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江藤 数馬  Eto Kazuma

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 70711828
所属 (現在) 2025年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エネルギー・環境領域, 研究員
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2022年度 – 2024年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エネルギー・環境領域, 研究員
審査区分/研究分野
研究代表者
小区分30010:結晶工学関連
研究代表者以外
小区分30010:結晶工学関連
キーワード
研究代表者
結晶欠陥 / ドーピング / 結晶成長 / SiC
研究代表者以外
貫通らせん転位 / 高品質化 / 炭化ケイ素 / ハイブリッド成長 / 昇華再結晶法 / 溶液成長法 / 転位変換 / SiC
  • 研究課題

    (2件)
  • 研究成果

    (7件)
  • 共同研究者

    (2人)
  •  Al-Nコドーピングp型SiC昇華法成長における欠陥発生メカニズムの解明研究代表者

    • 研究代表者
      江藤 数馬
    • 研究期間 (年度)
      2022 – 2024
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分30010:結晶工学関連
    • 研究機関
      国立研究開発法人産業技術総合研究所
  •  溶液法/昇華法ハイブリッド成長における欠陥伝播メカニズム解明と高品位化実証

    • 研究代表者
      三谷 武志
    • 研究期間 (年度)
      2022 – 2024
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分30010:結晶工学関連
    • 研究機関
      国立研究開発法人産業技術総合研究所

すべて 2024 2023 2022

すべて 雑誌論文 学会発表

  • [雑誌論文] Propagation behaviour of threading screw dislocations during 4H-SiC crystal growth using a hybrid method combined with solution growth and physical vapour transport growth on high-off-angle seeds2024

    • 著者名/発表者名
      Eto Kazuma、Mitani Takeshi、Momose Kenji、Kato Tomohisa
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth

      巻: 634 ページ: 127691-127691

    • DOI

      10.1016/j.jcrysgro.2024.127691

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K23245
  • [学会発表] 4H-SiC溶液成長におけるマクロステップ形状の溶媒添加元素依存性2023

    • 著者名/発表者名
      三谷武志、江藤数馬、窪谷茂幸、加藤智久
    • 学会等名
      応用物理学会先進パワー半導体分科会 第10回講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K23245
  • [学会発表] 昇華法SiC成長における貫通らせん転位の基底面欠陥への変換現象の窒素量依存性2023

    • 著者名/発表者名
      江藤数馬、三谷武志、窪谷茂幸、加藤智久
    • 学会等名
      応用物理学会先進パワー半導体分科会 第10回講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K23245
  • [学会発表] Macrostep flow behavior in 4H-SiC solution growth with different solvent compositions and surface orientations2023

    • 著者名/発表者名
      Mitani Takeshi, Eto Kazuma, Kuboya Shigeyuki, Kato Tomohisa
    • 学会等名
      The International Conference on Crystal Growth and Epitaxy-ICCGE-20 (ICCGE20)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K23245
  • [学会発表] 昇華法によるSiC結晶成長での欠陥制御と伝導度制御2022

    • 著者名/発表者名
      江藤数馬
    • 学会等名
      応用物理学会先進パワー半導体分科会 第23回研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K23245
  • [学会発表] Propagation behavior of threading screw dislocation during off-axis PVT growth and the hybrid growth combining solution growth and PVT growth of 4H-SiC2022

    • 著者名/発表者名
      江藤数馬、三谷武志、百瀬賢治、加藤智久
    • 学会等名
      The 19th international conference on silicon carbide and related materials
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K23245
  • [学会発表] 4H-SiC結晶の昇華法成長および溶液法/昇華法を組み合わせたハイブリッド成長における貫通らせん転位伝播挙動のオフ角依存性2022

    • 著者名/発表者名
      江藤数馬、三谷武志、百瀬賢治、加藤智久
    • 学会等名
      日本金属学会2022年秋期講演大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K23245
  • 1.  三谷 武志 (90586306)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 6件
  • 2.  窪谷 茂幸 (70583615)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 3件

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