道畑正岐 Michihata Masaki

研究者番号	70588855
その他のID	https://orcid.org/0000-0002-2373-6534
所属 (現在)	2024年度: 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2018年度 – 2024年度: 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 2015年度 – 2018年度: 東京大学, 先端科学技術研究センター, 助教 2015年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 助教 2012年度 – 2015年度: 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 2013年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 助教 2011年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教 2010年度: 大阪大学, 工学研究科, 助教
審査区分/研究分野	研究代表者生産工学・加工学 / 小区分18020:加工学および生産工学関連 / 中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野研究代表者以外生産工学・加工学 / 小区分18020:加工学および生産工学関連 / 中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野 / 小区分15020:素粒子、原子核、宇宙線および宇宙物理に関連する実験 / 機械材料・材料力学
キーワード	研究代表者 Whispering gallery mode / 直径計測 / WGM / 光共振 / テーパファイバ / 真球度 / 定在波 / 屈折率 / テーパ光ファイバー / 球体 … もっと見る / 直径 / WGM共振 / マイクロ球 / マイクロプローブ / 微小球共振 / 寸法計測 / 計測理論 / 内面形状 / 回折格子 / 内面構造 / 計測基準点 / 光周波数コム / 細径ファイバー / Mie散乱 / 光ファイバ / テーパ光ファイバ / 近接場プローブ / 有限要素解析 / SNOM / 近接場 / 偏光 / Goos-Haenchenシフト / 自律校正 / ビート周波数 / 伝搬定数 / テーパファイバー / モード解析 / 微小球 / 標準計測 / 光共振器 / 金属微細構造 / 回折限界 / レーザ加工 / ハイスピードカメラ / ナノ加工 / 光放射圧ポテンシャル / 金属ナノ粒子 / 光放射圧 / 付加加工 / 光ピンセット / ベッセルビーム / インプロセス / 付加製造 / 光圧 / 校正 / 計測不確かさ / 切削油 / 工具刃先 / 共焦点 / 工具摩耗 / 蛍光 / 蛍光共焦点 / オンマシン計測 / 工具計測 / 切削油蛍光 / マイクロCMM / 微小球共振器 / 光カップリング / NSOM … もっと見る研究代表者以外レーザーアブレーション / レーザー加工 / 局在型表面プラズモン / 伝搬型表面プラズモン / ナノ粒子 / パルストレイン / パルストレインビーム / コヒーレントフォノン / 水酸化フラーレン / ウォータジェットレーザー加工 / ウォータジェットレーザ加工 / 高アスペクト比 / 微細穴加工 / 表面検査 / 表面欠陥 / シリコンウエハ / ナノ異物 / ナノ欠陥 / 異物検出 / コヒーレント結像 / 微細機能構造 / ナノ計測 / 超解像 / シミュレーション / 校正 / 圧縮 / 三次元座標導出 / FSR / アライメント / 電気双極子能率 / ミューオン異常磁気能率 / 測長網 / ボールレンズ / パルス間隔 / 自由スペクトル領域 / エタロン / 絶対測長干渉計 / 光周波数コム / EDM / g-2 / muon / ball lens / oprical frequency comb / interferometer / alignment monitor / ナノ除去加工 / マイクロレジン / 光触媒ナノ粒子 / 放射圧制御 / 光トラップ / 並列制御 / 空間局在光場 / 放射圧並列制御 / 空間局在光場制御 / レーザートラップ / ナノ・マイクロ加工 / マクロファクトリ / ナノマイクロ加工 / セルインマイクロファクトリ / マイクロファクトリ / 電子増強ラマン散乱効果 / 超微細レーザー加工計測 / ナノ局所界面 / ナノ微細加工 / ラマン散乱計測 / 超短パルスレーザー加工 / レーザーアブレ－ション / ナノ加工 / 表面加工 / ダメージレス加工 / 表面励起 / ダブルパルス / アブレーション / インコヒーレント励起 / コヒーレント励起 / 表面励起加工 / フェムト秒レーザー / 化学的相互作用 / 反応性ナノ粒子 / 表面微細構造クラスター / ナノ研磨プロセス / 表面増強ラマン散乱 / デバイストークスアインシュタインの法則 / 偏光解消 / 粘性計測 / 回転ブラウン運動 / 回転拡散係数 / ブラウン運動 / 蛍光偏光法 / 加工量計測 / 定在場スケール / 非熱的アブレーション加工 / フェムト秒パルスレーザー / 光放射圧 / 微粒子レンズ / 超高アスペクト比微細加工 / フォトニック・ナノジェット / 原子直接加工 / コヒーレント振動 / フェムト秒パルス / 非平衡状態 / 原子加工 / レーザ加工 / フェムト秒レーザ / 超短パルスレーザー / 加工現象計測・解析 / 表面増強ラマン散乱法 / 分子加工原理 / 材料除去過程 / ナノデジタルパターニング / 加工機能性超微粒子隠す

3次元空間座標基準モニタリングによる内面構造のナノスケール精度計測研究代表者
- 研究代表者
  
  道畑正岐
- 研究期間 (年度)
  2023 – 2025
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  東京大学
破壊的干渉照明を用いた次世代極細光ファイバ直径のナノ精度計測原理の確立研究代表者
- 研究代表者
  
  道畑正岐
- 研究期間 (年度)
  2022 – 2023
- 研究種目
  
  挑戦的研究(萌芽)
- 審査区分
  
  中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
- 研究機関
  東京大学
次世代機能デバイス実現のための高品位・超高アスペクト比微細穴加工システムの開発
- 研究代表者
  
  高橋哲
- 研究期間 (年度)
  2022 – 2024
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  東京大学
1nm表面異物欠陥の自律探索を実現する動的位相差検出型・近接場液相プローブ計測法
- 研究代表者
  
  高橋哲
- 研究期間 (年度)
  2021 – 2023
- 研究種目
  
  挑戦的研究(萌芽)
- 審査区分
  
  中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
- 研究機関
  東京大学
質量標準トレーサビリティ体系のための超高精度・広範囲なシリコン球体計測研究代表者
- 研究代表者
  
  道畑正岐
- 研究期間 (年度)
  2020 – 2022
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  東京大学
空間局在光場並列制御によるナノ除去加工分解能・新概念光励起加工法の挑戦
- 研究代表者
  
  高橋哲
- 研究期間 (年度)
  2019 – 2021
- 研究種目
  
  挑戦的研究(萌芽)
- 審査区分
  
  中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
- 研究機関
  東京大学
ミューオンg-2/EDM精密測定のための検出器アライメントモニターの開発
- 研究代表者
  
  久米達哉
- 研究期間 (年度)
  2019 – 2021
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分15020:素粒子、原子核、宇宙線および宇宙物理に関連する実験
- 研究機関
  大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構
動的位相同期制御による局在光場を用いた次世代微細機能構造のナノ欠陥超解像計測
- 研究代表者
  
  高橋哲
- 研究期間 (年度)
  2019 – 2021
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  東京大学
微小球共振原理を用いたマイクロスケール3次元形状標準計測の原理確立への挑戦研究代表者
- 研究代表者
  
  道畑正岐
- 研究期間 (年度)
  2018 – 2020
- 研究種目
  
  挑戦的研究(萌芽)
- 審査区分
  
  中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
- 研究機関
  東京大学
光放射圧ポテンシャルによる局所化を用いたサブ100nm分解能金属3次元構造創成研究代表者
- 研究代表者
  
  道畑正岐
- 研究期間 (年度)
  2017 – 2019
- 研究種目
  
  若手研究(A)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東京大学
切削油蛍光プローブによる工具刃先形状のオンマシン計測研究代表者
- 研究代表者
  
  道畑正岐
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2016
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東京大学
光共振波長スペクトルに基づくマイクロ球形状のナノメートル精度計測研究代表者
- 研究代表者
  
  道畑正岐
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2016
- 研究種目
  
  若手研究(A)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東京大学
複合マイクロ粒子機能構造体生産のための局在光制御セルインマイクロファクトリの開発
- 研究代表者
  
  高橋哲
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2018
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東京大学
超微細パルスレーザー加工過程におけるナノ局所界面温度・物性の選択的ラマン計測
- 研究代表者
  
  高谷裕浩
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2015
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
時間分解コヒーレントフォノン制御を用いた表面原子のインプロセスナノ加工・計測
- 研究代表者
  
  林照剛
- 研究期間 (年度)
  2013 – 2015
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  九州大学
   大阪大学
その場計測制御による超高アスペクト比微細形状のフォトニック・ナノジェット加工
- 研究代表者
  
  高谷裕浩
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2015
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
蛍光ナノプローブを用いた微量サンプルの超精密粘度計測技術の開発
- 研究代表者
  
  林照剛
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2013
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  機械材料・材料力学
- 研究機関
  大阪大学
球内周回光伝搬モード観測によるマイクロ球形状のスキャンレス計測研究代表者
- 研究代表者
  
  道畑正岐
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2013
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
局在・伝搬型表面プラズモン励起ラマン計測による反応性ナノ粒子研磨プロセスの可視化
- 研究代表者
  
  高谷裕浩
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2013
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
微小球共振器を用いた3次元微細形状計測用マイクロプローブに関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  道畑正岐
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2011
- 研究種目
  
  研究活動スタート支援
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
デジタルナノパターニング技術開拓のための水酸化フラーレン分子加工原理に関する研究
- 研究代表者
  
  高谷裕浩
- 研究期間 (年度)
  2009 – 2011
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
フェムトパルストレインビームを用いたコヒーレント振動制御による原子加工
- 研究代表者
  
  林照剛 (林照剛)
- 研究期間 (年度)
  2009 – 2011
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学

[図書] Progress in Optomechatronic Technologies "chapter 4"2014
- 著者名/発表者名
  Atsushi Adachi, Masaki Michihata, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya
- 総ページ数
  205
- 出版者
  Springer International Publishing
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656102
[雑誌論文] Theoretical analysis on coherent optical super-resolution method for inspection of functional micro-structured surfaces with complex-amplitude-response distribution2023
- 著者名/発表者名
  Kume Hiromasa、Michihata Masaki、Takahashi Satoru
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 80 ページ: 138-159
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2022.11.011
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02036
[雑誌論文] Measurement of diameter of sub-micrometer fiber based on analysis of scattered light intensity distribution under standing wave illumination2022
- 著者名/発表者名
  Michihata Masaki、Murakami Sojiro、Kadoya Shotaro、Takahashi Satoru
- 雑誌名
  
  CIRP Annals
  
  巻: 71 号: 1 ページ: 421-424
- DOI
  10.1016/j.cirp.2022.03.008
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K18747, KAKENHI-PROJECT-20H02040
[雑誌論文] Measurement properties of electric field intensity distribution of whispering gallery mode with near-field optical probe2022
- 著者名/発表者名
  Liu Yushen、Kadoya Shotaro、Michihata Masaki、Takahashi Satoru
- 雑誌名
  
  Measurement Science and Technology
  
  巻: 33 号: 9 ページ: 095501-095501
- DOI
  10.1088/1361-6501/ac74a2
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02040
[雑誌論文] Smart optical measurement probe for autonomously detecting nano-defects on bare semiconductor wafer surface: highly sensitive observation system using phase-contrast microscopy with a spatial light modulator2022
- 著者名/発表者名
  Y. Guan, S. Masui, S. Kadoya, M. Michihata and S. Takahashi
- 雑誌名
  
  J. Phys. Conf. Ser. 2368
  
  巻: 1 号: 1 ページ: 12014-12014
- DOI
  10.1088/1742-6596/2368/1/012014
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K18668, KAKENHI-PROJECT-22KJ1106
[雑誌論文] Numerical analysis on high resolution optical measurement method with long working distance objective for in-line inspection of micro-structured surface2021
- 著者名/発表者名
  Kume Hiromasa、Michihata Masaki、Takamasu Kiyoshi、Takahashi Satoru
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 67 ページ: 232-247
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2020.09.012
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02036
[雑誌論文] The FDTD Analysis of Near-Field Response for Microgroove Structure With Standing Wave Illumination for the Realization of Coherent Structured Illumination Microscopy2021
- 著者名/発表者名
  Guan Yizhao、Kume Hiromasa、Kadoya Shotaro、Michihata Masaki、Takahashi Satoru
- 雑誌名
  
  Journal of Manufacturing Science and Engineering
  
  巻: 144 号: 3
- DOI
  10.1115/1.4051827
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02036
[雑誌論文] In-Process Diameter Measurement Technique for Micro-Optical Fiber with Standing Wave Illumination2021
- 著者名/発表者名
  Michihata Masaki、Zheng Zhao、Funaiwa Daiki、Murakami Sojiro、Kadoya Shotaro、Takahashi Satoru
- 雑誌名
  
  Nanomanufacturing and Metrology
  
  巻: 4 号: 1 ページ: 28-36
- DOI
  10.1007/s41871-020-00081-4
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18803, KAKENHI-PROJECT-20H02040
[雑誌論文] The FDTD analysis for dark field in-process depth measurements of fine microgrooves2021
- 著者名/発表者名
  Guan Yizhao、Kadoya Shotaro、Michihata Masaki、Takahashi Satoru
- 雑誌名
  
  Measurement: Sensors
  
  巻: 18 ページ: 100257-100257
- DOI
  10.1016/j.measen.2021.100257
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02036
[雑誌論文] Micro-scale Additive Manufacturing Using the Optical Potential Generated by a Bessel Beam2020
- 著者名/発表者名
  Michihata Masaki、Yokei Makoto、Kadoya Shotaro、Takahashi Satoru
- 雑誌名
  
  Nanomanufacturing and Metrology
  
  巻: 3 号: 4 ページ: 292-298
- DOI
  10.1007/s41871-020-00079-y
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H04900
[雑誌論文] Advanced generation of functional dual-periodic microstructured surface based on optical in-process measurement2020
- 著者名/発表者名
  Takahashi Satoru、Masui Shuzo、Michihata Masaki、Takamasu Kiyoshi
- 雑誌名
  
  CIRP Annals
  
  巻: 69 号: 1 ページ: 477-480
- DOI
  10.1016/j.cirp.2020.04.076
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02036
[雑誌論文] Radial mode number identification on whispering gallery mode resonances for diameter measurement of microsphere2019
- 著者名/発表者名
  Kobayashi Yumeki、Michihata Masaki、Zhao Zheng、Chu Bohuai、Takamasu Kiyoshi、Takahashi Satoru
- 雑誌名
  
  Measurement Science and Technology
  
  巻: 30 号: 6 ページ: 065201-065201
- DOI
  10.1088/1361-6501/ab1241
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18803
[雑誌論文] In-process measurement for cure depth control of nano stereolithography using evanescent light2019
- 著者名/発表者名
  S. Takahashi, D. Kong, M. Michihata, K. Takamasu
- 雑誌名
  
  CIRP Annals - Manufacturing Technology
  
  巻: 68 号: 1 ページ: 527-530
- DOI
  10.1016/j.cirp.2019.04.072
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[雑誌論文] ベッセルビームの光放射圧ポテンシャルを用いたマイクロスケールAdditive Manufacturingの加工原理検証2019
- 著者名/発表者名
  MICHIHATA Masaki、HAYASHI Masahiro、YOKEI Makoto、TAKAMASU Kiyoshi、TAKAHASHI Satoru
- 雑誌名
  
  日本機械学会論文集
  
  巻: 85 号: 880 ページ: 19-00244-19-00244
- DOI
  10.1299/transjsme.19-00244
- NAID
  130007772974
- ISSN
  2187-9761
- 言語
  日本語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H04900
[雑誌論文] マイクロスケール標準球計測に向けたWhispering gallery mode共振の安定的励起計測システムの開発2019
- 著者名/発表者名
  MICHIHATA Masaki、KOBAYASHI Yumeki、CHU Bohuai、TAKAMASU Kiyoshi、TAKAHASHI Satoru
- 雑誌名
  
  日本機械学会論文集
  
  巻: 85 号: 880 ページ: 19-00226-19-00226
- DOI
  10.1299/transjsme.19-00226
- NAID
  130007772938
- ISSN
  2187-9761
- 言語
  日本語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18803
[雑誌論文] Fabrication of nano/micro dual-periodic structures by multi-beam evanescent wave interference lithography using spatial beats2019
- 著者名/発表者名
  Masui Shuzo、Torii Yuki、Michihata Masaki、Takamasu Kiyoshi、Takahashi Satoru
- 雑誌名
  
  Optics Express
  
  巻: 27 号: 22 ページ: 31522-31522
- DOI
  10.1364/oe.27.031522
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18J21820, KAKENHI-PROJECT-15H02214
[雑誌論文] Surface Imaging Technique by an Optically Trapped Microsphere in Air Condition2018
- 著者名/発表者名
  Michihata Masaki、Kim Jonggang、Takahashi Satoru、Takamasu Kiyoshi、Mizutani Yasuhiro、Takaya Yasuhiro
- 雑誌名
  
  Nanomanufacturing and Metrology
  
  巻: 1 号: 1 ページ: 32-38
- DOI
  10.1007/s41871-018-0004-0
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H04900, KAKENHI-PROJECT-26249006
[雑誌論文] In-Process Measurement of Thickness of Cured Resin in Evanescent-Wave-Based Nano-stereolithography Using Critical Angle Reflection2018
- 著者名/発表者名
  Kong Deqing、Michihata Masaki、Takamasu Kiyoshi、Takahashi Satoru
- 雑誌名
  
  Nanomanufacturing and Metrology
  
  巻: 1 号: 2 ページ: 112-124
- DOI
  10.1007/s41871-018-0013-z
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006, KAKENHI-PROJECT-15H02214
[雑誌論文] In-process Measurement of Gradient Boundary of Resin in Evanescent-wave-based Nano-stereolithography using Reflection Interference Near Critical Angle2018
- 著者名/発表者名
  Deqing Kong, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 31 号: 3 ページ: 441-446
- DOI
  10.2494/photopolymer.31.441
- NAID
  130007481467
- ISSN
  0914-9244, 1349-6336
- 年月日
  2018-06-25
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[雑誌論文] Modified Linnik microscopic interferometry for quantitative depth evaluation of diffraction-limited microgroove2018
- 著者名/発表者名
  Ye Shiwei、Takahashi Satoru、Michihata Masaki、Takamasu Kiyoshi
- 雑誌名
  
  Measurement Science and Technology
  
  巻: 29 号: 5 ページ: 054011-054011
- DOI
  10.1088/1361-6501/aab008
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006, KAKENHI-PROJECT-15H02214
[雑誌論文] One-shot stereolithography for biomimetic micro hemisphere covered with relief structure2018
- 著者名/発表者名
  Suzuki Yuki、Suzuki Kunikazu、Michihata Masaki、Takamasu Kiyoshi、Takahashi Satoru
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 54 ページ: 353-360
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2018.07.004
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249006, KAKENHI-PROJECT-15H02214
[雑誌論文] Precise diameter measurement of a microsphere based on polarization analysis of whispering gallery mode resonance2017
- 著者名/発表者名
  Masaki Michihata, Akifumi Kawasaki, Yasuhiro Takaya
- 雑誌名
  
  Applied Mechanics and Materials
  
  巻: -
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05505
[雑誌論文] Diameter measurement of a microsphere based on analysis of resonant wavelengths of whispering gallery modes2017
- 著者名/発表者名
  Masaki Michihata, Akifumi Kawasaki, Yasuhiro Takaya
- 雑誌名
  
  Journal of Engineering Manufacture
  
  巻: -
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05505
[雑誌論文] Measurement of a tool wear profile using confocal fluorescence microscopy of the cutting fluid layer2016
- 著者名/発表者名
  Yasuhiro Takaya, Kenji Maruno, Masaki Michihata, Yasuhiro Mizutani
- 雑誌名
  
  CIRP Annals - Manufacturing Technology
  
  巻: 65 ページ: 467-470
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13847
[雑誌論文] Evanescent Light Exposing System under Nitrogen Purge for Nano- Stereolithography2016
- 著者名/発表者名
  Yuki Suzuki, Hiroyuki Tahara, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 雑誌名
  
  Procedia CIRP
  
  巻: 42 ページ: 77-80
- DOI
  10.1016/j.procir.2016.02.192
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[雑誌論文] Fundamental Study on Novel On-Machine Measurement Method of a Cutting Tool Edge Profile with a Fluorescent Confocal Microscopy2016
- 著者名/発表者名
  Kenji Maruno, Masaki Michihata, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya
- 雑誌名
  
  Int. J. of Automation Technology
  
  巻: 10 ページ: 106-113
- NAID
  130007674010
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13847
[雑誌論文] Fundamental Study on Novel On-Machine Measurement Method of a Cutting Tool Edge Profile with a Fluorescent Confocal Microscopy2016
- 著者名/発表者名
  Kenji Maruno, Masaki Michihata, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya
- 雑誌名
  
  International Journal of Automation Technology
  
  巻: 10 号: 1 ページ: 106-113
- DOI
  10.20965/ijat.2016.p0106
- NAID
  130007674010
- ISSN
  1881-7629, 1883-8022
- 年月日
  2016-01-05
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13847
[雑誌論文] Wide-range Axial Position Measurement for Jumping Behavior of Optically Trapped Microsphere near Surface using Chromatic Confocal Sensor2015
- 著者名/発表者名
  Shin-ichi Ueda, Masaki Michihata, Terutake Hayashi and Yasuhiro Takaya
- 雑誌名
  
  Int. J. of Optmechatronics
  
  巻: 9 号: 2 ページ: 131-140
- DOI
  10.1080/15599612.2015.1034901
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24246028
[雑誌論文] Measurement of stylus-probe sphere diameter for micro-CMM based on spectral fingerprint of whispering gallery mode2014
- 著者名/発表者名
  Masaki Michihata, Ayano Fukui, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya
- 雑誌名
  
  CIRP Annals - Manufacturing Technology
  
  巻: 55 号: 1 ページ: 469-472
- DOI
  10.1016/j.cirp.2014.02.002
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656102
[雑誌論文] 蛍光偏光法を用いたナノ粒子粒径計測に関する研究（第１報）－蛍光DNAプローブを用いた回転拡散係数測定システムの開発－2014
- 著者名/発表者名
  石崎佑樹，林　照剛，道畑正岐，高谷裕浩
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 2 ページ: 214-219
- NAID
  130003394534
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656088
[雑誌論文] 蛍光偏光法を用いたナノ粒子粒径計測に関する研究(第1報)-蛍光DNAプローブを用いた回転拡散係数測定システムの開発-2014
- 著者名/発表者名
  石崎佑樹,林照剛,道畑正岐,高谷裕浩
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: VOl.80, No.3 ページ: 214-219
- NAID
  130003394534
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656088
[雑誌論文] Measurement of stylus-probe sphere diameter for micro-CMM based on spectral fingerprint of whispering gallery mode2014
- 著者名/発表者名
  M. Michihata, T. Hayashi, A. Adachi, Y. Takaya
- 雑誌名
  
  CIRP Annals
  
  巻: vol. 63, no. 1(in press)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656102
[雑誌論文] ポリグリセロール修飾ナノダイヤモンドを用いた銅膜の平坦化加工に関する研究2014
- 著者名/発表者名
  村井亮太,高谷裕浩,林照剛,道畑正岐,小松直樹
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: Vol.58, No.2 ページ: 97-102
- NAID
  130004835699
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656104
[雑誌論文] Surface analysis of the chemical polishing process using a fullerenol slurry by Raman spectroscopy under surface plasmon excitation2013
- 著者名/発表者名
  Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi, Ryota Murai, Kazumasa Kano
- 雑誌名
  
  Annals of the CIRP
  
  巻: Vol.62, Issue 1 号: 1 ページ: 571-574
- DOI
  10.1016/j.cirp.2013.03.019
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656104
[雑誌論文] Development of nanoparticle sizing system using fluorescence polarization2013
- 著者名/発表者名
  Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, and Kok Fonog Lee
- 雑誌名
  
  ACTA IMEKO
  
  巻: Vol. 2, No. 2 ページ: 67-72
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656088
[雑誌論文] New technique for single-beam gradient-force optical trapping in air2013
- 著者名/発表者名
  M.Michihata, T.Yoshikane, T.Hayashi, Y.Takaya
- 雑誌名
  
  International journal of Optomechatronics
  
  巻: 7 号: 1 ページ: 46-59
- DOI
  10.1080/15599612.2012.760122
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656102
[雑誌論文] Development of nanoparticle sizing system integrated with optical microscopy using fluorescence polarization2012
- 著者名/発表者名
  Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya and Masaki Michihata
- 雑誌名
  
  International Journal of Nanomanufacturing
  
  巻: Vol. 8, Nos. 1/2 ページ: 54-56
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656088
[雑誌論文] Dimensional measurement of microform with high aspect ratio using an opticaly controlled particle with standing wave scale sensing2012
- 著者名/発表者名
  Yasuhiro Takaya, Michihata, Terutake Hayashi, Taisuke Washitani
- 雑誌名
  
  Annals of the CIRP
  
  巻: Vol.61, Issue 1 ページ: 479-482
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24246028
[雑誌論文] Chemical mechanical polishing of patterend copper wafer surface using water-soluble fullerenol slurry2011
- 著者名/発表者名
  Yasuhiro Takaya, Hirotaka Kishida, Terutake Hayashi, Masaki Michihata
- 雑誌名
  
  Annals of the CIRP
  
  巻: Vol.60 ページ: 567-570
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360064
[雑誌論文] Chemical mechanical polishing of patterned copper wafer surface using water-soluble fullerenol slurry2011
- 著者名/発表者名
  Yasuhiro Takaya, Hirotaka Kishida, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Ken Kokubo
- 雑誌名
  
  CIRP Annals-Manufacturing Technology
  
  巻: Vol.60, Issue1 ページ: 567-570
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360064
[産業財産権] 母型の製造方法2016
- 発明者名
  高橋哲，鈴木裕貴，鈴木邦和，道畑正岐，高増潔，田中大直，西村涼
- 権利者名
  東京大学，JXエネルギー株式会社
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2016-08-17
- 外国
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[産業財産権] レーザー加工装置，レーザー加工方法及び加工物の製造方法2014
- 発明者名
  林　照剛，高谷裕浩，道畑正岐
- 権利者名
  林　照剛，高谷裕浩，道畑正岐
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2014
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25289017
[学会発表] 過酷環境下にて動作する高安定アライメントモニターの開発(第2報) -偏波保持光学系による干渉計性能の改善2023
- 著者名/発表者名
  久米, 三部，道畑，高橋
- 学会等名
  2023年度精密工学会春季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H01930
[学会発表] 自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究（第11報）ー空間光位相変調による液相プローブ高感度検出ー2022
- 著者名/発表者名
  管一兆, 増井周造, 門屋祥太郎, 道畑正岐, 高橋哲
- 学会等名
  2022年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K18668
[学会発表] Near-field Phase Analysis of Periodic Microgroove Structure for Metasurface Design based on FDTD Simulation2022
- 著者名/発表者名
  管一兆，増井周造，門屋祥太郎，道畑正岐，高橋哲，岩見健太郎，稲秀樹
- 学会等名
  2022年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02036
[学会発表] 光周波数コムを用いた高精度アライメントモニター(第8報) -試作光学モジュールの評価2022
- 著者名/発表者名
  久米, 三部，道畑，高橋
- 学会等名
  2022年度精密工学会春季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H01930
[学会発表] 局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究（第8報）ーストレプトアビジン，ビオチン相互作用を用いたマイクロ粒子接着ー2022
- 著者名/発表者名
  増井周造, 門屋祥太郎, 道畑正岐, 小阪高広, 山口哲志, 岡本晃充, 高橋哲
- 学会等名
  2022年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K21913
[学会発表] Optical Depth Measurement for Microgrooves: A Self-interferometry Method based on Near-field Polarization Analysis2022
- 著者名/発表者名
  Y. Guan. S.Masui, S. Kadoya, M. Michihata and S. Takahashi
- 学会等名
  Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN 2022)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02036
[学会発表] 微細構造基板を利用した超解像イメージングに関する研究（第6報）-機械学習による画像再構成における最適教師データの検討-2022
- 著者名/発表者名
  門屋祥太郎，市川廉，増井周造，西川正俊，道畑正岐，高橋哲
- 学会等名
  2022年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02036
[学会発表] 過酷環境下にて動作する高安定アライメントモニターの開発-基準エタロンの自由スペクトル領域の評価と安定化2022
- 著者名/発表者名
  久米, 三部，道畑，高橋
- 学会等名
  2022年度精密工学会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H01930
[学会発表] Evaluation of a free spectral range of an etalon for a reference of an alignment monitor2022
- 著者名/発表者名
  T. Kume, T. Mibe, M. Michihata and S. Takahashi
- 学会等名
  The 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2022)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H01930
[学会発表] PROPOSAL AND FUNDAMENTAL VERIFICATION OF OPTICAL DEPTH MEASUREMENT FOR PERIODIC FINE STRUCTURES2022
- 著者名/発表者名
  Shotaro Kadoya, Yizhao Guan,Shiwei Ye, Yosho Kanda, Masaki Michihata, Satoru Takahashi
- 学会等名
  the 2022 International Symposium on Flexible Automation, ISFA2022
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02036
[学会発表] Smart optical measurement probe for autonomously detecting nano-defects on bare semiconductor wafer surface: highly sensitive observation system using phase-contrast microscopy with a spatial light modulator2022
- 著者名/発表者名
  Yizhao Guan, Shuzo Masui, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata and Satoru Takahashi
- 学会等名
  The 11th Global Conference on Materials Science and Engineering (CMSE 2022)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K18668
[学会発表] コヒーレント結像型構造照明顕微法における機械学習を用いた画像再構成の基礎的検討2022
- 著者名/発表者名
  友藤康司，門屋祥太郎，道畑正岐，高橋哲
- 学会等名
  2022年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02036
[学会発表] The FDTD analysis for diffraction limited microgroove structure with standing wave illumination for the realization of coherent structured illumination microscopy2021
- 著者名/発表者名
  Yizhao Guan, Masahiro Kume, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Satoru Takahashi
- 学会等名
  Optics and Photonics International Congress 2021
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02036
[学会発表] Evaluation of the Free Spectral Range of an Etalon by Referring an Optical Frequency Comb2021
- 著者名/発表者名
  T. Kume, H. Yasuda, T. Mibe, M. Michihata and S. Takahashi
- 学会等名
  The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Centure (LEM21)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H01930
[学会発表] Optical adhesion of photocurable emulsion droplets using laser trapping2021
- 著者名/発表者名
  Shuzo Masui, Wakana Endo, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Satoru Takahashi
- 学会等名
  SPIE Optics + Photonics 2021
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K21913
[学会発表] Interferometer Adopting a Ball Lens Both As a Beam Collimator and a Reflector2021
- 著者名/発表者名
  T. Kume, H. Yasuda, T. Mibe, M. Michihata and S. Takahashi
- 学会等名
  XXIII IMEKO World Congress “Measurement: sparking tomorrow’s smart revolution”, TC14-4-01
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H01930
[学会発表] The FDTD analysis for dark field in-process depth measurements of fine microgrooves2021
- 著者名/発表者名
  Yizho Guan, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Satoru Takahashi
- 学会等名
  XXIII World Congress of the International Measurement Confederation
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02036
[学会発表] The FDTD analysis of near-field response for microgroove structure with standing wave illumination for the realization of coherent structured illumination microscopy2021
- 著者名/発表者名
  Yizhao Guan, Masahiro Kume, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ASME 2021 16th International Manufacturing Science and Engineering Conference 60409
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02036
[学会発表] ファブリーペロー共振器を用いたマイクロCMMのプローブ径補正用ゲージの研究（第1報） -二平面間の距離測定-2021
- 著者名/発表者名
  加藤千聖，門屋祥太郎，道畑正岐，高橋哲
- 学会等名
  2021年度精密工学会学術講演会春季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02040
[学会発表] WGM共振を利用した微小級の直径計測(第14報) -WGM光強度分布センシングのためのガラスプローブ先端形状の検討-2021
- 著者名/発表者名
  劉羽辛，門屋祥太郎，道畑正岐，高橋哲
- 学会等名
  2021年度精密工学会学術講演会春季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02040
[学会発表] 光周波数コムを用いた高精度アライメントモニター(第6報) -ボールレンズを用いた干渉計2021
- 著者名/発表者名
  久米, 三部，安田，道畑，高橋
- 学会等名
  2021年度精密工学会春季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H01930
[学会発表] 定在波照明における微細開口の近接場光応答解析（第2報）The FDTD analysis of near-field response for microgroove structure with standing wave illumination ーThe relationship of microgroove depth and near-field phase responseー2021
- 著者名/発表者名
  管一兆, 久米大将, 門屋祥太郎, 道畑正岐, 高橋哲
- 学会等名
  2021年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02036
[学会発表] 局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究（第7報）ーマイクロレジン液滴の硬化モニタリングー2021
- 著者名/発表者名
  増井周造, 門屋祥太郎, 道畑正岐, 高橋哲
- 学会等名
  2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K21913
[学会発表] 光周波数コムを用いた高精度アライメントモニター(第7報)-光周波数コムを基準としたエタロンFSRの評価2021
- 著者名/発表者名
  久米, 三部，道畑，高橋
- 学会等名
  2021年度精密工学会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H01930
[学会発表] 定在波照明を用いたマイクロ光ファイバのインプロセス直径計測(第3報) -サブマイクロ光ファイバの計測のための測定原理の拡張-2021
- 著者名/発表者名
  村上宗二朗，門屋祥太郎，道畑正岐，高橋哲
- 学会等名
  2021年度精密工学会学術講演会春季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02040
[学会発表] 微細構造基板を利用した超解像イメージングに関する研究(第5報) ―アノード酸化Al基板による構造照明特性の解析―2021
- 著者名/発表者名
  市川廉，増井周造，久米大将，西川正俊，門屋祥太郎，道畑正岐，高橋哲
- 学会等名
  2021 年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02036
[学会発表] 微細構造基板を利用した超解像イメージングに関する研究（第4報）ーディープラーニングによる再構成能力の評価ー2021
- 著者名/発表者名
  市川廉, 増井周造, 久米大将, 西川正俊, 門屋祥太郎, 道畑正岐, 高橋哲
- 学会等名
  2021年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02036
[学会発表] 半導体レーザと外部共振器機構を用いた高精度長さ計測（第1報） -計測手法提案-”2021
- 著者名/発表者名
  合田周平，門屋祥太郎，道畑正岐，高橋哲
- 学会等名
  2021年度精密工学会学術講演会春季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02040
[学会発表] 定在波照明を用いたマイクロ光ファイバのインプロセス直径計測(第3報) -サブマイクロ光ファイバの計測のための測定原理の拡張-2020
- 著者名/発表者名
  村上宗二郎，門屋祥太郎，道畑正岐，高橋哲
- 学会等名
  2021年度精密工学会学術講演会春季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18803
[学会発表] 光放射圧ポテンシャルに基づく3次元微細構造加工に関する基礎的研究(第4報) -ハイスピードカメラによる加工原理の検討-2020
- 著者名/発表者名
  代慶真，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2020年度精密工学会学術講演会春季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H04900
[学会発表] Study on non-destructive optical depth measurement of periodic micro-structured surfaces beyond diffraction limit2020
- 著者名/発表者名
  Yosho Kanda, Hiromasa Kume, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  18th International Conference on Precision Engineering
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02036
[学会発表] WGM共振を利用した微小球の直径計測(第13報) -光損失が共振波長に及ぼす影響の検討-2020
- 著者名/発表者名
  劉羽辛，門屋祥太郎，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2020年度精密工学会学術講演会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02040
[学会発表] コヒーレント結像型SIM実現を目指した微細構造表面のFDTD光学応答解析2020
- 著者名/発表者名
  管一兆, 久米大将, 門屋祥太郎, 道畑正岐, 高橋哲
- 学会等名
  日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2020
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02036
[学会発表] 回折限界を超えた表面微細周期構造の光学式非破壊深さ計測手法2020
- 著者名/発表者名
  神田曜昭, 久米大将, 門屋祥太郎, 道畑正岐, 高橋哲
- 学会等名
  第45回光学シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02036
[学会発表] 微細構造基盤を利用した超解像イメージングに関する研究（第3報）ーディープラーニングによる再構成結果の空間周波数領域における評価ー2020
- 著者名/発表者名
  市川廉, 久米大将, 西川正俊, 門屋祥太郎, 道畑正岐, 髙橋哲
- 学会等名
  2020年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02036
[学会発表] 光周波数コムを用いた高精度アライメントモニター(第5報)- エタロンで圧縮された光周波数コムのパルス繰返し周波数の校正2020
- 著者名/発表者名
  久米, 三部，安田，道畑，高橋
- 学会等名
  2020年度精密工学会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H01930
[学会発表] Spatial-frequency-based evaluation of image reconstruction by structured-illumination microscopy with deep learning2020
- 著者名/発表者名
  Ren Ichikawa, Hiromasa Kume, Masatoshi Nishikawa, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  18th International Conference on Precision Engineering
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02036
[学会発表] WGM共振を利用した微小球の直径計測(第13報) -光損失が共振波長に及ぼす影響の検討-2020
- 著者名/発表者名
  劉羽辛，門屋祥太郎，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2020年度精密工学会学術講演会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18803
[学会発表] 局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究(第6報) －光放射圧遠隔操作による一体化連結構造の創成－2020
- 著者名/発表者名
  圓道和奏，増井周造，門屋祥太郎，道畑正岐，高橋哲
- 学会等名
  2021年度春期精密工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K21913
[学会発表] WGM共振を利用した微小級の直径計測(第14報) -WGM光強度分布センシングのためのガラスプローブ先端形状の検討-2020
- 著者名/発表者名
  劉羽辛，門屋祥太郎，道畑正岐，高橋哲
- 学会等名
  2021年度精密工学会学術講演会春季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18803
[学会発表] Comparison for Pulse Interval Calibration of an Optical Frequency Comb Compressedby an Etalon2020
- 著者名/発表者名
  T. Kume, H. Yasuda, T. Mibe, M. Michihata and S. Takahashi
- 学会等名
  The 18th International Conference on Precision Engineering (ICPE2020)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H01930
[学会発表] 光周波数コムを用いた高精度アライメントモニター(第4報) -圧縮されたパルス間隔の基準干渉計を用いた校正2020
- 著者名/発表者名
  久米，三部，安田，道畑，高増
- 学会等名
  2020年度精密工学会春季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H01930
[学会発表] 光放射圧ポテンシャルに基づく3次元微細構造加工に関する基礎的研究2020
- 著者名/発表者名
  道畑正岐，代慶真，門屋祥太郎，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  日本機械学会 2020年度年次大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H04900
[学会発表] 定在波照明を用いた表面微細加工構造の長作動距離超解像欠陥検査2019
- 著者名/発表者名
  久米大将，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2020年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02036
[学会発表] Fabrication of nano-and micro-structured surface using spatial beat of evanescent wave interference lithography2019
- 著者名/発表者名
  Shuzo Masui, Masaki, Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahash
- 学会等名
  Proceedings of the 19th international conference of the european society for precision engineering and nanotechnology (euspen 2019)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] 微小球光共振を用いた形状標準のナノ精度計測2019
- 著者名/発表者名
  道畑正岐
- 学会等名
  第153回微小光学研究会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18803
[学会発表] In-process measurement technique of micro-fiber diameter with interfered scattering pattern of two beam irradiation2019
- 著者名/発表者名
  Masaki Michihata, Zheng Zhao, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ISMTII2019
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18803
[学会発表] 定在波照明を用いたマイクロ光ファイバのインプロセス直径計測(第2報) -計測精度改善の検討-2019
- 著者名/発表者名
  船岩大輝，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2020年度精密工学会学術講演会春季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18803
[学会発表] 微細構造基板を利用した超解像イメージングに関する研究（第2報）－ディープラーニングによる再構成能力の評価－2019
- 著者名/発表者名
  市川廉，久米大将，道畑正岐，高増潔，高橋哲，西川正俊
- 学会等名
  2020年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02036
[学会発表] A novel optical super-resolution microscopy for coherent imaging system for micro-structured surface inspection2019
- 著者名/発表者名
  Hiromasa Kume, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  19th international conference of the european society for precision engineering and nanotechnology (euspen 2019)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02036
[学会発表] 局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究(第5報) －マイクロレジンの空間位置制御によるマイクロ粒子アセンブリ－2019
- 著者名/発表者名
  福井健太，増井周造，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2020年度春期精密工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K21913
[学会発表] Pulse Interval Calibration of an Optical Frequency Comb Compressed by an Etalon2019
- 著者名/発表者名
  久米，三部，安田，道畑，高増
- 学会等名
  The 8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN 2019)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H01930
[学会発表] Experimental investigation on laser additive processing method for nanostructures based on optical trapping potential2019
- 著者名/発表者名
  Yokei Makoto, Masahiro Hayashi, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN),
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H04900
[学会発表] Optical trapping of airborne droplet for laser fabrication of 3-dimensional structure based on optical trapping potential using radially polarized beam2019
- 著者名/発表者名
  Yokei Makoto, Masahiro Hayashi, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  Optical Technology and Measurement for Industrial Applications Conference(OPTM)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H04900
[学会発表] Pulse Interval of an Optical Frequency Comb Compressed by an Etalon2019
- 著者名/発表者名
  久米，三部，安田，道畑，高増
- 学会等名
  The 14th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2019)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H01930
[学会発表] 光放射圧ポテンシャルに基づく3次元微細構造加工に関する基礎的研究(第2報) -ラジアル偏光ビームを用いた空気中ミスト粒子の光トラップ効率の向上-2019
- 著者名/発表者名
  代慶真，林政洋，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2019年度精密工学会学術講演会春季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H04900
[学会発表] Sensing near-field light distribution for microsphere measurement based on whispering gallery mode2019
- 著者名/発表者名
  Bohuai Chu, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ISMTII2019
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18803
[学会発表] 光共振損失を用いたSPMプローブチップ評価に関する研究2019
- 著者名/発表者名
  津田信道，儲博懐，増井周造，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2020年度精密工学会学術講演会春季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18803
[学会発表] System development for microsphere measurement based on whispering gallery mode resonance2019
- 著者名/発表者名
  Masaki Michihata, Yumeki Kobayashi, Bohuai Chu, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ISMQC2019
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18803
[学会発表] 光放射圧ポテンシャルに基づく3次元微細構造加工に関する基礎的研究(第3報) -液滴を用いた構造化原理の実験的検討-2019
- 著者名/発表者名
  代慶真，林政洋，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2019年度精密工学会学術講演会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H04900
[学会発表] 光周波数コムを用いた高精度アライメントモニター(第3報) -リンギングを用いない光周波数コムパルス間隔の校正2019
- 著者名/発表者名
  久米，三部，安田，道畑，高増
- 学会等名
  2019年度精密工学会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H01930
[学会発表] 光共振を利用したマイクロ球形状のナノ精度計測2019
- 著者名/発表者名
  道畑正岐，小林夢輝，趙正，儲博懐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  レーザー学会第39回年次大会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18803
[学会発表] Coherent optical microscopy for micro-structured surface inspection beyond diffraction limit2019
- 著者名/発表者名
  Hiromasa Kume, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  14th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2019)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02036
[学会発表] 2光束照明における光散乱検出に基づくマイクロ光ファイバー直径計測の基礎的研究2019
- 著者名/発表者名
  道畑正岐，趙正，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  日本機械学会 2019年度年次大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18803
[学会発表] Fabrication of dual-periodic nanostructures with multi-exposure interference lithography using Lloyd’s mirror2019
- 著者名/発表者名
  S. Masui, M. Michihata, K. Takamasu, S. Takahashi
- 学会等名
  8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology(ASPEN2019）
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Numerical analysis of near-field light intensity of whispering gallery mode on microsphere surface with SNOM probe2019
- 著者名/発表者名
  Bohuai Chu, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  OPTM2019
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18803
[学会発表] 臨界角照明を用いたナノ光造形硬化樹脂のインプロセス計測（基本原理の検証）2018
- 著者名/発表者名
  道畑正岐，孔徳卿，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  日本機械学会 2018年度年次大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Investigation of super-resolution microscopy by use of a nano-patterned substrate2018
- 著者名/発表者名
  Ryoko Sakuma, Hiromasa Kume, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  17th International Conference on Precision Engineering （ICPE 2018）
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Measurement of a microsphere diameter with a picometer resolution using whispering gallery mode resonances2018
- 著者名/発表者名
  Masaki Michihata
- 学会等名
  International Symposium on Optoelectronic Technology and Application (OTA 2018)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18803
[学会発表] Fabrication of Functional Subwavelength Structured Surface Using Evanescent Wave Interference Lithography2018
- 著者名/発表者名
  Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Toshihiko Shibanuma, Hironao Tanaka, Satoru Takahashi
- 学会等名
  17th International Conference on Precision Engineering
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] 局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究（第 4 報）一定在波制御によるマイクロ粒子整列・搬送に関する研究一2018
- 著者名/発表者名
  藤原和，増井周造，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2019年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Dielectric microsphere measurement using whispering gallery mode resonance2018
- 著者名/発表者名
  Masaki Michihata
- 学会等名
  10th International Symposium on Precision Engineering Measurements and Instrument (ISPEMI 2018)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18803
[学会発表] 局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究（第 3 報）一FDTD 法によるマイクロ粒子の整理駆動現象の解明一2018
- 著者名/発表者名
  古谷成康，増井周造，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2018年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] In-Process Measurement of Resin’s Curing Degree in Micro-Stereolithography Using Internal Reflection at Critical Angle2018
- 著者名/発表者名
  D. Kong, M. Michihata, K. Takamasu, S. Takahashi
- 学会等名
  XXII World Congress of the International Measurement Confederation （IMEKO 2018）
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] 光放射圧ポテンシャルに基づく3次元微細構造加工に関する基礎的研究 (第1報) -ベッセルビームによる加工原理検討に向けた装置開発-2018
- 著者名/発表者名
  林政洋，林晃平，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2018年度精密工学会学術講演会春季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H04900
[学会発表] エバネッセント光多方位干渉造形法による次世代表面機能構造の創製（第2 報）－サブ波長表面構造の造形と光学特性評価－，2018
- 著者名/発表者名
  増井周造，鈴木裕貴，道畑正岐，高増潔，高橋哲，柴沼俊彦，田中大直
- 学会等名
  2018 年度精密工学会春季大会学術講演会，中央大学，2018，K08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Basic Study on Cell-in-Microfactory System with Localized Light Control2018
- 著者名/発表者名
  Seiko Furuya, Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  17th International Conference on Precision Engineering
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Whispering gallery mode 共振を用いたマイクロ球径計測－比較計測による計測精度評価－2018
- 著者名/発表者名
  道畑正岐，小林夢輝，儲博懐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  第12回日本機械学会生産加工・工作機械部門講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18803
[学会発表] Ultra high precision diameter measurement of a microsphere based on whispering gallery mode resonances2018
- 著者名/発表者名
  Masaki Michihata, Yumeki Kobayashi, Zheng Zhao, Bouhai Chu, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  The 1st JSPE affiliate workshop -Metrology and measurement
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18803
[学会発表] Improvement of quantitative depth evaluation for diffraction-limited microgroove using LED light source2018
- 著者名/発表者名
  Ye Shiwei, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  XXII World Congress of the International Measurement Confederation （IMEKO 2018）
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] WGM共振を利用した微小球の直径計測(第11報) -共振波長解析に基づく半径モード番号の推定-2018
- 著者名/発表者名
  小林夢輝，趙正，儲博懐，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2018年度精密工学会学術講演会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18803
[学会発表] Analyzing tapered fiber - microsphere coupling for diameter measurement of microsphere using whispering gallery mode resonance2018
- 著者名/発表者名
  Yumeki Kobayashi, Zheng Zhao, Bohuai Chu, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  International Conference on Precision Engineering (ICPE) 2018
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18803
[学会発表] 光放射圧ポテンシャルによる局所化を用いた金属三次元微細構造創成 - 金属ナノ粒子局所化の確率解析 -2018
- 著者名/発表者名
  林晃平，林政洋，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  第65回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H04900
[学会発表] Basic Study on Cell-in-Microfactory System with Localized Light Control - Analysis on handling performance of microparticles based on near-surface light wave -2018
- 著者名/発表者名
  Seiko Furuya, Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  17th International Conference on Precision Engineering （ICPE 2018）
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] WGM共振を利用した微小球の直径計測(第12報) -共振波長計測安定化に向けた測定装置の高度化-2018
- 著者名/発表者名
  小林夢輝，儲博懐，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2018年度精密工学会学術講演会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18803
[学会発表] 光放射圧ポテンシャルに基づく3次元微細構造加工に関する基礎的研究－ナノ粒子の２次元局所化性能の評価－2018
- 著者名/発表者名
  林政洋，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  第12回日本機械学会生産加工・工作機械部門講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H04900
[学会発表] Basic study on laser additive processing for nanostructures based on optical trapping potential2018
- 著者名/発表者名
  Masahiro Hayashi, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ICPE2018
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H04900
[学会発表] エバネッセント光多方位干渉造形法による次世代表面機能構造の創製（第 3 報）一うなりによる干渉強度分布の変調特性検討一2018
- 著者名/発表者名
  増井周造，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2018年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] 局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究（第2 報）－界面近接光波の任意制御によるマイクロ粒子整理・搬送システムの検討－，2018
- 著者名/発表者名
  古谷成康，増井周造，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2018 年度精密工学会春季大会学術講演会，中央大学，2018，P33
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Fabrication of Functional Subwavelength Structured Surface Using Evanescent Wave Interference Lithography2018
- 著者名/発表者名
  Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Toshihiko Shibanuma, Hironao Tanaka, Satoru Takahashi
- 学会等名
  17th International Conference on Precision Engineering （ICPE 2018）
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] 局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究（第3報）－FDTD法によるマイクロ粒子の整理駆動現象の解明－2018
- 著者名/発表者名
  古谷成康，増井周造，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2018 年度精密工学会秋季大会学術講演会，函館，2018
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] エバネッセント光多方位干渉造形法による次世代表面機能構造の創製（第1 報）－RCWA 法を用いた光学特性解析－，2017
- 著者名/発表者名
  増井周造，鈴木裕貴，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  －，2017 年度精密工学会秋季大会学術講演会，大阪大学，2017，L23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Highly Sensitive Back-Focal-Plane Interferometry for Tracking Nanoparticle Position2017
- 著者名/発表者名
  Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, and Satoru Takahashi
- 学会等名
  Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO2017)
- 発表場所
  San Jose, USA
- 年月日
  2017-05-14
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第26報）ー多光束干渉によるミリオーダ領域のサブミクロン表面微細構造創製ー2017
- 著者名/発表者名
  鈴木裕貴，松本侑己，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2017年度精密工学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川
- 年月日
  2017-03-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Highly Sensitive Back-Focal-Plane Interferometry for Tracking Nanoparticle Position2017
- 著者名/発表者名
  Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  CLEO2017, San Jose, USA
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第27報）-エバネッセント光による面内形状制御性の解析-2017
- 著者名/発表者名
  松本侑己，鈴木裕貴，道畑正岐，高増潔，高橋哲，工藤宏人
- 学会等名
  2017年度精密工学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川
- 年月日
  2017-03-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Thoretical Analysis of Multi-Beam Interference Lithography Combining Evanescent and Propagation Light2017
- 著者名/発表者名
  Shuzo Masui, Yuki Suzuki, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] WGM 共振を利用した微小球の直径計測(第8報) -有限要素法を用いたWGM結合解析-2017
- 著者名/発表者名
  趙正，儲博懐，林晃平，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2017年度精密工学会学術講演会春季大会
- 発表場所
  慶應義塾大学（神奈川県）
- 年月日
  2017-03-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05505
[学会発表] WGM 共振を利用した微小球の直径計測(第7報) -共振波長の精密計測-2017
- 著者名/発表者名
  儲博懐，道畑正岐，林晃平，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2017年度精密工学会学術講演会春季大会
- 発表場所
  慶應義塾大学（神奈川県）
- 年月日
  2017-03-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05505
[学会発表] Whispering gallery mode共振を利用したマイクロ球直径計測 -楕円体モデルの構築-2017
- 著者名/発表者名
  林晃平，儲博懐，趙正，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  パシフィコ横浜（神奈川県）
- 年月日
  2017-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05505
[学会発表] 光触媒ナノ加工工具に関する基礎的研究（第9報）－ナノ粒子位置同定法の検討－2016
- 著者名/発表者名
  増井周造・堀田陽亮・道畑正岐・高増　潔・高橋　哲
- 学会等名
  2016年度精密工学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2016-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究―エバネッセント露光用光硬化性樹脂の開発―2016
- 著者名/発表者名
  松本侑己，鈴木裕貴，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  日本機械学会　第11回生産加工・工作機械部門講演会
- 発表場所
  愛知
- 年月日
  2016-10-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] WGM 共振を利用した微小球の直径計測(第 6 報) -近似式を用いた屈折率推定法の検討-2016
- 著者名/発表者名
  儲博懐，道畑正岐，林晃平，高増潔
- 学会等名
  2016年度精密工学会学術講演会秋季大会
- 発表場所
  茨城大学（茨城県）
- 年月日
  2016-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05505
[学会発表] エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第25報）ー機能性評価に向けた表面微細構造創製装置の開発ー2016
- 著者名/発表者名
  鈴木裕貴，松本侑己，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  2016年度精密工学会春秋学術講演会
- 発表場所
  茨城
- 年月日
  2016-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Improved back-focal-plane interferometry for monitoring nanoparticle position2016
- 著者名/発表者名
  Shuzo Masui, Yousuke Horita, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, and Satoru Takahashi
- 学会等名
  International Symposium on Optomechatronic Technology 2016
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- 年月日
  2016-11-07
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] 蛍光共焦点法による工具刃先形状の機上計測に関する研究 (第2報) 切削液からの蛍光の共焦点検出2016
- 著者名/発表者名
  丸野兼治，道畑正岐，高谷裕浩，水谷康弘
- 学会等名
  2016年度精密工学会学術講演会春季大会
- 発表場所
  東京理科大学
- 年月日
  2016-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13847
[学会発表] 後側焦点面干渉法を用いた光触媒ナノ加工粒子変位計測の高感度化2016
- 著者名/発表者名
  増井周造・堀田陽亮・道畑正岐・高増　潔・高橋　哲
- 学会等名
  日本機械学会2016年度年次大会
- 発表場所
  九州
- 年月日
  2016-09-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Theoretical Analysis of Improved Back-Focal-Plane Interferometry for Monitoring Nanoparticle Position2016
- 著者名/発表者名
  Shuzo Masui, Yousuke Horita, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, and Satoru Takahashi
- 学会等名
  ASPE2016 Annual Meeting
- 発表場所
  Portland, USA
- 年月日
  2016-10-23
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Whispering gallery mode共振を用いたマイクロ球径計測 -偏光に着目した屈折率校正法の提案-2016
- 著者名/発表者名
  道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  日本機械学会 2016 年度年次大会
- 発表場所
  九州大学（福岡県）
- 年月日
  2016-09-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05505
[学会発表] 全方位姿勢制御型光触媒ナノ加工工具に関する研究（第2報）－液相内における工具創製の実験的検討－2016
- 著者名/発表者名
  堀田陽亮・儲　博懐・増井周造・道畑正岐・高増　潔・高橋　哲
- 学会等名
  2016年度精密工学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2016-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] WGM共振を利用した微小球の直径計測(第5報) -光ファイバによるWGM励起の最適化-2016
- 著者名/発表者名
  川嵜彬史，道畑正岐，高谷裕浩，水谷康弘
- 学会等名
  2016年度精密工学会学術講演会春季大会
- 発表場所
  東京理科大学（東京都）
- 年月日
  2016-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05505
[学会発表] Theoretical Analysis of Improved Back-Focal-Plane Interferometry for Monitoring Nanoparticle Position2016
- 著者名/発表者名
  Shuzo Masui, Yousuke Horita, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, and Satoru Takahashi
- 学会等名
  31st Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering
- 発表場所
  Portland, Oregon, USA
- 年月日
  2016-10-23
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] 光触媒ナノ工具に関する基礎的研究（第10報）－銀担持による工具チップ性能の向上－2016
- 著者名/発表者名
  儲　博懐・堀田陽亮・増井周造・道畑正岐・高増　潔・高橋　哲
- 学会等名
  2016年度精密工学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2016-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] 光放射圧プローブを用いた表面微細形状の評価技術に関する研究（第3報） ―レーザ捕捉微小球レンズの試料面近傍における位置制御―2016
- 著者名/発表者名
  山口悠希，道畑正岐，水谷康弘，高谷裕浩
- 学会等名
  2016年度精密工学会学術講演会春季大会
- 発表場所
  東京理科大学　野田キャンパス（千葉県・野田市）
- 年月日
  2016-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24246028
[学会発表] 後側焦点面干渉法を用いた光触媒ナノ加工粒子変位計測の高感度化2016
- 著者名/発表者名
  増井周造，堀田陽亮，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 学会等名
  日本機械学会年次大会2016
- 発表場所
  福岡
- 年月日
  2016-09-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] 切削液の蛍光共焦点検出を利用した工具刃先摩耗形状計測に関する基礎研究2016
- 著者名/発表者名
  高谷裕浩，丸野兼治，道畑正岐，水谷康弘
- 学会等名
  日本機械学会 2016 年度年次大会
- 発表場所
  九州大学（福岡県）
- 年月日
  2016-09-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13847
[学会発表] 光放射圧プローブを用いた表面微細形状の評価技術に関する研究（第2報） ―レーザトラッピングされたマイクロ球によるイメージング―2016
- 著者名/発表者名
  金鐘剛，道畑正岐，高谷裕浩，水谷康弘
- 学会等名
  2016年度精密工学会学術講演会春季大会
- 発表場所
  東京理科大学　野田キャンパス（千葉県・野田市）
- 年月日
  2016-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24246028
[学会発表] Calibration of refractive index in microsphere diameter measurement based on analysis of polarized whispering gallery mode2016
- 著者名/発表者名
  Bohuai Chu, Masaki Michihata, Kohei Hayashi, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
- 学会等名
  Proc. International Symposium on Optomechatronic Technologies (ISOT2016)
- 発表場所
  板橋市民会館（東京都）
- 年月日
  2016-10-07
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05505
[学会発表] 光放射圧プローブによる表面微細形状計測に関する研究2015
- 著者名/発表者名
  金　鐘剛，道畑正岐，高谷裕浩
- 学会等名
  精密工学会2015年度関西地方定期学術講演会
- 発表場所
  京都工芸繊維大学(京都府・京都市)
- 年月日
  2015-06-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24246028
[学会発表] Accurate diameter measurement of microsphere based on analysis for polarization of whispering gallery mode resonance2015
- 著者名/発表者名
  Akifumi Kawasaki, Masaki Michihata, Atsushi Adachi, Yasuhiro Takaya
- 学会等名
  12th International symposium of measurement technology and intelligent instruments (ISMTII)
- 発表場所
  台北（台湾）
- 年月日
  2015-09-22
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05505
[学会発表] 全方位姿勢制御型光触媒ナノ加工工具に関する研究（第1報）－姿勢制御ユニット創製に関する実験的検討－2015
- 著者名/発表者名
  堀田陽亮・儲　博懐・道畑正岐・高増　潔・高橋　哲
- 学会等名
  2015年度精密工学会秋季学術講演会
- 発表場所
  東北
- 年月日
  2015-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] Experimental study on measurement the surface topography by laser trapping probe2015
- 著者名/発表者名
  Jonggang Kim, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya
- 学会等名
  Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
- 発表場所
  Harbin (China)
- 年月日
  2015-08-15
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24246028
[学会発表] 蛍光共焦点法による工具刃先形状の機上計測に関する研究（第一報）水平面における切削液の油膜の基礎検討2015
- 著者名/発表者名
  丸野兼治，道畑正岐，水谷康弘，高谷裕浩
- 学会等名
  2015年度精密工学会学術講演会秋季大会
- 発表場所
  東北大学
- 年月日
  2015-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13847
[学会発表] 表面テクスチャ観察に用いる光放射圧制御微小球レンズの運動解析2015
- 著者名/発表者名
  山口悠希，道畑正岐，高谷裕浩
- 学会等名
  精密工学会2015年度関西地方定期学術講演会
- 発表場所
  京都工芸繊維大学(京都府・京都市)
- 年月日
  2015-06-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24246028
[学会発表] Optically trapped microprobe for nano-profile measurement based on interpolation method of standing wave scale using chromatic system2015
- 著者名/発表者名
  Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Shinichi Ueda
- 学会等名
  XXII MEKO World Congress
- 発表場所
  Prague (Czech Republic)
- 年月日
  2015-08-30
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24246028
[学会発表] Analysis of chemical reaction in Cu-CMP with reactive nanoparticles based on Raman spectra enhanced by surface plasmon2015
- 著者名/発表者名
  Masafumi ASAHI, Yasuhiro TAKAYA, Masaki MICHIHATA
- 学会等名
  Leading Edge Manufacturing in 21st Century
- 発表場所
  京都リサーチパーク (京都府・京都市)
- 年月日
  2015-10-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630027
[学会発表] 光放射圧プローブによる定在場スケールを用いた三次元形状のスキャニング測定 (第5報)　―定在場スケール内挿によるスキャニング測定―2015
- 著者名/発表者名
  上田真一，高谷裕浩，道畑正岐
- 学会等名
  2015年度精密工学会学術講演会春季大会
- 発表場所
  東洋大学 (東京都)
- 年月日
  2015-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24246028
[学会発表] 超高精度 WGM 応用マイクロ球測定の新展開2015
- 著者名/発表者名
  道畑正岐，川嵜彬史，高谷裕浩
- 学会等名
  2015年度精密工学会学術講演会秋季大会ユネスコ国際光年記念シンポジウム
- 発表場所
  東北大学（宮城県）
- 年月日
  2015-09-04
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05505
[学会発表] Measurement of micro-sphere diameter based on whispering gallery mode2015
- 著者名/発表者名
  Masaki Michihata, Akifumi Kawasaki, Adachi Atsushi, Yasuhiro Takaya
- 学会等名
  IMEKO XXI world congress
- 発表場所
  プラハ（チェコ）
- 年月日
  2015-08-30
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H05505
[学会発表] On-machine measurement of cutting tool edge profile by detecting fluorescence from cutting fluid2015
- 著者名/発表者名
  Kenji Maruno, Masaki Michihata, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya
- 学会等名
  International Symposium on Optomechatronic Technologies (ISOT2015)
- 発表場所
  Neuchatel, Switzerland
- 年月日
  2015-10-14
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13847
[学会発表] 表面テクスチャ観察に用いる微小球レンズの光放射圧運動制御に関する研究2015
- 著者名/発表者名
  山口悠希，高谷裕浩，道畑正岐
- 学会等名
  2014年度日本機械学会関西学生会卒業研究発表講演会
- 発表場所
  京都大学 (京都市)
- 年月日
  2015-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24246028
[学会発表] Fundamental study on fabrication of multi-functional micro device based on micro-beads using photocatalytic reaction2015
- 著者名/発表者名
  Yosuke Horita, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu and Satoru Takahashi
- 学会等名
  The 6th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2015)
- 発表場所
  Harbin, China
- 年月日
  2015-08-15
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H02214
[学会発表] 周波数領域蛍光法を用いたナノ粒子粒径評価に関する研究（第3 報）－DNA を用いたナノ粒子計測プローブの開発－2014
- 著者名/発表者名
  林　照剛，石崎佑樹，道畑正岐，高谷裕浩，田中慎一
- 学会等名
  2014年度精密工学会春期全国大会
- 発表場所
  東京大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656088
[学会発表] フェムトパルストレインによるコヒーレントフォノン励起加工に関する研究(第二報) -コヒーレントフォノン励起状態の時間分解計測-2014
- 著者名/発表者名
  林照剛, 大菊崇弘, 道畑正岐, 高谷裕浩
- 学会等名
  精密工学会春期全国大会
- 発表場所
  東京大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25289017
[学会発表] 周波数領域蛍光法を用いたナノ粒子粒径評価に関する研究（第二報）－粒径と蛍光DNAプローブの回転拡散係数の関係性についての検討－2014
- 著者名/発表者名
  石崎佑樹，林照剛，道畑正岐，高谷裕浩
- 学会等名
  2014年度精密工学会春期全国大会
- 発表場所
  東京大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656088
[学会発表] WGM共振を利用した微小球の直径計測 (第2報) -WGM波長スペクトルを用いた球径の推定方法-2014
- 著者名/発表者名
  道畑正岐，足立篤，林照剛，高谷裕浩
- 学会等名
  2014年度精密工学会学術講演会春季大会
- 発表場所
  東京大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656102
[学会発表] フェムトパルストレインによるコヒーレントフォノン励起加工に関する研究(第三報) -テラヘルツ帯域でのエネルギー伝達機構の検討-2014
- 著者名/発表者名
  林照剛, 大島玄喜, 道畑正岐, 高谷裕浩
- 学会等名
  精密工学会春期全国大会
- 発表場所
  東京大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25289017
[学会発表] Measurement of axial position of a microsphere using chromatic confocal system for probe system based on the laser trapping with the standing wave scale2014
- 著者名/発表者名
  Shin-ichi Ueda, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya
- 学会等名
  International Symposium on Optomechatronic Technologies 2014
- 発表場所
  University of Washington (Seattle, USA)
- 年月日
  2014-11-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24246028
[学会発表] フォトニックナノジェットを利用した表面微細加工に関する研究2014
- 著者名/発表者名
  上野原努，道畑正岐，高谷裕浩，林照剛
- 学会等名
  2014年度砥粒加工学会学術講演会 (ABTEC2014)
- 発表場所
  岩手大学(岩手市)
- 年月日
  2014-09-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24246028
[学会発表] 光放射圧プローブによる定在場スケールを用いた三次元形状のスキャニング測定(第 4 報) ～マイクロ球光軸方向位置の共焦点計測～2014
- 著者名/発表者名
  上野原努，道畑正岐，高谷裕浩，林照剛
- 学会等名
  2014年度精密工学会学術講演会秋季大会
- 発表場所
  鳥取大学 (鳥取市)
- 年月日
  2014-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24246028
[学会発表] 局在型表面プラズモン励起ラマン分光による水酸化フラーレンのCu-CMP加工特性解析2014
- 著者名/発表者名
  旭真史,高谷裕浩,林照剛,道畑正岐
- 学会等名
  日本機械学会関西支部学生員卒業研究発表講演会
- 発表場所
  大阪府立大学(堺市)
- 年月日
  2014-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656104
[学会発表] 表面プラズモン励起ラマン計測による水酸化フラーレン分子加工原理に関する研究2014
- 著者名/発表者名
  村井亮太,高谷裕浩,林照剛,道畑正岐
- 学会等名
  2014年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京大学(東京都)
- 年月日
  2014-03-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656104
[学会発表] 周波数領域蛍光法を用いたナノ粒子粒径評価に関する研究(第二報)-粒径と蛍光DNAプローブの回転拡散係数の関係性についての検討-2014
- 著者名/発表者名
  石崎佑樹,林照剛,道畑正岐,高谷裕浩
- 学会等名
  2014年度精密工学会学術講演会春季大会
- 発表場所
  東京大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656088
[学会発表] WGM共振を利用した微小球の直径計測(第2報) -WGM波長スペクトルを用いた球径の推定方法-2014
- 著者名/発表者名
  道畑正岐,足立篤,林照剛,高谷裕浩
- 学会等名
  2014年度精密工学会学術講演会春季大会講演論文集
- 発表場所
  東京大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656102
[学会発表] 周波数領域蛍光法を用いたナノ粒子粒径評価に関する研究(第3報)-DNAを用いたナノ粒子計測プローブの開発-2014
- 著者名/発表者名
  林照剛,石崎佑樹,道畑正岐,高谷裕浩,田中慎一
- 学会等名
  2014年度精密工学会学術講演会春季大会
- 発表場所
  東京大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656088
[学会発表] Study on material removal mechanism by reactive fullerenol molecules in Cu-CMP using high-sensitive Raman spectroscopy2013
- 著者名/発表者名
  Ryota Murai, Yasuhiro Yakaya, Terutake Hayashi and Masaki Michihata
- 学会等名
  5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
- 発表場所
  Taipei（Taiwan）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656104
[学会発表] Study on material removal mechanism by reactive fullerenol molecules in Cu-CMP using high-sensitive Raman spectroscopy2013
- 著者名/発表者名
  Ryota Murai, Yasuhiro Yakaya, Terutake Hayashi and Masaki Michihata
- 学会等名
  5^<th > International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
- 発表場所
  Taipei(Taiwan)Howard Civil International Centre
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656104
[学会発表] Development of nanoparticles sizing method based on fluorescence polarization2013
- 著者名/発表者名
  Yuki Ishizaki,Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya
- 学会等名
  ISMQC2013
- 発表場所
  University, Cracow, Poland (Best paper award)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656088
[学会発表] Study on surface processing by using femto-second pulse train beam with excitation of coherent phonon2013
- 著者名/発表者名
  Terutake Hayashi, Yusuke Fukuta, Masaki Michihata, and Yasuhiro Takaya
- 学会等名
  28th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering, (ASPE2013)
- 発表場所
  St. Paul, Minnesota, USA,
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25289017
[学会発表] Optimization of coupling condition in distance between the sphere and the tapered fiber for diameter measurement of microsphere by using WGM resonance2013
- 著者名/発表者名
  Atsushi Adachi, Masaki Michihata, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya
- 学会等名
  International Symposium on Optomechatronic Technologies (ISOT2013)
- 発表場所
  Jeju island, South Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656102
[学会発表] 光放射圧プローブによる定在場スケールを用いた三次元形状のスキャニング測定（第２報）―定在場中でのプローブ球の挙動解析―2013
- 著者名/発表者名
  鷲谷泰佑，道畑正岐，林照剛，高谷裕浩
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学（東京）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24246028
[学会発表] CMMによる高精度測定のための微小球共振を用いたプローブ球の直径測定2013
- 著者名/発表者名
  峨家諒介、道畑正岐、林照剛、高谷裕浩
- 学会等名
  2013年度精密工学会学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656102
[学会発表] WGモード解析に基づくマイクロプローブの直径計測原理に関する研究2013
- 著者名/発表者名
  足立篤,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩
- 学会等名
  2012年度日本機械学会関西学生会卒業研究発表講演会
- 発表場所
  大阪工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656102
[学会発表] Fundamental Study on Chemical Mechanical Polishing of Copper Wafer Surface using Water-soluble Fullerenol as a Functional Molecule2013
- 著者名/発表者名
  Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi
- 学会等名
  The collaborative conference on Materials Research (CCMR) 2013
- 発表場所
  Jeju Island（South Korea）
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656104
[学会発表] WGM共振を利用した微小球の直径計測(第1報) -結合条件が共振ピークに与える影響-2013
- 著者名/発表者名
  足立篤,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩
- 学会等名
  2013年度精密工学会学術講演会秋季大会講演論文集
- 発表場所
  関西大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656102
[学会発表] 表面微細構造を用いた光放射圧プローブスタイラスの捕捉（第２報）―基板材料と表面離脱性の関係―2013
- 著者名/発表者名
  吉兼匡昭，道畑正岐，林照剛，高谷裕浩
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学（東京）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24246028
[学会発表] Fundamental verification of diameter measurement of a micro-CMM probe by using whispering gallery mode resonance2013
- 著者名/発表者名
  M. Michihata, R. Gake, T. Hayashi, Y. Takaya
- 学会等名
  Proc. the 11th international symposium on measurement technology and intelligent instruments
- 発表場所
  Aachen/Braunschweig, Germany
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656102
[学会発表] Fundamental Study on Chemical Mechanical Polishing of Copper Wafer Surface using Water-soluble Fullerenol as a Functional Molecule2013
- 著者名/発表者名
  Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi
- 学会等名
  The collaborative conference on Materials Research (CCMR) 2013
- 発表場所
  Jeju Island(South Korea)
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656104
[学会発表] Micro-probing system for coordinate metrology using a particle controlled by optical radiation pressure based on standing wave scale sensing method2013
- 著者名/発表者名
  Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi
- 学会等名
  International Conference on Optics in Precision Engineering and Nanotechnology (icOPEN) 2013
- 発表場所
  Singapore
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24246028
[学会発表] 光放射圧プローブによる定在場スケールを用いた三次元形状のスキャニング測定(第3報)～スケールの内挿誤差の検討～2013
- 著者名/発表者名
  上田真一，道畑正岐，林照剛，高谷裕浩
- 学会等名
  2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  関西大学 (吹田市)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24246028
[学会発表] Fundamental verification of diameter measurement of a micro-CMM probe by using whispering gallery mode resonance2013
- 著者名/発表者名
  Masaki Michihata, Ryosuke Gake, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya
- 学会等名
  The 11th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII)
- 発表場所
  Aachen
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656102
[学会発表] CMMによる高精度測定のための微小球共振を用いたプローブ球の直径測定2013
- 著者名/発表者名
  峨家諒介,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩
- 学会等名
  2013年度精密工学会学術講演会春季大会講演論文集
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656102
[学会発表] Fundamental verification of diameter measurement of a micro-CMM probe by using whispering gallery mode resonance2013
- 著者名/発表者名
  Masaki Michihata, Ryosuke Gake, Terutake Hayashi, Yasuhiro Takaya
- 学会等名
  The 11th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII)
- 発表場所
  Aachen/Braunschweig, Germany
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656102
[学会発表] Development of nanoparticles sizing method based on fluorescence polarization2013
- 著者名/発表者名
  Yuki Ishizaki, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya
- 学会等名
  ISMQC2013
- 発表場所
  University, Cracow, Poland
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656088
[学会発表] Optimization of coupling condition in distance between the sphere and the tapered fiber for diameter measurement of microsphere by using WGM resonance2013
- 著者名/発表者名
  A. Adachi, M. Michihata, T. Hayashi, Y. Takaya
- 学会等名
  International symposium on optomechatronic technologies
- 発表場所
  Jeju island, South Korea, M1C-3
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656102
[学会発表] 表面微細構造を用いた光放射圧プローブスタイラスの捕捉（第2報）~基板材質と表面離脱性の関係~2013
- 著者名/発表者名
  吉兼匡昭、道畑正岐、林照剛、高谷裕浩
- 学会等名
  2013年度精密工学会学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656102
[学会発表] WGM共振を利用した微小球の直径計測 (第1報) -結合条件が共振ピークに与える影響-2013
- 著者名/発表者名
  足立篤，道畑正岐，林照剛，高谷裕浩
- 学会等名
  2013年度精密工学会学術講演会秋季大会
- 発表場所
  関西大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656102
[学会発表] Mode selective probing method of micro trench structure using optically trapped probe2012
- 著者名/発表者名
  Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi and Taisuke Washitani
- 学会等名
  ISOT’12 (International Symposium on Optomechatronic Technologies)
- 発表場所
  Paris (France)
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24246028
[学会発表] Development of Nano Particle Sizing System Using Fluorescence Polarization2012
- 著者名/発表者名
  Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, and Kok Foong Lee
- 学会等名
  XX IMEKO World Congress Metrology for Green Growth
- 発表場所
  Busan, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656088
[学会発表] Development of a Novel Surface Processing System Using Femtosecond Pulse Train2012
- 著者名/発表者名
  Yusuke Fukuta, Terutake Hayashi, Masaki Michihata and Yasuhiro Takaya,
- 学会等名
  International Conference on Precision Engineering
- 発表場所
  To be published
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21656041
[学会発表] Scanning measurement of step height and freeform surface by using optically trapped microsphere2012
- 著者名/発表者名
  Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya, Taisuke Washitani, Terutake Hayashi
- 学会等名
  The 12th euspen International Conference
- 発表場所
  Stockholm (Sweden)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24246028
[学会発表] 水酸化フラーレンを用いたCu-CMPにおける化学反応過程の解明(第一報)-In-situラマン分光分析装置の開発ー2012
- 著者名/発表者名
  鹿野和昌, 高谷裕浩, 林照剛, 道畑正岐, 小久保研
- 学会等名
  精密工学会, 2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  首都大学東京
- 年月日
  2012-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360064
[学会発表] New technique of single-beam gradient-force laser trapping in air condition2012
- 著者名/発表者名
  Masaki MICHIHATA, Tadaaki YOSHIKANE, Terutake HAYASHI and Yasuhiro TAKAYA
- 学会等名
  ISOT’12 (International Symposium on Optomechatronic Technologies)
- 発表場所
  Paris (France)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24246028
[学会発表] フェムトパルストレインによる表面原子加工システムの開発2012
- 著者名/発表者名
  福田悠介, 林照剛, 道畑正岐, 高谷裕浩
- 学会等名
  2012年度精密工学会春季大会学術講演会(2012)
- 発表場所
  金沢大学
- 年月日
  2012-09-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21656041
[学会発表] In Situ Raman Analysis of Chemical Reaction for Copper CMP Using Water-soluble Fullerenol2011
- 著者名/発表者名
  Kazumasa Kano, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi, Masaki Michihata and Ken Kokubo
- 学会等名
  Asian Symposium for Precision Engineering and Nanotechnology 2011
- 発表場所
  China, Hong Kong
- 年月日
  2011-11-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360064
[学会発表] WGM共振を用いたマイクロ粒子における真球度評価の基礎的研究2011
- 著者名/発表者名
  市川雄一, 林照剛, 高谷裕浩, 道畑正岐
- 学会等名
  2010年度日本機械学会関西学生会卒業研究発表講演会
- 発表場所
  京都工芸繊維大学
- 年月日
  2011-03-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22860034
[学会発表] 水酸化フラーレンを用いたCu-CMP加工に関する研究(第3報)-パターンウエハの研磨特製の評価-2011
- 著者名/発表者名
  岸田裕貴, 高谷裕浩, 林照剛, 道畑正岐, 小久保研
- 学会等名
  精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  東洋大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360064
[学会発表] 微小球共振器を用いた位置検出マイクロプローブのための基礎的研究2011
- 著者名/発表者名
  峨家諒介, 林照剛, 高谷裕浩, 道畑正岐
- 学会等名
  2010年度日本機械学会関西学生会卒業研究発表講演会
- 発表場所
  京都工芸繊維大学
- 年月日
  2011-03-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22860034
[学会発表] フェムトパルストレインによる表面原子加工技術の開発2011
- 著者名/発表者名
  福田悠介, 林照剛, 道畑正岐, 高谷裕浩
- 学会等名
  2011年度精密工学会秋期大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  金沢大学
- 年月日
  2011-09-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21656041
[学会発表] 水酸化フラーレンを用いたCu-CMP加工における表面反応層の形成2010
- 著者名/発表者名
  岸田裕貴, 高谷裕浩, 林照剛, 道畑正岐, 小久保研
- 学会等名
  2010年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(JSPE)
- 発表場所
  名古屋大学
- 年月日
  2010-09-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360064
[学会発表] Weakly Copper-Fullerenol Layer on Chemical Mechanical Polishing Using Water Soluble Fullerenol, Proc2010
- 著者名/発表者名
  Hirotaka Kishida, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Ken Kokubo
- 学会等名
  2010 American Society for Precision Engineering(ASPE)
- 発表場所
  Atlanta, USA
- 年月日
  2010-11-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360064
[学会発表] Development of a Novel Surface Processing System Using Femtosecond Pulse Train
- 著者名/発表者名
  Yusuke Fukuta, Terutake Hayashi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya
- 学会等名
  14th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2012)
- 発表場所
  Awaji, Hyogo(2012年11月発表予定)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21656041
[学会発表] フェムトパルストレインによるコヒーレントフォノン励起加工に関する研究(第 2 報) -コヒーレントフォノンの時間分解計測システムの開発-
- 著者名/発表者名
  大菊崇弘, 林照剛, 道畑正岐, 高谷裕浩
- 学会等名
  精密工学会春期全国大会
- 発表場所
  東洋大学
- 年月日
  2015-03-17 – 2015-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25289017
[学会発表] 局在型表面プラズモン励起ラマン分光による水酸化フラーレンのCu-CMP加工特性解析
- 著者名/発表者名
  旭真史，高谷裕浩，林照剛，道畑正岐
- 学会等名
  日本機械学会関西支部学生員卒業研究発表講演会
- 発表場所
  大阪府立大学 (堺市)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656104
[学会発表] Laser trapping and whispering gallery mode for micro-scale metrology
- 著者名/発表者名
  Masaki Michihata
- 学会等名
  NPL seminar
- 発表場所
  National physical laboratory, Teddington, UK
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656102
[学会発表] フォトニック・ナノジェットを利用した微細加工に関する基礎研究
- 著者名/発表者名
  上野原努，高谷裕浩，林照剛，道畑正岐
- 学会等名
  日本機械学会関西支部学生員卒業研究発表講演会
- 発表場所
  大阪府立大学 (堺市)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24246028
[学会発表] フォトニック・ナノジェットの生成に関する研究 ―ベッセルビーム照明条件の検討―
- 著者名/発表者名
  大島玄喜，高谷裕浩，林照剛，道畑正岐
- 学会等名
  2013年度精密工学会関西地方定期学術講演会
- 発表場所
  大阪工業大学(大阪市)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24246028

1. 高橋哲 (30283724)

共同の研究課題数: 9件

共同の研究成果数: 95件
2. 高谷裕浩 (70243178)

共同の研究課題数: 8件

共同の研究成果数: 73件
3. 林照剛 (00334011)

共同の研究課題数: 7件

共同の研究成果数: 66件
4. 門屋祥太郎 (60880234)

共同の研究課題数: 6件

共同の研究成果数: 23件
5. 高増潔 (70154896)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 43件
6. 西川正俊 (30444516)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 6件
7. 増井周造 (00909939)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
8. 小久保研 (20304008)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 6件
9. 水谷康弘 (40374152)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件
10. 久米達哉 (40353362)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 14件
11. 三部勉 (80536938)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 14件

道畑 正岐 Michihata Masaki

研究課題

研究成果

共同研究者

3次元空間座標基準モニタリングによる内面構造のナノスケール精度計測研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

破壊的干渉照明を用いた次世代極細光ファイバ直径のナノ精度計測原理の確立研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

質量標準トレーサビリティ体系のための超高精度・広範囲なシリコン球体計測研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

微小球共振原理を用いたマイクロスケール3次元形状標準計測の原理確立への挑戦研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

光放射圧ポテンシャルによる局所化を用いたサブ100nm分解能金属3次元構造創成研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

切削油蛍光プローブによる工具刃先形状のオンマシン計測研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

光共振波長スペクトルに基づくマイクロ球形状のナノメートル精度計測研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

道畑正岐 Michihata Masaki