塚本貴城 TSUKAMOTO TAKASHIRO

研究者番号	70646413
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 東北大学, 工学研究科, 准教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2018年度 – 2024年度: 東北大学, 工学研究科, 准教授
審査区分/研究分野	研究代表者小区分28050:ナノマイクロシステム関連研究代表者以外小区分28050:ナノマイクロシステム関連 / 小区分20010:機械力学およびメカトロニクス関連
キーワード	研究代表者 MEMS / 低熱膨張材料の微細加工 / MEMS振動子 / 熱弾性損失 / Q値 / 零熱膨張ガラス / 振動子 / 高分解能熱計測 / マイクロスケール伝熱 / 感温塗料 … もっと見る / 熱流束測定 / 熱ダイオード / 熱流束計測 / 微小領域熱計測 … もっと見る研究代表者以外 MEMS / 非線形性 / ジャイロ / モード局在化 / センサー / 共振子 / センサ / アクチュエータ / SmドープPMN-PT / ピエゾ抵抗 / 圧電MEMS / PMN-PT / 信頼性 / エピタキシャル成長 / ピエゾ抵抗センサー / PZT / 圧電薄膜隠す

2+1マスMEMS共振子による新たなモード制御法の研究と高性能センサーへの適用
- 研究代表者
  
  田中秀治
- 研究期間 (年度)
  2022 – 2024
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分28050:ナノマイクロシステム関連
- 研究機関
  東北大学
零熱膨張ガラスの熱弾性散逸機構の解明とそのデバイス応用研究代表者
- 研究代表者
  
  塚本貴城
- 研究期間 (年度)
  2021 – 2023
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分28050:ナノマイクロシステム関連
- 研究機関
  東北大学
蒸発と凝縮が混在するマイクロスケール閉鎖系の伝熱特性の解明研究代表者
- 研究代表者
  
  塚本貴城
- 研究期間 (年度)
  2019 – 2020
- 研究種目
  
  若手研究
- 審査区分
  
  小区分28050:ナノマイクロシステム関連
- 研究機関
  東北大学
圧電薄膜アクチュエータの高安定・高信頼性センシングと高精度制御
- 研究代表者
  
  田中秀治
- 研究期間 (年度)
  2018 – 2020
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分20010:機械力学およびメカトロニクス関連
- 研究機関
  東北大学

すべて 2024 2023 2022 2021 2020 2019

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Two-axis multiple masses resonator with frequency and Q-factor matching2024
- 著者名/発表者名
  J. Chen, T. Tsukamoto, G. Langfelder and S. Tanaka
- 雑誌名
  
  Sensors and Actuators A
  
  巻: 366 ページ: 114938-114938
- DOI
  10.1016/j.sna.2023.114938
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K23192
[雑誌論文] A mechanically coupled three degree-of-freedom resonator with tunable stiffness sensitivity2022
- 著者名/発表者名
  Chen Jianlin、Tsukamoto Takashiro、Tanaka Shuji
- 雑誌名
  
  Sensors and Actuators A: Physical
  
  巻: 344 ページ: 113713-113713
- DOI
  10.1016/j.sna.2022.113713
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21J11628, KAKENHI-PROJECT-23K23192
[雑誌論文] Integration of buried piezoresistive sensors and PZT thin film for dynamic and static position sensing of MEMS actuator2020
- 著者名/発表者名
  Andrea Vergara, Takashiro Tsukamoto, Weileun Fang and Shuji Tanaka
- 雑誌名
  
  Journal of Micromechanics and Microengineering
  
  巻: 30 号: 11 ページ: 115020-115020
- DOI
  10.1088/1361-6439/abb756
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01390
[学会発表] MODE LOCALIZATION AND FREQUENCY MODULATION SENSINGUSING SUPERPOSED IN-PHASE AND ANTI-PHASE OSCILLATIONS2024
- 著者名/発表者名
  T. Tsukamoto, R. Forke, S. Weidlich, D. Buelz, A. Shaporin, K. Hiller, and S. Tanaka
- 学会等名
  IEEE MEMS 2024
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K23192
[学会発表] Virtually Rotated Multiple Mass Resonator Enabled by Electrostatic Frequency and Q-factor Tuning2023
- 著者名/発表者名
  J. Chen, T. Tsukamoto, G. Langfelder and S. Tanaka
- 学会等名
  IEEE INERTIAL 2023
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K23192
[学会発表] Enhanced Stiffness Sensitivity in a Mode Localized Sensor Using Internal Resonance Actuation2023
- 著者名/発表者名
  J. Chen, H. Zhang, T. Tsukamoto, M. Kraft and S. Tanaka
- 学会等名
  2023 IEEE 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K23192
[学会発表] 直交2軸振動子を用いた感度可変モード局在センシング2023
- 著者名/発表者名
  長坂悠汰, Alessia Baronchelli, 塚本貴城, 田中秀治
- 学会等名
  日本機械学会第14回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K23192
[学会発表] 零熱膨張率ガラスを用いたカンチレバー型振動子の作製2022
- 著者名/発表者名
  小代洸太, 内海太一, 塚本貴城, 田中秀治
- 学会等名
  日本機械学会第13回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H01776
[学会発表] MEMS 振動子のための零熱膨張率ガラスの反応性イオンエッチング2022
- 著者名/発表者名
  小代洸太, 塚本貴城, 田中秀治
- 学会等名
  日本機械学会2022年度年次大会予稿集
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H01776
[学会発表] 零熱膨張ガラスを用いた MEMS 半球振動子の作製2022
- 著者名/発表者名
  内海太一, 小代洸太, 塚本貴城, 田中秀治
- 学会等名
  日本機械学会第13回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H01776
[学会発表] PZT MEMS ACTUATOR WITH INTEGRATED BURIED PIEZORESISTORS FOR POSITION CONTROL2021
- 著者名/発表者名
  Andrea Vergara, Takashiro Tsukamoto, Weileun Fang and Shuji Tanaka
- 学会等名
  34th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2021)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01390
[学会発表] PZT THIN FILM ACTUATOR WITH INTEGRATED BURIED PIEZORESISTOR FOR HIGH STABILITY POSITION CONTROL2020
- 著者名/発表者名
  Andrea Vergara, Takashiro Tsukamoto, Weileun Fang, Shuji Tanaka
- 学会等名
  日本機械学会東北支部第55期総会・講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01390
[学会発表] PZT thin film actuator with integrated buried piezoresistive sensors for high precision and stability2019
- 著者名/発表者名
  Vergara Andrea, 塚本貴城, Fang Weileun, 田中秀治
- 学会等名
  第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01390
[学会発表] ntegration of buried piezoresistive sensors and PZT thin film for highly stable MEMS actuators2019
- 著者名/発表者名
  Andrea Vergara, Takashiro Tsukamoto, Weileun Fang, Shuji Tanaka
- 学会等名
  圧電材料・デバイスシンポジウム2020
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01390

1. 田中秀治 (00312611)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 10件
2. 吉田慎哉 (30509691)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

塚本 貴城 TSUKAMOTO TAKASHIRO

研究課題

研究成果

共同研究者

2+1マスMEMS共振子による新たなモード制御法の研究と高性能センサーへの適用

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

零熱膨張ガラスの熱弾性散逸機構の解明とそのデバイス応用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

蒸発と凝縮が混在するマイクロスケール閉鎖系の伝熱特性の解明研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

圧電薄膜アクチュエータの高安定・高信頼性センシングと高精度制御

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

[雑誌論文] Two-axis multiple masses resonator with frequency and Q-factor matching2024

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] A mechanically coupled three degree-of-freedom resonator with tunable stiffness sensitivity2022

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Integration of buried piezoresistive sensors and PZT thin film for dynamic and static position sensing of MEMS actuator2020

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[学会発表] MODE LOCALIZATION AND FREQUENCY MODULATION SENSINGUSING SUPERPOSED IN-PHASE AND ANTI-PHASE OSCILLATIONS2024

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Virtually Rotated Multiple Mass Resonator Enabled by Electrostatic Frequency and Q-factor Tuning2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Enhanced Stiffness Sensitivity in a Mode Localized Sensor Using Internal Resonance Actuation2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] 直交2軸振動子を用いた感度可変モード局在センシング2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] 零熱膨張率ガラスを用いたカンチレバー型振動子の作製2022

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] MEMS 振動子のための零熱膨張率ガラスの反応性イオンエッチング2022

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] 零熱膨張ガラスを用いた MEMS 半球振動子の作製2022

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] PZT MEMS ACTUATOR WITH INTEGRATED BURIED PIEZORESISTORS FOR POSITION CONTROL2021

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] PZT THIN FILM ACTUATOR WITH INTEGRATED BURIED PIEZORESISTOR FOR HIGH STABILITY POSITION CONTROL2020

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] PZT thin film actuator with integrated buried piezoresistive sensors for high precision and stability2019

塚本貴城 TSUKAMOTO TAKASHIRO