馬場茂 BABA Shigeru

研究者番号	80114619
その他のID
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2009年度 – 2011年度: 成蹊大学, 理工学部, 教授 1993年度 – 1994年度: 成蹊大学, 工学部, 教授 1987年度 – 1989年度: 東京大学, 工学部, 講師
審査区分/研究分野	研究代表者応用物理学一般 / 応用物理学一般研究代表者以外応用物性
キーワード	研究代表者 SCRATCH TEST / X-RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY / FILM ADHESION / FRACTO-EMISSION / EXOELECTRON / 密着性 / 薄膜 / スクラッチ / X線光電子スペクトル / 付着力 … もっと見る / フラクトエミッション / エキソ電子 / 窒化物薄膜 / 酸窒化物 / モード遷移 / 高純度金属窒化物 / 大電力パルススパッタ / 高純度窒化物薄膜 / パルススパッタリング / 窒化チタン / 反応性スパッタリング … もっと見る研究代表者以外 RHEED / ADHESION / INTERNAL STRESS / SPUTTERING / THIN FILM / 反射高速電子線回折(RHEED) / 表面超構造 / 鉛 / 摩擦係数 / 銀 / 島状膜 / スパッタリング / 付着力 / 内部応力 / スパタリング / 薄膜隠す

酸素フリーな金属窒化物の反応性スパッタ製膜過程の理解と電気物性への酸素混入の効果研究代表者
- 研究代表者
  
  馬場茂
- 研究期間 (年度)
  2009 – 2011
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  応用物理学一般
- 研究機関
  成蹊大学
エキソ電子による薄膜のスクラッチ破損の検出研究代表者
- 研究代表者
  
  馬場茂
- 研究期間 (年度)
  1993 – 1994
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  応用物理学一般
- 研究機関
  成蹊大学
半導体上金属超薄膜の電子構造と力学的耐久性の内部応力による変化
- 研究代表者
  
  金原粲 (金原粢)
- 研究期間 (年度)
  1987 – 1989
- 研究種目
  
  一般研究(B)
- 研究分野
  
  応用物性
- 研究機関
  東京大学

すべて 2012 2011 2010 2009

すべて雑誌論文学会発表図書

[図書] 異種材料界面の測定と評価技術第13章2節付着の測定法と評価2012
- 著者名/発表者名
  馬場茂(分担)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[図書] 異種材料界面の測定と評価技術(監修:石井淑夫)第13章2節付着の測定法と評価2012
- 著者名/発表者名
  馬場茂(分担執筆)
- 出版者
  テクノシステム(東京)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[図書] 薄膜工学第2版第3章3節力学的・機械的性質の評価2011
- 著者名/発表者名
  馬場茂(分担)
- 出版者
  丸善出版
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[図書] 薄膜工学第2版(監修:金原粲)第3章3節力学的・機械的性質の評価2011
- 著者名/発表者名
  馬場茂(分担執筆)
- 出版者
  丸善出版(東京)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[図書] 剥離対策と接着・密着性の向上,第5章1節付着試験に伴う薄膜の応力場2010
- 著者名/発表者名
  馬場茂(分担)
- 出版者
  サイエンサイエンス & テクノロジーテクノロジーテクノロジー
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[図書] 剥離対策と接着・密着性の向上-第5章1節付着試験に伴う薄膜の応力場2010
- 著者名/発表者名
  馬場茂 (分担執筆)
- 出版者
  サイエンス&テクノロジー
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[図書] 実用薄膜プロセス-機能創生・応用展開-,第7章力学薄膜の物性と構造2009
- 著者名/発表者名
  馬場茂(分担)
- 出版者
  技術教育出版
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[雑誌論文] Effects of target voltage during pulse-off period in pulsed magnetron sputtering on afterglow plasma and de-posited film structure2012
- 著者名/発表者名
  T. Nakano, N. Hirukawa, S. Saeki, S. Baba
- 雑誌名
  
  Vacuum
  
  巻: vol.86(in press)
- URL
  http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2012.03.010
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[雑誌論文] Structural and optical properties of reactive-sputtered films of V_2O_5 : Measurement of optical bandgap and roughness correction2012
- 著者名/発表者名
  K.Maki, T.Fukuda, H.Momose, T.Nakano, S.Baba
- 雑誌名
  
  成蹊大学理工学研究報告
  
  巻: 49巻1号(in press)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[雑誌論文] Structural and optical properties of reactive-sputtered films of V2O5 : Meas-urement of optical bandgap and roughness correction2012
- 著者名/発表者名
  K. Maki, T. Fukuda, T. Nakano, S. Baba
- 雑誌名
  
  成蹊大学理工学研究報告
  
  巻: 49巻ページ: 41-44
- URL
  http://hdl.handle.net/10928/
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[雑誌論文] Effects of target voltage during pulse-off period in pulsed magnetron sputtering on afterglow plasma and deposited film structure2012
- 著者名/発表者名
  T.Nakano, N.Hirukawa, S.Saeki, S.Baba
- 雑誌名
  
  Vacuum
  
  巻: 86(in press) ページ: 109-113
- DOI
  10.1016/j.vacuum.2012.03.010
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[雑誌論文] Structural Properties of Island Films of Indium on Si(111) and the Sputter-Etching Profile2011
- 著者名/発表者名
  S.Baba, M.Iozaki, S.Sato, T.Nakano
- 雑誌名
  
  成蹊大学理工学研究報告
  
  巻: 48巻1号ページ: 1-8
- NAID
  120005614688
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[雑誌論文] Structural Properties of Island Films of Indium on Si(111) and the Sputter-Etching Profile2011
- 著者名/発表者名
  S. Baba, M. Iozaki, S. Sato, T. Nakano
- 雑誌名
  
  成蹊大学理工学研究報告
  
  巻: 48巻ページ: 1-8
- NAID
  120005614688
- URL
  http://hdl.handle.net/10928/90
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[雑誌論文] Effect of the target bias voltage during off-pulse period on the impulse magnetron sputtering2010
- 著者名/発表者名
  T.Nakano, C.Murata, S.Baba
- 雑誌名
  
  Vacuum(DOI : 10.1016.2010.01.014) (in press)
  
  ページ: 4-4
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[雑誌論文] Effect of the target bias voltage during off-pulse period on the impulse magnetron sputtering2010
- 著者名/発表者名
  T. Nakano, C. Murata, S. Baba
- 雑誌名
  
  Vacuum
  
  巻: vol.84 ページ: 1368-1371
- URL
  http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2010.01.014
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[雑誌論文] Effect of the target bias voltage during off-pulse period on the impulsemagnetron sputtering2010
- 著者名/発表者名
  T.Nakano, C.Murata, S.Baba
- 雑誌名
  
  Vacuum
  
  巻: 84 ページ: 4-4
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[雑誌論文]2009
- 著者名/発表者名
  馬場茂(分担執筆)
- 雑誌名
  
  実用薄膜プロセス-機能創生・応用展開- 第7章力学薄膜の物性と構造(技術教育出版)
  
  ページ: 219-235
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] Application of high power impulse sputtering to reactive deposition of titanium nitride to suppress oxygen impurity from environment2011
- 著者名/発表者名
  T.Sekiya, H.Ishida, T.Nakano, S.Baba
- 学会等名
  11th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes, SP P-10
- 発表場所
  京都リサーチパーク,京都
- 年月日
  2011-07-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] Diagnostics of impulse magnetron sputtering plasma with modified target bias voltage during pulse-off period2011
- 著者名/発表者名
  T. Nakano, N. Hirukawa, S. Saeki, S. Baba
- 学会等名
  11th International Symposium on Sput-tering & Plasma Processes
- 発表場所
  京都
- 年月日
  2011-07-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] Electrical breakdown characteristics of MgO films deposited by RF magnetron dputtering and its dependence on process gas pressure2011
- 著者名/発表者名
  R.Kosone, Y.Nakagawa, K.Arai, T.Nakano, S.Baba
- 学会等名
  15th Internation Conference on Thin Films, P-S17-05
- 発表場所
  京都テルサ,京都
- 年月日
  2011-11-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] Structural and optical properties of V2O5 thin films prepared by reactive magnetron sputtering : preparation and annealing behavior2011
- 著者名/発表者名
  K. Maki, T. Fukuda, T. Nakano, S. Baba
- 学会等名
  15th International Conference on Thin Films
- 発表場所
  京都
- 年月日
  2011-11-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] Structural and optical properties of V_2O_5 thin films prepared by reactive magnetron sputtering : preparation and snnealing behavior2011
- 著者名/発表者名
  K.Maki, T.Fukuda, T.Nakano, S.Baba
- 学会等名
  15th Internation Conference on Thin Films, P-S1-02
- 発表場所
  京都テルサ,京都
- 年月日
  2011-11-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] パルスoff期のターゲット電位を変化させた高電力パルスマグネトロンスパッタにおけるプラズマ診断2011
- 著者名/発表者名
  中野武雄, 日留川紀彦, 佐伯修平, 馬場茂
- 学会等名
  第58回応用物理関係連合講演会
- 発表場所
  神奈川
- 年月日
  2011-03-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] Growth of target race track profile during magnetron sputtering2011
- 著者名/発表者名
  M. Ueda, T. Nakano, S. Baba
- 学会等名
  11th Interna-tional Symposium on Sputtering & Plasma Processes
- 発表場所
  京都
- 年月日
  2011-07-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] Diagnostics of impulse magnetron sputtering plasma with modified target bias voltage during pulse-off period2011
- 著者名/発表者名
  Nakano, N.Hirukawa, S.Saeki, S.Baba
- 学会等名
  11th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes, SP 1-4
- 発表場所
  京都リサーチパーク,京都
- 年月日
  2011-07-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] Growth of target race track profile during magnetron sputtering2011
- 著者名/発表者名
  M.Ueda, T.Nakano, S.Baba
- 学会等名
  11th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes, SP P-9
- 発表場所
  京都リサーチパーク,京都
- 年月日
  2011-07-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] Application of high power impulse sputtering to reactive deposition of titanium nitride to suppress oxygen im-purity from environment2011
- 著者名/発表者名
  T. Sekiya, H. Ishida, T. Nakano, S. Baba
- 学会等名
  11th Inter-national Symposium on Sputtering & Plasma Processes
- 発表場所
  京都
- 年月日
  2011-07-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] パルスoff期のターゲット電位を変化させた高電力パルスマグネトロンスパッタにおけるプラズマ診断2011
- 著者名/発表者名
  中野武雄, 日留川紀彦, 佐伯修平, 馬場茂
- 学会等名
  第56回応用物理関係連合講演会19p-ZB-5
- 発表場所
  東海大,神奈川
- 年月日
  2011-03-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] Electrical breakdown characteristics of MgO films deposited by RF magnetron sputtering and its dependence on process gas pressure2011
- 著者名/発表者名
  R. Kosone, Y. Nakagawa, K. Arai, T. Nakano, S. Baba
- 学会等名
  15th Interna-tional Conference on Thin Films
- 発表場所
  京都
- 年月日
  2011-11-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] Structure modification of films de-posited by HiPIMS with target bias voltage during pulse-off period2010
- 著者名/発表者名
  N. Hirukawa, R. Hara, T. Nakano, S. Baba
- 学会等名
  18th Interna-tional Vacuum Congress
- 発表場所
  Beijing,中国
- 年月日
  2010-08-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] パルスoff時のターゲット電位を制御した高電力パルススパッタにおけるプラズマ分析2010
- 著者名/発表者名
  日留川紀彦, 中野武雄, 馬場茂
- 学会等名
  第51回真空に関する連合講演会
- 発表場所
  大阪
- 年月日
  2010-11-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] 低付着性の炭素系薄膜の力学特性および界面エネルギー2010
- 著者名/発表者名
  丸山淳, 中野武雄, 馬場茂
- 学会等名
  第122回表面技術講演大会
- 発表場所
  仙台
- 年月日
  2010-09-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] マグネトロンスパッタリングにおけるターゲットエロージョンの時間発展2010
- 著者名/発表者名
  植田麻理子, 中野武雄, 馬場茂
- 学会等名
  第51回真空に関する連合講演会
- 発表場所
  大阪
- 年月日
  2010-11-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] マグネトロンスパッタリングにおけるターゲットエロージョンの時間発展2010
- 著者名/発表者名
  植田麻理子, 中野武雄, 馬場茂
- 学会等名
  第51回真空に関する連合講演会 5P-045
- 発表場所
  大阪大学(吹田),大阪
- 年月日
  2010-11-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] Secondary electron emission and elec-trical breakdown properties of sputtered MgO films at low gas pressures2010
- 著者名/発表者名
  K. Arai, T. Sekiya, T. Nakano, S. Baba
- 学会等名
  18th International Vacuum Congress
- 発表場所
  Beijing,中国
- 年月日
  2010-08-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] パルスoff時のターゲット電位を制御した高電力パルススパッタにおけるプラズマ分析2010
- 著者名/発表者名
  日留川紀彦, 中野武雄, 馬場茂
- 学会等名
  第51回真空に関する連合講演会 4Ba-04
- 発表場所
  大阪大学(吹田),大阪
- 年月日
  2010-11-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] Structure modification of films deposited by HiPIMS with target bias voltage during pulse-off period2010
- 著者名/発表者名
  N.Hirukawa, R.Hara, T.Nakano, S.Baba
- 学会等名
  18th International Vacuum Congress, P1-Tf1-546266a94-6
- 発表場所
  Beijing, 中国
- 年月日
  2010-08-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] 低付着性の炭素系薄膜の力学特性および界面エネルギー2010
- 著者名/発表者名
  丸山淳, 中野武雄, 馬場茂
- 学会等名
  第122回表面技術講演大会 7D-16
- 発表場所
  東北大学(川内北), 仙台
- 年月日
  2010-09-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] Secondary electron emission and electrical breakdown properties of sputtered MgO films at low gas pressures2010
- 著者名/発表者名
  K Arai, T.Sekiya, T.Nakano, S.Baba
- 学会等名
  18th International Vacuum Congress, P3 TF1-4 17ff6e2d-e
- 発表場所
  Beijing, 中国
- 年月日
  2010-08-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] パルス off 期のターゲット電位を変化させたパルスマグネトロンスパッタによる薄膜構造制御2010
- 著者名/発表者名
  中野武雄, 原良輔, 日留川紀彦, 馬場茂
- 学会等名
  第56回応用物理関係連合講演会 19p-ZB-5
- 発表場所
  東海大, 神奈川
- 年月日
  2010-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] パルスoff期のターゲット電位を変化させたパルスマグネトロンスパッタによる薄膜構造制御2010
- 著者名/発表者名
  中野武雄, 原良輔, 日留川紀彦, 馬場茂
- 学会等名
  第57回応用物理関係連合講演会
- 発表場所
  神奈川
- 年月日
  2010-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] Effects of vacuum environment on oxygen impurity during the reactive sputtering deposition of metal nitrides2009
- 著者名/発表者名
  Hirukawa, Nakamura, Suzuki, Nakano, Baba
- 学会等名
  10th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes(日本真空協会)SP P2-5
- 発表場所
  金沢国際ホテル, 石川
- 年月日
  2009-07-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] MgOスパッタ膜の電子放出特性と絶縁破壊特性の製膜時圧力依存性2009
- 著者名/発表者名
  新井完, 関谷賢明, 中野武雄, 馬場茂
- 学会等名
  第50回真空に関する連合講演会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2009-11-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] PTFE・フラーレン重ね蒸着薄膜の摩擦・摩耗特性2009
- 著者名/発表者名
  丸山淳, 塚本英貴, 中野武雄, 馬場茂
- 学会等名
  表面技術協会第120回講演大会
- 発表場所
  千葉
- 年月日
  2009-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] Effects of vacuum environment on oxygen impurity during the reactive sputtering deposition of metal nitrides2009
- 著者名/発表者名
  N. Hirukawa, A. Suzuki, T. Nakano, S. Baba
- 学会等名
  10th International Symposium on Sput-tering & Plasma Processes
- 発表場所
  石川
- 年月日
  2009-07-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] Effect of the bias voltage during off-pulse period on the impulse magnetron sput-tering2009
- 著者名/発表者名
  T. Nakano, C. Murata, S. Baba
- 学会等名
  10th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes
- 発表場所
  石川
- 年月日
  2009-07-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] Effect of the bias voltage during off-pulse period on the impulse magnetron sputtering2009
- 著者名/発表者名
  T.Nakano, C.Murata, S.Baba
- 学会等名
  10th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes(日本真空協会)SP 3-2
- 発表場所
  金沢国際ホテル, 石川
- 年月日
  2009-07-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] PTFE・フラーレン(C60)重ね蒸着薄膜の摩擦・摩耗特性2009
- 著者名/発表者名
  丸山淳, 塚本英貴, 中野武雄, 馬場茂
- 学会等名
  表面技術協会第120回講演大会 18D-02
- 発表場所
  幕張メッセ, 千葉
- 年月日
  2009-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] MgOスパッタ膜の電子放出特性と絶縁破壊特性の製膜時圧力依存性2009
- 著者名/発表者名
  新井完, 関谷賢明, 中野武雄, 馬場茂
- 学会等名
  第50回真空に関する連合講演会 4Ba-2
- 発表場所
  学習院大, 東京
- 年月日
  2009-11-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] パルスoff時のバイアス電位を制御したパルスマグネトロンスパッタの特性(2)2009
- 著者名/発表者名
  中野武雄, 新井完, 馬場茂
- 学会等名
  第70回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  富山
- 年月日
  2009-09-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054
[学会発表] パルス off 時のバイアス電位を制御したパルスマグネトロンスパッタの特性(2)2009
- 著者名/発表者名
  中野武雄, 新井完, 馬場茂
- 学会等名
  第70回応用物理学会学術講演会 9a-N-5
- 発表場所
  富山大, 富山
- 年月日
  2009-09-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560054

1. 中野武雄 (40237342)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 43件
2. 金原粲 (90010719)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

馬場 茂 BABA Shigeru

研究課題

研究成果

共同研究者

酸素フリーな金属窒化物の反応性スパッタ製膜過程の理解と電気物性への酸素混入の効果研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

エキソ電子による薄膜のスクラッチ破損の検出研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

半導体上金属超薄膜の電子構造と力学的耐久性の内部応力による変化

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[図書] 異種材料界面の測定と評価技術第13章2節付着の測定法と評価2012

著者名/発表者名

データソース

[図書] 異種材料界面の測定と評価技術(監修:石井淑夫)第13章2節付着の測定法と評価2012

著者名/発表者名

出版者

データソース

[図書] 薄膜工学第2版第3章3節力学的・機械的性質の評価2011

著者名/発表者名

出版者

データソース

[図書] 薄膜工学第2版(監修:金原粲)第3章3節力学的・機械的性質の評価2011

著者名/発表者名

出版者

データソース

[図書] 剥離対策と接着・密着性の向上,第5章1節付着試験に伴う薄膜の応力場2010

著者名/発表者名

出版者

データソース

[図書] 剥離対策と接着・密着性の向上-第5章1節 付着試験に伴う薄膜の応力場2010

著者名/発表者名

出版者

データソース

[図書] 実用薄膜プロセス-機能創生・応用展開-,第7章力学薄膜の物性と構造2009

著者名/発表者名

出版者

データソース

[雑誌論文] Effects of target voltage during pulse-off period in pulsed magnetron sputtering on afterglow plasma and de-posited film structure2012

著者名/発表者名

雑誌名

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[雑誌論文] Structural and optical properties of reactive-sputtered films of V_2O_5 : Measurement of optical bandgap and roughness correction2012

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[雑誌論文] Structural and optical properties of reactive-sputtered films of V2O5 : Meas-urement of optical bandgap and roughness correction2012

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[雑誌論文] Effects of target voltage during pulse-off period in pulsed magnetron sputtering on afterglow plasma and deposited film structure2012

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[雑誌論文] Structural Properties of Island Films of Indium on Si(111) and the Sputter-Etching Profile2011

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[雑誌論文] Structural Properties of Island Films of Indium on Si(111) and the Sputter-Etching Profile2011

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[雑誌論文] Effect of the target bias voltage during off-pulse period on the impulse magnetron sputtering2010

馬場茂 BABA Shigeru

[図書] 剥離対策と接着・密着性の向上-第5章1節付着試験に伴う薄膜の応力場2010