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甲藤 正人  Katto Masahito

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 80268466
その他のID
外部サイト
所属 (現在) 2025年度: 宮崎大学, 研究・産学地域連携推進機構, 准教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2019年度 – 2021年度: 宮崎大学, 産学・地域連携センター, 准教授
2008年度: 宮崎大学, 産学連携センター, 准教授
2007年度: 宮崎大学, 産業連携センター, 准教授
2006年度: 宮崎大学, 産学連携支援センター, 助教授
2005年度: 宮崎大学, 地域共同研究センター, 助教授 … もっと見る
2003年度: 宮崎大学, 地域共同研究センター, 助教授
2000年度 – 2002年度: 近畿大学, 理工学部, 講師
1995年度: 近畿大学, 理工学部, 助手 隠す
審査区分/研究分野
研究代表者
小区分26050:材料加工および組織制御関連 / 電子デバイス・機器工学
研究代表者以外
材料加工・処理 / 電子・電気材料工学 / 応用光学・量子光工学 / 水工水理学
キーワード
研究代表者
スライス加工 / 半導体 / レーザー加工 / 変成 / レーザープロセッシング / 短パルスレーザー / 強度記録 / 紫外光 / イメージングプレート / 輝尽性蛍光体 … もっと見る
研究代表者以外
… もっと見る 真空紫外光 / エキシマランプ / 表面改質 / 光電界電離 / 希ガスエキシマ / photo-chemical vapor deposition / insulator / Via hole / system LSI / vacuum ultraviolet / 光CVD / 積層型システムLSI / 光CVD法 / 絶縁膜 / 貫通電極 / システムLSI / Surface alteration / Coherent vacuum ultraviolet emission / Vacuum ultraviolet lamp / Optical field induced ionization / Photo-induced cleaning / Photo-chemical process / Vacuum ultraviolet / Rare gas excimers / 光還元 / ドライプロセス / 表面反応 / 光化学反応 / コヒーレント真空紫外光 / 真空紫外ランプ / 光洗浄 / 光量子プロセス / Alumina / Ceramics / Titanium / Hydroxyapatite / Biocompatible materials / Surface modification / LALA method / Laser ablation / レーザー照射 / アルミナ / セラミックス / チタン / ハイドロキシアパタイト / 生体親和性材料 / LALA法 / レーザーアブレーション / 短波長光源技術 / 光プロセス / 高強度レーザー / 卓上型レーザー / 真空紫外 / 光物質プロセス / 超短パルス高強度レーザー / 中空ファイバー / ホログラフィ / LIV / シリンドリカル・レンズ / PIV / PTV / ホログラム・レーザー・ビーム / 秒のビデオカメラ / 100万枚 隠す
  • 研究課題

    (7件)
  • 研究成果

    (31件)
  • 共同研究者

    (14人)
  •  半導体ウエハの新規スライス加工技術の開発研究代表者

    • 研究代表者
      甲藤 正人
    • 研究期間 (年度)
      2019 – 2021
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分26050:材料加工および組織制御関連
    • 研究機関
      宮崎大学
  •  中空ファイバーを用いる小型真空紫外レーザーの実現と光物質プロセスへの展開

    • 研究代表者
      窪寺 昌一
    • 研究期間 (年度)
      2006 – 2008
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      応用光学・量子光工学
    • 研究機関
      宮崎大学
  •  次世代積層型システムLSI用貫通電極の絶縁膜作製技術の開発

    • 研究代表者
      横谷 篤至
    • 研究期間 (年度)
      2005 – 2006
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      宮崎大学
  •  レーザー光を用いた新しい手法による人体インプラント材料への高度生体親和性付与

    • 研究代表者
      中山 斌義
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2003
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      材料加工・処理
    • 研究機関
      近畿大学
  •  希ガスエキシマランプを用いた光量子洗浄装置の開発

    • 研究代表者
      窪寺 昌一
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2003
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      材料加工・処理
    • 研究機関
      宮崎大学
  •  レーザー・マーキングPTVの開発

    • 研究代表者
      江藤 剛治
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2001
    • 研究種目
      萌芽的研究
    • 研究分野
      水工水理学
    • 研究機関
      近畿大学
  •  輝尽性蛍光体の紫外からの可視域光強度記録への応用研究代表者

    • 研究代表者
      甲藤 正人
    • 研究期間 (年度)
      1995
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      近畿大学

すべて 2022 2021 2020 2009 2008 2007 2006 2005

すべて 雑誌論文 学会発表 産業財産権

  • [雑誌論文] フェムト秒レーザーによるSi表面の相変化2020

    • 著者名/発表者名
      甲藤正人,横谷篤至,加来昌典,大久保友雅,塚本雅裕
    • 雑誌名

      レーザー学会第546回研究会報告

      巻: No. RTM-20-06~11 ページ: 1-6

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05081
  • [雑誌論文] OFI rare-gas excimer amplifier for high-intensity VUV pulse generation2009

    • 著者名/発表者名
      M. Katto, M. Kaku, K. Oda, T. Kamikihara, A. Yokotani, S. Kubodera, N. Miyanaga, and K. Mima
    • 雑誌名

      Proc. SPIE vol.7196

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360040
  • [雑誌論文] Harmonics generation in VUV spectral region driven by a NIR Ti : sapphire laser in rare gases2009

    • 著者名/発表者名
      Masahito Katto, et al.
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE (印刷中)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360040
  • [雑誌論文] Harmonics generation in VUV spectral region driven by a NIR Ti : sapphire laser in rare gases2009

    • 著者名/発表者名
      M. Katto, K. Oda, M. Kaku, S. Kubodera, A.Yokotani, N. Miyanaga, and K. Mima
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE vol.7131

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360040
  • [雑誌論文] OFI argon excimer amplifier for intense subpicosecond VUV pulse generation2009

    • 著者名/発表者名
      M. Kaku, S. Kubodera, K. Oda, M. Katto, A. Yokotani, N. Miyanaga, and K. Mima
    • 雑誌名

      Proc. SPIE vol.7131

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360040
  • [雑誌論文] OFI rare-gas excimer amplifier for high-intensity VUV pulse generation2009

    • 著者名/発表者名
      Masahito Katto, et al.
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE 7196

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360040
  • [雑誌論文] High-intensity subpicosecond vacuum ultraviolet laser system2008

    • 著者名/発表者名
      S. Kubodera, M. Kaku, Y. Taniguchi, M. Katto, A. Yokotani, N. Miyanaga, and K. Mima
    • 雑誌名

      Proc. SPIE vol.6874

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360040
  • [雑誌論文] 紫外・真空紫外光源の開発と光プロセスへの応用2008

    • 著者名/発表者名
      甲藤 正人ら
    • 雑誌名

      レーザー学会第381回研究会報告「短波長光の発生とその応用」 RTM-08-42

      ページ: 5-10

    • NAID

      10023995831

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360040
  • [雑誌論文] 高輝度真空紫外コヒーレント光源の開発2007

    • 著者名/発表者名
      甲藤正人, ら
    • 雑誌名

      レーザー学会第368回研究会報告「短波長光の発生とその応用」 RTM-07-47

      ページ: 13-18

    • NAID

      10020028971

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360040
  • [雑誌論文] 真空紫外光で拓く環境調和型プロセス-真空紫外領域における光源の開発とその応用技術の開発2007

    • 著者名/発表者名
      甲藤 正人
    • 雑誌名

      ケミカルエンジニアリング 52・1

      ページ: 66-71

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560288
  • [雑誌論文] Effect of laser fluence on poly-crystallization of hydroxyapatite film coated by PLD method2007

    • 著者名/発表者名
      Masahito Katto, et. al.
    • 雑誌名

      Journal of Laser Micro/Nanoengineering 2

      ページ: 152-155

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360040
  • [雑誌論文] Vacuum ultraviolet argon excimer laser initiated by optical-field-induced ionization electrons2007

    • 著者名/発表者名
      S. Kubodera, Y. Taniguchi, T. Higashiguchi, and M. Katto
    • 雑誌名

      Proc. SPIE vol.6346

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360040
  • [雑誌論文] Subpicosecond vacuum ultraviolet laser system for advanced materials processing2007

    • 著者名/発表者名
      S. Kubodera, Y. Taniguchi, A. Hosotani, M. Katto, A. Yokotani, N. Miyanaga, and K. Mima
    • 雑誌名

      Proc. SPIE vol.6452

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360040
  • [雑誌論文] 真空紫外光で拓く環境調和型プロセス -高輝度真空紫外コヒーレント光源の開発とその応用技術の開発-2006

    • 著者名/発表者名
      甲藤 正人, 他
    • 雑誌名

      レーザー学会第352回研究会報告 RTM-6-27-34

      ページ: 1-5

    • NAID

      10020611464

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360040
  • [雑誌論文] Poly-crystallized hydroxyapatite coating deposited by pulsed laser deposition method at room temperature2005

    • 著者名/発表者名
      M.Katto
    • 雑誌名

      Applied Surface Science 248・1

      ページ: 365-368

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560288
  • [雑誌論文] Poly-crystalized hydroxyapatite coating deposited by pulsed laser deposition method at room temperature2005

    • 著者名/発表者名
      M.Katto
    • 雑誌名

      Applied Surface Science 248

      ページ: 365-368

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560288
  • [雑誌論文] Poly-crystallized hydroxyapatite coating deposited by pulsed laser deposition method at room temperature2005

    • 著者名/発表者名
      M.Katto
    • 雑誌名

      Applied Surface Science 248-1

      ページ: 365-368

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560288
  • [産業財産権] 異物検出方法2006

    • 発明者名
      甲藤 正人, 黒澤 宏, 亀山 勝人
    • 権利者名
      宮崎大学
    • 産業財産権番号
      2006-144427
    • 出願年月日
      2006-05-24
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560288
  • [産業財産権] 水溶液あるいは微粒子懸濁液を用いた被膜生成手法(被膜生成方法および被膜生成装置)2006

    • 発明者名
      甲藤 正人, 東口 武史, 窪寺 昌一, 横谷 篤至
    • 権利者名
      宮崎大学
    • 産業財産権番号
      2006-143925
    • 出願年月日
      2006-05-24
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560288
  • [産業財産権] 異物検出方法2006

    • 発明者名
      甲藤 正人, 黒澤 宏, 穐山 勝人
    • 権利者名
      宮崎大学
    • 産業財産権番号
      2006-144427
    • 出願年月日
      2006-05-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560288
  • [産業財産権] レーザーを用いたカラーソーター(異物混入判別装置および異物混入判別方法)2006

    • 発明者名
      甲藤 正人, 黒澤 崇
    • 権利者名
      宮崎大学
    • 産業財産権番号
      2006-105595
    • 出願年月日
      2006-04-06
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560288
  • [学会発表] Early stage of Si surface processing by femto-second Ti:sapphire laser pulses2022

    • 著者名/発表者名
      Masahito Katto, Masanori Kaku, Masahiro Tsukamoto, Yuji Sato and Atsushi Yokotani
    • 学会等名
      International Photonics Conference 2022, The 4th Smart Laser Processing Conference 2022 (SLPC2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05081
  • [学会発表] フェムト秒レーザーによるSi表面の相変化2021

    • 著者名/発表者名
      甲藤正人,横谷篤至,加来昌典,大久保友雅,塚本雅裕
    • 学会等名
      レーザー学会第546回研究会 「フォトニクス・ワークショップ in 九州」
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05081
  • [学会発表] フェムト秒レーザーによるSi表面の相変化2020

    • 著者名/発表者名
      甲藤正人,横谷篤至,加来昌典,大久保友雅,塚本雅裕
    • 学会等名
      レーザー学会第546回研究会 「フォトニクス・ワークショップ in 九州」
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05081
  • [学会発表] OFI rare-gas excimer amplifier for high-intensity VUV pulse generation2009

    • 著者名/発表者名
      S. Kubodera, M. Kaku, K. Oda, T. Kamikihara, M. Katto, A. Yokotani, N. Miyanaga, and K. Mima
    • 学会等名
      Photonics West 2009 (SPIE Meeting)
    • 発表場所
      San Jose (USA)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360040
  • [学会発表] Harmonics generation in VUV spectral region driven by a NIRTi : sapphire laser in rare gases2008

    • 著者名/発表者名
      Masahito Katto, et al.
    • 学会等名
      XVII International Symposium on Gas Flow and Chemical Lasers & High Power Lasers(GCL-HPL 2008)
    • 発表場所
      Lisbon, Portugal
    • 年月日
      2008-09-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360040
  • [学会発表] 紫外・真空紫外光源の開発と光プロセスへの応用2008

    • 著者名/発表者名
      甲藤正人ら
    • 学会等名
      レーザー学会第381回研究会「短波長光の発生とその応用」
    • 発表場所
      九州大学
    • 年月日
      2008-12-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360040
  • [学会発表] Optical amplification of the OFI rare-gas excimers in the vacuum ultraviolet2008

    • 著者名/発表者名
      M. Kaku, S. Harano, S. Touge, M. Katto, A. Yokotani, S. Kubodera, N. Miyanaga, and K. Mima
    • 学会等名
      The 21st Annual Meeting of the IEEE Lasers & Electro-Optics Society (IEEE/LEOS 2008)
    • 発表場所
      Newport Beach (USA)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360040
  • [学会発表] 高輝度真空紫外コヒーレント光源の開発2007

    • 著者名/発表者名
      甲藤正人, ら
    • 学会等名
      レーザー学会第368回研究会「短波長光の発生とその応用」
    • 発表場所
      宇都宮大学
    • 年月日
      2007-12-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360040
  • [学会発表] 真空紫外光源とその応用2007

    • 著者名/発表者名
      窪寺昌一、甲藤正人、横谷篤至
    • 学会等名
      レーザー学会学術講演会第27回年次大会
    • 発表場所
      宮崎
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360040
  • [学会発表] 真空紫外光で拓く環境調和型プロセスに向けて~高輝度真空紫外コヒーレント光の発生とその応用技術の開発~2006

    • 著者名/発表者名
      甲藤正人、横谷篤至、窪寺昌一、宮永憲明、三間圀興
    • 学会等名
      第67回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      立命館大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18360040
  • 1.  横谷 篤至 (00183989)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 9件
  • 2.  窪寺 昌一 (00264359)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 10件
  • 3.  河仲 準二 (50264362)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  加来 昌典 (10425621)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 6件
  • 5.  中山 斌義 (60023313)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  橋新 裕一 (90156266)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  中田 淳一 (80122076)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  東口 武史 (80336289)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  亀山 晃弘 (00264367)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  黒澤 宏 (80109892)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  江藤 剛治 (20088412)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  沖中 知雄 (90298985)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  竹原 幸生 (50216933)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  佐々木 亘 (30081300)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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