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山根 大輔  Yamane Daisuke

研究者番号 70634096
その他のID
  • ORCIDhttps://orcid.org/0000-0002-9262-4704
所属 (現在) 2025年度: 立命館大学, 理工学部, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2025年度: 立命館大学, 理工学部, 教授
2020年度 – 2025年度: 立命館大学, 理工学部, 准教授
2019年度: 東京工業大学, 科学技術創成研究院, 助教
2016年度 – 2017年度: 東京工業大学, 科学技術創成研究院, 助教
2012年度 – 2015年度: 東京工業大学, 精密工学研究所, 助教
審査区分/研究分野
研究代表者
小区分28050:ナノマイクロシステム関連 / 電子デバイス・電子機器 / ナノマイクロシステム
研究代表者以外
小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連 / 中区分21:電気電子工学およびその関連分野 / 生体医工学・生体材料学
キーワード
研究代表者
MEMS / 電解めっき / 金合金 / 金めっき / 光ミキサ / エレクトレット / 静電 / 振動 / エナジーハーベスタ / ハードウェア … もっと見る / セキュリティ / セキュアIoTデバイス / 機械特性 / 疲労破壊 / MEMS / セキュア / 自壊 / IoT / 可動配線 / 合金 / パルス金めっき / 電解金めっき / カンチレバー / ノイズ / 加速度センサ / ナノ結晶 / 結晶 / 金 / ナノマイクロセンサ / 加速度 / ナノG / 微細電極 / 無電解金めっき / ナノデバイス / 静電容量型センサ / テラヘルツ波 / Casimir効果 / ナノエレクトロニクス / ナノギャップ / マイクロ・ナノデバイス / GaAs / めっき / CMOS / NEMS / テラヘルツ … もっと見る
研究代表者以外
センサ / 自発配向分極 / 有機発光ダイオード / 振動発電 / エレクトレット / ライダー / 分布計測 / 防災技術 / 非線形光学 / ブリルアン散乱 / 光ファイバセンサ / 計測システム / 白血病治療 / 造血幹細胞移植 / 時価造血幹細胞移植 / 分析化学 / マイクロ流体 / ハイスループット / 自家造血幹細胞移植 / 白血病 / レーザー / マイクロ流体工学 / フローサイトメトリー 隠す
  • 研究課題

    (8件)
  • 研究成果

    (259件)
  • 共同研究者

    (9人)
  •  有機・無機ハイブリッドエレクトレットの帯電機構の解明とデバイス応用

    • 研究代表者
      田中 有弥
    • 研究期間 (年度)
      2025 – 2028
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
    • 研究機関
      群馬大学
  •  センサ/LSI集積化のための荷電処理不要な静電MEMS振動エナジーハーベスタ研究代表者

    • 研究代表者
      山根 大輔
    • 研究期間 (年度)
      2022 – 2024
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分28050:ナノマイクロシステム関連
    • 研究機関
      立命館大学
  •  光ファイバ型相関領域反射計による歪・温度の高速分布測定:極限性能の追究と実用化

    • 研究代表者
      水野 洋輔
    • 研究期間 (年度)
      2021 – 2025
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 審査区分
      中区分21:電気電子工学およびその関連分野
    • 研究機関
      横浜国立大学
  •  セキュアIoTデバイスに向けたMEMS自壊設計技術の開発研究代表者

    • 研究代表者
      山根 大輔
    • 研究期間 (年度)
      2019 – 2021
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分28050:ナノマイクロシステム関連
    • 研究機関
      立命館大学
      東京工業大学
  •  結晶構造を制御した金合金めっきによるナノG検出法の開拓研究代表者

    • 研究代表者
      山根 大輔
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2017
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      ナノマイクロシステム
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  安全な自家造血幹細胞移植に向けたハイスルー・プット残存腫瘍細胞除去法の開発

    • 研究代表者
      合田 圭介
    • 研究期間 (年度)
      2013 – 2014
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      生体医工学・生体材料学
    • 研究機関
      東京大学
  •  NEMS-Casimirマルチ物理センサの研究研究代表者

    • 研究代表者
      山根 大輔
    • 研究期間 (年度)
      2013 – 2014
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  CMOSとMEMS/NEMSの融合による超小型・高光度テラヘルツ連続波光源の研究研究代表者

    • 研究代表者
      山根 大輔
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2013
    • 研究種目
      研究活動スタート支援
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      東京工業大学

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  • [図書] Advances in Microelectronics: Reviews, Vol. 1, "Fabrication and Characterization of High Strength Electrodeposited Gold toward High-Sensitive MEMS Inertial Sensors"2018

    • 著者名/発表者名
      Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Hao-Chun Tang, Masaharu Yoshiba, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 総ページ数
      534
    • 出版者
      IFSA Publishing
    • ISBN
      9788469786338
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [雑誌論文] Multimode interference-based strain sensing using micro dry-etched perfluorinated polymer optical fibers2024

    • 著者名/発表者名
      Nakanishi Takuto、Kato Akihito、Wada Yuji、Nakashima Ryo、Zhao Chenxu、Lo Cheng-Yao、Nakamura Kentaro、Lee Heeyoung、Mizuno Yosuke、Yamane Daisuke
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 63 号: 2 ページ: 028003-028003

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ad1e9e

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K14272, KAKENHI-PROJECT-21H04555
  • [雑誌論文] Effect of current density on micro-mechanical property of electrodeposited gold film evaluated by micro-compression2022

    • 著者名/発表者名
      Omura Taro、Chen Chun-Yi、Chang Tso-Fu Mark、Yamane Daisuke、Ito Hiroyuki、Machida Katsuyuki、Masu Kazuya、Sone Masato
    • 雑誌名

      Surface and Coatings Technology

      巻: 436 ページ: 128315-128315

    • DOI

      10.1016/j.surfcoat.2022.128315

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232, KAKENHI-PROJECT-23K21050
  • [雑誌論文] IoT電源への期待 環境振動発電素子の小型化・高出力化とEMC2022

    • 著者名/発表者名
      山根大輔,田中有弥
    • 雑誌名

      科学情報出版 月刊EMC

      巻: -

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [雑誌論文] 荷電処理不要の静電型MEMS振動発電素子2022

    • 著者名/発表者名
      山根大輔,田中有弥
    • 雑誌名

      日本工業出版 クリーンエネルギー

      巻: 31 ページ: 35-40

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [雑誌論文] Bandwidth Broadening of MEMS Vibration Energy Harvesters by Voltage-Boost Rectifier Circuit2022

    • 著者名/発表者名
      Yukiya Tohyama, Hiroaki Honma, Hiroshi Toshiyoshi, and Daisuke Yamane
    • 雑誌名

      Sensors and Materials

      巻: -

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [雑誌論文] Effective Young’s Modulus of Complex Three Dimensional Multilayered Ti/Au Micro-Cantilevers Fabricated by Electrodeposition and the Temperature Dependency2021

    • 著者名/発表者名
      Watanabe Hitomi、Chang Tso-Fu Mark、Schneider Michael、Schmid Ulrich、Chen Chun-Yi、Iida Shinichi、Yamane Daisuke、Ito Hiroyuki、Machida Katsuyuki、Masu Kazuya、Sone Masato
    • 雑誌名

      Electrochem

      巻: 2 号: 2 ページ: 216-223

    • DOI

      10.3390/electrochem2020015

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [雑誌論文] 低閾値整流昇圧回路を用いた非定常振動下における振動発電2021

    • 著者名/発表者名
      Tohyama Yukiya、Honma Hiroaki、Sekiya Hidehiko、Toshiyoshi Hiroshi、Yamane Daisuke
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)

      巻: 141 号: 7 ページ: 228-232

    • DOI

      10.1541/ieejsmas.141.228

    • NAID

      130008060170

    • ISSN
      1341-8939, 1347-5525
    • 年月日
      2021-07-01
    • 言語
      日本語
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232, KAKENHI-PROJECT-20J14049
  • [雑誌論文] MEMS post-processed self-assembled electret for vibratory energy harvesters2021

    • 著者名/発表者名
      Yamane Daisuke、Kayaguchi Hideyuki、Kawashima Kosuke、Ishii Hisao、Tanaka Yuya
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 119 号: 25 ページ: 254102-254102

    • DOI

      10.1063/5.0072596

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232, KAKENHI-PROJECT-20H02810, KAKENHI-PROJECT-21K05208
  • [雑誌論文] Sample geometry effect on mechanical property of gold micro-cantilevers by micro-bending test2020

    • 著者名/発表者名
      Suzuki Kosuke、Chang Tso-Fu Mark、Hashigata Ken、Asano Keisuke、Chen Chun-Yi、Nagoshi Takashi、Yamane Daisuke、Ito Hiroyuki、Machida Katsuyuki、Masu Kazuya、Sone Masato
    • 雑誌名

      MRS Communications

      巻: 10 号: 3 ページ: 434-438

    • DOI

      10.1557/mrc.2020.38

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [雑誌論文] Co-Electrodeposition of Au?TiO2 Nanocomposite and the Micro-Mechanical Properties2020

    • 著者名/発表者名
      Chien Yu-An、Chang Tso-Fu Mark、Chen Chun-Yi、Yamane Daisuke、Ito Hiroyuki、Machida Katsuyuki、Masu Kazuya、Sone Masato
    • 雑誌名

      Electrochem

      巻: 1 号: 4 ページ: 388-393

    • DOI

      10.3390/electrochem1040025

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [雑誌論文] Alloy Electroplating and Young’s Modulus Characterization of AuCu Alloy Microcantilevers2020

    • 著者名/発表者名
      Nitta Kyotaro、Chang Tso-Fu Mark、Tang Haochun、Chen Chun-Yi、Iida Shinichi、Yamane Daisuke、Machida Katsuyuki、Ito Hiroyuki、Masu Kazuya、Sone Masato
    • 雑誌名

      Journal of The Electrochemical Society

      巻: 167 号: 8 ページ: 082503-082503

    • DOI

      10.1149/1945-7111/ab8805

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [雑誌論文] Electrodeposition of Ni-Co Alloys and Their Mechanical Properties by Micro-Vickers Hardness Test2020

    • 著者名/発表者名
      Jiang Yiming、Chen Chun-Yi、Chang Tso-Fu Mark、Luo Xun、Yamane Daisuke、Sone Masato
    • 雑誌名

      Electrochem

      巻: 2 号: 1 ページ: 1-9

    • DOI

      10.3390/electrochem2010001

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [雑誌論文] (Invited) CMOS-MEMS Based Microgravity Sensor and Its Application2020

    • 著者名/発表者名
      Masu Kazuya、Machida Katsuyuki、Yamane Daisuke、Ito Hiroyuki、Ishihara Noboru、Chang Tso-Fu Mark、Sone Masato、Shigeyama Ryo、Ogata Taiki、Miyake Yoshihiro
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 97 号: 5 ページ: 91-108

    • DOI

      10.1149/09705.0091ecst

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [雑誌論文] Cu-Alloying Effect on Structure Stability of Electrodeposited Gold-Based Micro-Cantilever Evaluated by Long-Term Vibration Test2019

    • 著者名/発表者名
      Kyotaro Nitta, Tso-Fu Mark Chang, Koichiro Tachibana, Hao-chun Tang, Chun-Yi Chen, Shinichi Iida, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering

      巻: 215 ページ: 111001-111001

    • DOI

      10.1016/j.mee.2019.111001

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [雑誌論文] Five-fold sensitivity enhancement in a capacitive tactile sensor by reducing material and structural rigidity2019

    • 著者名/発表者名
      Yu-Hong Gao, Yu-Hao Jen, Rongshun Chen, Daisuke Yamane, Cheng-Yao Lo
    • 雑誌名

      Sensors & Actuators: A. Physical

      巻: 293 ページ: 167-177

    • DOI

      10.1016/j.sna.2019.04.043

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [雑誌論文] Strengthening of Micro-Cantilever by Au/Ti Bi-Layered Structure Evaluated by Micro-Bending Test toward MEMS Devices2019

    • 著者名/発表者名
      Ken Hashigata, Haochun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering

      巻: 213 ページ: 13-17

    • DOI

      10.1016/j.mee.2019.04.008

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26220907, KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [雑誌論文] A MEMS Accelerometer for Sub-mG Sensing2019

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu
    • 雑誌名

      Sensors and Materials

      巻: 31 号: 9 ページ: 2883

    • DOI

      10.18494/SAM.2019.2122

    • ISSN
      0914-4935, 2435-0869
    • 年月日
      2019-09-20
    • 言語
      英語
    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232, KAKENHI-PROJECT-18H01490
  • [雑誌論文] High Strength Electrodeposited Au-Cu Alloys Evaluated by Bending Test toward Movable Micro-Components2019

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Asano, Tso-Fu Mark Chang, Haochun Tang, Takashi Nagoshi, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 雑誌名

      ECS Journal of Solid State Science and Technology

      巻: 8 号: 8 ページ: 412-415

    • DOI

      10.1149/2.0151908jss

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [雑誌論文] Nanoscale Hierarchical Structure of Twins in Nanograins Embedded with Twins and the Strengthening Effect2019

    • 著者名/発表者名
      Haochun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Yaw-Wang Chai, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 雑誌名

      Metals

      巻: 9 号: 9 ページ: 987-987

    • DOI

      10.3390/met9090987

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [雑誌論文] Sample size effect on micro-mechanical properties of gold electroplated with dense carbon dioxide2018

    • 著者名/発表者名
      Hao-Chun Tang, Ken Hashigata, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 雑誌名

      Elsevier Surface and Coatings Technology

      巻: 印刷中 ページ: 1065-1070

    • DOI

      10.1016/j.surfcoat.2018.02.041

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453, KAKENHI-PROJECT-26220907
  • [雑誌論文] A 0.18-µm CMOS time-domain capacitive-sensor interface for sub-1mG MEMS accelerometers2018

    • 著者名/発表者名
      Motohiro Takayasu, Shiro Dosho, Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara, Kazuya Masu
    • 雑誌名

      IEICE Electronics Express

      巻: 15 号: 2 ページ: 20171227-20171227

    • DOI

      10.1587/elex.15.20171227

    • NAID

      130006320958

    • ISSN
      1349-2543
    • 言語
      英語
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [雑誌論文] Au-Cu Alloys Prepared by Pulse Electrodeposition toward Applications as Movable Micro-Components in Electronic Devices2018

    • 著者名/発表者名
      Tang Haochun、Chen Chun-Yi、Chang Tso-Fu Mark、Nagoshi Takashi、Yamane Daisuke、Konishi Toshifumi、Machida Katsuyuki、Masu Kazuya、Sone Masato
    • 雑誌名

      Journal of The Electrochemical Society

      巻: 165 号: 2 ページ: D58-D63

    • DOI

      10.1149/2.0441802jes

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26220907, KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [雑誌論文] Microgravity Generation Using Tilting Board for Resolution Evaluation of MEMS Accelerometer2018

    • 著者名/発表者名
      Motohiro Takayasu, Ippei Tsuji, Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Shiro Dosho, Toshifumi Konishi, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu
    • 雑誌名

      Sensors and Materials

      巻: 印刷中

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [雑誌論文] Enhancement in Structure Stability of Gold Micro-Cantilever by Constraints at the Fixed-End for Applications as Movable Structures of MEMS2018

    • 著者名/発表者名
      Minami Teranishi, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 雑誌名

      Microelectronics Engineering

      巻: 187-188 ページ: 105-109

    • DOI

      10.1016/j.mee.2017.11.015

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453, KAKENHI-PROJECT-26220907
  • [雑誌論文] High-Strength Electroplated Au-Cu Alloys as Micro-components in MEMS Devices2017

    • 著者名/発表者名
      Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 雑誌名

      J. Electrochemical Society

      巻: なし 号: 4 ページ: 244-247

    • DOI

      10.1149/2.141704jes

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26220907, KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [雑誌論文] Micro-bending testing of electrodeposited gold for applications as movable components in MEMS devices2017

    • 著者名/発表者名
      Asano Keisuke、Tang Hao-Chun、Chen Chun-Yi、Nagoshi Takashi、Chang Tso-Fu Mark、Yamane Daisuke、Machida Katsuyuki、Masu Kazuya、Sone Masato
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering

      巻: 180 ページ: 15-19

    • DOI

      10.1016/j.mee.2017.05.044

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26220907, KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [雑誌論文] Deformation behavior of electroplated gold composed of nano-columnar grains embedded in micro-columnar textures2017

    • 著者名/発表者名
      Yoshiba Masaharu、Chen Chun-Yi、Chang Tso-Fu Mark、Nagoshi Takashi、Yamane Daisuke、Machida Katsuyuki、Masu Kazuya、Sone Masato
    • 雑誌名

      Materials Letters

      巻: 202 ページ: 82-85

    • DOI

      10.1016/j.matlet.2017.05.066

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26220907, KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [雑誌論文] Tensile Tests of Micro-Specimens Made of Electroplated Gold2017

    • 著者名/発表者名
      Sari Yanagida, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 雑誌名

      Microelectronics Engineering

      巻: 174 ページ: 6-10

    • DOI

      10.1016/j.mee.2016.12.004

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26220907, KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [雑誌論文] A 1-mG MEMS Sensor2016

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 72 号: 3 ページ: 7-14

    • DOI

      10.1149/07203.0007ecst

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [雑誌論文] Enhancement of Mechanical Strength in Au Films Electroplated with Supercritical Carbon Dioxide2016

    • 著者名/発表者名
      Hao-chun Tang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 雑誌名

      Electrochemistry Communications

      巻: 72 ページ: 126-130

    • DOI

      10.1016/j.elecom.2016.09.019

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26220907, KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [雑誌論文] Brittle Fracture of Electrodeposited Gold Observed by Micro-Compression2016

    • 著者名/発表者名
      Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 雑誌名

      MATERIALS TRANSACTIONS

      巻: 57 号: 8 ページ: 1257-1260

    • DOI

      10.2320/matertrans.MG201612

    • NAID

      130005165710

    • ISSN
      1345-9678, 1347-5320
    • 言語
      英語
    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [雑誌論文] Structure Stability of High Aspect Ratio Ti/Au Two-Layer Cantilevers for Applications in MEMS Accelerometers2016

    • 著者名/発表者名
      Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone,
    • 雑誌名

      Microelectronics Engineering

      巻: 153 ページ: 90-93

    • DOI

      10.1016/j.mee.2016.02.054

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26220907, KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [雑誌論文] Pulse Electroplating of Ultra-Fine Grained Au Films with High Compressive Strength2016

    • 著者名/発表者名
      Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 雑誌名

      Electrochemistry Communications

      巻: 67 ページ: 51-54

    • DOI

      10.1016/j.elecom.2016.03.017

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26220907, KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [雑誌論文] Evaluation and Modeling of Adhesion Layer in Shock-Protection Structure for MEMS Accelerometer2016

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu and Katsuyuki Machida
    • 雑誌名

      Microelectronics Reliability

      巻: 66 ページ: 78-84

    • DOI

      10.1016/j.microrel.2016.09.018

    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02337, KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [雑誌論文] A Sub-1G MEMS Sensor2015

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 66

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630138
  • [雑誌論文] A Sub-1G MEMS Sensor2015

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 66 号: 5 ページ: 131-138

    • DOI

      10.1149/06605.0131ecst

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [雑誌論文] 高感度静電容量型センサにおけるBrownian Noise評価手法2015

    • 著者名/発表者名
      山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 亀井 将太, 益 一哉, 町田 克之
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)

      巻: 135 号: 4 ページ: 142-143

    • DOI

      10.1541/ieejsmas.135.142

    • NAID

      130005061970

    • ISSN
      1341-8939, 1347-5525
    • 言語
      日本語
    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630138
  • [雑誌論文] A 0.1G-to-20G Integrated MEMS Inertial Sensor2015

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 54 号: 8 ページ: 1-4

    • DOI

      10.7567/jjap.54.087202

    • NAID

      210000145523

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [雑誌論文] A dual-axis MEMS capacitive inertial sensor with high-density proof mass2015

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
    • 雑誌名

      Microsystem Technologies

      巻: 印刷中 号: 3 ページ: 459-464

    • DOI

      10.1007/s00542-015-2539-y

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630138, KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [雑誌論文] Integrated CMOS-MEMS Technology and Its Applications2014

    • 著者名/発表者名
      Katsuyuki Machida, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 61 号: 6 ページ: 21-39

    • DOI

      10.1149/06106.0021ecst

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630138
  • [産業財産権] 自壊素子が組み込まれたデバイス及び自壊素子の設計方法2020

    • 発明者名
      山根 大輔
    • 権利者名
      山根 大輔
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2020-189992
    • 出願年月日
      2020
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [産業財産権] 微細素子の製造方法及び微細素子2020

    • 発明者名
      山根 大輔,田中 有弥
    • 権利者名
      山根 大輔,田中 有弥
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2020-132954
    • 出願年月日
      2020
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [産業財産権] 微細素子とその製造方法2017

    • 発明者名
      小西敏文, 佐布晃昭, 町田克之, 山根大輔, 益 一哉
    • 権利者名
      小西敏文, 佐布晃昭, 町田克之, 山根大輔, 益 一哉
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2017-055732
    • 出願年月日
      2017-03-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [産業財産権] 微細素子およびその製造方法2017

    • 発明者名
      小西,佐布,町田,曽根,Chang,Chen,山根,益
    • 権利者名
      小西,佐布,町田,曽根,Chang,Chen,山根,益
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2017-055730
    • 出願年月日
      2017-03-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [産業財産権] "微細素子およびその製造方法2015

    • 発明者名
      小西敏文,佐布晃昭,町田克之,益 一哉,伊藤浩之,山根大輔
    • 権利者名
      小西敏文,佐布晃昭,町田克之,益 一哉,伊藤浩之,山根大輔
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2015-256285
    • 出願年月日
      2015-12-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [産業財産権] 半導体素子の構造解析装置および解析プログラム2015

    • 発明者名
      小西敏文,佐布晃昭,町田克之,益 一哉,山根大輔
    • 権利者名
      小西敏文,佐布晃昭,町田克之,益 一哉,山根大輔
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2015-186382
    • 出願年月日
      2015-09-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Enhanced sensitivity of modal interference-based strain sensing using micro dry-etched perfluorinated polymer optical fibers2023

    • 著者名/発表者名
      T. Nakanishi, R. Nakashima, C. T. Lo, H. Lee, Y. Mizuno, and D. Yamane
    • 学会等名
      36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04555
  • [学会発表] MEMSデバイスへの応用に向けた金ニッケル合金の微小機械的特性の評価2022

    • 著者名/発表者名
      秋山 拓海,簡 佑安,陳 君怡,Tso Fu Mark Chang,山根 大輔,伊藤 浩之,町田 克之,三宅 美博,曽根 正人
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] 電気回路シミュレータを用いたSAE-MEMSエナジーハーベスタ解析環境の検討2022

    • 著者名/発表者名
      永縄 卓大,川島 康介,栢口 英之,石井 久夫,田中 有弥,山根 大輔
    • 学会等名
      応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第12回集積化MEMS技術研究ワークショップ
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] 金めっき材料における機械的特性の電流密度依存性2022

    • 著者名/発表者名
      大村 太郎,Chun-Yi Chen,Tso Fu Mark Chang,山根 大輔,伊藤 浩之,町田 克之,三宅 美博,曽根 正人
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] 自己組織化エレクトレットを用いたMEMS振動発電素子の検討2022

    • 著者名/発表者名
      杉本 澪貴, 川島 康介, 栢口 英之, 石井 久夫, 田中 有弥, 山根 大輔
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] 電気二重層エレクトレットを用いた非接触型面外振動発電の検討2022

    • 著者名/発表者名
      野田 圭吾, 田村 健太郎, 三輪 一元, 小野 新平, 山根 大輔
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] Demonstration of Non-Contact Type Vibrational Energy Harvester with Electric Double Layer Electrets2021

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Tamura, Keigo Nota, Kazumoto Miwa, Shimpei Ono, and Daisuke Yamane
    • 学会等名
      The 20th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS2021)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] Micro-Mechanical Characterization of Electrodeposited Ni-Co Alloys toward Design of MEMS Components2021

    • 著者名/発表者名
      Yiming Jiang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Xun Luo, Daisuke Yamane, Masanori Mizoguchi, Osamu Kudo, Ryu Maeda, and Masato Sone
    • 学会等名
      Micro and Nano Engineering Conference 2021 (MNE2021)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] 集積化MEMS振動発電素子に関する研究2021

    • 著者名/発表者名
      山根 大輔
    • 学会等名
      電気学会 センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム/バイオ・マイクロシステム合同研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] 医用MEMSデバイス応用に向けた 微小貴金属めっき材料の機械的特性評価2021

    • 著者名/発表者名
      曽根 正人, Tso-Fu Mark Chang, 名越貴志, 町田 克之, 山根 大輔, 伊藤浩之, 益 一哉
    • 学会等名
      日本金属学会 2021年春季講演大会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] Micro-Mechanical Property Evaluation of Gold-Nickel Alloys toward Design of MEMS Components2021

    • 著者名/発表者名
      Takumi Akiyama, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone
    • 学会等名
      Micro and Nano Engineering Conference 2021 (MNE2021)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] 面内振動型Au-MEMS素子のばね構造の検討2021

    • 著者名/発表者名
      端山 航平, 川島 康介, 澤田 宗興, 田村 健太郎, 山根 大輔
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] Effect of Current Density on Mechanical Properties of Electrodeposited Gold Evaluated by Micro-Compression Test2021

    • 著者名/発表者名
      Taro Omura, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone
    • 学会等名
      Micro and Nano Engineering Conference 2021 (MNE2021)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] 金単結晶微小カンチレバーの機械的特性とサンプル形状効果2021

    • 著者名/発表者名
      藤田 一矢, 鈴木 康介, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] Mechanical Property of Gold Micro-Cantilevers for Application in Microelectronics and the Sample Geometry Effect2021

    • 著者名/発表者名
      Kazuya Fujita, Kosuke Suzuki, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone
    • 学会等名
      Micro and Nano Engineering Conference 2021 (MNE2021)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] Electrodeposited High Strength Au-TiO2 Nano Composite Film for MEMS Devices2020

    • 著者名/発表者名
      Yu-an Chien, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] A 100-nG/√Hz-Level Single Au Proof-Mass 3-axis MEMS Accelerometer with Pillar-Shaped Electrodes2020

    • 著者名/発表者名
      Takashi Ichikawa, Ken Atsumi, Tatsuya Koga, Daisuke Yamane, Shin-ichi Iida, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu
    • 学会等名
      Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS(DTIP2020)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] A Gold Proof-Mass Differential MEMS Accelerometer for Micro-G Level Sensing2020

    • 著者名/発表者名
      Tatsuya Koga, Takashi Ichikawa, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Noboru Ishihara, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu
    • 学会等名
      The 7th IEEE International Symposium on Inertial Sensors & Systems (INERTIAL 2020)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] 外付エレクトレット型MEMSエナジーハーベスタの小型化の検討2020

    • 著者名/発表者名
      川島 康介, 澤田 宗興, 田村 健太郎, 端山 航平, 山根 大輔
    • 学会等名
      令和2年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] Effects of Sample Geometry and Grain Size on Mechanical Property of Electrodeposited Gold Evaluated By Micro-Bending Test2020

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Suzuki, Yu-An Chien, Ken Hashigata, Keisuke Asano, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu and Masato Sone
    • 学会等名
      PRiME 2020 (ECS, ECSJ, & KECS Joint Meeting)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] ピラー型電極を用いた単一錘3軸MEMS加速度センサの検討2020

    • 著者名/発表者名
      渥美 賢, 古賀 達也, 市川 崇志, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] ピラー型電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの感度均一化の検討2020

    • 著者名/発表者名
      市川 崇志, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] Electrodeposition of Au-Cu Alloys and the Micro-Mechanical Properties2020

    • 著者名/発表者名
      Tso-Fu Mark Chang, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      237th ECS Meeting with the 18th International Meeting on Chemical Sensors (IMCS 2020)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] Au-Pd合金膜の電気メッキとその機械的特性2020

    • 著者名/発表者名
      入谷 友樹, 新田京太朗, Yu-An Chien, Tso-Fu Mark Chang, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] Electrodepostion of Au-Cu Alloy Micro-Cantilevers and the Young’s modulus by Resonance Frequency Method2019

    • 著者名/発表者名
      Kyotaro Nitta, Hao-chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      MRS Fall Meeting 2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] Mechanical properties of gold micro-cantilevers with different thickness evaluated by micro-bending test2019

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Suzuki, Ken Hashigata, Keisuke Asano, Chun-Yi Chen, Takanshi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      The 2nd International Conference on Material Strength and Applied Mechanics (MSAM 2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] Extensive Sensitivity Enhancement in Stacked Capacitive Tactile Sensors2019

    • 著者名/発表者名
      Yu-Hao Jen, Chia-Tso Mo, Kean Aw, Daisuke Yamane, Cheng-Yao Lo
    • 学会等名
      IEEE Sensors 2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] 3Dピラー型Au錘MEMS加速度センサ2019

    • 著者名/発表者名
      市川 崇志, 乙部 翔太, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] 微弱筋音計測に向けた高分解能MEMS慣性センサモジュールの検討2019

    • 著者名/発表者名
      古賀 達也, 市川 崇志, 田中 直登, 緒方 大樹, 大良 宏樹, 山根 大輔, 石原 昇, 伊藤 浩之, 曽根 正人, 町田 克之, 三宅 美博, 益 一哉
    • 学会等名
      第11回集積化MEMSシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] 積層メタル技術で作製したMEMS加速度センサの衝撃特性評価2019

    • 著者名/発表者名
      市川 崇志, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 石原 昇, 伊藤 浩之, Chang Tso-Fu Mark, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      第11回集積化MEMSシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] Shock Characteristics of MEMS Inertial Sensors Developed by Ti/Au Multi-Layer Metal Technology2019

    • 著者名/発表者名
      Takashi Ichikawa, Tatsuya Koga, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Noboru Ishihara, Hiroyuki Ito, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
    • 学会等名
      32nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] Effects of Fixed End Structure on Temperature Dependence of Structure Stability of Ti/Au Micro-Cantilever toward MEMS Applications2019

    • 著者名/発表者名
      Hitomi Watanabe, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Shinichi Iida, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      45th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] Sample Geometry Effect on Mechanical Property of Electrodeposited Gold Evaluated by Micro-Bending Test2019

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Suzuki, Ken Hashigata, Keisuke Asano, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      45th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] Mechanical properties of electrodeposited gold-copper alloy by micro-compression test2019

    • 著者名/発表者名
      Masato Sone, Hao-Chun Tang, Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Takanshi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
    • 学会等名
      The 2nd International Conference on Material Strength and Applied Mechanics (MSAM 2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] High-Sensitivity Inertial Sensor Module to Measure Hidden Micro Muscular Sounds2019

    • 著者名/発表者名
      Tatsuya Koga, Takashi Ichikawa, Naoto Tanaka, Taiki Ogata, Hiroki Ora, Daisuke Yamane, Noboru Ishihara, Hiroyuki Ito, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Yoshihiro Miyake, Kazuya Masu
    • 学会等名
      IEEE Biomedical Circuits and Systems Conference 2019 (BioCAS2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] Pillar-Shaped Electrodes for 3-axis Gold-Proof-Mass MEMS Capacitive Accelerometers2019

    • 著者名/発表者名
      Ken Atsumi, Shota Otobe, Tatsuya Koga, Takashi Ichikawa, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
    • 学会等名
      Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS(DTIP2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] Fabrication of Au-Cu Alloy/Ti Layered Micro-Cantilevers and the Long-Term Structure Stability2019

    • 著者名/発表者名
      Kyotaro Nitta, Hao-chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      IEEE Sensors 2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] High Structure Stability Ti/Au Multiple Layer Micro-Cantilever and the Temperature Dependence2019

    • 著者名/発表者名
      Hitomi Watanabe, Takuma Suzuki, Chun-Yi Chen, Takanshi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      The 2nd International Conference on Material Strength and Applied Mechanics (MSAM 2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] Electrodeposition of TiO2 Nanoparticle Reinforced High Strength Au Film for MEMS Applications2019

    • 著者名/発表者名
      Yu-An Chien, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      45th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] Au錘3軸MEMS加速度センサのためのSCD電極の検討 (2)2019

    • 著者名/発表者名
      市川 崇志, 乙部 翔太, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 曽根 正人, 益 一哉
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] Electroplating of Au-Pd Alloy Films and the Mechanical Properties2019

    • 著者名/発表者名
      Tomoki Iriya, Kyotaro Nitta, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      International Thin Films Conference (TACT 2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] Micro-Mechanical Properties of Electrodeposited Au-TiO2 Composite Film2019

    • 著者名/発表者名
      Yu-An Chien, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      MRS Fall Meeting 2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] High-Sensitivity Capacitive Tactile Sensor with Vertically Stacked Hollow Structures2019

    • 著者名/発表者名
      Cheng-Yao Lo, Daisuke Yamane
    • 学会等名
      The 4th International Symposium on Biomedical Engineering
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] 3軸Au錘MEMS加速度センサにおける検出電極構造の検討2019

    • 著者名/発表者名
      市川 崇志, 新島 宏文, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      令和元年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] Fabrication and Evaluation of Au-Cu Alloy 3D Structures toward MEMS Movable Components2019

    • 著者名/発表者名
      Kyotaro Nitta, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      45th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05232
  • [学会発表] 電解めっき法によるMEMS用金銅合金の作製及び機械的特性評価2018

    • 著者名/発表者名
      唐 浩峻, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 電解めっき法によるTi/Au微小カンチレバーのヤング率評価2018

    • 著者名/発表者名
      中島 英亮, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 益 一哉, 曽根 正人
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 電析制御による微小金カンチレバーの曲げ特性の改善2018

    • 著者名/発表者名
      浅野 啓介, 唐 浩峻, Chun-Yi Chen, 名越 貴志, Tso-Fu Mark Chang, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Structure Stability of Electrodeposited Au-Cu Alloy Micro-Cantilever Evaluated By Long-Term Vibration Test for Applications As Movable Components in MEMS Devices2018

    • 著者名/発表者名
      Kyoutarou Nitta, Koichiro Tachibana, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
    • 学会等名
      233rd ECS Meeting
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Temperature Characteristics of MEMS Inertial Sensor Fabricated by Gold Multi-Layer Metal Technology2018

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Shin-ichi Iida, Takuma Suzuki, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
    • 学会等名
      13th Annual IEEE International Conference on Nano-Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Enhanced Mechanical Strength of Ti-Au Bi-Layered Micro-Cantilever For MEMS Accelerometers2018

    • 著者名/発表者名
      Ken Hashigata, Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 長期振動試験によるAu-Cu合金微小カンチレバーの構造安定性2018

    • 著者名/発表者名
      新田 京太朗, 橘 航一朗, Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Electroplating of Gold on Titanium Substrate: Method to Deposit Defect-Free Film2018

    • 著者名/発表者名
      Ken Hashigata, Hao-Chun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      22nd Topical Meeting of the International Society of Electrochemistry
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 積層メタル技術で作製したMEMS慣性センサのモジュール化の検討(2)2018

    • 著者名/発表者名
      古賀 達也, 高安 基大, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 小西 敏文, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサの封止環境における温度依存性2018

    • 著者名/発表者名
      小西 敏文, 山根 大輔, 佐布 晃昭, 陳 君怡, Chang Tso-Fu Mark, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉, 飯田 慎一
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] A Study on Tri-Axis Fully-Differential Electrodes for MEMS Accelerometer With Segmented Capacitance Detection2018

    • 著者名/発表者名
      Shota Otobe, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
    • 学会等名
      Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2018 (APCOT 2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 集積化CMOS-MEMS技術による高感度慣性センサと応用システム2018

    • 著者名/発表者名
      伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 曽根 正人, 三宅 美博, 益 一哉
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 単一Au錘3軸差動MEMS加速度センサの検討2018

    • 著者名/発表者名
      新島 宏文, 乙部 翔太, 高安 基大, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 佐布 晃昭, 小西 敏文, 道正 志郎, 飯田 慎一, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      平成30年電気学会全国大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 傾斜を用いた1mG MEMS加速度センサの分解能評価の検討2018

    • 著者名/発表者名
      高安 基大, 古賀 達也, 辻 一平, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 道正 志郎, 小西 敏文, 飯田 慎一, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      平成30年電気学会全国大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 高感度MEMS加速度センサのBrownian Noise評価に関する検討2018

    • 著者名/発表者名
      新島 宏文, 乙部 翔太, 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Pulse Current Electrodeposition of Ultrahigh Strength of Nanocrystalline Au-Cu Alloys2018

    • 著者名/発表者名
      Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      22nd Topical Meeting of the International Society of Electrochemistry
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] MEMS加速度センサ用高分解能容量検出回路2017

    • 著者名/発表者名
      高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 石原 昇, 益 一哉
    • 学会等名
      第78応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Micro-Mechanical Property Enhancement of Metals Electroplated in Electrolyte Containing Supercritical CO22017

    • 著者名/発表者名
      Tso-Fu Mark Chang, Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 静電容量型MEMSセンサにおけるブラウニアン・ノイズ評価手法の検討(2)2017

    • 著者名/発表者名
      新島 宏文, 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Micro-Mechanical Property Evaluation of Electroplated Au/Cu Alloys toward Applications in MEMS Accelerometers2017

    • 著者名/発表者名
      Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      21th International Conference on Solid State Ionics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Mechanical Strengthening of Gold Micro-Cantilever by Control of Electroplating Conditions2017

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Asano, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] A Tri-axis MEMS Accelerometer With a Gold Electroplated Single-proof-mass and Segmented Electrodes2017

    • 著者名/発表者名
      Shota Otobe, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
    • 学会等名
      2017 Int'l Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Electrochemical Plating of Au-Cu Alloy Films for MEMS Sensor Applications2017

    • 著者名/発表者名
      Chun-Yi Chen, Tang Hao-Chun, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      RACI National Centenary Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Ultrahigh Strength in Electroplated Nanocrystalline Au-Cu Alloys Evaluated by Micro-Compression Tests2017

    • 著者名/発表者名
      Hao-chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      2017 MRS Fall Meeting
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 金めっきで形成したMEMS加速度センサの長期振動特性に関する検討2017

    • 著者名/発表者名
      山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 橘 航一朗, 寺西 美波, 陳 君怡, Tso-Fu Mark Chang, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      第78応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] MEMS慣性センサ用弛張発振型容量検出回路2017

    • 著者名/発表者名
      高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 石原 昇, 益 一哉
    • 学会等名
      第9回集積化MEMSシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサにおける粘性定数の検討2017

    • 著者名/発表者名
      小西 敏文, 山根 大輔, 佐布 晃昭, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Temperature Structure Stability of Multi-Ti/Au-Layered Micro-Cantilever2017

    • 著者名/発表者名
      Takuma Suzuki, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Young’s Modulus Evaluation of Ti/Au Micro-Cantilevers by Au Electrodeposition2017

    • 著者名/発表者名
      Hideaki Nakajima, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 非侵襲性高感度医用デバイスのための貴金属材料の作製とその材料評価2017

    • 著者名/発表者名
      曽根 正人, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      第63回 国立大学共同利用・共同研究拠点 知の拠点セミナー
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Tilt Characteristics of a MEMS Accelerometer fabricated by Multi-layer Metal Technology2017

    • 著者名/発表者名
      Ippei Tsuji, Motohiro Takayasu, Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Shiro Dosho, Toshifumi Konishi, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
    • 学会等名
      2017 Int'l Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Temperature Dependence on Package Sealing Ambient of MEMS Sensor Fabricated by Gold Electroplating2017

    • 著者名/発表者名
      Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Teruaki Safu, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Shinichi Iida
    • 学会等名
      The 30th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Defect-Free and Uniform Electroplating of Gold on Titanium Surface for Design of MEMS Components2017

    • 著者名/発表者名
      Ken Hashigata, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      TACT2017 International Thin Films Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] MEMS 加速度センサ用高分解能容量検出回路の評価2017

    • 著者名/発表者名
      高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 石原 昇, 益 一哉
    • 学会等名
      第8回集積化MEMS技術研究ワークショップ
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Enahnced Bending Strength of Electrodeposited Pure Gold Canrilevers in Micro-Bending Test2017

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Asano, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      43rd Micro and Nano Engineering (MNE2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 積層メタル技術によるTi/Auマイクロカンチレバーの疲労特性の検討2017

    • 著者名/発表者名
      橘 航一朗, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Strategies of Mechanical Strengthening in Electroplated Au Materials2017

    • 著者名/発表者名
      Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 積層メタル技術によるTi/Auめっき構造体のヤング率評価(2)2017

    • 著者名/発表者名
      中島 英亮, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 積層メタル技術による3軸MEMS加速度センサのばね定数設計方法2017

    • 著者名/発表者名
      佐布 晃昭, 小西 敏文, 山根 大輔, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Sub-1mG Inertial Sensors by Multi-layer Metal Technology2017

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
    • 学会等名
      IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Material Design of High Strength Electroplated Gold Alloy toward High-Sensitive MEMS Accelerometers2017

    • 著者名/発表者名
      Masato Sone, Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
    • 学会等名
      IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 3軸MEMS加速度センサにおける単一Au錘および電極分割方式の検討2017

    • 著者名/発表者名
      乙部 翔太, 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Preparation and Characterization of Au-Cu Alloy Films for MEMS Accelerometer2017

    • 著者名/発表者名
      Chun-Yi Chen, Tang Hao-Chun, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    • 学会等名
      21st Topical Meeting of the International Society of Electrochemistry
    • 発表場所
      Szeged, Hungary
    • 年月日
      2017-04-23
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] A Capacitive Sensor Circuit Based on Relaxation Oscillator for Sub-1mG MEMS Inertial Sensors2017

    • 著者名/発表者名
      Motohiro Takayasu, Shiro Dosho, Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara, Kazuya Masu
    • 学会等名
      2017 Int'l Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] FEM Simulation on Structure Stability of Ti/Au Multi-Layered Cantilevers with Various Dimensions for Applications as Movable Structures in MEMS Devices2017

    • 著者名/発表者名
      Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      21th International Conference on Solid State Ionics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Long-Term Vibration Characteristics of MEMS Inertial Sensors by Multi-Layer Metal Technolog2017

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Koichiro Tachibana, Minami Teranishi, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
    • 学会等名
      The 19th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2017)
    • 発表場所
      Kaohsiung Exhibition Center, Kaohsiung, Taiwan
    • 年月日
      2017-06-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Temperature Dependence of Structure Stability of Ti/Au Micro-Cantilever Fabricated by Multi-Layer Metal Technology2017

    • 著者名/発表者名
      Takuma Suzuki, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      2017 MRS Fall Meeting
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Preparation and Characterization of Au-Cu Alloy Films for MEMS Accelerometer2017

    • 著者名/発表者名
      Chun-Yi Chen, Tang Hao-Chun, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      21st Topical Meeting of the International Society of Electrochemistry
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 積層メタル技術によるMEMS加速度センサの傾斜時感度特性の検討2017

    • 著者名/発表者名
      古賀達也, 辻 一平, 高安 基大, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 道正 志郎, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      第9回集積化MEMSシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 発振型容量検出回路を用いたAu錘CMOS-MEMS加速度センサの検討2017

    • 著者名/発表者名
      折原 恒祐, 高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] A Study on Young’s Modulus of Electroplated Gold Cantilevers for MEMS Devices2017

    • 著者名/発表者名
      Hideaki Nakajima, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Masato Sone, Kazuya Masu
    • 学会等名
      12th Annual IEEE Int. Conf. on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Long-Term Vibration Test and Structure Stability of Ti/Au Micro-Cantilever as MEMS Components2017

    • 著者名/発表者名
      Koichiro Tachibana, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 積層メタルMEMS慣性センサの長期振動特性評価2017

    • 著者名/発表者名
      山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 橘 航一朗, 寺西 美波, 陳 君怡, Tso-Fu Mark Chang, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      第9回集積化MEMSシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Structure Stability Enhancement of Gold Micro-Cantilever with a Constrained at Top and Bottom of the Fixed-End2017

    • 著者名/発表者名
      Minami Teranishi, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      43rd Micro and Nano Engineering (MNE2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 移動体制御による慣性センサ評価系の構築2017

    • 著者名/発表者名
      權田 惇晟, 高安 基大, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 小西 敏文, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] A Novel Tri-Axis MEMS Accelerometer with a Single Au Proof Mass and Fully Differential Sensing Electrodes2017

    • 著者名/発表者名
      Hirofumi Niijima, Motohiro Takayasu, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
    • 学会等名
      The 30th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサの構造設計のための粘性定数モデルの検討2017

    • 著者名/発表者名
      小西 敏文, 山根 大輔, 佐布 晃昭, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
    • 学会等名
      第9回集積化MEMSシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Long-Term Vibration Testing of Ti/Au Micro-Cantilever Fabricated by Multi-Layer Metal Technology2017

    • 著者名/発表者名
      Koichiro Tachibana, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      2017 MRS Fall Meeting
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 積層メタル技術によるMEMS慣性センサの傾斜時感度特性の検討2017

    • 著者名/発表者名
      古賀達也, 辻 一平, 高安 基大, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 道正 志郎, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      第9回集積化MEMSシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] MEMS inertial sensors for biomedical applications2017

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Yoshihiro Miyake, Kazuya Masu
    • 学会等名
      12th Annual IEEE Int. Conf. on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2017)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Mechanical Property Anisotropy of Pure Gold Evaluated by Micro-compression Test2017

    • 著者名/発表者名
      Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      43rd Micro and Nano Engineering (MNE2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 積層メタル技術によるTi/Auめっき構造体のヤング率評価(1)2017

    • 著者名/発表者名
      山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 中島 英亮, 寺西 美波, 陳 君怡, Tso-Fu Mark Chang, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Electroplated Au-based Materials with High Micro-mecchanical Properties as MEMS accelerometer Components2017

    • 著者名/発表者名
      Chun-Yi Chen, Hao-Chun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      21th International Conference on Solid State Ionics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Long-Term Vibration Characteristics of MEMS Inertial Sensors by Multi-Layer Metal Technology2017

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Koichiro Tachibana, Minami Teranishi, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
    • 学会等名
      The 19th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 積層メタル技術を用いたMEMS加速度センサの傾斜計応用の検討2017

    • 著者名/発表者名
      辻 一平, 高安 基大, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 道正 志郎, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      第9回集積化MEMSシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 積層メタル技術を用いた高感度MEMS慣性センサの傾斜計応用の検討2017

    • 著者名/発表者名
      辻 一平, 高安 基大, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 道正 志郎, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      第78応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 積層メタル技術によるTi/Auマイクロカンチレバーの温度依存性のシミュレーションの検討2017

    • 著者名/発表者名
      鈴木 拓真, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 積層メタル技術で作製したMEMS慣性センサのモジュール化の検討2017

    • 著者名/発表者名
      高安 基大, 權田 惇晟, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 小西 敏文, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Effects of Bi-Layered Au/Ti Structure on Mechanical Properties of Micro-Cantilever Evaluated by Micro-Bending Test Toward Applications in MEMS Devices2017

    • 著者名/発表者名
      Ken Hashigata, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      43rd Micro and Nano Engineering (MNE2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 積層メタル技術を用いた高感度MEMS 傾斜計の検討2017

    • 著者名/発表者名
      辻 一平, 高安 基大, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      第8回集積化MEMS技術研究ワークショップ
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Enhancement of Mechanical Properties in Au Films Electroplated with Supercritical Carbon Dioxide2016

    • 著者名/発表者名
      Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      42nd Micro and Nano Engineering (MNE2016)
    • 発表場所
      the Reed Messe Wien Exhibition & Congress Center, Vienna, Austria
    • 年月日
      2016-09-19
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Pulse Electroplating of Ultra-Fine Grained Au Films with High Strength for Micro-Electrical-Mechanical System Devices2016

    • 著者名/発表者名
      Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      ISE - Topical Meeting
    • 発表場所
      Auckland, New Zealand
    • 年月日
      2016-04-17
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 積層メタル構造を用いた MEMS 加速度センサのストッパーのロバスト性検討2016

    • 著者名/発表者名
      小西敏文, 山根大輔, 佐布晃昭, 年吉 洋, 曽根正人, 益 一哉, 町田克之
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学 大岡山キャンパス、東京都目黒区
    • 年月日
      2016-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 微小引張試験片を用いたMEMS 用金めっき材料の機械的特性の評価2016

    • 著者名/発表者名
      柳田 佐理, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chu-Yi, 名越 貴志, 山根 大輔, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人
    • 学会等名
      第33回センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム
    • 発表場所
      平戸文化センター, 長崎県平戸市
    • 年月日
      2016-10-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Preparation and Characterization of Gold Films by Electroplating with Supercritical Carbon Dioxide2016

    • 著者名/発表者名
      Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      ISE - Topical Meeting
    • 発表場所
      Auckland, New Zealand
    • 年月日
      2016-04-17
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Study of Gold Electroplating by Constant and Pulse Current Method with Non-Cyanide Gold Sulfite Electrolyte2016

    • 著者名/発表者名
      Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      ISE - Topical Meeting
    • 発表場所
      Auckland, New Zealand
    • 年月日
      2016-04-17
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] CMOS-MEMS慣性センサにおける機械的ノイズの解析手法2016

    • 著者名/発表者名
      小西 敏文, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      新潟県新潟市 朱鷺メッセ
    • 年月日
      2016-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 1mG以下検出へ向けた積層メタルMEMS加速度センサの基礎検討2016

    • 著者名/発表者名
      山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      新潟県新潟市 朱鷺メッセ
    • 年月日
      2016-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Sub-1G検出へ向けた積層メタル3軸加速度センサの基礎検討2016

    • 著者名/発表者名
      山根大輔, 小西敏文, 年吉 洋, 益 一哉, 町田克之
    • 学会等名
      電子情報通信学会2016年総合大会
    • 発表場所
      九州大学伊都キャンパス、福岡県福岡市
    • 年月日
      2016-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Mechanical Behaviour of Electroplated Gold Evaluated by Micro-Tensile Test for Application in MEMS Accelerometer2016

    • 著者名/発表者名
      Sari Yanagida, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      42nd Micro and Nano Engineering (MNE2016)
    • 発表場所
      the Reed Messe Wien Exhibition & Congress Center, Vienna, Austria
    • 年月日
      2016-09-19
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 微小電子機械システムのための超臨界流体を用いた金属皮膜形成技術2016

    • 著者名/発表者名
      曽根 正人, Tso-Fu Mark Chang, Chun-yi Chen, 山根 大輔, 益 一哉, 町田 克之
    • 学会等名
      第6回CSJ化学フェスタ
    • 発表場所
      タワーホール船堀, 東京
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] A Study of Railroad Vehicle Control by Inertial Sensors2016

    • 著者名/発表者名
      Motohiro Takayasu, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Masakazu Sonobe, Takumi Kobayashi, Yamato Fukuta, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
    • 学会等名
      11th World Congress on Railway Research
    • 発表場所
      Milan, Italy
    • 年月日
      2016-05-29
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 微小曲げ試験による金めっきで作製した微小カンチレバーの機械的特性評価2016

    • 著者名/発表者名
      浅野 啓介, 唐 浩峻, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 名越 貴志, 山根 大輔, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人
    • 学会等名
      第33回センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム
    • 発表場所
      平戸文化センター, 長崎県平戸市
    • 年月日
      2016-10-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] RC発振器型高感度容量検出回路2016

    • 著者名/発表者名
      高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 石原 昇, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      第8回集積化MEMSシンポジウム
    • 発表場所
      平戸文化センター, 長崎県平戸市
    • 年月日
      2016-10-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 積層メタル技術によるMEMS加速度センサのばね定数設計方法2016

    • 著者名/発表者名
      佐布 晃昭, 小西 敏文, 山根 大輔, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之
    • 学会等名
      第8回集積化MEMSシンポジウム
    • 発表場所
      平戸文化センター, 長崎県平戸市
    • 年月日
      2016-10-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 高感度MEMS 加速度センサー用金電気めっきの変形挙動 および強度の結晶方位依存性評価2016

    • 著者名/発表者名
      葭葉 将治, Chen Chun-Yi, 名越 貴志, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人
    • 学会等名
      第33回センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム
    • 発表場所
      平戸文化センター, 長崎県平戸市
    • 年月日
      2016-10-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] マイクロ曲げ試験による電析金薄膜の機械的特性評価2016

    • 著者名/発表者名
      浅野啓介, 唐 浩峻, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根大輔, 町田克之, 益 一哉, 曽根正人
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学 大岡山キャンパス、東京都目黒区
    • 年月日
      2016-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Controllable Mechanical Properties of Au Films by Pulse Electroplating for MEMS Accelerometer2016

    • 著者名/発表者名
      Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      42nd Micro and Nano Engineering (MNE2016)
    • 発表場所
      the Reed Messe Wien Exhibition & Congress Center, Vienna, Austria
    • 年月日
      2016-09-19
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 積層メタル差動型MEMS加速度センサの基礎検討2016

    • 著者名/発表者名
      山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      新潟県新潟市 朱鷺メッセ
    • 年月日
      2016-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] RC発振器型容量検出回路の高感度化の検討2016

    • 著者名/発表者名
      高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 石原 昇, 山根 大輔, 益 一哉
    • 学会等名
      電子情報通信学会ソサイエティ大会
    • 発表場所
      北海道大学札幌キャンパス, 北海道
    • 年月日
      2016-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Electroplated Gold Materials with Enhanced Mechanical Strength by Multi-Layered Structure2016

    • 著者名/発表者名
      Yota Ishizuka, Sari Yanagida, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      ISE - Topical Meeting
    • 発表場所
      Auckland, New Zealand
    • 年月日
      2016-04-17
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 差動型積層メタルMEMS加速度センサの検討2016

    • 著者名/発表者名
      山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
    • 学会等名
      第8回集積化MEMSシンポジウム
    • 発表場所
      平戸文化センター, 長崎県平戸市
    • 年月日
      2016-10-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Electrodeposited Gold for Next Generation MEMS Accelerometer Toward Medical Applications2016

    • 著者名/発表者名
      Masato Sone, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
    • 学会等名
      Integrative Biology-2016
    • 発表場所
      Berlin, Germany
    • 年月日
      2016-07-18
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] A Design of Spring Constant Arranged for MEMS Accelerometer by Multi-layer Metal Technology2016

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
    • 学会等名
      IEEE NEMS 2016
    • 発表場所
      Matsushima Bay and Sendai, Miyagi, Japan
    • 年月日
      2016-04-17
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 電解金めっきで作製した Ti/Au 微小カンチレバーの構造安定性2016

    • 著者名/発表者名
      寺西美波, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 小西敏文, 町田克之, 年吉 洋, 山根大輔, 益 一哉, 曽根 正人
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学 大岡山キャンパス、東京都目黒区
    • 年月日
      2016-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] A Novel Noise Analysis Method with Multi-physics Simulation for Capacitive CMOS-MEMS Inertial Sensor System2016

    • 著者名/発表者名
      Toshifumi Konishi,Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
    • 学会等名
      2016 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2016)
    • 発表場所
      Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Japan
    • 年月日
      2016-09-26
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Enhanced mechanical property of metallic films with supercritical carbon dioxide for micro-electrical-mechanical system accelerometer2016

    • 著者名/発表者名
      Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      The 15th Symposium on Development of Supercritical Fluid Technology and Application and The 2nd International Workshop on Supercritical Fluid Dyeing Technology
    • 発表場所
      Kaohsiung, Taiwan
    • 年月日
      2016-09-08
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] マルチフィジクスシミュレーションを用いたCMOS-MEMS慣性センサのノイズ解析手法2016

    • 著者名/発表者名
      小西 敏文, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
    • 学会等名
      第8回集積化MEMSシンポジウム
    • 発表場所
      平戸文化センター, 長崎県平戸市
    • 年月日
      2016-10-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 小型高感度MEMS慣性センサモジュールの試作評価2016

    • 著者名/発表者名
      高安 基大, 權田 惇晟, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      LSIとシステムのワークショップ
    • 発表場所
      東京大学 生産技術研究所 総合研究実験棟(An棟) 2階 コンベンションホール
    • 年月日
      2016-05-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] マイクロ圧縮試験による MEMS 用金電気めっきの機械的特性の評価2016

    • 著者名/発表者名
      葭葉将治, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根大輔, 町田克之, 益 一哉, 曽根正人
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学 大岡山キャンパス、東京都目黒区
    • 年月日
      2016-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] High Mechanical Strength in Gold Films Electroplated with Supercritical Carbon Dioxide for MEMS Applications2016

    • 著者名/発表者名
      Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      新潟県新潟市 朱鷺メッセ
    • 年月日
      2016-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Mechanical Characteristics of Structure Stability with Ti/Au Micro-Cantilevers Formed by Au Electroplating2016

    • 著者名/発表者名
      Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      ISE - Topical Meeting
    • 発表場所
      Auckland, New Zealand
    • 年月日
      2016-04-17
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Application of Supercritical Carbon Dioxide in Electroplating of Gold Materials Used in MEMS Devices2016

    • 著者名/発表者名
      Haochun Tang,Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学 大岡山キャンパス、東京都目黒区
    • 年月日
      2016-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 高感度MEMS加速度センサーのための金めっき材料の合成とその機械的特性評価2016

    • 著者名/発表者名
      曽根 正人, Tso-Fu Mark Chang, 陳 君怡, 山根 大輔, 益 一哉, 町田 克之
    • 学会等名
      日本学術振興会・第172委員会
    • 発表場所
      物質・材料研究機構, 茨城県つくば市
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 積層メタル技術によるMEMS加速度センサを用いた慣性センサモジュールの検討2016

    • 著者名/発表者名
      權田 惇晟, 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      第8回集積化MEMSシンポジウム
    • 発表場所
      平戸文化センター, 長崎県平戸市
    • 年月日
      2016-10-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Sub-1mG検出へ向けた積層メタルMEMS慣性センサ2016

    • 著者名/発表者名
      山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
    • 学会等名
      第8回集積化MEMSシンポジウム
    • 発表場所
      平戸文化センター, 長崎県平戸市
    • 年月日
      2016-10-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Sub-1G 検出へ向けた CMOS-MEMS 加速度センサの検討2016

    • 著者名/発表者名
      山根大輔, 小西敏文, 伊藤浩之, 年吉 洋, 益 一哉, 町田克之
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学 大岡山キャンパス、東京都目黒区
    • 年月日
      2016-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Fine Grained Au Films with Controllable Mechanical Strength by Pulse Plating2016

    • 著者名/発表者名
      Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      The 2016 PRiME Meeting
    • 発表場所
      Hawaii, USA
    • 年月日
      2016-10-02
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] A 1-mG MEMS Sensor2016

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
    • 学会等名
      229th ECS Meeting
    • 発表場所
      San Diego, CA, USA
    • 年月日
      2016-05-29
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] A Damping Constant Model for Proof-Mass Structure Design of MEMS Inertial Sensor by Multi-Layer Metal Technology2016

    • 著者名/発表者名
      Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Teruaki Safu, Masato Sone, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
    • 学会等名
      IEEE Sensors 2016
    • 発表場所
      Orland, FL, USA
    • 年月日
      2016-10-30
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] A Novel MEMS Inertial Sensor With Out-of-plane Differential Sensing Structure By Multi-layer Metal Technology2016

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Hiroshi Toshiyohi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
    • 学会等名
      Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2016)
    • 発表場所
      Kanazawa, Japan
    • 年月日
      2016-06-26
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] A Spring Design for Tri-axis MEMS Accelerometer by Multi-layer Metal Technology2016

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
    • 学会等名
      2016 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2016)
    • 発表場所
      Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Japan
    • 年月日
      2016-09-26
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 積層メタル技術によるMEMS加速度センサのばね定数設計方法(I)2016

    • 著者名/発表者名
      佐布 晃昭, 小西 敏文, 山根 大輔, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      新潟県新潟市 朱鷺メッセ
    • 年月日
      2016-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] マイクロ圧縮試験による金 / チタン積層構造の機械的特性評価2016

    • 著者名/発表者名
      石塚陽大, 柳田佐理, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 小西敏文, 町田克之, 年吉 洋, 山根大輔, 益 一哉, 曽根正人
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学 大岡山キャンパス、東京都目黒区
    • 年月日
      2016-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Micro-Bending Tests of Pure Gold Cantilevers for Applications as Movable Components in MEMS Devices2016

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Asano, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      42nd Micro and Nano Engineering (MNE2016)
    • 発表場所
      the Reed Messe Wien Exhibition & Congress Center, Vienna, Austria
    • 年月日
      2016-09-19
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Young’s modulus evaluation of electroplated Ti/Au structures for MEMS devices2016

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hideaki Nakajima, Minami Teranishi, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
    • 学会等名
      29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2016)
    • 発表場所
      ANA Crowne Plaza Kyoto, Kyoto, Japan
    • 年月日
      2016-11-08
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] A MEMS Inertia Sensor with Brownian Noise of Below 50 nG/Hz^1/2 by Multi-Layer Metal Technology2016

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
    • 学会等名
      IEEE Inertial Sensors 2016
    • 発表場所
      Laguna Beach, California, USA
    • 年月日
      2016-02-23
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Pulse Electroplating of Au Films with Ultra High Strength2016

    • 著者名/発表者名
      Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Hao-Chun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      229th ECS Meeting
    • 発表場所
      San Diego, CA, USA
    • 年月日
      2016-05-29
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Development of High Sensitivity CMOS-MEMS Inertia Sensor and its Application to Early-Stage Diagnosis of Parkinson's Disease2016

    • 著者名/発表者名
      Kazuya Masu, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Masato Sone, Yoshihiro Miyake
    • 学会等名
      the 46th European Solid-State Device Re-search Conference (ESSDERC)
    • 発表場所
      Swisstech Convention Centre, Lausanne, Switzerland
    • 年月日
      2016-09-12
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] CMOS低雑音オペアンプ設計法の検討2016

    • 著者名/発表者名
      劉安琪, 小西敏文, 山根大輔, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 町田克之, 益 一哉
    • 学会等名
      電子情報通信学会2016年総合大会
    • 発表場所
      九州大学伊都キャンパス、福岡県福岡市
    • 年月日
      2016-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] High Strength Au film Fabricated by Advanced Electrochemical Technique in Supercritical CO2 Emulsified Electrolyte for MEMS Accelerometers2016

    • 著者名/発表者名
      Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Hao-Chun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    • 学会等名
      2nd International Conference and Expo on Separation Techniques
    • 発表場所
      Valencia, Spain
    • 年月日
      2016-09-26
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Electroplated Gold Materials with Enhanced Mechanical Strength by Multi-Layered Struct2016

    • 著者名/発表者名
      Yota Ishizuka, Sari Yanagida, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      ISE - Topical Meeting
    • 発表場所
      Auckland, New Zealand
    • 年月日
      2016-04-17
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 電解金めっき法により作製した金/チタン積層構造を有する微小カンチレバーの構造安定性の評価2016

    • 著者名/発表者名
      寺西 美波, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人
    • 学会等名
      第33回センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム
    • 発表場所
      平戸文化センター, 長崎県平戸市
    • 年月日
      2016-10-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] High Mechanical Strength Gold Micro-Components Fabricated by Pulse Electroplating2015

    • 著者名/発表者名
      Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      41st Micro and Nano Engineering (MNE2015)
    • 発表場所
      Hague, Netherlands
    • 年月日
      2015-09-21
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 電解金めっきで作製した微小カンチレバーの形状安定性評価2015

    • 著者名/発表者名
      寺西美波, Chang Tso-Fu Mark, 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 伊藤浩之, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉, 曽根正人
    • 学会等名
      平成27年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会
    • 発表場所
      九州大学医学部百年講堂、福岡県福岡市
    • 年月日
      2015-07-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] ゲイン制御型CMOS-MEMS加速度センサ回路の検討2015

    • 著者名/発表者名
      小西敏文, 山根大輔, 高安基大, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 益 一哉, 年吉 洋, 町田克之
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場 愛知県名古屋市
    • 年月日
      2015-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Compression Deformation of Micro-components Fabricated by FIB from Gold Electrodeposited Films2015

    • 著者名/発表者名
      Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      International Symposium for Advanced Materials Research (ISAMR 2015)
    • 発表場所
      Sun Moon Lake, Taiwan
    • 年月日
      2015-08-16
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Micro-Mechanical Properties of Electrodeposited Gold Thin Films2015

    • 著者名/発表者名
      Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      TACT 2015 International Thin Films Conference
    • 発表場所
      Tainan, Taiwan
    • 年月日
      2015-11-15
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Sub-1G~20G集積化MEMS加速度センサの基本評価2015

    • 著者名/発表者名
      山根大輔, 小西敏文, 年吉 洋, 益 一哉, 町田克之
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場 愛知県名古屋市
    • 年月日
      2015-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] A Sub-1G MEMS Inertial Sensor2015

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
    • 学会等名
      International Symposium for Advanced Materials Research (ISAMR 2015)
    • 発表場所
      Sun Moon Lake, Taiwan
    • 年月日
      2015-08-16
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Sub-1G~20G集積化MEMS慣性センサ2015

    • 著者名/発表者名
      山根大輔, 小西敏文, 年吉 洋, 益 一哉, 町田克之
    • 学会等名
      第7回集積化MEMSシンポジウム
    • 発表場所
      新潟コンベンションセンター(朱鷺メッセ)、新潟県新潟市
    • 年月日
      2015-10-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] A Sub-1G MEMS Sensor2015

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
    • 学会等名
      the 227th ECS Meeting
    • 発表場所
      Chicago, Illinois, USA
    • 年月日
      2015-05-24
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] 電解金めっきで作製したMEMSデバイスにおける動作構造安定性2015

    • 著者名/発表者名
      寺西美波, Chang Tso-Fu Mark, 小西敏文, 松島隆明, 町田克之, 年吉 洋, 山根大輔, 伊藤浩之, 益 一哉, 曽根正人
    • 学会等名
      第6回集積化MEMS技術研究ワークショップ
    • 発表場所
      NHK放送技術研究所、東京都世田谷区
    • 年月日
      2015-07-31
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] A Sub-1G CMOS-MEMS Accelerometer2015

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Motohiro Takayasu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
    • 学会等名
      IEEE Sensors 2015
    • 発表場所
      Busan, South Korea
    • 年月日
      2015-11-01
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Nano-G metrology system and its biomedical applications by CMOS-MEMS technology2015

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
    • 学会等名
      3rd International Conference on Integrative Biology
    • 発表場所
      Valencia, Spain
    • 年月日
      2015-08-04
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] CMOS -MEMS -New Frontier of Multilevel Interconnect Technology-2015

    • 著者名/発表者名
      Katsuyuki Machida, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu
    • 学会等名
      2015 International Conference on Electronics Packaging and iMAPS All Asia Conference (ICEP-IAAC 2015)
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 年月日
      2015-04-14
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Study on Ti/Au Two-Layered Cantilevers with Different Aspect Ratio for MEMS Devices2015

    • 著者名/発表者名
      Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2015)
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 年月日
      2015-09-27
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Sample Size Effect on Mechanical Properties of Electrodeposited Gold Evaluated by Micro-Compression Test2015

    • 著者名/発表者名
      Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tsu-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      41st Micro and Nano Engineering (MNE2015)
    • 発表場所
      Hague, Netherlands
    • 年月日
      2015-09-21
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Novel Gain-Controlled Sensor Circuits Designed by Multi-physics Simulation for CMOS-MEMS Accelerometer2015

    • 著者名/発表者名
      Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Motohiro Takayasu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida
    • 学会等名
      2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2015)
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 年月日
      2015-09-27
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Robustness of Integrated Stoppers for MEMS Accelerometer Fabricated by Multi-layered Metal Technology2015

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Motohiro Takayasu, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
    • 学会等名
      2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2015)
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 年月日
      2015-09-27
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] MEMS加速度センサのための金属構造体の密着力評価2015

    • 著者名/発表者名
      佐布晃昭, 小西敏文, 松島隆明, 山根大輔, 年吉 洋, 曽根正人, 益 一哉, 町田克之
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場 愛知県名古屋市
    • 年月日
      2015-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Stability of Movable Structure Formed by Au Electroplating for MEMS Devices2015

    • 著者名/発表者名
      Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, Tatsuo Sato, Masato Sone
    • 学会等名
      8th Int. Conf. on Materials for Advanced Technologies (ICMAT 2015)
    • 発表場所
      SUNTEC, Singapore
    • 年月日
      2015-06-28
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] マルチフィジクスシミュレーションを用いたCMOS-MEMS 加速度センサのためのゲイン制御センサ回路の検討2015

    • 著者名/発表者名
      小西敏文, 山根大輔, 高安基大, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 益 一哉, 年吉 洋, 町田克之
    • 学会等名
      第7回集積化MEMSシンポジウム
    • 発表場所
      新潟コンベンションセンター(朱鷺メッセ)、新潟県新潟市
    • 年月日
      2015-10-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Mechanical Properties of Electrodeposited Gold for MEMS Device2015

    • 著者名/発表者名
      Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2015)
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 年月日
      2015-09-27
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] A Low Mechanical Noise Tri-axis MEMS Ineretial Sensor Fabricated by Multi-layered Metal Technology2015

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
    • 学会等名
      41st Micro and Nano Engineering (MNE2015)
    • 発表場所
      Hague, Netherlands
    • 年月日
      2015-09-21
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] A Study on Mechanical Structure of a MEMS Accelerometer Fabricated by Multi-layer Metal Technology2015

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Masato Sone, Katsuyuki Machida
    • 学会等名
      5th Advanced Metallization Conference Asian Session (ADMETAplus2015)
    • 発表場所
      Seoul, Korea
    • 年月日
      2015-09-16
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] Structure Stability of High Aspect Ratio Ti/Au Two-Layered Cantilevers for Applications in MEMS Accelerometers2015

    • 著者名/発表者名
      Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      41st Micro and Nano Engineering (MNE2015)
    • 発表場所
      Hague, Netherlands
    • 年月日
      2015-09-21
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] A Study on Mechanical Structure of a MEMS Accelerometer Fabricated by Multi-layer Metal Technology2015

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Masato Sone, Katsuyuki Machida
    • 学会等名
      32nd Advanced Metallization Conference (AMC2015)
    • 発表場所
      Austin, Texas, US
    • 年月日
      2015-09-09
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] MEMS加速度センサのための金属構造体の密着力評価2015

    • 著者名/発表者名
      佐布晃昭, 小西敏文, 松島隆明, 山根大輔, 年吉 洋, 曽根正人, 益 一哉, 町田克之
    • 学会等名
      第7回集積化MEMSシンポジウム
    • 発表場所
      新潟コンベンションセンター(朱鷺メッセ)、新潟県新潟市
    • 年月日
      2015-10-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K17453
  • [学会発表] MEMS for sensing sub-1G2014

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
    • 学会等名
      The First Joint Workshop on Electrical Engineering between Tokyo Tech & KAIST
    • 発表場所
      KAIST, Daejeon(韓国)
    • 年月日
      2014-11-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630138
  • [学会発表] 積層メタルによる静電容量型3軸加速度センサの基礎検討2014

    • 著者名/発表者名
      松島隆明, 小西敏文, 山根大輔, 亀井将太, 年吉 洋, 益 一哉, 町田克之
    • 学会等名
      応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第5回集積化MEMS技術研究ワークショップ
    • 発表場所
      豊橋技術科学大学(愛知県豊橋市)
    • 年月日
      2014-07-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630138
  • [学会発表] 集積化CMOS-MEMS加速度センサへ向けたsub-1Gセンサ2014

    • 著者名/発表者名
      山根大輔, 亀井将太, 小西敏文, 松島隆明, 年吉 洋, 益 一哉, 町田克之
    • 学会等名
      応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第5回集積化MEMS技術研究ワークショップ
    • 発表場所
      豊橋技術科学大学(愛知県豊橋市)
    • 年月日
      2014-07-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630138
  • [学会発表] Sub-1Gから20Gまで検知可能な集積化MEMS加速度センサの検討

    • 著者名/発表者名
      山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会、分科企画シンポジウム
    • 発表場所
      東海大学 湘南キャンパス(神奈川県平塚市)
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630138
  • [学会発表] Au積層形成技術による3軸MEMS加速度センサの検討

    • 著者名/発表者名
      松島隆明, 山根大輔, 小西敏文, 年吉洋, 益 一哉, 町田克之
    • 学会等名
      応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第6回集積化MEMSシンポジウム
    • 発表場所
      くにびきメッセ(島根県松江市)
    • 年月日
      2014-10-20 – 2014-10-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630138
  • [学会発表] A Sub-1G MEMS Sensor

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
    • 学会等名
      the 227th ECS Meeting
    • 発表場所
      Chicago, Illinois(米国)
    • 年月日
      2015-05-24 – 2015-05-28
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630138
  • [学会発表] 1mG-to-20G Integrated MEMS Inertial Sensor

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
    • 学会等名
      IEEE SENSORS 2014
    • 発表場所
      Valencia Conference Center, Valencia(スペイン)
    • 年月日
      2014-11-02 – 2014-11-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630138
  • [学会発表] A Tri-Axis MEMS Capacitive Sensor Using Multi-Layered High-density Metal for an Integrated CMOS-MEMS Accelerometer

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
    • 学会等名
      2014 IEEE International Interconnect Technology Conference/Advanced Metallization Conference (IITC/AMC 2014)
    • 発表場所
      San Jose, CA(米国)
    • 年月日
      2014-05-20 – 2014-05-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630138
  • [学会発表] A Sub-1G Tri-axis MEMS Capacitive Sensor for Integrated CMOS-MEMS Accelerometers

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
    • 学会等名
      Int. Conf. on Solid-State Devices and Materials (SSDM 2014)
    • 発表場所
      Tsukuba International Congress Center(茨城県つくば市)
    • 年月日
      2014-09-08 – 2014-09-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630138
  • [学会発表] 集積化CMOS-MEMS技術によるSub-1G加速度センサの基礎検討

    • 著者名/発表者名
      山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 年吉洋, 益 一哉, 町田克之
    • 学会等名
      応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第6回集積化MEMSシンポジウム
    • 発表場所
      くにびきメッセ(島根県松江市)
    • 年月日
      2014-10-20 – 2014-10-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630138
  • [学会発表] A Dual-Axis MEMS Inertial Sensor Using Multi-Layered High-density Metal for an Arrayed CMOS-MEMS Accelerometer

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
    • 学会等名
      Symp. on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP2014)
    • 発表場所
      Cannes, Cote d'Azur(フランス)
    • 年月日
      2014-04-01 – 2014-04-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630138
  • [学会発表] A Sub-1G Capacitive Sensor for Integrated CMOS-MEMS Accelerometers

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
    • 学会等名
      7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT2014)
    • 発表場所
      EXCO, Daegu(韓国)
    • 年月日
      2014-06-29 – 2014-07-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630138
  • [学会発表] 集積化CMOS-MEMSへ向けた2軸加速度センサの基礎検討

    • 著者名/発表者名
      山根大輔, 松島隆明, 小西敏文, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉
    • 学会等名
      平成26年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会
    • 発表場所
      東京大学生産技術研究所(東京都目黒区)
    • 年月日
      2014-05-27 – 2014-05-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630138
  • [学会発表] CMOS -MEMS -New Frontier of Multilevel Interconnect Technology-

    • 著者名/発表者名
      Katsuyuki Machida, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu
    • 学会等名
      2015 International Conference on Electronics Packaging and iMAPS All Asia Conference (ICEP-IAAC 2015)
    • 発表場所
      Kyoto Terrsa, Kyoto(日本)
    • 年月日
      2015-04-14 – 2015-04-17
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630138
  • [学会発表] 積層メタル構造による3軸加速度センサの検討

    • 著者名/発表者名
      松島隆明, 小西敏文, 山根大輔, 年吉 洋, 益 一哉, 町田克之
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学 札幌キャンパス(北海道札幌市)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630138
  • [学会発表] 高感度静電容量型センサにおけるブラウニアン・ノイズ評価の検討

    • 著者名/発表者名
      山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 亀井将太, 益 一哉, 町田克之
    • 学会等名
      応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第6回集積化MEMSシンポジウム
    • 発表場所
      くにびきメッセ(島根県松江市)
    • 年月日
      2014-10-20 – 2014-10-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630138
  • [学会発表] Sub-1G検出可能な3軸MEMS加速度センサの基礎検討

    • 著者名/発表者名
      山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉
    • 学会等名
      平成27年電気学会全国大会
    • 発表場所
      東京都市大学世田谷キャンパス(東京都世田谷区)
    • 年月日
      2015-03-24 – 2015-03-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630138
  • [学会発表] 集積化CMOS-MEMS加速度センサへ向けたsub-1G静電容量型センサの検討

    • 著者名/発表者名
      亀井将太, 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学 札幌キャンパス(北海道札幌市)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630138
  • 1.  田中 有弥 (90780065)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  合田 圭介 (70518696)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  益 一哉 (20157192)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 157件
  • 4.  町田 克之 (90597676)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 154件
  • 5.  曽根 正人 (30323752)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 112件
  • 6.  水野 洋輔 (30630818)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 1件
  • 7.  李 ひよん (30870787)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 2件
  • 8.  市毛 弘一 (10313470)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  Chang Tsu-Fu Mark
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 9件

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