藤大雪 Toh Daisetsu

研究者番号	70910678
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 助教
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2021年度 – 2025年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 助教
審査区分/研究分野	研究代表者小区分18020:加工学および生産工学関連研究代表者以外大区分C
キーワード	研究代表者 Ru / Cu / 金属配線付き基板 / 超精密表面研磨加工研究代表者以外 X線顕微鏡 / X線自由電子レーザー / X線ミラー / 精密加工 / 精密計測

大気圧プラズマと金属拡散接合を利用した接着剤フリーの形状可変ミラーの作製研究代表者
- 研究代表者
  
  藤大雪
- 研究期間 (年度)
  2025 – 2026
- 研究種目
  
  若手研究
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  大阪大学
金属配線付き基板を段差導入なく平坦にする純水を用いた持続可能な精密研磨技術の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  藤大雪
- 研究期間 (年度)
  2023 – 2024
- 研究種目
  
  若手研究
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  大阪大学
伝播波面の精密制御によるコヒーレントX線のナノビーム形成
- 研究代表者
  
  山内和人
- 研究期間 (年度)
  2021 – 2024
- 研究種目
  
  基盤研究(S)
- 審査区分
  
  大区分C
- 研究機関
  大阪大学

すべて 2024 2023 2022 2021

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] High-Efficiency Polishing of Polymer Surface Using Catalyst-Referred Etching2024
- 著者名/発表者名
  Toh Daisetsu、Takeda Kodai、Kayao Kiyoto、Ohkubo Yuji、Yamauchi Kazuto、Sano Yasuhisa
- 雑誌名
  
  International Journal of Automation Technology
  
  巻: 18 号: 2 ページ: 240-247
- DOI
  10.20965/ijat.2024.p0240
- ISSN
  1881-7629, 1883-8022
- 年月日
  2024-03-05
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K13234, KAKENHI-PROJECT-21H05004
[雑誌論文] Bias-assisted photoelectrochemical planarization of GaN (0001) with impurity concentration distribution2023
- 著者名/発表者名
  Toh D.、Kayao K.、Ohnishi R.、Osaka A. I.、Yamauchi K.、Sano Y.
- 雑誌名
  
  AIP Advances
  
  巻: 13 号: 9
- DOI
  10.1063/5.0151387
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H05004
[雑誌論文] Fabrication of YAG ceramics surface without damage and grain boundary steps using catalyzed chemical wet etching2023
- 著者名/発表者名
  Toh Daisetsu、Kayao Kiyoto、Yamauchi Kazuto、Sano Yasuhisa
- 雑誌名
  
  CIRP Journal of Manufacturing Science and Technology
  
  巻: 47 ページ: 1-6
- DOI
  10.1016/j.cirpj.2023.09.001
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H05004
[雑誌論文] Catalyst enhancement approach for improving the removal rate and stability of silica glass polishing via catalyzed chemical etching in pure water2023
- 著者名/発表者名
  Toh Daisetsu、Kayao Kiyoto、Bui Pho Van、Inagaki Kouji、Morikawa Yoshitada、Yamauchi Kazuto、Sano Yasuhisa
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 84 ページ: 21-27
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2023.07.003
- 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H05004
[雑誌論文] Role of Photoelectrochemical Oxidation in Enabling High-Efficiency Polishing of Gallium Nitride2023
- 著者名/発表者名
  Kayao Kiyoto、Toh Daisetsu、Yamauchi Kazuto、Sano Yasuhisa
- 雑誌名
  
  ECS Journal of Solid State Science and Technology
  
  巻: 12 号: 6 ページ: 063005-063005
- DOI
  10.1149/2162-8777/acde61
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H05004
[学会発表] 触媒表面基準エッチング法を用いたSi基板の原子オーダー平滑化およびエッチング機構の解明2023
- 著者名/発表者名
  藤大雪，板垣果歩，山﨑博人，萱尾澄人，山内和人，佐野泰久
- 学会等名
  2023年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K13234
[学会発表] Characteristics of Photoelectrochemical Oxidation Enabling High-efficiency Polishing of Gallium Nitride2023
- 著者名/発表者名
  K. Kayao, D. Toh, K. Yamauchi and Y. Sano
- 学会等名
  International Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ICSCRM2023)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H05004
[学会発表] High-speed planarization of GaN (0001) substrate using catalyst-referred etching enhanced with positive-biased photoelectrochemical oxidation2023
- 著者名/発表者名
  D. Toh, K. Kayao, K. Yamauchi and Y. Sano
- 学会等名
  International Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ICSCRM2023)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H05004
[学会発表] 触媒表面基準エッチング法を用いたダメージレスかつ原子レベルに平滑なSi(100)表面の作製2023
- 著者名/発表者名
  藤大雪，萱尾澄人，山内和人，佐野泰久
- 学会等名
  2023年度砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K13234
[学会発表] 触媒表面基準エッチング法を用いた金属配線付き基板の高精度平坦化－配線金属のエッチング特性評価－2023
- 著者名/発表者名
  山﨑博人，萱尾澄人，藤大雪，山内和人，佐野泰久
- 学会等名
  2023年度精密工学会関西地方定期学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K13234
[学会発表] Surface Planarization of YAG Ceramics Using Catalyst-Referred Etching2023
- 著者名/発表者名
  Y. Yoshida, K. Kayao, D. Toh, K. Yamauchi and Y. Sano
- 学会等名
  American Society for Precision Engineering (ASPE) 2023 Annual Meeting
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H05004
[学会発表] 触媒表面基準エッチング法を用いたRuのエッチング特性2023
- 著者名/発表者名
  山﨑博人，萱尾澄人，藤大雪，山内和人，佐野泰久
- 学会等名
  2023年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K13234
[学会発表] 形状可変ミラーを用いたX線sub-5 nm集光システムの開発2022
- 著者名/発表者名
  井上陽登，松山智至，田中優人，伊藤篤輝，一井愛雄，山田純平，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
- 学会等名
  第35回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H05004
[学会発表] Fabrication of an atomically smooth polycrystalline surface without grain boundary steps using catalyst-referred etching2022
- 著者名/発表者名
  D. Toh, P. V. Bui, S. Matsuyama, K. Yamauchi and Y. Sano
- 学会等名
  Euspen's 22nd International Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H05004
[学会発表] Planarization of polymer materials using catalytic reaction in pure water2022
- 著者名/発表者名
  K. Takeda, D. Toh, P. V. Bui, S. Matsuyama, K. Yamauchi and Y. Sano
- 学会等名
  Euspen's 22nd International Conference
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H05004
[学会発表] dvanced KBミラーに基づく硬X線自由電子レーザー sub-10 nm 集光システム2022
- 著者名/発表者名
  山田純平，松山智至，井上陽登，伊藤篤輝，田中優人，大坂泰斗，井上伊知郎，犬伏雄一，小山貴久，湯本博勝，大橋治彦，山内和人，矢橋牧名
- 学会等名
  第35回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H05004
[学会発表] High-Speed Catalyst-Referred Etching of Gallium Nitride Assisted by Ultraviolet Light Irradiation" American Society for Precision Engineering (ASPE) 2022 Annual Meeting2022
- 著者名/発表者名
  K. Kayao, D. Toh, K. Yamauchi and Y. Sano
- 学会等名
  American Society for Precision Engineering (ASPE) 2022 Annual Meeting
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H05004
[学会発表] Surface planarization of polycrystalline silicon carbide by catalyst-referred etching2022
- 著者名/発表者名
  K. Futamura, D. Toh, K. Yamauchi and Y. Sano
- 学会等名
  American Society for Precision Engineering (ASPE) 2022 Annual Meeting
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H05004
[学会発表] Preparation of highly planarized optical surface on Si substrate via catalyst-referred etching2022
- 著者名/発表者名
  K. Itagaki, D. Toh, P. V. Bui, S. Matsuyama, K. Yamauchi and Y. Sano
- 学会等名
  Euspen's 22nd International Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H05004
[学会発表] 触媒表面基準エッチング法を用いた粒界段差フリーな超平滑多結晶材料表面の作製2021
- 著者名/発表者名
  藤大雪，Bui Van Pho，松山智至，佐野泰久，山内和人
- 学会等名
  2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H05004

1. 山内和人 (10174575)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 15件
2. 山田純平 (10845027)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件
3. 佐野泰久 (40252598)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 14件
4. 松山智至 (10423196)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 6件

藤 大雪 Toh Daisetsu

研究課題

研究成果

共同研究者

大気圧プラズマと金属拡散接合を利用した接着剤フリーの形状可変ミラーの作製研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

金属配線付き基板を段差導入なく平坦にする純水を用いた持続可能な精密研磨技術の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

伝播波面の精密制御によるコヒーレントX線のナノビーム形成

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

[雑誌論文] High-Efficiency Polishing of Polymer Surface Using Catalyst-Referred Etching2024

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

ISSN

年月日

言語

データソース

[雑誌論文] Bias-assisted photoelectrochemical planarization of GaN (0001) with impurity concentration distribution2023

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Fabrication of YAG ceramics surface without damage and grain boundary steps using catalyzed chemical wet etching2023

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Catalyst enhancement approach for improving the removal rate and stability of silica glass polishing via catalyzed chemical etching in pure water2023

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Role of Photoelectrochemical Oxidation in Enabling High-Efficiency Polishing of Gallium Nitride2023

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[学会発表] 触媒表面基準エッチング法を用いたSi基板の原子オーダー平滑化およびエッチング機構の解明2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Characteristics of Photoelectrochemical Oxidation Enabling High-efficiency Polishing of Gallium Nitride2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] High-speed planarization of GaN (0001) substrate using catalyst-referred etching enhanced with positive-biased photoelectrochemical oxidation2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] 触媒表面基準エッチング法を用いたダメージレスかつ原子レベルに平滑なSi(100)表面の作製2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] 触媒表面基準エッチング法を用いた金属配線付き基板の高精度平坦化－配線金属のエッチング特性評価－2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Surface Planarization of YAG Ceramics Using Catalyst-Referred Etching2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] 触媒表面基準エッチング法を用いたRuのエッチング特性2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] 形状可変ミラーを用いたX線sub-5 nm集光システムの開発2022

著者名/発表者名

藤大雪 Toh Daisetsu

[学会発表] 触媒表面基準エッチング法を用いた粒界段差フリーな超平滑多結晶材料表面の作製2021