小貫哲平 Onuki Teppei

研究者番号	70400447
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 茨城大学, 応用理工学野, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2024年度: 茨城大学, 応用理工学野, 准教授 2018年度 – 2024年度: 茨城大学, 理工学研究科(工学野), 准教授 2010年度 – 2017年度: 茨城大学, 工学部, 准教授 2008年度: 東北大学, 大学院工学研究科, 助教 2007年度 – 2008年度: 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教 2006年度: 東北大学, 大学院・工学研究科, 助手
審査区分/研究分野	研究代表者小区分18020:加工学および生産工学関連 / 生産工学・加工学 / 応用光学・量子光工学研究代表者以外生産工学・加工学 / 小区分18020:加工学および生産工学関連 / 設計工学・機械機能要素・トライボロジー / 小区分18040:機械要素およびトライボロジー関連
キーワード	研究代表者半導体ウエハ / 結晶構造 / 研削面 / 無機材料 / 顕微Raman断層イメージング計測 / 加工損傷 / 断層計測 / Ramanイメージング / 超解像 / 非破壊計測 … もっと見る / 断層イメージング / 顕微Raman分光 / 加工変質層 / 研削加工 / シリコンウェハ / 極薄ウェハ / 白色光反射分光計測 / 低コヒーレント干渉 / 近赤外分光 / 表面性状 / 分光イメージング / 測定精度 / 干渉 / 分光 / 干渉計 / 画像計測 / 厚さ計測 / ウェハ薄片化 / グレーティングカプラ / 顕微分光 / マイクロアレ / 局在プラズモンポラリトン / フォトニック結晶 / SPRセンサー / 表面プラズモンポラリトン / マイクロアレイ / 表面プラズモン共鳴 / センサーチップ … もっと見る研究代表者以外切削 / 加工変質層 / 分子動力学 / 摩擦 / 機械工作・生産工学 / トライボロジー / 物理特性 / 機械特性 / 圧電効果 / 焦電効果 / 振動 / 結晶異方性 / ナノスクラッチ / 次世代半導体基板 / リアルタイム / 教師なし学習 / 異常検知 / スクラッチ / 環境 / 接触試験 / 原子間ポテンシャル / 摩耗 / 潤滑 / なじみ / 境界潤滑 / 振動援用切削 / きさげ / 表面テクスチャ / トライボロジ― / 硬質皮膜 / 付加加工 / 放電加工 / 材料加工・処理 / 表面粗さ / サファイヤ単結晶 / Defect free / ハイブリッド送り機構 / サファイア単結晶 / 加工変質法 / ハイブリッド化工法 / ハイブリッド加工法 / サファイ / 切削・研削加 / ハイブリッド加工 / サファイア / CMG / 切削・研削加工 / 機械強度 / 内部応力 / 自発分極 / 強誘電体 / 工具 / バリ / 静水圧 / 計算物理 / テクスチャ / ダイヤモンド工具 / レーザ加工 / ナノマイクロ加工 / 分級 / 除染・洗浄 / 砥粒加工 / 多重反射 / ツイン振動子 / 定在波 / 音響浮揚 / 分子動力学シミュレーション / インデンテーション実験 / "軟脆"材料 / "硬脆"材料 / “硬脆”材料 / “軟脆”材料 / 研削熱の影響 / 研削加工 / 機械化学融合加工 / 単結晶 / 硬脆材料 / 軟脆材料 / 陽極酸化 / 酸化チタン / 光触媒 / 引っかき / 掘起し / 色素増感太陽電池 / 転写 / 透明電極 / 表面微細構造 / 振動子 / MEMS・NEMS / エネルギー / MEMS / エレクトレット発電 / 圧電発電 / 振動発電 / 熱電発電 / バイオ発電 / マイクロ発電 / エナジー・ハーベスティング / 固体電解質 / マイクロ爆轟 / バイオ電池 / 燃料電池 / バイオテクノロジー / エネルギー・ハーベスティング / マイクロマシン / マイクロ・ナノデバイス隠す

スマート生産を革新するReal-time異常検知AIモデルの開発と実証的研究
- 研究代表者
  
  周立波
- 研究期間 (年度)
  2024 – 2026
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  茨城大学
ナノ加工・計測を駆使したダメージ層を最小化する次世代半導体基板研削機構の解明
- 研究代表者
  
  清水淳
- 研究期間 (年度)
  2023 – 2026
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  茨城大学
超解像Raman断層計測を用いた結晶損傷発生機構の解明と先端加工技術への応用研究代表者
- 研究代表者
  
  小貫哲平
- 研究期間 (年度)
  2021 – 2024
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  茨城大学
実験結果を考慮した分子動力学解析の新たな試みによる弱点克服とトライボ現象の解明
- 研究代表者
  
  清水淳
- 研究期間 (年度)
  2020 – 2022
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分18040:機械要素およびトライボロジー関連
- 研究機関
  茨城大学
微小振動援用切削テクスチャによるきさげ加工の置換可能性の検討
- 研究代表者
  
  山本武幸
- 研究期間 (年度)
  2019 – 2021
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  茨城大学
ガス雰囲気中走査型マイクロ放電付加加工による硬質膜テクスチャコーテッド工具の開発
- 研究代表者
  
  山本武幸
- 研究期間 (年度)
  2016 – 2018
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  茨城大学
トライボ圧縮静水圧による局所的材料硬化を活用した高品位切削法の新開発
- 研究代表者
  
  清水淳
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2017
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  設計工学・機械機能要素・トライボロジー
- 研究機関
  茨城大学
物理特性を能動的に利用した機能材料高品位加工技術の探索
- 研究代表者
  
  周立波
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2016
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  茨城大学
単結晶サファイアの「機械＋化学」ハイブリッド先進加工および評価技術の開発
- 研究代表者
  
  周立波
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2018
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  茨城大学
ピコ秒レーザによる単結晶ダイヤモンド工具刃先成形とテクスチャリングによる長寿命化
- 研究代表者
  
  山本武幸
- 研究期間 (年度)
  2013 – 2015
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  茨城大学
2次元同時分光イメージング計測による大径極薄<10umウェハ機上全面厚さ計測技術研究代表者
- 研究代表者
  
  小貫哲平
- 研究期間 (年度)
  2013 – 2015
- 研究種目
  
  若手研究(A)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  茨城大学
複雑形状管内の非接触駆動研磨除染方式の考案と装置の開発に関する研究
- 研究代表者
  
  周立波
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2013
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  茨城大学
“軟脆”特徴を持つ高機能材料の無欠陥表面創成加工技術と評価技術に関する研究
- 研究代表者
  
  周立波
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2013
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  茨城大学
ナノ切削金型を用いた微小転写加工の高機能色素増感太陽電池開発への応用
- 研究代表者
  
  山本武幸
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2012
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  茨城大学
ナノ・マイクロ・ダブル掘起しテクスチャによる高機能光触媒膜の開発
- 研究代表者
  
  清水淳
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2012
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  設計工学・機械機能要素・トライボロジー
- 研究機関
  茨城大学
表面プラズモン共鳴センサーのチップ内高集積配置に関する研究開発研究代表者
- 研究代表者
  
  小貫哲平
- 研究期間 (年度)
  2006 – 2008
- 研究種目
  
  若手研究(A)
- 研究分野
  
  応用光学・量子光工学
- 研究機関
  東北大学
ナノエネルギーシステム創生の研究
- 研究代表者
  
  桑野博喜
- 研究期間 (年度)
  2006 – 2010
- 研究種目
  
  学術創成研究費
- 研究機関
  東北大学

[図書] MEMSINEMS工学全集2009
- 著者名/発表者名
  小貫哲平(分担)
- 総ページ数
  19
- 出版者
  テクノシステム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[図書] MEMS/NEMS工学全集2009
- 著者名/発表者名
  小貫哲平
- 出版者
  テクノシステム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[雑誌論文] 顕微ラマン断層イメージングによるワイドバンドギャップ半導体ウエハ加工変質層観測,2024
- 著者名/発表者名
  小貫哲平，柴教一郎，黒田隼乃介，茂垣有亮，尾嶌裕隆，清水淳，周立波
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 68 ページ: 202-207
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[雑誌論文] ロータリインフィード研削におけるウエハ温度の解析および評価2024
- 著者名/発表者名
  塩見山太郎, 髙橋清樹, 周立波，清水淳，小貫哲平，尾嶌裕隆, 金子和暉
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 68 ページ: 140-144
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K26006
[雑誌論文] 顕微Raman断層イメージングによるワイドバンドギャップ半導体ウエハ加工変質層観測 -半導体ウエハ加工変質層の非破壊計測2024
- 著者名/発表者名
  小貫哲平
- 雑誌名
  
  光アライアンス
  
  巻: 35 ページ: 1-4
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[雑誌論文] シリコンCMPの分子動力学シミュレーションにおける化学的作用のモデル化2023
- 著者名/発表者名
  金子和暉、橋村紀香、清水淳、周立波、小貫哲平、尾嶌裕隆
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 67 号: 8 ページ: 452-457
- DOI
  10.11420/jsat.67.452
- ISSN
  0914-2703, 1880-7534
- 年月日
  2023-08-01
- 言語
  日本語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K26006
[雑誌論文] Abrasive wear damages observation in engineering ceramics using micro-Raman tomography2023
- 著者名/発表者名
  Teppei ONUKI, Kazuki KANEKO, Hirotaka OJIMA, Jun SHIMIZU and Libo ZHOU
- 雑誌名
  
  Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing
  
  巻: 17 号: 1 ページ: JAMDSM0009-JAMDSM0009
- DOI
  10.1299/jamdsm.2023jamdsm0009
- ISSN
  1881-3054
- 言語
  英語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[雑誌論文] 振動援用切削でテクスチャ加工した圧痕状パターン周期配置型金属面の乾式すべり特性2023
- 著者名/発表者名
  清水　淳，山本武幸，金子和暉，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 67 ページ: 218-223
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[雑誌論文] Investigation of nanoscratch anisotropy of C-plane sapphire wafer using friction force microscope2022
- 著者名/発表者名
  Wangpiao Lin, Jun Shimizu, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 73 ページ: 51-62
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2021.08.011
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235, KAKENHI-PROJECT-23K20906
[雑誌論文] 顕微Raman断層イメージングによる電子材料・セラミックス材料研削加工面の品質検査技術2022
- 著者名/発表者名
  小貫哲平
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 88 号: 7 ページ: 551-555
- DOI
  10.2493/jjspe.88.551
- ISSN
  0912-0289, 1882-675X
- 年月日
  2022-07-05
- 言語
  日本語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[雑誌論文] Analysis of Nanoscratch Mechanism of C-Plane Sapphire with the Aid of Molecular Dynamics Simulation of Hcp Crystal2021
- 著者名/発表者名
  Wangpiao Lin, Naohiko Yano, Jun Shimizu, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 雑誌名
  
  Nanomaterials
  
  巻: 11 号: 7 ページ: 1739-1739
- DOI
  10.3390/nano11071739
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235, KAKENHI-PROJECT-23K20906
[雑誌論文] Chemo-mechanical grinding by applying grain boundary cohesion fixed abrasive for monocrystal sapphire2021
- 著者名/発表者名
  Wu Ke、Touse Daichi、Zhou Libo、Lin Wangpiao、Shimizu Jun、Onuki Teppei、Yuan Julong
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 70 ページ: 110-116
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2021.01.015
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[雑誌論文] Friction Characteristics of Mechanically Microtextured Metal Surface in Dry Sliding2020
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Tomotaka Nakayama, Kouta Watanabe, Takeyuki Yamamoto, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Libo Zhou
- 雑誌名
  
  Tribology International
  
  巻: 149 ページ: 105634-105634
- DOI
  10.1016/j.triboint.2019.02.042
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102, KAKENHI-PROJECT-20K04235
[雑誌論文] ロータリ型インフィード平面研削メカニズムに関する研究2019
- 著者名/発表者名
  石橋憲，月井裕太，蛯名雄太郎，周立波，清水淳，小貫哲平，山本武幸, 尾嶌裕隆
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 63 号: 1 ページ: 31-35
- DOI
  10.11420/jsat.63.31
- NAID
  130007670937
- ISSN
  0914-2703, 1880-7534
- 年月日
  2019-01-01
- 言語
  日本語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[雑誌論文] Friction Characteristics of Mechanically Microtextured Metal Surface in Dry Sliding2019
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Tomotaka Nakayama, Kouta Watanabe, Takeyuki Yamamoto, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Libo Zhou
- 雑誌名
  
  Tribology International
  
  巻: 印刷中
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[雑誌論文] 実験とシミュレーションによる砥粒径のばらつきがウエハ研削面に与える影響の調査2018
- 著者名/発表者名
  蛯名雄太郎, 前崎智博, 周立波, 清水淳, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 乾正知
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 84 号: 7 ページ: 640-645
- DOI
  10.2493/jjspe.84.640
- NAID
  130007393958
- ISSN
  0912-0289, 1882-675X
- 年月日
  2018-07-05
- 言語
  日本語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06075, KAKENHI-PROJECT-15H02213
[雑誌論文] Study on the finishing capability and abrasives-sapphire interaction in dry chemo-mechanical-grinding (CMG) process2018
- 著者名/発表者名
  Wu Ke、Zhou Libo、Onuki Teppei、Shimizu Jun、Yamamoto Takeyuki、Yuan Julong
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 52 ページ: 451-457
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2018.02.007
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[雑誌論文] Theoretical analysis on effects of grain size variation2017
- 著者名/発表者名
  Libo Zhou, Yutaro Ebina1, Ke Wu, Jun Shimizu, Teppei Onuki
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 印刷中
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[雑誌論文] Study on the potential of chemo-mechanical-grinding (CMG) process of sapphire wafer2017
- 著者名/発表者名
  Ke Wu, Libo Zhou, Jun Shimizu, Teppei Onuki, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima and Julong Yuan
- 雑誌名
  
  The International Journal of Advanced Manufacturing Technology
  
  巻: 90 号: 5-8 ページ: 1-8
- DOI
  10.1007/s00170-016-9836-1
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213, KAKENHI-PROJECT-15K13840
[雑誌論文] Theoretical analysis on effects of grain size variation2017
- 著者名/発表者名
  Libo Zhou, Yutaro Ebina1, Ke Wu, Jun Shimizu, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 印刷中
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840
[雑誌論文] Theoretical analysis on effects of grain size variation2017
- 著者名/発表者名
  Zhou Libo、Ebina Yutaro、Wu Ke、Shimizu Jun、Onuki Teppei、Ojima Hirotaka
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 50 ページ: 27-31
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2017.04.010
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of a Cutting Method by Making Use of Localized Hydrostatic Pressure2016
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Keito Uezaki, Libo Zhou, Takeyuki Yamamoto, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: 1136 ページ: 156-161
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/amr.1136.156
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753, KAKENHI-PROJECT-25420043
[雑誌論文] Development of Microtextured Titanium Dioxide Surface by using Microcutting Techniques2016
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 雑誌名
  
  Ceramics Transactions
  
  巻: 257 ページ: 35-42
- DOI
  10.1002/9781119234463.ch4
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753, KAKENHI-PROJECT-16K06000
[雑誌論文] ナノ接触実験結果と酸化膜の影響を考慮したすべり摩擦の分子動力学シミュレーション2016
- 著者名/発表者名
  清水　淳，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，三輪紘敬，南部俊和
- 雑誌名
  
  トライボロジスト
  
  巻: 61 ページ: 845-856
- NAID
  130005250169
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[雑誌論文] ステレオ画像による砥石作業面トポグラフィの機上3次元計測システム開発に関する研究2016
- 著者名/発表者名
  尾嶌裕隆，長山拓矢，周立波，清水淳，小貫哲平
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 82 号: 2 ページ: 186-191
- DOI
  10.2493/jjspe.82.186
- NAID
  130005124397
- ISSN
  0912-0289, 1882-675X
- 言語
  日本語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840, KAKENHI-PROJECT-15H02213
[雑誌論文] ナノ接触実験結果と酸化膜の影響を考慮したすべり摩擦の分子動力学シミュレーション2016
- 著者名/発表者名
  清水　淳，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，三輪紘敬，南部俊和
- 雑誌名
  
  トライボロジスト
  
  巻: 61 ページ: 845-856
- NAID
  130005250169
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[雑誌論文] Wide range and accurate measurement of wafer thickness gauge using optical spectrum analyzer2015
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Yutaro Ebina, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu and Libo Zhou
- 雑誌名
  
  Applied Mechanics and Materials
  
  巻: 806 ページ: 581-585
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/amr.1136.581
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[雑誌論文] Wide range and accurate measurement of wafer thickness gauge using optical spectral analyzer2015
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Yutaro Ebina, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou
- 雑誌名
  
  Applied Mechanics and Materials
  
  巻: 1136 ページ: 581-585
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[雑誌論文] Study on Sapphire Wafer Grinding by Chromium Oxide (Cr2O3) Wheel2015
- 著者名/発表者名
  Ke Wu, Naoki Yamazaki, Yutaro Ebina, Libo Zhou, Jun Shimizu, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Takashi Fujiwara
- 雑誌名
  
  Applied Mechanics and Materials
  
  巻: 1136 ページ: 311-316
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840
[雑誌論文] Wide range and accurate measurement of wafer thickness gauge using optical spectral analyzer2015
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Yutaro Ebina, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou
- 雑誌名
  
  Applied Mechanics and Materials
  
  巻: 1136 ページ: 581-585
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of a Cutting Method by Making Use of Localized Hydrostatic Pressure2015
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Keito Uezaki, Libo Zhou, Takeyuki Yamamoto, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 雑誌名
  
  Applied Mechanics and Materials
  
  巻: 1136 ページ: 156-161
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of a Cutting Method by Making Use of Localized Hydrostatic Pressure2015
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Keito Uezaki, Libo Zhou, Takeyuki Yamamoto, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 雑誌名
  
  Applied Mechanics and Materials
  
  巻: 1136 ページ: 156-161
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840
[雑誌論文] Process study on large-size silicon wafer grinding by using a small-diameter wheel2015
- 著者名/発表者名
  Yutaro EBINA, Tomoya YOSHIMATSU, Libo ZHOU, Jun SHIMIZU, Teppei ONUKI, Hirotaka OJIMA
- 雑誌名
  
  Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing
  
  巻: 9 号: 5 ページ: JAMDSM0073-JAMDSM0073
- DOI
  10.1299/jamdsm.2015jamdsm0073
- NAID
  130005130435
- ISSN
  1881-3054
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840, KAKENHI-PROJECT-15H02213
[雑誌論文] Study on Sapphire Wafer Grinding by Chromium Oxide (Cr2O3) Wheel2015
- 著者名/発表者名
  Ke Wu, Naoki Yamazaki, Yutaro Ebina, Libo Zhou, Jun Shimizu, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Takashi Fujiwara
- 雑誌名
  
  Applied Mechanics and Materials
  
  巻: 1136 ページ: 311-316
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[雑誌論文] Development of Microtextured Photocatalytic Surface by Vibration-assisted Scratching2014
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 雑誌名
  
  Materials Science Forum
  
  巻: 783-786 ページ: 1488-1493
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/msf.783-786.1488
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[雑誌論文] Influence of surface integrity in silicon wafer thickness measurements by reflection spectroscopy2014
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Ryusuke Ono, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu and Libo Zhou
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: 1017 ページ: 681-685
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/amr.1017.681
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[雑誌論文] Comparative Investigations of Analysis Methods in Thickness Inspections of Ultra Thin Semiconductor Wafers by Means of White Light Reflectmetry2014
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou
- 雑誌名
  
  Proceedings of 15th International conference on Precision Engineering (ICPE2014)
  
  巻: 1 ページ: 836-837
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[雑誌論文] Modeling of process mechanisms in pulsed laser micro machining on lithium niobate substrates2014
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Ippei Murayama, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou
- 雑誌名
  
  International Journal of Automation Technology
  
  巻: 8 ページ: 896-902
- NAID
  130007674050
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[雑誌論文] 近赤外分光器を用いた反射分光方式の薄シリコンウェハ厚さ計2014
- 著者名/発表者名
  小貫哲平、小野竜典、尾嶌裕隆、清水淳、周立波
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 58 ページ: 515-519
- NAID
  130004835723
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[雑誌論文] 日本縦断研究室巡り「茨城大学　Nano-Engineering Laboratory (nLab)」2014
- 著者名/発表者名
  周　立波，清水　淳，小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸
- 雑誌名
  
  レーザ協会誌
  
  巻: 39 ページ: 33-35
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[雑誌論文] Mold Pattern Fabrication by Nanoscratching2013
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Libo Zhou, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Han Huang
- 雑誌名
  
  International Journal of Automation Technology
  
  巻: 7 ページ: 686-693
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[雑誌論文] Fabrication of Surface Microtexture by Vibration Assisted Cutting2013
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Libo Zhou, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Shun-ichi Nagaoka
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: 797 ページ: 638-641
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/amr.797.638
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[雑誌論文] A Thin Silicon Wafer Thickness Measurement System by Optical Reflectmetry Scheme Using Fourier Transform Near-Infrared Spectrometer2013
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Ryusuke Ono, Akira Suzuki, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: 797 ページ: 549-554
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[雑誌論文] A Thin Silicon Wafer Thickness Measurement System by Optical Reflectmetry Scheme Using Fourier Transform Near-Infrared Spectrometer2013
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Ryusuke Ono, Akira Suzuki, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu and Libo Zhou
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: Vol.797 ページ: 549-554
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Design of Digital Filters for Si Wafer Surface Profile Measurement2012
- 著者名/発表者名
  Hirotaka Ojima, Kazutaka Nonomura, Libo Zhou, Jun Shimizu and Teppei Onuki
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: 615 ページ: 332-336
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/kem.516.332
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Study on grinding process ing of sapphire wafer2012
- 著者名/発表者名
  Yutaro Ebina, Wei Hang, Libo Zhou, Jun S himizu, Onuki Teppei, Hirotaka Ojima and Yoshiaki Tashiro
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: Vol.565 ページ: 22-27
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Research on digital filters for Si wafer surface profile measurement2012
- 著者名/発表者名
  Hirotaka Ojima, Kazutaka Nonomura, Libo Zhou, Jun Shimizu and Teppei Onuki
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: Vol.565 ページ: 656-661
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Study on grinding processing of sapphire wafer2012
- 著者名/発表者名
  Yutaro Ebina, Wei Hang, Libo Zhou, Jun Shimizu, Onuki Teppei, Hirotaka Ojima and Yoshiaki Tashiro
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: 565 ページ: 22-27
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/amr.565.22
- NAID
  130005031327
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Siウエハ仕上げ加工に及ぼす加工変質層の影響の解析2012
- 著者名/発表者名
  清水淳,周立波,小貫哲平,尾嶌裕隆,山本武幸,鈴木直紀
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 55巻ページ: 662-667
- URL
  https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsat/55/11/55_662/_pdf
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Metal Cutting with Local Hydrostatic Pressure Field Formation2012
- 著者名/発表者名
  K. Uezaki, J. Shimizu, L. Zhou, T. Onuki, H. Ojima
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: Vols.523-524 ページ: 67-172
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/kem.523-524.167
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102, KAKENHI-PROJECT-22560134
[雑誌論文] Influence of Surface Micro Texture on Photocatalitic Function of Titanium Dioxide Film2012
- 著者名/発表者名
  J. Shimizu, G. Kobayashi, N. Hasegawa, T. Yamamoto, H. Ojima, T. Onuki, L. Zhou
- 雑誌名
  
  Materials Science Forum
  
  巻: Vols.706-709 ページ: 2646-2651
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/msf.706-709.2646
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102, KAKENHI-PROJECT-22560134, KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Siウエハ仕上げ加工に及ぼす加工変質層の影響の解析2011
- 著者名/発表者名
  清水淳, 周立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 山本武幸, 鈴木直紀
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 55 ページ: 662-667
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102
[雑誌論文] 近赤外分光計測を用いた薄片シリコンウェハの厚さ計測法2011
- 著者名/発表者名
  小貫哲平, 小野龍典, 尾嶌隆裕, 清水淳, 周立波
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 55 ページ: 729-732
- NAID
  10030194515
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Siウエハ仕上げ加工に及ぼす加工変質層の影響の解析2011
- 著者名/発表者名
  清水淳, 周立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 山本武幸, 鈴木直紀
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 55 ページ: 662-667
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[雑誌論文] 近赤外分光計測を用いた薄片シリコンウエハの厚さ計測法2011
- 著者名/発表者名
  小貫哲平,小野龍典,尾嶌隆裕,清水淳,周立波
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: Vol.55, 12 ページ: 729-732
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Spectroscopic Measurements of Silicon Wafer Thickness for Backgrinding Process2011
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Naoto Takagi, Jun Shimizu, Hirotaka Ojima, Libo Zhou
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: 325 ページ: 672-677
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/amr.325.672
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102, KAKENHI-PROJECT-22560134, KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Spectroscopic measurements of silicon wafer thickness for backgrinding process2011
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Naoto Takagi, Jun Shimizu, Hirotaka Ojima, Libo Zhou
- 雑誌名
  
  Advanced Material Research
  
  巻: Vol.325 ページ: 672-677
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] 近赤外分光計測を用いた薄片シリコンウエハの厚さ計測法2011
- 著者名/発表者名
  小貫哲平, 小野龍典, 尾嶌隆裕, 清水淳, 周立波
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 55 ページ: 729-732
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[雑誌論文] 近赤外分光計測を用いた薄片シリコンウエハの厚さ計測法2011
- 著者名/発表者名
  小貫哲平, 小野龍典, 尾嶌隆裕, 清水淳, 周立波
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 55 ページ: 729-732
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102
[雑誌論文] Siウエハ仕上げ加工に及ぼす加工変質層の影響の解析2011
- 著者名/発表者名
  清水淳,周立波,小貫哲平,尾嶌裕隆,山本武幸,鈴木直紀
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会
  
  巻: Vol.55, 11 ページ: 662-667
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Siウェハ仕上げ加工に及ぼす加工変質層の影響の解析2011
- 著者名/発表者名
  清水淳, 周立波, 小貫哲平,尾嶌裕隆, 山本武幸, 鈴木直紀
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 55 ページ: 662-667
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[雑誌論文] Mold Fabricated by Nanoscratching for Nanoimprint Lithography2010
- 著者名/発表者名
  W. Ohsone, J. Shimizu, L. Zhou, H. Ojima, T. Onuki, T. Yamamoto, H. Huang
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: Vols.126-128 ページ: 843-848
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/amr.126-128.843
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102, KAKENHI-PROJECT-22560134
[雑誌論文] 表面微細構造による幅射場操作を用いた放熱技術の検討2010
- 著者名/発表者名
  小貫哲平
- 雑誌名
  
  日本機械学会論文集(C編)
  
  巻: 76 ページ: 1917-1919
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18GS0203
[雑誌論文] Improvement in Oxide-pattern Sizes Controllability on Scanning Probe Nanolithography2010
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Takashi Tokizaki, Ojima Hirotaka, Jun Shimizu, Libo Zhou
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: Vols.126-128 ページ: 701-706
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[雑誌論文] Improvement in Oxide-pattern Sizes Controllability on Scanning Probe Nanolithography2010
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Takashi Tokizaki, Ojima Hirotaka, Jun Shimizu, Libo Zhou
- 雑誌名
  
  Advanced Materials Research
  
  巻: Vols.126-128 ページ: 701-706
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102
[雑誌論文] Efficient Energy Harvesting from Irregular Mechanical Vibrations by Active Motion Control2009
- 著者名/発表者名
  Hiroshi Okamoto, Teppei Onuki, Sumito Nagasawa, Hiroki Kuwano
- 雑誌名
  
  J. MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS
  
  巻: Vol.18 ページ: 1420-1431
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18GS0203
[雑誌論文] Micro blender and separator using inner-vortex of droplet induced by surface acoustic wave2009
- 著者名/発表者名
  Takuya Sano, Teppei Onuki, Yuichirou Hamate, Maki Hohjo, Sumito Nagasawa and Hiroki Kuwano
- 雑誌名
  
  Digest of technical papers of International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers2009) 15
  
  ページ: 370-373
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[雑誌論文] Low resistive copper films deposited using ion beam sputtering method with ultra-high purity target2009
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki
- 雑誌名
  
  Journal of Micromechanics and Microengineering 119
  
  ページ: 0940176-0940176
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18GS0203
[雑誌論文] Low resistive copper films deposited using ion beam sputtering method with ultra-high purity target2009
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Hiroki Kuwano
- 雑誌名
  
  Journal of Micromechanics and Micro engineering (accepted)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[雑誌論文] O plus E 特集, バイオと光技術, フォトニック結晶型分光フィルターとその生体計測への応用2008
- 著者名/発表者名
  大寺康夫, 小貫哲平, 井上喜彦, 川上彰二郎
- 雑誌名
  
  vol.30, 4月号
  
  ページ: 375-379
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[雑誌論文] 微細構造化された無機・金属材料による光・電磁材料特性の制御技術-フォトニック結晶・電磁メタマテリアル2008
- 著者名/発表者名
  小貫哲平
- 雑誌名
  
  Journal of the society of Inorganic Materials Japan 15
  
  ページ: 459-465
- NAID
  10021865509
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[雑誌論文] Improving an electret transducer by fully utilizing the implanted charge2008
- 著者名/発表者名
  H. Okamoto, T. Onuki, and H. Kuwano
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters 93
  
  ページ: 1-3
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18GS0203
[雑誌論文] Study on surface plasmon polariton near photonic-bandgap for inter-photonicband switching devices2008
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki
- 雑誌名
  
  Journal of Microscopy 229
  
  ページ: 447-451
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18GS0203
[雑誌論文] Study of surface plasmon polariton near the photonic-bandgap for inter-photonic band switching devices2008
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Yasuo Ohtera, and Takashi Tokizaki
- 雑誌名
  
  Journal of Microscopy vol.229, 3
  
  ページ: 447-451
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[雑誌論文] Improving an electret transducer by fully utilizing the implanted charge2008
- 著者名/発表者名
  Hiroshi Okamoto, Teppei Onuki, and Hiroki Kuwano
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Lett.
  
  巻: 93 ページ: 1-3
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18GS0203
[雑誌論文] Low resistive copper thin film deposited with ultra-high purity target and ECR-ion beam sputtering2008
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Hiroki Kuwano
- 雑誌名
  
  Proceedings of 8th PowerMEMS+μEMS2008
  
  ページ: 493-496
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[雑誌論文] Low resistive copper thin film deposited with ultra-high purity target and ECR-ion beam snutterin22008
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Hiroki Kuwano
- 雑誌名
  
  Proceedings of PowerMEMS2008-FREMS2008 8
  
  ページ: 493-496
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[雑誌論文] Micro blender and separator using inner-vortex of droplet induced by surface acoustic wave2008
- 著者名/発表者名
  Takuya Sano, Teppei Onuki, Yuichirou Hamate, Maki Hohjo, Sumito Nagasawa and Hiroki Kuwan
- 雑誌名
  
  IEEE proceedings of Transducers 09 15
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[雑誌論文] Study of surface plasmon polaritons near the photonic-bandgap edge for interphotonic band switching devices2008
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki
- 雑誌名
  
  Journal of Microscopy 229
  
  ページ: 447-451
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[雑誌論文] 微細構造化された無機・金属材料による光・電磁材料特性の制御技術-フォトニック結晶・電磁メタマテリアル2008
- 著者名/発表者名
  小貫哲平
- 雑誌名
  
  Journal of the society of Inorganic Materials vol.15 (No.337) 11月号
  
  ページ: 459-465
- NAID
  10021865509
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[雑誌論文] Low resistive copper thin film deposited with ultra-high purity target and ECR-ion beam sputtering2008
- 著者名/発表者名
  T. Onuki
- 雑誌名
  
  Technical Digest of PowerMEMS 2008+mEMS2008 8
  
  ページ: 493-496
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18GS0203
[雑誌論文] フォトニック結晶型分光フィルターとその生体計測への応用2008
- 著者名/発表者名
  大寺康夫、小貫哲平、井上喜彦、川彰二郎
- 雑誌名
  
  0 plus E 30
  
  ページ: 375-379
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[雑誌論文] Multi-channel photonic crystal wavelength filter array for near-infrared wavelengths2007
- 著者名/発表者名
  Yasuo Ohtera, Teppei Onuki, Yoshihiko Inoue, and Shojirou Kawakami
- 雑誌名
  
  IEEE/OSA Journal of Lightwave Technology 25, 2
  
  ページ: 499-503
- NAID
  120002070242
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[雑誌論文] 微細構造修飾によるエネルギー回生増強技術の開発2007
- 著者名/発表者名
  小貫哲平
- 雑誌名
  
  Micro Environmental Machine Systems 2007
  
  ページ: 55-55
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18GS0203
[雑誌論文] 分光計測用フォトニック結晶型波長フィルターの開発2006
- 著者名/発表者名
  大寺康夫, 小貫哲平, 井上喜彦, 川上彰二郎
- 雑誌名
  
  光波センシング技術研究会論文集 38-28
  
  ページ: 193-199
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[産業財産権] 微小撹拌分離装置2009
- 発明者名
  小貫哲平
- 権利者名
  東北大学
- 出願年月日
  2009-05-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18GS0203
[産業財産権] 表面プラズモン共鳴現象測定器2008
- 発明者名
  小貫哲平
- 権利者名
  国立大学法人東北大学
- 公開番号
  2008-014732
- 出願年月日
  2008-01-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[産業財産権] 【特許】可調節機能付き弾性表面波機器2008
- 発明者名
  小貫哲平
- 権利者名
  東北大
- 産業財産権番号
  2008-024469
- 出願年月日
  2008-01-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18GS0203
[産業財産権] 【特許】微小機械-電気構造用振動変位計測装置2007
- 発明者名
  小貫哲平
- 権利者名
  東北大
- 産業財産権番号
  2007-234205
- 出願年月日
  2007-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18GS0203
[産業財産権] 表面プラズモン共鳴現象測定器2006
- 発明者名
  小貫哲平
- 権利者名
  国立大学法人東北大学
- 産業財産権番号
  2006-184983
- 出願年月日
  2006-07-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[学会発表] マグネシウムシリサイドウエハ表層の顕微Raman3D 断層イメージング2024
- 著者名/発表者名
  渡邉和馬，小貫哲平，尾嶌裕隆，清水淳，周立波，鵜殿治彦
- 学会等名
  応用物理学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] C面サファイア基板のナノスクラッチ特性（第3報）－シングルとマルチ・スクラッチにおける現象の相違－2024
- 著者名/発表者名
  清水淳，三枝剣悟，林旺票，金子和暉，周立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K26006
[学会発表] Observation of potential failures in ceramic cutting tools using microscopic Raman imaging2024
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Ryohei Tazawa, Shuo Liu, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu and Libo Zhou
- 学会等名
  Optical Technology and Measurement for Industrial Applications (OPTM)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] 3D Micro-Raman Tomographic Measurement on Subsurface of Magnesium Silicide Wafer2024
- 著者名/発表者名
  Kazuma Watanabe, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou and Haruhiko Udono
- 学会等名
  The 13th Advanced Lasers and Photon Sources Conference (ALPS2024)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] C面サファイア基板のナノスクラッチ特性（第2報）－nmオーダ送りにおけるスクラッチ異方性の考察－2023
- 著者名/発表者名
  清水淳，林旺票，矢野直彦，三枝剣悟，金子和暉，周立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] 顕微Raman イメージング非破壊検査技術の工業分野での応用2023
- 著者名/発表者名
  小貫哲平
- 学会等名
  サーモフィッシャーサイエンティフィック FT-IR・ラマンバーチャル・ユーザーズフォーラム 2023
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] Study on Machining Anisotropy of C-plane Sapphire Wafer by Nanoscratching Experiments2023
- 著者名/発表者名
  Kengo Saegusa, Wangpiao Lin, Jun Shimizu, Kazuki Kaneko, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  The 25th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT 2023)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K26006
[学会発表] 顕微ラマン断層イメージングによるワイドバンドギャップ半導体ウエハ加工変質層観測2023
- 著者名/発表者名
  柴教一郎，小貫哲平，黒田隼乃介，茂垣有亮，尾嶌裕隆，清水淳，周立波
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会(ABTEC)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] 環境調和半導体マグネシウムシリサイドウエハ表面への顕微Raman断層イメージング計測2023
- 著者名/発表者名
  小貫哲平, 渡邉和馬, 尾嶌裕隆, 清水淳, 周立波, 鵜殿治彦
- 学会等名
  茨城講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] ポテンシャル制御を用いたシリコンCMPの分子動力学解析における砥粒強度の影響2023
- 著者名/発表者名
  橋村紀香，金子和暉，清水淳，周立波，小貫哲平，尾嶌裕隆
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K26006
[学会発表] Characterization of Subsurface Damaged Layers in Wide-bandgap Semiconductor Wafers Using High-resolution Depth Slice Raman Imaging2023
- 著者名/発表者名
  Kyo-ichiro Shiba, Teppei Onuki, Jun-nosuke Kuroda, Yusuke Mogaki, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu and Libo Zhou,
- 学会等名
  The 25th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT 2023)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] ロータリインフィード研削におけるウェハ温度の解析及び評価2023
- 著者名/発表者名
  塩見山太郎, 髙橋清樹, 周立波，清水淳，小貫哲平，尾嶌裕隆, 金子和暉
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K26006
[学会発表] Molecular Dynamics Simulation of Abrasive Wear of Hcp Crystal to Clarify Nanoscratch Phenomena of C-plane Sapphire Wafer2023
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Wangpiao Lin, Naohiko Yano, Kengo Saegusa, Kazuki Kaneko, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto
- 学会等名
  International Tribology Conference (ITC 2023), Fukuoka
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K26006
[学会発表] 顕微Raman イメージング非破壊検査技術の工具品質計測への応用2023
- 著者名/発表者名
  劉爍, 小貫哲平, 黒田隼乃介, 柴教一郎, 金子和暉, 尾嶌裕隆, 清水淳, 周立波
- 学会等名
  精密工学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] シリコンCMPの分子動力学シミュレーション第１報：ポテンシャル制御に基づく化学的作用のモデル化2022
- 著者名/発表者名
  金子和暉，橋村紀香，清水　淳，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] ナノスクラッチによるC面単結晶サファイア基板の加工特性の検討（単溝スクラッチにおける加工異方性）2022
- 著者名/発表者名
  清水　淳，林　旺票，矢野直彦，金子和暉，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸
- 学会等名
  日本機械学会第14回生産加工・工作機械部門講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] 顕微Raman断層イメージング計測における測定データ品質指標の検討2022
- 著者名/発表者名
  小貫哲平，黒田隼乃介，劉爍，柴教一郎，金子和暉，尾嶌裕隆，清水淳
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会（ABTEC）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] First-principles electronic structure calculation for analyzation of crystallographic damage states in Raman spectral data2022
- 著者名/発表者名
  Jun-nosuke KURODA, Teppei ONUKI, Kazuki KANEKO, Hirotaka OJIMA, Jun SHIMIZU and Libo ZHOU
- 学会等名
  The 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2022)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] 振動援用切削による表面テクスチャの摩擦特性（第７報）－テクスチャ表面の摩耗挙動－2022
- 著者名/発表者名
  大矢一輝，山本武幸，清水淳，周立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，金子和暉，深堀良彬
- 学会等名
  精密工学会春季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] C面サファイア基板のナノスクラッチ特性－nmオーダ送りにおけるスクラッチ異方性－2022
- 著者名/発表者名
  三枝剣悟，林　王票，矢野直彦，清水　淳，金子和暉，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] 微小振動援用切削でテクスチャ加工した圧痕状パターンの周期的配置による金属表面の乾式すべり特性2022
- 著者名/発表者名
  清水　淳，山本武幸，金子和暉，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] Study on Brittle-Ductile Transition in Grinding Process on Sapphire Wafer Using Micro-Raman Tomographic Imaging2022
- 著者名/発表者名
  Teppei ONUKI, Kazuki KANEKO, Hirotaka OJIMA, Jun SHIMIZU, Libo ZHOU
- 学会等名
  The 24th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2022)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] Molecular Dynamics Simulation of Chemical Mechanical Polishing of Si Wafer using Potential Control2022
- 著者名/発表者名
  Norika Hashimura, Jun Shimizu, Kazuki Kaneko, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  International conference on Precision Engineering (ICPE 2022)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] ポテンシャル関数制御を用いたすべり摩擦現象の分子動力学解析（第４報）－hcp 結晶のアブレシブ摩耗異方性－2022
- 著者名/発表者名
  清水　淳，林　旺票，矢野直彦，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸，金子和暉
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] Micro Raman Tomographic Imaging on Laser Beam Internal Damage into Sapphire for Laser Cleaving Process2022
- 著者名/発表者名
  Teppei ONUKI, Junnosuke KURODA, Kazuki KANEKO, Hirotaka OJIMA, Jun SHIMIZU, Libo ZHOU
- 学会等名
  The 15th Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO Pacific Rim, CLEO-PR 2022）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] Boundary Lubricity of Metal Surfaces Textured by Vibration-assisted Cuttin2022
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Kazuki Ohya, Takeyuki Yamamoto, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Kazuki Kaneko, Yoshiaki Fukahori
- 学会等名
  International conference on Precision Engineering (ICPE 2022)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] Study on Abrasive Wear Mechanism of C-plane Sapphire Using Nanoscratch Test and Molecular Dynamics Simulation of HCP Crystal2022
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Wangpiao Lin, Naohiko Yano, Kazuki Kaneko, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto, Kengo Saegusa
- 学会等名
  The 24th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT 2022)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] 第一原理電子構造計算によるRamanスペクトルシミュレーションを用いた結晶格子損傷状態の解析法の検討2022
- 著者名/発表者名
  黒田隼乃介, 小貫哲平, 金子和暉, 尾嶌裕隆, 清水淳, 周立波
- 学会等名
  精密工学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] hcp結晶の分子動力学解析結果を利用したc面サファイアのアブレシブ摩耗特性の評価2022
- 著者名/発表者名
  清水　淳，林　旺票，矢野直彦，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，金子和暉，山本武幸
- 学会等名
  日本トライボロジー学会トライボロジー会議2022春
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] 工学的計測データ分析のための深層学習モデル開発の研究2021
- 著者名/発表者名
  木戸浦建吾、小貫哲平、尾嶌裕隆、清水淳、周立波
- 学会等名
  精密工学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] 局所静水圧が切削現象に及ぼす効果の分子動力学シミュレーション―転がり要素の適用―2021
- 著者名/発表者名
  清水　淳，山本武幸，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] 振動援用切削によるテクスチャ表面の潤滑特性の評価2021
- 著者名/発表者名
  萩尾大輝，山本武幸，清水　淳，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] 振動援用切削による表面テクスチャの摩擦特性（第5報）－境界潤滑における油量の影響－2021
- 著者名/発表者名
  菊池晃太，山本武幸，清水　淳，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] Friction and Wear Behaviors of Textured Metal Surfaces by Vibration-assisted Microcutting in Dry Sliding2021
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Libo Zhou
- 学会等名
  The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] 振動援用切削による表面テクスチャの摩擦特性（第5報）－境界潤滑における油量の影響－2021
- 著者名/発表者名
  菊池晃太，山本武幸，清水　淳，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] Friction Characteristics of Metal Surfaces Textured by Vibrationassisted Cutting under Lubricated Environment2021
- 著者名/発表者名
  Daiki Hagio, Takeyuki Yamamoto, Jun Shimizu, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  The 23rd International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2021)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] ポテンシャル関数制御を用いたすべり摩擦現象の分子動力学解析（第２報）－スライダの強度による影響に関する検討－2021
- 著者名/発表者名
  清水淳，周立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] 振動援用切削による表面テクスチャの摩擦特性（第６報）－境界潤滑におけるすべり速度の影響－2021
- 著者名/発表者名
  山本武幸，清水　淳，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，金子和暉
- 学会等名
  精密工学会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] Crystallographic subsurface damages observations using super-resolution Raman tomographic imagingin advanced semiconductor and ceramics materials2021
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki
- 学会等名
  6th International Symposium on Micro/Nano Mechanical Machining and Manufacturing (ISMNM2021)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] Micro Raman Tomographic Imaging on Laser Beam Internal Machining into Sapphire2021
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu and Libo Zhou
- 学会等名
  the 23rd International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2021)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] ポテンシャル関数制御を用いたすべり摩擦現象の分子動力学解析（第３報）－hcp結晶の加工異方性に関する検討－2021
- 著者名/発表者名
  清水　淳，林　旺票，矢野直彦，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸，金子和暉
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] hcp 結晶の分子動力学解析を用いたc 面サファイアのアブレシブ摩耗特性の考察2021
- 著者名/発表者名
  清水　淳，林　旺票，矢野直彦，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，金子和暉，山本武幸
- 学会等名
  日本トライボロジー学会トライボロジー会議2021秋
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] 微小振動援用切削テクスチャ表面のなじみ特性に関する検討（第５報）－境界潤滑における初歩的な検討－2021
- 著者名/発表者名
  清水淳，山本武幸，菊池晃太，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆
- 学会等名
  日本トライボロジ―学会トライボロジー会議2021春
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] Molecular Dynamics Simulation of Localized Hydrostatic Pressure-Assisted Cutting with a Rolling Element2021
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Libo Zhou
- 学会等名
  The 23rd International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2021)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] 顕微Ramanマッピング計測による珪化マグネシウム半導体表面品質評価2021
- 著者名/発表者名
  小貫哲平、中村陸人、鵜殿治彦
- 学会等名
  茨城講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] Fundamental learning characteristics of deep neural network models for the analysis of engineering data2021
- 著者名/発表者名
  Kengo Kidoura, Teppei Onuki
- 学会等名
  6th International Symposium on Micro/Nano Mechanical Machining and Manufacturing (ISMNM2021)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] Observation on abrasive wear damages on engineering ceramics using micro-Raman tomography2021
- 著者名/発表者名
  Teppei ONUKI, Hirotaka OJIMA, Jun SHIMIZU, Libo ZHOU
- 学会等名
  Proceedings of 11st International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20906
[学会発表] 微小振動援用切削テクスチャ表面のなじみ特性に関する検討（第４報）－容積と面積密度の影響－2020
- 著者名/発表者名
  清水　淳, 中山智隆, 山本武幸, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  日本トライボロジー学会トライボロジー会議秋別府
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] Friction Characteristics of Textured Metal Surfaces by Vibration-assisted Microcutting in Dry Sliding2020
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Tomotaka Nakayama, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Libo Zhou
- 学会等名
  18th International conference on Precision Engineering (ICPE2020)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] 振動援用切削による表面テクスチャの摩擦特性（第4報）－境界潤滑条件下における検討－2020
- 著者名/発表者名
  山本武幸, 清水　淳, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 菊池晃太
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] ポテンシャル関数制御を用いたすべり摩擦現象の分子動力学解析（第１報）－酸化膜による影響に関する検討－2020
- 著者名/発表者名
  清水淳，周立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] Friction Characteristics of Textured Metal Surfaces by Vibration-assisted Microcutting in Dry Sliding2020
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Tomotaka Nakayama, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Libo Zhou
- 学会等名
  18th International conference on Precision Engineering (ICPE2020)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] 分子動力学シミュレーションによるhcp 結晶の変形・摩耗挙動の解析2020
- 著者名/発表者名
  矢野直彦, 林　旺票, 清水　淳, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 山本武幸
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2020)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04235
[学会発表] 振動援用切削による表面テクスチャの摩擦特性（第３報）ー塑性盛上りの除去による効果ー2020
- 著者名/発表者名
  清水　淳, 山本武幸, 中山智隆, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  精密工学会春季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] 振動援用切削によるテクスチャ表面の乾式すべり特性2020
- 著者名/発表者名
  清水　淳, 山本武幸, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 菊池晃太
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2020)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] 振動援用切削による表面テクスチャの摩擦特性（第2報）ーテクスチャ面積密度の影響ー2019
- 著者名/発表者名
  山本武幸, 中山智隆, 清水　淳, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  精密工学会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] 顕微Raman断層計測によるサファイア研削面損傷の評価2019
- 著者名/発表者名
  管駿輔, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 清水淳, 周立波
- 学会等名
  先進テクノフェアATF（Advanced Technology Fair）2019
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] 放電付加加工による表面テクスチャの創成（第1報）―直線走査による単純テクスチャの創成―2019
- 著者名/発表者名
  小井沼陽希, 石井雅人, 川尻淳裕, 山本武幸, 清水　淳, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] Friction Characteristics of Textured Surfaces by Vibration-Assisted Microcutting in Dry Sliding2019
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Tomotaka Nakayama, Takeyuki Yamamoto, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  International Tribology Conference (ITC 2019), Sendai
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] 微小振動援用切削テクスチャ表面のなじみ特性に関する検討（第３報）－塑性盛上り除去と被覆率の効果－2019
- 著者名/発表者名
  清水　淳, 中山智隆, 渡辺康太, 山本武幸, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  日本トライボロジ―学会トライボロジー会議2019春
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04102
[学会発表] 局所圧縮静水圧援用切削の開発―すべりおよび転がり式冶具による切削性能への効果―2019
- 著者名/発表者名
  清水　淳, 山本武幸, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 小松崎一気
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] 微小振動援用切削テクスチャ表面のなじみ特性に関する検討2018
- 著者名/発表者名
  清水　淳, 中山智隆, 渡辺康太, 山本武幸, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  日本トライボロジー学会トライボロジー会議春東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] 局所圧縮静水圧援用切削の開発―すべりおよび転がり式冶具による検討―2018
- 著者名/発表者名
  清水　淳, 芦野洸人, 山本武幸, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] Running-in Behavior of Mechanically Microtextured Metal Surfaces in Dry Sliding2018
- 著者名/発表者名
  Tomotaka Nakayama, Jun Shimizu, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto, Kouta Watanabe
- 学会等名
  The 17th International Conference on Precision Engineering (ICPE2018), Kamakura
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] Comparative investigation of subsurface damages induced on sapphire with different machining methods using micro Raman spectroscopy2018
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Ke Wu, Kazuki Kamoshida, Piao Lin, Nao Sugano, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou
- 学会等名
  The 21st International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] ロータリー型インフィード平面研削メカニズムに関する研究－無線式動力計の開発と研削抵抗の評価－2018
- 著者名/発表者名
  石橋　憲, 月井裕太, 蛯名雄太郎, 周　立波, 清水　淳, 山本武幸, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  2018年度砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2018)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] マイクロ切削による表面テクスチャがすべり時のなじみ過程に及ぼす影響―慣用および振動援用切削の比較―2018
- 著者名/発表者名
  中山智隆, 渡辺康太, 山本武幸, 清水　淳, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] サファイアへの深部レーザ加工の検討2018
- 著者名/発表者名
  小貫哲平, 尾嶌裕隆, 清水　淳, 周　立波
- 学会等名
  2018年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] 単結晶サファイアウエハの湿式・乾式研削の比較2018
- 著者名/発表者名
  前崎智博, Wang Jianbin, 周　立波, 清水　淳, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  2018年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] サファイアウエハの研削メカニズムに関する研究―盛り上がり係数が除去モードに及ぼす影響―2018
- 著者名/発表者名
  長谷川滉輔, 菅野直, 周立波, 清水淳, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  第26回茨城講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] Cu-W細電極による微小放電堆積過程の検討2018
- 著者名/発表者名
  山本武幸, 石井雅人, 小井沼陽希, 清水　淳, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] Development of Localized Compressive Hydrostatic Pressure-assisted Cutting using Rolling Element2018
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Hiroto Ashino, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Libo Zhou, Kazuki Komatsuzaki
- 学会等名
  International Conference on Precision Engineering (ICPE2018), Kamakura
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] Development of Localized Compressive Hydrostatic Pressure-assisted Cutting using Sliding Element2018
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Hiroto Ashino, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Libo Zhou
- 学会等名
  The 21st International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2018), Toronto, Canada
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] 局所圧縮静水圧援用切削の開発―すべりおよび転がり式冶具による検討―2018
- 著者名/発表者名
  清水　淳, 芦野洸人, 山本武幸, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] 微小振動援用切削テクスチャ表面のなじみ特性に関する検討（第2報）― 被覆率による影響 ―2018
- 著者名/発表者名
  清水　淳, 中山智隆, 渡辺康太, 山本武幸, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  日本トライボロジー学会トライボロジー会議秋伊勢
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] Cross-sectional measurement of laser damage in sapphire using confocal micro Raman spectrometer2018
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Kazuki Kamoshida, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou
- 学会等名
  The 17th International Conference on Precision Engineering (ICPE2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] Development of high efficiency CMG pellets for finishing mono-crystal sapphire2018
- 著者名/発表者名
  Jianbin Wang, Tomohito Maezaki, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto, Jun Shimizu, Libo Zhou
- 学会等名
  The 21st International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] C面サファイア基板のナノ引っかきに関する研究－hcp金属のナノ引っかきシミュレーションによる変形挙動の解析－2018
- 著者名/発表者名
  林旺票, 清水淳, 周立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 山本武幸, 矢野直彦
- 学会等名
  2018年度砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2018)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] Examination of Micro EDM Deposition Mechanism using Thin Cu-W Electrode2017
- 著者名/発表者名
  Masato Ishii, Itaru Takahama, Takeyuki Yamamoto, Jun Shimizu, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  The 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] 局所圧縮静水圧援用切削の開発－微小切削実験と分子動力学解析－2017
- 著者名/発表者名
  清水淳，山本武幸，尾嶌裕隆，小貫哲平，周立波，市村浩貴
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  慶應義塾大学（矢上）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] Study on the Effect of Grain Size Variation on Ground Surface Roughness2017
- 著者名/発表者名
  Tomohiro Maezaki, Jun Shimizu, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Masatomo Inui, Yutaro Ebina and Libo Zhou
- 学会等名
  7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] Study on Nanoscratching of C-plane Sapphire Wafer2017
- 著者名/発表者名
  Wangpiao Lin, Jun Shimizu, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima and Takeyuki Yamamoto
- 学会等名
  20th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] Development of localized compressive hydrostatic stress-assisted cutting method: Examination by molecular dynamics simulation and microcutting experiment2017
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Libo Zhou, Keito Uezaki
- 学会等名
  euspen's 17th International Conference & Exhibition
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] Development of wireless dynamometer for rotary infeed surface grinding2017
- 著者名/発表者名
  Yuta Tsukii, Libo Zhou, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu and Teppei Onuki
- 学会等名
  20th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] Development of Localized Compressive Hydrostatic Pressure-assisted Cutting Method2017
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Libo Zhou, Hiroto Ashino
- 学会等名
  The 20th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] 実すべり現象と分子動力学シミュレーションの歩み寄りに関する検討―ナノインデント試験結果と酸化膜の影響を考慮したモデルによる検討―2017
- 著者名/発表者名
  清水　淳, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 三輪紘敬, 南部俊和
- 学会等名
  日本トライボロジー学会　トライボロジー会議2017春東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] 局所圧縮静水圧援用切削の開発―すべり式冶具を用いた旋削実験―2017
- 著者名/発表者名
  清水　淳, 山本武幸, 尾嶌裕隆, 小貫哲平, 周　立波, 芦野洸人
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] Development of Localized Compressive Hydrostatic Pressure-assisted Cutting Method2017
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Libo Zhou, Hiroto Ashino
- 学会等名
  The 20th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] 実すべり現象と分子動力学シミュレーションの歩み寄りに関する検討―FFMによる摩擦・摩耗実験とシミュレーションとの比較―2017
- 著者名/発表者名
  清水　淳, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 三輪紘敬, 南部俊和
- 学会等名
  日本トライボロジー学会　トライボロジー会議2017秋香川
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] The development of hybrid-feed system and technology of CFRP machining2017
- 著者名/発表者名
  Daisuke Takenouchi, Hirotaka Ojima, Libo Zhou, Teppei Onuki, Jun Shimizu
- 学会等名
  9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] Analysis of variance in optical inspections of wafer thickness2017
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu and Libo Zhou
- 学会等名
  9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] Cu-W細電極による微小放電堆積加工メカニズム2017
- 著者名/発表者名
  山本武幸, 石井雅人, 高濱　到, 清水　淳, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] Raman analysis of machining qualities on ground surfaces of sapphire wafers2017
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Ke Wu, Nao Sugano, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu1 and Libo Zhou
- 学会等名
  20th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] Study on micro EDM deposition in Ar atmosphere2016
- 著者名/発表者名
  Itaru Takahama, Takeyuki Yamamoto, Jun Shimizu, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  16th International Conference on Precision Engineering (ICPE2016)
- 発表場所
  アクトシティ浜松
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] 実すべり現象と分子動力学シミュレーションの歩み寄りに関する検討 ―ナノインデント試験を用いた二固体間ポテンシャル関数の導出―2016
- 著者名/発表者名
  清水　淳，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，三輪紘敬，南部俊和
- 学会等名
  日本トライボロジ―学会トライボロジー会議(新潟 2016-10)
- 発表場所
  朱鷺メッセ（新潟）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] Theoretical analysis on effects of grain size variation2016
- 著者名/発表者名
  Libo Zhou, Yutaro Ebina, Ke Wu, Jun Shimizu, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  19th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2016)
- 発表場所
  Stockholm/Sweden
- 年月日
  2016-10-02
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] Theoretical analysis on effects of grain size variation2016
- 著者名/発表者名
  Libo Zhou, Yutaro Ebina, Ke Wu, Jun Shimizu, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  19th Int’l Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2016)
- 発表場所
  Stockholm/Sweden
- 年月日
  2016-10-02
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840
[学会発表] 振動援用切削によるサブミクロンスケールの表面テクスチャ加工2016
- 著者名/発表者名
  小島純弥，渡辺康太, 山本武幸, 清水　淳, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  日本機械学会関東支部・精密工学会　茨城講演会
- 発表場所
  茨城大学（日立）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] Stress analysis of LT wafer during grinding process2016
- 著者名/発表者名
  Wentong LU, Libo ZHOU, Jun SHIMIZU, Teppei ONUKI, Hirotaka OJIMA, Takeyuki YAMAMOTO
- 学会等名
  16th International Conference on Precision Engineering (ICPE2016)
- 発表場所
  Hamamatsu/Japan
- 年月日
  2016-11-14
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] 幾何光学と波動光学の連成解析によるウェハ厚さ計測の誤差特性2016
- 著者名/発表者名
  小貫哲平、尾嶌裕隆、清水淳、周立波
- 学会等名
  応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学
- 年月日
  2016-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[学会発表] Texturing of metal surface by using vibration-assisted microcutting2016
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Kouta Watanabe, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Libo Zhou
- 学会等名
  euspen's 16th International Conference & Exhibition
- 発表場所
  East Midlands Conference Centre, Nottingham, UK
- 年月日
  2016-06-01
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] 研削シリコンウエハのナノ引っかき2016
- 著者名/発表者名
  清水　淳，林　旺票, 周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会
- 発表場所
  兵庫県立大学（姫路）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] Cu-W電極を用いた微小放電堆積加工2016
- 著者名/発表者名
  高濱　到，石井雅人，山本武幸，清水　淳，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  茨城大学（水戸）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] Error characteristics analyses in optical wafer-thickness measurements2016
- 著者名/発表者名
  Teppei ONUKI, Yuki NEMOTO, Hirotaka OJIMA, Jun SHIMIZU, Libo ZHOU
- 学会等名
  16th International Conference on Precision Engineering (ICPE2016)
- 発表場所
  Hamamatsu/Japan
- 年月日
  2016-11-14
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] アルゴンガス中におけるマイクロ放電堆積に関する研究2016
- 著者名/発表者名
  高濱　到, 山本武幸, 清水　淳, 周　立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  第17回高エネ研メカ・ワークショップ
- 発表場所
  高エネルギー加速器研究機構（つくば）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] Texturing of metal surface by using vibration-assisted microcutting2016
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Kouta Watanabe, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Teppei Onuki, Libo Zhou
- 学会等名
  euspen's 16th International Conference & Exhibition
- 発表場所
  East Midlands Conference Centre, Nottingham, UK
- 年月日
  2016-06-01
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06000
[学会発表] Stress analysis of LT wafer during grinding process2016
- 著者名/発表者名
  Wentong LU, Libo ZHOU, Jun SHIMIZU, Teppei ONUKI, Hirotaka OJIMA, Takeyuki YAMAMOTO
- 学会等名
  Int’l Conference on Precision Engineering (ICPE2016)
- 発表場所
  Hamamatsu/Japan
- 年月日
  2016-11-14
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840
[学会発表] Error characteristics analyses in optical wafer-thickness measurements2016
- 著者名/発表者名
  Teppei ONUKI, Yuki NEMOTO, Hirotaka OJIMA, Jun SHIMIZU, Libo ZHOU
- 学会等名
  Int’l Conference on Precision Engineering (ICPE2016)
- 発表場所
  Hamamatsu/Japan
- 年月日
  2016-11-14
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840
[学会発表] 光学式ウェハ厚さ計測における測定精度特性に関する研究‐第一報‐2016
- 著者名/発表者名
  根本祐気，小貫哲平，蛯名雄太郎，尾嶌裕隆，清水淳，周立波
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京理科大学野田キャンパス
- 年月日
  2016-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[学会発表] 微小テクスチャ金型の開発とその応用（第４報）－振動援用引っかき条件の微小化－2016
- 著者名/発表者名
  渡辺康太，山本武幸，清水　淳，周　立波，尾嶌裕隆，小貫哲平
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京理科大学（野田）
- 年月日
  2016-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] 振動援用引っかきによる表面微小テクスチャリング2015
- 著者名/発表者名
  清水　淳，山本武幸，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，岡山幸洋
- 学会等名
  日本トライボロジー学会トライボロジー会議（春）
- 発表場所
  姫路商工会議所
- 年月日
  2015-05-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[学会発表] Development of Microtextured Titanium Dioxide Surface by Using Microcutting Techniques2015
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  The 11th International Conference on Ceramic Materials and Components for Energy and Environmental Applications (CMCEE)
- 発表場所
  Vancouver, Canada
- 年月日
  2015-06-14
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] Molecular dynamics simulation of relationship between friction anisotropy and atomic-scale stick-slip phenomenon2015
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto
- 学会等名
  The 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- 年月日
  2015-10-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] Surface Texturing by Using Vibration-assisted Microscratching2015
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Libo Zhou
- 学会等名
  International Tribology Conference (ITC) 2015
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- 年月日
  2015-06-16
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] Surface Texturing by Using Vibration-assisted Microscratching2015
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Libo Zhou
- 学会等名
  International Tribology Conference 2015
- 発表場所
  東京理科大学（葛飾）
- 年月日
  2015-09-17
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[学会発表] イメージングウェハ厚さ全面計測技術の開発2015
- 著者名/発表者名
  小貫哲平、尾嶌裕隆、清水淳、周立波
- 学会等名
  第16回高エネ研メカ・ワークショップ
- 発表場所
  高エネルギー加速器研究機構　つくば
- 年月日
  2015-04-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[学会発表] Study on the Effects of Chemical Agents and Environment on Material Removal Rate in Sapphire Polishing2015
- 著者名/発表者名
  Ke Wu, Naoki Yamazaki, Libo Zhou, Jun Shimizu, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  The 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- 年月日
  2015-10-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] Machining quality controls in ultrashort pulse laser micromachining on lithium Niobate substrates2015
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou, Itaru Takahama, Kazuki Kamoshida
- 学会等名
  The 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- 年月日
  2015-10-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840
[学会発表] ピコ秒レーザによる単結晶ダイヤモンドの精密加工－簡単な表面テクスチャの創成－2015
- 著者名/発表者名
  山本武幸，薄憲司朗，小貫哲平，尾嶌裕隆，清水　淳，周　立波
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  東北大学（川内北）
- 年月日
  2015-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[学会発表] Development of Microtextured Titanium Dioxide Surface by Using Microcutting Techniques2015
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  The 11th International Conference on Ceramic Materials and Components for Energy and Environmental Applications
- 発表場所
  Vancouver, Canada
- 年月日
  2015-06-14
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840
[学会発表] Wide range and accurate measurement of wafer thickness gauge using optical spectral analyzer2015
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Yutaro Ebina, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu and Libo Zhou
- 学会等名
  The 18th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2015)
- 発表場所
  Jeju island, Korea
- 年月日
  2015-10-04
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[学会発表] Molecular Dynamics Simulation of Cutting Process Accompanied by a Localized Compressive Hydrostatic Stress Field Formation2015
- 著者名/発表者名
  Keito Uezaki, Jun Shimizu, Libo Zhou, Takeyuki Yamamoto, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  International Tribology Conference 2015
- 発表場所
  東京理科大学（葛飾）
- 年月日
  2015-09-17
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] Development of Microtextured Titanium Dioxide Surface by Using Microcutting Techniques2015
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  11th International Conference on Ceramic Materials and Components for Energy and Environmental Applications
- 発表場所
  Hyatt Regency, Vancouver, Canada
- 年月日
  2015-06-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] Molecular Dynamics Simulation of Cutting Process Accompanied by a Localized Compressive Hydrostatic Stress Field Formation2015
- 著者名/発表者名
  Keito Uezaki, Jun Shimizu, Libo Zhou, Takeyuki Yamamoto, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  International Tribology Conference (ITC) 2015
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- 年月日
  2015-09-16
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840
[学会発表] 局所圧縮静水圧場の生成を伴う切削過程の分子動力学シミュレーション－工具形状の改良－2015
- 著者名/発表者名
  清水淳，植崎圭人，馬海東，宮田翔哉，小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸，周立波
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  東北大学（川内北）
- 年月日
  2015-09-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] Molecular dynamics simulation of relationship between friction anisotropy and atomic-scale stick-slip phenomenon2015
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto
- 学会等名
  The 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- 年月日
  2015-10-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840
[学会発表] 光学式ウェハ厚さ計測における測定精度特性に関する研究‐第一報‐2015
- 著者名/発表者名
  小貫哲平，根本祐気，蛯名雄太郎，尾嶌裕隆，清水淳，周立波
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  東北大学
- 年月日
  2015-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[学会発表] 光スペクトラムアナライザを用いたウェハ厚さ計測2015
- 著者名/発表者名
  小貫哲平、尾嶌裕隆、清水淳、周立波
- 学会等名
  応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  名古屋国際会議場
- 年月日
  2015-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[学会発表] Surface Texturing by Using Vibration-assisted Microscratching2015
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Libo Zhou
- 学会等名
  International Tribology Conference (ITC) 2015
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- 年月日
  2015-09-16
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840
[学会発表] Molecular Dynamics Simulation of Cutting Process Accompanied by a Localized Compressive Hydrostatic Stress Field Formation2015
- 著者名/発表者名
  Keito Uezaki, Jun Shimizu, Libo Zhou, Takeyuki Yamamoto, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  International Tribology Conference (ITC) 2015
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- 年月日
  2015-06-16
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] 研削シリコンウエハ加工変質層のナノインデンテーション2015
- 著者名/発表者名
  清水　淳，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会
- 発表場所
  慶應義塾大学（日吉）
- 年月日
  2015-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[学会発表] Molecular Dynamics Simulation of Relationship between Friction Anisotropy and Atomic-scale Stick-slip Phenomenon2015
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto
- 学会等名
  The 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
- 発表場所
  京都リサーチパーク
- 年月日
  2015-10-20
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05753
[学会発表] Study on the Effects of Chemical Agents and Environment on Material Removal Rate in Sapphire Polishing2015
- 著者名/発表者名
  Ke Wu, Naoki Yamazaki, Libo Zhou, Jun Shimizu, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  he 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- 年月日
  2015-10-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13840
[学会発表] 振動援用切削による表面微小テクスチャ加工2015
- 著者名/発表者名
  渡辺康太，山本武幸，清水　淳，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆
- 学会等名
  日本機械学会関東支部主催「茨城講演会」
- 発表場所
  茨城大学工学部
- 年月日
  2015-08-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[学会発表] Machining quality controls in ultrashort pulse laser micromachining on lithium Niobate substrates2015
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou, Itaru Takahama, Kazuki Kamoshida
- 学会等名
  he 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- 年月日
  2015-10-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02213
[学会発表] ピコ秒レーザによる単結晶ダイヤモンドの精密加工－マイクロ溝加工の検討－2014
- 著者名/発表者名
  山本武幸，植崎圭人，岩井俊樹，小貫哲平，清水　淳，周　立波，尾嶌裕隆
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  鳥取大学（鳥取）
- 年月日
  2014-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[学会発表] ウェハ極薄化加工におけるオンサイト厚さ計測技術2014
- 著者名/発表者名
  小貫哲平、尾嶌裕隆、清水淳、周立波
- 学会等名
  第15回高エネ研メカ・ワークショップ
- 発表場所
  高エネルギー加速器研究機構
- 年月日
  2014-04-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[学会発表] 振動援用引っかきによる掘起しを利用した表面微小テクスチャリング2014
- 著者名/発表者名
  清水　淳，山本武幸，周　立波，尾嶌裕隆，小貫哲平，岡山幸洋
- 学会等名
  日本トライボロジー学会トライボロジー会議（秋岩手）
- 発表場所
  アイーナいわて
- 年月日
  2014-11-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[学会発表] Comparative Investigations of Analysis Methods in Thickness Inspections of Ultra Thin Semiconductor Wafers by Means of White Light Reflectmetry2014
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou
- 学会等名
  15th International Conference on Precision Engineering (ICPE2014)
- 発表場所
  ホテル日航金沢
- 年月日
  2014-07-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[学会発表] 薄シリコンウェハ検査における白色光干渉断層計と白色光分光厚さ計の比較検討2014
- 著者名/発表者名
  小貫哲平、尾嶌裕隆、清水淳、周立波
- 学会等名
  第61回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  青山学院大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[学会発表] 分子動力学によるシリコンウエハ加工変質層のナノインデンテーションの解析2014
- 著者名/発表者名
  古牧允彦，清水　淳，周　立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸
- 学会等名
  砥粒加工学会学術講演会
- 発表場所
  岩手大学工学部
- 年月日
  2014-09-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[学会発表] 固定砥粒ダイヤモンド砥石構造のモデル化2014
- 著者名/発表者名
  蛯名雄太郎, 周　立波, 清水　淳, 小貫哲平, 尾嶌裕隆
- 学会等名
  2014年度精密工学会春季大会
- 発表場所
  東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] Control of the incubation effects in pulsed laser micro machining on ferroelectric lithium niobate substrates2013
- 著者名/発表者名
  Teppei ONUKI, Ippei MURAYAMA, Takeyuki YAMAMOTO, Hirotaka OJIMA, Jun SHIMIZU and Libo ZHOU
- 学会等名
  Proceedings of 7th LEM21
- 発表場所
  Sendai/Japan (査読有,67-70)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] 音響浮揚の保持力の向上に関する研究2013
- 著者名/発表者名
  稲田智広,周立波,尾嶌裕隆,小貫哲平
- 学会等名
  日本機械学会第21回茨城講演会論文集
- 発表場所
  茨城大学 (181-182)
- 年月日
  2013-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656094
[学会発表] 薄ウェハデバイス加工・検査工程の研究開発‐反射分光計測技術をベースとした検査技術‐2013
- 著者名/発表者名
  小貫哲平、尾嶌裕隆、清水淳、周立波
- 学会等名
  STARCワークショップ
- 発表場所
  新横浜国際ホテル
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[学会発表] 音響浮揚の保持能力向上に関する研究2013
- 著者名/発表者名
  稲田智広，周立波，尾嶌裕隆，小貫哲平
- 学会等名
  第21回茨城講演会
- 発表場所
  茨城大学・日立キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656094
[学会発表] ダイヤモンド砥石における砥粒切れ刃の3次元分布2013
- 著者名/発表者名
  蛯名雄太郎,杭偉,周立波,清水淳,小貫哲平,尾嶌裕隆,山本武幸,渡辺拓也
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] Development of Areal Wavelet Transform applying to 2D image2013
- 著者名/発表者名
  鈴木泰樹，尾嶌裕隆，周立波，清水淳，小貫哲平
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季学術講演会国際フォーラム
- 発表場所
  東京工業大学大岡山キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] Development of Microtextured Photocatalytic Surface by Vibration-assisted Scratching2013
- 著者名/発表者名
  Jun Shimizu, Takeyuki Yamamoto, Libo Zhou, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima
- 学会等名
  THERMEC 2013
- 発表場所
  Rio Hotel, Las Vegas, USA
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[学会発表] 微小テクスチャ金型の開発とその応用（第３報）－圧子の稜を用いた微小切削によるテクスチャパターンの複雑化－2013
- 著者名/発表者名
  山本武幸，清水　淳，周　立波，尾嶌裕隆，小貫哲平
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  関西大学（千里山）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[学会発表] 脆性強誘電体材料(LiNbO3)への非熱的レーザアブレーション微細加工技術2013
- 著者名/発表者名
  村山一平, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 清水　淳, 周　立波
- 学会等名
  第14回高エネ研メカ・ワークショップ
- 発表場所
  筑波
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] Three-dimensional cutting edge distribution of abrasives on diamond grinding wheel working surface2013
- 著者名/発表者名
  Libo ZHOU, Yutaro EBINA, Jun SHIMIZU, Teppei ONUKI, Hirotaka OJIMA and Takeyuki YAMAMOTO
- 学会等名
  Proceedings of 6th LEM21
- 発表場所
  Sendai/Japan (査読有,79-84)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] 脆性強誘電材料(LiNbO_3)への非熱的レーザアブレーション微細加工技術2013
- 著者名/発表者名
  村山一平,小貫哲平,尾嶌裕隆,清水淳,周立波
- 学会等名
  第14回高エネ研メカ・ワークショップ
- 発表場所
  筑波
- 年月日
  2013-04-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] レーザアブレーション微細加工における材料除去と変質・損傷発生機構解明と制御2013
- 著者名/発表者名
  村山一平，小貫哲平，尾嶌裕隆，清水淳，周立波
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学大岡山キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] Development of Areal Wavelet Transform applying to 2D image2013
- 著者名/発表者名
  鈴木泰樹,尾嶌裕隆,周立波,清水淳,小貫哲平
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] Three-dimensional cutting edge distribution of abrasives on diamond grinding wheel working surface2013
- 著者名/発表者名
  Libo ZHOU, Yutaro EBINA, Jun SHIMIZU, Teppei ONUKI, Hirotaka OJIMA and Takeyuki YAMAMOTO
- 学会等名
  日本機械学会，6th Int’l Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 発表場所
  仙台
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] Three-dimensional cutting edge distribution of abrasives on diamond grinding wheel working surface2013
- 著者名/発表者名
  Libo Zhou, Yutaro Ebina, Jun Shimizu, Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto
- 学会等名
  7th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 発表場所
  ホテル松島大観荘（宮城県）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[学会発表] ダイヤモンド砥石における砥粒切れ刃の3次元分布2013
- 著者名/発表者名
  蛯名雄太郎，杭偉，周立波，清水淳小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸，渡辺拓也
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学大岡山キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] 化学作用援用研削の分子動力学シミュレーション－シリコンウエハ-砥粒間の凝着の影響－2013
- 著者名/発表者名
  清水　淳, 周　立波, 山本武幸, 尾嶌裕隆, 小貫哲平, 古牧允彦
- 学会等名
  砥粒加工学会、ABTEC2013
- 発表場所
  東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] 化学作用援用研削の分子動力学シミュレーション-シリコンウエハ/砥粒間の凝着の影響-2013
- 著者名/発表者名
  清水淳, 周立波, 山本武幸, 尾嶌裕隆, 小貫哲平, 古牧允彦
- 学会等名
  砥粒加工学会,ABTEC2013
- 発表場所
  日本大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] レーザアブレーション微細加工における材料除去と変質・損傷発生機構解明と制御2013
- 著者名/発表者名
  村山一平,小貫哲平,尾嶌裕隆,清水淳,周立波
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] 反射分光式シリコンウェハ厚さ計で用いる短波長近赤外帯(SWIR)光学定数分散の検討2013
- 著者名/発表者名
  小貫哲平、小野竜典、鈴木晃、尾嶌裕隆、清水淳、周立波
- 学会等名
  第74回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  同志社大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[学会発表] Control of the incubation effects in pulsed laser micro machining on ferroelectric lithium niobate substrates2013
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Ippei Murayama, Takeyuki Yamamoto, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou
- 学会等名
  7th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 発表場所
  ホテル松島大観荘（宮城県）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[学会発表] 掘起しの有効活用による表面微小テクスチャの創成2013
- 著者名/発表者名
  清水　淳，山本武幸，周　立波，尾嶌裕隆，小貫哲平
- 学会等名
  日本トライボロジー学会トライボロジー会議（秋福岡）
- 発表場所
  アクロス福岡（福岡県）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420043
[学会発表] 定在音場における微粒子分級の一考案2012
- 著者名/発表者名
  伊藤拓哉，稲田智広，牛腸広人，周立波，清水淳，小貫哲平，尾嶌裕隆
- 学会等名
  日本機械学会第9回生産加工・工作機械分門講演会
- 発表場所
  秋田県立大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656094
[学会発表] 固定砥粒によるシリコンウエハの薄片化に関する加工技術2012
- 著者名/発表者名
  谷口博則,周立波,清水淳,小貫哲平,尾嶌裕隆,呉天旭
- 学会等名
  日本機械学会第9回生産加工・工作機械部門講演会
- 発表場所
  秋田県立大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] Siウエハ仕上げ加工に及ぼす加工変質層の影響2012
- 著者名/発表者名
  清水淳，周立波，小貫哲平，尾嶌裕隆，山本武幸，高野巧一郎
- 学会等名
  2012年度砥粒加工学会（ABTEC2012）
- 発表場所
  同志社大学京田辺キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] 音響浮揚を用いた微粒子分級法に関する研究2012
- 著者名/発表者名
  牛腸広人,伊藤拓哉,稲田智広,周立波,清水淳,小貫哲平,尾嶌裕隆
- 学会等名
  日本機械学会第20回茨城講演会論文集
- 発表場所
  茨城大学 (11-114)
- 年月日
  2012-08-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656094
[学会発表] 定在音場における微粒子分級の一考案2012
- 著者名/発表者名
  伊藤拓哉,稲田智広,牛腸広人,周立波,清水淳,小貫哲平,尾嶌裕隆
- 学会等名
  日本機械学会第9回生産加工・工作機械分門講演会論文集
- 発表場所
  秋田県立大学 (265-266)
- 年月日
  2012-10-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656094
[学会発表] 音響浮揚を用いた微粒子分級法に関する研究2012
- 著者名/発表者名
  牛腸広人，伊藤拓哉，稲田智広，周立波，清水淳，小貫哲平，尾嶌裕隆
- 学会等名
  日本機械学会第20回茨城講演会
- 発表場所
  茨城大学日立キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656094
[学会発表] Si ウエハ仕上げ加工に及ぼす加工変質層の影響2012
- 著者名/発表者名
  清水淳,周立波,小貫哲平,尾嶌裕隆,山本武幸
- 学会等名
  砥粒加工学会,ABTEC2012
- 発表場所
  同志社大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] Nanomold Fabrication by Scratching and Its Application to Nanoimprint Lithography2011
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, W.Ohsone, H.Ojima, T.Onuki, L.Zhou, T.Yamamoto
- 学会等名
  6th Int'l Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
- 発表場所
  Saitama, Japan
- 年月日
  2011-11-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[学会発表] SPMによるナノ構造の創成に関する研究-機械および電気的手法による検討-2011
- 著者名/発表者名
  清水淳, 高野巧一郎, 尾嶌裕隆, 小貫哲平, 山本武幸, 周立波
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  金沢大学(角間)
- 年月日
  2011-09-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560134
[学会発表] Image based defect detection Algorithm by use of wavelet transformation2011
- 著者名/発表者名
  Kaoru TAKAMORI, Hirotaka OJIMA, Libo ZHOU, Teppei ONUKI, Jun SHIMIZU and Takeyuki YAMAMOTO
- 学会等名
  Proceedings of 6thLEM21
- 発表場所
  Saitama/Japan (CD-ROM)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] 微小切削テクスチャによる光触媒機能の向上に関する研究2011
- 著者名/発表者名
  山本武幸, 小林剛, 清水淳, 尾嶌裕隆, 小貫哲平, 周立波
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  金沢大学(角間)
- 年月日
  2011-09-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102
[学会発表] Image based defect detection Algorithm by use of wavelet transformation2011
- 著者名/発表者名
  K.TAKAMORI, H.OJIMA, L.ZHOU, T.ONUKI, J.SHIMIZU, T.YAMAMOTO
- 学会等名
  6th Int'l Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
- 発表場所
  Saitama, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] Nanomold Fabrication by Scratching and Its Application to Nanoimprint Lithography2011
- 著者名/発表者名
  J.Shimizu, W.Ohsone, H.Ojima, T.Onuki, L.Zhou, T.Yamamoto
- 学会等名
  6th Int'l Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
- 発表場所
  Saitama, Japan
- 年月日
  2011-11-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560102
[学会発表] Nanomold Fabrication by Scratching and Its Application to Nanoimprint Lithography2011
- 著者名/発表者名
  J.SHIMIZU, W.OHSONE, H.OJIMA, T.ONUKI, L.ZHOU, T.YAMAMOTO
- 学会等名
  6th Int'l Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
- 発表場所
  Saitama, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360062
[学会発表] Radiation Cooling using Plasmon Resonant Nanostrips2010
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki
- 学会等名
  5th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems(IEEE-NEMS 2010)
- 発表場所
  Xiamen, China
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18GS0203
[学会発表] Rapid and Nondestructive Evaluations of Conductivity by Spectroscopic Measurements at the Plasma Edge2010
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki
- 学会等名
  5th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems(IEEE-NEMS 2010)
- 発表場所
  Xiamen, China
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18GS0203
[学会発表] 輻射局在成分操作による熱流制御技術の検討2009
- 著者名/発表者名
  小貫哲平
- 学会等名
  日本機械学会マイクロ・ナノ工学専門会議主催第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- 発表場所
  タワーホール船橋・東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18GS0203
[学会発表] Micro blender and separator using inner-vortex of droplet induced by surface acoustic wave2009
- 著者名/発表者名
  Takuya Sano, Teppei Onuki, Yuichirou Hamate, Maki Hohjo, Sumito Nagasawa and Hiroki Kuwano
- 学会等名
  The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 09)
- 発表場所
  Denver USA
- 年月日
  2009-06-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[学会発表] Controlling activated wavelength of plasmonic material2008
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki
- 学会等名
  10th international conference on near-field optics, nano-photonics and related techniques (NFO10)
- 発表場所
  Salguero plaza, Buenos Aires , Argentina
- 年月日
  2008-09-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[学会発表] 波長550nm帯用多並列フォトニック結晶波長フィルターの作製2008
- 著者名/発表者名
  小貫哲平
- 学会等名
  応用物理学会応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  日本大学船橋キャンパス
- 年月日
  2008-03-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[学会発表] Surface plasmon resonance sensor for microarray analyzer2008
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki
- 学会等名
  The 10^<th> international conference on near-field optics, nano-photonics and related techniques (NF010)
- 発表場所
  Salguero plaza, Buenos Aires .Argentina
- 年月日
  2008-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[学会発表] 多層膜型フォトニック結晶による波長フィルター2008
- 著者名/発表者名
  大寺康夫, 小貫哲平, 川嶋貴之, 川上彰二郎
- 学会等名
  電子情報通信学会総合大会
- 発表場所
  北九州市立大学
- 年月日
  2008-03-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[学会発表] Surface plasmon resonance sensor for microarray analyzer2008
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki
- 学会等名
  10th international conference on near-field optics, nano-photonics and related techniques (NFO10)
- 発表場所
  Salguero plaza, Buenos Aires , Argentina
- 年月日
  2008-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[学会発表] Low resistive copper thin film deposited with ultra-high purity target and ECR-ion beam sputtering2008
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Hiroki Kuwano
- 学会等名
  The 8th International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications & 2nd Micro Environmental Machine Systems symposium (PowerMEMS+μEMS2008)
- 発表場所
  Mediatheque Sendai
- 年月日
  2008-11-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[学会発表] 波長550nm帯用多並列フォトニック結晶波長フィルターの作製2008
- 著者名/発表者名
  大寺康夫, 小貫哲平, 川嶋貴之, 川上彰二郎
- 学会等名
  応用物理学会
- 発表場所
  日本大学
- 年月日
  2008-03-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[学会発表] Low resistive copper thin film deposited with ultra-high purity target and ECR-ion beam sputtering2008
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki
- 学会等名
  The 8^<th> International Workshop onMicro and Nanotech-nology for Power Generation and Energy Conversion Applications & T^<nd> Micro Environmental Machine Systems symposium (PowerMEMS-1-gEMS2008)
- 発表場所
  Mediatheque Sendai
- 年月日
  2008-11-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[学会発表] MEMSスイッチによる表面弾性波制御機構の開発2008
- 著者名/発表者名
  小貫哲平
- 学会等名
  電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会
- 発表場所
  仙台
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18GS0203
[学会発表] Controlling activated wavelength of plasmonic material2008
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki
- 学会等名
  The 10^<th> international conference on near-field optics, nano-nhotonics and related techniaues (NF010)
- 発表場所
  Salguero plaza, Buenos Aires, Argentina
- 年月日
  2008-09-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[学会発表] 自己クローニング法によるフォトニック結晶を用いた動的光学フィルター2007
- 著者名/発表者名
  小貫哲平
- 学会等名
  電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会
- 発表場所
  筑波大学
- 年月日
  2007-07-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[学会発表] 周期構造における垂直入射光線と表面プラズモンポラリトンの結合特性2007
- 著者名/発表者名
  小貫哲平, 大寺康夫, 桑野博喜, 時崎高志
- 学会等名
  応用物理学会
- 発表場所
  青山学院大学大学
- 年月日
  2007-03-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[学会発表] 自己クローニング法によるフォトニック結晶を用いた動的光学フィルタ2007
- 著者名/発表者名
  長澤純人, 小貫哲平, 桑野博喜
- 学会等名
  電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会
- 発表場所
  筑波大学
- 年月日
  2007-07-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[学会発表] 表面弾性波を利用したマイクロ流体制御2007
- 著者名/発表者名
  佐野拓也, 佐藤誠人, 桑野博喜, 長澤純人, 小貫哲平
- 学会等名
  マイクロマシン・センサシステム研究会
- 発表場所
  筑波大学
- 年月日
  2007-07-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[学会発表] 分光計測用フォトニック結晶型波長フィルターの開発2006
- 著者名/発表者名
  大寺康夫, 小貫哲平, 井上喜彦, 川上彰二郎
- 学会等名
  第38回光波センシング技術研究会
- 発表場所
  東京理科大学
- 年月日
  2006-12-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[学会発表] Surface plasmon polariton around photonic bandgap for inter- photonicband swiching devices2006
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Yasuo Ohtera, and Takashi Tokizaki
- 学会等名
  9th international conference on near-field optics, nano-photonics and related techniques (NFO9)
- 発表場所
  Swiss Federal Institute of Technology Lausanne (EPFL), Switzerland
- 年月日
  2006-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[学会発表] 格子型表面プラズモンセンサーの開発2006
- 著者名/発表者名
  小貫哲平, 大寺康夫, 時崎高志
- 学会等名
  応用物理学会
- 発表場所
  立命館大学
- 年月日
  2006-08-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18686006
[学会発表] Comparative Investigations of Analysis Methods in Thickness Inspections of Ultra Thin Semiconductor Wafers by Means of White Light Reflectmetry
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu, Libo Zhou
- 学会等名
  15th International conference on Precision Engineering (ICPE2014)
- 発表場所
  ホテル日航金沢
- 年月日
  2014-07-22 – 2014-07-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[学会発表] Influence of surface integrity in silicon wafer thickness measurements by reflection spectroscopy
- 著者名/発表者名
  Teppei Onuki, Ryusuke Ono, Hirotaka Ojima, Jun Shimizu and Libo Zhou
- 学会等名
  The 17th International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT2014)
- 発表場所
  Courtyard by Marriott King Kamehameha's Kona Beach Hotel, Kona, Hawaii Island, USA
- 年月日
  2014-09-22 – 2014-09-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005
[学会発表] 白色反射光計測によるウェハ厚さ測定における表面性状の影響
- 著者名/発表者名
  小貫哲平、尾嶌裕隆、清水淳、周立波
- 学会等名
  第75回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  北海道大学
- 年月日
  2014-09-17 – 2014-09-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25709005

1. 周立波 (90235705)

共同の研究課題数: 15件

共同の研究成果数: 230件
2. 清水淳 (40292479)

共同の研究課題数: 15件

共同の研究成果数: 228件
3. 尾嶌裕隆 (90375361)

共同の研究課題数: 15件

共同の研究成果数: 228件
4. 山本武幸 (40396594)

共同の研究課題数: 12件

共同の研究成果数: 126件
5. 桑野博喜 (50361118)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 3件
6. 西澤松彦 (20273592)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
7. 小野崇人 (90282095)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
8. 折茂慎一 (40284129)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
9. 田中秀治 (00312611)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
10. 長澤純人 (30400279)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
11. 安部隆 (00333857)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
12. 岡本洋 (70455799)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 3件
13. 曹自平 (90552406)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
14. 濱手雄一郎 (10455800)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
15. 大口裕之 (40570908)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
16. 金子和暉 (60909216)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 6件
17. 陸文通

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件

小貫 哲平 Onuki Teppei

研究課題

研究成果

共同研究者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

超解像Raman断層計測を用いた結晶損傷発生機構の解明と先端加工技術への応用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

2次元同時分光イメージング計測による大径極薄<10umウェハ機上全面厚さ計測技術研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

小貫哲平 Onuki Teppei