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竹内 雅耶  Takeuchi Masaya

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 70889683
その他のID
所属 (現在) 2025年度: 兵庫県立大学, 工学研究科, 助教
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2022年度 – 2024年度: 兵庫県立大学, 工学研究科, 助教
審査区分/研究分野
研究代表者
小区分18020:加工学および生産工学関連
研究代表者以外
小区分18020:加工学および生産工学関連
キーワード
研究代表者
原子層エッチング / X線光電子顕微鏡 / X線光電子分光 / 窒化シリコン / ガスクラスターイオンビーム
研究代表者以外
位置制御 / ガスクラスターイオン / 高精度加工 / 原子層エッチング / クラスタービーム
  • 研究課題

    (2件)
  • 研究成果

    (24件)
  • 共同研究者

    (2人)
  •  ジケトン分子吸着過程およびガスクラスターイオンビーム照射による表面反応過程の解明研究代表者

    • 研究代表者
      竹内 雅耶
    • 研究期間 (年度)
      2023 – 2025
    • 研究種目
      若手研究
    • 審査区分
      小区分18020:加工学および生産工学関連
    • 研究機関
      兵庫県立大学
  •  クラスタービーム原子層エッチングと照射位置制御を用いた超高精度形状創成

    • 研究代表者
      豊田 紀章
    • 研究期間 (年度)
      2022 – 2024
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分18020:加工学および生産工学関連
    • 研究機関
      兵庫県立大学

すべて 2024 2023 2022

すべて 雑誌論文 学会発表

  • [雑誌論文] Atomic layer etching of silicon nitride film by oxygen gas cluster ion beam with acetylacetone2023

    • 著者名/発表者名
      Takeuchi Masaya、Fujiwara Reki、Toyoda Noriaki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 62 号: SG ページ: SG1051-SG1051

    • DOI

      10.35848/1347-4065/acd065

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K13236, KAKENHI-PROJECT-23K22649
  • [雑誌論文] Surface preparation of metal films by gas cluster ion beams using organic acid vapor for Cu?Cu bonding2022

    • 著者名/発表者名
      S. Hanahara、M. Takeuchi、N. Toyoda
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 61 号: SF ページ: SF1004-SF1004

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac5424

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22649
  • [学会発表] 反応性ガス吸着とGCIB照射を用いたエッチングにおける基板冷却効果2024

    • 著者名/発表者名
      伊藤汰一,作田昂大,竹内雅耶,豊田紀章
    • 学会等名
      2024年応用物理学会春季講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22649
  • [学会発表] GCIB照射で極薄化した電子線透過窓を用いた液体セルによるSEM/EDS検出の高感度化2024

    • 著者名/発表者名
      竹内 雅耶, 鈴木 哲, 豊田 紀章
    • 学会等名
      第71回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K13236
  • [学会発表] 中性ガスクラスタービームを用いたCu膜のドライALE2024

    • 著者名/発表者名
      池田 圭佑, 田中 秀幸, 竹内 雅耶, 豊田 紀章
    • 学会等名
      2024年応用物理学会春季講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22649
  • [学会発表] GCIB照射で極薄化した電子線透過窓を用いた 液体セルによるSEM/EDS検出の高感度化2024

    • 著者名/発表者名
      竹内雅耶,鈴木哲,豊田紀章
    • 学会等名
      2024年応用物理学会春季講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22649
  • [学会発表] Imaging and spectroscopy of liquid-water using X-ray PEEM2023

    • 著者名/発表者名
      Masaya Takeuchi, Noriaki Toyoda, Satoru Suzuki
    • 学会等名
      Frontier of Soft X-ray Spectroscopy for Chemical Processes in Solutions
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K13236
  • [学会発表] Reactive etching and pressure resistance evaluation of SiNx film by O2-GCIB for electron transmission window of liquid cell2023

    • 著者名/発表者名
      Masaya Takeuchi, Satoru Suzuki, Masaki Nakamura, Takashi Hata, Yusuke Nishiuchi, Kaori Tada, Noriaki Toyoda
    • 学会等名
      MNC2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K13236
  • [学会発表] Evaluation of mechanical property of ultra-thin SiNx membranes irradiated by gas cluster ion beam2023

    • 著者名/発表者名
      M. Takeuchi, N. Toyoda
    • 学会等名
      21st International Conference on Radiation Effects in Insulators
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K13236
  • [学会発表] Evaluation of mechanical property of ultra-thin SiNx membranes irradiated by gas cluster ion beam2023

    • 著者名/発表者名
      M. Takeuchi, N. Toyoda
    • 学会等名
      Radiation Effects in Insulator 2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22649
  • [学会発表] Surface Modification with Neutral Gas Cluster Beams and Its Application to Atomic Layer Etching2023

    • 著者名/発表者名
      N. Toyoda, H. Tanaka, M. Takeuchi
    • 学会等名
      Atomic Layer Etching Symposium 2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22649
  • [学会発表] GCIBを用いた電子透過窓極薄化による液中試料検出の高感度化2023

    • 著者名/発表者名
      竹内雅耶,鈴木哲,豊田紀章
    • 学会等名
      2023年応用物理学会秋季講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22649
  • [学会発表] 反応性ガス吸着とO 2 -GCIBを用いたNiパターンエッチング2023

    • 著者名/発表者名
      作田昂大、竹内雅耶、豊田紀章
    • 学会等名
      2023年第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22649
  • [学会発表] 2023年中性クラスタービーム照射による金属膜のエッチング2023

    • 著者名/発表者名
      田中秀幸、竹内雅耶、豊田紀章
    • 学会等名
      応用物理学会秋季講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22649
  • [学会発表] GCIBを用いた電子透過窓極薄化による液中試料検出の 高感度化2023

    • 著者名/発表者名
      竹内雅耶, 鈴木哲, 豊田紀章
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K13236
  • [学会発表] 反応性ガス吸着とO2-GCIB照射を用いた金属エッチングの基板冷却効果2023

    • 著者名/発表者名
      作田昂大、竹内雅耶、豊田紀章
    • 学会等名
      2023年応用物理学会秋季講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22649
  • [学会発表] Surface modification and etching of metal films by neutral cluster beam irradiation2023

    • 著者名/発表者名
      H. Tanaka, M. Takeuchi, N.Toyoda
    • 学会等名
      Dry Process Symposium 2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22649
  • [学会発表] Temperature dependence on metal etching using reactive gas adsorption and GCIB2023

    • 著者名/発表者名
      K. Sakuta, M. Takeuchi, N. Toyoda
    • 学会等名
      Dry Process Symposium 2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22649
  • [学会発表] O 2 -GCIBとアセチルアセトンによるSiNx膜原子層エッチングプロセスの反応機構の検討2023

    • 著者名/発表者名
      竹内雅耶、藤原怜輝、山下大晴、豊田紀章
    • 学会等名
      2023年第70回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22649
  • [学会発表] Reactive etching and pressure resistance evaluation of SiNx film by O2-GCIB for electron transmission window of liquid cell2023

    • 著者名/発表者名
      M. Takeuchi, S. Suzuki, M. Nakamura, T. Hata, N. Toyoda
    • 学会等名
      MNC 2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22649
  • [学会発表] O2-GCIBとacac吸着によるNiパターンのエッチング2022

    • 著者名/発表者名
      作田昂大、竹内雅耶、豊田紀章
    • 学会等名
      2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22649
  • [学会発表] 位置制御とGCIB-ALEを用いた高精度形状加工技術の検討2022

    • 著者名/発表者名
      藤原怜輝、竹内雅耶、豊田紀章
    • 学会等名
      2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22649
  • [学会発表] 窒化シリコン膜へのGCIB照射による低損傷照射効果の検討2022

    • 著者名/発表者名
      竹内雅耶、藤原怜輝、豊田紀章
    • 学会等名
      2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22649
  • [学会発表] 窒化シリコン膜の低損傷かつ原子層制御を実現するGCIBエッチングプロセスの検討2022

    • 著者名/発表者名
      竹内雅耶、藤原怜輝、豊田紀章
    • 学会等名
      2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22649
  • 1.  豊田 紀章 (00382276)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 18件
  • 2.  寺岡 有殿 (10343922)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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