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加藤 勇  KATO Isamu

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 80063775
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所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 1995年度 – 2001年度: 早稲田大学, 理工学部, 教授
1988年度 – 1990年度: 早稲田大学, 理工学部, 教授
審査区分/研究分野
研究代表者
電子・電気材料工学 / 計測・制御工学
キーワード
研究代表者
化学気相堆積 / アモルファスシリコン / マイクロ波プラズマCVD / プラズマ粒子衝撃 / リジタ-ノコイル / 同軸線路型マイクロ波放電 / マイクロ波プラズマ / "in situ" measurement / ultra thin film / evanescent field … もっと見る / near field optics / optical fiber sensor / Amorphous silicon / plasma measurement / plasma CVD / 光ファイバーセンサー / ブラズマ計測 / 光ファイバーセンサ / その場測定 / 極薄膜 / エバネッセントフィールド / 近接場光学 / 光ファイバセンサ / プラズマ計測 / プラズマCVD / wavelength converter / semiconductor nanocrystal / MBE / Optical Waveguides Type Filter / Luminescent Material / Multilayer Films / Silicon Nano Crystal / Microwave Plasma CVD / 光増幅素子 / 光非線形 / 化合物半導体ナノクリスタル / 二重同軸線路型MPCVD / プラズマエレクトロニクス / Siナノクリスタル / フォトニック結晶 / ヒ化ガリウム / 分子線セル / 窒化シリコン / 水素化アモルファスシリコン / InAs / 半導体光機能デバイス / 分子線エピタキシャル成長法 / 波長変換デバイス / 半導体ナノクリスタル / 分子線エピタキシャル成長 / 光導波路形フィルタ / 発光材料 / 多層膜 / シリコンナノクリスタル / depression of charged particle diffusion / spatial after-grow plasma / high speed deposition / plasma stabilization / a-Si : H / electron density / D.C.magnetic field / microwave plasma / SiN / a-Si: H / 同軸線路モード / SiN膜の評価 / プラズマパラメータの計測 / 水素プラズマの安定化 / 電子密度の高濃度化 / 同軸線路形マイクロ波プラズマCVD / 縦磁界 / 空間的アフタ-グロープラズマ / 横方向への拡散の抑制 / 高速堆積 / プラズマの安定化 / a-Si:H / 電子密度 / 直流磁界 / プラズマの空間分布測定 / ECRプラズマ / リジターノコイル / 直交磁界 / ソフトランディング / イオン衝撃エネルギ- / DC,RFバイアス法 / 内部的プラズマパラメ-タ / 電気探針法 / 反応性プラズマ / 同軸線路型マイクロ波プラズマ / プラズマの生成機構 / 膜表面加熱効果 / 大面積化 隠す
  • 研究課題

    (6件)
  • 共同研究者

    (2人)
  •  ナノクリスタルドープ光導波路及び次世代フォトニックデバイスへの適用研究代表者

    • 研究代表者
      加藤 勇
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      早稲田大学
  •  光導波路を用いた極薄膜および膜成長中におけるプラズマ反応の計測法に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      加藤 勇
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      計測・制御工学
    • 研究機関
      早稲田大学
  •  縦磁界印加同軸線路形マイクロ波プラズマCVD装置の開発と成膜機構の研究研究代表者

    • 研究代表者
      加藤 勇
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1996
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      早稲田大学
  •  マイクロ波プラズマの発生法とその構造の制御研究代表者

    • 研究代表者
      加藤 勇
    • 研究期間 (年度)
      1988 – 1990
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      早稲田大学
  •  マイクロ波プラズマの発生法とその構造の制御研究代表者

    • 研究代表者
      加藤 勇
    • 研究期間 (年度)
      1988 – 1990
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      早稲田大学
  •  マイクロ波プラズマの発生法とその構造の制御研究代表者

    • 研究代表者
      加藤 勇
    • 研究期間 (年度)
      1988 – 1990
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      早稲田大学
  • 1.  河合 良信 (10038565)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  宇高 勝之 (20277817)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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