永野隆敏 Nagano Takatoshi

研究者番号	70343621
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 茨城大学, 応用理工学野, 講師
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2017年度 – 2023年度: 茨城大学, 理工学研究科(工学野), 講師 2012年度 – 2017年度: 茨城大学, 工学部, 講師
審査区分/研究分野	研究代表者薄膜・表面界面物性研究代表者以外小区分26050:材料加工および組織制御関連 / 複合材料・表界面工学 / 中区分26:材料工学およびその関連分野 / 材料加工・組織制御工学 / 構造・機能材料
キーワード	研究代表者第一原理計算 / β-FeSi2 / 偏析研究代表者以外粒子法 / 熱電変換 / 相変態 / 抵抗率 / 接合強度 / Cu-Al / 異種金属間接合 … もっと見る / 回復・再結晶 / 合金相 / 金属間化合物相 / 摩擦撹拌接 / Cu-Al異種金属間接合 / 軟磁気特性 / 中性子回折 / 集合組織 / パーメンジュール合金 / デバイス設計 / 構造・機能材料 / 熱伝達係数 / ドーピング / 多孔質 / 接合界面 / 孔径 / ポロシティ / 多孔質材料 / 拡散接合 / フェーズフィールド法 / 粒子法シミュレーション / 一方向凝固 / 多孔質熱電材料 / シミュレーション / その場観察 / 界面構造 / 超音波接合 / 透過型電子顕微鏡 / バンド構造 / ナノ構造化熱電材料 / ナノ材料 / ボールミル / フォノン散乱 / キャリア密度 / 組織制御 / 熱電変換材料 / 複合組織 / 固溶度 / ギブス-トムソン効果 / 熱伝導率 / 状態図 / ナノ構造 / 熱電特性 / 低ひずみ / TSV / 低歪 / 化合物 / 結晶粒径 / 3次元実装 / 不純物 / Cuめっき / 低抗率 / ３次元実装 / Cu-TSV / 配線評価用TEG / パルスめっき技術 / 配線抵抗率 / 添加剤フリーめつき技術 / 超高純度めっき材料 / ULSI / 微細構造 / 微量不純物 / Cuの高純度化 / TEG / 分子動力学シミュレーション / 革新的高導電性 / 超高純度めっき材 / 添加剤フリー / Cu 配線 / 収差補正STEM / クレヴァス / Ru膜 / 添加剤フリーめっき / 収差補正TEM / 粒界不純物 / 超高純度硫酸銅 / Cu配線 / LSI / 情報材料 / 電子隠す

摩擦撹拌接合を用いた異種金属薄板の接合技術に関する検討
- 研究代表者
  
  田代優
- 研究期間 (年度)
  2021 – 2024
- 研究種目
  
  挑戦的研究(萌芽)
- 審査区分
  
  中区分26:材料工学およびその関連分野
- 研究機関
  茨城大学
表面誘起再結晶プロセスに基づく軟磁性パーメンジュール合金の革新
- 研究代表者
  
  佐藤成男
- 研究期間 (年度)
  2020 – 2023
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分26050:材料加工および組織制御関連
- 研究機関
  茨城大学
超音波接合における表面-界面遷移過程の動的直視
- 研究代表者
  
  岩本知広
- 研究期間 (年度)
  2018 – 2021
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分26050:材料加工および組織制御関連
- 研究機関
  茨城大学
立体的熱界面制御と新しい高効率熱電変換システム
- 研究代表者
  
  池田輝之
- 研究期間 (年度)
  2017 – 2019
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  複合材料・表界面工学
- 研究機関
  茨城大学
高エネルギー非平衡状態を利用した熱電材料のナノ構造化と新機能
- 研究代表者
  
  池田輝之
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2017
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  複合材料・表界面工学
- 研究機関
  茨城大学
3次元実装用低ひずみ・高アスペクト比TSV開発
- 研究代表者
  
  大貫仁
- 研究期間 (年度)
  2013 – 2015
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  材料加工・組織制御工学
- 研究機関
  茨城大学
β－ＦｅＳｉ２表面磁性発現の研究研究代表者
- 研究代表者
  
  永野隆敏
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2013
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  薄膜・表面界面物性
- 研究機関
  茨城大学
極限高純度めっきプロセスによるＣｕ配線ナノ構造制御と次世代ナノＬＳＩへの展開
- 研究代表者
  
  大貫仁
- 研究期間 (年度)
  2008 – 2012
- 研究種目
  
  基盤研究(S)
- 研究分野
  
  構造・機能材料
- 研究機関
  茨城大学

すべて 2020 2019 2018 2016 2015 2013 2012 2011 その他

すべて雑誌論文学会発表産業財産権

[雑誌論文] ロータス型多孔質熱電材料を用いた新しい熱電変換デバイスの可能性2020
- 著者名/発表者名
  池田輝之，永野隆敏，篠嶋妥
- 雑誌名
  
  機能材料
  
  巻: 39 ページ: 52-59
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03399
[雑誌論文] 流体透過性多孔質熱電材料を用いた新しい熱電変換モジュール2020
- 著者名/発表者名
  池田輝之，佐々木誠，永野隆敏
- 雑誌名
  
  クリーンエネルギー
  
  巻: 29 ページ: 51-55
- NAID
  40022131918
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03399
[雑誌論文] Pinning Effect of Fe(ClO) and Ti(ClO) Compounds on Cu Grain Growth in Very Narrow Cu Wires2015
- 著者名/発表者名
  Takatoshi Nagano, Yashushi Sasajima, Bobuhiro Ishikawa, Kunihiro Tamahashi,Kishio Hidaka,and Jin Onuki
- 雑誌名
  
  ECS Electrochemistry Letters
  
  巻: 4
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25289258
[雑誌論文] Cs-corrected STEM Observation and Atomic Modeling of Grain Boundary Impurities of Very Narrow Cu interconnect2013
- 著者名/発表者名
  T.Nagano,Y.Sasajima,K.Tamahashi, and J.Onuki
- 雑誌名
  
  ECS Electrochemistry Letters
  
  巻: 掲載確定
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20226014
[雑誌論文] Cs-Corrected STEM Observation and Atomic Modeling of Grain Boudary Impurities of Very Narrow Cu Interconnect2013
- 著者名/発表者名
  Takatoshi Nagano,Kunihiro Tamahashi, Yasushi Sasajima, Jin Onuki
- 雑誌名
  
  ECS Electrochemistry Letters
  
  巻: 2 号: 6 ページ: H23-H25
- DOI
  10.1149/2.001306eel
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760022
[雑誌論文] Cs-Corrected STEM Observation and Atomic Modeling of Grain Boundary Impurities of Very Narrow Cu Interconnect2013
- 著者名/発表者名
  Takatoshi Naganoz, Kunihiro Tamahashi, Yasushi Sasajima and Jin Onuki
- 雑誌名
  
  ECS Electrochemistry Letters
  
  巻: 2
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760022
[雑誌論文] Cs-Corrected STEM Observation and Atomic Modeling of Grain Boundary Impurities of Very Narrow Cu Interconnect2013
- 著者名/発表者名
  永野隆敏、篠嶋妥
- 雑誌名
  
  ECS Electrochemistry Letters
  
  巻: 2巻
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760022
[雑誌論文] Searching for barrier materials for Cu wire in LSI2013
- 著者名/発表者名
  Yasushi Sasajima, Takatoshi Nagano, and Jin Onuki
- 雑誌名
  
  ECS Journal of Solid State Science and Technology
  
  巻: Vol.2 ページ: 351-356
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25289258
[雑誌論文] Electron backscatter diffraction analysis of electrodeposited nano-scale copper wires2013
- 著者名/発表者名
  T.Nagano,Y.Sasajima,K.Tamahashi, and J.Onuki
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films
  
  巻: (掲載確定)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20226014
[雑誌論文] Effect of Point Defects on Lattice Constant in MgO Thin Film Deposited on Silicon (001) Substrate2012
- 著者名/発表者名
  金子智、永野隆敏
- 雑誌名
  
  European Physical Journal - Applied Physics
  
  巻: 58巻ページ: 10302-10302
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760022
[雑誌論文] Substrate temperature dependence of electrical and structural properties of Ru films2011
- 著者名/発表者名
  Takatoshi Nagano, Kazuya Inokuchi, Kunihiro Tamahashi, Nobuhiro Ishikawa, Yasushi Sasajima, Jin Onuki
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films
  
  巻: 520 号: 1 ページ: 374-379
- DOI
  10.1016/j.tsf.2011.07.046
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20226014
[産業財産権] 熱電変換モジュール2019
- 発明者名
  池田輝之，児島孝文，永野隆敏，井手拓哉，中嶋英雄ほか
- 権利者名
  国立大学法人茨城大学，株式会社ロータスマテリアル研究所
- 産業財産権種類
  特許
- 公開番号
  2019-165137
- 出願年月日
  2019
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03399
[産業財産権] 熱電変換モジュール2018
- 発明者名
  池田輝之, 児島孝文, 永野隆敏，他
- 権利者名
  国立大学法人茨城大学, 株式会社ロータスマテリアル研究所
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2018-052531
- 出願年月日
  2018
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03399
[産業財産権] Ru膜成膜装置、金属性膜装置、Ruバリアメタル層、配線構造2016
- 発明者名
  永野隆敏、大貫　仁、篠嶋　妥、玉橋邦裕、小沼重春
- 権利者名
  永野隆敏、大貫　仁、篠嶋　妥、玉橋邦裕、小沼重春
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2016-086074
- 出願年月日
  2016-04-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25289258
[産業財産権] 超低抵抗率銅配線を有する半導体集積回路装置2015
- 発明者名
  篠嶋　妥、大貫　仁、永野隆敏
- 権利者名
  篠嶋　妥、大貫　仁、永野隆敏
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2015-038589
- 出願年月日
  2015-02-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25289258
[産業財産権] 半導体集積回路装置及びその製造方法並びに該半導体集積回路装置に使用する低抵抗率銅配線の探索方法2013
- 発明者名
  大貫、篠嶋、永野、玉橋、千葉
- 権利者名
  大貫、篠嶋、永野、玉橋、千葉
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2013-101708
- 出願年月日
  2013-05-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20226014
[産業財産権] 半導体集積回路装置及びその製造方法並びに該半導体集積回路装置に使用する低抵抗率銅配線の探索方法2013
- 発明者名
  大貫, 篠嶋, 永野, 玉橋, 千葉
- 権利者名
  茨城大学
- 産業財産権番号
  2013-101708
- 出願年月日
  2013-05-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20226014
[産業財産権] 半導体集積回路装置用バリア材の探索方法2011
- 発明者名
  篠嶋妥、大貫仁、永野隆敏、玉橋邦裕
- 権利者名
  国立大学法人茨城大学
- 産業財産権番号
  2011-030514
- 出願年月日
  2011-02-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20226014
[産業財産権] 半導体集積回路装置用ルテニウムバリア膜とその作成方法及び該ルテニウムバリア膜を有する半導体集積回路装置とその製2011
- 発明者名
  永野隆敏、大貫仁、篠嶋妥、玉橋邦裕
- 権利者名
  国立大学法人茨城大学
- 産業財産権番号
  2011-033019
- 出願年月日
  2011-02-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20226014
[学会発表] 粒子法シミュレーションにより評価した流体透過性多孔質熱電材料の熱伝達係数の形状パラメータ依存性2020
- 著者名/発表者名
  佐々木誠、橋本康孝、永野隆敏、池田輝之
- 学会等名
  日本金属学会2020年春期講演大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03399
[学会発表] 多孔質Siを用いた熱電変換デバイスの作製条件検討2020
- 著者名/発表者名
  橋本康孝、佐々木誠、日山洋平、永野隆敏、池田輝之
- 学会等名
  日本金属学会2020年春期講演大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03399
[学会発表] 多孔質Siを用いた熱電変換デバイス作製に向けて2019
- 著者名/発表者名
  橋本康孝，佐々木誠，日山洋平，永野隆敏，池田輝之
- 学会等名
  日本金属学会2019年秋期講演大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03399
[学会発表] 多孔質熱電変換材料を用いた熱電変換デバイスの作製条件の検討2019
- 著者名/発表者名
  橋本康孝，佐々木誠，永野隆敏，池田輝之
- 学会等名
  日本金属学会2019年春期講演大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03399
[学会発表] 粒子法シミュレーションによる熱流体透過型多孔質熱電材料の熱伝達係数の精度評価2019
- 著者名/発表者名
  佐々木誠，橋本康孝，永野隆敏，池田輝之
- 学会等名
  日本金属学会2019年秋期講演大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03399
[学会発表] Towards fabrication of thermoelectric conversion devices using porous thermoelectric materials2019
- 著者名/発表者名
  Yasutaka Hashimoto, Makoto Sasaki, Takatoshi Nagano, Teruyuki Ikeda
- 学会等名
  The 38th International Conference on Thermoelectrics & The 4th Asian Conference on Thermoelectrics
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03399
[学会発表] Examination of Fabrication Condition of Thermoelectric Conversion Devices Using Porous Thermoelectric Materials2019
- 著者名/発表者名
  Yasutaka HASHIMOTO, Makoto SASAKI, Yohei HIYAMA, Takatoshi NAGANO, Teruyuki IKEDA
- 学会等名
  Materials Researchmeeting 2019 (MRM2019)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03399
[学会発表] Fabrication of porous thermoelectric materials and their applications2019
- 著者名/発表者名
  Yasutaka Hashimoto, Makoto Sasaki, Yohei Hiyama, Takatoshi Nagano, Teruyuki Ikeda
- 学会等名
  The 4th International Symposium of Quantum Beam Science
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03399
[学会発表] 粒子法シミュレーションによる熱流体透過型多孔質熱電材料の熱伝達係数評価2018
- 著者名/発表者名
  佐々木誠，永野隆敏，池田輝之，井手拓哉，中嶋英雄
- 学会等名
  日本熱電学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03399
[学会発表] 粒子法シミュレーションによる熱流体透過型多孔質熱電材料の温度分布評価2018
- 著者名/発表者名
  佐々木誠, Shiva　Kumar　Singh, 永野隆敏, 池田輝之, 井手拓哉, 中嶋英雄
- 学会等名
  日本金属学会2018年春期講演大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03399
[学会発表] Porous thermoelectric materials and their applications2018
- 著者名/発表者名
  Teruyuki Ikeda, Takatoshi Nagano, Takuya Ide, Hideo Nakajima
- 学会等名
  The 35th International Conference & The 1st Asia Conference on Thermoelectrics
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03399
[学会発表] 超微細配線中のCu 粒成長に及ぼす不純物元素の影響2012
- 著者名/発表者名
  江口大貴,永野隆敏, 圓谷哲紀,篠嶋妥
- 学会等名
  日本金属学会2012年秋期大会
- 発表場所
  愛媛大学城北キャンパス
- 年月日
  2012-09-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760022
[学会発表] Cu薄膜の粒成長に及ぼす基板の影響2012
- 著者名/発表者名
  圓谷哲紀,江口大貴,永野隆敏,篠嶋妥
- 学会等名
  日本金属学会2012年秋期大会
- 発表場所
  愛媛大学城北キャンパス
- 年月日
  2012-09-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760022
[学会発表] a-SiGe/SiGe 粒界上偏析構造の第一原理計算2012
- 著者名/発表者名
  圖師優磨, 山田翔世, 永野隆敏
- 学会等名
  第73回応用物理学会学術講演
- 発表場所
  松山大学文京キャンパス
- 年月日
  2012-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760022
[学会発表] 微細Cu 配線における粒界偏析元素の直接観察と第一原理計算2012
- 著者名/発表者名
  永野隆敏, 圓谷哲紀,江口大貴,篠嶋妥
- 学会等名
  日本金属学会2012年秋期大会
- 発表場所
  愛媛大学城北キャンパス
- 年月日
  2012-09-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760022
[学会発表] a-SiGe/SiGe 粒界上偏析構造の第一原理計算2012
- 著者名/発表者名
  山田翔世, 圖師優磨, 永野隆敏
- 学会等名
  第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  早稲田大学、早稲田キャンパス
- 年月日
  2012-03-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760022
[学会発表] アモルファスSiGe/SiGe粒界上偏析構造の第一原理計算
- 著者名/発表者名
  永野隆敏
- 学会等名
  応用物理学会　シリサイド系半導体と関連物質研究会
- 発表場所
  愛媛県松山市民会館
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760022

1. 篠嶋妥 (80187137)

共同の研究課題数: 5件

共同の研究成果数: 6件
2. 大貫仁 (70315612)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 5件
3. 近藤和夫 (50250478)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
4. 稲見隆 (20091853)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
5. 太田弘道 (70168946)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
6. 田代優 (90272111)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
7. 池田輝之 (40314421)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 13件
8. 鵜殿治彦 (10282279)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
9. 三村耕司 (00091752)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
10. 石川信博 (00370312)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
11. 長南安紀 (30363740)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
12. 伊藤真二 (50370317)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
13. 打越雅仁 (60447191)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
14. 木村隆 (70370319)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
15. 青山隆 (80363737)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
16. 岩本知広 (60311635)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
17. 佐藤成男 (40509056)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
18. 一色実 (20111247)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
19. 鈴木茂 (40143028)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
20. 星川晃範 (60391257)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
21. 小貫祐介 (50746998)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

永野 隆敏 Nagano Takatoshi

研究課題

研究成果

共同研究者

摩擦撹拌接合を用いた異種金属薄板の接合技術に関する検討

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

表面誘起再結晶プロセスに基づく軟磁性パーメンジュール合金の革新

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

超音波接合における表面-界面遷移過程の動的直視

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

立体的熱界面制御と新しい高効率熱電変換システム

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

高エネルギー非平衡状態を利用した熱電材料のナノ構造化と新機能

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

3次元実装用低ひずみ・高アスペクト比TSV開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

β－ＦｅＳｉ２表面磁性発現の研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

極限高純度めっきプロセスによるＣｕ配線ナノ構造制御と次世代ナノＬＳＩへの展開

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] ロータス型多孔質熱電材料を用いた新しい熱電変換デバイスの可能性2020

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] 流体透過性多孔質熱電材料を用いた新しい熱電変換モジュール2020

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

データソース

[雑誌論文] Pinning Effect of Fe(ClO) and Ti(ClO) Compounds on Cu Grain Growth in Very Narrow Cu Wires2015

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Cs-corrected STEM Observation and Atomic Modeling of Grain Boundary Impurities of Very Narrow Cu interconnect2013

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Cs-Corrected STEM Observation and Atomic Modeling of Grain Boudary Impurities of Very Narrow Cu Interconnect2013

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Cs-Corrected STEM Observation and Atomic Modeling of Grain Boundary Impurities of Very Narrow Cu Interconnect2013

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Cs-Corrected STEM Observation and Atomic Modeling of Grain Boundary Impurities of Very Narrow Cu Interconnect2013

著者名/発表者名

永野隆敏 Nagano Takatoshi