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篠嶋 妥  Sasajima Yasushi

ORCIDORCID連携する *注記
… 別表記

篠島 妥  ササジマ ヤスシ

篠嶋 安  ササジマ ヤスシ

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研究者番号 80187137
その他のID
外部サイト
所属 (現在) 2025年度: 茨城大学, 応用理工学野, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2017年度 – 2023年度: 茨城大学, 理工学研究科(工学野), 教授
2009年度 – 2017年度: 茨城大学, 工学部, 教授
2007年度 – 2009年度: 茨城大学, 工学部, 准教授
2005年度 – 2006年度: 茨城大学, 工学部, 助教授
1997年度 – 1998年度: 茨城大学, 工学部, 助教授
1988年度 – 1992年度: 茨城大学, 工学部, 助手
審査区分/研究分野
研究代表者
材料加工・組織制御工学
研究代表者以外
複合材料・表界面工学 / 小区分31010:原子力工学関連 / 原子力学 / 構造・機能材料 / 小区分26050:材料加工および組織制御関連 / 金属物性 / 金属物性 / 材料加工・組織制御工学
キーワード
研究代表者
構造緩和 / 金属超格子 / シミュレーション / 分子動力学法 / 超弾性効果 / 計算機シミュレ-ション / 高周波スパッタリング / 電子・電気材料 / 材料組織制御 / 結晶粒成長 … もっと見る / 不純物のピン止め効果 / 外部応力印加 / 不純物低減 / 粒径増大 / 超微細Cu配線 / 計算機実験 / フェーズフィールド法 / 不純物効果 / 粒径粗大化 / 超微細銅配線 / 残留歪 / ミスマッチ / 応力‐歪曲線 / 弾性定数 / 界面整合歪 / 薄膜成長モ-ド / 蒸着プロセス / 薄膜形成過程 / 真空蒸着 … もっと見る
研究代表者以外
ナノ構造 / ナノ材料 / イオン照射 / セラミックス / 分子動力学法 / 熱伝導率 / 抵抗率 / LSI / 粒子法 / 粒子線 / 透過型電子顕微鏡 / 照射損傷 / 熱電変換 / ボールミル / 熱電変換材料 / 熱電特性 / 結晶粒径 / 配線抵抗率 / TEG / Cu配線 / モンテカルロ法 / 準結晶 / 高速重イオン照射 / デバイス設計 / 構造・機能材料 / 熱伝達係数 / ドーピング / 多孔質 / 接合界面 / 孔径 / ポロシティ / 多孔質材料 / 拡散接合 / フェーズフィールド法 / 粒子法シミュレーション / 一方向凝固 / 多孔質熱電材料 / シミュレーション / その場観察 / 界面構造 / 超音波接合 / ナノコンポジット / コンポジット構造 / 熱電材料 / セル構造 / 自己修復 / 加速器 / 高速重イオン / ナノヒロック / Tracer atom / Penrose pattern / Fibonacci lattice / Monte-Carlo Method / Vacuum extraction method / Solubility of Hydrogen / Diffusivity of Hydrogen / Quasicrystal / 計算機シミュレーション / ヘンリー・エルザー型モデル / 構造モデル / 冷却速度 / ヘンリ-・エルザ-型モデル / 計算機シュミレ-ション / 真空加熱抽出法 / 水素拡散挙動 / トレ-サ-原子 / ペンロ-ズパタン / フィボナッチ列 / 真空中固相抽出法 / 水素溶解度 / 水素拡散係数 / Oxygen / Cu Plating / High-purity Plating Material / Cu Interconnects / Grain Size / Low Resistivity / 配線の密着性向上 / 配線の低抵抗化 / 技術ノード35nm / エレクトロマイグレーション / ナノスクラッチ試験 / 標準偏差 / 平均結晶粒径 / 硫酸銅純度 / Cu配線形成 / LSI用Cu配線 / 耐エレクトロマイグレーション性 / 密着性 / めっき材料 / 酸素濃度 / 高純度プロセス / 均一・大粒径 / 高純度めっき材 / 模擬デバイス / Short pulse / Thermal conductivity / Harmonic potential / Molecular dynamics method / Thermal diffusivity / Thin film / Laser flash method / Pico second pulse laser / 超格子 / 短パルス / 調和ポテンシャル / 熱拡散率測定 / 薄膜 / レーザーフラッシュ法 / ピコ秒パルス分光 / バンド構造 / ナノ構造化熱電材料 / フォノン散乱 / キャリア密度 / 組織制御 / 複合組織 / 固溶度 / ギブス-トムソン効果 / 状態図 / 相変態 / 低ひずみ / TSV / 低歪 / 化合物 / 3次元実装 / 不純物 / Cuめっき / 低抗率 / 3次元実装 / Cu-TSV / 核燃料模擬物質 / 格子欠陥 / 原子力エネルギー / 核燃料 / 原子力材料 / 配線評価用TEG / パルスめっき技術 / 添加剤フリーめつき技術 / 超高純度めっき材料 / ULSI / 微細構造 / 微量不純物 / Cuの高純度化 / 分子動力学シミュレーション / 革新的高導電性 / 超高純度めっき材 / 添加剤フリー / Cu 配線 / 収差補正STEM / クレヴァス / Ru膜 / 添加剤フリーめっき / 収差補正TEM / 粒界不純物 / 超高純度硫酸銅 / 情報材料 / 電子 / 結晶成長 / キンク / ペンロ-ズ格子 / 分子動力学 隠す
  • 研究課題

    (18件)
  • 研究成果

    (105件)
  • 共同研究者

    (31人)
  •  再結晶化/物質移動に着目した耐照射性セラミックスの照射損傷メカニズムの解明

    • 研究代表者
      石川 法人
    • 研究期間 (年度)
      2023 – 2025
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分31010:原子力工学関連
    • 研究機関
      国立研究開発法人日本原子力研究開発機構
  •  耐照射性セラミックスの表面ナノ構造観察による照射損傷メカニズムの解明

    • 研究代表者
      石川 法人
    • 研究期間 (年度)
      2020 – 2022
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分31010:原子力工学関連
    • 研究機関
      国立研究開発法人日本原子力研究開発機構
  •  超音波接合における表面-界面遷移過程の動的直視

    • 研究代表者
      岩本 知広
    • 研究期間 (年度)
      2018 – 2021
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分26050:材料加工および組織制御関連
    • 研究機関
      茨城大学
  •  立体的熱界面制御と新しい高効率熱電変換システム

    • 研究代表者
      池田 輝之
    • 研究期間 (年度)
      2017 – 2019
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      複合材料・表界面工学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  歪エネルギー駆動による超微細Cu配線の結晶粒粗大化プロセス開発研究代表者

    • 研究代表者
      篠嶋 妥
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2018
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      材料加工・組織制御工学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  高速重イオン照射によって形成された表面ナノ構造の直接観察

    • 研究代表者
      石川 法人
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2018
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      原子力学
    • 研究機関
      国立研究開発法人日本原子力研究開発機構
  •  低次元制御量子ナノ構造をもつバルク熱電材料の創製

    • 研究代表者
      池田 輝之
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2017
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      複合材料・表界面工学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  高エネルギー非平衡状態を利用した熱電材料のナノ構造化と新機能

    • 研究代表者
      池田 輝之
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2017
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      複合材料・表界面工学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  3次元実装用低ひずみ・高アスペクト比TSV開発

    • 研究代表者
      大貫 仁
    • 研究期間 (年度)
      2013 – 2015
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      材料加工・組織制御工学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  異種元素添加した核燃料模擬材料の高エネルギー重イオン照射効果

    • 研究代表者
      岩瀬 彰宏
    • 研究期間 (年度)
      2009 – 2012
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      原子力学
    • 研究機関
      大阪府立大学
  •  極限高純度めっきプロセスによるCu配線ナノ構造制御と次世代ナノLSIへの展開

    • 研究代表者
      大貫 仁
    • 研究期間 (年度)
      2008 – 2012
    • 研究種目
      基盤研究(S)
    • 研究分野
      構造・機能材料
    • 研究機関
      茨城大学
  •  20nm技術LSI用Cu配線材料の研究

    • 研究代表者
      大貫 仁
    • 研究期間 (年度)
      2005 – 2007
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      構造・機能材料
    • 研究機関
      茨城大学
  •  波長可変ピコ秒パルス分光による超格子薄膜の熱拡散率測定

    • 研究代表者
      太田 弘道
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1998
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      金属物性
    • 研究機関
      茨城大学
  •  金属超格子における超弾性効果の研究研究代表者

    • 研究代表者
      篠嶋 妥
    • 研究期間 (年度)
      1992
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      茨城大学
  •  金属超格子における超弾性効果の研究研究代表者

    • 研究代表者
      篠嶋 妥
    • 研究期間 (年度)
      1991
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      茨城大学
  •  準結晶の生成過程を微視的に解明する研究(計算機実験)

    • 研究代表者
      小澤 哲
    • 研究期間 (年度)
      1991
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      茨城大学
  •  金属超格子における超弾性効果の研究研究代表者

    • 研究代表者
      篠嶋 妥
    • 研究期間 (年度)
      1990 – 1992
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      茨城大学
  •  準周期構造中の水素拡散

    • 研究代表者
      市村 稔
    • 研究期間 (年度)
      1988 – 1990
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      金属物性
    • 研究機関
      茨城大学

すべて 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2015 2013 2012 2011 2010 2009 2008 2007 2006 その他

すべて 雑誌論文 学会発表 産業財産権

  • [雑誌論文] フェーズフィールドクリスタル法による加圧ボンディングプロセスの シミュレーション2022

    • 著者名/発表者名
      篠嶋妥、小野澤亮祐、畠山慎悟、岩本知広
    • 雑誌名

      Mate2022

      巻: 2 ページ: 242-243

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K04769
  • [雑誌論文] Nanopore Formation in CeO2 Single Crystal by Ion Irradiation: A Molecular Dynamics Study2021

    • 著者名/発表者名
      Sasajima Yasushi、Kaminaga Ryuichi、Ishikawa Norito、Iwase Akihiro
    • 雑誌名

      Quantum Beam Science

      巻: 5 号: 4 ページ: 32-32

    • DOI

      10.3390/qubs5040032

    • オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K05389
  • [雑誌論文] ロータス型多孔質熱電材料を用いた新しい熱電変換デバイスの可能性2020

    • 著者名/発表者名
      池田輝之,永野隆敏,篠嶋妥
    • 雑誌名

      機能材料

      巻: 39 ページ: 52-59

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03399
  • [雑誌論文] Structure analysis of the defects generated by a thermal spike in single crystal CeO2: A molecular dynamics study2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Sasajima et al.
    • 雑誌名

      Nuclear Inst. and Methods in Physics Research B

      巻: 440 ページ: 118-125

    • DOI

      10.1016/j.nimb.2018.12.013

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06963
  • [雑誌論文] Effects of Electroplating at Lower Leveler and Suppressor Contents on the Formation of Very Low Resistivity Narrow Cu Interconnects2019

    • 著者名/発表者名
      Miyamoto Ryo、Tamahashi Kunihiro、Inami Takashi、Sasajima Yasushi、Onuki Jin
    • 雑誌名

      Journal of The Electrochemical Society

      巻: 166 号: 4 ページ: D137-D143

    • DOI

      10.1149/2.0991904jes

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06793
  • [雑誌論文] ロータスアルミニウムにおけるポア成長のフェーズフィールドシミュレーション (Phase field simulation of pore growth in lotus aluminum)2018

    • 著者名/発表者名
      劉濱,池田輝之,篠嶋妥
    • 雑誌名

      軽金属

      巻: 68 ページ: 257-258

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03399
  • [雑誌論文] Nano-Structure-Controlled Very Low Resistivity Cu Wires Formed by High Purity and Optimized Additives2018

    • 著者名/発表者名
      Onuki Jin、Tamahashi Kunihiro、Inami Takashi、Nagano Takatoshi、Sasajima Yasushi、Ikeda Shuji
    • 雑誌名

      IEEE Journal of the Electron Devices Society

      巻: 6 ページ: 506-511

    • DOI

      10.1109/jeds.2018.2808494

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06793
  • [雑誌論文] Phase-field simulation of the Si precipitation process in Mg2Si under an applied stress2018

    • 著者名/発表者名
      Bin Liu, Teruyuki Ikeda, Yasushi Sasajima
    • 雑誌名

      Mater. Sci. Eng. B

      巻: 229 ページ: 65-69

    • DOI

      10.1016/j.mseb.2017.12.022

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289246, KAKENHI-PROJECT-16K14399, KAKENHI-PROJECT-17H03399
  • [雑誌論文] Simulation of the Si Precipitation Process in Mg<sub>2</sub>Si Using a Phase-Field Kinetic Model2016

    • 著者名/発表者名
      Bin Liu, Teruyuki Ikeda, Yasushi Sasajima
    • 雑誌名

      MATERIALS TRANSACTIONS

      巻: 57 号: 6 ページ: 922-926

    • DOI

      10.2320/matertrans.M2015479

    • NAID

      130005153147

    • ISSN
      1345-9678, 1347-5320
    • 言語
      英語
    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289246
  • [雑誌論文] Pinning Effect of Fe(ClO) and Ti(ClO) Compounds on Cu Grain Growth in Very Narrow Cu Wires2015

    • 著者名/発表者名
      Takatoshi Nagano, Yashushi Sasajima, Bobuhiro Ishikawa, Kunihiro Tamahashi,Kishio Hidaka,and Jin Onuki
    • 雑誌名

      ECS Electrochemistry Letters

      巻: 4

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289258
  • [雑誌論文] Effectiveness of a periodic annealing method to coarsen Cu grains in very narrow trenches2015

    • 著者名/発表者名
      Yasushi Sasajima, Tatsuya Miyamoto, Takatoshi Saitoh, Takahiro Yokoyama and Jin Onuki
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering

      巻: 131 ページ: 43-50

    • DOI

      10.1016/j.mee.2014.10.006

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289258
  • [雑誌論文] Molecular dynamics simulation of fast particle irradiation to the single crystal CeO22013

    • 著者名/発表者名
      Y.Sasajima, N.Ajima, T.Osada; N.Ishikawa, A.Iwase
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Reserch B

      巻: -

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360469
  • [雑誌論文] Electron backscatter diffraction analysis of electrodeposited nano-scale copper wires2013

    • 著者名/発表者名
      T.Nagano,Y.Sasajima,K.Tamahashi, and J.Onuki
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: (掲載確定)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226014
  • [雑誌論文] Cs-corrected STEM Observation and Atomic Modeling of Grain Boundary Impurities of Very Narrow Cu interconnect2013

    • 著者名/発表者名
      T.Nagano,Y.Sasajima,K.Tamahashi, and J.Onuki
    • 雑誌名

      ECS Electrochemistry Letters

      巻: 掲載確定

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226014
  • [雑誌論文] Resistivity Reduction in Very Narrow Cu Wiring2013

    • 著者名/発表者名
      Jin Onuki,Yasushi Sasajima,Kunihiro Tamahashi,Ke-YiQing,S.Terada,K.Hidaka and S.Itoh
    • 雑誌名

      J.Electrochem.Soc.

      巻: Vol.160

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289258
  • [雑誌論文] Computer simulation of structural modifications induced by highly energetic ions in uranium dioxide2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Sasajima, T. Osada, N. Ishikawa, A. Iwase
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Reserch B

      巻: -

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360469
  • [雑誌論文] Computer simulation of structural modifications induced by highly energetic ions in uranium dioxide2013

    • 著者名/発表者名
      Y.Sasajima, T.Osada, N.Ishikawa, A. Iwase
    • 雑誌名

      Nucl. Instr. Meth. B

      巻: accepted for publication

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360469
  • [雑誌論文] Searching for barrier materials for Cu wire in LSI2013

    • 著者名/発表者名
      Yasushi Sasajima, Takatoshi Nagano, and Jin Onuki
    • 雑誌名

      ECS Journal of Solid State Science and Technology

      巻: Vol.2 ページ: 351-356

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289258
  • [雑誌論文] Molecular dynamics simulation of fast particle irradiation on the single crystal CeO_22013

    • 著者名/発表者名
      Y.Sasajima, N.Ajima, T.Osada, N.Ishikawa, A. Iwase
    • 雑誌名

      Nucl. Instrm. Meth. B

      巻: accepted for publication

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360469
  • [雑誌論文] Void Generation Mechanism in Cu Filling Process by Electroplating for Ultra-Fine Trenches2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Sasajima, T. Satoh,K. Tamahashi and J.Onuki
    • 雑誌名

      Mater. Trans.

      巻: 53 ページ: 1507-1514

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226014
  • [雑誌論文] Void Generation Mechanism in Cu Filling Process by Electroplating for Ultra-Fine Trenches2012

    • 著者名/発表者名
      Y.Sasajima, T.Satoh,K. Tamahashi and J.Onuki
    • 雑誌名

      Mater. Trans

      巻: 53巻 ページ: 1507-1514

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226014
  • [雑誌論文] Substrate temperature dependence of electrical and structural properties of Ru films2011

    • 著者名/発表者名
      Takatoshi Nagano, Kazuya Inokuchi, Kunihiro Tamahashi, Nobuhiro Ishikawa, Yasushi Sasajima, Jin Onuki
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 520 号: 1 ページ: 374-379

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2011.07.046

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226014
  • [雑誌論文] Effect of Additive-Free Plating and High Heating Rate Annealing on the Formation of Low Resistivity Fine Cu Wires2011

    • 著者名/発表者名
      Jin onuki, Kunihiro Tamahashi, Takashi Namekawa, Yasushi Sasajima
    • 雑誌名

      Materials Trans.

      巻: 52 ページ: 1818-1823

    • NAID

      10029530409

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226014
  • [雑誌論文] Effect of Additive-Free Plating and High Heating Rate Annealing on the Formation of Low Resistivity Fine Cu Wires2011

    • 著者名/発表者名
      J.Onuki, K.Tamahashi, T.Namekawa, Y.Sasajima
    • 雑誌名

      Materials Trans.

      巻: 52巻 ページ: 1818-1823

    • NAID

      10029530409

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226014
  • [雑誌論文] Effect of Impurities on the Grain Growth of Polycrystalline Cu Thin Films2011

    • 著者名/発表者名
      Yasushi Sasajima, Takeshiro Nagai, Jin Onuki
    • 雑誌名

      Electrochemistry

      巻: 79 ページ: 869-875

    • NAID

      10029657068

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226014
  • [雑誌論文] Impact of High Heating Rate, Low Temperature and Short Time Annealing on the Realization of Low Resistivity Cu Wire2010

    • 著者名/発表者名
      J.Onuki, K.Tamahashi, T.Namekawa, Y.Sasajima
    • 雑誌名

      Materials Transaction 51

      ページ: 1715-1717

    • NAID

      10026600440

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226014
  • [雑誌論文] Grain coarsening mechanism of Cu thin films by rapid annealing2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Sasajima, J.Kageyama, K.P.Khoo, J Onuki
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 518 ページ: 6883-6890

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226014
  • [雑誌論文] Reduction in resistivity of 50nm wide Cu wire by high heating rate and short time annealing utilizing misorientation energy2010

    • 著者名/発表者名
      J.Onuki, K.P.Khoo, Y.Sasajima, Y.Chonan, T.Kimura
    • 雑誌名

      J.Appl.Phys. 108

      ページ: 0443021-7

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226014
  • [雑誌論文] Reduction in resistivity of 50nm wide Cu wire by high heating rate and short time annealing utilizing misorientation energy2010

    • 著者名/発表者名
      J.Onuki, K.P.Khoo, Y.Sasajima, Y.Chonan, T.Kimura
    • 雑誌名

      J.Appl.Phys.

      巻: 108巻 ページ: 0443021-0443027

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226014
  • [雑誌論文] Reduction in resistivity of 50nm wide Cu wire by high heating rate andshort time annealing utilizing misorientation energy2010

    • 著者名/発表者名
      J.Onuki, K.P.Khoo, Y.SasajimaY.Chonan, T.Kimura
    • 雑誌名

      J.Appl.Phys.

      巻: 108 ページ: 0443021-0443027

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226014
  • [雑誌論文] Molecular dynamic simulation of grain growth of Cu film2010

    • 著者名/発表者名
      Takatoshi Kato, Takeshiro Nagai, Yasushi Sasajima, 大貫仁
    • 雑誌名

      Material Transaction 51

      ページ: 664-669

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226014
  • [雑誌論文] Grain coarsening mechanism of Cuthin films by rapid annealing2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Sasajima, J.Kageyama, K.P.Khoo, J Onuki
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 518

      ページ: 6883-6890

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226014
  • [雑誌論文] MD Simulation of Void Generation during Annealing Process of Copper Wiring2009

    • 著者名/発表者名
      Takeshiro Nagai, Yasushi Sasajima, 大貫仁
    • 雑誌名

      Materials Transactions 50

      ページ: 2373-2377

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226014
  • [雑誌論文] MD Simulation of Defect Generation During Annealing Process of Copper wiring2008

    • 著者名/発表者名
      T., Akabane・Y., sasajima・J., Onuki
    • 雑誌名

      Trans.Mater.Research Soc. Of Japan 33(印刷中)

    • NAID

      130007809432

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17206071
  • [雑誌論文] Phase Field Simulation of Heat Treatment Process of Cu Wiring2008

    • 著者名/発表者名
      J. Kageyama, Y. Sasajima and J. Onuki
    • 雑誌名

      Trans. Mater. Research Soc. Of Japan Vol.33(in printing)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17206071
  • [雑誌論文] Cu超微細配線構造の安定性に及ぼす結晶方位の影響2008

    • 著者名/発表者名
      永井傑朗、赤羽智明、篠嶋妥、大貫仁
    • 雑誌名

      日本金属学会誌 72

      ページ: 698-702

    • NAID

      10024273191

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226014
  • [雑誌論文] Phase Field Simulation of Heat Treatment Process of Cu Wiring2008

    • 著者名/発表者名
      J., Kageyama・Y., Sasajima・J., Onuki
    • 雑誌名

      Trans. Mater.Research Soc. Of Japan 33(印刷中)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17206071
  • [雑誌論文] Phase field simulation of heat treatment process of Cu ultra fine wire2008

    • 著者名/発表者名
      .unpei Kageyama, Yasushi Sasajima, Minoru Ichimura and Jin Onuki
    • 雑誌名

      Trans. Material Research Society of Japan (2008) Vol.33(印刷中)

    • NAID

      130007809456

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17206071
  • [雑誌論文] MD Simulation of Defect Generation during Annealing Process of Copper Wiring2008

    • 著者名/発表者名
      Tomoaki Akabane, Yasushi Sasajima and Jin Onuki
    • 雑誌名

      Trans. Material Research Society of Japan (2008) Vol.33(印刷中)

    • NAID

      130007809432

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17206071
  • [雑誌論文] MD Simulation of Defect Generation During Annealing Process of Copper Wiring2008

    • 著者名/発表者名
      T. Akabane, Y. Sasajima and J. Onuki
    • 雑誌名

      Trans. Mater. Research Soc. of Japan Vol.33(in printing)

    • NAID

      130007809432

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17206071
  • [雑誌論文] Coatings Adhesion Evaluation by Nanoscaratching Simulation Using the Molecular Dynamic Method2007

    • 著者名/発表者名
      T. Akabane. Y. Sasajima and J. Onuki
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. Vol.46

      ページ: 3024-3028

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17206071
  • [雑誌論文] Nanoscratching of Metallic ThinFilm on Silicon Substrate : A Molecular Dynamic Study2007

    • 著者名/発表者名
      K. Akabane, Y. Sasajima and J. Onuki
    • 雑誌名

      J. of Electronic Materials Vol.36

      ページ: 1174-1180

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17206071
  • [雑誌論文] Coatings Adhesion Evaluation by Nanoscratching Simulation Using the Molecular Dynamic Method2007

    • 著者名/発表者名
      T., Akabane・Y., Sasajima・J., Onuki
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 46

      ページ: 3024-3028

    • NAID

      40015357721

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17206071
  • [雑誌論文] Nanoscratching of Metallic Thin Film on Silicon Substrate2007

    • 著者名/発表者名
      K., Akabane・Y., Sasajima・J., Onuki
    • 雑誌名

      J. of Electronic Materials 36

      ページ: 1174-1180

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17206071
  • [雑誌論文] Determination of the Phase-Field Parameters for Computer Simulation of Heat Treatment Process of Ultra Thin Al Film2007

    • 著者名/発表者名
      J.Kageyamal, Y.Sasajima, M.Ichimura, J.Onuki
    • 雑誌名

      Materials Transactions Vol.48 No.8(Accepted for publication)

    • NAID

      10019516987

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17206071
  • [雑誌論文] Determination of the Phase-Field Parameters for Computer Simulation of Heat Treatment Process of Ultra Thin Al Film2007

    • 著者名/発表者名
      J. Kageyama, Y. Sasajima, M. Ichimura and J. Onuki
    • 雑誌名

      Mater. Trans. Vol.48

      ページ: 1998-2001

    • NAID

      10019516987

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17206071
  • [雑誌論文] これだけは知っておきたい最新の配線・実装技術、配線設計のための計算機実験2007

    • 著者名/発表者名
      赤羽智明・影山順平・篠嶋妥
    • 雑誌名

      金属 77

      ページ: 879-884

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17206071
  • [雑誌論文] 配線設計のための計算機実験2007

    • 著者名/発表者名
      赤羽智明、影山順平、篠嶋 妥
    • 雑誌名

      金属 77

      ページ: 47-52

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17206071
  • [雑誌論文] Determination of the Phase-Field Parameters for Computer Simulation of Heat Treatment Process of Ultra Thin Al Film2007

    • 著者名/発表者名
      J., Kageyama・Y., Sasajima・M., lchimura・J., Onuki
    • 雑誌名

      Mater.Trans. 48

      ページ: 1998-2001

    • NAID

      10019516987

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17206071
  • [雑誌論文] Coatings Adhesion Evaluation by Nanoscratching Simulation Using the Molecular Dynamics Method2007

    • 著者名/発表者名
      T.Akabane, Y.Sasajima, J.Onuki
    • 雑誌名

      Jpn.J.Applied Physics Vol.46 No.5A(Accepted for publication)

    • NAID

      40015357721

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17206071
  • [雑誌論文] Special Issue on Cu Metallization, Experiments using Computer Simulation for ULSI Interconnects Designing2007

    • 著者名/発表者名
      T. Akabane, J. Kageyama and Y. Sasajima
    • 雑誌名

      Kinzoku Vol.77

      ページ: 879-884

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17206071
  • [雑誌論文] Computer Simulation of Silicon Nanoscratch Test2006

    • 著者名/発表者名
      T. Akabane, Y. Sasajima and J. Onuki
    • 雑誌名

      Mater. Trans. Vol.47

      ページ: 1090-1097

    • NAID

      10017412640

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17206071
  • [雑誌論文] Computer Simulation of Silicon Manoscratch Test2006

    • 著者名/発表者名
      T., Akabane・Y., Sasajima・J., Onuki
    • 雑誌名

      Mater. Trans. 47

      ページ: 1090-1097

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17206071
  • [雑誌論文] Computer Simulation of Si Nano-scratch Test2006

    • 著者名/発表者名
      篠嶋 妥, 大貫 仁
    • 雑誌名

      Material Transaction Vol.47, No.4

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17206071
  • [雑誌論文] Void Generation during the annealing process of narrow copper wires

    • 著者名/発表者名
      Y. Sasajima, T. Akabane, T. Nagai, J. Onuki and Y. Chonan
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics (印刷中)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226014
  • [雑誌論文] Nanoscratching of metallic thin films on silicon substrate : a molecular dynamics study

    • 著者名/発表者名
      T.Akabane, Y.Sasajima, J.Onuki
    • 雑誌名

      J.of Electronic Materials (Accepted for publication)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17206071
  • [産業財産権] Ru膜成膜装置、金属性膜装置、Ruバリアメタル層、配線構造2016

    • 発明者名
      永野隆敏、大貫 仁、篠嶋 妥、玉橋邦裕、小沼重春
    • 権利者名
      永野隆敏、大貫 仁、篠嶋 妥、玉橋邦裕、小沼重春
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2016-086074
    • 出願年月日
      2016-04-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289258
  • [産業財産権] 超低抵抗率銅配線を有する半導体集積回路装置2015

    • 発明者名
      篠嶋 妥、 大貫 仁、永野隆敏
    • 権利者名
      篠嶋 妥、 大貫 仁、永野隆敏
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2015-038589
    • 出願年月日
      2015-02-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25289258
  • [産業財産権] 半導体集積回路装置及びその製造方法並びに該半導体集積回路装置に使用する低抵抗率銅配線の探索方法2013

    • 発明者名
      大貫, 篠嶋, 永野, 玉橋, 千葉
    • 権利者名
      茨城大学
    • 産業財産権番号
      2013-101708
    • 出願年月日
      2013-05-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226014
  • [産業財産権] 半導体集積回路装置及びその製造方法並びに該半導体集積回路装置に使用する低抵抗率銅配線の探索方法2013

    • 発明者名
      大貫、篠嶋、永野、玉橋、千葉
    • 権利者名
      大貫、篠嶋、永野、玉橋、千葉
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2013-101708
    • 出願年月日
      2013-05-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226014
  • [産業財産権] 半導体集積回路装置用バリア材の探索方法2011

    • 発明者名
      篠嶋妥、大貫仁、永野隆敏、玉橋邦裕
    • 権利者名
      国立大学法人茨城大学
    • 産業財産権番号
      2011-030514
    • 出願年月日
      2011-02-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226014
  • [産業財産権] 半導体集積回路装置用ルテニウムバリア膜とその作成方法及び該ルテニウムバリア膜を有する半導体集積回路装置とその製2011

    • 発明者名
      永野隆敏、大貫仁、篠嶋妥、玉橋邦裕
    • 権利者名
      国立大学法人茨城大学
    • 産業財産権番号
      2011-033019
    • 出願年月日
      2011-02-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226014
  • [産業財産権] 特許出願(発明の名称)半導体集積回路装置及びその製造方法2009

    • 発明者名
      篠嶋妥、大貫仁、田代優、KyooKhyou Pin
    • 権利者名
      茨城大学
    • 出願年月日
      2009-12-03
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226014
  • [産業財産権] 半導体集積回路およびその製造方法2008

    • 発明者名
      篠嶋、大貫、田代、K. P. Khoo
    • 権利者名
      茨城大
    • 産業財産権番号
      2008-309890
    • 出願年月日
      2008-12-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226014
  • [産業財産権] 半導体集積回路装置及びその製造方法2008

    • 発明者名
      篠嶋妥、大貫仁
    • 権利者名
      国立大学法人茨城大学
    • 出願年月日
      2008-12-04
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226014
  • [学会発表] フェーズフィールドクリスタル法による加圧ボンディングプロセスの シミュレーション2022

    • 著者名/発表者名
      篠嶋妥、小野澤亮祐、畠山慎悟、岩本知広
    • 学会等名
      第28回エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K04769
  • [学会発表] ロータスアルミニウムにおけるポア成長のフェーズフィールドシミュレーション2019

    • 著者名/発表者名
      飯塚恒太,篠嶋妥,湯地隆介,遠藤基史,池田輝之
    • 学会等名
      日本金属学会2019年春期講演大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03399
  • [学会発表] 計算機実験によるロータスアルミニウムにおけるポア成長の最適条件探索2019

    • 著者名/発表者名
      飯塚恒太, 湯地隆介, 遠藤基史, 池田輝之, 篠嶋妥
    • 学会等名
      軽金属学会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03399
  • [学会発表] Grain Coarsening Mechanism of Cu Confined in Ultra-fine Wire2018

    • 著者名/発表者名
      Yasushi Sasajima , Takatoshi Nagano and Jin Onuki
    • 学会等名
      WCSM-2018 (BIT’s 4th Annual World Congress of SmartMaterials -2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06793
  • [学会発表] Grain Coarsening Mechanism of Cu Confined in Ultra-fine Wire2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Sasajima, T. Nagano, J. Onuki
    • 学会等名
      BIT's 4th Annual World Congress of Smart Materials-2018(WCSM2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06793
  • [学会発表] 銅極細配線における粒成長を阻害する不純物効果のフェーズフィールドシミュレーション2017

    • 著者名/発表者名
      篠嶋 妥,大貫 仁
    • 学会等名
      日本金属学会2017年春期講演大会
    • 発表場所
      首都大学東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06793
  • [学会発表] ロータスアルミニウム金属におけるポア成長のフェーズフィールドシミュレーション2017

    • 著者名/発表者名
      リュウビン、池田輝之、篠嶋 妥
    • 学会等名
      日本軽金属学会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03399
  • [学会発表] Nano-Structure-Controlled Very Low Resistivity Cu Wires Formed by High Purity and Optimized Additives2017

    • 著者名/発表者名
      J. Onuki, K. Tamahashi, T. Inami, T. Nagano, Y. Sasajima, S. Ikeda
    • 学会等名
      2017 IEEE Electron Devices Technology and Manufacturing Conference (EDTM)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06793
  • [学会発表] Mg2Si合金におけるSi析出相の成長過程に及ぼす外部応力の影響2016

    • 著者名/発表者名
      リュウ ビン,池田輝之 篠嶋妥
    • 学会等名
      軽金属学会関東支部総会・講演会
    • 発表場所
      東工大蔵前会館 くらまえホール
    • 年月日
      2016-08-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289246
  • [学会発表] 応力下におけるMg2Si合金のSi析出相の成長過程のシミュレーション2016

    • 著者名/発表者名
      劉濱,篠嶋妥,池田輝之
    • 学会等名
      軽金属学会第131回秋期大会
    • 発表場所
      茨城大学水戸キャンパス
    • 年月日
      2016-11-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289246
  • [学会発表] Mg2Si合金におけるSi析出相の成長過程のPhase-Field シミュレーション2016

    • 著者名/発表者名
      劉濱,池田輝之,篠嶋妥
    • 学会等名
      日本金属学会春期講演大会
    • 発表場所
      東京理科大学葛飾キャンパス
    • 年月日
      2016-03-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289246
  • [学会発表] Phase field simulation of precipitation process of Si in Mg2Si2015

    • 著者名/発表者名
      Bin LIU, Yasushi SASAJIMA, Teruyuki IKEDA
    • 学会等名
      25th Annual Meeting of MRS-J
    • 発表場所
      Yokohama, Japan
    • 年月日
      2015-12-08
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289246
  • [学会発表] Computer simulation of high-energy-beam of ceria2012

    • 著者名/発表者名
      Y.Sasajima, N.Ajima, T.Osada, N.Ishikawa, A. Iwase
    • 学会等名
      SHIM2012 (Eighth International Symposium on Swift Heavy Ions in Matter)
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360469
  • [学会発表] 単結晶への高速粒子線照射の分子動力学シミュレーション2012

    • 著者名/発表者名
      安島直紀,長田卓也,篠嶋妥,石川法人,岩瀬彰宏
    • 学会等名
      日本金属学会秋季大会
    • 発表場所
      松山
    • 年月日
      2012-09-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360469
  • [学会発表] Computer Simulation of High-Energy-Beam Irradiation of Ceria and Uranium Dioxide2012

    • 著者名/発表者名
      Y.Sasajima, T.Osada, N.Ajima, N.Ishikawa, A. Iwase,
    • 学会等名
      IUMRS-ICEM 2012 (IUMRS International Conference on Electronic Materials
    • 発表場所
      Yokohama, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360469
  • [学会発表] Gd2O3添加CeO2への高速粒子線照射に関する分子動力学シミュレーション2012

    • 著者名/発表者名
      長田卓也,安島直紀,篠嶋妥,石川法人,岩瀬彰宏
    • 学会等名
      日本金属学会2012秋季大会シンポジウム講演
    • 発表場所
      愛媛大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360469
  • [学会発表] Gd_2O_3添加 CeO_2への高速粒子線照射に関する分子動力学シミュレーション2012

    • 著者名/発表者名
      長田卓也,安島直紀,篠嶋妥,石川法人,岩瀬彰宏
    • 学会等名
      日本金属学会秋季大会
    • 発表場所
      松山
    • 年月日
      2012-09-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360469
  • [学会発表] 単結晶への高速粒子線照射の分子動力学シミュレーション2012

    • 著者名/発表者名
      安島直紀,長田卓也,篠嶋妥,石川法人,岩瀬彰宏
    • 学会等名
      日本金属学会2012秋季大会シンポジウム講演
    • 発表場所
      愛媛大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360469
  • [学会発表] Computer Simulation of High Energy Beam Irradiation of Ceria and Uranium Dioxide2012

    • 著者名/発表者名
      Y.Sasajima, T.Osada, N.Ajima, N. Ishikawa A.Iwase
    • 学会等名
      IUMRS-ICEM
    • 発表場所
      Yokohama, Japan
    • 年月日
      2012-09-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360469
  • [学会発表] Computer simulation of high-energy-ion irradiation of uranium dioxide2012

    • 著者名/発表者名
      Y.Sasajima, T.Osada, N.Ishikawa, A. Iwase
    • 学会等名
      8th International Symposium on Swift Heavy Ions in Matter
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 年月日
      2012-10-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360469
  • [学会発表] Computer simulation of high energy beam of ceria2012

    • 著者名/発表者名
      Y.Sasajima, N.Ajima, T.Osada, N.Ishikawa, A. Iwase
    • 学会等名
      8th International Symposium on Swift Heavy Ions in Matter
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 年月日
      2012-10-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360469
  • [学会発表] Computer simulation of high-energy-ion irradiation of uranium dioxide2012

    • 著者名/発表者名
      Y.Sasajima, T.Osada, N.Ishikawa, A. Iwase
    • 学会等名
      SHIM2012 (Eighth International Symposium on Swift Heavy Ions in Matter)
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360469
  • [学会発表] UO2の高エネルギービーム照射によるトラック形成の解析2011

    • 著者名/発表者名
      長田卓也、小貫英昭、篠嶋妥、石川法人、岩瀬彰宏
    • 学会等名
      日本金属学会春季大会
    • 年月日
      2011-03-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360469
  • [学会発表] SiO2の高エネルギービーム照射によるトラック形成シミュレーション2011

    • 著者名/発表者名
      小貫英昭、篠嶋妥、岩瀬彰宏
    • 学会等名
      日本金属学会
    • 発表場所
      沖縄
    • 年月日
      2011-11-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360469
  • [学会発表] UO_2の高エネルギービーム照射に関するシミュレーション実験2011

    • 著者名/発表者名
      長田卓也、小貫英昭、篠嶋 妥、石川法人、岩瀬彰宏
    • 学会等名
      日本金属学会秋季大会
    • 発表場所
      沖縄
    • 年月日
      2011-11-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360469
  • [学会発表] SiO_2の高エネルギービーム照射によるトラック形成シミュレーション2011

    • 著者名/発表者名
      小貫英昭、篠嶋 妥、岩瀬彰宏
    • 学会等名
      日本金属学会秋季大会
    • 発表場所
      沖縄
    • 年月日
      2011-11-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360469
  • [学会発表] UO2の高エネルギービーム照射に関するシミュレーション実験2011

    • 著者名/発表者名
      長田卓也、小貫英昭、篠嶋妥、石川法人、岩瀬彰宏
    • 学会等名
      日本金属学会
    • 発表場所
      沖縄
    • 年月日
      2011-11-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360469
  • [学会発表] Molecular dynamics simulation of grain growth of Cu film2011

    • 著者名/発表者名
      篠嶋妥
    • 学会等名
      220th ECS (Electro Chemical Society) Meeting
    • 発表場所
      Boston, USA
    • 年月日
      2011-10-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226014
  • [学会発表] SiO2の高エネルギービーム照射によるトラック形成の解析2010

    • 著者名/発表者名
      小貫、篠嶋、岩瀬
    • 学会等名
      日本金属学会2010年秋期大会
    • 発表場所
      札幌、北海道
    • 年月日
      2010-09-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360469
  • [学会発表] Computer simulation of high-enerugy-beam irradiation of single-crystalline silicon and β-cristobalite2010

    • 著者名/発表者名
      H.Onuki, Y.Sasajima, N.Ishikawa, A.Iwase
    • 学会等名
      第20回日本MRS学術シンポジウム
    • 発表場所
      横浜
    • 年月日
      2010-12-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360469
  • [学会発表] SiO_2の高エネルギービーム照射に関する分子動力学シミュレーション2010

    • 著者名/発表者名
      篠嶋妥
    • 学会等名
      日本金属学会2010年春期大会
    • 発表場所
      筑波大学
    • 年月日
      2010-03-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360469
  • [学会発表] SiO2 の高エネルギービーム照射によるトラック形成の解析2010

    • 著者名/発表者名
      小貫英昭、篠嶋妥、岩瀬彰宏
    • 学会等名
      日本金属学会秋季大会
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      2010-09-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360469
  • [学会発表] SiO_2の高エネルギービーム照射に関する分子動力学シミュレーション2010

    • 著者名/発表者名
      小貫英昭 、篠嶋妥 、岩瀬彰宏
    • 学会等名
      日本金属学会春季大会
    • 発表場所
      筑波
    • 年月日
      2010-03-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360469
  • [学会発表] Computer simulation of high energy beam irradiation of single crystalline silicon and β-cristobalite2010

    • 著者名/発表者名
      H.Ohuki, Y.Sasajima, N.Ishikawa, A. Iwase
    • 学会等名
      20th MRS-J Academic Symposium
    • 発表場所
      Yokohama, Japan
    • 年月日
      2010-12-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360469
  • [学会発表] Computer simulation of high-enerugy-beam irradiation of Uranium dioxide2010

    • 著者名/発表者名
      H.Onuki, Y.Sasajima, N.Ishikawa, A.Iwase
    • 学会等名
      第20回日本MRS学術シンポジウム
    • 発表場所
      横浜
    • 年月日
      2010-12-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360469
  • [学会発表] Computer Simulation on high-energy-beam irradiation of Uranium dioxide2010

    • 著者名/発表者名
      H.Onuki, Y.Sasajima, N.Ishikawa, A. Iwase
    • 学会等名
      20th MRS-J Academic Symposium
    • 発表場所
      Yokohama, Japan
    • 年月日
      2010-12-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360469
  • [学会発表] 半導体集積回路の性能向上のための計算機シミュレーション2009

    • 著者名/発表者名
      篠嶋妥
    • 学会等名
      日本金属学会2009年秋期大会
    • 発表場所
      京都大学
    • 年月日
      2009-09-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226014
  • [学会発表] Computer simulation of high-energy-beam irradiation of single-crystalline silicon and β-crisutobalite.2009

    • 著者名/発表者名
      篠嶋妥
    • 学会等名
      第19回日本MRS学術シンポジウム
    • 発表場所
      横浜市開港記念会館
    • 年月日
      2009-12-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360469
  • [学会発表] (基調講演)半導体集積回路の性能向上のための計算機シミュレーション2009

    • 著者名/発表者名
      篠嶋妥
    • 学会等名
      日本金属学会2009年秋期大会
    • 発表場所
      京都大学
    • 年月日
      2009-09-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226014
  • [学会発表] Void Generation during Annealing Process of Very Narrow Copper Wires2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Sasajimal, T. Akabane, T. Nagai, Y Chonan and J. Onuki
    • 学会等名
      The IUMRS International Conference in Asia 2008
    • 発表場所
      Nagoya
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226014
  • 1.  永野 隆敏 (70343621)
    共同の研究課題数: 5件
    共同の研究成果数: 6件
  • 2.  大貫 仁 (70315612)
    共同の研究課題数: 4件
    共同の研究成果数: 47件
  • 3.  石川 法人 (90354828)
    共同の研究課題数: 4件
    共同の研究成果数: 22件
  • 4.  太田 弘道 (70168946)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  池田 輝之 (40314421)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 10件
  • 6.  鵜殿 治彦 (10282279)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  田口 富嗣 (50354832)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  青山 隆 (80363737)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  近藤 和夫 (50250478)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  稲見 隆 (20091853)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  三村 耕司 (00091752)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  石川 信博 (00370312)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 1件
  • 13.  長南 安紀 (30363740)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 5件
  • 14.  伊藤 真二 (50370317)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 15.  打越 雅仁 (60447191)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 16.  木村 隆 (70370319)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 3件
  • 17.  田代 優 (90272111)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 18.  岩瀬 彰宏 (60343919)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 26件
  • 19.  堀 史説 (20275291)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 20.  岡本 芳浩 (70370369)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 21.  早稲田 嘉夫 (00006058)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 22.  友田 陽 (90007782)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 23.  市村 稔 (20007636)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 24.  今林 守 (10007601)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 25.  岩本 知広 (60311635)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 2件
  • 26.  小澤 哲 (20125793)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 27.  小林 貴 (50170329)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 28.  長谷田 泰一郎 (20025208)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 29.  比企 能夫 (20016041)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 30.  一色 実 (20111247)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 31.  小峰 啓史 (90361287)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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