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松本 修  MATSUMOTO Osamu

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 80082759
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 1987年度 – 1990年度: 青山学院大学, 理工学部, 教授
審査区分/研究分野
研究代表者
無機工業化学・無機材料工学
キーワード
研究代表者
プラズマ / Thin film Synthesis / Non-equilibrium phase / Plasma / Hexagonal BN / Diamond / 透明半導性ポリマー / 窒化ホウ素 / 直流プラズマジェット / 薄膜 … もっと見る / 透明導電性ポリマー / 透明半導性炭素質膜 / ECR / プラズマジェット / マイクロ波放電 / 非平衡薄膜 / 立方晶窒化ホウ素 / 透明半導反動性炭素質膜 / ダイヤモンド / アンモニア合成 / 消光剤 / 重水素 隠す
  • 研究課題

    (2件)
  • 共同研究者

    (1人)
  •  重水素をプロ-ブとするプラズマ化学反応の研究研究代表者

    • 研究代表者
      松本 修
    • 研究期間 (年度)
      1990
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      青山学院大学
  •  ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素等の非平衡薄膜のプラズマによる合成研究代表者

    • 研究代表者
      松本 修
    • 研究期間 (年度)
      1987 – 1989
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      無機工業化学・無機材料工学
    • 研究機関
      青山学院大学
  • 1.  宇山 晴夫 (90213503)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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