• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

清水 裕樹  Shimizu Yuki

ORCIDORCID連携する *注記
… 別表記

清水 祐樹  SHIMIZU Yuki

隠す
研究者番号 70606384
その他のID
所属 (現在) 2025年度: 北海道大学, 工学研究院, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2021年度 – 2025年度: 北海道大学, 工学研究院, 教授
2015年度 – 2020年度: 東北大学, 工学研究科, 准教授
2012年度 – 2016年度: 東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授
2015年度: 東北大学, 大学院・工学研究科, 准教授
2013年度 – 2014年度: 東北大学, 大学院工学研究科, 准教授
2011年度 – 2012年度: 東北大学, 大学院・工学研究科, 准教授
審査区分/研究分野
研究代表者
中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野 / 設計工学・機械機能要素・トライボロジー / 小区分18020:加工学および生産工学関連 / 生産工学・加工学 / 生産工学・加工学
研究代表者以外
生産工学・加工学 / 中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
キーワード
研究代表者
加工学 / 生産工学 / 精密計測 / 超精密計測 / フェムト秒レーザ / 角度センサ / 熱収支場 / 計測工学 / 精密位置決め / 熱検知素子 … もっと見る / 欠陥検出 / 摩擦熱 / 接触センサ / 回折格子 / スケール / 光コムレーザ / 絶対位置計測 / 波面制御 / 干渉定在波 / 微細構造露光 / 熱検知センサ / サブサーフェス評価 / 共焦点光学系 / 生産工学・加工学 / マイクロパターン / エンコーダ / トライボロジー / 加工計測 / 機械工学 / 欠陥検査 / 計測 / FEM / ウエハ検査 / デフェクト … もっと見る
研究代表者以外
超精密計測 / 加工学 / 生産工学 / 加工計測 / 精密位置決め / 精度 / 形状 / 分解能 / 角度センサ / 角度 / 計測 / 絶対計測 / 位置 / 自律校正 / トレーサビリティ / 3次元計測 / 光応用計測 / 位置決め / 変位 / 光周波数コム / 超短パルスレーザ / 精密計測 / フェムト秒レーザ / ダイヤモンド工具 / FTS / 圧力センサ / アクチュエータ / MDシミュレーション / 反転エッジ / AFM / マイクロエッジ / ナノ計測 / ナノメートル / 微空間 / 微細形状 / マイクロ / 絶対距離 / 非接触 / バイオオプティクス / 金型 / プローブ顕微鏡 / 静電気力 / 反射格子 / 感度 / フォトダイオード / レーザ / アッべ誤差 / アッベ誤差 / センサ / 光 / 超高感度 / ステージ / 誤差 / 超精密位置決め / 回折格子 / 多軸角度計測 / 3軸レーザオートコリメータ / 回折光 / 平面ステージ / 微細格子 / 多軸計測 隠す
  • 研究課題

    (19件)
  • 研究成果

    (408件)
  • 共同研究者

    (7人)
  •  光周波数コムレーザ次元変換による計測・校正一体型完全6自由度精密絶対スケール創出研究代表者

    • 研究代表者
      清水 裕樹
    • 研究期間 (年度)
      2025 – 2028
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 審査区分
      中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
    • 研究機関
      北海道大学
  •  光コムレーザから創出する「光のものさし」バーチャル絶対スケールによる絶対位置計測研究代表者

    • 研究代表者
      清水 裕樹
    • 研究期間 (年度)
      2023 – 2025
    • 研究種目
      挑戦的研究(萌芽)
    • 審査区分
      中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
    • 研究機関
      北海道大学
  •  その場波面制御で自在に操る干渉定在波によるサブμm級自由微細構造の大面積露光創成研究代表者

    • 研究代表者
      清水 裕樹
    • 研究期間 (年度)
      2022 – 2024
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分18020:加工学および生産工学関連
    • 研究機関
      北海道大学
  •  透過フェムト秒レーザ熱検知プローブによる非接触・非破壊サブサーフェス評価への挑戦研究代表者

    • 研究代表者
      清水 裕樹
    • 研究期間 (年度)
      2020 – 2022
    • 研究種目
      挑戦的研究(萌芽)
    • 審査区分
      中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
    • 研究機関
      北海道大学
      東北大学
  •  光コム次元変換光学とその場自律校正法の創出によるサブアトム級3次元超精密計測

    • 研究代表者
      高 偉
    • 研究期間 (年度)
      2020 – 2023
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 審査区分
      中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
    • 研究機関
      東北大学
  •  マイクロ熱検知素子と格子パターン融合による熱収支検出型高精度変位計測の新原理創出研究代表者

    • 研究代表者
      清水 裕樹
    • 研究期間 (年度)
      2018 – 2019
    • 研究種目
      挑戦的研究(萌芽)
    • 審査区分
      中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
    • 研究機関
      東北大学
  •  次元変換型マルチビーム角度センサでの多元情報一括検出による次世代光学素子形状計測研究代表者

    • 研究代表者
      清水 裕樹
    • 研究期間 (年度)
      2018 – 2020
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分18020:加工学および生産工学関連
    • 研究機関
      東北大学
  •  ナノ熱収支場によるナノサイズ表面欠陥検出実現と新原理超小型ナノ変位スケールの共創(国際共同研究強化)研究代表者

    • 研究代表者
      清水 裕樹
    • 研究期間 (年度)
      2017 – 2019
    • 研究種目
      国際共同研究加速基金(国際共同研究強化)
    • 研究分野
      設計工学・機械機能要素・トライボロジー
    • 研究機関
      東北大学
  •  次世代の超精密ナノ計測を実現する光ナノグリッド基準の自律校正研究代表者

    • 研究代表者
      清水 裕樹
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2018
    • 研究種目
      特別研究員奨励費
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  ナノエッジ効果で光の回折限界分解能を超越する光学式3次元微細エッジ計測法への挑戦研究代表者

    • 研究代表者
      清水 裕樹
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2016
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  微空間で精密に創成した高安定ナノ熱収支場による次世代超平滑面の非接触高速欠陥評価研究代表者

    • 研究代表者
      清水 裕樹
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2017
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      設計工学・機械機能要素・トライボロジー
    • 研究機関
      東北大学
  •  超高精度光ナノグリッド基準と光絶対スケールコムの創出が拓く精密光計測フロンティア

    • 研究代表者
      高 偉
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2019
    • 研究種目
      基盤研究(S)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  2軸干渉グリッド定在波一括転写と自律的精度保証による次世代光ナノグリッド基準創出

    • 研究代表者
      高 偉
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2018
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  ダイヤモンドマイクロ切削工具エッジ形状のサブナノメートル超高精度計測法の研究

    • 研究代表者
      高 偉
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2015
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  ナノ間隙におけるマイクロ熱収支を利用したナノ平滑面微小欠陥検出に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      清水 裕樹
    • 研究期間 (年度)
      2013 – 2014
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      設計工学・機械機能要素・トライボロジー
    • 研究機関
      東北大学
  •  次世代超精密移動ステージ角度誤差計測用高精度3軸レーザオートコリメータの研究

    • 研究代表者
      高 偉
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2014
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  バイオオプティクス形状計測のための静電気力遠接場ナノスコープに関する研究

    • 研究代表者
      高 偉
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2013
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  熱検知接触型センサによるウェハ表面欠陥の高感度検出技術に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      清水 裕樹
    • 研究期間 (年度)
      2011 – 2012
    • 研究種目
      研究活動スタート支援
    • 研究分野
      設計工学・機械機能要素・トライボロジー
    • 研究機関
      東北大学
  •  回折光干渉型シングル計測ポイントXYZ3軸サーフェスエンコーダに関する研究

    • 研究代表者
      高 偉
    • 研究期間 (年度)
      2009 – 2011
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      東北大学

すべて 2024 2023 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2015 2014 2013 2012 2011 その他

すべて 雑誌論文 学会発表 図書 産業財産権

  • [図書] Bilingual edition 精密計測学2024

    • 著者名/発表者名
      高 偉,清水 裕樹,水谷 康弘,道畑 正岐,河野 大輔,吉田 一朗,伊東 聡,清水 浩貴
    • 総ページ数
      182
    • 出版者
      朝倉書店
    • ISBN
      9784254201789
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22641
  • [図書] 機械設計「精密位置決めのための多軸センサ活用」2022

    • 著者名/発表者名
      清水裕樹,高偉
    • 総ページ数
      6
    • 出版者
      日刊工業新聞
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22641
  • [図書] 光技術コンタクト「モード同期フェムト秒レーザ共焦点プローブの開発とその高精度化」2022

    • 著者名/発表者名
      清水 裕樹,高 偉
    • 総ページ数
      8
    • 出版者
      一般社団法人日本オプトメカトロニクス協会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K20953
  • [図書] Unlicensed Published by De Gruyter 2022 Optical Metrology for Precision Engineering2021

    • 著者名/発表者名
      Wei Gao and Yuki Shimizu
    • 総ページ数
      644
    • 出版者
      Walter de Gruyter GmbH 2022
    • ISBN
      9783110541090
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [図書] (Book chapter)モード同期レーザを用いた共焦点プローブ-非走査測定と高分解能の両立-2020

    • 著者名/発表者名
      佐藤 遼,清水 裕樹,仲村 拓,松隈 啓,高 偉
    • 総ページ数
      5
    • 出版者
      日本工業出版
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [図書] 機械工学年鑑2020 (15. 加工学・加工機器 15.8 加工計測)2020

    • 著者名/発表者名
      清水裕樹
    • 出版者
      日本機械学会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01345
  • [図書] Metrology (Ch.18: Contact-type micro thermal sensor for surface defect detection)2019

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu
    • 総ページ数
      24
    • 出版者
      Springer
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03907
  • [図書] 光技術コンタクト(Book chapter) 微細光学表面計測用プローブ顕微鏡技術2019

    • 著者名/発表者名
      松隈 啓,清水裕樹,高 偉
    • 総ページ数
      5
    • 出版者
      一般社団法人日本オプトメカトロニクス協会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [図書] Metrology (Book Chapter) Chapter 16 Contact-Type Micro Thermal Sensor for Surface Defect Detection2019

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu
    • 総ページ数
      15
    • 出版者
      Springer Singapore
    • ISBN
      9789811049378
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18798
  • [図書] (Book chapter) Handbook of Manufacturing, "Chapter 10"2019

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, So Ito, Jungchul Lee, Shigeaki Goto, Hiraku Matsukuma, and Wei Gao
    • 総ページ数
      28
    • 出版者
      World Scientific
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [図書] 高精度走査プローブ顕微鏡技術2018

    • 著者名/発表者名
      清水 裕樹,松隈 啓,高 偉
    • 総ページ数
      3
    • 出版者
      先端加工機械技術振興協会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [図書] (Book chapter) 機械の研究「長ストロークステージ向けの精密姿勢角センサの開発」2016

    • 著者名/発表者名
      清水裕樹, 石川龍弥, 片岡智史, 陳遠流, 伊東聡, 高偉
    • 総ページ数
      7
    • 出版者
      養賢堂
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [図書] (Book chapter) 機械技術「高機能高速工具サーボによる3次元微細形状加工技術のイノベーション」2016

    • 著者名/発表者名
      清水裕樹, 陳遠流, 盧泳辰, 伊東聡, 高偉
    • 総ページ数
      5
    • 出版者
      日刊工業新聞社
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [図書] (Book chapter) 機械設計「精密位置決めにおける多軸センサの活用」2016

    • 著者名/発表者名
      伊東聡,清水裕樹,高偉
    • 総ページ数
      6
    • 出版者
      日刊工業新聞社
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [図書] (Book chapter) 光学「精密測定機・加工機向け光学式エンコーダ―技術」2015

    • 著者名/発表者名
      李星輝, 清水裕樹, 高偉
    • 総ページ数
      34
    • 出版者
      日本光学会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [図書] (Book chapter) 自動化推進「光学式超精密多軸位置決めセンサ」2015

    • 著者名/発表者名
      高偉, 清水裕樹, 伊東聡, 陳遠流
    • 総ページ数
      24
    • 出版者
      JAAA自動化推進協会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [図書] (Chapter) 精密位置決めのための角度センサ活用2014

    • 著者名/発表者名
      清水裕樹,伊東聡,高偉
    • 総ページ数
      7
    • 出版者
      日刊工業新聞
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • [雑誌論文] A Technique for Estimating the Pitch of Interference Fringe Patterns for Pattern Exposure in a Non-Orthogonal One-Axis Lloyd’s Mirror Interferometer2024

    • 著者名/発表者名
      Takahiro Nozomu、Shimizu Yuki
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology

      巻: 18 号: 1 ページ: 18-25

    • DOI

      10.20965/ijat.2024.p0018

    • ISSN
      1881-7629, 1883-8022
    • 年月日
      2024-01-05
    • 言語
      英語
    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22641
  • [雑誌論文] Investigation of Angle Measurement Based on Direct Third Harmonic Generation in Centrosymmetric Crystals2023

    • 著者名/発表者名
      Li Kuangyi、Lin Jiahui、Zhang Zhiyang、Sato Ryo、Shimizu Hiroki、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Applied Sciences

      巻: 13 号: 2 ページ: 996-996

    • DOI

      10.3390/app13020996

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Demonstration of a non-orthogonal Lloyd’s mirror interferometer with a spatial light modulator for arbitrary two-dimensional pattern fabrication2023

    • 著者名/発表者名
      Takahiro Nozomu、Shimizu Yuki
    • 雑誌名

      Optics Letters

      巻: 48 号: 21 ページ: 5475-5475

    • DOI

      10.1364/ol.500796

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22641
  • [雑誌論文] Confocal probe based on the second harmonic generation for measurement of linear and angular displacements2023

    • 著者名/発表者名
      Sato Ryo、Shimizu Yuki、Shimizu Hiroki、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 31 号: 7 ページ: 11982-11982

    • DOI

      10.1364/oe.486421

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211, KAKENHI-PROJECT-22KJ0173
  • [雑誌論文] Influence of Surface Tilt Angle on a Chromatic Confocal Probe with a Femtosecond Laser2022

    • 著者名/発表者名
      Sato Ryo、Shimizu Yuki、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Applied Sciences

      巻: 12 号: 9 ページ: 4736-4736

    • DOI

      10.3390/app12094736

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211, KAKENHI-PROJECT-22KJ0173
  • [雑誌論文] Design and Testing of a Compact Optical Angle Sensor for Pitch Deviation Measurement of a Scale Grating with a Small Angle of Diffraction2022

    • 著者名/発表者名
      Quan Lue、Shimizu Yuki、Sato Ryo、Shin Dong Wook、Matsukuma Hiraku、Archenti Andreas、Gao Wei
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology

      巻: 16 号: 5 ページ: 572-581

    • DOI

      10.20965/ijat.2022.p0572

    • ISSN
      1881-7629, 1883-8022
    • 年月日
      2022-09-05
    • 言語
      英語
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Reduction of Crosstalk Errors in a Surface Encoder Having a Long Z-Directional Measuring Range2022

    • 著者名/発表者名
      Hong Yifan、Sato Ryo、Shimizu Yuki、Matsukuma Hiraku、Shimizu Hiroki、Gao Wei
    • 雑誌名

      Sensors

      巻: 22 号: 23 ページ: 9563-9563

    • DOI

      10.3390/s22239563

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Self-Calibration of a Large-Scale Variable-Line-Spacing Grating for an Absolute Optical Encoder by Differencing Spatially Shifted Phase Maps from a Fizeau Interferometer2022

    • 著者名/発表者名
      Xiong Xin、Yin Chenguang、Quan Lue、Sato Ryo、Matsukuma Hiraku、Shimizu Yuki、Tamiya Hideaki、Gao Wei
    • 雑誌名

      Sensors

      巻: 22 号: 23 ページ: 9348-9348

    • DOI

      10.3390/s22239348

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] A New Optical Configuration for the Surface Encoder with an Expanded Z-Directional Measuring Range2022

    • 著者名/発表者名
      Hong Yifan、Sato Ryo、Shimizu Yuki、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Sensors

      巻: 22 号: 8 ページ: 3010-3010

    • DOI

      10.3390/s22083010

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] A Second Harmonic Wave Angle Sensor with a Collimated Beam of Femtosecond Laser2022

    • 著者名/発表者名
      Astuti Wijayanti Dwi、Li Kuangyi、Sato Ryo、Matsukuma Hiraku、Shimizu Yuki、Gao Wei
    • 雑誌名

      Applied Sciences

      巻: 12 号: 10 ページ: 5211-5211

    • DOI

      10.3390/app12105211

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] A technique for measurement of a prism apex angle by optical angle sensors with a reference artefact2021

    • 著者名/発表者名
      Shimizu Yuki、Ma Xu、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: 32 号: 5 ページ: 054007-054007

    • DOI

      10.1088/1361-6501/abd8a6

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Self-calibration of a variable-line-spacing grating for an absolute optical encoder with a Fizeau interferometer2021

    • 著者名/発表者名
      Xiong Xin、Quan Lue、Shimizu Yuki、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: 32 号: 6 ページ: 064005-064005

    • DOI

      10.1088/1361-6501/abe9de

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] A new method for evaluation of the pitch deviation of a linear scale grating by an optical angle sensor2021

    • 著者名/発表者名
      Quan Lue、Shimizu Yuki、Xiong Xin、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 67 ページ: 1-13

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2020.09.008

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Design of the optical sensor head for the evaluation of pitch deviation of a diffraction grating based on the laser autocollimation2021

    • 著者名/発表者名
      Shimizu Yuki、Quan Lue、Shin Dong Wook、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Measurement: Sensors

      巻: 18 ページ: 100135-100135

    • DOI

      10.1016/j.measen.2021.100135

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] A Self-Calibration Stitching Method for Pitch Deviation Evaluation of a Long-Range Linear Scale by Using a Fizeau Interferometer2021

    • 著者名/発表者名
      Xiong Xin、Shimizu Yuki、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Sensors

      巻: 21 号: 21 ページ: 7412-7412

    • DOI

      10.3390/s21217412

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] An absolute surface encoder with a planar scale grating of variable periods2021

    • 著者名/発表者名
      Shimizu Yuki、Ishizuka Ryo、Mano Kazuki、Kanda Yuri、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 67 ページ: 36-47

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2020.09.007

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Closed-Loop Control of an XYZ Micro-Stage and Designing of Mechanical Structure for Reduction in Motion Errors2021

    • 著者名/発表者名
      Matsukuma Hiraku、Adachi Keisuke、Sugawara Takuma、Shimizu Yuki、Gao Wei、Niwa Eiji、Sasaki Yoshihiro
    • 雑誌名

      Nanomanufacturing and Metrology

      巻: 4 号: 1 ページ: 53-66

    • DOI

      10.1007/s41871-020-00091-2

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Laser Interference Lithography for Fabrication of Planar Scale Gratings for Optical Metrology2021

    • 著者名/発表者名
      Shimizu Yuki
    • 雑誌名

      Nanomanufacturing and Metrology

      巻: 4 号: 1 ページ: 3-27

    • DOI

      10.1007/s41871-020-00083-2

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K20953, KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Measurement Range Expansion of Chromatic Confocal Probe with Supercontinuum Light Source2021

    • 著者名/発表者名
      Matsukuma Hiraku、Department of Finemechanics, Tohoku University 6-6-01 Aramaki Aza Aoba, Aoba-ku, Sendai, Miyagi 980-8579, Japan、Sato Ryo、Shimizu Yuki、Gao Wei
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology

      巻: 15 号: 4 ページ: 529-536

    • DOI

      10.20965/ijat.2021.p0529

    • NAID

      130008062461

    • ISSN
      1881-7629, 1883-8022
    • 年月日
      2021-07-05
    • 言語
      英語
    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211, KAKENHI-PROJECT-22KJ0173
  • [雑誌論文] An application of the edge reversal method for accurate reconstruction of the three-dimensional profile of a single-point diamond tool obtained by an atomic force microscope2021

    • 著者名/発表者名
      Zhang Kai、Shimizu Yuki、Matsukuma Hiraku、Cai Yindi、Gao Wei
    • 雑誌名

      The International Journal of Advanced Manufacturing Technology

      巻: 117 号: 9-10 ページ: 2883-2893

    • DOI

      10.1007/s00170-021-07879-6

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] A Comparison of the Probes with a Cantilever Beam and a Double-Sided Beam in the Tool Edge Profiler for On-Machine Measurement of a Precision Cutting Tool2021

    • 著者名/発表者名
      Wen Bo、Sekine Sho、Osawa Shinichi、Shimizu Yuki、Matsukuma Hiraku、Archenti Andreas、Gao Wei
    • 雑誌名

      Machines

      巻: 9 号: 11 ページ: 271-271

    • DOI

      10.3390/machines9110271

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Measurement of the apex angle of a small prism by an oblique-incidence mode-locked femtosecond laser autocollimator2021

    • 著者名/発表者名
      Shimizu Yuki、Kanda Yuri、Ma Xu、Ikeda Kakeru、Matsukuma Hiraku、Nagaike Yasunari、Hojo Masaki、Tomita Keita、Gao Wei
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 67 ページ: 339-349

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2020.10.013

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] An Optical Frequency Domain Angle Measurement Method Based on Second Harmonic Generation2021

    • 著者名/発表者名
      Dwi Astuti Wijayanti、Matsukuma Hiraku、Nakao Masaru、Li Kuangyi、Shimizu Yuki、Gao Wei
    • 雑誌名

      Sensors

      巻: 21 号: 2 ページ: 670-670

    • DOI

      10.3390/s21020670

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] DEVELOPMENT OF AN OPTICAL ANGLE SENSOR WITH A MODE-LOCKED FEMTOSECOND LASER SOURCE FOR SURFACE PROFILE MEASUREMENT2020

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Shota Takazono, Hiraku Marsukuma, Hajime Inaba, Wei Gao
    • 雑誌名

      Proceedings of the JSME 2020 Conference on Leading Edge Manufacturing/Materials and Processing LEMP2020

      巻: in press

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01345
  • [雑誌論文] Optical Angle Sensor Technology Based on the Optical Frequency Comb Laser2020

    • 著者名/発表者名
      Shimizu Yuki、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Applied Sciences

      巻: 10 号: 11 ページ: 4047-4047

    • DOI

      10.3390/app10114047

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] A differential strategy for measurement of a static force in a single point diamond cutting by a force‐controlled fast tool servo2020

    • 著者名/発表者名
      Bo Wen, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Keisuke Tohyama, Haruki Kurita, Yuan-Liu Chen, Wei Gao
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: - 号: 7 ページ: 074014-074014

    • DOI

      10.1088/1361-6501/ab7d6f

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Fabrication of a Two-dimensional Diffraction Grating with Isolated Photoresist Pattern Structures2020

    • 著者名/発表者名
      Hiraku Matsukuma, Masanori Matsunaga, Kai Zhang, Yuki Shimizu and Wei Gao
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology

      巻: -

    • NAID

      130007869728

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] An insight on optical metrology in manufacturing2020

    • 著者名/発表者名
      Shimizu Yuki、Chen Liang Chia、Kim Dae Wook、Chen Xiuguo、Li Xinghui、Matsukuma Hiraku
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: 32 ページ: 042003-042003

    • DOI

      10.1088/1361-6501/abc578

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01345, KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] On-machine angle measurement of a precision V-groove on a ceramic workpiece2020

    • 著者名/発表者名
      Shimizu Yuki、Gao Wei、Matsukuma Hiraku、Szipka Karoly、Archenti Andreas
    • 雑誌名

      CIRP Annals

      巻: 69 号: 1 ページ: 469-472

    • DOI

      10.1016/j.cirp.2020.03.011

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Design and Construction of a Low-Force Stylus Probe for On-machine Tool Cutting Edge Measurement2020

    • 著者名/発表者名
      Matsukuma Hiraku、Wen Bo、Osawa Shinichi、Sekine Sho、Shimizu Yuki、Gao Wei
    • 雑誌名

      Nanomanufacturing and Metrology

      巻: 3 号: 4 ページ: 282-291

    • DOI

      10.1007/s41871-020-00084-1

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Measurement Uncertainty Analysis of a Stitching Linear-Scan Method for the Evaluation of Roundness of Small Cylinders2020

    • 著者名/発表者名
      Li Qiaolin、Shimizu Yuki、Saito Toshiki、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Applied Sciences

      巻: 10 号: 14 ページ: 4750-4750

    • DOI

      10.3390/app10144750

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] High-Precision Cutting Edge Radius Measurement of Single Point Diamond Tools Using an Atomic Force Microscope and a Reverse Cutting Edge Artifact2020

    • 著者名/発表者名
      Zhang Kai、Cai Yindi、Shimizu Yuki、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Applied Sciences

      巻: 10 号: 14 ページ: 4799-4799

    • DOI

      10.3390/app10144799

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Evaluation of the pitch deviation of a linear scale based on a self-calibration method with a Fizeau interferometer2020

    • 著者名/発表者名
      Xin Xiong, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: - 号: 9 ページ: 094002-094002

    • DOI

      10.1088/1361-6501/ab8b83

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Development of an Optical Angle Sensor With a Mode-Locked Femtosecond Laser Source for Surface Profile Measurement2020

    • 著者名/発表者名
      Shimizu Yuki、Takazono Shota、Kanda Yuri、Matsukuma Hiraku、Gao Wei、Inaba Hajime
    • 雑誌名

      Proceedings of the JSME 2020 Conference on Leading Edge Manufacturing/Materials and Processing (LEMP2020)

      巻: -

    • DOI

      10.1115/lemp2020-8501

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01345
  • [雑誌論文] A new signal processing method for a differential chromatic confocal probe with a modelocked femtosecond laser2020

    • 著者名/発表者名
      Ryo Sato, Chong Chen, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: - 号: 9 ページ: 094004-094004

    • DOI

      10.1088/1361-6501/ab8905

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] PROFILE MEASUREMENT BY USING A FEMTOSECOND LASER CHROMATIC CONFOCAL PROBE2020

    • 著者名/発表者名
      Ryo Sato, Yuki Shimizu, Hiraku Marsukuma, Wei Gao
    • 雑誌名

      Proceedings of the JSME 2020 Conference on Leading Edge Manufacturing/Materials and Processing LEMP2020

      巻: -

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] An Off-Axis Differential Method for Improvement of a Femtosecond Laser Differential Chromatic Confocal Probe2020

    • 著者名/発表者名
      Chen Chong、Shimizu Yuki、Sato Ryo、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Applied Sciences

      巻: 10 号: 20 ページ: 7235-7235

    • DOI

      10.3390/app10207235

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] On-machine profile measurement of a micro cutting edge by using a contact-type compact probe unit2020

    • 著者名/発表者名
      Bo Wen, Yuki Shimizu, Yu Watanabe, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: - ページ: 230-239

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2020.03.014

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Profile Measurement by Using a Femtosecond Laser Chromatic Confocal Probe2020

    • 著者名/発表者名
      Sato Ryo、Shimizu Yuki、Matsukuma Hiraku、Gao Wei
    • 雑誌名

      Proceedings of the JSME 2020 Conference on Leading Edge Manufacturing/Materials and Processing (LEMP2020)

      巻: -

    • DOI

      10.1115/lemp2020-8626

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [雑誌論文] Design optimization of a non-orthogonal two-axis Lloyd's mirror interferometer for fabrication of large-area two-dimensional scale gratings2019

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Kazuki Mano, Hiroki Murakami, Shunsuke Hirota, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 60 ページ: 280-290

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2019.07.022

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] On-machine angle measurement of a precision V-groove on a ceramic workpiece2019

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Wei Gao, Hiraku Matsukuma, K?roly Szipka, Andreas Archenti
    • 雑誌名

      CIRP Annals-Manufacturing Technology

      巻: 69-1

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Integration of a Cr-N Thin Film Displacement Sensor into an XY Micro-stage for Closed-loop Nano-Positioning2019

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Adachi, Hiraku Matsukuma, Takuma Sugawara, Yuki Shimizu, Wei Gao, Eiji Niwa, Yoshihiro Sasaki
    • 雑誌名

      Nanomanufacturing and Metrology

      巻: In press 号: 3 ページ: 131-139

    • DOI

      10.1007/s41871-019-00040-8

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Optical Sensors for Multi-Axis Angle and Displacement Measurement Using Grating Reflectors2019

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu,Hiraku Matsukuma,Wei Gao
    • 雑誌名

      Sensors

      巻: 19-23 号: 23 ページ: 5289-5289

    • DOI

      10.3390/s19235289

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16KK0119
  • [雑誌論文] Analysis of temperature influence on a chromatic confocal probe with a mode-locked femtosecond laser2019

    • 著者名/発表者名
      Ryo Sato, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma and Wei Gao
    • 雑誌名

      Proceedings of the 14th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2019)

      巻: 1

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Investigation and Improvement of Thermal Stability of a Chromatic Confocal Probe with a Mode-Locked Femtosecond Laser Source2019

    • 著者名/発表者名
      Ryo Sato,Yuki Shimizu,Chong Chen,Hiraku Matsukuma,Wei Gao
    • 雑誌名

      Applied Sciences

      巻: 9-19 号: 19 ページ: 4084-4084

    • DOI

      10.3390/app9194084

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] An Optical Angle Sensor Based on the Laser Autocollimation employing a Mode-locked Femtosecond Laser Source and a Single Mode Fiber Detector2019

    • 著者名/発表者名
      Shota Takazono, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Yuri Kanda, Hajime Inaba and Wei Gao
    • 雑誌名

      Proceedings of the 14th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2019)

      巻: 1

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01345
  • [雑誌論文] A New Optical Angle Measurement Method Based on Second Harmonic Generation with a Mode-Locked Femtosecond Laser2019

    • 著者名/発表者名
      Hiraku Matsukuma, Shuhei Madokoro, Wijayanti Dwi Astuti, Yuki Shimizu, and Wei Gao
    • 雑誌名

      Nanomanufacturing and Metrology

      巻: 2 号: 4 ページ: 187-198

    • DOI

      10.1007/s41871-019-00052-4

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K14857, KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Reduction in Cross Talk Errors in a Six Degree of Freedom Surface Encoder2019

    • 著者名/発表者名
      Hiraku Matsukuma, Ryo Ishizuka, Masaya Furuta, Xinghui Li, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 雑誌名

      Nanomanufacturing and Metrology

      巻: 2-2 号: 2 ページ: 111-123

    • DOI

      10.1007/s41871-019-00039-1

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Accurate polarization control in nanorthogonal two-axis Lloyd's mirror interferometer for fabrication of two-dimensional scale gratings2019

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Kazuki Mano, Kai Zhang, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 雑誌名

      Optical Engineering

      巻: 58-9 号: 09 ページ: 92611-92611

    • DOI

      10.1117/1.oe.58.9.092611

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] A PD-edge method associated with the laser autocollimation for measurement of a focused laser beam diameter2018

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Taiji Maruyama, Shota Nakagawa, Yuan-Liu Chen, Hiraku Matsukuma and Wei Gao
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: 29 号: 7 ページ: 074006-074006

    • DOI

      10.1088/1361-6501/aac0a6

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Design and Testing of a Micro-thermal Sensor Probe for Nondestructive Detection of Defects on a Flat Surface2018

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Yuki Matsuno, Yuan-Liu Chen, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 雑誌名

      Nanomanufacturing and Metrology

      巻: 1 号: 1 ページ: 45-57

    • DOI

      10.1007/s41871-018-0007-x

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03907
  • [雑誌論文] Design and testing of a compact non-orthogonal two-axis Lloyd's mirror interferometer for fabrication of large-area two-dimensional scale gratings2018

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Ryo Aihara, Kazuki Mano, Chong Chen, Yuanliu Chen, Xiuguo Chen, Wei Gao
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: in press ページ: 138-151

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2017.12.004

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Evaluation of the grating period based on laser diffraction by using a mode-locked femtosecond laser beam2018

    • 著者名/発表者名
      Yuki SHIMIZU, Kentaro UEHARA, Hiraku MATSUKUMA and Wei GAO
    • 雑誌名

      Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing

      巻: 12 号: 5 ページ: JAMDSM0097-JAMDSM0097

    • DOI

      10.1299/jamdsm.2018jamdsm0097

    • NAID

      130007499852

    • ISSN
      1881-3054
    • 言語
      英語
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Uncertainty Evaluation for Measurements of Pitch Deviation and Out-of-Flatness of Planar Scale Gratings by a Fizeau Interferometer in Littrow Configuration2018

    • 著者名/発表者名
      Xin Xiong, Yuki Shimizu, Xiuguo Chen, Hiraku Matsukuma and Wei Gao
    • 雑誌名

      Applied Sciences

      巻: 9 号: 12 ページ: 2539-2539

    • DOI

      10.3390/app8122539

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] An optical angle sensor based on chromatic dispersion with a mode-locked laser source2018

    • 著者名/発表者名
      Yuki SHIMIZU, Shuhei MADOKORO, Hiraku MATSUKUMA and Wei GAO
    • 雑誌名

      Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing

      巻: 12 号: 5 ページ: JAMDSM0096-JAMDSM0096

    • DOI

      10.1299/jamdsm.2018jamdsm0096

    • NAID

      130007498573

    • ISSN
      1881-3054
    • 言語
      英語
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] A Liquid-Surface-Based Three-Axis Inclination Sensor for Measurement of Stage Tilt Motions2018

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Satoshi Kataoka, Tatsuya Ishikawa, Yuan-Liu Chen, Xiuguo Chen, Hiraku Matsukuma and Wei Gao
    • 雑誌名

      Sensors

      巻: 18 号: 2 ページ: 398-398

    • DOI

      10.3390/s18020398

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Theoretical calculation of the reading output from a micro thermal sensors for precision positioning2018

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Ayaka Ishida, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 雑誌名

      Proceedings of the 2018 IEEE International Conference on Advanced Manufacturing, ICAM 2018

      巻: - ページ: 24-25

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18798
  • [雑誌論文] Error separation method for precision measurement of the Run-Out of a microdrill bit by using a laser scan micrometer measurement system2018

    • 著者名/発表者名
      Zengyuan Niu, Yuan-Liu Chen, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, and Wei Gao
    • 雑誌名

      Journal of Manufacturing and Materials Processing

      巻: 2 号: 1 ページ: 4-4

    • DOI

      10.3390/jmmp2010004

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Generalized method for probing ideal initial polarization states in multibeam Lloyd’s mirror interference lithography of 2D scale gratings2018

    • 著者名/発表者名
      Xiuguo Chen, Yuki Shimizu, Chong Chen, Yuan-Liu Chen, Wei Gao
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science & Technology B

      巻: 36 号: 2

    • DOI

      10.1116/1.5016505

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] High quality-factor quartz tuning fork glass probe used in tapping mode atomic force microscopy for surface profile measurement2018

    • 著者名/発表者名
      Yuan-Liu Chen, Yanhao Xu, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: 29 号: 6 ページ: 065014-065014

    • DOI

      10.1088/1361-6501/aab998

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Laser autocollimation based on an optical frequency comb for absolute angular position measurement2018

    • 著者名/発表者名
      Yuan-Liu Chen, Yuki Shimizu, Jun Tamada, Kazuki Nakamura, Hiraku Matsukuma, Xiuguo Chen, and WeiGao
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 54 ページ: 284-293

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2018.06.005

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] An ultra-precision tool nanoindentation instrument for replication of single point diamond tool cutting edges2018

    • 著者名/発表者名
      Yindi Cai, Yuan-Liu Chen, Malu Xu, Yuki Shimizu, So Ito, Hiraku Matsukuma and Wei Gao
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: 29 号: 5 ページ: 054004-054004

    • DOI

      10.1088/1361-6501/aaa913

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] A stitching linear-scan method for roundness measurement of small cylinders2018

    • 著者名/発表者名
      Yuan-Liu Chen, Yuki Machida, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 雑誌名

      CIRP Annals-Manufacturing Technology

      巻: 67(1) 号: 1 ページ: 535-538

    • DOI

      10.1016/j.cirp.2018.04.009

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] A Method for Expansion of Z-Directional Measurement Range in a Mode-Locked Femtosecond Laser Chromatic Confocal Probe2018

    • 著者名/発表者名
      Chong Chen, Ryo Sato, Yuki Shimizu, Taku Nakamura, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 雑誌名

      Applied Sciences

      巻: 9 号: 3 ページ: 454-454

    • DOI

      10.3390/app9030454

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] A chromatic confocal probe with a mode-locked femtosecond laser source2018

    • 著者名/発表者名
      Xiuguo Chen, Taku Nakamura, Yuki Shimizu, Chong Chen, Yuan-Liu Chen, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 雑誌名

      Optics and Laser Technology

      巻: 103 ページ: 359-366

    • DOI

      10.1016/j.optlastec.2018.01.051

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Feasibility study on a compact encoder system employing a micro thermal sensor head for precision positioning2018

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Yuki Matsuno, Ayaka Ishida, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 雑誌名

      Proceedings of the 17th International Conference on Precision Engineering, ICPE2018

      巻: -

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18798
  • [雑誌論文] Optimal polarization modulation for orthogonal two-axis Lloyd's mirror interference lithography2017

    • 著者名/発表者名
      Xiuguo Chen, Zongwei Ren, Yuki Shimizu, Yuan-Liu Chen, and Wei Gao
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 25 号: 19 ページ: 22237-22252

    • DOI

      10.1364/oe.25.022237

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Non-contact detection of surface defects by using a micro thermal sensor2017

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Yuki Matsuno Yuan-Liu Chen and Wei Gao
    • 雑誌名

      Proceedings of the 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2017)

      巻: -

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03907
  • [雑誌論文] Uncertainty analysis in the evaluation of pitch deviation and out-of-flatness of planar scale gratings by Fizeau interferometry2017

    • 著者名/発表者名
      Xiuguo Chen, Yuki Shimizu, Yuan-Liu Chen and Wei Gao
    • 雑誌名

      Proceedings of the 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2017)

      巻: -

    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16F16367
  • [雑誌論文] An edge reversal method for precision measurement of cutting edge radius of single point diamond tools2017

    • 著者名/発表者名
      Yuan-Liu Chen, Yindi Cai, Malu Xu, Yuki Shimizu, So Ito and Wei Gao
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 50 ページ: 380-387

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2017.06.012

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Precision Measurement of Z -Slide Vertical Error Motion of an Ultra-Precision Lathe by Using Three-probe Method2017

    • 著者名/発表者名
      Zengyuan Niu, Yuan-Liu Chen, Daiki Matsuura, Jung Chul Lee, Ryo Kobayashi, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao, Jeong Seok Oh and Chun Hong Park
    • 雑誌名

      International Journal of Precision Engineering and Manufacturing

      巻: 18 号: 5 ページ: 651-660

    • DOI

      10.1007/s12541-017-0078-4

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Auto-tracking single point diamond cutting on non-planar brittlematerial substrates by a high-rigidity force controlled fast tool servo2017

    • 著者名/発表者名
      Yuan-Liu Chen, Yindi Cai, Keisuke Tohyama, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: In press ページ: 253-261

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2017.02.014

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759, KAKENHI-PROJECT-15F15060
  • [雑誌論文] Self-calibration of Fizeau interferometer and planar scale gratings in Littrow setup2017

    • 著者名/発表者名
      Xiuguo Chen, Yuki Shimizu, Xin Xiong, Yuan-Liu Chen AND Wei Gao
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 25 号: 18 ページ: 21567-21582

    • DOI

      10.1364/oe.25.021567

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Design and testing of a micro thermal sensor for non-contact surface defect detection2017

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Yuki Matsuno, Yuan-Liu Chen and Wei Gao
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology

      巻: -

    • NAID

      130007505955

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03907
  • [雑誌論文] Implementation and verification of a four-probe motion error measurement system for a large-scale roll lathe used in hybrid manufacturing2017

    • 著者名/発表者名
      Yuan-Liu Chen, Zengyuan Niu, Daiki Matsuura, Jung Chul Lee, Yuki Shimizu, Wei Gao, Jeong Seok Oh and Chun Hong Park
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: 28 号: 10 ページ: 105004-105004

    • DOI

      10.1088/1361-6501/aa7d33

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Optical frequency domain angle measurement in a femtosecond laser autocollimator2017

    • 著者名/発表者名
      Yuan-Liu Chen, Yuki Shimizu, Jun Tamada, Yukitoshi Kudo, Shuhei Madokoro, Kazuki Nakamura and Wei Gao
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 25 号: 14 ページ: 16725-16738

    • DOI

      10.1364/oe.25.016725

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Polarization ray-tracing model for orthogonal two-axis Lloyd’s mirror interference2017

    • 著者名/発表者名
      Xiuguo Chen, Zongwei Ren, Yuan-Liu Chen, Yuki Shimizu and Wei Gao
    • 雑誌名

      Proceedings of the 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century

      巻: -

    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16F16367
  • [雑誌論文] EVALUATION OF A FOCUSED LASER SPOT DIAMETER FOR AN OPTICAL ANGLE SENSOR2017

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Taiji Maruyama, Shota Nakagawa, Yuan-Liu Chen, Wei Gao
    • 雑誌名

      Engineering for a Changing World

      巻: 59

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03907
  • [雑誌論文] An optical lever by using a mode-locked laser for angle measurement2017

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Yukitoshi Kudo, Yuan-Liu Chen, So Ito, Wei Gao
    • 雑誌名

      Precision Engieering

      巻: 47 ページ: 72-80

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2016.07.006

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Influences of misalignment errors of optical components in an orthogonal two-axis Lloyd's mirror interferometer2016

    • 著者名/発表者名
      YUKI SHIMIZU, RYO AIHARA, ZONGWEI REN, YUAN-LIU CHEN, SO ITO, AND WEI GAO
    • 雑誌名

      Optics EXPRESS

      巻: 24 号: 24 ページ: 27521-27535

    • DOI

      10.1364/oe.24.027521

    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] On-machine measurement of microtool wear and cutting edge chipping by using a diamond edge artifact2016

    • 著者名/発表者名
      Y. L. Chen, Y. Cai, Y. Shimizu, S. Ito, W. Gao, B. F. Ju
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 43 ページ: 462-467

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2015.09.011

    • 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759, KAKENHI-PROJECT-15F15060
  • [雑誌論文] Molecular dynamics simulation of subnanometric tool-workpiece contact on a force sensor-integrated fast tool servo for ultra-precision microcutting2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Cai, Y. L. Chen, Y. Shimizu, S. Ito, W. Gao
    • 雑誌名

      Applied Surface Science

      巻: 369 ページ: 354-365

    • DOI

      10.1016/j.apsusc.2016.02.046

    • 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759, KAKENHI-PROJECT-15F15060
  • [雑誌論文] Characterization of a micro thermal sensor for surface defect inspection2016

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Yuki Matsuno, Yuta Ohba, Yuan-Liu Chen, Wei Gao
    • 雑誌名

      Proceedings of the 11th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2016)

      巻: In Press

    • 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03907
  • [雑誌論文] 超精密形状計測加工システム-ダイヤモンド切削工具の機上ナノ計測-2016

    • 著者名/発表者名
      清水裕樹、陳遠流、張城豪、伊東聡、高偉
    • 雑誌名

      機械技術

      巻: In Press

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13839
  • [雑誌論文] Determination of the zero-position for an optical angle sensor2016

    • 著者名/発表者名
      Jun TAMADA, Yukitoshi KUDO, Yuan-Liu CHEN, Yuki SHIMIZU and Wei GAO
    • 雑誌名

      Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing

      巻: 10 号: 5 ページ: JAMDSM0072-JAMDSM0072

    • DOI

      10.1299/jamdsm.2016jamdsm0072

    • NAID

      130005266534

    • ISSN
      1881-3054
    • 言語
      英語
    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759, KAKENHI-PROJECT-24226004
  • [雑誌論文] Micro thermal sensor for nanometric surface defect inspection2016

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Yuki Matsuno, Yuta Ohba, Yuan-Liu Chen, Wei Gao
    • 雑誌名

      Proceedings of the 16th INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY (IEEE NANO 2016)

      巻: In Press

    • 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03907
  • [雑誌論文] A highly stable noncontact SPM for surface profile measurement and its application to insulating samples2016

    • 著者名/発表者名
      Shigeaki GOTO, Minglei LI, So ITO, Yuki SHIMIZU and Wei GAO
    • 雑誌名

      Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing

      巻: 10 号: 5 ページ: JAMDSM0081-JAMDSM0081

    • DOI

      10.1299/jamdsm.2016jamdsm0081

    • NAID

      130005266667

    • ISSN
      1881-3054
    • 言語
      英語
    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Ultra-sensitive angle sensor based on laser autocollimation for measurement of stage tilt motions2016

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Siew Leng Tan, Dai Murata, Taiji Maruyama, So Ito, Yuan-Liu Chen, Wei Gao
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 24 号: 3 ページ: 2788-2805

    • DOI

      10.1364/oe.24.002788

    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Computer simulation on the optical configuration of an ultra-sensitive angle sensor based on laser autocollimation2016

    • 著者名/発表者名
      Yuki SHIMIZU, Taiji MARUYAMA, Yuan-Liu CHEN, So ITO and Wei GAO
    • 雑誌名

      Proceedings of the 16th International Conference on Precision Engineering (ICPE2016)

      巻: -

    • 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13839
  • [雑誌論文] Development of a Non-contact-type Thermal Sensor for Surface Defect Inspection2016

    • 著者名/発表者名
      Yuki MATSUNO, Yuki SHIMIZU, Wei GAO
    • 雑誌名

      Proceedings of the 7th International Conference on Positioning Technology (ICPT2016)

      巻: -

    • 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03907
  • [雑誌論文] Design and testing of an optical configuration for multi-dimensional measurement of a diamond cutting tool2016

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, SungHo Jang, Wei Gao
    • 雑誌名

      Measurement

      巻: In Press ページ: 934-941

    • DOI

      10.1016/j.measurement.2015.11.040

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13839
  • [雑誌論文] Ductile cutting of silicon microstructures with surface inclination measurement and compensation by using a force sensor integrated single point diamond tool2016

    • 著者名/発表者名
      Yuan-Liu Chen, Yindi Cai, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao, Bing-Feng Ju
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Microengineering

      巻: 26 号: 2 ページ: 025002-025002

    • DOI

      10.1088/0960-1317/26/2/025002

    • 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759, KAKENHI-PROJECT-15F15060
  • [雑誌論文] Mode-locked laser autocollimator with an expanded measurement range2016

    • 著者名/発表者名
      Yuan-Liu Chen, Yuki Shimizu, Yukitoshi Kudo, So Ito and Wei Gao
    • 雑誌名

      Optics EXPRESS

      巻: 24 号: 14 ページ: 15554-15569

    • DOI

      10.1364/oe.24.015554

    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] Multi-dimensional measurement of tool edge geometry with an optical probe2016

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Shota Nakagawa, SungHo Jang, Yuan-Liu Chen, So Ito, and Wei Gao
    • 雑誌名

      Proceedings of The 5th International Conference on Nanomanufacturing

      巻: 1

    • 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13839
  • [雑誌論文] Molecular dynamics simulation of elastic?plastic deformation associated with tool?workpiece contact in force sensor?integrated fast tool servo2016

    • 著者名/発表者名
      Yindi Cai, Yuan-Liu Chen, Yuki Shimizu, So Ito and Wei Gao
    • 雑誌名

      Journal of Engineering Manufacture, Proc IMechE Part B.

      巻: - 号: 11 ページ: 1-10

    • DOI

      10.1177/0954405416673116

    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759, KAKENHI-PROJECT-15F15060
  • [雑誌論文] Investigation on the three-dimensional light intensity distribution of the fringe patterns generated by a modified two-axis Lloyd's mirror interferometer2016

    • 著者名/発表者名
      Yindi CAI, Xinghui LI, Ryo AIHARA, Ren ZONGWEI, Yuki SHIMIZU, So ITO and Wei GAO
    • 雑誌名

      Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing

      巻: 10 号: 5 ページ: JAMDSM0080-JAMDSM0080

    • DOI

      10.1299/jamdsm.2016jamdsm0080

    • NAID

      130005266659

    • ISSN
      1881-3054
    • 言語
      英語
    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [雑誌論文] An in-process measurement method for repair of defective microstructures by using a fast tool servo with a force sensor2015

    • 著者名/発表者名
      Yuan-Liu Chen, Shu Wang, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao, Bing-Feng Jub
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 39 ページ: 134-142

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2014.08.001

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630015
  • [雑誌論文] Design of a Laser Autocollimator-based Optical Sensor with a Rangefinder for Error Correction of Precision Slide Guideways2015

    • 著者名/発表者名
      Siew Leng Tan, Yuki Shimizu, Takayuki Meguro, So Ito, and Wei Gao
    • 雑誌名

      INTERNATIONAL JOURNAL OF PRECISION ENGINEERING AND MANUFACTURING

      巻: 16-3 号: 3 ページ: 423-431

    • DOI

      10.1007/s12541-015-0058-5

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • [雑誌論文] Investigation on Sensitivity of a Contact-Type Thermal Sensor for Surface Defect Inspections2015

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Yuta Ohba, Wei Gao
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology

      巻: 9-3 ページ: 1-6

    • NAID

      130007674118

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25820030
  • [雑誌論文] Self-evaluation of the cutting edge contour of a micro diamond tool with a force sensor integrated fast tool servo on an ultra-precision lathe. International2015

    • 著者名/発表者名
      Y.L. Chen, S. Wang, Y. Shimizu, S. Ito, W. Gao, B.F. Ju
    • 雑誌名

      Journal of Advanced Manufacturing Technology

      巻: 77 号: 9-12 ページ: 2257-2267

    • DOI

      10.1007/s00170-014-6580-2

    • 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15F15060, KAKENHI-PROJECT-26630015
  • [雑誌論文] A two-axis Lloyd’s mirror interferometer for fabrication of two-dimensional diffraction gratings2014

    • 著者名/発表者名
      Xinghui Li, Wei Gao, Yuki Shimizu, So Ito
    • 雑誌名

      CIRP Annals - Manufacturing Technology

      巻: 63 号: 1 ページ: 461-464

    • DOI

      10.1016/j.cirp.2014.02.001

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • [雑誌論文] Drift reduction in a scanning electrostatic force microscope for surface profile measurement2014

    • 著者名/発表者名
      Zhigang Jia, So Ito, Shigeaki Goto, Keiichiro Hosobuchi, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: (In press)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656093
  • [雑誌論文] Feasibility study on the concept of thermal contact sensor for nanometre-level defectinspections on smooth surfaces2014

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Wenjian Lu, Yuta Ohba and Wei Gao
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: 25 号: 6 ページ: 1-11

    • DOI

      10.1088/0957-0233/25/6/064006

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25820030
  • [雑誌論文] Measurement of six-degree-of-freedom planar motions by using a multiprobe surface encoder2014

    • 著者名/発表者名
      Xinghui Li, Yuki Shimizu, Takeshi Ito, Yindi Cai, So Ito, and Wei Gao
    • 雑誌名

      Optical Engineering, 53(12), 122405.

      巻: 53

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • [雑誌論文] Feasibility study on the concept of thermal contact sensor for nanometre-level defect inspections on smooth surfaces2014

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Wenjian Lu, Yuta Ohba and Wei Gao
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: 25

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25820030
  • [雑誌論文] Design and testing of a four-probe optical sensor head for three-axis surface encoder with a mosaic scale grating2014

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Takeshi Ito, Xinghui Li, WooJae Kim and Wei Gao
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: 25 号: 9 ページ: 094002-094002

    • DOI

      10.1088/0957-0233/25/9/094002

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • [雑誌論文] A micro optical probe for edge contour evaluation of diamond cutting tools2014

    • 著者名/発表者名
      S.H. Jang, Y. Shimizu, S. Ito and W. Gao
    • 雑誌名

      Journal of Sensors and Senosr Systems

      巻: 3 ページ: 69-76

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • [雑誌論文] A measurement method of cutting tool position for relay fabrication of microstructured surface2014

    • 著者名/発表者名
      Yuan-Liu Chen, Wei Gao, Bing-Feng Ju, Yuki Shimizu, So Ito
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: 25 号: 6 ページ: 064018-064018

    • DOI

      10.1088/0957-0233/25/6/064018

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630015
  • [雑誌論文] Three-axis vibration measurement by using a grating-interferometric vibrometer2014

    • 著者名/発表者名
      So Ito, Ryo Aihara, Woo Jae Kim, Yuki Shimizu and Wei Gao
    • 雑誌名

      Advanced Optical Technologies

      巻: 3 号: 4 ページ: 435-440

    • DOI

      10.1515/aot-2014-0028

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • [雑誌論文] Drift reduction in a scanning electrostatic force microscope for surface profile measurement2014

    • 著者名/発表者名
      Zhigang Jia, So Ito, Shigeaki Goto, Keiichiro Hosobuchi, Yuki Shimizua, and Wei Gao
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: 25

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656093
  • [雑誌論文] Design of fabrication process of a thermal contact sensor for surface defect inspection2014

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Yuta Ohba and Wei Gao
    • 雑誌名

      Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing

      巻: 8 号: 4 ページ: JAMDSM0052-JAMDSM0052

    • DOI

      10.1299/jamdsm.2014jamdsm0052

    • NAID

      130004705818

    • ISSN
      1881-3054
    • 言語
      英語
    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25820030
  • [雑誌論文] Characterization of Electrostatic Force for Scanning Electrostatic Force Microscopy of Micro-structured Surface2013

    • 著者名/発表者名
      Zhigang Jia, So Ito, Keiichiro Hosobuchi, Shigeaki Goto, Yuki Shimizu, Gaofa He, Wei Gao
    • 雑誌名

      International Journal of Precision Engineering and Manufacturing

      巻: Vol. 14 号: 9 ページ: 1543-1549

    • DOI

      10.1007/s12541-013-0208-6

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656093, KAKENHI-PROJECT-24760097
  • [雑誌論文] An Electrostatic Force Probe for Surface Profile Measurement in Noncontact Condition2013

    • 著者名/発表者名
      So Ito, Zhigang Jia, Shigeaki Goto, Keiichiro Hosobuchi, Yuki Shimizu, Gaofa He, Wei Gao
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology

      巻: Vol. 7 ページ: 714-719

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656093
  • [雑誌論文] A six-degree-of-freedom surface encoder for precision positioning of a planar motion stage2013

    • 著者名/発表者名
      Xinghui Li, Wei Gao, Hiroshi Muto, Yuki Shimizu, So Ito, Songyi Dian
    • 雑誌名

      Precision Engineering,

      巻: 37 ページ: 771-781

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • [雑誌論文] Characterization of Electrostatic Force for Scanning Electrostatic Force Microscopy of Micro-structured Surface2013

    • 著者名/発表者名
      Zhigang Jia, So Ito, Keiichiro Hosobuchi, Shigeaki Goto, Yuki Shimizu, Gaofa He, Wei Gao
    • 雑誌名

      INTERNATIONAL JOURNAL OF PRECISION ENGINEERING AND MANUFACTURING

      巻: 14 ページ: 1543-1549

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656093
  • [雑誌論文] Fabrication of Scale Gratings for Surface Encoders by Using Laser Interference Lithography with 405 nm Laser Diodes2013

    • 著者名/発表者名
      Xinghui Li, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao
    • 雑誌名

      INTERNATIONAL JOURNAL OF PRECISION ENGINEERING AND MANUFACTURING,

      巻: 14 ページ: 1979-1988

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • [雑誌論文] An Electrostatic Force Probe for Surface Profile Measurement in Noncontact Condition2013

    • 著者名/発表者名
      So Ito, Zhigang Jia, Shigeaki Goto, Keiichiro Hosobuchi, Yuki Shimizu, Gaofa He, Wei Gao
    • 雑誌名

      Int. J. of Automation Technology

      巻: 7 ページ: 714-719

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656093
  • [雑誌論文] Development of a Micro-Sized Thermal Contact Sensor2013

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Wenjian Lu, Yuta Ohba, and Wei Gao
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology

      巻: 7 ページ: 708-713

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25820030
  • [雑誌論文] Precision tool setting for fabrication of a microstructure array2013

    • 著者名/発表者名
      Wei Gao, Yuan-Liu Chen, Kang-Won Lee, Young-Jin-Noh, Yuki Shimizu, So Ito
    • 雑誌名

      CIRP Annals - Manufacturing Technology

      巻: 62 ページ: 523-526

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • [雑誌論文] Fast Evaluation of Period Deviation and Flatness of a Linear Scale by Using a Fizeau Interferometer2012

    • 著者名/発表者名
      WooJae Kim, Yuki Shimizu, Akihide Kimura and Wei Gao
    • 雑誌名

      International Journal of Precision Engineering and Manufacturing

      巻: (In press)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360057
  • [雑誌論文] A sub-nanometric three-axis surface encoder with short-period planar gratings for stage motion measurement2012

    • 著者名/発表者名
      Akihide Kimura, Wei Gao, WooJae Kim, Koji Hosono, Yuki Shimizu, Lei Shi, Lijiang Zeng
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 36 ページ: 576-589

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • [雑誌論文] New Measurement Concept of Nanometer-level Defects on Si Wafer Surface by using Micro Contact Sensor2012

    • 著者名/発表者名
      W.Lu, Y.Shimizu, W.Gao
    • 雑誌名

      Advanced Material Research

      巻: (未定)(accepted)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23860005
  • [雑誌論文] Design and Experiment of Thermal Contact Sensor Detecting Defects on Si Wafer Surface2012

    • 著者名/発表者名
      Wenjian Lu, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: Vols. 523-524 ページ: 826-831

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/kem.523-524.826

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23860005
  • [雑誌論文] New Measurement Concept of Nanometer-LevelDefects on Si Wafer Surface by Using Micro Contact Sensor2012

    • 著者名/発表者名
      Wenjian Lu, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 雑誌名

      Advanced Material Research

      巻: Vol. 497 ページ: 137-141

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/amr.497.137

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23860005
  • [雑誌論文] A sub-nanometric three-axis surface encoder with short-period planar gratings for stage motion measurement2012

    • 著者名/発表者名
      Akihide Kimura, Wei Gao, WooJae Kim, Koji Hosono, Yuki Shimizu, Lei Shi, Lijiang Zeng
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: (In press)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360057
  • [雑誌論文] A noncontact scanning electrostatic force microscope for surface profile measurement2012

    • 著者名/発表者名
      Wei Gao, Shigeaki Goto, Keiichiro Hosobuchi, So Ito, Yuki Shimizu
    • 雑誌名

      CIRP Annals–Manufacturing Technology

      巻: Vol. 61 ページ: 471-474

    • DOI

      10.1117/12.2014460

    • URL

      http://dx.doi.org/10.1016/j.cirp.2012.03.097

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656093
  • [雑誌論文] A noncontact scanning electrostatic force microscope for surface profile2012

    • 著者名/発表者名
      Wei Gao, Shigeaki Goto, Keiichiro Hosobuchi, So Ito, Yuki Shimizu
    • 雑誌名

      CIRP Annals - Manufacturing Technology

      巻: 61 号: 1 ページ: 471-474

    • DOI

      10.1016/j.cirp.2012.03.097

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656093
  • [雑誌論文] Modeling and Analysis of a Scanning Electrostatic Force Microscope for Surface Profile Measurement2012

    • 著者名/発表者名
      Zhigang Jia, Shigeaki Goto, Keiichiro Hosobuchi, So Ito, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE

      巻: 2012, Vol. 8759 ページ: 875914-875918

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656093
  • [雑誌論文] ウエハ表面のナノレベル欠陥検出向け接触型マイクロ熱検知センサの原理検討2012

    • 著者名/発表者名
      清水裕樹, 盧文剣, 東豊大, 高偉
    • 雑誌名

      精密工学会春季大会論文集

      巻: (CD-R)

    • NAID

      130005031256

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23860005
  • [雑誌論文] Fast Evaluation of Period Deviation and Flatness of a Linear Scale by Using a Fizeau Interferometer2012

    • 著者名/発表者名
      WooJae Kim, Yuki Shimizu, Akihide Kimura, Wei Gao
    • 雑誌名

      International Journal of precision Engineering and Manufacturing

      巻: (未定)(印刷中)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360057
  • [雑誌論文] A two-degree-of-freedom linear encoder with a mosaic scale grating2011

    • 著者名/発表者名
      Akihide Kimura, Koji Hosono, WooJae Kim, Yuki Shimizu and Wei Gao
    • 雑誌名

      International Journal of Nanomanufacturing

      巻: Vol.7 ページ: 73-91

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360057
  • [雑誌論文] A two-degree-of-freedom linear encoder with a mosaic scale grating2011

    • 著者名/発表者名
      Akihide Kimura, Koji Hosono, WooJae Kim, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 雑誌名

      International Journal of Nanomanufacturing

      巻: 7 ページ: 73-90

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360057
  • [雑誌論文] Multi-axis grating encoders for stage motion measurement2011

    • 著者名/発表者名
      WooJae KIM, Akihide Kimura, Koji Hosono, Yuki Shimizu and Wei Gao
    • 雑誌名

      International Journal of Nanomanufacturing

      巻: Vol.7 ページ: 409-426

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360057
  • [雑誌論文] Multi-axis grating encoders for stage motion measurement2011

    • 著者名/発表者名
      WooJae KIM, Akihide Kimura, Koji Hosono, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 雑誌名

      International Journal of Nanomanufacturing

      巻: 7 ページ: 409-426

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360057
  • [雑誌論文] Surface Encoders for a Mosaic Scale Grating2011

    • 著者名/発表者名
      Koji Hosono, WooJae Kim, Akihide Kimura, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology

      巻: 5 ページ: 91-96

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360057
  • [雑誌論文] 熱検知型接触センサによる半導体ウエハ上の微小欠陥検出手法の提案2011

    • 著者名/発表者名
      清水裕樹, 盧文剣, 高偉
    • 雑誌名

      2011年度精密工学会東北支部講演会論文集

      ページ: 37-38

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23860005
  • [雑誌論文] Surface Encoders for a Mosaic Scale Grating2011

    • 著者名/発表者名
      Koji Hosono, WooJae Kim, Akihide Kimura, Yuki Shimizu and Wei Gao
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology

      巻: Vol.5 ページ: 91-96

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360057
  • [雑誌論文] New Measurement Concept of Nanometer-level Defects on Si Wafer Surface by using Micro Contact Sensor2011

    • 著者名/発表者名
      W.Lu, Y.Shimizu, W.Gao
    • 雑誌名

      Proceedings of the 8th China-Japan International Coference on Ultra-precision machining (CJUPM 2011)

      ページ: 26-26

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23860005
  • [産業財産権] 特許出願2021

    • 発明者名
      清水裕樹,高偉,松隈啓,洪一帆
    • 権利者名
      清水裕樹,高偉,松隈啓,洪一帆
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2021
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [産業財産権] 回折格子ピッチ偏差測定装置2020

    • 発明者名
      清水裕樹,高偉,松隈啓,権略,木村彰秀,青木敏彦
    • 権利者名
      清水裕樹,高偉,松隈啓,権略,木村彰秀,青木敏彦
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2020-036006
    • 出願年月日
      2020
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [産業財産権] 絶対位置測定装置および絶対位置測定方法2019

    • 発明者名
      清水 裕樹,高 偉,松隈 啓,石塚 稜
    • 権利者名
      清水 裕樹,高 偉,松隈 啓,石塚 稜
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2019-057305
    • 出願年月日
      2019
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [産業財産権] 回転角度検出装置および回転角度検出方法2016

    • 発明者名
      清水裕樹,高偉,伊東聡,陳遠流,丸山泰司
    • 権利者名
      清水裕樹,高偉,伊東聡,陳遠流,丸山泰司
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2016-012697
    • 出願年月日
      2016-01-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13839
  • [産業財産権] 変位測定装置および変位測定方法2016

    • 発明者名
      清水裕樹,高偉,仲村拓
    • 権利者名
      清水裕樹,高偉,仲村拓
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2016-067247
    • 出願年月日
      2016-03-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [産業財産権] 絶対角測定装置及び絶対角測定方法2014

    • 発明者名
      清水裕樹,高偉,伊東聡,工藤幸利
    • 権利者名
      清水裕樹,高偉,伊東聡,工藤幸利
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2014-09-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • [産業財産権] 平滑面検査装置2012

    • 発明者名
      清水裕樹,高偉,盧文剣
    • 権利者名
      清水裕樹,高偉,盧文剣
    • 産業財産権番号
      2012-097818
    • 出願年月日
      2012-04-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23860005
  • [産業財産権] 平滑面検査装置2012

    • 発明者名
      清水裕樹,高偉,盧文剣
    • 権利者名
      清水裕樹,高偉,盧文剣
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2012-097818
    • 出願年月日
      2012-04-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23860005
  • [産業財産権] ステージ機構およびその駆動方法2011

    • 発明者名
      清水裕樹, 他
    • 権利者名
      東北大学
    • 産業財産権番号
      2011-256202
    • 出願年月日
      2011-11-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23860005
  • [産業財産権] ステージ機構およびその駆動方法2011

    • 発明者名
      清水裕樹,高偉,盧文剣
    • 権利者名
      清水裕樹,高偉,盧文剣
    • 産業財産権番号
      2011-256202
    • 出願年月日
      2011-11-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23860005
  • [学会発表] A non-orthogonal Lloyd's mirror interferometer with a spatial light modulator for arbitrary pattern fabrication2024

    • 著者名/発表者名
      Nozomu Takahiro, Yuki Shimizu
    • 学会等名
      The 20th International Conference on Precision Engineering
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22641
  • [学会発表] 空間位相変調器を導入した光干渉リソグラフィによる 2次元自由パターン創成に関する研究2024

    • 著者名/発表者名
      高廣 望,清水 裕樹
    • 学会等名
      IIP2024 情報・知能・精密機器部門(IIP 部門)講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22641
  • [学会発表] Expansion of the measuring range of a high-precision optical angle sensor with a multi-element photodiode and a multi-longitudinal mode laser2024

    • 著者名/発表者名
      Keita Nakaoka, Yuki Shimizu
    • 学会等名
      The 20th International Conference on Precision Engineering
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K17713
  • [学会発表] Improvement of the resolution of pitch deviation measurement of a diffraction scale grating by optical angle sensors2023

    • 著者名/発表者名
      Tomoki Kitazume , Wei Gao, Yuki Shimizu
    • 学会等名
      THE 15th INTERNATIONAL SYMPOSIUM OF MEASUREMENT TECHNOLOGY AND INTELLIGENT INSTRUMENTS
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K17713
  • [学会発表] Investigation of the influence of the optical frequency fluctuation on the pitch deviation evaluation of a diffraction grating based on optical angle sensors2023

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Tomoki Kitazume, Lue Quan, Wei Gao
    • 学会等名
      2023 NAMRC-MSEC-LEM&P Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22641
  • [学会発表] A Surface Encoder with an Improved Z-range and Reduced Crosstalk Errors2023

    • 著者名/発表者名
      Yifan Hong, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 学会等名
      15th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2023)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] High-precision optical angle sensor and its applications to dimensional metrology2023

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      Optica Design and Fabrication Congress
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22641
  • [学会発表] In situ evaluation of interference fringe patterns generated by non orthogonal Lloyd’s mirror interferometer2023

    • 著者名/発表者名
      Nozomu Takahiro, Yuki Shimizu
    • 学会等名
      THE 15th INTERNATIONAL SYMPOSIUM OF MEASUREMENT TECHNOLOGY AND INTELLIGENT INSTRUMENTS
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22641
  • [学会発表] Precise evaluation of a scale grating for precision metrology2023

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu
    • 学会等名
      International Conference on Precision Engineering and Sustainable Manufacturing (PRESM2023)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22641
  • [学会発表] アクティブ波面制御を導入した光干渉リソグラフィに関する研究 -空間位相変調器を導入した光学系プロトタイプの構築-2023

    • 著者名/発表者名
      高廣 望,清水 裕樹
    • 学会等名
      精密工学会2023年度秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22641
  • [学会発表] 光干渉リソグラフィにおける干渉定在波の「その場」観察に関する研究2022

    • 著者名/発表者名
      高廣望,清水裕樹
    • 学会等名
      日本機械学会IIP2023 情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22641
  • [学会発表] Design and testing of a Fizeau-type two-axis surface encoder2022

    • 著者名/発表者名
      Yifan Hong, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Eberhard Manske, Wei Gao
    • 学会等名
      The 8th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] 回折角情報を利用した回折格子ピッチ偏差の高精度評価に関する研究2022

    • 著者名/発表者名
      北爪智希,清水裕樹
    • 学会等名
      日本機械学会IIP2023 情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22641
  • [学会発表] 高分解能光学式角度センサの開発2022

    • 著者名/発表者名
      林 弦成, 清水裕樹
    • 学会等名
      日本機械学会IIP2023 情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22641
  • [学会発表] Development of a wide-range differential angle sensor for calibration of image-scanning linear scale2022

    • 著者名/発表者名
      Jiucheng Wu, Lue Quan, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      The 8th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Uncertainty analysis of ultra-precision grating pitch calibration by using optical frequency comb2022

    • 著者名/発表者名
      Dong Wook Shin, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Yuki shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      The 8th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] 熱収支場式リニアエンコーダの開発に関する研究2022

    • 著者名/発表者名
      清水 裕樹, 石田 彩華, 高 偉
    • 学会等名
      日本機械学会IIP2022 情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K20953
  • [学会発表] Evaluation of the pitch deviation of a diffraction scale grating with optical angle sensors2022

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu
    • 学会等名
      2nd International High-level Forum on High-end Measurement Instruments & 12th International Symposium on Precision Engineering Measurements and Instrumentation (IFMI & ISPEMI 2022)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22641
  • [学会発表] Development of a multi-beam femtosecond laser autocollimator for surface profile measurement2022

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Takashi Nomura, Shota Takazono, Wei Gao
    • 学会等名
      Proceedings of the 8th International Conference on Nanomanufacturing & 4th AET Symposium on ACSM and Digital Manufacturing (nanoMan2022)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22641
  • [学会発表] 高感度光学式角度センサの限界測定分解能に関する理論的検討2022

    • 著者名/発表者名
      清水裕樹,林 弦成, 北爪智希, 高廣望
    • 学会等名
      2022年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22641
  • [学会発表] 第二次高調波共焦点プローブに関する研究 ー角度計測に関する検討ー2022

    • 著者名/発表者名
      佐藤 遼,清水 裕樹,清水 浩貴,松隈 啓,高 偉
    • 学会等名
      2023年度精密工学会春季大会学術講演会論文集
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] フィゾー型2軸サーフェスエンコーダに関する研究2022

    • 著者名/発表者名
      洪 一帆,清水 裕樹,松隈 啓,松岡 良太,高 偉
    • 学会等名
      2022年度精密工学会東北支部学術講演会講演論文集
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Feasibility study of precise angle measurements with a dual-differentical confocal probe2022

    • 著者名/発表者名
      Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao, Andreas Fischer
    • 学会等名
      The 8th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Improvement of the signal quality of a heat flow-type reading head for a linear encoder based on a micro thermal sensor2022

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Ayaka Ishida, Wei Gao
    • 学会等名
      2022 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint International Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K20953
  • [学会発表] Calibration of grating periods based on laser diffraction method using optical frequency comb2021

    • 著者名/発表者名
      Dong Wook Shin, Lue Quan, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao and Eberhard Manske
    • 学会等名
      The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Fabrication of a variable-line-spacing grating based on the non-othogonal Lloyd's interferometer2021

    • 著者名/発表者名
      Shusaku Endo, Kai Zhang, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      The 7th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2021)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Angular Measurement Method Utilizing Second Harmonic Generation2021

    • 著者名/発表者名
      Wijayanti Dwi Astuti, Hiraku Matsukuma, Li Kuangyi, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      The 7th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2021)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] 熱収支場式エンコーダの開発に関する研究-試作ヘッドの基礎特性評価2021

    • 著者名/発表者名
      清水裕樹, 石田彩華, 松隈啓, 高偉
    • 学会等名
      2020年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K20953
  • [学会発表] Uncertainty analysis of roundness measurement of a small cylinder based on the stitching linear-scan method2021

    • 著者名/発表者名
      Qiaolin Li, Hiraku Matukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      The 7th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2021)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Fabrication of a two-dimensional diffraction grating with reduction of the effect of thermal expansion2021

    • 著者名/発表者名
      Hiraku Matsukuma, Masanori Matsunaga, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] An absolute surface encoder with a femtosecond laser and a planar scale grating of variable periods2021

    • 著者名/発表者名
      Satoru Maehara, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      The 7th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2021)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] 短ピッチ格子を用いた平面ステージ計測用小型サーフェスエンコーダの設計2021

    • 著者名/発表者名
      洪 一帆,清水 裕樹,松隈 啓,松岡 良太,高 偉
    • 学会等名
      2021年度砥粒加工学会学術講演会論文集(C14) 2021/9/1
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Measurement of the angle of a small prism by a mode-locked femtosecond laser autocollimator2021

    • 著者名/発表者名
      Kakeru Ikeda, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      The 7th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2021)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Design of a small-sized surface encoder with short-period planar gratings for stage motion measurement2021

    • 著者名/発表者名
      Yifan Hong, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Ryota Matsuoka, Wei Gao, Eberhard Manske
    • 学会等名
      The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] 3D profile measurement of a diamond tool without the effect of AFM probe tip radius2021

    • 著者名/発表者名
      Kai ZHANG, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 学会等名
      The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] モード同期フェムト秒レーザを用いた「つながる」高精度角度計測2021

    • 著者名/発表者名
      清水 裕樹
    • 学会等名
      日本機械学会 IIP2021 情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会 若手研究者招待講演
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] モード同期フェムト秒レーザを用いた「つながる」高精度角度計測2021

    • 著者名/発表者名
      清水裕樹
    • 学会等名
      日本機械学会 IIP2021 情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会 若手研究者招待講演
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01345
  • [学会発表] モード同期フェムト秒レーザを利用した回折格子の校正方法2021

    • 著者名/発表者名
      Shin Dong Wook,Quan Lue,松隈 啓,清水 裕樹,高 偉,Manske Eberhard
    • 学会等名
      2021年度砥粒加工学会学術講演会論文集 2021/9/1
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] モード同期フェムト秒レーザ共焦点プローブに関する研究-極小点追跡法を用いた合焦波長検出に関する検討-2021

    • 著者名/発表者名
      佐藤 遼,松隈 啓,清水 裕樹,高 偉
    • 学会等名
      2021年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(講演番号 H31) 2021/9/21-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] マイクロ光学素子の角度計測に関する研究2021

    • 著者名/発表者名
      池田 翔,松隈 啓,清水 裕樹,高 偉
    • 学会等名
      2021年度精密工学会東北支部学術講演会講演論文集(A05) 2021/11/6
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Evaluation of pitch deviation of a scale linear grating based on the laser autocollimation2021

    • 著者名/発表者名
      Lue Quan, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao, Eberhard Manske
    • 学会等名
      The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Development of a probe type profiler for measurement of a micro cutting edge2021

    • 著者名/発表者名
      Wen Bo, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Andreas Archenti, Wei Gao
    • 学会等名
      The 7th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2021)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Investigation of Measurement Range of a Differential Chromatic Confocal Probe employing a Mode-Locked Femtosecond Laser2021

    • 著者名/発表者名
      Ryo SATO, Hiraku MATSUKUMA, Yuki SHIMIZU, Wei GAO, Andreas FISCHER
    • 学会等名
      The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] 非直交型ロイドミラー干渉計によるVLS格子の製作に関する研究2021

    • 著者名/発表者名
      遠藤 秀作,村上 裕記,松隈 啓,清水 裕樹,高 偉
    • 学会等名
      2021年度精密工学会東北支部学術講演会講演論文集(A06) 2021/11/6
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] フェムト秒レーザを用いた絶対位置計測に関する研究2021

    • 著者名/発表者名
      前原 智,佐藤 遼,松隈 啓,清水 裕樹,高 偉
    • 学会等名
      2021年度精密工学会東北支部学術講演会講演論文集(A03) 2021/11/6
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Design of the optical sensor head for the evaluation of pitch deviation of a diffraction grating based on the laser autocollimation2021

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Lue Quan, Dong Wook Shin, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 学会等名
      XXIII IMEKO World Congress
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Optical Angle Measurement with a Mode-Locked Femtosecond Laser2020

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu
    • 学会等名
      International Symposium on Precision Engineering and Sustainable Manufacturing (PRESM 2020)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01345
  • [学会発表] フェムト秒レーザ光源を用いた角度センサによる形状計測に関する研究-マルチビーム角度センサの設計と基礎特性評価-2020

    • 著者名/発表者名
      清水裕樹, 高園翔太, 神田悠利, 松隈啓, 稲場肇, 高偉
    • 学会等名
      2020年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01345
  • [学会発表] On-machine angle measurement of a precision V-groove on a ceramic workpiece2020

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Wei Gao, Hiraku Matsukuma, Karoly Szipka, Andreas Archenti
    • 学会等名
      CIRP Video paper sessions 2020
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Three-dimensional profile measurement of a single point diamond tool without the influence of the tip radius of an AFM probe2020

    • 著者名/発表者名
      Kai Zhang, Yindi Cai, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      2020年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Design of a small-sized surface encoder for stage motion measurement2020

    • 著者名/発表者名
      洪一帆, 清水裕樹, 松隈啓, 松岡良太, 高偉
    • 学会等名
      2020年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Uncertainty analysis of roundness measurement of a small cylinder based on the stitching linear-scan method2020

    • 著者名/発表者名
      李橋林, 齋藤俊樹, 町田裕貴, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉
    • 学会等名
      2020年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Optical Metrology with a Mode-Locked Femtosecond Laser and Grating Reflectors2020

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu
    • 学会等名
      International High-level Forum on High-end Measurement Instruments & The 11th International Symposium on Precision Engineering Measurements and Instrumentation
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01345
  • [学会発表] ロイドミラー干渉計による微細格子製作に関する研究2020

    • 著者名/発表者名
      村上裕記, 張凱, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉
    • 学会等名
      2020年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Profile Measurement by Using a Femtosecond Laser Chromatic Confocal Probe2020

    • 著者名/発表者名
      Ryo Sato, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 学会等名
      The International Conference on Leading Edge Manufacturing/Materials and Processing (LEMP2020)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] Development of an optical angle sensor unit for the evaluation of pitch deviations2020

    • 著者名/発表者名
      権略,松隈啓,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      2020年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00211
  • [学会発表] 高感度光学式角度センサに関する研究2019

    • 著者名/発表者名
      馬 旭,神田 悠利,松隈 啓,清水 裕樹,高 偉
    • 学会等名
      2019年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01345
  • [学会発表] Study on the stitching techinque for fast evaluation of the linear scale using a Fizeau interferometer2019

    • 著者名/発表者名
      熊昕, 松隈啓, 清水裕樹, 高偉
    • 学会等名
      日本機械学会東北支部 第54期総会・講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] フェムト秒レーザを用いた光学式角度センサによる表面形状計測に関する研究2019

    • 著者名/発表者名
      高園翔大,清水裕樹,松隈 啓,神田悠利,稲場肇,高偉
    • 学会等名
      2019年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01345
  • [学会発表] 切削力制御加工のための高安定な切削力検出に関する研究2019

    • 著者名/発表者名
      栗田悠生,文博,松隈啓,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      2019年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Design and verification of a measurement system for a micro tool cutting edge with a low measuring force2019

    • 著者名/発表者名
      Bo WEN,Yu WATANABE,Hiraku MATSUKUMA,Yuki SHIMIZU,Wei GAO
    • 学会等名
      2019年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Analysis of temperature influence on a chromatic confocal probe with a mode-locked femtosecond laser2019

    • 著者名/発表者名
      Ryo Sato, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma and Wei Gao
    • 学会等名
      The 14th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] フェムト秒レーザ光源を用いた角度センサによる形状計測に関する研究 -マルチビーム角度センサの設計-2019

    • 著者名/発表者名
      清水 裕樹,高園 翔太,神田 悠利,松隈 啓,稲場 肇,高 偉
    • 学会等名
      2020年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16KK0119
  • [学会発表] An Optical Angle Sensor Based on the Laser Autocollimation employing a Mode-locked Femtosecond Laser Source and a Single Mode Fiber Detector2019

    • 著者名/発表者名
      Shota Takazono, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Yuri Kanda, Hajime Inaba and Wei Gao
    • 学会等名
      The 14th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01345
  • [学会発表] Uncertainty analysis of roundness measurement of a small cylinder based on the stitching linear-scan method2019

    • 著者名/発表者名
      李橋林,齋藤俊樹,町田裕貴,松隈啓,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      2019年度砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2019)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Self-calibration of Fizeau interferometer and linear scale in Littrow configuration2019

    • 著者名/発表者名
      Xin XIONG, Hiraku MATSUKUMA, Yuki SHIMIZU, Wei GAO
    • 学会等名
      2019年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01345
  • [学会発表] フェムト秒レーザを用いた共焦点顕微鏡における光軸変位計測高安定化に関する研究2019

    • 著者名/発表者名
      佐藤遼,松隈啓,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      2019年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Experimental research on measurement range of a chromatic pinhole illumination confocal probe by utilizing side-lobes of axial response2019

    • 著者名/発表者名
      陳衝,松隈啓,佐藤遼,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      日本機械学会東北支部 第54期総会・講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Theoretical investigation of the lateral resolution of a chromatic confocal microscopy with a mode-locked femtosecond laser source2019

    • 著者名/発表者名
      Chong CHEN,Ryo SATO,Hiraku MATSUKUMA,Yuki SHIMIZU,Wei GAO
    • 学会等名
      2019年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] A nano-indentation system for precision measurement of a single point diamond tool2019

    • 著者名/発表者名
      張凱,XuMalu,CaiYindi,松隈啓,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      2019年度砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2019)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 非直交型2 軸ロイドミラー干渉計の高精度化に関する研究 -ビームシェイパによるコリメート光強度分布の平坦化-2019

    • 著者名/発表者名
      村上裕記,石塚稜,松永 雅教,松隈啓,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      2019年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 熱収支場式エンコーダの開発に関する研究 -試作エンコーダを用いた基礎特性評価-2019

    • 著者名/発表者名
      石田彩華,清水裕樹,松隈啓,高偉
    • 学会等名
      2019年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18798
  • [学会発表] 国家標準にトレーサブルな精密ナノ計測の実現に向けて2019

    • 著者名/発表者名
      清水 裕樹
    • 学会等名
      (公社)精密工学会「ナノ精度機械加工専門委員会」第48回委員会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16KK0119
  • [学会発表] On-machine Surface Metrology by a Force-Sensor Integrated Fast Tool Servo2019

    • 著者名/発表者名
      文博,余建平,松隈啓,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      日本機械学会東北支部 第54期総会・講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 2軸微細格子製作のための小型露光装置の開発2019

    • 著者名/発表者名
      松永雅教,真野和樹,松隈啓,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      日本機械学会東北支部 第54期総会・講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 精密測定のためのファイバ型光周波数コムの開発2019

    • 著者名/発表者名
      神田悠利, 松隈啓, 清水裕樹, 稲場肇,高偉
    • 学会等名
      日本機械学会東北支部 第54期総会・講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 光周波数コムを用いた角度センサの研究2019

    • 著者名/発表者名
      中村一貴,松隈啓,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      日本機械学会東北支部 第54期総会・講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 光周波数コムを用いた絶対変位測定に関する研究2019

    • 著者名/発表者名
      廣田駿介,安達圭祐,石塚稜,松隈啓,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      2019年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 非直交型2軸ロイドミラー干渉計による2軸スケール回折格子パターニング -偏光制御ユニット改良によるパターン高精度化-2019

    • 著者名/発表者名
      清水 裕樹,真野 和樹,松永 雅教,村上 佑記,松隈 啓,高 偉
    • 学会等名
      2019年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01345
  • [学会発表] 熱収支場式エンコーダの開発に関する研究-利用可能なパターン検討シミュレーション-2018

    • 著者名/発表者名
      石田 彩華,清水 裕樹,松隈 啓,高 偉
    • 学会等名
      精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18798
  • [学会発表] Crosstalk error analysis of a multi-degree-of-freedom surface encoder for a planar motion stage2018

    • 著者名/発表者名
      Ryo Ishizuka, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      IEEE International conference on advanced manufacturing, ICAM 2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] An optical frequency comb operating in the mid-infrared region for wide-range and high-precision optical sensor2018

    • 著者名/発表者名
      Yun Asumi, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      IEEE International conference on advanced manufacturing, ICAM 2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Feasibility study on a compact encoder system employing a micro thermal sensor head for precision positioning2018

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Yuki Matsuno, Ayaka Ishida, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 学会等名
      The 17th International Conference on Precision Engineering, ICPE2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18798
  • [学会発表] フェムト秒レーザを用いた共焦点顕微鏡の温度安定性に関する研究2018

    • 著者名/発表者名
      佐藤 遼,松隈 啓,陳 衝,清水 裕樹,高 偉
    • 学会等名
      2018年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Theoretical investigation of a femtosecond laser chromatic confocal probe with fiber illumination and pinhole illumination2018

    • 著者名/発表者名
      CHONG CHEN, Xiuguo CHEN, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 学会等名
      The 17th International Conference on Precision Engineering, ICPE2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Theoretical investigation on measurement range of a femtosecond laser chromatic confocal probe by utilizing side-lobe of axial response2018

    • 著者名/発表者名
      Chong Chen, Hiraku Matsukuma, Ryo Sato, Xiuguo Chen, Yuki Shimizu and Wei Gao
    • 学会等名
      IEEE International conference on advanced manufacturing, ICAM 2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 微細光学素子形状測定のための走査型プローブ顕微鏡に関する研究2018

    • 著者名/発表者名
      長岡 将史,松隈 啓,清水 裕樹,高 偉
    • 学会等名
      2018年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] フェムト秒レーザ光源を用いた角度センサに関する研究-シングルモードファイバの適用-2018

    • 著者名/発表者名
      清水 裕樹,高園 翔太,中村 一貴,松隈 啓,高 偉
    • 学会等名
      2019年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01345
  • [学会発表] 広帯域光周波数コムのための中赤外超短パルスレーザの開発2018

    • 著者名/発表者名
      阿隅 結夢,松隈 啓,清水 裕樹,高 偉
    • 学会等名
      2018年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] A new method to evaluate pitch deviations of diffraction gratings by using optical angle sensor2018

    • 著者名/発表者名
      権 略,松隈 啓,清水 裕樹,高 偉
    • 学会等名
      2018年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 光学式角度センサを用いた表面形状計測に関する研究-光ファイバを受光部に用いた角度センサに関する検討-2018

    • 著者名/発表者名
      高園 翔太,清水 裕樹,松隈 啓,高 偉
    • 学会等名
      精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01345
  • [学会発表] 平面ステージ精密制御用多軸サーフェスエンコーダの高精度化に関する研究2018

    • 著者名/発表者名
      石塚 稜,松隈 啓,清水 裕樹,高 偉
    • 学会等名
      2018年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Theoretical calculation of the reading output from a micro thermal sensors for precision positioning2018

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Ayaka Ishida, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 学会等名
      2018 IEEE International Conference on Advanced Manufacturing, ICAM 2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18798
  • [学会発表] 微空間での熱収支を利用した平滑面欠陥検出に関する研究 -熱検知センサプローブの構築と基礎特性評価-2018

    • 著者名/発表者名
      清水 裕樹,松野 優紀,陳 遠流,松隈 啓,高 偉
    • 学会等名
      2018年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03907
  • [学会発表] Fast evaluation of variable line spacing gratings by using a Fizeau Interferometer2018

    • 著者名/発表者名
      Xin XIONG, Xiuguo CHEN, Yuki SHIMIZU, Hiraku MATSUKUMA, and Wei GAO
    • 学会等名
      The 17th International Conference on Precision Engineering, ICPE2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] An Ultra-Sensitive Optical Angle Sensor for Pitch Deviations Measurement of Diffraction Gratings2018

    • 著者名/発表者名
      Lue Quan, Hiraku Matsukuma, Xiuguo Chen, Yuki Shimizu and Wei Gao
    • 学会等名
      IEEE International conference on advanced manufacturing, ICAM 2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Development of a fiber-laser-based frequency comb for precision dimensional metrology2018

    • 著者名/発表者名
      Yuri KANDA, Hiraku MATSUKUMA, Shaoqing YANG, Yuki SHIMIZU, Hajime INABA, and Wei GAO
    • 学会等名
      IEEE International conference on advanced manufacturing, ICAM 2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Fast evaluation of a linear scale by using a Fizeau interferometer and stitching technique2018

    • 著者名/発表者名
      Xin Xiong, Hiraku Matsukuma, Xiuguo Chen, Yuki Shimizu and Wei Gao
    • 学会等名
      IEEE International conference on advanced manufacturing, ICAM 2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] A differential compensation strategy based piezoelectric force sensor system for force controlled ultra-precision diamond cutting2018

    • 著者名/発表者名
      Yuan-Liu Chen, Keisuke Tohyama, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma and Wei Gao
    • 学会等名
      The 6th International Conference on Nanomanufacturing, nanoMan20188
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 力センサを組み込んだ高速工具サーボによる切削力制御加工2018

    • 著者名/発表者名
      栗田 悠生,松隈 啓,遠山 佳祐,清水 裕樹,高 偉
    • 学会等名
      2018年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] On-machine Measurement of Workpiece Inclination for Double-face Turning2017

    • 著者名/発表者名
      Bo Wen, Yuan-Liu Chen, Shu Wang, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 学会等名
      The 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 回折格子の校正に関する研究2017

    • 著者名/発表者名
      上原 健太郎,陳 遠流,清水 裕樹,陳 修国,松隈 啓,高 偉
    • 学会等名
      2017年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Evaluation of grating periods by using pulsed laser source2017

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Uehara, Yuki Shimizu, Yuan-Liu Chen, Wei Gao
    • 学会等名
      The 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 平面ステージ精密制御用多自由度光センサのクロストーク誤差低減に関する研究2017

    • 著者名/発表者名
      石塚 稜,古田 雅也,清水 裕樹,陳 遠流,陳 修国,松隈 啓,高 偉
    • 学会等名
      2017年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 超精密角度センサに関する研究2017

    • 著者名/発表者名
      間所 周平,陳 遠流,清水 裕樹,松隈 啓,高 偉
    • 学会等名
      2017年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Uncertainty analysis in the evaluation of pitch deviation and out-of-flatness of planar scale gratings by Fizeau interferometry2017

    • 著者名/発表者名
      Xiuguo Chen, Yuki Shimizu, Yuan-Liu Chen and Wei Gao
    • 学会等名
      The 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2017)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Design and Verification of an XYZ Three-axis Micro Stage2017

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Adachi, Takuma Sugawara, Yuki Shimizu, Yuan-Liu Chen, Wei Gao, Eiji Niwa and Yoshihiro Sasaki
    • 学会等名
      The 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Polarization ray-tracing model for orthogonal two-axis Lloyd’s mirror interference lithography2017

    • 著者名/発表者名
      Xiuguo Chen, Zongwei Ren, Yuan-Liu Chen, Yuki Shimizu and Wei Gao
    • 学会等名
      The 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 2軸ロイドミラー干渉計による回折格子製作に関する研究―コリメート光強度分布の評価―2017

    • 著者名/発表者名
      真野 和樹,相原 涼,李 星輝,清水 裕樹,陳 遠流,陳 修国,松隈 啓,高 偉
    • 学会等名
      2017年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Evaluation of a Focused Laser Spot Diameter for an Optical Angle Sensor2017

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Taiji Maruyama, Shota Nakagawa, Yuan-Liu Chen, Wei Gao
    • 学会等名
      59th ILMENAU SCIENTIFIC COLLOQUIUM
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03907
  • [学会発表] Force-controlled Diamond Cutting on Brittle Materials by Utilizing a Force Sensor Integrated Fast Tool Servo2017

    • 著者名/発表者名
      Bo Wen, Yuan-Liu Chen, Yuki Shimizu and Wei Gao
    • 学会等名
      The 13th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining Process(CJUMP2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Optical Instruments for Measurement of the next-generation Stage Systems for Dimensional Metrology2017

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Yuan-Liu Chen, Wei Gao
    • 学会等名
      Optical Society of Korea Summer Meeting 2017
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Measurement of Workpiece Inclination by Using FS-FTS on a Diamond Turning Machine2017

    • 著者名/発表者名
      Bo Wen, Yuan-Liu Chen, Shu Wang, Yuki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao
    • 学会等名
      2017年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Precision measurement of microoptics with double steep sidewalls by an atomic force microscopy with a linear-rotary scanning strategy2017

    • 著者名/発表者名
      Yuan-Liu Chen, Bo Wen, Minglei Li, Yuki Shimizu and Wei Gao
    • 学会等名
      The 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2017)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Surface form measurement of a small roll workpiece2017

    • 著者名/発表者名
      Toshiki Saito, Yuki Machida, Yuki Shimizu, Yuan-Liu Chen and Wei Gao
    • 学会等名
      The 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] エッジ反転法によるダイヤモンド工具刃先丸み半径の精密測定に関する研究2017

    • 著者名/発表者名
      徐 馬禄,陳 遠流,蔡 引※(※は女偏に弟),清水 裕樹,松隈 啓,高 偉
    • 学会等名
      2017年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Evaluation of relative vertical error motions of a bench center by using an optical micrometer2017

    • 著者名/発表者名
      Zengyuan Niu, Yuan-Liu Chen, Yuki Shimizu and Wei Gao
    • 学会等名
      The 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Fabrication of a two-dimensional diffraction grating by a two-axis Lloyd's mirror interferometer2017

    • 著者名/発表者名
      Kazuki Mano, Yuki Shimizu, Yuan-Liu Chen and Wei Gao
    • 学会等名
      The 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Non-contact detection of surface defects by using a micro thermal sensor2017

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Yuki Matsuno Yuan-Liu Chen and Wei Gao
    • 学会等名
      13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03907
  • [学会発表] 微空間での熱収支を利用した平滑面欠陥検出に関する研究 -生成熱収支場による欠陥検出可能性の実験的検討-2017

    • 著者名/発表者名
      清水 裕樹,松野 優紀,陳 遠流,高 偉
    • 学会等名
      2017年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      慶応義塾大学(神奈川県横浜市)
    • 年月日
      2017-03-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03907
  • [学会発表] 小型円筒ワークの精密表面形状測定に関する研究2017

    • 著者名/発表者名
      齋藤 俊樹,町田 祐貴,清水 裕樹,陳 遠流,松隈 啓,高 偉
    • 学会等名
      2017年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] A confocal microscope with a mode-locked laser source2017

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Taku Nakamura, Yuan-Liu Chen and Wei Gao
    • 学会等名
      The 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] XYZ3軸マイクロステージに関する研究2017

    • 著者名/発表者名
      安達 圭祐,菅原 拓馬,清水 裕樹,陳 遠流,高 偉,丹羽 英二,佐々木 祥弘
    • 学会等名
      2017年度精密工学会東北支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Ultra-precision Angle Sensor with a Mode-locked Laser Source2017

    • 著者名/発表者名
      Shuhei Madokoro, Yuki Shimizu, Yuan-Liu Chen and Wei Gao
    • 学会等名
      The 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Diamond cutting of brittle materials on inclined surfaces based on a thrust force controlled cutting strategy2016

    • 著者名/発表者名
      Yuan-Liu Chen, K. Tohyama, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao
    • 学会等名
      The 5th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2016)
    • 発表場所
      University of Macau, Macau, China
    • 年月日
      2016-08-16
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Measurement of the Optical Frequency Stability of a Mode-Locked Laser2016

    • 著者名/発表者名
      Shaoqing YANG, Yuan-liu CHEN, So ITO, Yuki SHIMIZU, Wei GAO
    • 学会等名
      The 7th International Conference on Positioning Technology (ICPT2016)
    • 発表場所
      Seoul Garden Hotel, Seoul, Korea
    • 年月日
      2016-11-08
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 2軸ロイドミラー干渉計による回折格子製作に関する研究2016

    • 著者名/発表者名
      真野和樹,相原涼,李星輝,伊東聡,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      2016年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      一関高専(岩手県一関市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] An optical configuration for the Lloyd’s mirror interferometer for fabrication of gratings having symmetrical profiles2016

    • 著者名/発表者名
      任宗偉,相原涼,清水裕樹,伊東聡,高偉
    • 学会等名
      2016年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      一関高専(岩手県一関市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Precision On-machine Measurement of Error Motion of Carriage Slide on a Drum Roll Lathe2016

    • 著者名/発表者名
      Zengyuan NIU, Yuan-LIU CHEN, Daiki MATSUURA, Yuki SHIMIZU, So ITO, Wei GAO, Jeongseok OH, Chunhong Park
    • 学会等名
      The 7th International Conference on Positioning Technology (ICPT2016)
    • 発表場所
      Seoul Garden Hotel, Seoul, Korea
    • 年月日
      2016-11-08
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] A Design Study of an XYZ Micro-stage2016

    • 著者名/発表者名
      Yuki SHIMIZU, Takuma SUGAWARA, Keisuke ADACHI, So ITO, Wei GAO
    • 学会等名
      The 7th International Conference on Positioning Technology (ICPT2016)
    • 発表場所
      Seoul Garden Hotel, Seoul, Korea
    • 年月日
      2016-11-08
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 低測定力測定機を用いた工具刃先の形状測定に関する研究2016

    • 著者名/発表者名
      渡邉佑,高偉,清水裕樹,伊東聡,山本泰河,金山利彦
    • 学会等名
      2016年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      一関高専(岩手県一関市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Molecular dynamics simulation of scanning process in Atomic Force Microscope form measurement2016

    • 著者名/発表者名
      Y.D. Cai, Y.L. Chen, Yuki Shimizu, So Ito and W. Gao
    • 学会等名
      The 5th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2016)
    • 発表場所
      University of Macau, Macau, China
    • 年月日
      2016-08-16
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Micro thermal sensor for nanometric surface defect inspection2016

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Yuki Matsuno, Yuta Ohba, and Wei Gao
    • 学会等名
      The 16th International Conference on Nanotechnology (NANO 2016)
    • 発表場所
      仙台国際センター(宮城県仙台市)
    • 年月日
      2016-08-22
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03907
  • [学会発表] Optical Analysis of a Confocal Microscope2016

    • 著者名/発表者名
      Taku NAKAMURA, Yuki SHIMIZU, So ITO, Yuan-liu CHEN, Wei GAO
    • 学会等名
      The 7th International Conference on Positioning Technology (ICPT2016)
    • 発表場所
      Seoul Garden Hotel, Seoul, Korea
    • 年月日
      2016-11-08
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Development of an orthogonal two-axis Lloyd’s mirror interferometer for fabrication of two-axis scale grating2016

    • 著者名/発表者名
      Zongwei Ren, Yuki Shimizu, Ryo Aihara, Yuan-Liu Chen, So Ito, Wei Gao
    • 学会等名
      The 12th China-Japan International Conferences on Ultra-Precision Machining Processes (CJUMP2016)
    • 発表場所
      Hunan Fenglin Hotel, Hunan, China
    • 年月日
      2016-11-04
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 微空間での熱収支を利用した平滑面欠陥検出に関する研究 -非接触欠陥検出の原理検討-2016

    • 著者名/発表者名
      清水裕樹,松野優紀,大場優太,高偉
    • 学会等名
      2016年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京理科大学(千葉県野田市)
    • 年月日
      2016-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03907
  • [学会発表] Profile Measurement of a Micro Cutting Edge by using a Contact-type Stylus Probe with Low Measuring Force2016

    • 著者名/発表者名
      Yu WATANABE, Sho SEKINE, So ITO, Yuki SHIMIZU, Wei GAO, Taiga YAMAMOTO, Toshihiko KANAYAMA
    • 学会等名
      The 7th International Conference on Positioning Technology (ICPT2016)
    • 発表場所
      Seoul Garden Hotel, Seoul, Korea
    • 年月日
      2016-11-08
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Development of a Non-contact-type Thermal Sensor for Surface Defect Inspection2016

    • 著者名/発表者名
      Yuki MATSUNO, Yuki SHIMIZU, Wei GAO
    • 学会等名
      The 7th International Conference on Positioning Technology (ICPT2016)
    • 発表場所
      Seoul Garden Hotel (Seoul, Korea)
    • 年月日
      2016-11-08
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03907
  • [学会発表] A sensitivity-improved micro thermal sensor for surface defect inspection2016

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Yuki Matsuno, Yuan-Liu Chen and Wei Gao
    • 学会等名
      The 12th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining Processes (CJUMP2016)
    • 発表場所
      Hunan Fenglin Hotel (Hunan, China)
    • 年月日
      2016-11-04
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03907
  • [学会発表] Profile measurement of a steep slope surface by using a long stroke scanning probe microscope2016

    • 著者名/発表者名
      徐延昊,陳遠流,伊東総,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      2016年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      一関高専(岩手県一関市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] In-process Tilt Measurement of a Brittle Material Workpiece by using a Force-sensor Integrated Diamond Cutting Tool2016

    • 著者名/発表者名
      Keisuke TOHYAMA, Yuan-liu CHEN, So ITO, Yuki SHIMIZU, Wei GAO
    • 学会等名
      The 7th International Conference on Positioning Technology (ICPT2016)
    • 発表場所
      Seoul Garden Hotel, Seoul, Korea
    • 年月日
      2016-11-08
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 水平走査型測定法による小型円筒試料の精密形状測定2016

    • 著者名/発表者名
      齋藤俊樹,町田裕貴,清水裕樹,伊東聡,高偉,山崎宏,柴本裕輔,花岡浩毅
    • 学会等名
      2016年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      一関高専(岩手県一関市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Molecular dynamics simulation of form measurement process of soft materials using atomic force microscope2016

    • 著者名/発表者名
      Yindi Cai, Yuan-Liu Chen, Yuki Shimizu, So Ito, and Wei Gao
    • 学会等名
      IEEE 11th Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS2016)
    • 発表場所
      ホテル松島大観荘(宮城県宮城郡松島町)
    • 年月日
      2016-04-17
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 力センサ搭載型ダイヤモンド切削工具を用いた脆性材料ワークのインプロセスチルト測定2016

    • 著者名/発表者名
      遠山佳祐,陳遠流,清水裕樹,伊東聡,高偉
    • 学会等名
      2016年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      一関高専(岩手県一関市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Measurement of the Repetition Rate Stability of a Mode-Locked Laser2016

    • 著者名/発表者名
      楊紹青,陳遠流,伊東総,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      2016年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      一関高専(岩手県一関市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] A Long Stroke Atomic Force Microscope for Surface Profile Measurement of Micro-optics2016

    • 著者名/発表者名
      So ITO, Minglei LI, Yuanliu CHEN, Yanhao XU, Zengyuan NIU, Masaya FURUTA, Yuki SHIMIZU, Wei GAO
    • 学会等名
      The 7th International Conference on Positioning Technology (ICPT2016)
    • 発表場所
      Seoul Garden Hotel, Seoul, Korea
    • 年月日
      2016-11-08
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] シングルセル受光素子を用いた光学式角度センサの高感度化に関する研究2016

    • 著者名/発表者名
      間所周平,丸山泰司,清水裕樹,伊東聡,高偉
    • 学会等名
      2016年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      一関高専(岩手県一関市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Multi-dimensional measurement of tool edge geometry with an optical probe2016

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Shota Nakagawa, SungHo Jang, Yuan-Liu Chen, So Ito, and Wei Gao
    • 学会等名
      The 5th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2016)
    • 発表場所
      University of Macau (マカオ, 中国)
    • 年月日
      2016-08-15
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13839
  • [学会発表] Computer simulation on the optical configuration of an ultra-sensitive angle sensor based on laser autocollimation2016

    • 著者名/発表者名
      Yuki SHIMIZU, Taiji MARUYAMA, Yuan-Liu CHEN, So ITO and Wei GAO
    • 学会等名
      The 16th International Conference on Precision Engineering (ICPE2016)
    • 発表場所
      アクトシティ浜松 (静岡県浜松市)
    • 年月日
      2016-11-14
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13839
  • [学会発表] 光周波数コム光源を用いた光学式センサに関する研究2016

    • 著者名/発表者名
      上原健太郎,工藤幸利,陳遠流,清水裕樹,伊東聡,高偉
    • 学会等名
      2016年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      一関高専(岩手県一関市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Analysis of a Lloyd's Mirror Interferometer for Fabrication of Gratings2016

    • 著者名/発表者名
      Zongwei REN, Ryo AIHARA, Yuki SHIMIZU, So ITO, Yuan-Liu Chen, Wei GAO
    • 学会等名
      IEEE 16th International Conference on Nanotechnology (IEEE NANO 2016)
    • 発表場所
      仙台国際センター (宮城県仙台市)
    • 年月日
      2016-08-22
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Characterization of a micro thermal sensor for surface defect inspection2016

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Yuki Matsuno, Yuta Ohba, Yuan-Liu Chen, and Wei Gao
    • 学会等名
      The 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS)
    • 発表場所
      ホテル松島大観荘(宮城県宮城郡松島町)
    • 年月日
      2016-04-17
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03907
  • [学会発表] 白色共焦点顕微鏡の光学系設計に関する研究2016

    • 著者名/発表者名
      仲村拓,清水裕樹,伊東聡,陳遠流,高偉
    • 学会等名
      2016年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      一関高専(岩手県一関市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] XYZマイクロステージに関する研究2016

    • 著者名/発表者名
      安達圭祐,清水裕樹,伊東聡,高偉,丹羽英二,佐々木祥弘
    • 学会等名
      2016年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      一関高専(岩手県一関市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Investigation on the sensitivity of an optical angle sensor based on laser autocollimation2016

    • 著者名/発表者名
      Yuki SHIMIZU, Taiji MARUYAMA, Yuan-Liu CHEN, So ITO and Wei GAO
    • 学会等名
      Optical Measurement Technology and Instrument (OTA2016)
    • 発表場所
      China National Convention Center, Beijing China
    • 年月日
      2016-05-09
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Determination of the origin position for an angle sensor with a femtosecond laser2015

    • 著者名/発表者名
      Jun Tamada,Yukitoshi Kudo,Yuan-Liu Chen,Yuki Shimizu,So Ito,Wei Gao
    • 学会等名
      The 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21 2015)
    • 発表場所
      京都リサーチパーク(京都府京都市)
    • 年月日
      2015-10-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 微空間での熱収支を利用した平滑面欠陥検出に関する研究 -10 nm級サイズ欠陥との接触検知シミュレーション実験-2015

    • 著者名/発表者名
      松野優紀,大場優太,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      2015年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      東北大学(宮城県仙台市)
    • 年月日
      2015-09-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03907
  • [学会発表] Ductile cutting of a microstructure array on silicon surface by using a diamond tool with a negative rake angle2015

    • 著者名/発表者名
      Yuan-Liu Chen, Yindi Cai, Keisuke Tohyama, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao
    • 学会等名
      The 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
    • 発表場所
      京都リサーチパーク,京都府京都市
    • 年月日
      2015-10-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630015
  • [学会発表] 光周波数コムを用いた角度スケールコムに関する研究2015

    • 著者名/発表者名
      清水裕樹,玉田純,工藤幸利,陳遠流,伊東聡,高偉
    • 学会等名
      2015年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      東北大学(宮城県仙台市)
    • 年月日
      2015-09-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Detection and repair of micro defects in the process of diamond cutting of a microstructure array2015

    • 著者名/発表者名
      陳遠流,清水裕樹,伊東聡,高偉
    • 学会等名
      2015年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      東北大学,宮城県仙台市
    • 年月日
      2015-09-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630015
  • [学会発表] Molecular dynamics simulation on nanoindentation response of a copper workpiece2015

    • 著者名/発表者名
      蔡引テイ,陳遠流,清水裕樹,伊東聡,高偉
    • 学会等名
      2015年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      東北大学,宮城県仙台市
    • 年月日
      2015-09-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630015
  • [学会発表] 3ビームロイドミラー干渉計による2軸回折格子加工に関する研究2015

    • 著者名/発表者名
      相原涼,李星輝,Yindi Cai,伊東聡,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      2015年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      東北大学(宮城県仙台市)
    • 年月日
      2015-09-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Laser interference lithography with a modified two-axis Lloyd’s mirror interferometer for fabrication of two-dimensional micro patterns2015

    • 著者名/発表者名
      Yindi Cai, Xinghui Li,Ryo Aihara,Yuki Shimizu,So Ito,Wei Gao
    • 学会等名
      The 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21 2015)
    • 発表場所
      京都リサーチパーク(京都府京都市)
    • 年月日
      2015-10-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 2次元格子とフィゾー干渉計の一括自律校正に関する研究-自律校正法の提案-2015

    • 著者名/発表者名
      大野敦子,金于載,Yindi Cai,陳遠流,清水裕樹,伊東聡,高偉
    • 学会等名
      2015年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      東北大学(宮城県仙台市)
    • 年月日
      2015-09-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 超高感度角度センサに関する研究2015

    • 著者名/発表者名
      丸山泰司,清水裕樹,伊東聡,高偉
    • 学会等名
      2015年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      東北大学(宮城県仙台市)
    • 年月日
      2015-09-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] 平面ステージ精密制御用多自由度光センサに関する研究2015

    • 著者名/発表者名
      古田雅也,李星輝,Yindi Cai,清水裕樹,伊東聡,高偉
    • 学会等名
      2015年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      東北大学(宮城県仙台市)
    • 年月日
      2015-09-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] A three-axis angle sensor with a linear encoder scale reflector2015

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Taiji Maruyama, So Ito, Wei Gao
    • 学会等名
      12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2015)
    • 発表場所
      National Taiwan University, Taipei, Taiwan
    • 年月日
      2015-09-22
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] A New Fast Tool Servo with Integrated Functions for In-process Measurement and Fabrication of Microstructured Surfaces2015

    • 著者名/発表者名
      Yuan-Liu Chen, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao
    • 学会等名
      The 11th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining Process
    • 発表場所
      板橋区立グリーンホール,東京都板橋区
    • 年月日
      2015-11-25
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630015
  • [学会発表] Surface Profile Measurement of Micro-optics by Using a Long Stroke AFM2015

    • 著者名/発表者名
      Minglei Li, So Ito, Zhigang Jia, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2015)
    • 発表場所
      National Taiwan University, Taipei, Taiwan
    • 年月日
      2015-09-22
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05759
  • [学会発表] Investigation of the deformation mechanism of a copper workpiece during nanoindentation by using molecular dynamics2015

    • 著者名/発表者名
      Yindi Cai, Yuanliu Chen, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao
    • 学会等名
      The 11st Chain-Japan International Conference on Ultra-Precision machining process
    • 発表場所
      板橋区立グリーンホール,東京都板橋区
    • 年月日
      2015-11-25
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630015
  • [学会発表] Molecular dynamics simulation on nano-contact between a diamond cutting tool and a copper surface2015

    • 著者名/発表者名
      Yindi Cai, Yuanliu Chen, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao, Ying Chen
    • 学会等名
      The 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
    • 発表場所
      京都リサーチパーク,京都府京都市
    • 年月日
      2015-10-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630015
  • [学会発表] A two-axis Lloyd's mirror interferometer for fabrication of two dimensional diffraction gratings2015

    • 著者名/発表者名
      Xinghui Li, Wei Gao, Yuki Shimizu, So Ito
    • 学会等名
      2014 CIRP Winter meetings
    • 発表場所
      Nantes, France
    • 年月日
      2015-01-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • [学会発表] ダイヤモンド切削工具切れ刃の光学式形状測定に関する研究 -切削工具切れ刃輪郭形状の測定-2015

    • 著者名/発表者名
      中川翔太,張城豪,清水裕樹,伊東聡,高偉
    • 学会等名
      2015年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      東北大学(宮城県仙台市)
    • 年月日
      2015-09-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13839
  • [学会発表] On-machine edge contour measurement of a micro cutting tool by using a diamond edge artifact2015

    • 著者名/発表者名
      Yuan-Liu Chen, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao
    • 学会等名
      The 12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments
    • 発表場所
      Taipei, Taiwan
    • 年月日
      2015-09-22
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630015
  • [学会発表] 光学式3軸角度センサの小型化に関する研究2014

    • 著者名/発表者名
      丸山泰司,清水裕樹,Siew-Leng TAN, 村田大,伊東聡,高偉
    • 学会等名
      2014年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      青森県弘前市 弘前大学
    • 年月日
      2014-11-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • [学会発表] 微細形状測定のための非接触静電気力顕微鏡に関する研究―形状測定の拘束・高精度化のための走査方式の検討―2014

    • 著者名/発表者名
      細渕啓一郎,賈志剛,伊東聡,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      精密工学会2014年度春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京大学(東京)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656093
  • [学会発表] 超高感度角度センサに関する研究2014

    • 著者名/発表者名
      村田大,清水裕樹,伊東聡,高偉
    • 学会等名
      精密工学会学術講演会
    • 発表場所
      東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • [学会発表] 微細形状測定のための非接触静電気力顕微鏡に関する研究-形状測定の高速・高精度化のための走査方式の検討-2014

    • 著者名/発表者名
      細渕啓一郎,賈志剛,伊東聡,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      精密工学会2014年度春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656093
  • [学会発表] XYZ三軸振動センサに関する研究-第二報 信号処理系の最適化と微小振動計測について-2014

    • 著者名/発表者名
      相原涼,伊藤武志,伊東聡,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      2014年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      青森県弘前市 弘前大学
    • 年月日
      2014-11-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • [学会発表] Investigation on the contact detection sensitivity of thermal contact sensor for surface defect inspections2014

    • 著者名/発表者名
      Yuki SHIMIZU, Yuta OHBA and Wei GAO
    • 学会等名
      The 15th International Conference on Precision Engineering (ICPE2014)
    • 発表場所
      Kanazawa, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25820030
  • [学会発表] 形状測定用静電気力顕微鏡の周波数ドリフトの補正に関する研究2014

    • 著者名/発表者名
      賈 志剛, 細渕 啓一郎, 伊東 聡, 清水 裕樹, 高 偉
    • 学会等名
      日本機械学会東北支部 第49期総会・講演会
    • 発表場所
      仙台
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656093
  • [学会発表] 形状測定用静電気力顕微鏡の周波数ドリフトの補正に関する研究2014

    • 著者名/発表者名
      賈志剛,細渕啓一郎,伊東聡,清水裕樹,高偉
    • 学会等名
      日本機械学会東北支部第49期総会・講演会
    • 発表場所
      東北大学(仙台)
    • 年月日
      2014-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656093
  • [学会発表] Experiment of Polarization Forces in Scanning Electrostatic Force Microscopy for Measuring Surface Profile of Dielectric2013

    • 著者名/発表者名
      Gaofa HE, Zhigang JIA, So ITO, Yuki SHIMIZU, Wei GAO
    • 学会等名
      LEM21
    • 発表場所
      Sendai, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656093
  • [学会発表] 三次元微細形状測定のための静電気力顕微鏡に関する研究2013

    • 著者名/発表者名
      細渕啓一郎,賈志剛,伊東聡,清水裕樹,何高法,高偉
    • 学会等名
      日本機械学会東北支部第48期総会・講演会
    • 発表場所
      東北大学(仙台)
    • 年月日
      2013-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656093
  • [学会発表] Analysis of the forces in electrostatic force microscopy for profile measurement of micro-structured surface of dielectric2013

    • 著者名/発表者名
      Gaofa HE, Zhigang JIA, So ITO, Yuki SHIMIZU, Wei GAO
    • 学会等名
      ISPMM 2014
    • 発表場所
      Guizhou, China
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656093
  • [学会発表] Feasibility study on the concept of thermal contact sensor for nanometer-level defect inspections on smooth surfaces2013

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Wenjian Lu, Yuta Ohba, Wei Gao
    • 学会等名
      The 11th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2013)
    • 発表場所
      Aachen and Braunschweig (Germany)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23860005
  • [学会発表] Characterization of a Prototype Thermal Contact Sensor for Surface Defect Inspections2013

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Wenjian Lu, Yuta Ohba and Wei Gao
    • 学会等名
      5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2013)
    • 発表場所
      Taipei, Taiwan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25820030
  • [学会発表] 接触型マイクロ熱検知センサによるナノ平滑面微欠陥検出に関する研究2013

    • 著者名/発表者名
      清水 裕樹,大場 裕太,盧 文剣,高 偉
    • 学会等名
      2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      関西大学(大阪府吹田市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25820030
  • [学会発表] Measurement of contact potential difference and material distribution by using an SEFM2013

    • 著者名/発表者名
      Keiichiro HOSOBUCHI, Zhigang JIA, So ITO, Yuki SHIMIZU, Wei GAO
    • 学会等名
      LEM21
    • 発表場所
      Sendai, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656093
  • [学会発表] 表面欠陥検出向け接触型熱検知素子の試作2013

    • 著者名/発表者名
      盧文剣,清水裕樹,大場裕太,高偉 (清水裕樹)
    • 学会等名
      日本機械学会 東北支部第48期総会・講演会
    • 発表場所
      宮城県仙台市
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23860005
  • [学会発表] Surface Profile Measurement of Micro-optics by using a Scanning Electrostatic Force Microscope2013

    • 著者名/発表者名
      So Ito, Zhigang Jia, Shigeaki Goto, Gaofa He, Keiichiro Hosobuchi, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2013)
    • 発表場所
      Taipei, Taiwan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656093
  • [学会発表] Precision Positioning of a Longstroke Scanning Electrostatic Force Probe for Profile Measurement of Large Amplitude Micro-structured Surface2013

    • 著者名/発表者名
      Zhigang JIA, Gaofa HE, Shigeaki GOTO, Keiichiro HOSOBUCHI, So ITO, Yuki SHIMIZU and Wei GAO
    • 学会等名
      LEM21
    • 発表場所
      Sendai, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656093
  • [学会発表] Analysis of the forces in electrostatic force microscopy for profile measurement of micro-structured surface of dielectric2013

    • 著者名/発表者名
      Gaofa He, Zhigang Jia, So Ito, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      6th International Symposium of Precision Mechanical Measurement (ISPMM2013)
    • 発表場所
      Guizhou, China
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656093
  • [学会発表] Experiment of Polarization Forces in Scanning Electrostatic Force Microscopy for Measuring Surface Profile of Dielectric2013

    • 著者名/発表者名
      Gaofa He, Zhigang Jia, So Ito, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      The 7th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
    • 発表場所
      Matsushima, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656093
  • [学会発表] Investigation of a femtosecond laser for measurement of angular displacement2013

    • 著者名/発表者名
      Yukitoshi KUDO, Siew-Leng TAN, Yuki SHIMIZU, So ITO, and Wei GAO
    • 学会等名
      LEM21
    • 発表場所
      仙台
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • [学会発表] Feasibility study on the concept of thermal contact sensor for nanometer-level defect inspections on smooth surfaces2013

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Lu Wenjian, Yuta Ohba and Wei Gao
    • 学会等名
      11th International Symposium of Measurent Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2013), Aachen, Germany.
    • 発表場所
      Aachen, Germany
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25820030
  • [学会発表] Precision Positioning of a Long-stroke Scanning Electrostatic Force Probe for Profile Measurement of Large Amplitude Micro-structured Surface2013

    • 著者名/発表者名
      Zhigang Jia, Gaofa He, Shigeaki Goto, Keiichiro Hosobuchi, So Ito, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      The 7th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
    • 発表場所
      Matsushima, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656093
  • [学会発表] 超高感度角度センサに関する研究2013

    • 著者名/発表者名
      村田大,清水裕樹,伊東聡,高偉
    • 学会等名
      2013年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学(東京都)
    • 年月日
      2013-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • [学会発表] Design of fabrication process of thermal contact sensor for surface defect inspections2013

    • 著者名/発表者名
      Yuta OHBA, Yuki SHIMIZU, Wenjian LU and Wei GAO
    • 学会等名
      The 7th International Coference on Leading Edge Manufacturing In 21st Century (LEM21)
    • 発表場所
      Matsushima, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25820030
  • [学会発表] Measurement of contact potential difference and material distribution by using an SEFM2013

    • 著者名/発表者名
      Keiichiro Hosobuchi, Zhigang Jia, So Ito, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      The 7th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
    • 発表場所
      Matsushima, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656093
  • [学会発表] Surface profile measurement of large amplitude micro-optics by using a scanning electrostatic force microscope2013

    • 著者名/発表者名
      Zhigang Jia, Keiichiro Hosobuchi, So Ito, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      精密工学会東北支部講演会
    • 発表場所
      たざわこ芸術村(秋田)
    • 年月日
      2013-12-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656093
  • [学会発表] Surface profile measurement of large amplitude micro-optics by using a scanning electrostatic force microscope2013

    • 著者名/発表者名
      Zhigang Jia, Keiichiro Hosobuchi, So Ito, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      秋田
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656093
  • [学会発表] An ultra-sensitive angle sensor based on laser autocollimation for stage motion measurement2013

    • 著者名/発表者名
      Dai MURATA, Siew-Leng TAN, Yuki SHIMIZU, So ITO, and Wei GAO
    • 学会等名
      LEM21
    • 発表場所
      仙台
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • [学会発表] ウエハ表面のナノレベル欠陥検出向け接触型マイクロ熱検知センサの原理検討2012

    • 著者名/発表者名
      清水裕樹,盧文剣,東豊大,高偉
    • 学会等名
      精密工学会2012年度春季大会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2012-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23860005
  • [学会発表] ヘッド組み込み型熱検知センサを用いた磁気ディスク表面のナノ微小欠陥検出技術2012

    • 著者名/発表者名
      清水裕樹,徐鈞国,小平英一 (清水裕樹)
    • 学会等名
      日本トライボロジー学会 トライボロジー会議2012 春 東京
    • 発表場所
      東京都代々木区
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23860005
  • [学会発表] Low-cost and compact interference lithography of grating fabrication for surface encoder2012

    • 著者名/発表者名
      Xinghui Li, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao
    • 学会等名
      2012年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      山形大学工学部(米沢市)
    • 年月日
      2012-12-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • [学会発表] Fabrication of diffraction gratings for surface encoders by using a Lloyd's mirror interferometer with a 405 nm laser diode2012

    • 著者名/発表者名
      Xinghui Li, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao, Lijiang Zeng
    • 学会等名
      8th International Symposium on Precision Engineering Measurements and Instrumentation
    • 発表場所
      Chengdu, China
    • 年月日
      2012-08-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • [学会発表] Design and experiment of thermal contact sensor detecting defects on Si wafer surface2012

    • 著者名/発表者名
      Wenjian Lu, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao
    • 学会等名
      The 14th International Conference on Precision Engineering (ICPE2012)
    • 発表場所
      Awaji-shi (Hyogo)
    • 年月日
      2012-11-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23860005
  • [学会発表] Design of a Micro-sized Thermal Contact Sensor for Inspection of Surface Defects2012

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Wenjian Lu, Wei Gao (Yuki Shimizu)
    • 学会等名
      The 3rd International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2012)
    • 発表場所
      Wako-shi (Saitama, Japan)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23860005
  • [学会発表] A scanning electrostatic force microscope for surface profile measurement2012

    • 著者名/発表者名
      Zhigang Jia, Shigeaki Goto, Keiichiro Hosobuchi, So Ito, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      2012年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      山形大学(山形)
    • 年月日
      2012-12-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656093
  • [学会発表] Design of a Micro-sized Thermal Contact Sensor for Inspection of Surface Defects2012

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Wenjian Lu, Wei Gao
    • 学会等名
      The 3rd International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2012)
    • 発表場所
      Wako-shi (Saitama)
    • 年月日
      2012-07-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23860005
  • [学会発表] 接触型熱検知センサによる平滑面欠陥検出の実験的原理検討2012

    • 著者名/発表者名
      盧文剣,清水裕樹,大場裕太,高偉
    • 学会等名
      日本機械学会 第9回生産加工・工作機械部門講演会
    • 発表場所
      秋田
    • 年月日
      2012-10-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23860005
  • [学会発表] 光学式3軸角度センサの高精度化に関する研究2012

    • 著者名/発表者名
      村田大,清水裕樹,伊東聡,高偉
    • 学会等名
      2012年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      山形大学工学部(米沢市)
    • 年月日
      2012-12-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • [学会発表] Design and experiment of thermal contact sensor detecting defects on Si wafer surface2012

    • 著者名/発表者名
      Wenjian Lu, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao (Yuki Shimizu)
    • 学会等名
      The 14th International Conference on Precision Engineering
    • 発表場所
      Awaji-shi (Hyogo, Japan)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23860005
  • [学会発表] Fast calibration of XY gratings2012

    • 著者名/発表者名
      WooJae Kim, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao
    • 学会等名
      第47回日本機械学会東北支部講演会
    • 発表場所
      東北大学(仙台)
    • 年月日
      2012-03-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360057
  • [学会発表] モザイク格子サーフェスエンコーダに関する研究-マルチプローブセンサヘッドの開発2012

    • 著者名/発表者名
      細野幸治, 金于載, 清水裕樹, 伊東聡, 高偉
    • 学会等名
      精密工学会2012春季大会
    • 発表場所
      首都大学東京(東京)
    • 年月日
      2012-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360057
  • [学会発表] 接触型熱検知センサによる平滑面欠陥検出の実験的原理検討2012

    • 著者名/発表者名
      盧文剣,清水裕樹,大場裕太,高偉 (清水裕樹)
    • 学会等名
      日本機械学会 第9回生産加工・工作機械部門講演会
    • 発表場所
      秋田県由利本荘市
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23860005
  • [学会発表] モザイク格子サーフェスエンコーダに関する研究マルチプローブセンサヘッドの開発2012

    • 著者名/発表者名
      細野幸治, 金于載, 清水裕樹, 伊東聡, 高偉
    • 学会等名
      精密工学会2012春季大会
    • 発表場所
      首都大学東京南大沢キャンパス(東京)
    • 年月日
      2012-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360057
  • [学会発表] Industry-Oriented Precision Nanometrology2011

    • 著者名/発表者名
      Wei Gao, Kang-Won Lee, Yuki Shimizu, So Ito
    • 学会等名
      APMP.TCL Workshop-Collaboration and Support for Industry in Dimensional Metrology
    • 発表場所
      大阪国際交流センター(大阪市)(招待講演)
    • 年月日
      2011-12-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360057
  • [学会発表] Evaluation of the linear scale for a linear encoder2011

    • 著者名/発表者名
      WooJae Kim, Akihide Kimura, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      2011年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      ウェスティンホテル仙台(仙台)
    • 年月日
      2011-10-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360057
  • [学会発表] Industry Oriented Precision Nanometrology, APMP. TCL Workshop2011

    • 著者名/発表者名
      Kang-Won Lee, Wei Gao, Yuki Shimizu, So Ito
    • 学会等名
      Collaboration and Support for Industry in Dimensional Metrology
    • 発表場所
      Osaka
    • 年月日
      2011-12-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360057
  • [学会発表] Surface Encoders for Precision Measurement of Multi-axis Motions2011

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Wei Gao, So Ito, Woojae Kim, Akihide Kimura, Kouji Hosono
    • 学会等名
      the 4th International Conference of Asia Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2011)
    • 発表場所
      Hong Kong
    • 年月日
      2011-11-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360057
  • [学会発表] Surface Encoders for Precision Measurement of Multi-axis Motions2011

    • 著者名/発表者名
      Wei Gao, Yuki Shimizu, So Ito, Woojae Kim, Akihide Kimura, Kouji Hosono
    • 学会等名
      the 4th International Conference of Asia Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN-2011)
    • 発表場所
      Langham Place Hong Kong Hotel (Hong Kong, China)(招待講演)
    • 年月日
      2011-11-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360057
  • [学会発表] 熱検知型接触センサによる半導体ウエハ上の微小欠陥検出手法の提案2011

    • 著者名/発表者名
      盧文剣, 清水裕樹, 高偉
    • 学会等名
      2011年度精密工学会東北支部講演会
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      2011-10-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23860005
  • [学会発表] New Measurement Concept of Nanometer-level Defects on Si Wafer Surface by using Micro Contact Sensor2011

    • 著者名/発表者名
      W.Lu, Y.Shimizu, W.Gao
    • 学会等名
      The 8^<th> China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining
    • 発表場所
      Hangzhou, China
    • 年月日
      2011-11-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23860005
  • [学会発表] Fast Evaluation of Period Deviation and Flatness of a Linear Scale by Using a Fizeau Interferometer2011

    • 著者名/発表者名
      Wooujae Kim, Akihide Kimura, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      the 10th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII-2011)
    • 発表場所
      KATST(韓国テジョン市)
    • 年月日
      2011-06-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360057
  • [学会発表] Fast Evaluation of Period Deviation and Flatness of a Linear Scale by Using a Fizeau Interferometer2011

    • 著者名/発表者名
      Woojae Kim, Akihide Kimura, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      The 10th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments(ISMTII2011)
    • 発表場所
      KAIST (Korae)
    • 年月日
      2011-06-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360057
  • [学会発表] A six degree-of-freedom surface motor-driven stage with aerostatic bearings

    • 著者名/発表者名
      Masaya Furuta, Yuki Shimizu, So Ito and Wei Gao
    • 学会等名
      The 6th International Conference on Positioning Technology: Mechatronics and Measurement in Precision Technology (ICPT2014)
    • 発表場所
      福岡県北九州市 北九州国際会議場
    • 年月日
      2014-11-19 – 2014-11-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • [学会発表] 三次元微細形状測定のための静電気力顕微鏡に関する研究

    • 著者名/発表者名
      細渕啓一郎, 賈志剛, 伊東聡, 清水裕樹, 何高法, 高偉
    • 学会等名
      日本機械学会東北支部 第48期総会・講演会
    • 発表場所
      仙台
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656093
  • [学会発表] 光学式3軸角度センサの小型化に関する研究

    • 著者名/発表者名
      丸山 泰司,清水 裕樹, 伊東 聡, 高 偉
    • 学会等名
      2015年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京都文京区 東洋大学白山キャンパス
    • 年月日
      2015-03-17 – 2015-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • [学会発表] Investigation on the contact detection sensitivity of thermal contact sensor for surface defect inspections

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Yuta Ohba, Wei Gao
    • 学会等名
      15th International Conference on Precision Engineering (ICPE2014)
    • 発表場所
      石川県金沢市 ホテルニッコー金沢
    • 年月日
      2014-07-24 – 2014-07-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25820030
  • [学会発表] On-machine edge contour measurement of a micro cutting tool by using a diamond edge artifact

    • 著者名/発表者名
      YuanLiu Chen, So Ito, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments
    • 発表場所
      Taipei, Taiwan
    • 年月日
      2015-09-22 – 2015-09-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630015
  • [学会発表] A miniaturized three-axis angle sensor

    • 著者名/発表者名
      Taiji Maruyama, Siew-Leng Tan, Yuki Shimizu, Dai Murata, So Ito, and Wei Gao
    • 学会等名
      The 6th International Conference on Positioning Technology: Mechatronics and Measurement in Precision Technology (ICPT2014)
    • 発表場所
      福岡県北九州市 北九州国際会議場
    • 年月日
      2014-11-19 – 2014-11-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • [学会発表] A multi-probe surface encoder for multi-degree-of-freedom position measurement

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Ryo Aihara, Yingdi Cai, Xinghui Li, So Ito and Wei Gao
    • 学会等名
      The 6th International Conference on Positioning Technology: Mechatronics and Measurement in Precision Technology (ICPT2014)
    • 発表場所
      福岡県北九州市 北九州国際会議場
    • 年月日
      2014-11-19 – 2014-11-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • [学会発表] Cutting tool positioning by utilizing a force sensor-integrated fast tool servo

    • 著者名/発表者名
      Shu Wang, Yuan-Liu Chen, So Ito, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      International Conference on Positioning Technology
    • 発表場所
      北九州国際会議場,福岡県
    • 年月日
      2014-11-18 – 2014-11-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630015
  • [学会発表] Investigation of surface damages in contact and form measurement with a force sensor-integrated fast tool servo

    • 著者名/発表者名
      Y.D Cai, Y.L. Chen, S. Ito, Y. Shimizu, W. Gao
    • 学会等名
      38th International MATADOR Conference
    • 発表場所
      Huwei, Taiwan
    • 年月日
      2015-03-28 – 2015-03-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630015
  • [学会発表] 接触型マイクロ熱検知センサによるナノ平滑面微小欠陥検出に関する研究-素子プロファイル改善と接触検知感度の検討-

    • 著者名/発表者名
      清水裕樹,大場裕太,高偉
    • 学会等名
      精密工学会2014年度秋季大会
    • 発表場所
      鳥取県鳥取市 鳥取大学
    • 年月日
      2014-09-16 – 2014-09-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25820030
  • [学会発表] A scanning electrostatic force microscope for surface profile measurement

    • 著者名/発表者名
      Zhigang Jia, Shigeaki Goto, Keiichiro Hosobuchi, So Ito, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 学会等名
      2012年度精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      山形
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656093
  • [学会発表] Development of a six-degree-of-freedom surface encoder

    • 著者名/発表者名
      Yindi Cai, Yuki Shimizu, Xinghui Li, So Ito and Wei Gao
    • 学会等名
      The 6th International Conference on Positioning Technology: Mechatronics and Measurement in Precision Technology (ICPT2014)
    • 発表場所
      福岡県北九州市 北九州国際会議場
    • 年月日
      2014-11-19 – 2014-11-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • [学会発表] Design and testing of a contact-type micro thermal sensor for defect inspection on nanometric smooth surfaces

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, Y. Ohba, W. Gao
    • 学会等名
      38th International MATADOR Conference on Advanced Manufacturing (MATADOR2015)
    • 発表場所
      台湾 台北市 虎尾科技大学
    • 年月日
      2015-03-28 – 2015-03-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25820030
  • [学会発表] Fabrication of two-dimensional micro patterns for adaptive optics by using laser interference lithography

    • 著者名/発表者名
      Xinghui Li, Yindi Cai, Ryo Aihara, Yuki Shimizu, So Ito and Wei Gao
    • 学会等名
      3rd International Conference on Optical and Photonic ENgineering (icOPEN2015)
    • 発表場所
      Singapore, Singapore
    • 年月日
      2015-04-14 – 2015-04-16
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • [学会発表] Optical sensors for precision measurement of multi-axis motions

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu
    • 学会等名
      International Symposium on Optoelectronic Technology and Application (IPTA2014)
    • 発表場所
      Beijing, China
    • 年月日
      2014-05-13 – 2014-05-15
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • [学会発表] Measurement of three-axis vibration of an air-bearing stage

    • 著者名/発表者名
      Ryo Aihara, Takeshi Ito, So Ito, Yuki Shimizu and Wei Gao
    • 学会等名
      The 6th International Conference on Positioning Technology: Mechatronics and Measurement in Precision Technology (ICPT2014)
    • 発表場所
      福岡県北九州市 北九州国際会議場
    • 年月日
      2014-11-19 – 2014-11-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24360050
  • 1.  高 偉 (70270816)
    共同の研究課題数: 9件
    共同の研究成果数: 296件
  • 2.  伊東 聡 (00624818)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 79件
  • 3.  松隈 啓 (90728370)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 122件
  • 4.  荒井 義和 (20455801)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  陳 遠流 (90794058)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 19件
  • 6.  CHEN XIUGUO
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 6件
  • 7.  CHEN YUANLIU
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 2件

URL: 

この研究者とORCID iDの連携を行いますか?
※ この処理は、研究者本人だけが実行できます。

Are you sure that you want to link your ORCID iD to your KAKEN Researcher profile?
* This action can be performed only by the researcher himself/herself who is listed on the KAKEN Researcher’s page. Are you sure that this KAKEN Researcher’s page is your page?

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi