田 昭紀,太田 貴之,上坂 裕之
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] Formation of Diamond-like Carbon Film using High Power Impulse Magnetron Sputtering2017

    • 著者名/発表者名
      Atsushi Ishikawa, Takayuki Ohta , Akinori Oda and Hiroyuki Kousaka
    • 学会等名
      ISPlasma2017 /IC-PLANTS2017
    • 発表場所
      中部大学、愛知
    • 年月日
      2017-03-01
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] 非平衡大気圧ヘリウムプラズマの均一性と温度上昇に及ぼす誘電体材料の影響2016

    • 著者名/発表者名
      小森郷平,小田昭紀
    • 学会等名
      電気学会 放電研究会
    • 発表場所
      千葉工業大学 津田沼キャンパス(千葉県習志野市)
    • 年月日
      2016-03-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420247
  • [学会発表] DLC成膜用低圧高周波炭化水素プラズマのシミュレーション -基板への入射粒子フラックスに関する検討-2016

    • 著者名/発表者名
      大木一真,小田昭紀
    • 学会等名
      2016年度 放電学会年次大会
    • 発表場所
      東京都市大学 横浜キャンパス(神奈川県横浜市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420247
  • [学会発表] Energy flux to substrate in high-power impulse magnetron sputtering measured by using optical low-coherence interferometry2016

    • 著者名/発表者名
      K. Hattori, T. Ohta, A. Oda, H. Kousaka, M. Ito
    • 学会等名
      The 69th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Bochum, Germany
    • 年月日
      2016-10-10
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] 誘電体材料特性が大気圧He/N2グロー放電基礎特性に及ぼす影響2016

    • 著者名/発表者名
      小森郷平,小田昭紀
    • 学会等名
      電気学会 平成28年基礎・材料・共通部門大会
    • 発表場所
      九州工業大学 戸畑キャンパス(福岡県北九州市)
    • 年月日
      2016-09-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420247
  • [学会発表] Axially-symmetric Three-Dimensional Fluid Modelling of Capacitively-Coupled Radio-Frequency TetraMethylSilane Plasmas for Silicon-containing Diamond-Like Carbon Thin-Films Deposition2016

    • 著者名/発表者名
      Akinori Oda, Kazuma Ohki, Satoru Kawaguchi, Kohki Satoh, Hiroyuki Kousaka and Takayuki Ohta
    • 学会等名
      15th International Conference on Plasma Surface Engineering
    • 発表場所
      Garmisch-Partenkirchen (Germany)
    • 年月日
      2016-09-12
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420247
  • [学会発表] 発光分光及び質量分析による容量結合型RF窒素プラズマの診断2016

    • 著者名/発表者名
      大野祐也,深井駿,小田昭紀
    • 学会等名
      2016年度 放電学会年次大会
    • 発表場所
      東京都市大学 横浜キャンパス(神奈川県横浜市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420247
  • [学会発表] ダイヤモンドライクカーボン成膜用低圧高周波炭化水素プラズマの二次元流体シミュレーション2016

    • 著者名/発表者名
      大木一真,小田昭紀
    • 学会等名
      電気学会 プラズマ/パルスパワー/放電合同研究会
    • 発表場所
      佐賀大学 本庄キャンパス(佐賀県佐賀市)
    • 年月日
      2016-10-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420247
  • [学会発表] Axially-symmetric Three-Dimensional Fluid Modelling of Capacitively-Coupled Radio-Frequency TetraMethylSilane Plasmas for Silicon-containing Diamond-Like Carbon Thin-Films Deposition2016

    • 著者名/発表者名
      Akinori Oda, Kazuma Ohki, Satoru Kawaguchi, Kohki Satoh, Hiroyuki Kousaka and Takayuki Ohta
    • 学会等名
      15th International Conference on Plasma Surface Engineering
    • 発表場所
      Garmisch-Partenkirchen, Germany
    • 年月日
      2016-09-15
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] 四重極質量分析法によるダイヤモンドライクカーボン成膜用炭化水素プラズマの診断2016

    • 著者名/発表者名
      深井駿,大野裕也,小田昭紀
    • 学会等名
      電気学会 プラズマ/パルスパワー/放電研究会
    • 発表場所
      佐賀大学 本庄キャンパス(佐賀県佐賀市)
    • 年月日
      2016-10-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420247
  • [学会発表] 非平衡大気圧ヘリウムプラズマのシミュレーション-誘電体特性がプラズマ基礎特性に及ぼす影響-2016

    • 著者名/発表者名
      小田昭紀,小森郷平
    • 学会等名
      電気学会 プラズマ/放電/パルスパワー合同研究会
    • 発表場所
      岩手大学 工学部 復興祈念銀河ホール(岩手県盛岡市)
    • 年月日
      2016-05-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420247
  • [学会発表] ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリングにおける基板入熱量2016

    • 著者名/発表者名
      服部 克宏、太田 貴之、小田 昭紀、上坂 裕之
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ、新潟
    • 年月日
      2016-09-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] 四重極質量分析法によるダイヤモンドライクカーボン成膜用炭化水素プラズマの診断2016

    • 著者名/発表者名
      深井駿,大野裕也,小田昭紀
    • 学会等名
      プラズマ/パルスパワー/放電研究会
    • 発表場所
      佐賀大学
    • 年月日
      2016-10-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04256
  • [学会発表] ダイヤモンドライクカーボン成膜用高周波炭化水素プラズマのシミュレーション2016

    • 著者名/発表者名
      大木一真,小田昭紀
    • 学会等名
      平成28年電気学会全国大会
    • 発表場所
      東北大学 川内北キャンパス(宮城県仙台市)
    • 年月日
      2016-03-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420247
  • [学会発表] 質量分析法によるDLC成膜用Ar/CH4プラズマの診断2016

    • 著者名/発表者名
      深井駿,小田昭紀,上坂裕之,太田貴之
    • 学会等名
      2016年第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学 大岡山キャンパス(東京都目黒区)
    • 年月日
      2016-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420247
  • [学会発表] 非平衡大気圧ヘリウムプラズマの均一性に与える誘電体の影響解析2015

    • 著者名/発表者名
      小森郷平,小田昭紀
    • 学会等名
      電気学会 基礎・材料・共通部門大会
    • 発表場所
      金沢大学 角間キャンパス(石川県金沢市)
    • 年月日
      2015-09-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420247
  • [学会発表] Diagnostics of capacitively-coupled hydrocarbon plasmas for deposition of diamond-like carbon films using quadrupole mass spectrometry and Langmuir probe2015

    • 著者名/発表者名
      A. Oda, S. Fukai, H. Kousaka and T. Ohta
    • 学会等名
      68th Annual Gaseous Electronics Conference/9th International Conference on Reactive Plasmas/33rd Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Hawaii Convention Center (Honolulu, HI, USA)
    • 年月日
      2015-10-12
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420247
  • [学会発表] Influence of dielectric materials on radial uniformity in non-equilibrium atmospheric pressure helium plasma2015

    • 著者名/発表者名
      A. Oda and K. Komori
    • 学会等名
      68th Annual Gaseous Electronics Conference/9th International Conference on Reactive Plasmas/33rd Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Hawaii Convention Center (Honolulu, HI, USA)
    • 年月日
      2015-10-12
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420247
  • [学会発表] 軸対称3次元流体モデルによる非平衡大気圧ヘリウムプラズマのシミュレーション2015

    • 著者名/発表者名
      小森郷平,小田昭紀
    • 学会等名
      電気学会 プラズマ/放電/パルスパワー合同研究会
    • 発表場所
      北海道大学 札幌キャンパス(北海道札幌市)
    • 年月日
      2015-06-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420247
  • [学会発表] ダイヤモンドライクカーボン成膜用炭化水素プラズマの質量分析およびプローブ診断2015

    • 著者名/発表者名
      深井駿,小田昭紀,上坂裕之,太田貴之
    • 学会等名
      2015年第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県名古屋市)
    • 年月日
      2015-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420247
  • [学会発表] Mass Spectrometric Study on Hydrocarbon Plasmas for Diamond-Like Carbon Coating2015

    • 著者名/発表者名
      A. Oda, S. Fukai, H. Kousaka and T. Ohta
    • 学会等名
      第25回 日本MRS年次大会
    • 発表場所
      横浜市開港記念会館 他(神奈川県横浜市)
    • 年月日
      2015-12-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420247
  • [学会発表] Effect of water vapor addition on fundamental properties in non-thermal helium plasmas at atmospheric pressure2014

    • 著者名/発表者名
      A. Oda, J. Sakashita, Y. Suda
    • 学会等名
      8th International Conference on Reactive Plasmas / 31st Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110007
  • [学会発表] Effect of water vapor addition on fundamental properties in non-thermal helium plasmas at atmospheric pressure2014

    • 著者名/発表者名
      A.Oda, et al.
    • 学会等名
      8th Int. Conf. on Reactive Plasmas
    • 発表場所
      Fukuoka,Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110007
  • [学会発表] 非平衡大気圧He/H2Oプラズマのシミュレーション -プラズマ中の粒子組成の解析-2014

    • 著者名/発表者名
      坂下准哉,小田昭紀
    • 学会等名
      平成26年電気学会全国大会シンポジウム
    • 発表場所
      愛媛大学(愛媛県)
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110007
  • [学会発表] 大気圧グロー放電のシミュレーション2014

    • 著者名/発表者名
      小田昭紀,坂下准哉
    • 学会等名
      平成26年電気学会全国大会シンポジウム
    • 発表場所
      愛媛大学(愛媛県)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110007
  • [学会発表] 水蒸気添加された非平衡大気圧ヘリウムプラズマのシミュレーション2013

    • 著者名/発表者名
      小田昭紀,坂下准哉
    • 学会等名
      電気学会プラズマ研究会
    • 発表場所
      名城大学名駅サテライト(愛知県)
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110007
  • [学会発表] 容量結合型大気圧ヘリウムプラズマ基礎特性へ及ぼす不純窒素ガス濃度の影響2013

    • 著者名/発表者名
      坂下准哉,小田昭紀
    • 学会等名
      平成25年電気学会 基礎・材料・共通部門大会
    • 発表場所
      横浜国立大学(神奈川県)
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110007
  • [学会発表] 容量結合型大気圧ヘリウムプラズマ基礎特性の不純窒素ガス依存性2013

    • 著者名/発表者名
      坂下准哉,小田昭紀
    • 学会等名
      電気学会プラズマ・パルスパワー・放電合同研究会
    • 発表場所
      まちなかキャンパス長岡(新潟県)
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110007
  • [学会発表] 水蒸気添加大気圧ヘリウムプラズマ中で生成される化学的活性種濃度に関する数値解析2013

    • 著者名/発表者名
      小田昭紀,坂下准哉
    • 学会等名
      平成25年電気学会 基礎・材料・共通部門大会
    • 発表場所
      横浜国立大学(神奈川県)
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110007
  • [学会発表] ダイヤモンドライクカーボン成膜用高周波CH4プラズマのシミュレーション2012

    • 著者名/発表者名
      小田 昭紀,上坂 裕之
    • 学会等名
      化学工学会第44回秋季大会
    • 発表場所
      東北大学 川内キャンパス(仙台)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560325
  • [学会発表] Numerical Simulation on Fundamental Properties in Low-Pressure Radio- Frequency CH_4 Plasmas for Diamond-Like Carbon Films2012

    • 著者名/発表者名
      A. Oda and H. Kousaka
    • 学会等名
      XXI Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases (ESCAMPIG)
    • 発表場所
      Viana do Castelo, Portugal(P2.8.8, 2 pages)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560325
  • [学会発表] Numerical Simulation on fundamental properties in low-pressure radio-frequency CH4 plasmas for diamond-like carbon films2012

    • 著者名/発表者名
      A. Oda and H. Kousaka
    • 学会等名
      XXI Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases (ESCAMPIG 2012)
    • 発表場所
      Viana do Castelo, Portugal
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560325
  • [学会発表] 大気圧・直流希ガスグロー放電のI-V特性の数値解析2008

    • 著者名/発表者名
      小田昭紀
    • 学会等名
      第25回プラズマプロセシング研究会
    • 発表場所
      山口県教育会館(山口)
    • 年月日
      2008-01-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18760214
  • [学会発表] 大気圧・直流Heグロー放電の流体モデリング2007

    • 著者名/発表者名
      小田昭紀
    • 学会等名
      第22回光源物性とその応用研究会
    • 発表場所
      名古屋工業大学(名古屋)
    • 年月日
      2007-12-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18760214
  • [学会発表] 1次元流体モデルによる大気圧希ガス直流グロー放電プラズマの数値シミュレーション2007

    • 著者名/発表者名
      小田昭紀
    • 学会等名
      電気学会・プラズマ研究会
    • 発表場所
      同志社大学(京都)
    • 年月日
      2007-12-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18760214
  • [学会発表] Numerical Analysis on Capacitively-Coupled RF Tetrametylsilane Plasmas for Si-Containing DLC Film Coating

    • 著者名/発表者名
      Akinori Oda, Satoru Kawaguchi, Kohki Satoh, Hiroyuki Kousaka, Takayuki Ohta
    • 学会等名
      ISPlasma2015/IC-PLANTS2015
    • 発表場所
      名古屋大学(愛知県名古屋市)
    • 年月日
      2015-03-26 – 2015-03-31
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420247
  • [学会発表] 不純窒素ガスによる容量結合型大気圧ヘリウムプラズマ基礎特性への影響

    • 著者名/発表者名
      坂下准哉, 小田昭紀
    • 学会等名
      2013年放電学会年次大会
    • 発表場所
      首都大学東京(東京都)
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110007
  • [学会発表] Computational Study on Fundamental Properties in Capacitively-Coupled Radio-Frequency Tetrametylsilane Plasmas for Diamond-Like Carbon Film Coatings

    • 著者名/発表者名
      Akinori Oda, Satoru Kawaguchi, Kohki Satoh, Hiroyuki Kousaka, Takayuki Ohta
    • 学会等名
      2014 MRS Fall Meeting & Exhibit
    • 発表場所
      Boston, Massachusetts (USA)
    • 年月日
      2014-11-30 – 2014-12-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420247
  • [学会発表] Numerical Simulation on Spatiotemporal Behavior of Charged-Species in Tetrametylsilane Plasmas for Diamond-Like Carbon Coating

    • 著者名/発表者名
      Akinori Oda, Satoru Kawaguchi, Kohki Satoh, Hiroyuki Kousaka and Takayuki Ohta
    • 学会等名
      Plasma Conference 2014 (PLASMA2014)
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • 年月日
      2014-11-18 – 2014-11-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420247
  • [学会発表] DLC成膜用容量結合型高周波テトラメチルシランプラズマのシミュレーション

    • 著者名/発表者名
      小田昭紀,川口悟,佐藤孝紀,上坂裕之,太田貴之
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道札幌市)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420247
  • 1.  内田 諭 (90305417)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 18件
  • 2.  べい 鐘石 (20165525)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  木村 高志 (60225042)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  石川 亮 (30333892)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  立花 孝介 (10827314)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 18件
  • 6.  杤久保 文嘉 (90244417)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  白井 直機 (80552281)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  上坂 裕之 (90362318)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 41件
  • 9.  莅戸 立夫 (00261149)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  太田 貴之 (10379612)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 42件
  • 11.  村島 基之 (70779389)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 1件

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