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清家 善之  Seike Yoshiyuki

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 70584069
所属 (現在) 2025年度: 愛知工業大学, 工学部, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2023年度: 愛知工業大学, 工学部, 教授
審査区分/研究分野
研究代表者
小区分18020:加工学および生産工学関連
キーワード
研究代表者
スプレー / 二酸化炭素 / 深層学習 / 誘導帯電 / 洗浄 / 静電気障害 / 二流体スプレー / 半導体
  • 研究課題

    (1件)
  • 研究成果

    (12件)
  • 共同研究者

    (2人)
  •  脱CO2を目指した誘導帯電技術を用いた新たな半導体デバイス製造プロセスの創出研究代表者

    • 研究代表者
      清家 善之
    • 研究期間 (年度)
      2023 – 2025
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分18020:加工学および生産工学関連
    • 研究機関
      愛知工業大学

すべて 2024 2023

すべて 雑誌論文 学会発表

  • [雑誌論文] 半導体デバイス製造に用いられる物理的なウェット洗浄2023

    • 著者名/発表者名
      清家善之
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌

      巻: 67 ページ: 389-392

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K03627
  • [雑誌論文] 半導体デバイスの物理的ウエット洗浄技術2023

    • 著者名/発表者名
      清家善之
    • 雑誌名

      混相流

      巻: 32 ページ: 189-196

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K03627
  • [雑誌論文] ESD Prevention Technology for Two-Fluid Pure Water Spray Cleaning with Controlled Electrostatic Charge2023

    • 著者名/発表者名
      Yoshiyuki Seike, Hiroharu Suzuki, Yusuke Ichino, Tatsuo Mori
    • 雑誌名

      Solid State Phenomena

      巻: 346 ページ: 244-249

    • DOI

      10.4028/p-xfxqv7

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K03627
  • [学会発表] Control of Static Electricity Generated by Two-fluid Spray of Pure Water2024

    • 著者名/発表者名
      Yoshiyuki Seike, Hiroharu Suzuki, Yusuke Ichino, Noriyuki Taoka, Tatsuo Mori
    • 学会等名
      The International Council on Electrical Engineering
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K03627
  • [学会発表] Analysis of Charging Phenomena on Silicon Wafers with Oxide Films in Two-Fluid Spray2024

    • 著者名/発表者名
      Kousei Ito, Yuta Fukatu, Tatsuo Mori, Yusuke Ichino, Noriyuki Taoka, Yoshiyuki Seike
    • 学会等名
      The International Council on Electrical Engineering
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K03627
  • [学会発表] Electrostatic Characteristics at the Start of Two-Fluid Spray Cleaning for Semiconductors2024

    • 著者名/発表者名
      Ittetsu Watanabe, Riho Hirano, Tatsuo Mori, Yusuke Ichino, Noriyuki Taoka, Yoshiyuki Seike
    • 学会等名
      The International Council on Electrical Engineering
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K03627
  • [学会発表] 二流体スプレーの噴射開始時に発生する静電気特性2023

    • 著者名/発表者名
      渡部一哲, 一野 祐亮, 田岡 紀之, 森 竜雄, 清家 善之
    • 学会等名
      応用物理学会界面ナノ電子化学研究会 第8回ポスター発表会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K03627
  • [学会発表] 二流体スプレー純水洗浄時に発生するシリコンウェハ表面電位の変化2023

    • 著者名/発表者名
      伊藤康生, 一野 祐亮, 田岡 紀之, 森 竜雄, 清家 善之
    • 学会等名
      応用物理学会界面ナノ電子化学研究会 第8回ポスター発表会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K03627
  • [学会発表] 誘導帯電素子を用いた二流体スプレー時の発生電荷量の制御2023

    • 著者名/発表者名
      清家 善之, 鈴木 洋陽, 一野 祐亮, 田岡 紀之, 森 竜雄
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K03627
  • [学会発表] 深層学習を用いた純水スプレー時に発生する静電気量の推測手法の確立2023

    • 著者名/発表者名
      清家善之
    • 学会等名
      第33回 RCJ信頼性シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K03627
  • [学会発表] ESD Prevention Technology for Two-Fluid Pure Water Spray Cleaning with Controlled Electrostatic Charge2023

    • 著者名/発表者名
      Yoshiyuki Seike, Hiroharu Suzuki, Yusuke Ichino, Tatsuo Mori
    • 学会等名
      16th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS 2023)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K03627
  • [学会発表] Electrostatic Discharge Prevention technology in Pure Water Spray Cleaning of Semiconductor Cleaning Process Using Machine Learning2023

    • 著者名/発表者名
      Yoshiyuki Seike
    • 学会等名
      The 9th Annual World Congress of Advanced Materials (WCAM-2023)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K03627
  • 1.  森 竜雄 (40230073)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 8件
  • 2.  真田 俊之 (50403978)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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