松室昭仁 MATSUMURO Akihito

研究者番号	80173889
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所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2005年度 – 2015年度: 愛知工業大学, 工学部, 教授 1997年度 – 2004年度: 名古屋大学, 工学研究科, 助教授 1999年度 – 2002年度: 名古屋大学, 工学部, 助教授 1999年度 – 2000年度: 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 助教授 1999年度: 名古屋大学, 工学研究所, 助教授 … もっと見る 1997年度: 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 助教授 1996年度: 名古屋大学, 工学部, 助教授 1994年度 – 1995年度: 名古屋大学, 工学部, 講師 1993年度: 名古屋大学, 工学部, 助手隠す
審査区分/研究分野	研究代表者機械工作・生産工学 / 生産工学・加工学 / 設計工学・機械要素・トライボロジー / 機械材料・材料力学 / 機械材料・材料力学研究代表者以外機械工作・生産工学 / 構造・機能材料 / 生産工学・加工学 / 設計工学・機械機能要素・トライボロジー / 機械材料・材料力学
キーワード	研究代表者機械的性質 / トライボロジー特性 / 薄膜 / Tribological Properties / Carbon Nitride Film / 応力負荷 / 引き上げ法 / 高アスペクト比 / 高アスペクト比加工 / STM加工 … もっと見る / 超潤滑 / 準結晶材料 / C-N thin film / Mechanical properties / Adhesion / Clarification of mechanism / Development of system / Substrate vibration method / Control of residual stress / Thin films / モデル化 / 結晶性薄膜 / 基板励振 / C-N薄膜 / 密着性 / 機構の解明 / システム開発 / 基板励振法 / 残留応力制御 / control of crack propagation / fracture / thin films / development of system / in-situ observation / AFM observation / atomic scale / under tensile stress / マイカ / 装置観察 / 動的観察 / AFM視察 / 亀裂制御 / 破壊 / 観察装置開発 / 動的その場観察 / AFM観察 / アトミックスケール / 応力負荷条件下 / Cubic Phase / Microstructure / Hardness / Ion-Beam-Assited Method / Superhard Coating / B-C-N Thin Films / 微細組織 / イオンビームプロセ / 微細組識 / 超硬質材料 / B-C-N系 / イオンビームプロセス / Incommensurate Theory / Optical Fiber Interferometer / Mechanical Alloying Method / Carbon Nitride / TiN / MoSィイD22ィエD2 / Superlubricity / 超高分解能光ファイバー干渉計 / 配向性 / メカニカルアロイング法 / C-N系 / TiN系 / MoS_2 / Hard Coating / Biomaterial / Mechanical Properties / Synthesis Condition / Ion Beam Mixing Method / C-N系薄膜 / トライポロジー特性 / 生体材料 / 超硬質膜 / ダイナミックイオンミキシング / C-N膜 / High Pressure Technique / UV Laser Induced Polymer / Micro-parts / Mechnaical Properties / Gradient Coating / T_i-N Thin film / Ion Beam Mixing Process / 硬質膜 / 高圧力合成 / 紫外線硬化樹脂 / マイクロパ-ツ / 傾斜機能膜 / 窒化炭素膜 / TiN膜 / イオンビームミキシングプロセス / ニードル / 高アスペクト比穴加工 / 走査型トンネル顕微鏡 / 単層カーボンナノチューブ / シングルナノスケール加工 / 超微細加工 / シングルナノスケール / 穴加工 / シングルナノメータスケール加工 / SPM加工 / 単層ナノチューブ / ピエゾ試料ホルダー / 高アスペクト比凹凸加工 / 低抵抗シリコン / 線加工 / 最適加工条件 / TEMホルダー開発 / カーボン材料 / 加工原理 / TEM内その場観 / ナノスケールSTM加工 / カーボンナノチューブ / TEM内その場観察 / ナノチューブ加工 / タングステン探針 / 金材料 / 凹凸加工 / シリコン単結晶 / 加工メカニズム / 最適条件 / ナノスケール加工 / カーボンナノチューブ探針 / 単準結晶 / 量子摩擦・摩耗 / 微小領域摩擦試験機 / 複合材料 / 超高圧力焼結 … もっと見る研究代表者以外シリコン / 金属ガラス / 転位 / シリコン単結晶 / 走査プローブ顕微鏡 / 放射圧 / メカノケミカル加工 / 超音波加工 / silicon single crystal / wear structure / metallic glass / マイクロトライボロジー / マイクロマシン / 非平衡材料 / 高機能加工 / 塑性加工 / マイクロ加工 / ナノスケール加工 / MEMS / 超微細加工 / 透過型電子顕微鏡 / ナノトライボロジー / マイクロ / トライボロジー / Carbon / Boron / Ti Alloy / Cutting / Sputtering / Thin Film / 炭素 / ホウ素 / Ti合金 / 切削加工 / スパッタリング / 薄膜 / surface modification / microcrystalline alloy / transmission electron microscope / scanning tunneling microscope / atonic force microscope / nanotribology / micro / ナノ / 潤滑膜 / Si単結晶 / 透過電子顕微鏡(TEM) / 走査プローブ顕微鏡(SPM) / ceramics thin film / TEM / scanning probe microscope / microtribology / 硬質薄膜 / 透過電子顕微鏡 / 格子欠陥 / マイクロ摩耗組織 / micro-tribology / micromachine / tribology / non-equilibrium material / nanocrystalline material / ナノ結晶材料 / computer control / stainless steel foil / high performance forming / ultra-fine forming / ceramic fiber / piercing / plastic forming / 打抜き / コンピュータ・コントロール / ステンレス箔 / セラミック・ファイバー / 穴抜き / Mechanical material / 3D Computer Graphics / Visualization / Human interface / Free vibration / Measuring system / Resonance method / Elastic constants / 振動モードの固定 / 固有振動数 / 非破壊検査 / 機械材料 / 3次元コンピュータグラフィックス / 可視化 / ヒューマンインタフェース / 自由振動 / 計測システム / 共振法 / 弾性係数 / PLANETARY ROLLING / IRONING / PCR PROCESS / HIGH-FUNCTIONAL FORMING / PRESSURE WELDING / TUBE FORMING / PLASTIC DEFORMATION / 接合強度 / 遊星圧延 / しごき加工 / PCR加工 / 圧接 / 管加工 / 3D wiring / Functionally gradient material / Rapid prototyping / 3D forming / Micro forming / Metal jet / 三次元配線 / 三次元造形 / 3次元配線 / 傾斜機能材料 / ラピッドプロトタイピング / 3次元造形 / メタルジェット / TUNGSTEN CARBIDE FILM / TITANIUM NITRIDE FILM / FUNCTIONALLY GRADIENT FILM / FUNCTIONAL COATING / MAGNETRON SPUTTERING / RADIO FREQUENCY SPUTTERING / RADIATED SPUTTERING / TiN層 / 傾斜機能 / W膜 / TiN膜 / 傾斜機能膜 / 機能性コーティング / マグネトロンスパッタリング / 高周波スパッタリング / 反応性スパッタリング / ナノインデンテーション / 走査プローブ / ナノ加工(微細加工) / 加工硬化 / ナノインデンター / 原子間力顕微鏡 / MEMS/NEMS / 機械的性質 / SPM / ナノ加工 / アモルファス化 / SiC単結晶 / その場観察 / 水酸アパタイト / マイクロフィーチャ / 表面加工 / マイクロメカニクス / マイクロ部品隠す

単相ナノチューブ探針を用いたSPMによるシングルナノスケール超微細加工法の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  松室昭仁
- 研究期間 (年度)
  2013 – 2015
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  愛知工業大学
MEMS用シリコンを強靭化するSPMを用いたナノ加工技術の開発
- 研究代表者
  
  高木誠
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2012
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  愛知工業大学
ナノチューブを用いた高アスペクト比加工とTEM内その場観察による加工原理の解明研究代表者
- 研究代表者
  
  松室昭仁
- 研究期間 (年度)
  2009 – 2011
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  愛知工業大学
カーボンナノチューブを用いた高アスペクト比ナノスケール加工法の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  松室昭仁
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2008
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  愛知工業大学
マイクロ/ナノトライボロジーの超微細加工への応用
- 研究代表者
  
  高木誠
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2008
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  設計工学・機械機能要素・トライボロジー
- 研究機関
  愛知工業大学
高耐熱B-C-X系硬質膜を用いた難削材の高効率加工に関する研究
- 研究代表者
  
  神崎昌郎
- 研究期間 (年度)
  2006 – 2007
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東海大学
透過電子顕微鏡(TEM)を用いたナノスケールの摩擦現象の解明と潤滑法の開発
- 研究代表者
  
  高木誠
- 研究期間 (年度)
  2005 – 2006
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  設計工学・機械機能要素・トライボロジー
- 研究機関
  愛知工業大学
超音波基板励振によるコーティング膜の残留応力制御法の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  松室昭仁
- 研究期間 (年度)
  2003 – 2004
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  機械材料・材料力学
- 研究機関
  名古屋大学
応力負荷下でのアトミックスケール動的表面観察システムの開発研究代表者
- 研究代表者
  
  松室昭仁
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2002
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  機械材料・材料力学
- 研究機関
  名古屋大学
マイクロマシンのための高性能トライボ材料の創製
- 研究代表者
  
  高木誠
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2002
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  構造・機能材料
- 研究機関
  愛知工業大学
3次元共振法による弾性係数計測システムの開発
- 研究代表者
  
  林武文
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2000
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  機械材料・材料力学
- 研究機関
  関西大学
セラミック・ファイバーをポンチとした超微細打抜き
- 研究代表者
  
  森敏彦
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2000
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  名古屋大学
イオンビームプロセスによるB-C-N系ハイブリッド超硬質コーティング膜の創成研究代表者
- 研究代表者
  
  松室昭仁
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2000
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  名古屋大学
ナノ構造材料のトライボロジーとマイクロマシン応用
- 研究代表者
  
  高木誠
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2000
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  構造・機能材料
- 研究機関
  愛知工業大学
インコメンシュレート理論に基づく超潤滑材料の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  松室昭仁
- 研究期間 (年度)
  1998 – 1999
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  設計工学・機械要素・トライボロジー
- 研究機関
  名古屋大学
メタルジェットによる3次元傾斜複合材ならびに3次元構造体の製法
- 研究代表者
  
  山口勝美
- 研究期間 (年度)
  1997 – 1999
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  名古屋大学
プラネタリ・コニカル・ローリング加工の実用化
- 研究代表者
  
  森敏彦
- 研究期間 (年度)
  1997 – 1998
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  名古屋大学
イオンビームミキシング法を用いたC-N系超硬質膜コーティングによる生体材料の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  松室昭仁
- 研究期間 (年度)
  1997 – 1998
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  名古屋大学
超音波メカノケミカル加工による表面マイクロフィーチャ形成機構の解明
- 研究代表者
  
  森敏彦
- 研究期間 (年度)
  1995
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  名古屋大学
インコメンシュレートな準結晶材料の量子摩擦・摩耗の解明研究代表者
- 研究代表者
  
  松室昭仁
- 研究期間 (年度)
  1995
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  設計工学・機械要素・トライボロジー
- 研究機関
  名古屋大学
イオンビームミキシングプロセスによる高耐久性マイクロパ-ツの開発研究代表者
- 研究代表者
  
  松室昭仁
- 研究期間 (年度)
  1995 – 1996
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  名古屋大学
超音波メカノケミカル加工のマイクロメカニクス
- 研究代表者
  
  森敏彦
- 研究期間 (年度)
  1994
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  名古屋大学
超音波メカノケミカル加工によるマイクロ部品の試作
- 研究代表者
  
  森敏彦
- 研究期間 (年度)
  1993
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  名古屋大学
新しい凖結晶材料の機械的性質に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  松室昭仁
- 研究期間 (年度)
  1993
- 研究種目
  
  奨励研究(A)
- 研究分野
  
  機械材料・材料力学
- 研究機関
  名古屋大学
反応性高周波マグネトロンスパッタリングによる機能性コーティング
- 研究代表者
  
  森敏彦
- 研究期間 (年度)
  1993 – 1994
- 研究種目
  
  試験研究(B)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  名古屋大学

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すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Development of C60/TiN composite film with excellent mechanical properties2015
- 著者名/発表者名
  A. Matsumuro
- 雑誌名
  
  Proceedings of 15th Internal Conference & Exhibition
  
  巻: 15 ページ: 375-376
- 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420073
[雑誌論文] Fabrication of Single-Wall Carbon Nanotube STM Probe and Processing of Single Nanometer Scale Pit with High- Aspect-Ratio for Highly Oriented Pyrolytic Graphite2014
- 著者名/発表者名
  Akihito Matsumuro
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 14th euspen International Conference, Dubrovnik,June 2014
  
  巻: 2014
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420073
[雑誌論文] Fabrication of Distibuted C60 Molecules Reinforced Al Nano-composite Thin Films and Their Mechanical Properties2013
- 著者名/発表者名
  Akihito Matsumuro
- 雑誌名
  
  AVS 60th International Symposium and Exhibition
  
  巻: 60 ページ: 15-15
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420073
[雑誌論文] Nanostructures of Low-Resistivity SiliconWafer with High-Aspect-RatioUsing CarbonNanotube Probe of Scanning Tunneling Microscope2012
- 著者名/発表者名
  A. Matsumuro, M. Takagi, Fabrication of
- 雑誌名
  
  Proceedings of 2012 MRS FallMeeting
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560124
[雑誌論文] Microstructural Change and Work-hardening of Sub-surface of Silicon Single Crystal Scrached under a Very Small Loading Force by AFM2012
- 著者名/発表者名
  M. Takagi, A. Matsumuro
- 雑誌名
  
  Abstract of International Symposium on Role of Electron Microscopy in Industry
  
  ページ: 2-2
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560133
[雑誌論文] Microstructural Change and Work-hardening of Sub-surface of Silicon Single Crystal Scrached under a Very Small Loading Force by AFM2012
- 著者名/発表者名
  M.Takagi, A.Matsumuro
- 雑誌名
  
  Abstract of International Symposium on Role of Electron Microscopy in Industry
  
  巻: Vol.1 ページ: 2-2
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560133
[雑誌論文] High-Aspect-Ratio Nanofabrication of Carbon Materials Using CNT Probe and TEM in-situ Observations of Their Process2011
- 著者名/発表者名
  A.Matsumuro, M.Takagi
- 雑誌名
  
  Proc.the 11^<th> euspen International Conference
  
  ページ: 451-454
- NAID
  40019450966
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560124
[雑誌論文] High-Aspect-Ratio Nanofabrication of Carbon Materials Using CNT Probe and TEM in-situ Observations of Their Process2011
- 著者名/発表者名
  A.Matsumuro, M.Takagi
- 雑誌名
  
  Proc. The 11th euspen International Conference
  
  ページ: 451-454
- NAID
  40019450966
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560124
[雑誌論文] High-Aspect-Ratio Nanofabrication of Carbon Materials Using CNT Probe and TEM in-situ Observations of Their Process2011
- 著者名/発表者名
  A.Matsumuro, M.Takagi
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 11^<th> euspen International Conference
  
  巻: Vol.2 ページ: 451-454
- NAID
  40019450966
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560133
[雑誌論文] High-Aspect-Ratio Nanofabrication of Carbon Materials Using CNT Probe and TEM in-situ Observations of Their Process2011
- 著者名/発表者名
  A. Matsumuro, M. Takagi
- 雑誌名
  
  Proc. the 11^<th> International Conference
  
  ページ: 451-454
- NAID
  40019450966
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560133
[雑誌論文] High-Aspect-Ratio Nanofabrication Using Carbon Nanotube Probe in Scanning Tunneling Microscope2010
- 著者名/発表者名
  松室昭仁, 高木誠
- 雑誌名
  
  Proceedings of the euspen Ineternational Conference (accepted, 未定)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560133
[雑誌論文] High-Aspect-Ratio Nanofabrication Using Carbon Nanotube Probe in Scanning Tunneling Microscope2010
- 著者名/発表者名
  A.Matsumuro, M.Takagi
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 10^<th> euspen International Conference
  
  巻: 10 ページ: 282-285
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560133
[雑誌論文] High-Aspect-Ratio Nanofabrication Using Carbon Nanotube Probe in Scanning Tunneling Microscope2010
- 著者名/発表者名
  A. Matsumuro, M. Takagi
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 10^<th> euspen International Conference
  
  ページ: 282-285
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560133
[雑誌論文] 収束イオンビーム励起化学気相法によるマイクロ構造体の作製と機械的性質の評価2010
- 著者名/発表者名
  高木誠, 中山浩征, 松室昭仁
- 雑誌名
  
  日本金属学会誌 74
  
  ページ: 72-76
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560133
[雑誌論文] 集束イオンビーム励起化学気相法によるマイクロ構造体の作製と機械的性質の評価2010
- 著者名/発表者名
  高木誠, 中山浩征, 松室昭仁
- 雑誌名
  
  金属学会論文集
  
  巻: Vol.74, No.2 ページ: 72-76
- NAID
  10026269067
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560133
[雑誌論文] High-Aspect-RatioNanofabrication Using Carbon NanotubeProbe in Scanning Tunneling Microscope2010
- 著者名/発表者名
  A.Matsumuro, M.Takagi
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 10th euspen InternationalConference
  
  ページ: 282-285
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560124
[雑誌論文] High-Aspect-Ratio Nanofabrication Using Carbon Nanotube Probe in Scanning Tunneling Microscope2010
- 著者名/発表者名
  A.Matsumuro, M.Takagi
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 10^<th> euspen International Conference
  
  ページ: 282-285
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560124
[雑誌論文] TEM and HRTEM Observations of Microstructural Change of Silicon Single Crystal Scratched under Very Small Loading Forces by AFM2008
- 著者名/発表者名
  Makoto Takagi, Kenji Onodera, Akihito Matsumuro, Hiroyuki Iwata, Katsuhiro Sasaki, Hiroyasu Saka
- 雑誌名
  
  Materials Transactions Vol. 49, No. 6
  
  ページ: 1298-1302
- NAID
  10021147448
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560127
[雑誌論文] TEM and HRTEM Observations of Microstructural Change of Silicon Single Crystal Scratched under Very Small Loading Forces by AFM2008
- 著者名/発表者名
  Makoto Takagi, Kenji Onodera, Akihito Matsumuro, Hiroyuki Iwata, Katsuhiro Sasaki, Hiroyasu Saka,
- 雑誌名
  
  Materials Transactions Vol.49, No.6
  
  ページ: 1298-1302
- NAID
  10021147448
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560151
[雑誌論文] TEM and HRTEM Observations of Microstructural Change of Silicon Single Crystal Scratched under Very Small Loading Forces by AFM2008
- 著者名/発表者名
  Makoto Takagi, Kenji Onodera, Akihito Matsumuro, Hiroyuki Iwata Katsuhiro Sasaki, Hiroyasu Saka
- 雑誌名
  
  Materials Transactions Vol. 49, No. 6
  
  ページ: 1298-1302
- NAID
  10021147448
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560151
[雑誌論文] TEM and HRTEM Observations of Microstructural Change of Silicon Single Crystal Scratched under Very Small Loading Forces by AFM2008
- 著者名/発表者名
  Makoto Takagi, Kenji Onodera, Akihito Matsumuro, Hiroyuki Iwata, Katsuhiro Sasaki and Hiroyasu Saka
- 雑誌名
  
  Materials Transactions 49-6
  
  ページ: 1298-1302
- NAID
  10021147448
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560151
[雑誌論文] SPMを用いたSi単結晶のナノ加工と表面の構造変化2007
- 著者名/発表者名
  吉田浩也, 松室昭仁, 岩田博之, 高木誠
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 Vol.73, No.10
  
  ページ: 1149-1153
- NAID
  110006403576
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560151
[雑誌論文] SPMを用いたSi単結晶のナノ加工と表面変化2007
- 著者名/発表者名
  吉田浩也、松室昭仁、岩田博之、高木誠
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 73巻10号
  
  ページ: 1149-1153
- NAID
  130004658416
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560151
[雑誌論文] SPMを用いたSi単結晶のナノ加工と表面の構造変化2007
- 著者名/発表者名
  吉田浩也, 松室昭仁, 岩田博之, 高木誠
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 Vol.73
  
  ページ: 1149-1153
- NAID
  110006403576
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560127
[雑誌論文] カーボンナノチューブ探針を用いた高アスペクト比ナノスケール穴加工法の開発-単層カーボンナノチューブ探針の作製と高配向焼結グラファイトの加工-2006
- 著者名/発表者名
  有馬則和, 荻原高志, 金森晃宏, 松室昭仁
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 72-1
  
  ページ: 116-120
- NAID
  110002978321
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17560128
[雑誌論文] Mechanical Properties of Thin Films Synthesized by Controlled Substrate Vibration2005
- 著者名/発表者名
  Takamasa SUZUKI, Yasutaka MATSUBARA, Akihito MATSUMURO
- 雑誌名
  
  Journal of the Japan Society for Precision Engineering (in print)
- NAID
  10014382707
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360052
[雑誌論文] Mechanical properties of thin films synthesized by controlled substrate vibration2005
- 著者名/発表者名
  Takamasa Suzuki, Akihito Matsumuro
- 雑誌名
  
  Proc.MHS (in print)
- NAID
  10014382707
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360052
[雑誌論文] Fracture Characteristics in Carbon Nitride Films Synthesized by Ion Beam Assist Deposition2005
- 著者名/発表者名
  Takamasa SUZUKI, Yasutaka MATSUBARA, Yu YAMAMOTO, Akihito MATSUMURO
- 雑誌名
  
  Journal of the Japan Society for Precision Engineering (in print)
- NAID
  110001824133
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360052
[雑誌論文] High-Aspect-Ratio Nanofabrication Using Carbon Nanotube Probe in Scanning Tunneling Microscope2005
- 著者名/発表者名
  N.Arima, A.Matsumuro
- 雑誌名
  
  2005 International Symposium on Micro-Nano Mechatronics and Human Science
  
  ページ: 189-192
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17560128
[雑誌論文] Mechanism of Residual Stress Control in Thin Films by Means of Substrate Vibration2005
- 著者名/発表者名
  Takamasa SUZUKI, Akihito MATSUMURO, Yutaka TAKAHASHI
- 雑誌名
  
  Journal of the Japan Society for Precision Engineering (in print)
- NAID
  110001824146
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360052
[雑誌論文] Fabrication of High-Aspect-Ratio Nanoscale Pit Using Carbon Nanotube Probe and Effect on Its Microstructure2005
- 著者名/発表者名
  N.Arima, A.Matsumuro
- 雑誌名
  
  The 4th International Conference on Materials Processing for Properties and Performance
  
  ページ: 328-331
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17560128
[雑誌論文] Development of Control Method for Residual Stress in Thin Film by Substrate Vibration2004
- 著者名/発表者名
  Akihito MATSUMURO, Takamasa SUZUKI, Tsuyoshi KUBOYAMA, Yuuki SANADA, Daisuke MORINO
- 雑誌名
  
  Journal of the Japan Society for Precision Engineering 72-4
  
  ページ: 533-537
- NAID
  130004655672
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360052
[雑誌論文] 基板励振による薄膜の残留応力制御法の開発2004
- 著者名/発表者名
  松室昭仁
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 Vol.72・4
  
  ページ: 533-537
- NAID
  110001823973
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360052
[学会発表] Anisotropic Evaluation of Mechanical Properties Related to Printing Direction and Development of Nanocomposite Materials to Establish Direct Digital Manufacturing2015
- 著者名/発表者名
  H. Sakaguchi, A. Matsumuro
- 学会等名
  American Vacuum Society 62 International Symposium
- 発表場所
  San Jose(USA)
- 年月日
  2015-10-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420073
[学会発表] Fabrication of Dispersed C60 Molecules/TiAlN Nano-Composite Films with Superior Mechanical Properties2015
- 著者名/発表者名
  Y. Ishiyama, A. Matsumuro
- 学会等名
  American Vacuum Society 62 International Symposium
- 発表場所
  San Jose(USA)
- 年月日
  2015-10-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420073
[学会発表] Development of Graphene/Al Composite material with High Strength Properties2015
- 著者名/発表者名
  Y. Oguro, A. Matsumuro
- 学会等名
  American Vacuum Society 62 International Symposium & Exhibition
- 発表場所
  San Jose(USA)
- 年月日
  2015-10-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420073
[学会発表] 単層ナノチューブニードルの作製とナノスケール加工2014
- 著者名/発表者名
  大住元舜、高木誠、松室昭仁
- 学会等名
  2014年度精密工学会春期大会
- 発表場所
  東京大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420073
[学会発表] Microstructural Change and Work-hardening of Sub-surface of Silicon Single Crystal Scratched under a Very Small Loading Force by AFM2012
- 著者名/発表者名
  M.Takagi, A.Matsumuro, H.Iwata, H.Saka
- 学会等名
  International Symposium on Role of Electron Microscopy in Industry
- 発表場所
  名古屋大学
- 年月日
  2012-01-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560124
[学会発表] AFMを用いたSi単結晶のナノトライボロジーに及ぼす環境の影響2012
- 著者名/発表者名
  櫻井淳平、高木誠、松室昭仁、岩田博之
- 学会等名
  精密工学会秋季大会
- 発表場所
  北九州市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560124
[学会発表] CNTを用いたSTMによる低抵抗Siのナノ加工と原理の解明2012
- 著者名/発表者名
  神戸健吾、松室昭仁、高木誠、岩田博之
- 学会等名
  精密工学会秋季大会
- 発表場所
  北九州市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560124
[学会発表] AFM を用いた Si 単結晶のナノトライボロジーに及ぼす環境の影響2012
- 著者名/発表者名
  櫻井淳平、高木誠、松室昭仁、岩田博之
- 学会等名
  精密工学会秋季大会講演論文集
- 発表場所
  北九州.
- 年月日
  2012-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560124
[学会発表] 真空加熱下における AFM による Si 単結晶のナノ加工2011
- 著者名/発表者名
  若山大輔、高木誠、松室昭仁、岩田博之
- 学会等名
  精密工学会秋季大会講演論文集
- 発表場所
  金沢
- 年月日
  2011-09-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560124
[学会発表] 真空加熱下におけるAFMによるSi単結晶のナノ加工2011
- 著者名/発表者名
  若山大輔, 高木誠, 松室昭仁, 岩田博之
- 学会等名
  精密工学会秋季大会
- 発表場所
  金沢大学
- 年月日
  2011-09-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560124
[学会発表] 真空加熱下におけるAFMによるSi単結晶のナノ加工2011
- 著者名/発表者名
  松室昭仁, 高本誠, 若山大輔
- 学会等名
  2011年度精密工学会秋季大会
- 発表場所
  金沢大学
- 年月日
  2011-09-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560133
[学会発表] CNT を用いた STM による低抵抗 Si のナノ加工と原理の解明2010
- 著者名/発表者名
  神戸健吾、松室昭仁、高木誠、岩田博之
- 学会等名
  精密工学会秋季大会講演論文集
- 発表場所
  北九州
- 年月日
  2010-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560124
[学会発表] CNT探針を用いたSTMによるカーボン材料の高アスペクト比ナノスケール加工2010
- 著者名/発表者名
  岩見裕介, 高木誠, 松室昭仁
- 学会等名
  日本機械学会第2回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560133
[学会発表] CNT探針を用いたSTMによるカーボン材料の高アスペクト比ナノスケール加工2010
- 著者名/発表者名
  岩見裕介, 高木誠, 松室昭仁
- 学会等名
  日本機械学会第2回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- 発表場所
  くにびきメッセ(松江市)
- 年月日
  2010-10-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560124
[学会発表] スパッタリング法によるTi-Ni形状記憶合金ナノスケール薄膜の作製と評価2010
- 著者名/発表者名
  宇佐美幸博, 高木誠, 松室昭仁
- 学会等名
  日本機械学会第2回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- 発表場所
  松江
- 年月日
  2010-10-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560133
[学会発表] 電圧印加に伴うナノスケール現象の TEM 内その場観察2010
- 著者名/発表者名
  江間弘崇、高木誠、松室昭仁、岩田博之
- 学会等名
  日本機械学会第2回マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集
- 発表場所
  松江
- 年月日
  2010-10-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560124
[学会発表] TEMによる水酸アパタイトのマイクロ/ナノプロセスの解明2010
- 著者名/発表者名
  冨田雅斗, 高木誠, 松室昭仁
- 学会等名
  日本機械学会第2回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- 発表場所
  松江
- 年月日
  2010-10-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560133
[学会発表] 電圧印加に伴うナノスケール現象のTEM内その場観察2010
- 著者名/発表者名
  江間弘崇, 高木誠, 松室昭仁, 岩田博之
- 学会等名
  日本機械学会第2回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- 発表場所
  くにびきメッセ(松江市)
- 年月日
  2010-10-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560124
[学会発表] TEMによる水酸アパタイトのマイクロ/ナノ摩耗プロセスの解明2010
- 著者名/発表者名
  冨田雅斗, 高木誠, 松室昭仁
- 学会等名
  日本機械学会第2回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- 発表場所
  くにびきメッセ(松江市)
- 年月日
  2010-10-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560124
[学会発表] CNT 探針を用いた STM によるカーボン材料の高アスペクト比ナノスケール加工2010
- 著者名/発表者名
  岩見裕介、高木誠、松室昭仁
- 学会等名
  日本機械学会第2回マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集、pp181-182
- 発表場所
  松江
- 年月日
  2010-10-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560124
[学会発表] スパッタリング法によるTi-Ni形状記憶合金ナノスケール薄膜の作製と評価2010
- 著者名/発表者名
  宇佐美幸博, 高木誠, 松室昭仁
- 学会等名
  日本機械学会第2回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- 発表場所
  くにびきメッセ(松江市)
- 年月日
  2010-10-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22560124
[学会発表] 電圧印加に伴うナノスケール現象のTEM内その場観察2010
- 著者名/発表者名
  江間弘崇, 高木誠, 松室昭仁, 岩田博之
- 学会等名
  日本機械学会第2回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560133
[学会発表] 電圧印加に伴うナノスケール現象のTEM内その場観察スケール加工2010
- 著者名/発表者名
  江間弘崇, 高木誠, 松室昭仁, 岩田博之
- 学会等名
  日本機械学会第2回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- 発表場所
  松江
- 年月日
  2010-10-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560133
[学会発表] AFMを用いた電圧印加によるナノ加工2009
- 著者名/発表者名
  稲垣貴生, 高木誠, 松室昭仁・岩田博之
- 学会等名
  2009年度精密工学会秋季大会
- 発表場所
  神戸大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560133
[学会発表] CNTを用いたSTMによるSiウェハの高アスペクト比ナノ加工2009
- 著者名/発表者名
  久米崇亮, 松室昭仁, 高木誠, 岩田博之
- 学会等名
  2009年度精密工学会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560133
[学会発表] FIB-CVDによるマイクロ構造体の作製と機械的性質2008
- 著者名/発表者名
  中山浩征, 高木誠, 松室昭仁
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  東北大学(仙台市)
- 年月日
  2008-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560151
[学会発表] FIB-CVDによるマイクロ構造体の作製と機械的性質2008
- 著者名/発表者名
  中山浩征、高木誠、松室昭仁
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会論文集I46
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560151
[学会発表] SPM加工現象のTEM内その場観察2008
- 著者名/発表者名
  松本達、高木誠、松室昭仁、岩田博之
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会論文集I64
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560151
[学会発表] 生体適合材料のAFMによるマイクロトライボロジーと構造変化2008
- 著者名/発表者名
  川本竜也、高木誠、松室昭仁
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会論文集I62
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560151
[学会発表] FIB-CVDによるマイクロ構造体の作製と機械的性質2008
- 著者名/発表者名
  中山浩征, 高木誠, 松室昭仁
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  東北大学(仙台市)
- 年月日
  2008-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560127
[学会発表] スパッタリングTiC薄膜のマイクロスケールにおける機械的特性2008
- 著者名/発表者名
  粕谷健太, 高木誠, 松室昭仁
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  東北大学(仙台市)
- 年月日
  2008-09-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560127
[学会発表] 生体適合材料のAFMによるマイクロトライボロジーと構造変化2008
- 著者名/発表者名
  川本竜也, 高木誠, 松室昭仁
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  東北大学(仙台市)
- 年月日
  2008-09-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560151
[学会発表] SPM加工現象のTEM内その場観察2008
- 著者名/発表者名
  松本達, 高木誠, 松室昭仁
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  東北大学(仙台市)
- 年月日
  2008-09-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560151
[学会発表] SPM加工現象のTEM内その場観察2008
- 著者名/発表者名
  松本達, 高木誠, 松室昭仁
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  東北大学
- 年月日
  2008-09-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560127
[学会発表] 生体適合材料のAFMによるマイクロトライボロジーと構造変化2008
- 著者名/発表者名
  川本竜也, 高木誠, 松室昭仁
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  東北大学(仙台市)
- 年月日
  2008-09-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560127
[学会発表] スパッタリングTiC薄膜のマイクロスケールにおける機械的特性2008
- 著者名/発表者名
  粕谷健太、高木誠、松室昭仁
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会論文集I63
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560151
[学会発表] スパッタリングTiC薄膜のマイクロスケールにおける機械的特性2008
- 著者名/発表者名
  粕谷健太, 高木誠, 松室昭仁
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  東北大学(仙台市)
- 年月日
  2008-09-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560151
[学会発表] SPM加工現象のTEM内その場観察2008
- 著者名/発表者名
  松本達、高木誠、松室昭仁、岩田博之
- 学会等名
  精密工学会秋季大会学術講演会論文集(I64)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560127
[学会発表] ナノチューブ探針を用いたSTM加工による微小構造体の作製2007
- 著者名/発表者名
  新井裕之, 松室昭仁, 高木誠
- 学会等名
  2007年度精密工学会秋季大会論文集(707-708)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560151
[学会発表] ナノチューブ探針を用いたSTM加工による微小構造体の作製2007
- 著者名/発表者名
  新井裕之, 松室昭仁, 高木誠
- 学会等名
  2007年度精密工学会秋季大会論文集(707-708)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560127
[学会発表] AFMを用いた引掻き加工に伴うSi単結晶の微構造変化2007
- 著者名/発表者名
  岡田猛, 高木誠, 松室昭仁, 岩田博之, 坂公恭
- 学会等名
  2007年度精密工学会秋季大会論文集(839-840)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560151
[学会発表] ナノチューブ探針を用いたSTM加工による微小構造体の作製2007
- 著者名/発表者名
  新井裕之, 松室昭仁, 高木誠
- 学会等名
  2007年度精密工学会秋季大会
- 発表場所
  旭川市
- 年月日
  2007-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560127
[学会発表] AFMを用いた引掻き加工に伴うSi単結晶の微構造変化2007
- 著者名/発表者名
  岡田猛、高木誠、松室昭仁、岩田博之、坂公恭
- 学会等名
  精密工学会(秋期大会学術講演会)
- 発表場所
  旭川市
- 年月日
  2007-09-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560151
[学会発表] AFMによる引掻き加工に伴うSi単結晶のアモルファス化とその挙動2007
- 著者名/発表者名
  岡田猛, 高木誠, 松室昭仁, 岩田博之, 坂公恭
- 学会等名
  日本金属学会講演概要2007年秋期大会
- 発表場所
  419
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560151
[学会発表] Development of CNT/Ni Composite Plated Films with Excellent Mechanical Properties
- 著者名/発表者名
  Akihito Matsumuro
- 学会等名
  American Vacuum Society 61 International Symposium& Exhibition
- 発表場所
  Baltimore, USA
- 年月日
  2014-11-09 – 2014-11-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420073
[学会発表] Fabrication of Single-Wall Carbon Nanotube STM Probe and Processing of Single Nanometer Scale Pit with High-Aspect-Ratio for Highly Oriented Pyrolytic Graphite
- 著者名/発表者名
  Akihito Matsumuro
- 学会等名
  the 13th euspen International Conference & Exhibition
- 発表場所
  Dubrovnik, Croatia
- 年月日
  2014-06-02 – 2014-06-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420073

1. 中本剛 (30198262)

共同の研究課題数: 12件

共同の研究成果数: 0件
2. 森敏彦 (90023340)

共同の研究課題数: 11件

共同の研究成果数: 0件
3. 高木誠 (40288428)

共同の研究課題数: 8件

共同の研究成果数: 61件
4. 新美智秀 (70164522)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 0件
5. 酒井克彦 (80262856)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
6. 佐藤一雄 (30262851)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
7. 井村徹 (50022968)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
8. 羽根一博 (50164893)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
9. 土屋総二郎

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
10. 山口勝美 (40023056)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
11. 林武文 (90268326)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
12. 妹尾允史 (40023147)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
13. 福澤健二 (60324448)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
14. 高橋裕 (10216765)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
15. 小竹茂夫 (40242929)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
16. 神崎昌郎 (20366024)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
17. 桜井正俊

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
18. 小林勝

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
19. 平野元久

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
20. TSUCHIYA Sooichiro

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

松室 昭仁 MATSUMURO Akihito

研究課題

研究成果

共同研究者

単相ナノチューブ探針を用いたSPMによるシングルナノスケール超微細加工法の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ナノチューブを用いた高アスペクト比加工とTEM内その場観察による加工原理の解明研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

カーボンナノチューブを用いた高アスペクト比ナノスケール加工法の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

超音波基板励振によるコーティング膜の残留応力制御法の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

応力負荷下でのアトミックスケール動的表面観察システムの開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

イオンビームプロセスによるB-C-N系ハイブリッド超硬質コーティング膜の創成研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

松室昭仁 MATSUMURO Akihito