木村隆 KIMURA Takashi

研究者番号	70370319
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2012年度: 独立行政法人物質・材料研究機構, 主任研究員 2012年度: 独立行政法人物質・材料研究機構, その他部局等, 研究員 2008年度: 茨城大学, 物質・材料研究機構, 主任研究員 2007年度: 独立行政法人物質・材料研究機構, ナノ計測センター, 主任研究員 2006年度 – 2007年度: 独立行政法人物質・材料研究機構, ナノ計測センター, 主席研究員 2006年度: 独立行政法人物質・材料研究機構, ナノ計測センター, 主幹研究員 2004年度 – 2005年度: 独立行政法人物質・材料研究機構, 分析ステーション, 主幹研究員
審査区分/研究分野	研究代表者以外金属生産工学 / 金属物性 / 構造・機能材料
キーワード	研究代表者以外 Boundary / alumina / Iime / Wustite / In-situ observation / TEM / 試料作製技術 / 酸化鉄 / 化学反応 / その場解析 … もっと見る / 固体接触技術 / ヘマタイト / 酸化カルシウム / 炭素蒸着 / 二酸化ケイ素 / 酸化アルミニウム / 界面 / アルミナ / ライム / ウスタイト / その場観察 / 透過型電子顕微鏡 / skutterudites / silicides / superconductivity / スクッテルダイト / シリサイド / 超伝導 / 配線評価用TEG / パルスめっき技術 / 配線抵抗率 / 添加剤フリーめつき技術 / 超高純度めっき材料 / ULSI / 微細構造 / 微量不純物 / Cuの高純度化 / TEG / 分子動力学シミュレーション / 革新的高導電性 / 超高純度めっき材 / 添加剤フリー / Cu 配線 / 収差補正STEM / クレヴァス / Ru膜 / 添加剤フリーめっき / 収差補正TEM / 粒界不純物 / 抵抗率 / 超高純度硫酸銅 / Cu配線 / LSI / 情報材料 / 電子隠す

極限高純度めっきプロセスによるＣｕ配線ナノ構造制御と次世代ナノＬＳＩへの展開
- 研究代表者
  
  大貫仁
- 研究期間 (年度)
  2008 – 2012
- 研究種目
  
  基盤研究(S)
- 研究分野
  
  構造・機能材料
- 研究機関
  茨城大学
固体接触による化学反応その場解析技術の開発
- 研究代表者
  
  石川信博
- 研究期間 (年度)
  2005 – 2007
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  金属生産工学
- 研究機関
  独立行政法人物質・材料研究機構
三元系C32型シリサイドの超伝導
- 研究代表者
  
  今井基晴
- 研究期間 (年度)
  2004 – 2006
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  金属物性
- 研究機関
  独立行政法人物質・材料研究機構

すべて 2010 2006 2005

すべて雑誌論文

[雑誌論文] Effect of the Purity of Plating Materials on the Reduction of Resistivity of Cu Wires for Future LSIs2010
- 著者名/発表者名
  J.Onuki, S.Tashiro, K. P. Khoo, N. Ishikawa, Y.Chonan, T.Kimura, H. Akahoshi
- 雑誌名
  
  J.Electrochem.Soc.
  
  巻: 157巻
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20226014
[雑誌論文] Reduction in resistivity of 50nm wide Cu wire by high heating rate and short time annealing utilizing misorientation energy2010
- 著者名/発表者名
  J.Onuki, K.P.Khoo, Y.Sasajima, Y.Chonan, T.Kimura
- 雑誌名
  
  J.Appl.Phys.
  
  巻: 108巻ページ: 0443021-0443027
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20226014
[雑誌論文] Effect of the Purity of Plating Materials on the Reduction of Resitivity of Cu Wires for Future LSIs2010
- 著者名/発表者名
  J.Onuki, S.Tashiro, K.P.Khoo, N.Ishikawa, Y.Chonan, T.Kimura, H.Akahoshi
- 雑誌名
  
  J.Electrochem.Soc 157
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20226014
[雑誌論文] Reduction in resistivity of 50nm wide Cu wire by high heating rate and short time annealing utilizing misorientation energy2010
- 著者名/発表者名
  J.Onuki, K.P.Khoo, Y.Sasajima, Y.Chonan, T.Kimura
- 雑誌名
  
  J.Appl.Phys. 108
  
  ページ: 0443021-7
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20226014
[雑誌論文] Effect of the Purity of Plating Materials on the Reduction of Resitivity of Cu Wires for Future LSIs2010
- 著者名/発表者名
  J.Onuki, S.Tashiro, K.P.Khoo, N.Ishikawa, Y.Chonan, T.Kimura, H.Akahoshi
- 雑誌名
  
  J.Electrochem.Soc.
  
  巻: 157
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20226014
[雑誌論文] Reduction in resistivity of 50nm wide Cu wire by high heating rate andshort time annealing utilizing misorientation energy2010
- 著者名/発表者名
  J.Onuki, K.P.Khoo, Y.SasajimaY.Chonan, T.Kimura
- 雑誌名
  
  J.Appl.Phys.
  
  巻: 108 ページ: 0443021-0443027
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20226014
[雑誌論文] Spatial resolution of a wavelength-dispersive EPMA equipped with a thermal field emission gun2006
- 著者名/発表者名
  T. Kimura
- 雑誌名
  
  Microchimica Acta 55
  
  ページ: 175-178
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17560656
[雑誌論文] Spatial resolution of a wavelength-dispersive EPMA equipped with a thermal field emission gun2006
- 著者名/発表者名
  T.Kimura
- 雑誌名
  
  Microchimica Acta 55
  
  ページ: 175-178
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17560656
[雑誌論文] Sureface Modification of Gamma-Titanum Aluminides with L12-type Tri-Aluminides by Pack Cementation2005
- 著者名/発表者名
  T. Kimura
- 雑誌名
  
  Mat. Trans. 46
  
  ページ: 820-826
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17560656
[雑誌論文] Surface Modification of Gamma-Titanum Aluminides with L12-type Tri-Aluminides by Pack Cementation2005
- 著者名/発表者名
  T.Kimura
- 雑誌名
  
  Mat.Trans. 46
  
  ページ: 820-826
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17560656

1. 石川信博 (00370312)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 3件
2. 稲見隆 (20091853)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
3. 大貫仁 (70315612)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 6件
4. 三村耕司 (00091752)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
5. 近藤和夫 (50250478)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
6. 長南安紀 (30363740)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 6件
7. 伊藤真二 (50370317)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
8. 打越雅仁 (60447191)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
9. 太田弘道 (70168946)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
10. 永野隆敏 (70343621)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
11. 篠嶋妥 (80187137)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 3件
12. 青山隆 (80363737)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
13. 田代優 (90272111)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 3件
14. 今井基晴 (90354159)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
15. 渡邉義見 (50231014)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
16. 一色実 (20111247)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

木村 隆 KIMURA Takashi

研究課題

研究成果

共同研究者

極限高純度めっきプロセスによるＣｕ配線ナノ構造制御と次世代ナノＬＳＩへの展開

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

固体接触による化学反応その場解析技術の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

三元系C32型シリサイドの超伝導

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Effect of the Purity of Plating Materials on the Reduction of Resistivity of Cu Wires for Future LSIs2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Reduction in resistivity of 50nm wide Cu wire by high heating rate and short time annealing utilizing misorientation energy2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Effect of the Purity of Plating Materials on the Reduction of Resitivity of Cu Wires for Future LSIs2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Reduction in resistivity of 50nm wide Cu wire by high heating rate and short time annealing utilizing misorientation energy2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Effect of the Purity of Plating Materials on the Reduction of Resitivity of Cu Wires for Future LSIs2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Reduction in resistivity of 50nm wide Cu wire by high heating rate andshort time annealing utilizing misorientation energy2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Spatial resolution of a wavelength-dispersive EPMA equipped with a thermal field emission gun2006

著者名/発表者名

雑誌名

説明

データソース

[雑誌論文] Spatial resolution of a wavelength-dispersive EPMA equipped with a thermal field emission gun2006

著者名/発表者名

雑誌名

説明

データソース

[雑誌論文] Sureface Modification of Gamma-Titanum Aluminides with L12-type Tri-Aluminides by Pack Cementation2005

著者名/発表者名

雑誌名

説明

データソース

[雑誌論文] Surface Modification of Gamma-Titanum Aluminides with L12-type Tri-Aluminides by Pack Cementation2005

著者名/発表者名

雑誌名

説明

データソース

木村隆 KIMURA Takashi