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牧村 哲也  Makimura Tetsuya

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 80261783
その他のID
外部サイト
所属 (現在) 2025年度: 筑波大学, 数理物質系, 准教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2016年度 – 2023年度: 筑波大学, 数理物質系, 准教授
2015年度: 筑波大学, 数理物質科学研究科(系), 准教授
2011年度 – 2013年度: 筑波大学, 数理物質系, 准教授
2010年度: 筑波大学, 大学院・数理物質科学研究科, 准教授
2007年度: 筑波大学, 大学院・数理物質科学研究科, 准教授 … もっと見る
2006年度: 筑波大学, 大学院数理物質科学研究科, 講師
2004年度 – 2005年度: 筑波大学, 大学院・数理物質科学研究科, 講師
2003年度: 筑波大学, 物理工学系, 講師
1999年度 – 2001年度: 筑波大学, 物理工学系, 講師
1999年度 – 2001年度: 筑波大学, 物質工学系, 講師
1997年度: 筑波大学, 物質工学系, 講師
1995年度 – 1996年度: 筑波大学, 物質工学系, 助手
1995年度: 筑波大学, 物質工学科, 助手 隠す
審査区分/研究分野
研究代表者
小区分26050:材料加工および組織制御関連 / 材料加工・処理 / 応用物性・結晶工学 / 薄膜・表面界面物性
研究代表者以外
光工学・光量子科学 / 応用物性・結晶工学 / 理工系
キーワード
研究代表者
レーザープラズマ / 極端紫外光 / マイクロ加工 / シリカガラス / 光直接加工 / レーザープラズマ軟X線 / 生体適合性材料 / マイクロ・ナノ加工 / 精密加工 / シリコーンエラストマ … もっと見る / シリコーンエラストマー / ポリジメチルシロキサン / 微細加工 / 無機材料 / 透明材料 / ナノ加工 / レーザーアブレーション / 高アスペクト加工 / 生体適合性ポリマー / アブレーション / 波動光学 / アブレーション過程 / アブレーション加工 / レーザー生成プラズマ / 高アスペクト比 / X-ray optics / silica glass / optical direct machining / nanomachining / inorganic materials / transparent materials / lader plasma soft X-ray / 精密部品加工 / 光源技術 / 軟X線 / 軟X線光学系 / 軟 X 線光学系 / PDMS / シリコーンゴム / シリコー,エラストマー / 光加工 / エキシトン / レーザー加工 / シリコン酸化膜 / 可視発光シリコン / シリコン微結晶 / シリコン微粒子 / 軟X線吸収分光法 / シリコンナノクラスター … もっと見る
研究代表者以外
レーザープラズマ軟X線吸収分光 / レーザーアブレーション / シリコン / 水素 / 可視発光 / スペクトル / 顕微鏡 / 重元素 / 多価イオン / 水の窓 / 軟X線 / 生物細胞 / 軟X線顕微鏡 / 重元素多価イオン / レーザー生成プラズマ / バイオイメージング / X線顕微鏡 / レーザー生成プラズマ光源 / 水の窓軟X線 / Si-H-B Complexes / Multivacancies / Raman Scattering / Hydrogen Molecule / Hydrogen Passivation / Poly-silicon / Amorphous Si / Silicon / 水素複合体中心 / ポリシリコン化 / レーザーアニール / ポリシリコン / Si-H結合 / ドーパントのパッシベーション / Si-H-B複合体 / 多原子空孔 / ラマン散乱 / 水素分子 / 水素パッシベーション / ポリ化シリコン / アモルファスシリコン / 半導体 / 欠陥 / STM / TOF-ESD / 電子励起脱離 / 表面 / 電子線 / 二次元分布 / 原子操作 / 酸素 / 水素検出顕微鏡 / トンネル顕微鏡 / 複合欠陥 / 電子励起 / 水素顕微鏡 / 原始操作 / 電子 / 光ルミネッセンス / 時間分解構造測定 / シリコン超微粒子 / シリコンクラスター / Siナノクラスター表面反応 / Siナノクラスター / 時間分解分光測定 / 動的機構 / クラスター化 / 酸化反応 / ナノクラスター 隠す
  • 研究課題

    (13件)
  • 研究成果

    (180件)
  • 共同研究者

    (9人)
  •  レーザープラズマ極端紫外光による生体適合性材料の3次元高アスペクトマイクロ加工研究代表者

    • 研究代表者
      牧村 哲也
    • 研究期間 (年度)
      2022 – 2024
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分26050:材料加工および組織制御関連
    • 研究機関
      筑波大学
  •  レーザープラズマ極端紫外光によるアブレーション加工研究代表者

    • 研究代表者
      牧村 哲也
    • 研究期間 (年度)
      2018 – 2022
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分26050:材料加工および組織制御関連
    • 研究機関
      筑波大学
  •  中赤外レーザー駆動水の窓軟X線の高出力化とシングルショット撮像の実現

    • 研究代表者
      東口 武史
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2017
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      光工学・光量子科学
    • 研究機関
      宇都宮大学
  •  ポリジメチルシロキサンの軟X線直接加工研究代表者

    • 研究代表者
      牧村 哲也
    • 研究期間 (年度)
      2010 – 2013
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      薄膜・表面界面物性
    • 研究機関
      筑波大学
  •  レーザープラズマ軟X線による透明材料のナノ加工とナノ物質創製研究代表者

    • 研究代表者
      牧村 哲也
    • 研究期間 (年度)
      2005 – 2007
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      材料加工・処理
    • 研究機関
      筑波大学
  •  無機透明材料のナノ加工のためのX線エキシトン空間閉じ込め研究代表者

    • 研究代表者
      牧村 哲也
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2005
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      材料加工・処理
    • 研究機関
      筑波大学
  •  電子線による原子操作

    • 研究代表者
      吉村 雅満
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2001
    • 研究種目
      特定領域研究(B)
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      豊田工業大学
  •  シリコン中の水素の精密制御と薄膜トランジスターへの応用

    • 研究代表者
      村上 浩一
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2001
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      応用物性・結晶工学
    • 研究機関
      筑波大学
  •  時間分解測定によるシリコンクラスターの表面反応と光ルミネッセンス

    • 研究代表者
      村上 浩一
    • 研究期間 (年度)
      1997
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      筑波大学
  •  時間分解分光測定によるIV族元素クラスターの表面反応と相転移の研究

    • 研究代表者
      村上 浩一
    • 研究期間 (年度)
      1996
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      筑波大学
  •  レーザーアブレーション法により作成したSi微粒子からの可視発光の機構の研究研究代表者

    • 研究代表者
      牧村 哲也
    • 研究期間 (年度)
      1996
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      応用物性・結晶工学
    • 研究機関
      筑波大学
  •  時間分解分光測定によるIV族元素クラスターの表面反応と相転移の研究

    • 研究代表者
      村上 浩一
    • 研究期間 (年度)
      1995
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      筑波大学
  •  レーザーアブレーション・Si超微粒子生成過程の時間分解X線吸収分光法による研究研究代表者

    • 研究代表者
      牧村 哲也
    • 研究期間 (年度)
      1995
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      応用物性・結晶工学
    • 研究機関
      筑波大学

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すべて 雑誌論文 学会発表 図書 産業財産権

  • [図書] 「最新レーザプロセッシングの基礎と産業応用」のうち第2.3章「レーザ励起の特徴」2007

    • 著者名/発表者名
      牧村哲也(分担執筆)
    • 総ページ数
      286
    • 出版者
      電気学会
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [図書] 「2006年度光技術動向調査報告書]のうち第6.4.3章「ガラスの微細加工」2007

    • 著者名/発表者名
      牧村哲也(分担執筆)
    • 総ページ数
      533
    • 出版者
      光産業技術振興協会
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [図書] レーザーマイクロ・ナノプロセッシング2004

    • 著者名/発表者名
      牧村哲也
    • 総ページ数
      380
    • 出版者
      シーエムシー出版
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656183
  • [雑誌論文] Soft X-ray emission from molybdenum plasmas generated by dual laser pulses2016

    • 著者名/発表者名
      Ragava Lokasani, Goki Arai, Yoshiki Kondo, Hiroyuki Hara, Thanh-Hung Dinh, Takeo Ejima, Tadashi Hatano, Weihua Jiang, Tetsuya Makimura, Bowen Li, Padraig Dunne, Gerry O’Sullivan, Takeshi Higashiguchi, and Jiri Limpouch
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 109 号: 19

    • DOI

      10.1063/1.4967310

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03570, KAKENHI-PROJECT-15H03759, KAKENHI-PROJECT-16H03902
  • [雑誌論文] Evaluation of a flat-field grazing incidence spectrometer for highly charged ion plasma emission in soft x-ray spectral region from 1 to 10 nm2016

    • 著者名/発表者名
      Thanh-Hung Dinh, Yoshiki Kondo, Toshiki Tamura, Yuichi Ono, Hiroyuki Hara, Hiroki Oikawa, Yoichi Yamamoto, Masahiko Ishino, Masaharu Nishikino, Tetsuya Makimura, Padraig Dunne, Gerry O’Sullivan, Shigeru Ohta, Ken Kitano, Takeo Ejima, Hatano Tadashi, and Takeshi Higashiguchi
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments

      巻: 87 号: 12 ページ: 123106-123106

    • DOI

      10.1063/1.4971421

    • NAID

      120007135053

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03570, KAKENHI-PROJECT-15H03759, KAKENHI-PROJECT-16F16019, KAKENHI-PROJECT-16K04989, KAKENHI-PROJECT-16H03902
  • [雑誌論文] Properties of the extreme ultraviolet emission from germanium and gallium plasmas2015

    • 著者名/発表者名
      Bowen Li, Hiroyuki Hara, Yuhei Suzuki, Goki Arai, Takeshi Higashiguchi, Hayato Ohashi, Weihua Jiang, Tetsuya Makimura, Hiroyuki A. Sakaue, Chihiro Suzuki, Daiji Kato, Izumi Murakami, Padraig Dunne, Elaine Long, Paul Sheridan, Ximeng Chen, and Gerry O’Sullivan
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 118 号: 7

    • DOI

      10.1063/1.4928673

    • 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03570, KAKENHI-PROJECT-15H03759
  • [雑誌論文] 軟X線による物質アブレーション2014

    • 著者名/発表者名
      牧村哲也, 錦野将元, 河内哲哉
    • 雑誌名

      レーザー研究

      巻: vol.42 ページ: 45-49

    • NAID

      130007897464

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [雑誌論文] Responses of organic and inorganic materials to intense EUV radiation from laser-produced plasmas2013

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Shuichi Torii, Daisuke Nakamura, Akihiko Takahashi, Tatsuo Okada, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE

      巻: 8777 ページ: 877706-877706

    • DOI

      10.1117/12.2019048

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [雑誌論文] Absorption mechanism of the second pulse in double-pulse femtosecond laser glass microwelding2013

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, 他6名
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: vol.21 号: 20 ページ: 24049-24059

    • DOI

      10.1364/oe.21.024049

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [雑誌論文] Characteristics of extreme ultraviolet emission from mid-infrared laser-produced rare-earth Gd plasmas2013

    • 著者名/発表者名
      T. Makimura, 他14名
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: vol.21 号: 26 ページ: 31837-31845

    • DOI

      10.1364/oe.21.031837

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016, KAKENHI-PROJECT-24560038
  • [雑誌論文] Characterization and mechanism of glass microwelding by double-pulse ultrafast laser irradiation2012

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, 他8名
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: vol.20 号: 27 ページ: 28893-28905

    • DOI

      10.1364/oe.20.028893

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [雑誌論文] Sub-wavelength micromachining of silica glass by irradiation of CO_2 laser with Fresnel diffraction2011

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Tatsuo Okda, 他6名
    • 雑誌名

      Applied Physics

      巻: vol.104 号: 2 ページ: 593-599

    • DOI

      10.1007/s00339-011-6364-6

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [雑誌論文] Micromachining of Polymethylmethacrylate and Polydimethylsiloxane Using Laser Plasma Soft X-rays2011

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Tatsuo Okada, 他5名
    • 雑誌名

      Journal of Laser Micro / Nanoengineering

      巻: vol.6 ページ: 235-238

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [雑誌論文] Direct etching of poly (methyl methacrylate) using laser plasma soft X-rays Applied2010

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Tatsuo Okada, 他6名
    • 雑誌名

      Physics Express

      巻: vol.3 号: 6 ページ: 66502-66502

    • DOI

      10.1143/apex.3.066502

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [雑誌論文] Nano-and micromachining using laser plasma soft X-rays2010

    • 著者名/発表者名
      Makimura, 他3名
    • 雑誌名

      Journal of Nanophotonics

      巻: 4 ページ: 40305-40305

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [雑誌論文] XUV~X線による材料加工2010

    • 著者名/発表者名
      牧村哲也, 他3名
    • 雑誌名

      レーザー研究

      巻: vol.38 ページ: 957-962

    • NAID

      10027617764

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [雑誌論文] Micromachining of Transparent Materials with Fresnel Diffraction of Infrared Radiation2010

    • 著者名/発表者名
      T. Makimura, T.Okada, 他6名
    • 雑誌名

      Journal of Laser Micro/Nanoengineering

      巻: vol.5 ページ: 269-272

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [雑誌論文] Micromachining of lnorganic Materials using Laser Plasma Soft X-Rays2008

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya, Makimura・Satoshi, Uchida・Takashige, Fujimori・Hiroyuki, Niino・Kouichi, Murakami,
    • 雑誌名

      Electrical Engineering in Japan (印刷中)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] レーザープラズマ軟X線による無機透明材料のアブレーション加工2007

    • 著者名/発表者名
      牧村哲也
    • 雑誌名

      電気学会論文誌 127

      ページ: 179-184

    • NAID

      10018480450

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Ablation of inorganic materials using laser plasma soft X-rays,2007

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Takashige Fujimori, Satoshi Uchida, Kouichi Mu-rakami, Hiroyuki Niino
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE Optics and Optoelecteonics 2007, refreed 6586

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Ablation of inorganic materials using laser plasma Soft X-rays2007

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya, Makimura・Takashige, Fujimori・Satoshi, Uchida・Kouichi, Murakami・Hiroyuki, Niino
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE 6586

      ページ: 6586091-15

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Properties of Laser Excitations in Most Recent Fundamentals and Industrial Applicatioins of Laser Pro-cessing2007

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Section 2. 3
    • 雑誌名

      The Institute of Electrical Engineers of Japan

      ページ: 286-286

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] 1.5μm Light Emission of Er3+ Ions Doped in SiO2 Films Including Si Nanocrystallites and in SiOx Films2007

    • 著者名/発表者名
      T. Makimura, H. Uematsu, Y. Okada, K. Murakami
    • 雑誌名

      Journal of Physics 59

      ページ: 466-469

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Micromachining of inorganic transparent materilas by ablation using laser plasma soft X-rays2007

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Takeshige Fujimori, Hiroyuki Ni-ino, Kouichi Murakami
    • 雑誌名

      The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan 127

      ページ: 179-184

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Direct Nanomachining of Inorganic Transparent Materials Using Laser Plasma Soft X-Rays,2007

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya, Makimura・Hisao, Miyamoto・Satoshi, Uchida・Hiroyuki, Niino・ Kouichi, Murakami,
    • 雑誌名

      Journal of Physics: Conference Series 59

      ページ: 279-284

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] レーザープラズマ軟X線による無機透明材料の微細加工2007

    • 著者名/発表者名
      牧村哲也・村上浩一
    • 雑誌名

      セラミックス 42

      ページ: 64-64

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Ablation of silica glass by laser plasma soft X-rays and discussion on mechanism2007

    • 著者名/発表者名
      Takashige Fujimori, Tetsuya Makimura, Takehiko Inoue, Kouichi Mu-rakami, Hiroyuki Niino
    • 雑誌名

      Meeting of the Institute of Electrical Engineers of Japan, unrefreed OQD-07

      ページ: 41-44

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Report on Laser Precision Microfabrication(LPM) 20072007

    • 著者名/発表者名
      Yoshiki Nakata, Yuusaku Izawa, Tetsuya Makimura
    • 雑誌名

      Journal of the Japan Laser Processing Society, unrefreed 14

      ページ: 245-249

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] レーザープラズマ軟X線による無機透明材料の微細加工2007

    • 著者名/発表者名
      牧村哲也
    • 雑誌名

      セラミックス 42

      ページ: 64-64

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Laser Precision Microfabrication(LPM)2007報告2007

    • 著者名/発表者名
      事田芳樹・井津友策・牧村哲也
    • 雑誌名

      レーザー加工学会誌 14

      ページ: 245-249

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] レーザープラズマ軟X線による無機透明材料のアブレーション加工2007

    • 著者名/発表者名
      牧村哲也・内田智・藤森隆成・新納弘之・村上浩一
    • 雑誌名

      電気学会論文誌 127

      ページ: 179-184

    • NAID

      10018480450

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Glass Micromachining in Report on Trend Survey of Optoelectronic Technology 20062007

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Section 6. 4. 3
    • 雑誌名

      Optoelectronic Industry and Technology Development Association

      ページ: 533-533

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Direct Nanomachining of Inorganic Transparent Materials Using Laser Plasma Soft X-Rays,2007

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Hisao Miyamoto, Satoshi Uchida, Hiroyuki Niino and Kouichi Murakami
    • 雑誌名

      Journal of Physics : Conference Series, refreed 59

      ページ: 279-284

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスのアブレーションとそのメカニズムの検討2007

    • 著者名/発表者名
      藤森隆成・牧村哲也・井上毅彦・村上浩一・新納弘之
    • 雑誌名

      電気学会量子・電子デバイス研究会 OQD-07

      ページ: 41-44

    • NAID

      10018897616

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] 1.5um light emission of Er^<3+> ions doped in SiO_2 films including Si nanocrystallites and in SiO_x films,2007

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Hiroshi Uematsu, Yuuki Okada and Kouichi Mu-rakami
    • 雑誌名

      Journal of Physics : Conference Series, refreed 59

      ページ: 466-469

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Direct Nanomachining of Inorganic Transparent Materials Using Laser Plasma Soft X-Rays2007

    • 著者名/発表者名
      T. Makimura, H. Miyamoto, S. Uchida, H. Niino, K. Murakami
    • 雑誌名

      Journal of Physics 59

      ページ: 279-284

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Micromachining of inorganic transparent materials using laser plasma soft X-rays2007

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Kouichi Murakami
    • 雑誌名

      Ceramics, unrefreed 42

      ページ: 64-64

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] 1・5μm light emission of Er3+ions doped in SiO2 films including Sinanocrystallites and in SiOxfilms,2007

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya, Makimura・Hiroshi, Uematsu・Yuuki, Okada・Kouichi, Murakami
    • 雑誌名

      Journal of Physics: Conference Series 59

      ページ: 466-469

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Direct micromachining of inorganic transparent materials using laser plasma soft X-rays2006

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura
    • 雑誌名

      Conference proceeding series of institute of Pure and Applied Physics (印刷中)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656183
  • [雑誌論文] Ablation of inorganic transparent materials in gases using laser plasma soft X-rays2006

    • 著者名/発表者名
      Takashige Fujimori, Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Kouichi Mu-rakami, Hiroyuki.Niino
    • 雑誌名

      Meeting of the Institute of Electrical Engineering of japan, unrefreed OQD-06

      ページ: 53-56

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] 1.5 μm light emission of Era^<3+>ions in SiO_2 including Si nanocrystallites and SiO_X films2006

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura
    • 雑誌名

      Journal of Physics (印刷中)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656183
  • [雑誌論文] Direct nanomachining of inorganic transparent materials using laser plasma soft X-rays2006

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura
    • 雑誌名

      Journal of Physics (印刷中)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Direct Micromachining of Inorganic Transparent Materials Using Laser Plasma Soft X-Rays,2006

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Hisao Miyamoto, Satoshi Uchida, Hiroyuki Niino, and Kouichi Murakarni
    • 雑誌名

      Conference Senries of The institute of Pure and Applied Physics 7

      ページ: 137-139

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Silica nanomachining using laser plasma soft x rays,2006

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Kouichi Murakami, and Hiroyuki Niino
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters, refreed 89

    • NAID

      120007131283

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Ultra-fine micromachining of silica glass using laser plasma soft X-rays2006

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Takeshige Fujimori, Hiroyuki Ni-ino, Kouichi Murakami
    • 雑誌名

      Report on the Laser Society of Japan Meeting #352, unrefreed RTM-06

      ページ: 21-25

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] 1.5μm light emission of Er3+ ions in SiO_2 films including Si nanocrystallites and SiO_x films2006

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura
    • 雑誌名

      Journal of Physics (印刷中)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] レーザーブラズマ軟X線によるガス中での無機透明材料のアブレーション2006

    • 著者名/発表者名
      牧村哲也・内田智・藤森隆成・新納弘之・村上浩一
    • 雑誌名

      電気学会量子・電子デバイス研究会 OQD-06

      ページ: 53-56

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Nano-ablation of inorganic materials using laser plasma soft X-rays at around 10 nm2006

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 45

      ページ: 5545-5547

    • NAID

      10017998993

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Silica nanomachining using laser plasma soft x rays2006

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 89

      ページ: 101118-101118

    • NAID

      120007131283

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Nano-ablation of inorganic transparent materials using laser plasma soft X-rays at around 10 nm2006

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics (印刷中)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656183
  • [雑誌論文] レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスの極微細加工2006

    • 著者名/発表者名
      牧村哲也・内田智・藤森隆成・新納弘之・村上浩一
    • 雑誌名

      レーザー学会第 352回研究会報告 RTM-06

      ページ: 21-25

    • NAID

      10020611506

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Nano-Ablation of Inorganic Materials Using Laser Plasma Soft X-Rays at around 10 nm,2006

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Hisao Miyamoto, Satoshi Uchida, Takashige Fuji-mori, Hiroyuki Niino and Kouichi Murakami
    • 雑誌名

      Japan Journal of Applied Physics, refreed 45

      ページ: 5545-5547

    • NAID

      10017998993

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Silica nanomachjning using laser plasma soft x rays2006

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya, Makimura・Satoshi, Uchida・Kouichi, Murakami・Hiroyuki, Niino,
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 89

      ページ: 1011181-3

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Nano-Ablation of lnorganic Materials Using Laser Plasma Soft X-Rays at around 10 nm2006

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya, Makimura・Hisao, Miyamoto・Satoshi, Uchida・Takashige, Fujimori・ Hiroyuki, Niino・Kouichi, Murakami
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 45

      ページ: 5545-5547

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Direct micromachining of inorganic transparent materials using laser plasma soft X-rays2006

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura
    • 雑誌名

      Conference series of Institute of Pure and Applied Physics (印刷中)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Direct Micromachining of Inorganic Transparent Materials Using Laser Plasma Soft X-Rays2006

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya, Makimura・Hisao, Miyamoto・Satoshi, Uchida・Hiroyuki, Niino・Kouichi, Murakami,
    • 雑誌名

      Conference Series of The Institute of Pure and Applied Physic 7

      ページ: 137-139

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] レーザープラズマ軟X線による石英ガラスのナノ加工2006

    • 著者名/発表者名
      内田智・藤森隆成・牧村哲也・村上浩一・新納弘之
    • 雑誌名

      電気学会量子・電子デバイス研究会 OQD-06

      ページ: 49-52

    • NAID

      10019203795

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Ablation of silica glass using pulsed plasma soft X rays2006

    • 著者名/発表者名
      Tdsuya, Makimura・Youichi, Kenmotsu・Hisao, Miyamoto・Hiroyuki, Niino・Koujchi, Murakami,
    • 雑誌名

      Surface Science 53

      ページ: 248-251

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Nanomachining of quartz glass using laser plasma soft X-rays2006

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Uchida, Takashige Fujimori, Tetsuya Makimura, Kouichi Mu-rakami, Hiroyuki Niino
    • 雑誌名

      Meeting of the Institute of Electrical Engineers of Japan, unrefreed OQD-06

      ページ: 49-52

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Direct nanomachining of inorganic transparent materials using laser plasma soft X-rays2006

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura
    • 雑誌名

      Journal of Physics (印刷中)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656183
  • [雑誌論文] Nanomachining of Quartz Glass Plates Using Pulsed Laser Plasma Soft X-Rays2005

    • 著者名/発表者名
      S., Uchida・T., Makimura・H., Miyamoto・K., Murakami,
    • 雑誌名

      Materials Processing for Properties and Performance 4

      ページ: 261-263

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Ablation of Inorganic Materials Using Laser Plasma Soft X-Rays,2005

    • 著者名/発表者名
      Hisao Miyamoto, Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Kouichi Mu-rakami, and Hiroyuki Niino
    • 雑誌名

      Materials Processing for Properties and Per-formance, unrefreed 4

      ページ: 264-266

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Ablation of silica glass using pulsed laser plasma soft X rays2005

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura
    • 雑誌名

      Surface Science (印刷中)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656183
  • [雑誌論文] Ablation of silica glass using laser plasma soft X-rays at around 10 nm and ablation dynamics2005

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura
    • 雑誌名

      Materials Processing for Properties and Performance 4巻

      ページ: 267-269

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Micromachining of inorganic transparent materials using pulsed laser plasma soft x-rays at 10 nm,2005

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Youichi Kenmotsu, Hisao Miyamoto, Satoshi Uchida, Niroyuki Niino, and Kouichi Murakami
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE Lasers and Applica-tions in Science and Engineering, unrefreed 5713

      ページ: 9-20

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Nanomachining of Quartz Glass Plates Using Pulsed Laser Plasma Soft X-Rays,2005

    • 著者名/発表者名
      S. Uchida, T. Makimura, H. Miyamoto, K. Murakami
    • 雑誌名

      Materials Processing for Properties and Per-formance, unrefreed 4

      ページ: 261-263

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Micromachining of lnorganic transparent materials using laser plasma soft x-Rays at 10 nm2005

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya, Makimura・Youichi, Kenmotsu・Hisao, Miyamoto・Satoshi, Uchida・Niroyuki, Niino・Kouichi, Murakami
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE 5713

      ページ: 9-20

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] "Hydrogen Passivation of Er and Si Nanocrystallites in Er-doped SiO2-Increase in Photoluminescence-2005

    • 著者名/発表者名
      N., Fukata・C., Li・H., Uematsu・T., Arai・T., Makimura・K., Murakami,
    • 雑誌名

      Materials Research Society Symposium Proceeding 832

      ページ: 379-384

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Ablation of Silica Glass Using Laser Plasma Soft X-Rays at around 10nm and Ablation Dynamics2005

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya, Makimura・Hisao, Miyamoto・Satoshi, Uchida・Kouichi, Murakami,
    • 雑誌名

      Materials Processing for Properties and Performance 4

      ページ: 267-269

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] レーザーとナノ物性ーレーザーアブレーションで創製したSi ナノ構造の物性-2005

    • 著者名/発表者名
      村上浩一・牧村哲也・深田直樹
    • 雑誌名

      レーザー研究 33

      ページ: 5-11

    • NAID

      10014278760

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Hydrogen Passivation of Er and Si Nanocrystallites in Erdoped SiO_2 - Increase in Photoluminescence-2005

    • 著者名/発表者名
      N. Fukata, C. Li, H. Uematsu, T. Arai, T. Makimura, and K. Mu-rakami
    • 雑誌名

      Material Research Society Symposium Pro-ceeding, refreed 832

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Ablation of silica glass using pulsed laser plasma soft X rays,2005

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Youichi Kenmotsu, Hisao Miyamoto, Hiroyuki Ni-ino, and Kouichi Murakami
    • 雑誌名

      Surface Science, redreed 593

      ページ: 248-251

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Ablation of Silica Glass Using Laser Plasma Soft X-Rays at around 10 nm and Ablation Dynamics,2005

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Hisao Miyamoto, Satoshi Uchida, and Kouichi Mu-rakami
    • 雑誌名

      Materials Processing for Properties and Per-formance, unrefreed 4

      ページ: 267-269

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Laser and nano-properties -Properties of nano-structured Si fabricated by laser ablation-2005

    • 著者名/発表者名
      Kouichi Murakami, Tetsuya Makimura, Naoki Fukata
    • 雑誌名

      The Review of Laser Engineering, refreed 33

      ページ: 5-11

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Ablation of Inorganic Materials Using Laser Plasma Soft X-Rays2005

    • 著者名/発表者名
      Hisao, Miyamoto・Tetsuya, Makimura・Satoshi, Uchida・Kouichi, Murabmi・Hiroyuki, Niino
    • 雑誌名

      Materials Processing for Properties and Performance 4

      ページ: 264-266

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Ablation of silica glass using laser plasma soft X-rays at around 10 nm and ablation dynamics2005

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura
    • 雑誌名

      Materials Processing for Properties and Performance 4

      ページ: 267-269

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656183
  • [雑誌論文] Direct micromachining of quartz glass plates using pulsed laser plasma soft x-rays,2005

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Hisao Miyamoto, Youichi Kenmotsu, Kouichi Mu-rakami, and Hiroyuki Niino
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters refreed 86

    • NAID

      120007131276

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Direct micromachining of quartz glass plates using pulsed laser plasma soft x-rays2005

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 3月(印刷中)

    • NAID

      120007131276

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656183
  • [雑誌論文] Ablation of silica glass using pulsed laser plasma soft X-rays2005

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura
    • 雑誌名

      Surface Science 593巻

      ページ: 248-251

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656183
  • [雑誌論文] Micromachining of inorganic transparent materials using pulsed laser plasma soft x-rays at 10 nm (INVITED PAPER)2005

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE, Lasers and Applications in Science and Engineering 2005 (印刷中)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656183
  • [雑誌論文] Nanomachining of Inorganic Transparent Materials Using an X-ray Exciton Method2004

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE, Fifth international symposium on Laser Precision Microfabrication 5662

      ページ: 107-112

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656183
  • [雑誌論文] Excitation of Er atoms by energy transfer from Si nanocrystallites embedded in SiO_22004

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura
    • 雑誌名

      Applied Physics A 79

      ページ: 799-802

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656183
  • [雑誌論文] In situ size measurements of Si nanoparticles and formation dynamics after laser ablation2004

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura
    • 雑誌名

      Applied Physics A 79

      ページ: 819-821

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656183
  • [雑誌論文] Micromachining of Inorganic Materials using Laser Plasma Soft X-Rays

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Takashige Fujimori, Hiroyuki Ni-ino, Kouichi Murakami
    • 雑誌名

      Electrical Engineering in Japan, refreed, to be published

    • NAID

      10018480450

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [雑誌論文] Nano-ablation of inorganic transparent materials using laser plasma soft X-rays at around 10 nm

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics (印刷中)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [産業財産権] 軟X線加工装置及び軟X線加工法2005

    • 発明者名
      牧村 哲也, 村上 浩一
    • 権利者名
      独立行政法人科学技術辰興機構
    • 産業財産権番号
      2004-034343
    • 出願年月日
      2005
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656183
  • [学会発表] EUV ablation of polydimethylsiloxane elastmor2023

    • 著者名/発表者名
      Kotaro Oguchi, Yuhao Wang, Tetsuya Makimura
    • 学会等名
      SPIE Photonics West 2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K04755
  • [学会発表] Micrometer-scale high-aspect machining of PDMS elastomer using laser plasma EUV radiation2023

    • 著者名/発表者名
      Kotaro Oguchi, Yuhao Wang, Tetsuya Makimura
    • 学会等名
      The 23th International Symposium on Laser Precision Microfabrication
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K04755
  • [学会発表] EUV ablation of polydimethylsiloxane elastomer2023

    • 著者名/発表者名
      Kotaro Oguchi, Yuhao Wang, Tetsuya Makimura
    • 学会等名
      SPIE Photonics West 2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K04770
  • [学会発表] Ablation of polydimethylsiloxane elastomer using laser-plasma EUV radiation2022

    • 著者名/発表者名
      Kotaro Oguchi, Erika Kira, Hikari Urai, Tetsuya Makimura
    • 学会等名
      16th International Conference on Laser Ablation
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K04755
  • [学会発表] Ablation of polydimethylsiloxane elastomer using laser-plasma EUV radiation2022

    • 著者名/発表者名
      Kotaro Oguchi, Erika Kira, Hikari Urai, Tetsuya Makimura
    • 学会等名
      16th International Conference on Laser Ablation
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K04770
  • [学会発表] Ablation of polydimethylsiloxane elastmer using laser-plasma EUV radiation2022

    • 著者名/発表者名
      Kotaro Oguchi, Erika Kira, Hikari Urai, Tetsuya Makimura
    • 学会等名
      16th International Conference on Laser Ablation
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K04770
  • [学会発表] High-aspect micromachining of PDMS sheets using laser plasma EUV radiation2021

    • 著者名/発表者名
      Jiang Yuan, Kotaro Oguchi, Tetsuya Makimura
    • 学会等名
      The 22nd International Symposium on Laser Precision Microfabrication
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K04770
  • [学会発表] Silica ablation process induced by nanosecond EUV irradiation2019

    • 著者名/発表者名
      Makimura Tetsuya; Torii Shuichi; Niino Hiroyuki
    • 学会等名
      SPIE Optics + Optoelectronics 2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K04770
  • [学会発表] Silica nano-ablation mechanism under irradiation with nanosecond EUV radiation2019

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Shuichi Torii, Hiroyuki Niino
    • 学会等名
      SPIE Photonics West
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K04770
  • [学会発表] Microfabrication of PDMS structures based on wave optics using EUV radiations from laser-produced plasma2019

    • 著者名/発表者名
      Makimura Tetsuya; Urai Hikari; Kira Eriko; Niino Hiroyuki
    • 学会等名
      The 8th International Congress on Laser Advanced Materials Processing/
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K04770
  • [学会発表] 多価イオンプラズマ計測用軟X 線射入射分光器の絶対較正2016

    • 著者名/発表者名
      ヂン タンフン,近藤 芳希,田村 賢紀,荒居 剛己,牧村 哲也,太田 茂,北野 謙,山本 洋一,石野 雅彦,錦野 将元,江島 丈雄,羽多野 忠,東口 武史
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ (新潟県新潟市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03570
  • [学会発表] Unresolved transition arrays from laser-produced high-Z plasmas for microscopy in the water window soft x-ray region2015

    • 著者名/発表者名
      Thanh-Hung Dinh, Yoshiki Kondo, Goki Arai, Taisuke Miura, Akira Endo, Tetsuya Makimura, Padraig Dunne, Gerry O’Sullivan, Tadashi Hatano, Takeio Eijima, and Takeshi Higashiguchi
    • 学会等名
      The 13th Symposium on X-ray Imaging Optics
    • 発表場所
      Noyori Conference Hall, Nagoya University (Higashiyama campus), Nagoya, Japan
    • 年月日
      2015-11-17
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03570
  • [学会発表] Development of a 10-Hz short pulse CO2 laser for short wavelength light sources2015

    • 著者名/発表者名
      Reiho Amano, Atsushi Sasanuma, Thanh-Hung Dinh, Goki Arai, Yusuke Fujii, Akihiko Takahashi, Daisuke Nakamura, Tatsuo Okada, Tetsuya Makimura, Taisuke Miura, Akira Endo, Tomas Mocek, Padraig Dunne, Gerry O’Sullivan, and Takeshi Higashiguchi
    • 学会等名
      SPIE/OSJ Biophotonics Japan 2015
    • 発表場所
      Univesity of Tsukuba (Tokyo campus), Tokyo, Japan
    • 年月日
      2015-10-27
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03570
  • [学会発表] Multiply charged ion plasma sources for compact x-ray microscopy in the water window spectral region2015

    • 著者名/発表者名
      T. H. Dinh, Y. Kondo, G. Arai, T. Miura, A. Endo, T. Makimura, P. Dunne, G. O’Sullivan, T. Hatano, T. Ejima, and T. Higashiguchi
    • 学会等名
      SPIE/OSJ Biophotonics Japan 2015
    • 発表場所
      Univesity of Tsukuba (Tokyo campus), Tokyo, Japan
    • 年月日
      2015-10-27
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03570
  • [学会発表] Development of a compact water window soft x-ray source based on multiply charged ion plasmas2015

    • 著者名/発表者名
      Thanh-Hung Dinh, Yoshiki Kondo, Goki Arai, Taisuke Miura, Akira Endo, Tetsuya Makimura, Tadashi Hatano, Takeo Ejima, Takeshi Higashiguchi
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場 (愛知県名古屋市)
    • 年月日
      2015-09-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03570
  • [学会発表] Development of short pulse CO2 laser for efficient rare earth plasma extreme ultraviolet sources2015

    • 著者名/発表者名
      R. Amano, T. H. Dinh, A. Sasanuma, G. Arai, Y. Fujii, K. Nanto, A. Takahashi, D. Nakamura, T. Okada, T. Makimura, T. Miura, A. Endo, T. Mocek, P. Dunne, G. O’Sullivan, and T. Higashiguchi
    • 学会等名
      2015 IEEE Photonics Conference, 28th Annual Conference of The IEEE Photonics Society
    • 発表場所
      Hyatt Regency Reston, Reston, Virginia USA
    • 年月日
      2015-10-05
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03570
  • [学会発表] Efficient extreme ultraviolet emission in highly ionized high-Z laser-produced plasmas2015

    • 著者名/発表者名
      Takeshi Higashiguchi, Reiho Amano, Thanh-Hung Dinh, Takanori Miyazaki, Yuhei Suzuki, Masato Kawasaki, Atsushi Sasanuma, Goki Arai, Hiroyuki Hara, Yusuke Fujii, Kenichiro Nanto, Akihiko Takahashi, Daisuke Nakamura, Tatsuo Okada, Tetsuya Makimura, Taisuke Miura, Akira Endo, Bowen Li, Padraig Dunne, and Gerry O’Sulliban
    • 学会等名
      The 4th Advanced Lasers and Photon Sources (ALPS’15)
    • 発表場所
      PACIFICO Yokohama, Yokohama Japan
    • 年月日
      2015-04-23
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03570
  • [学会発表] レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスのアブレーション2014

    • 著者名/発表者名
      鳥居 周一, 牧村 哲也, 新納 弘之, 村上 浩一
    • 学会等名
      2014年 第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学 相模原キャンパス, 東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [学会発表] レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスのアブレーション2014

    • 著者名/発表者名
      鳥居 周一, 牧村 哲也, 新納 弘之, 村上 浩一
    • 学会等名
      2014年第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学 相模原キャンパス, 東京
    • 年月日
      2014-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [学会発表] Responses of organic and inorganic materials to intense EUV radiation from laser-produced plasmas, SPIE Europe 20132013

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Tatsuo Okada, 他5名
    • 学会等名
      Optics+Optoelectronics
    • 発表場所
      プラハ, チェコ
    • 年月日
      2013-04-15
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [学会発表] 光照射した無機材料の緩和過程2013

    • 著者名/発表者名
      牧村哲也
    • 学会等名
      光産業技術振興協会第 2 回研究交流会
    • 発表場所
      産業技術総合研究所 臨海副都心センター別館, 東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [学会発表] Direct micromachining of polydimethylsiloxane using laser plasma soft X-rays2013

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Tatsuo Okada, 他6名
    • 学会等名
      5th International Symposium on Nanomedicine
    • 発表場所
      Nagoya University, Aichi
    • 年月日
      2013-03-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [学会発表] Ablation Process of PMMA Induced by Irradiation with Laser Plasma EUV Light2013

    • 著者名/発表者名
      Nobuhiko Sugiura, Shuichi Torii, Tetsuya Makimura, Yoshiyuki Ichinosawa, Kota Okazaki, Daisuke Nakamura, Akihiko Takahashi, Tatsuo Okada, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
    • 学会等名
      The 10th Conference on Lasers and Electo-Optics Pacific Rim 2013
    • 発表場所
      Kyoto International Confernce Center, Kyoto
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [学会発表] Micromachining of polydimethylsiloxane using laser plasma soft X-rays2013

    • 著者名/発表者名
      Shintaro Fukami, Shuichi Torii, Tetsuya Makimura, Kota Okazaki, Daisuke Nakamura, Akihiko Takahashi, Tatsuo Okada, Hiroyuki Niino, Koichi Murakami
    • 学会等名
      The 14th International Symposium on Laser Precision Microfabrication
    • 発表場所
      Toki Messe Niigata Convention Center, Toki
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [学会発表] Micromachining of Polydimethylsiloxane using EUV light2013

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Tatsuo Okada, 他7名
    • 学会等名
      The 10th Conference on Lasers and Electo-Optics Pacific Rim 2013
    • 発表場所
      Kyoto International Confernce Center, Kyoto
    • 年月日
      2013-07-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [学会発表] Micromachining of PMMA using laser plasma soft X-rays for fabrication of 3D molds in a micrometer scale2013

    • 著者名/発表者名
      Nobuhiko Sugiura, Shuichi Torii, Tetsuya Makimura, Yoshiyuki Ichinosawa, Kouta Okazaki, Daisuke Nakamura, Akihiko Takahashi, Tatsuo Okada, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
    • 学会等名
      The 14th International Symposium on Laser Precision Microfabrication
    • 発表場所
      Toki Messe Niigata Convention Center, Niigata
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [学会発表] Micromachining of polydimethylsiloxane using laser plasma soft X-rays2013

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Tatsuo Okada, 他7名
    • 学会等名
      The 14th International Symposium on Laser Precision Microfabrication
    • 発表場所
      Toki Messe Niigata Convention Center, Niigata
    • 年月日
      2013-07-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [学会発表] inorganic and organic2013

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura
    • 学会等名
      SPIE Europe 2013, Optics+Optoelectronics
    • 発表場所
      プラハ, チェコ
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [学会発表] レーザープラズマ放射極端紫外光による微細加工2013

    • 著者名/発表者名
      鳥居 周一, 小森 隆幸, 高橋 翔大, 小川 端生, 藤枝 隆一郎, 深見 慎太郎, 杉浦 信彦, 牧村 哲也, 中村 大輔, 高橋 昭彦, 岡田 龍雄, 新納 弘之, 村上 浩一
    • 学会等名
      レーザー学会第450回研究会
    • 発表場所
      早稲田大学西早稲田キャンパス, 東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [学会発表] Process of Silica Ablation Induced by Soft X-Ray Irradiation2012

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Tasuo Okada, 他6名
    • 学会等名
      International Conference on Electronic Materials 2012
    • 発表場所
      Pacifico Yokohama, Kanagawa
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [学会発表] Responses of polymers to laser plasma EWV light beyond ablation threshold and micromachuung2011

    • 著者名/発表者名
      牧村哲也, 他7名
    • 学会等名
      SPIE Europe Optics+Optoelectronics
    • 発表場所
      Prague(Czech Republic) Invited
    • 年月日
      2011-04-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [学会発表] Micromachining of polymethylmethacrylate and polydimethylsiloxane using laser plasma soft X-rays2011

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Tatsuo Okada, 他6名
    • 学会等名
      The 12th International Symposium on Laser Precision Microfabrication
    • 発表場所
      Kagawa Interntional Conference Hall, Kagawa
    • 年月日
      2011-06-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [学会発表] Micromachining of Polydimethylsiloxane induced by laser plasma EUV light2011

    • 著者名/発表者名
      T. Makimura, T. Okada, 他6名
    • 学会等名
      SPIE Optics + Optoelectronics 2011
    • 発表場所
      Prague Congress Centre. Prague, Czech
    • 年月日
      2011-04-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [学会発表] Silica ablation process induced by focused laser plasma soft x-rays2011

    • 著者名/発表者名
      T.Makimura
    • 学会等名
      2011 Pcific-Rim Laser Damage
    • 発表場所
      Shanghi, China(招待講演)
    • 年月日
      2011-11-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [学会発表] Responses of polymers to laser plasma EUV light beyond ablation threshold and micromachining2011

    • 著者名/発表者名
      T.Makimura
    • 学会等名
      SPIE Optics+Optoelectronics 2011
    • 発表場所
      Prague Congress Centre. Prague, Czech(招待講演)
    • 年月日
      2011-04-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [学会発表] Responses of polymers to laser plasma EUV light beyond ablation threshold and micromachining2011

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Tatsuo Okada, 他6名
    • 学会等名
      SPIE Optics + Optoelectronics 2011
    • 発表場所
      Prague Congress Centre. Prague, Czech
    • 年月日
      2011-04-19
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [学会発表] Silica ablation process induced by focused laser plasma soft x-rays2011

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, 他3名
    • 学会等名
      2011 Pcific-Rim Laser Damage
    • 発表場所
      Shanghi, China
    • 年月日
      2011-11-07
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [学会発表] レーザープラズマ軟x線によるsio2, PMMA, PDMsのマイクロ・ナノ加工2010

    • 著者名/発表者名
      牧村哲也, 他10名
    • 学会等名
      ナノ学会第8回大会
    • 発表場所
      分子科学研究所(岡崎市)
    • 年月日
      2010-05-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [学会発表] レーザープラズマ軟X線によるシリコーンゴムのアブレーション加工2010

    • 著者名/発表者名
      牧村哲也, 岡田龍雄, 他6名
    • 学会等名
      2010年秋季 第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学 文京キャンパス, 長崎
    • 年月日
      2010-09-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [学会発表] Micromachining of transparent materialswith Fresnel diffraction of infrared radiation2010

    • 著者名/発表者名
      T. Makimura, T. Okada, 他6名
    • 学会等名
      11th International Symposium on Laser Precision Microfabrication
    • 発表場所
      Stuttgart, Germany
    • 年月日
      2010-06-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [学会発表] レーザー励起EUV光によるアブレーションと微細加工2010

    • 著者名/発表者名
      牧村哲也, 他3名
    • 学会等名
      平成22年度レーザープラズマ粒子加速研究会
    • 発表場所
      光産業創成大学院大学
    • 年月日
      2010-12-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360016
  • [学会発表] EUV材料プロセス2008

    • 著者名/発表者名
      牧村哲也, 藤森隆成, 新納弘之, 村上浩一
    • 学会等名
      2008年春季 第55回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      日本大学 船橋キャンパス
    • 年月日
      2008-03-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Materials Processing using EUV light2008

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Takashige Fujimori, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
    • 学会等名
      Symposium in The Japan Society of Applied Physics2008 Spring Meeting
    • 発表場所
      Nihon Unviersity
    • 年月日
      2008-05-28
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] EUVアブレーション2008

    • 著者名/発表者名
      牧村哲也, 藤森隆成, 新納弘之, 村上浩一
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会
    • 発表場所
      福岡工業大学
    • 年月日
      2008-03-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Researches of EUV processing2008

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura
    • 学会等名
      Meeting of The Laser Society of Japan
    • 発表場所
      Unvisristy of Osaka
    • 年月日
      2008-02-27
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] EUV ablation2008

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Takashige Fujimori, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
    • 学会等名
      Symposium in the Insitute of Electrical Engineers of Japan 2008
    • 発表場所
      Fukuoka Kogyo University
    • 年月日
      2008-03-21
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Ablation of transparent materials using laser plasma soft X-rays2007

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Takashige Fujimori, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
    • 学会等名
      Special Meeting of Kyushu Devision of The Japan Society of Applied Physics
    • 発表場所
      Kyushu Uvniversity
    • 年月日
      2007-11-11
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Ablation of inorganic ma-terials using laser plasma soft X-rays2007

    • 著者名/発表者名
      (Invited Paper) Tetsuya Makimura, Takashige Fujimori, Satoshi Uchida, Kouichi Murakami, Hiroyuki Niino
    • 学会等名
      Optics and Optoelectronics 2007 Prague Czech Republic
    • 年月日
      2007-04-18
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Silica Nanomachining Using Laser Plasma Soft X-Rays2007

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Takashige Fujimori, Niroyuki Niino, and Kouichi Murakami
    • 学会等名
      The 8th International ternational Conference on Laser Precision Microfabrication, Vienna, Austria
    • 年月日
      2007-04-26
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Ablation process of silica glass using laser plasma soft X-rays2007

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Takashige Fujimori, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
    • 学会等名
      The Japan Society of Applied Physics2007 Fall Meeting
    • 発表場所
      Hokkaido Kogyou University
    • 年月日
      2007-09-05
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスのアブレーションプロセス2007

    • 著者名/発表者名
      藤森隆成, 牧村哲也, 新納弘之, 村上浩一
    • 学会等名
      2007年(平成19年)秋季第68回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      2007-09-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Ablation of silica glass using laser plasma soft X-rays and discussion on mechanism2007

    • 著者名/発表者名
      Takashige Fujimori, Tetsuya Makimura, Takehiko Inoue, Kouichi Murakami, Hiroyuki Niino
    • 学会等名
      The Institute of Electrical Engineers of Japan Meeting
    • 発表場所
      Hirosaki University
    • 年月日
      2007-03-02
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Silica nanomachining using laser plasma soft X-rays2007

    • 著者名/発表者名
      T. Makimura, S. Uchida, T. Fujimori, H. Niino, K. Murakami
    • 学会等名
      The 8th International Conference on Laser Precision Microfabrication
    • 発表場所
      ウィーン
    • 年月日
      2007-04-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Ablation of SiO_2 and Si using laser plasma soft X-rays2007

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Takashige Fujimori, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
    • 学会等名
      The Japan Society of Applied Physics2007 Fall Meeting
    • 発表場所
      Hokkaido Kogyou University
    • 年月日
      2007-09-05
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Process of silica nano-ablation using laser plasma soft X-rays2007

    • 著者名/発表者名
      T. Makimura, T. Fujimori, S. Uchida, K. Murakami, H. Niino
    • 学会等名
      9th Conference on Laser Ablation 2007
    • 発表場所
      テネリフェ,スペイン
    • 年月日
      2007-09-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] レーザープラズマ軟X線による透明材料のアブレーション2007

    • 著者名/発表者名
      牧村哲也, 藤森隆成, 新納弘之, 村上浩一
    • 学会等名
      応用物理学会九州支部特別講演会
    • 発表場所
      九州大学伊都キャンパス
    • 年月日
      2007-11-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Process of Silica Nano-Ablation Using Laser Plasma Soft X-Rays2007

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Takashige Fujimori, Satoshi Uchida, Kouichi Murakami, Hiroyuki Niino
    • 学会等名
      9th International Conference on Laser lation Tenerife, Spain
    • 年月日
      2007-09-25
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Nano-ablation of quartz glass by laser plasma soft X-ray technique2007

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Uchida, Kengo Yofu, Takashige Fujimori, Takehiko Inoue, Tetsuya Makimura, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
    • 学会等名
      The Japan Society of Applied Physics2007 Spring Meeting
    • 発表場所
      Aoyama Gakuin University
    • 年月日
      2007-03-29
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Silica Nanomachining Using Laser Plasma Soft X-Rays2007

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Takashige Fujimori, Niroyuki Niino, and Kouichi Murakami
    • 学会等名
      International Conference on Nanoelectronics, Nanostructures on Interactions, NTT Atsugi R&D Center
    • 年月日
      2007-02-22
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] レーザープラズマ軟X線によるSiO2およびSiのアブレーション2007

    • 著者名/発表者名
      牧村哲也, 藤森隆成, 新納弘之, 村上浩一
    • 学会等名
      2007年(平成19年)秋季第68回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      2007-09-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Ablated species generated by irradiation of silica glass with laser plasma soft X-rays2007

    • 著者名/発表者名
      Takashige Fujimori, Tetsuya Makimura, Takehiko Inoue, Satoshi Uchida, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
    • 学会等名
      2007 Spring Meeting
    • 発表場所
      Aoyama Gakuin University
    • 年月日
      2007-03-29
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Ablation of inorganic materials using laser plasma soft X-rays(招待講演)2007

    • 著者名/発表者名
      T. Makimura, T. Fujimori, S. Uchida, K. Murakami, H. Niino
    • 学会等名
      Optics and Optoelectronics 2007
    • 発表場所
      プラハ,チェコ
    • 年月日
      2007-04-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Design and development of synchrotron beam line for rapid etching using XeF_2 gas2006

    • 著者名/発表者名
      N. Nakai, H. Uno, S. Cho, R. Teruo, M. Suzui, Y. Teraoka, A. Yoshikoshi, Tetsuya Makimura, Kouichi Murakami, T. Urisu
    • 学会等名
      Joint Symposium of The 19th The Japan Society of Synchrotron Radiation Research and Synchrotron Radiation Science
    • 発表場所
      Nagoya University
    • 年月日
      2006-01-09
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Silica Nanomachining Using Pulsed Laser Plasma Soft X-Rays2006

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Uchida, Tetsuya Makimura, Hisao Miyamoto, Hiroyuki Niino, and Kouichi Murakami
    • 学会等名
      The 7th AIST International Symposium on Photoreaction Control and Photofunctional Materials, Tsukuba
    • 年月日
      2006-01-17
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Nanomachining of quartz glass using laser plasma soft X-rays2006

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Takashige Fujimori, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
    • 学会等名
      The Institute of Electrical Engineers of JapanC Devision Annual Meeting 2006
    • 発表場所
      KantoGakuin University
    • 年月日
      2006-09-06
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Nanomachining dynamics of synthesized quartz glass using laser plasma soft X-rays2006

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
    • 学会等名
      The Japan Society of Applied Physics2006 Spring Meeting
    • 発表場所
      Musashino Kougyou University
    • 年月日
      2006-03-26
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Micromachining of optical materials by ablation using High-energy laser plasma soft X-rays2006

    • 著者名/発表者名
      Takashige Fujimori, Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
    • 学会等名
      The Japan Society of Applied Physics2006 Spring Meeting
    • 発表場所
      Musashino Kougyou University
    • 年月日
      2006-03-26
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Dynamics of silica glass nano-ablation using laser plasma soft X-rays2006

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
    • 学会等名
      The Japan Society of Applied Physics2006 Spring Meeting
    • 発表場所
      Musashino Kougyou University
    • 年月日
      2006-03-26
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Direct nanomachining of inorganic transparent materials using laser plasma soft X-rays2006

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Hisao Miyamoto, Satoshi Uchida, Takashige Fujimori, Kouichi Murakami, and Hiroyuki Niino
    • 学会等名
      The 4th International Conference on Laser Advanced Materials Processing Kyoto Research Park, Kyoto
    • 年月日
      2006-05-16
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Ultra-fine micromachining of silica glass using laser plasma soft X-rays2006

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Takashige Fujimori, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
    • 学会等名
      The Laser_Society of Japan #352 Meeting
    • 発表場所
      Miyazaki University
    • 年月日
      2006-09-28
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Ablation of silica glass using laser plasma soft X-rays at around 10 nm and ablation dynamics2006

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Hisao Miyamoto, Satoshi Uchida, Kouichi Murakam, and Hiroyuki Niino
    • 学会等名
      Laser Applications in Microelectronics and Optoelectronics Manufacturing XI, San Jose
    • 年月日
      2006-01-21
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Silica Ablation Using Pulsed Laser Plasma Soft X-Rays in Various Gases2006

    • 著者名/発表者名
      Takashige Fujimori, Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Hisao Miyamoto, Hiroyuki Niino, and Kouichi Murakami
    • 学会等名
      The 7th AIST International Symposium on Photoreaction Control and Photofunctional Materials, Tsukuba
    • 年月日
      2006-01-17
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Design and development of synchrotron beam line for rapid etching using XeF_2 gas2006

    • 著者名/発表者名
      Naofumi Nakai, S. Zheng, H. Uno, R. Teruo, K. Suzui, Y. Teraoka, A. Yoshikoshi, Tetsuya Makimura, Kouichi Murakami, T. Urisu
    • 学会等名
      The Japan Society of Applied Physics2006 Fall Meeting
    • 発表場所
      Ritsumeikan University
    • 年月日
      2006-08-29
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Ablation of Inorganic Materials Using Laser Plasma Soft X-Rays2006

    • 著者名/発表者名
      Hisao Miyamoto, Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Hiroyuki Niino, and Kouichi Murakami
    • 学会等名
      The 7th AIST International Symposium on Photoreaction Control and Photofunctional Materials, Tsukuba
    • 年月日
      2006-01-17
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Ablation of inorganic transparent materials in gases using laser plasma soft X-rays2006

    • 著者名/発表者名
      Takashige Fujimori, Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Kouichi Murakami, Hiroyuki Niino
    • 学会等名
      The Institute of Electrical Engineers of JapanMeeting
    • 発表場所
      Nagasaki University
    • 年月日
      2006-03-03
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Composition of silica glass after ablation using laser plasma soft X-rays2006

    • 著者名/発表者名
      Takashige Fujimori, Tetsuya Makimura, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
    • 学会等名
      The Japan Society of Applied Physics2006 Fall Meeting
    • 発表場所
      Ritsumeikan University
    • 年月日
      2006-08-29
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Nanomachining of quartz glass using laser plasma soft X-rays2006

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Uchida, Takashige Fujimori, Tetsuya Makimura, Kouichi Murakami, Hiroyuki Niino
    • 学会等名
      The Institute of Electrical Engineers of JapanMeeting
    • 発表場所
      Nagasaki University
    • 年月日
      2006-03-03
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Nanomachining of inorganic transparent maeteri-als using laser plsama soft X-rays2006

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura
    • 学会等名
      Inovation Japan 2006
    • 発表場所
      Tokyo International Forun
    • 年月日
      2006-09-13
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Ablation of inorganic materials in gases using laser plasma soft X-rays2006

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Takashige Fujimori, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
    • 学会等名
      The Laser Society of JapanAnnual Meeting 2006
    • 発表場所
      Ohmiya Sonic City
    • 年月日
      2006-02-10
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Ablation of Silica Glass Using Laser Plasma Soft X-Rays at around 10 nm and Ablation Dynamics2005

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Hisao Miyamoto, Satoshi Uchida, and Kouichi Murakami
    • 学会等名
      4th International Conference on Materials Processing for Properties and Performance
    • 発表場所
      Tsukuba Science City
    • 年月日
      2005-11-30
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Nanomachining of inorganic transparent materials using laserr plsma soft X-rays2005

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Hisao Miyamoto, Satoshi Uchida, Takashige Fujimori, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
    • 学会等名
      The 8th Synposium on X-ray Microscopy
    • 発表場所
      Kobe
    • 年月日
      2005-12-13
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Development of a technique for nanomachining of inorganic transparent materials by X-ray exciton method2005

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Kouichi Murakami
    • 学会等名
      Inovation Japan 2005
    • 発表場所
      Tokyo International Forum
    • 年月日
      2005-09-27
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Ablation of inorganic materials using laser plasma soft X-rays2005

    • 著者名/発表者名
      Hisao Miyamoto, Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
    • 学会等名
      The Japan Society of Applied Physics2005 Fall Meeting
    • 発表場所
      Tokushima University
    • 年月日
      2005-09-08
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Nano-Ablation of Inorganic Materials Using Laser Plasma Soft X-Rays at around 10 nm2005

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Hisao Miyamoto, Satoshi Uchida, Takashige Fujimori, Hiroyuki Niino and Kouichi Murakami
    • 学会等名
      International Microprocesses and Nanotechnology Conference 2005,
    • 発表場所
      Tokyo
    • 年月日
      2005-10-26
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Ultra-fine micromachining of inorganic materials using laser plasma soft X-rays2005

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Hisao Miyamoto, Satoshi Uchida, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
    • 学会等名
      The 65th Annual Meeting of Japan Laser Processing Society
    • 発表場所
      Sophia University
    • 年月日
      2005-12-05
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Nanomachining of Quartz Glass Plates Using Pulsed Laser Plasma Soft X-Rays2005

    • 著者名/発表者名
      S. Uchida, T. Makimura, H. Miyamoto, K. Murakami
    • 学会等名
      4th International Conference on Materials Processing for Properties and Performance
    • 発表場所
      Tsukuba Science City
    • 年月日
      2005-11-30
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Ablation of inorganic materials using laser plasma soft X-rays2005

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Hisao Miyamoto, Satoshi Uchida, Takashige Fujimori, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
    • 学会等名
      The Japan Society of Plasma Science and Nuclear Fusion Reserch Meeting
    • 発表場所
      Kyushu University
    • 年月日
      2005-12-19
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Nanomachining of quartz glass using laser plasma soft X-rays2005

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Uchida, Hisao Miyamoto, Tetsuya Makimura, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
    • 学会等名
      The Japan Society of Applied Physics2005 Fall Meeting
    • 発表場所
      Tokushima University
    • 年月日
      2005-09-08
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Ablation process of quartz glass using laser plasma sfot X-rays2005

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Hosao Miyamoto, Hiroyuki Miino, Kouichi Murakami
    • 学会等名
      The Japan Society of Applied Physics2005 Fall Meeting
    • 発表場所
      Tokyshima University
    • 年月日
      2005-09-11
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] 1.5〓 light emission of E〓 ions doped in SiO_2 films including Si nanocrystallites and in SiO_x films2005

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Hiroshi Uematsu, Yuuki Okada and Kouichi Murakami
    • 学会等名
      The 8th Conference on Laser Ablation
    • 発表場所
      Banff, Canada
    • 年月日
      2005-09-11
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Nanomachining of inorganic materials using laser plasma soft X-rays2005

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura
    • 学会等名
      NEDO Meeting for Seeds for the Next Generation
    • 発表場所
      Kawasaki
    • 年月日
      2005-09-20
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Direct Nanomachining of Inorganic Transparent Materials Using Laser Plasma Soft X-Rays2005

    • 著者名/発表者名
      (Invited Paser) Tetsuya Makimura, Hisao Miyamoto, Satoshi Uchida, Hiroyuki Niino and Kouichi Murakami
    • 学会等名
      The 8th Conference on Laser Ablation
    • 発表場所
      Banff, Canada
    • 年月日
      2005-09-13
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Ablation of Inorganic Materials Using Laser Plasma Soft X-Rays2005

    • 著者名/発表者名
      Hisao Miyamoto, Tetsuya Makimura, Satoshi Uchida, Kouichi Murakami, and Hiroyuki Niino
    • 学会等名
      4th International Conference on Materials Processing for Properties and Performance
    • 発表場所
      Tsukuba Science City
    • 年月日
      2005-11-30
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • [学会発表] Direct Micromachining of Inorganic Transparent Materials Using Laser Plasma Soft X-Rays2005

    • 著者名/発表者名
      Tetsuya Makimura, Hisao Miyamoto, Satoshi Uchida, Hiroyuki Niino, and Kouichi Murakami
    • 学会等名
      The 8th International Conference on X-ray Microscopy
    • 発表場所
      Egret Himeji
    • 年月日
      2005-07-26
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360348
  • 1.  村上 浩一 (10116113)
    共同の研究課題数: 6件
    共同の研究成果数: 81件
  • 2.  岡田 龍雄 (90127994)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 18件
  • 3.  東口 武史 (80336289)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 10件
  • 4.  吉村 雅満 (40220743)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  上田 一之 (60029212)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  鈴木 堅吉
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  北島 正弘
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  金山 敏彦
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  金山 俊彦
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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