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式田 光宏  Shikida Mitsuhiro

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 80273291
その他のID
外部サイト
所属 (現在) 2025年度: 広島市立大学, 情報科学研究科, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2022年度 – 2023年度: 広島市立大学, 情報科学研究科, 教授
2014年度 – 2017年度: 広島市立大学, 情報科学研究科, 教授
2014年度 – 2015年度: 名古屋大学, 大学院工学研究科, 准教授
2012年度 – 2013年度: 名古屋大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授
2008年度 – 2011年度: 名古屋大学, 工学研究科, 准教授 … もっと見る
2007年度 – 2010年度: 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 准教授
2006年度: 名古屋大学, エコトピア科学研究所, 助教授
2004年度 – 2005年度: 名古屋大学, エコトピア科学研究機構, 助教授
2001年度 – 2003年度: 名古屋大学, 難処理人工物研究センター, 講師
1997年度 – 2000年度: 名古屋大学, 工学研究科, 助手
1998年度: 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 助手
1998年度: 名古屋大学, 工業研究科, 助手
1996年度: 名古屋大学, 工学部, 助手 隠す
審査区分/研究分野
研究代表者
マイクロ・ナノデバイス / 知能機械学・機械システム / ナノマイクロシステム / 小区分90110:生体医工学関連
研究代表者以外
応用物理学一般 / 生物機能・バイオプロセス / 知能機械学・機械システム / 環境技術・環境材料 / 流体工学 / 設計工学・機械機能要素・トライボロジー / マイクロ・ナノデバイス / 薄膜・表面界面物性
キーワード
研究代表者
マイクロマシン / マイクロ・ナノデバイス / マイクロセンサ / MEMS / 医療・福祉 / 知能機械 / MEMS・NEMS / マイクロアクチュエータ / バルーンカテーテル / ピトー管 … もっと見る / 細径センサデバイス / 換気計測 / 呼吸計測 / Biotechnologies / Micromachine / Micro-Nano devices / バイオテクノロジー / Micro-actuator / Tactile sensor / Micro-sensor / マイクロコイル / 触覚センサ / マイクロニードル / マイクロデバイス / カテーテル流量センサ / カテーテル流用センサ / 触覚センサー / マイクロセンサー / フレキシブル配線 / 能動型触覚センサー / マイクロバルブ / マイクロ流体機械 / マイクロマシニング / 静電気力 / アクチュエータ … もっと見る
研究代表者以外
マイクロマシン / MEMS / TMAH / シリコン / KOH / Silicon / 異方性エッチング / 結晶異方性エッチング / Surface roughness / Etching rate / Tetramethyl-ammonium-hydroxide (TMAH) / Potassium-hydroxide (KOH) / Orientation-dependent etching / プロセスシミュレーション / エッチング速度 / 1細胞解析 / 結晶 / 結晶異方性 / 走査型プローブ顕微鏡 / 摩擦力顕微鏡 / MEMS / ドラッグデリバリーシステム / 先進機械デバイス / ソフトメカニクス / In-situ Plasma Decomposition / Alkaline Absorbent / Byproducts / Improvement of Decomposition / Hydrogen(H_2) / Oxygen(O_2) / Non-thermal Plasma / Halide Gases / 電子付着 / ハロゲン系副生成ガス / in-situ 吸収 / アルカリ吸収剤 / オゾン / 共存酸素 / ハロゲン系有機ガス / CH_4 / 結合エネルギー / C-Cl結合 / C-H結合 / H_2 / ハロゲン系化合物 / in-situプラズマ分解 / アルカリ固体吸収剤 / 副生成物 / 分解促進 / 水素(H_2) / 酸素(O_2) / 非平衡プラズマ / ハロゲンガス / Simulation / Surface morphology / Etching mechanism / Quartz / Chemical anisotropic etching / 結晶モフォロジー / シミュレーション / 表面モフォロジー / エッチングメカニズム / 水晶 / fatigue / size effect / single-crystal silicon / tensile testing / mechanical properties / thin films / micromachine / シリコン化合物 / 試験法 / 疲労 / 寸法効果 / 単結晶シリコン / 引張試験 / 機械的特性 / 薄膜 / Fractal / Model / シリコン単結晶 / 水酸化カリウム / モデリング / 粗さ / フラクタル / モデル / 表面粗さ / Process simulation / マイクロ加工 / 面粗さ / 水酸化カリウム(KOH) / 流体工学 / 壁面せん断応力 / MEMSセンサ / 流体計測 / 微細加工 / パターニング / 細胞アレイ / 磁性微粒子 / 細胞 / 遺伝子発現解析 / PCR / 磁性粒子 / 磁性搬送 / 液滴 / 一細胞解析 / バイオセンサ / ナノ計測 / プローブ顕微鏡 / トライボロジー / FTIR / 固液界面 / 界面活性剤 / 不純物イオン / 化学エッチング 隠す
  • 研究課題

    (21件)
  • 研究成果

    (232件)
  • 共同研究者

    (31人)
  •  細径集積化センサデバイスによる肺内部での換気計測システム技術の開発研究代表者

    • 研究代表者
      式田 光宏
    • 研究期間 (年度)
      2022 – 2024
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分90110:生体医工学関連
    • 研究機関
      広島市立大学
  •  呼吸器系末梢気道でのその場計測を可能にするカテーテルセンサ技術の開発研究代表者

    • 研究代表者
      式田 光宏
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2017
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      ナノマイクロシステム
    • 研究機関
      広島市立大学
  •  経皮吸収剤応用を目指した矢尻分離型生分解性マイクロニードの開発研究代表者

    • 研究代表者
      式田 光宏
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2015
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      ナノマイクロシステム
    • 研究機関
      広島市立大学
  •  ソフトマテリアルを用いたパッド型ドラッグデリバリーシステム

    • 研究代表者
      秦 誠一
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2015
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  局時局所壁面せん断応力ベクトル計測によるせん断乱流の動力学特性の解明

    • 研究代表者
      長田 孝二
    • 研究期間 (年度)
      2013 – 2014
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      流体工学
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  肺内部での吸気呼気計測を可能にする超小型カテーテル流量センサの開発研究代表者

    • 研究代表者
      式田 光宏
    • 研究期間 (年度)
      2011 – 2013
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      マイクロ・ナノデバイス
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  磁気細胞パターニングによる1細胞機能解析法の確立

    • 研究代表者
      本多 裕之
    • 研究期間 (年度)
      2009 – 2011
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      生物機能・バイオプロセス
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  動的測定可能な二軸独立型摩擦力顕微鏡マイクロプローブ

    • 研究代表者
      福澤 健二
    • 研究期間 (年度)
      2008 – 2010
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      設計工学・機械機能要素・トライボロジー
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  磁力を利用した液滴ハンドリングによる一細胞デジタルPCRの開発

    • 研究代表者
      大河内 美奈
    • 研究期間 (年度)
      2008 – 2010
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      生物機能・バイオプロセス
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  シリコンの結晶異方性エッチングモデルと溶液組成イオン効果の研究

    • 研究代表者
      佐藤 一雄
    • 研究期間 (年度)
      2007 – 2009
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      マイクロ・ナノデバイス
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  磁性微粒子を用いた小型分析システムの開発研究代表者

    • 研究代表者
      式田 光宏
    • 研究期間 (年度)
      2006 – 2007
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      マイクロ・ナノデバイス
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  水平・鉛直力を定量測定可能な摩擦力顕微鏡用マイクロプローブ

    • 研究代表者
      福澤 健二
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2005
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      薄膜・表面界面物性
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  難分解性有機物質のプラズマ分解とin-situハロゲン吸収組合せによる無害化

    • 研究代表者
      松田 仁樹
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2004
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      環境技術・環境材料
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  能動型アレイ状マイクロセンシングシステムに関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      式田 光宏
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2004
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      マイクロ・ナノデバイス
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  マイクロ・メゾ領域を統合した結晶異方性エッチングメカニズムの研究

    • 研究代表者
      佐藤 一雄
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2004
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  フレキシブル微小機械システムの研究研究代表者

    • 研究代表者
      式田 光宏
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2002
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  マイクロ流体機械システムの研究研究代表者

    • 研究代表者
      式田 光宏
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 1999
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  シリコンの結晶異方性エッチングプロセスモデルの研究

    • 研究代表者
      佐藤 一雄
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 1999
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  マイクロマシン材料の機械的特性とそのスケール効果の研究

    • 研究代表者
      佐藤 一雄
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  マイクロマシニング技術によるマイクロアクチュエータの開発研究代表者

    • 研究代表者
      式田 光宏
    • 研究期間 (年度)
      1996
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  シリコン単結晶からなる微細3次元構造体加工の研究

    • 研究代表者
      佐藤 一雄
    • 研究期間 (年度)
      1996 – 1997
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      名古屋大学

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すべて 雑誌論文 学会発表 図書 産業財産権

  • [図書] 日本機械学会ニューズレター流れ2014

    • 著者名/発表者名
      沢田拓也,寺島修,酒井康彦,長田孝二,式田光宏,伊藤靖仁
    • 出版者
      日本機械学会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630051
  • [図書] MEMS/NEMS工学全集2009

    • 著者名/発表者名
      式田光宏(分担執筆)
    • 出版者
      (株)テクノシステム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [図書] ドライ・ウエットエッチング技術全集2009

    • 著者名/発表者名
      式田光宏(分担執筆)
    • 出版者
      (株)技術情報協会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [図書] マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術2009

    • 著者名/発表者名
      式田光宏(監修・分担執筆)
    • 出版者
      (株)シーエムシー出版
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [図書] ウェットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化2008

    • 著者名/発表者名
      式田光宏(分担執筆)
    • 出版者
      サイエンス&テクノロジー(株)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [図書] 薄膜ハンドブック第2版2008

    • 著者名/発表者名
      式田光宏(分担執筆)
    • 出版者
      (株)オーム社
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [図書] Comprehensive Microsystems Vol. 1(Wet etching)2007

    • 著者名/発表者名
      K. Sato, M. Shikida (分担執筆)
    • 出版者
      Elsevier
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [図書] Comprehensive Microsystems Uol.1, Wet etching2007

    • 著者名/発表者名
      K. Sato, M. Shikida(分担執筆)
    • 出版者
      Elsevier Ltd
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [図書] マイクロ化学チップの技術と応用(北森・庄子・馬場・藤田編)2004

    • 著者名/発表者名
      佐藤一雄, 式田光宏(分担執筆)
    • 総ページ数
      33
    • 出版者
      丸善株式会社
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [図書] マイクロ化学チップの技術と応用(北森・庄子・馬場・藤田編)2004

    • 著者名/発表者名
      佐藤一雄, 式田光宏, 他(分担執筆)
    • 総ページ数
      33
    • 出版者
      丸善株式会社
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Pitot Tube Sensor Probe System for Simultaneous Airflow and Pressure Measurement of Expiration Inside Pulmonary Airway2024

    • 著者名/発表者名
      A. Miyawaki, M. S. Al Farisi, Y. Hasegawa, M. Matsushima, T. Kawabe, M. Shikida
    • 雑誌名

      IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering

      巻: 19 号: 5 ページ: 807-813

    • DOI

      10.1002/tee.24039

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K12770
  • [雑誌論文] Catheter type thermal flow sensor with small footprint for measuring breathing function2018

    • 著者名/発表者名
      Hasegawa Y.、Kawaoka H.、Mitsunari Y.、Matsushima M.、Kawabe T.、Shikida M.
    • 雑誌名

      Microsystem Technologies

      巻: online 号: 8 ページ: 3455-3465

    • DOI

      10.1007/s00542-018-3748-y

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034, KAKENHI-PROJECT-17K00547
  • [雑誌論文] Development of tube flow sensor by using film transfer technology and its application to in situ breathing and surface image evaluation in airways2018

    • 著者名/発表者名
      Okihara Chiaki、Hasegawa Yoshihiro、Matsushima Miyoko、Kawabe Tsutomu、Shikida Mitsuhiro
    • 雑誌名

      Microsystem Technologies

      巻: online 号: 8 ページ: 3417-3424

    • DOI

      10.1007/s00542-018-3733-5

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034, KAKENHI-PROJECT-17K00547
  • [雑誌論文] Vacuum cavity encapsulation for response time shortening in flexible thermal flow sensor2017

    • 著者名/発表者名
      Shikida Mitsuhiro、Kim Pilyoung、Shibata Shunji
    • 雑誌名

      Microsystem Technologies

      巻: 23 号: 8 ページ: 3547-3558

    • DOI

      10.1007/s00542-016-3168-9

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [雑誌論文] Characterization of basket-forceps-type micro-flow-sensor for breathing measurements in small airway2017

    • 著者名/発表者名
      HARADA Naoaki, HASEGAWA Yoshihiro, ONO Ryota, MATSUSHIMA Miyoko, KAWABE Tsutomu, SHIKIDA Mitsuhiro
    • 雑誌名

      Microsystem Technologies

      巻: 23 号: 12 ページ: 5397-5406

    • DOI

      10.1007/s00542-016-3265-9

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K00547, KAKENHI-PROJECT-26286034, KAKENHI-PROJECT-15K08228
  • [雑誌論文] Heartbeat signal detection from analysis of airflow in rat airway under different depths of anesthesia conditions2017

    • 著者名/発表者名
      KAWAOKA Hidenori, YAMADA Takayuki, MATSUSHIMA Miyoko, KAWABE Tsutomu, HASEGAWA Yoshihiro, SHIKIDA Mitsuhiro
    • 雑誌名

      IEEE Sensors Journal

      巻: 17 号: 14 ページ: 4369-4377

    • DOI

      10.1109/jsen.2017.2707594

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K00547, KAKENHI-PROJECT-26286034, KAKENHI-PROJECT-15K08228
  • [雑誌論文] Respiration and heartbeat signal detection from airflow at airway in rat by catheter flow sensor with tmeparature compensation function2017

    • 著者名/発表者名
      HASEGAWA Yoshihiro, KAWAOKA Hidenori, YAMADA Takayuki, MATSUSHIMA Miyoko, KAWABE Tsutomu, SHIKIDA Mitsuhiro
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Microengineering

      巻: 27 号: 12 ページ: 1-11

    • DOI

      10.1088/1361-6439/aa9595

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K00547, KAKENHI-PROJECT-26286034, KAKENHI-PROJECT-15K08228
  • [雑誌論文] Design and fabrication of differently shaped pyramids on Si {100} by anisotropic wet etching2015

    • 著者名/発表者名
      K. Imaeda, K. Bessho, M. Shikida
    • 雑誌名

      Microsystem Technologies

      巻: Online 号: 12 ページ: 2801-2809

    • DOI

      10.1007/s00542-015-2590-8

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600060
  • [雑誌論文] Development of implantable catheter flow sensor into inside of bronchi for laboratory animal2015

    • 著者名/発表者名
      M. Shikida, T. Matsuyama, T. Yamada, M. Matsushima, T. Kawabe
    • 雑誌名

      Microsystem Technologies

      巻: Online 号: 12 ページ: 2239-2245

    • DOI

      10.1007/s00542-013-1924-7

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [雑誌論文] Fabrication of flexible thermal MEMS device based on Cu on polyimide substrate and its flow sensor application2015

    • 著者名/発表者名
      M. Shikida, Y. Niimi, S. Shibata
    • 雑誌名

      Microsystem Technologies

      巻: Online 号: 3 ページ: 677-685

    • DOI

      10.1007/s00542-015-2704-3

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [雑誌論文] 末梢気道内呼気吸気計測を目的とした 自己温度補償型カテーテル流量センサの開発2014

    • 著者名/発表者名
      松山拓矢,山﨑雄大,松島充代子,川部勤,式田光宏
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E

      巻: 未定

    • NAID

      130004438735

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23310091
  • [雑誌論文] Measurement of Wall Shear Stress Fluctuation with the Micro-fabricated Hot-film Sensor in a Boundary Layer of a Wall Jet2014

    • 著者名/発表者名
      T. Sawada, O. Terashima, Y. Sakai, K. Nagata, M. Shikida and Y. Ito
    • 雑誌名

      実験力学

      巻: 14 号: Special_Issue ページ: s13-s18

    • DOI

      10.11395/jjsem.14.s13

    • NAID

      130004687796

    • ISSN
      1346-4930, 1884-4219
    • 言語
      英語
    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630051
  • [雑誌論文] On the measurement of wall shear stress with a patch-type micro-fabricated hot-film sensor2014

    • 著者名/発表者名
      T. Sawada, O. Terashima, Y. Sakai, K. Nagata, M. Shikida, Y. Ito and S. Muramatsu
    • 雑誌名

      Journal of Fluid Science and Technology

      巻: 9 号: 3 ページ: JFST0029-JFST0029

    • DOI

      10.1299/jfst.2014jfst0029

    • NAID

      130004695298

    • ISSN
      1880-5558
    • 言語
      英語
    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630051
  • [雑誌論文] Measurement of Wall Shear Stress by Using Micro-Fabricated Hot Film and Floating-Element Sensors2013

    • 著者名/発表者名
      O. Terashima, T. Sawada, Y. Sakai, K. Nagata, H. Hida and M. Shikida
    • 雑誌名

      Journal of the Japanese Society for Experimental Mechanics

      巻: 3

    • NAID

      10031189783

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630051
  • [雑誌論文] Droplet introduction into a pen-shaped portable reaction system by gravity and interfacial forces.2011

    • 著者名/発表者名
      Shikida M., Inagaki N., Okochi M.,Honda H., Sato K.
    • 雑誌名

      Micro, Nano Letters 6

      ページ: 253-256

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360371
  • [雑誌論文] Droplet-based gene expression analysis using a device with magnetic force-based droplethandling system2010

    • 著者名/発表者名
      Okochi M., Tsuchiya H., Kumazawa F., Shikida M., Honda H.
    • 雑誌名

      J.Biosci.Bioeng. 109

      ページ: 193-197

    • NAID

      110007573253

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360371
  • [雑誌論文] Quantification of Friction Force on Dual-Axis Micro-Mechanical Probe for Friction Force Microscopy2010

    • 著者名/発表者名
      H.Amakawa, K.Fukuzawa, M.Shikida, H.Zhang, S.Itoh
    • 雑誌名

      Tribology Online

      巻: Vol.5 ページ: 144-149

    • NAID

      130000308509

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360077
  • [雑誌論文] Quantification of Friction Force on Dual-Axis Micro-Mechanical Probe for Friction Force Microscopy2010

    • 著者名/発表者名
      H.Amakawa, K.Fukuzawa, M.Shikida, H.Zhang, S.Itoh
    • 雑誌名

      Tribology Online Vol.5

      ページ: 144-149

    • NAID

      130000308509

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360077
  • [雑誌論文]2009

    • 著者名/発表者名
      式田光宏(分担執筆)
    • 雑誌名

      MEMS/NEMS工学全集((株)テクノシステム)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [雑誌論文]2009

    • 著者名/発表者名
      式田光宏(監修・分担執筆)
    • 雑誌名

      マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術((株)シーエムシー出版)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [雑誌論文] Magnetic force-based lab-on-a-chip for single cell analysis in a droplet.2009

    • 著者名/発表者名
      Okochi M,, Tsuchiya H., Kumazawa F., Shikida M., Honda H.
    • 雑誌名

      ECS Transactions 16(17)

      ページ: 15-20

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360371
  • [雑誌論文]2009

    • 著者名/発表者名
      式田光宏(分担執筆)
    • 雑誌名

      ドライ・ウエットエッチング技術全集((株)技術情報協会)

      ページ: 159-175

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [雑誌論文] Agitation of magnetic beads by multi-layered flat coils.2009

    • 著者名/発表者名
      Shikida M., Koyama M., Nagao N., Imai R., Honda H., Okochi M,, Tsuchiya H., Kazuo Sato.
    • 雑誌名

      Sens.Actuat-B : Chemical 137

      ページ: 774-780

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360371
  • [雑誌論文] Study of corner compensating structures and fabrication of various shapes of MEMS structures in pure and surfactant added TMAH2009

    • 著者名/発表者名
      Prem Pal, K.Sato, M.Shikida, M.A.Gosalvez
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A, Physical 154-2

      ページ: 192-203

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [雑誌論文] Ellipsometry study of the adsorbed surfactant thickness on Si{110} and Si{100} and the effect of pre-adsorbed surfactant layer on etching characteristics in TMAH2009

    • 著者名/発表者名
      B.Tang, Prem Pal, M.A.Gosalvez, M.Shikida, K.Sato, et al.
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A, Physical 156-2

      ページ: 334-341

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [雑誌論文] Study of corner compensating structures and fabrication of various shapes of MEMS structures in pure and surfactant added TMAH2009

    • 著者名/発表者名
      Prem Pal, K. Sato, M. Shikida, M.A. Gosalvez
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A 154-2(Physical)

      ページ: 192-203

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [雑誌論文] Agitation of magnetic beads by multi-layered flat coils2009

    • 著者名/発表者名
      Mitsuhiro Shikida, et al.
    • 雑誌名

      Sens. Actuat-B : Chemical 137

      ページ: 774-780

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360371
  • [雑誌論文] Ellipsometry study of the adsorbed surfactant thickness on Si{110} and Si{100} and the effect of pre-adsorbed surfactant layer on etching characteristics in TMAH2009

    • 著者名/発表者名
      B. Tang, Prem Pal, M.A. Gosalvez, M. Shikida, K. Sato, et. al.
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A 156-2(Physical)

      ページ: 334-341

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [雑誌論文]2008

    • 著者名/発表者名
      式田光宏(分担執筆)
    • 雑誌名

      薄膜ハンドブック第2版((株)オーム社)

      ページ: 1089-1091

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [雑誌論文] Cell culture arrays using magnetic force-based cell patterning force-based cell patterning for dynamic single cell analytysis.2008

    • 著者名/発表者名
      Ino K., Okochi M., Konishi N., Nakatochi M., Imai R., Shikida M., Ito A., Honda H.
    • 雑誌名

      Lab.Chip. 8

      ページ: 134-142

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360371
  • [雑誌論文] Fabrication of a Quartz Tuning-Fork Probe with a Sharp Tip for AFM Systems2008

    • 著者名/発表者名
      H.Hida, M.Shikida, K.Fukuzawa, S.Murakami, et al.
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A, Physical 148-1

      ページ: 311-318

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [雑誌論文] palmtop-sized rotary-drive-type biochemical analysis system by magnetic bead handling.2008

    • 著者名/発表者名
      Shikida M., Nagao N., Imai R., Honda H., Okochi M., Ito H., Sato K. A
    • 雑誌名

      J.Micromech.Microeng. 18

      ページ: 35034-35042

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360371
  • [雑誌論文] Suspended Si microstructures with rounded concave and sharp convex corners using wafer bonding and wet anisotropic etching2008

    • 著者名/発表者名
      Prem Pal, K.Sato, M.Shikida
    • 雑誌名

      ECS Transactions 16-8

      ページ: 133-140

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [雑誌論文] Palmtop-sized Rotary-drive-type Biochemical Analysis System by Magnetic Beads Handling2008

    • 著者名/発表者名
      M. Shikida, N. Nagao, R. Imai, H. Honda, M. Okochi, 他2名
    • 雑誌名

      Journal of Micromechnics and Microengineering 18

      ページ: 501-508

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18310093
  • [雑誌論文] Fabrication of a Quartz Tuning-Fork Probe with a Sharp Tip for AFM Systems2008

    • 著者名/発表者名
      H. Hida, M. Shikida, K. Fukuzawa, S. Murakami, Ke. Sato, K. Asaumi, Y. Iriye, Ka. Sato
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A 148-1(Physical)

      ページ: 311-318

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [雑誌論文] Suspended Si microstructures with rounded concave and sharp convex corners using wafer bonding and wet anisotropic etching2008

    • 著者名/発表者名
      Prem Pal, K. Sato, M. Shikida
    • 雑誌名

      ECS Transactions 40771

      ページ: 133-140

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [雑誌論文] Improved Sensitivity of Dual-Axis Micro-Mechanical Probe for Friction Force Microscope2008

    • 著者名/発表者名
      H.Amakawa, K.Fukuzawa, M.Shikida, H.Zhang, S.Itoh
    • 雑誌名

      Tribology Online Vol.3

      ページ: 356-360

    • NAID

      130000453664

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360077
  • [雑誌論文]2008

    • 著者名/発表者名
      式田光宏(分担執筆)
    • 雑誌名

      ウェットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化(サイエンス&テクノロジー(株))

      ページ: 67-91

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [雑誌論文] On-chip polymerase chain reaction microdevice employing a magnetic dropletmanipulation system.2008

    • 著者名/発表者名
      Tsuchiya H., Okochi M., Nagao N., Shikida M., Honda H.
    • 雑誌名

      Sens.Actuator B-Chem. 130

      ページ: 583-588

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360371
  • [雑誌論文] Improved Sensitivity of Dual-Axis Micro-Mechanical Probe for Friction Force Microscope2008

    • 著者名/発表者名
      H. Amakawa, K. Fukuzawa, M. Shikida, H. Zhang, S. Itoh
    • 雑誌名

      Tribology Online 3

      ページ: 356-360

    • NAID

      130000453664

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360077
  • [雑誌論文] Study of rounded concave and sharp edge convex corners undercutting in CMOS compatible anisotropic etchants2007

    • 著者名/発表者名
      Prem Pal, K. Sato, M. A. Gosalvez and M. Shikida
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Microengineering vol.17

      ページ: 2299-2307

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [雑誌論文] Portable Rotary-drive-type Biochemical-Analysis System based on Magnetic bead-droplet Handling2007

    • 著者名/発表者名
      N.Nagao, M.Shikida, K.Takayanagi, H.Honda, M.Okochi, 他2名
    • 雑誌名

      Tech. Dig. of IEEE Micro Electro Mechanical Systems Conference

      ページ: 457-459

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18310093
  • [雑誌論文] Study of rounded concave and sharp edge convex corners undercutting in CMOS compatible anisotropic etchants2007

    • 著者名/発表者名
      Prem Pal, K. Sato, M.A. Gosalvez, M. Shikida
    • 雑誌名

      J. Micromechanics and Microengineering 40864

      ページ: 2299-2307

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [雑誌論文] Magnetic bead-droplet handling for biochemical reaction in Micro-TAS2006

    • 著者名/発表者名
      N.Nagao, M.Shikida, K.Takayanagi, H.Honda, M.Okochi, 他2名
    • 雑誌名

      Tech. Dig. the 23rd Sensor Symposium

      ページ: 104-107

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18310093
  • [雑誌論文] Development of enzymatic reaction device by using magnetic beads-cluster handling2006

    • 著者名/発表者名
      M.Shikida, K.Takayanagi, H.Honda, H.Ito, K.Sato
    • 雑誌名

      Journal of Micromechnics and Microengineering 16・9

      ページ: 1875-1883

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18310093
  • [雑誌論文] Development of enzymatic reaction device by using magnetic beads-cluster handling2006

    • 著者名/発表者名
      M, Shikida, K, Takayanagi, H, Honda, H, Ito, K, Sato
    • 雑誌名

      J. Micromechnics and Microengineering 16

      ページ: 1875-1883

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18310093
  • [雑誌論文] 二軸独立検出可能な摩擦力顕微鏡用マイクロ・メカニカルプローブ2006

    • 著者名/発表者名
      寺田, 福澤, 式田, 雨川, 張, 三矢
    • 雑誌名

      第53回応用物理学関係連合講演会講演予稿集 No.2

      ページ: 718-718

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656015
  • [雑誌論文] Development of enzymatic reaction device by using magnetic beads-cluster handling2006

    • 著者名/発表者名
      M. Shikida, K. Takayanagi, H. Honda, H. Ito, K. Sato
    • 雑誌名

      Journal of Micromechnics and Microengineering 16

      ページ: 1875-1883

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18310093
  • [雑誌論文] Multifunctional active tactile sensor using magnetic micro actuator2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Hasegawa, H.Sasaki, M.Shikida, K.Sato, K.Itoigawa
    • 雑誌名

      Tech.Dig.of IEEE Micro Electro Mechanical Systems Conference

      ページ: 275-278

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15310104
  • [雑誌論文] Through-wafer interconnect technology for silicon2004

    • 著者名/発表者名
      V.G.Kutchoukov, M.Shikida, J.R.Mollinger, A.Bossche
    • 雑誌名

      J.Micromechanics and Microengineering 14

      ページ: 1029-1036

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Non-photolithographic pattern transfer for fabricating arrayed three-dimensional microstructures by chemical anisotropic etching2004

    • 著者名/発表者名
      M.Shikida, M.Odagaki, N.Todoroki, M.Ando, Y.Ishihara, T.Ando, K.Sato
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A116

      ページ: 264-271

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Characterization of anisotropic etching properties of single crystal silicon : Effects of ppb-level of Cu and Pb in KOH solution2004

    • 著者名/発表者名
      H.Tanaka, D.Cheng, M.Shikida, K.Sato
    • 雑誌名

      Proc.the 4^<th> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, Montreal #5

      ページ: 1-4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Effect of Magnesium in KOH solution on anisotropic wet etching of silicon2004

    • 著者名/発表者名
      H.Tanaka, D.Cheng, K.Inoue, M.Shikida, K.Sato
    • 雑誌名

      Proc.2004 MHS/Micro-Nano COE International Symposium, Oct.31-Nov.2,Nagoya 1

      ページ: 121-125

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Magnetically driven active tactile sensor for hardness detection2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Hasegawa, H.Sasaki, M.Shikida, S.Kuriyama, 他2名
    • 雑誌名

      Tech.Dig.the 21st Sensor Symposium

      ページ: 453-456

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15310104
  • [雑誌論文] Difference in activated atomic steps on (111) silicon surface during KOH and TMAH etching2004

    • 著者名/発表者名
      K.Sato.T.Masuda, M.Shikida
    • 雑誌名

      Sensors and Materials 15-2

      ページ: 93-99

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Magnetic actuation of a micro-diaphragm structure for an active tactile sensor2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Hasegawa, H.Sasaki, M.Shikida, K.Sato, K.Itoigawa
    • 雑誌名

      Proceedings of the 2004 International Symposium on Micro Machine and Human Science

      ページ: 99-104

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15310104
  • [雑誌論文] Change in etching properties of single crystal silicon caused by the difference of surfactants added to TMAH solutions2004

    • 著者名/発表者名
      D.Cheng, K.Sato, M.Shikida
    • 雑誌名

      Proc.the 4^<th> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, Montreal #4

      ページ: 1-4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] A micro machined active tactile sensor for hardness detection2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Hasegawa, T.Shimizu, T.Miyaji, M.Shikida, 他3名
    • 雑誌名

      Sensors & Actuators : A 114

      ページ: 141-146

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15310104
  • [雑誌論文] Characterization of the orientation-dependent etching properties of quartz ; Application to 3-D micromachining simulation system2004

    • 著者名/発表者名
      D.Cheng, Kazuo Sato, M.Shikida, A.Ono, Kenji Sato, K.Asaumi, Y.Iriye
    • 雑誌名

      Proc.the 4^<th> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, Montreal #9

      ページ: 1-1

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Characterization of the orientation-dependent etching properties of quartz ; Application to 3-D micromachining simulation system2004

    • 著者名/発表者名
      D.Cheng, K.Sato, M.Shikida, A.Ono, K.Sato, K.Asaumi, Y.Iriye
    • 雑誌名

      Proc. the 4^<th> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, May 26-28, Montreal 1

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Non-photolithographic pattern transfer for fabricating pen-shape microneedle structures2004

    • 著者名/発表者名
      M.Shikida, M.Ando, Y.Ishihara, T.Ando, K.Sato, K.Asaumi
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Microengineering 14

      ページ: 1462-1467

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Through-wafer interconnect technology for silicon2004

    • 著者名/発表者名
      V.G.Kutchoukov, M.Shikida, J.R.Mollinger, A.Bossche
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Microengineering 14

      ページ: 1029-1036

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Fast etching of silicon with a smooth surface in high temperature ranges near the boilinig point of KOH solution2004

    • 著者名/発表者名
      H.Tanaka, S.Yamashita, Y.Abe, M.Shikida, K.Sato
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A114

      ページ: 516-520

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Non-photolithographic pattern transfer for fabricating pen-shaped microneedle structures2004

    • 著者名/発表者名
      M.Shikida, M.Ando, Y.Ishihara, T.Ando, K.Sato, K.Asaumi
    • 雑誌名

      J.Micromechanics and Microengineering 14

      ページ: 1462-1467

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] A micro machined active tactile sensor for hardness detection2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Hasegawa, T.Shimizu, T.Miyaji, M.Shikida, et al.
    • 雑誌名

      Sensors & Actuators : A 114

      ページ: 141-146

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15310104
  • [雑誌論文] Fast etching of silicon with a smooth surface in high temperature ranges near the boiling poing of KOH solution2004

    • 著者名/発表者名
      H.Tanaka, S.Yamashita, Y.Abe, M.Shikida, K.Sato
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A114

      ページ: 516-520

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Characterization of the orientation-dependent etching properties of quartz : Application to 3-D micromachining simulation system2004

    • 著者名/発表者名
      D.Cheng, K.Sato, M.Shikida, A.Ono, K.Sato, K.Asaumi, Y.Iriye
    • 雑誌名

      Proc.the 4^<th> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, May 26-28,Montreal 1

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Non-photolithographic pattern transfer for fabricating arrayed three-dimensional microstructures by chemical anisotropic etching2004

    • 著者名/発表者名
      M.Shikida, M.Odagaki, N.Todoroki, M.Ando, Y.Ishihara, T.Ando, K.Sato
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators, A 116

      ページ: 264-271

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Difference in activated atomic steps on (111) silicon surface during KOH and TMAH etching2004

    • 著者名/発表者名
      K.Sato, T.Masuda, M.Shikida
    • 雑誌名

      Sensors and Materials 15-2

      ページ: 93-99

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Magnetically driven active tactile sensor for hardness detection2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Hasegawa, H.Sasaki, M.Shikida, S.Kuriyama, et al.
    • 雑誌名

      Tech.Dig.the 21st Sensor Symposium

      ページ: 453-456

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15310104
  • [雑誌論文] Non-photolithographic pattern transfer for fabricating pen-shaped microneedle structures2004

    • 著者名/発表者名
      M.Shikida, M.Ando, Y.Ishihara, T.Ando, K.Sato, K.Asaumi
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Microengineering 14

      ページ: 1462-1467

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Change in etching properties of single crystal silicon caused by the difference of surfactants added to TMAH solutions2004

    • 著者名/発表者名
      D.Cheng, K.Sato, M.Shikida
    • 雑誌名

      Proc.the 4^<th> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, May 26-28,Montreal 1

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Characterization of anisotropic etching properties of single crystal silicon ; Effects of ppb-level of Cu and Pb in KOH solution2004

    • 著者名/発表者名
      H.Tanaka, D.Cheng, M.Shikida, K.Sato
    • 雑誌名

      Proc.the 4^<th> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, May 26-28,Montreal 1

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Fast etching of silicon with a smooth surface in high temperature ranges near the boiling point of KOH solution2004

    • 著者名/発表者名
      H.Tanaka, S.Yamashita, Y.Abe, M.Shikida, K.Sato
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators, A 114

      ページ: 516-520

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Change in etching properties of single crystal silicon caused by the difference of surfactants added to TMAH solutions2004

    • 著者名/発表者名
      D.Cheng, K.Sato, M.Shikida
    • 雑誌名

      Proc. the 4^<th> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, May 26-28, Montreal 1

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Effect of Magnesium in KOH solution on anisotropic wet etching of silicon2004

    • 著者名/発表者名
      H.Tanaka, D.Cheng, K.Inoue, M.Shikida, K.Sato
    • 雑誌名

      Proc. 2004 MHS/Micro-Nano COE International Symposium, Oct.31-Nov.2, Nagoya 1

      ページ: 121-125

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Nano-mechanical method for seeding circular-shaped etch pits on (100) silicon surface2003

    • 著者名/発表者名
      M.Shikida, K.Kawasaki, K.Sato, Y.Ishihara, H.Tanaka, A.Matsumuro
    • 雑誌名

      Sensors and Materials 15-1

      ページ: 21-35

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Effects of ppb-level metal impurities in aqueous potassium hydroxide solution on the etching of Si{110} and {100}2003

    • 著者名/発表者名
      H.Tanaka, Y.Abe, K.Inoue, M.Shikida, K.Sato
    • 雑誌名

      Sensors and Materials 15-1

      ページ: 43-51

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Characterization of MEMS materials : Micro-nano physics underlying MEMS2003

    • 著者名/発表者名
      K.Sato, M.Shikida, T.Ando
    • 雑誌名

      Tech.Dig.of JSME ISMME 2003,Tsuchiura 1

      ページ: 446-454

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Non-photolithographic pattern transfer for fabricating arrayed 3-D microstructures by chemical anisotropic etching2003

    • 著者名/発表者名
      M.Shikida, M.Odagaki, N.Todoroki, M.Ando, Y.Ishihara, T.Ando, K.Sato
    • 雑誌名

      Proc.IEEE the 16^<th> Intl.Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Kyoto

      ページ: 562-565

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Nanometer physics in microsystem research : Reversed anisotropy observed in wet chemical etching of silicon2003

    • 著者名/発表者名
      K.Sato, M.Shikida
    • 雑誌名

      Proc.the 2003 Intl.Symposium on Micromechatronics and Human Science, Nagoya 1

      ページ: 33-38

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Effects of ppb-level metal impurities in aqueous potassium hydroxide solution on the etching of Si {110} and {100}2003

    • 著者名/発表者名
      H.Tanaka, Y.Abe, K.Inoue, M.Shikida, K.Sato
    • 雑誌名

      Sensors and Materials 15-1

      ページ: 43-51

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Non-photolithographic pattern transfer for fabricating arrayed 3-D microstructures by chemical anisotropic etching2003

    • 著者名/発表者名
      M.Shikida, M.Odagaki, N.Todoroki, M.Ando, Y.Ishihara, T.Ando, K.Sato
    • 雑誌名

      Proc.IEEE the 16^<th> Intl.Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Kyoto 1

      ページ: 562-565

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Differences in activated atomic steps on (111) silicon surface during KOH and TMAH etching2002

    • 著者名/発表者名
      K.Sato, T.Masuda, M.Shikida
    • 雑誌名

      Proc.the 3^<rd> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, Nara

      ページ: 43-46

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Nano-mechanical method for seeding circular-shaped etch pits on (100) silicon surface2002

    • 著者名/発表者名
      M.Shikida, K.Kawasaki, K.Sato, Y.Ishihara, H.Tanaka, A.Matsumuro
    • 雑誌名

      Proc.the 3^<rd> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, Nara

      ページ: 78-81

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] A model explaining mask-corner undercut phenomena in anisotropic silicon etching ; A saddle point in the etching-rate diagram2002

    • 著者名/発表者名
      M.Shikida, K.Nanbara, T.Koizumi, H.Sasaki, M.Odagaki, K.Sato, M.Ando, S.Furuta, K.Asaumi
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A97-98

      ページ: 43-46

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Differences in activated atomic steps on (111) silicon surface during KOH and TMAH etching2002

    • 著者名/発表者名
      K.Sato, T.Masuda, M.Shikida
    • 雑誌名

      Proc.the 3^<rd> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, Nara 1

      ページ: 43-46

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] A model explaining mask-corner undercut phenomena in anisotropic silicon etching ; A saddle point in the etching-rate diagram2002

    • 著者名/発表者名
      M.Shikida, K.Nanbara, T.Koizumi, H.Sasaki, M.Odagaki, K.Sato, M.Ando, S.Furuta, K.Asaumi
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators, A 97-98

      ページ: 758-763

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Nano-mechanical method for seeding circular-shaped etch pits on (100) silicon surface2002

    • 著者名/発表者名
      M.Shikida, K.Kawasaki, K.Sato, Y.Ishihara, H.Tanaka, A.Matsumuro
    • 雑誌名

      Proc.the 3^<rd> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, Nara 1

      ページ: 78-81

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Characterization of MEMS materials : Micro-nano physics underlying MEMS

    • 著者名/発表者名
      K.Sato, M.Shikida, T.Ando
    • 雑誌名

      Tech.Dig.JSME ISMME 2003, Tsuchiura

      ページ: 446-454

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] Fabrication of a pen-shaped portable biochemical reaction system based on magnetic bead manipulation

    • 著者名/発表者名
      Shikida M., Inagaki N., Okochi M., Honda H., Sato K.
    • 雑誌名

      J.Micromech.Microeng. in press

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360371
  • [雑誌論文] Effect of Magnesium in KOH solution on anisotropic wet etching of silicon

    • 著者名/発表者名
      H.Tanaka, D.Cheng, K.Inoue, M.Shikida, K.Sato
    • 雑誌名

      Proc.2004 MHS/Micro-Nano COE Intl.Symposium, Nagoya

      ページ: 121-125

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [雑誌論文] 末梢気道内呼気吸気計測を目的とした自己温度補償型カテーテル流量センサの開発

    • 著者名/発表者名
      松山拓矢,山﨑雄大,松島充代子,川部勤,式田光宏
    • 雑誌名

      電気学会論文誌

      巻: E(印刷中)

    • NAID

      130004438735

    • URL

      https://www.jstage.jst.go.jp/browse/ieejsmas/-char/ja/

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23310091
  • [雑誌論文] Nanometer physics in microsystem research : Reversed anisotropy observed in wet chemical etching of silicon

    • 著者名/発表者名
      K.Sato, M.Shikida
    • 雑誌名

      Proc.the 2003 Intl.Symposium on Micromechatronics and Human Science, Nagoya

      ページ: 33-38

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [産業財産権] 医療用流れ測定装置およびその製造方法2016

    • 発明者名
      川部勤,松島充代子,式田光宏,長谷川義大
    • 権利者名
      国立大学法人名古屋大学,公立大学法人広島市立大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2016-212332
    • 出願年月日
      2016-10-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [産業財産権] 気道内気体流量測定装置2015

    • 発明者名
      川部勤,式田光宏,松島充代子
    • 権利者名
      名古屋大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2015-019748
    • 出願年月日
      2015-02-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [産業財産権] 流量センサ付き気管内挿管チューブ2013

    • 発明者名
      式田光宏,川部勤,松島充代子
    • 権利者名
      式田光宏,川部勤,松島充代子
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2013-01-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23310091
  • [産業財産権] 気管内挿管チューブ装着器具及びその製作方法2013

    • 発明者名
      式田光宏,川部勤,松島充代子
    • 権利者名
      国立大学法人名古屋大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2013-003749
    • 出願年月日
      2013-01-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23310091
  • [産業財産権] 測定プローブ,試料表面測定装置,及び試料表面測定方法2010

    • 発明者名
      福澤健二, 式田光宏, 寺田諭
    • 権利者名
      科学技術振興機構
    • 取得年月日
      2010-07-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360077
  • [産業財産権] 測定プローブ, 試料表面測定装置, 及び試料表面測定方法2009

    • 発明者名
      福澤健二, 式田光宏, 寺田諭
    • 権利者名
      科学技術振興機構
    • 取得年月日
      2009-07-07
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360077
  • [産業財産権] 測定プローブ,試料表面測定装置,及び試料表面測定方法2009

    • 発明者名
      福澤健二, 式田光宏, 寺田諭
    • 権利者名
      科学技術振興機構
    • 取得年月日
      2009-07-07
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360077
  • [産業財産権] 測定プローブ,試料表面測定装置,及び試料表面測定方法2006

    • 発明者名
      福澤, 式田, 寺田
    • 権利者名
      科学技術振興機構
    • 産業財産権番号
      2006-037030
    • 出願年月日
      2006-02-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656015
  • [産業財産権] 針状構造体の作成方法2003

    • 発明者名
      佐藤 一雄, 式田 光宏, ほか
    • 権利者名
      (株)三和化学, (財)名古屋産業科学研究所
    • 産業財産権番号
      2003-055406
    • 出願年月日
      2003-03-03
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205016
  • [学会発表] 肺気管支でのその場計測を可能にするバルーンカテーテル型流量センサの開発2023

    • 著者名/発表者名
      イ スンヒョン, アル・ファリシィ ムハンマド・サルマン, 長谷川 義大, 松島 充代子, 川部 勤, 式田 光宏
    • 学会等名
      第14回 マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K12770
  • [学会発表] SIMULTANEOUS AIRFLOW AND PRESSURE MEASUREMENTS BASED ON PITOT TUBE FOR EVALUATION OF EXPIRED AIR INSIDE LUNG AIRWAY2023

    • 著者名/発表者名
      A. Miyawaki, M.S. Al Farisi, Y. Hasegawa, M. Matsushima, T. Kawabe, M. Shikida
    • 学会等名
      The 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K12770
  • [学会発表] Embedding Airflow Sensing Function in Balloon Catheter for Respiration Measurement in Bronchus Region Inside Lung2023

    • 著者名/発表者名
      S. H. Lee, M. S. Al Farisi, Y. Hasegawa, M. Matsushima, T. Kawabe, M. Shikida
    • 学会等名
      The 36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K12770
  • [学会発表] ピトー管構造を用いた肺内部でのその場圧力流量同時計測システムに関する研究2023

    • 著者名/発表者名
      宮脇 葵, アル・ファリシィ ムハンマド・サルマン, 長谷川 義大, 松島 充代子, 川部 勤, 式田 光宏
    • 学会等名
      第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K12770
  • [学会発表] MEMSセンサ付き気管内チューブの無線化に関する研究2017

    • 著者名/発表者名
      波田拓馬,谷口和弘,長谷川義大,式田光宏
    • 学会等名
      第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] 気流検出機能付気管チューブシステムとそれによるその場呼吸計測法に関する研究2017

    • 著者名/発表者名
      渡辺瞬,長谷川義大,松島充代子,川部勤,式田光宏
    • 学会等名
      第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] 乳幼児口元気流計測を目的とした熱式チューブ型マイクロ流量センサの開発2017

    • 著者名/発表者名
      光成勇樹,長谷川義大,松島充代子,川部勤,式田光宏
    • 学会等名
      第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] Integration of flow sensor and optical fiberscope for in-situ breathing and surface image evaluations in small airway2017

    • 著者名/発表者名
      C. Okihara, Y. Hasegawa, M. Matsushima, T. Kawabe, M. Shikida
    • 学会等名
      19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] 経気管支的に肺機能計測が可能な気管支径対応カテーテル型流量センサの開発2017

    • 著者名/発表者名
      藤範知弘,長谷川義大,松島充代子,川部勤,式田光宏
    • 学会等名
      第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] Micromachined tube type thermal flow sensor for adult-sized tracheal intubation tube2017

    • 著者名/発表者名
      S. Watanabe, Y. Hasegawa, M. Matsushima, T. Kawabe, M. Shikida
    • 学会等名
      Eurosensors2017
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] 末梢気道におけるその場観察と呼吸量計測を可能とする光ファイバースコープ搭載型流量センサの開発2017

    • 著者名/発表者名
      沖原千明,長谷川義大,松島充代子,川部勤,式田光宏
    • 学会等名
      第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] Development of small-footprint thermal sensor detecting airflow at mouth in baby2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Mitsunari, Y. Hasegawa, M. Matsushima, T. Kawabe, M. Shikida
    • 学会等名
      Eurosensors2017
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] Development of catheter flow sensor for breathing measurements at different levels of tracheobronchial airway2017

    • 著者名/発表者名
      T. Fujinori, Y. Hasegawa, M. Matsushima, T. Kawabe, M. Shikida
    • 学会等名
      Eurosensors2017
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] 呼吸心拍測定を目指した温度補償機能付き熱式カテーテル型センサの開発2016

    • 著者名/発表者名
      光成勇樹, 長谷川義大, 松島充代子, 川部勤, 式田光宏
    • 学会等名
      第39回日本生体医工学会中国四国支部大会
    • 発表場所
      徳島大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] マルチ計測モードが可能なMEMS流量センサの開発2016

    • 著者名/発表者名
      藤範知弘, 長谷川義大, 松島充代子, 川部勤, 式田光宏
    • 学会等名
      第39回日本生体医工学会中国四国支部大会
    • 発表場所
      徳島大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] Response time shortening in thermal catheter flow sensor2016

    • 著者名/発表者名
      S. Watanabe, Y. Hasegawa, M. Matsushima, T. Kawabe, M. Shikida
    • 学会等名
      Asia-Paciific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology
    • 発表場所
      Kanazawa, Japan
    • 年月日
      2016-06-26
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] Effect of guide tube length on sensor output in inspired airflow measurement2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Hasegawa, N. Harada, M. Matsushima, T. Kawabe, M. Shikida
    • 学会等名
      29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 年月日
      2016-11-08
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] Fabrication of smooth-surfaced flexible thermal sensor for detecting wall shear stress2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Hasegawa, T. Yamada, M. Shikida
    • 学会等名
      IEEE Micro Electro Mechanical Systems Conference
    • 発表場所
      Shanghai, China
    • 年月日
      2016-01-24
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] Insertion of Tip-separable Microneedle Device for Trans-dermal Drug Delivery Systems2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Nabekura, K. Imaeda, Y. Hasegawa, M. Shikida
    • 学会等名
      Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology
    • 発表場所
      Kanazawa, Japan
    • 年月日
      2016-06-26
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600060
  • [学会発表] Breathing signal analysis of mouse during drug inhalation2016

    • 著者名/発表者名
      H. Kawaoka, Y. Hasegawa, M. Matsushima, T. Kawabe, M. Shikida
    • 学会等名
      29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 年月日
      2016-11-08
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] 肺機能計測用カテーテル型流量センサの高速応答化に関する研究2016

    • 著者名/発表者名
      渡辺瞬, 長谷川義大, 松島充代子, 川部勤, 式田光宏
    • 学会等名
      第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 発表場所
      平戸
    • 年月日
      2016-10-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] Detection of kinetic heartbeat signals from airflow at mouth by catheter flow sensor with temperature compensation2016

    • 著者名/発表者名
      H. Kawaoka, T. Yamada, M. Matsushima, T. Kawabe, Y. Hasegawa, M. Shikida
    • 学会等名
      IEEE Micro Electro Mechanical Systems Conference
    • 発表場所
      Shanghai, China
    • 年月日
      2016-01-24
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] Micro flow sensor integration onto basket forceps for pulmonary function evaluation2016

    • 著者名/発表者名
      N. Harada, R. Ono, M. Matsushima, T. Kawabe, Y. Hasegawa, M. Shikida
    • 学会等名
      11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS)
    • 発表場所
      Sendai, Japan
    • 年月日
      2016-04-17
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] Development of cylinder hollow structure with flow sensor by film transfer technology2016

    • 著者名/発表者名
      C. Okihara, Y. Hasegawa, M. Shikida, M. Matsushima, T. Kawabe
    • 学会等名
      IEEE Sensors 2016
    • 発表場所
      Orland, USA
    • 年月日
      2016-10-30
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] Measurement of heartbeat signals from airflow at mouth in rat by catheter flow sensor2016

    • 著者名/発表者名
      H. Kawaoka, Y. Hasegawa, M. Shikida, M. Matsushima, T. Kawabe
    • 学会等名
      IEEE Sensors 2016
    • 発表場所
      Orland, USA
    • 年月日
      2016-10-30
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] 心拍信号検出を目的とした温度補償機能付カテーテル型流量センサの開発2016

    • 著者名/発表者名
      河岡秀宜, 山田貴之, 松島充代子, 川部勤, 長谷川義大, 式田光宏
    • 学会等名
      第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 発表場所
      平戸
    • 年月日
      2016-10-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] 肺機能評価を目的としたバスケット鉗子搭載型MEMS流量センサの開発2016

    • 著者名/発表者名
      長谷川義大, 原田直明, 小野良太, 松島充代子, 川部勤, 式田光宏
    • 学会等名
      第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 発表場所
      平戸
    • 年月日
      2016-10-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] 二段構造型マイクロニードルの作製・評価2015

    • 著者名/発表者名
      今枝航大, 三宅力, 式田光宏
    • 学会等名
      日本機械学会, 第1回イノベーション講演会
    • 発表場所
      広島大学,広島
    • 年月日
      2015-11-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600060
  • [学会発表] 呼吸器系疾患の精密診断を目的としたバスケット鉗子実装型MEMSセンサの開発2015

    • 著者名/発表者名
      原田直明, 小野良太, 松島充代子, 川部勤, 長谷川義大, 式田光宏
    • 学会等名
      第38回日本生体医工学会中国四国支部大会
    • 発表場所
      広島市立大学,広島
    • 年月日
      2015-11-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] Responsible time shorting of flexible thermal flow sensor for medical applications2015

    • 著者名/発表者名
      K. Imaeda, S. Shibata, M. Matsushima, T. Kawabe, M. Shikida
    • 学会等名
      Proccedings of IEEE Sensors 2015
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • 年月日
      2015-11-01
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] Extraction of heartbeat signal from airflow at mouth by flow sensor2015

    • 著者名/発表者名
      H. Kawaoka, T. Yamada, M. Matsushima, T. Kawabe, Y. Hasegawa, M. Shikida
    • 学会等名
      Proccedings of IEEE Sensors 2015
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • 年月日
      2015-11-01
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] Development of micro-needles based on MEMS technologies for trans-dermal drug delivery system2015

    • 著者名/発表者名
      M. Shikida
    • 学会等名
      The 9th IEEE International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering
    • 発表場所
      Waikiki, Hawaii, USA
    • 年月日
      2015-11-15
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600060
  • [学会発表] マイクロニードルを用いた薬剤投与における定量性向上に関する研究2015

    • 著者名/発表者名
      今枝航大, 石岡稜司, 式田光宏
    • 学会等名
      日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門, 第7回 マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • 発表場所
      朱鷺メッセ,新潟
    • 年月日
      2015-10-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600060
  • [学会発表] 呼吸心拍検出を目的とした温度補償機能付MEMS流量センサの開発2015

    • 著者名/発表者名
      河岡秀宜, 山田貴之, 松島充代子, 川部勤, 長谷川義大, 式田光宏
    • 学会等名
      第38回日本生体医工学会中国四国支部大会
    • 発表場所
      広島市立大学,広島
    • 年月日
      2015-11-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] Detection of both heartbeat and respiration signals from airflow at mouth using catheter flow sensor2015

    • 著者名/発表者名
      H. Kawaoka, T. Yamada, M. Matsushima, T. Kawabe, M. Shikida
    • 学会等名
      The 18th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators
    • 発表場所
      Anchorage, Alaska, USA
    • 年月日
      2015-06-21
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] Basket forceps with flow sensor for evaluating breathing characteristics in small airway2015

    • 著者名/発表者名
      N. Harada, R. Ono, M. Matsushima, T. Kawabe, M. Shikida
    • 学会等名
      The 18th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators
    • 発表場所
      Anchorage, Alaska, USA
    • 年月日
      2015-06-21
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] 気道内固定機能付きMEMS流量センサの開発2015

    • 著者名/発表者名
      原田直明, 小野良太, 松島充代子, 川部勤, 長谷川義大, 式田光宏
    • 学会等名
      日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門, 第7回 マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • 発表場所
      朱鷺メッセ,新潟
    • 年月日
      2015-10-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] MEMSカテーテル型流量センサを用いた呼吸心拍機能検出2015

    • 著者名/発表者名
      河岡秀宜, 山田貴之, 松島充代子, 川部勤, 長谷川義大, 式田光宏
    • 学会等名
      日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門, 第7回 マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • 発表場所
      朱鷺メッセ,新潟
    • 年月日
      2015-10-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] Sharp tip-separable microneedle device for trans-dermal drug delivery systems2015

    • 著者名/発表者名
      K. Imaeda, K. Bessho, M. Shikida
    • 学会等名
      The 18th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators
    • 発表場所
      Anchorage, Alaska, USA
    • 年月日
      2015-06-21
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600060
  • [学会発表] 次世代経皮吸収製剤を目指した先端分離型マイクロニードルの開発2015

    • 著者名/発表者名
      今枝航大, 別所克彦, 三宅力, 式田光宏
    • 学会等名
      日本機械学会, 2015年度年次大会
    • 発表場所
      北海道大学,北海道
    • 年月日
      2015-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600060
  • [学会発表] Micromachined catheter flow sensor for measurement of breathing characteristics in a bronchial region2014

    • 著者名/発表者名
      T. Yamada, T. Matsuyama, M. Matsushima, T. Kawabe, M. Shikida
    • 学会等名
      Tech. Dig. of Asia-Paciific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology
    • 発表場所
      Daegu, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23310091
  • [学会発表] MEMS 技術による熱式マイクロセンサの開発およびそれを用いた壁面せん断応力計測に関する研究2014

    • 著者名/発表者名
      沢田拓也,寺島修,酒井康彦,長田孝二,式田光宏,伊藤靖仁
    • 学会等名
      日本機械学会東海支部 第63期総会・講演会
    • 発表場所
      大同大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630051
  • [学会発表] MICROMACHINED CATHETER FLOW SENSOR FOR MEASUREMENT OF BREATHING CHARACTERISTICS IN A BRONCHIAL REGION2014

    • 著者名/発表者名
      T. Yamada, T. Matsuyama, M. Matsushima, T. Kawabe, and M. Shikida
    • 学会等名
      7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies
    • 発表場所
      Daegu, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23310091
  • [学会発表] Polymer micromachini8ng based on Cu on polyimide substrate and its application to flexible MEMS sensor2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Niimi S. Shibata M. Shikida
    • 学会等名
      Tech. Dig. of IEEE Micro Electro Mechanical Systems Conference
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23310091
  • [学会発表] Polymer micromachini8ng based on Cu on polyimide substrate and its application to flexible MEMS sensor, pp.528-5312014

    • 著者名/発表者名
      Y. Niimi, S. Shibata, M. Shikida
    • 学会等名
      Tech. Dig. of IEEE Micro Electro Mechanical Systems Conference
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23310091
  • [学会発表] Temperature-compensated catheter flow sensor and its application to breathing measurement in mouse2013

    • 著者名/発表者名
      T. Yamada Y. Yamazaki T. Matsuyama M. Shikida M. Matsushima T. Kawabe
    • 学会等名
      Proccedings of IEEE Sensors 2013
    • 発表場所
      Baltimore, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23310091
  • [学会発表] 熱式マイクロセンサによる壁面せん断応力変動計測に関する研究2013

    • 著者名/発表者名
      沢田拓也,寺島修,酒井康彦,長田孝二,式田光宏,肥田博隆,伊藤靖仁
    • 学会等名
      日本実験力学会 2013年度年次講演会
    • 発表場所
      由利本荘市文化交流館,秋田
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630051
  • [学会発表] パリレン微細加工を用いた高速熱式流量センサの開発2013

    • 著者名/発表者名
      小野良太 松山拓矢 山崎雄大 式田光宏 松島充代子 川部勤
    • 学会等名
      日本機械学会, 2013年度年次大会
    • 発表場所
      岡山,日本
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23310091
  • [学会発表] Integration of catheter flow sensor onto tracheal intubation tube system2013

    • 著者名/発表者名
      T. Matsuyama, K. Yoshikawa, Y. Yamazaki, M. Shikida, M. Matsushima, T. Kawabe
    • 学会等名
      IEEE MEMS
    • 発表場所
      Taiwan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23310091
  • [学会発表] 壁面噴流中のせん断応力変動計測の試み2013

    • 著者名/発表者名
      沢田拓也,寺島修,酒井康彦,長田孝二,式田光宏,伊藤靖仁
    • 学会等名
      日本機械学会 第91期流体工学部門講演会
    • 発表場所
      九州大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630051
  • [学会発表] Measurements of Wall Shear Stress Fluctuation with the Micro-Fabricated Hot-Film Sensor in a Boundary Layer of Wall Jet2013

    • 著者名/発表者名
      T. Sawada, O. Terashima, Y. Sakai, K. Nagata, M. Shikida, H. Hida and Y. Ito
    • 学会等名
      8th International Symposium on Advanced Science and Technology in Experimental Mechanics
    • 発表場所
      仙台市戦災復興記念館
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630051
  • [学会発表] On the Measurement of Wall Shear Stress with a Micro-Fabricated Hot-Film Sensor2013

    • 著者名/発表者名
      T. Sawada, O. Terashima, Y. Sakai, K. Nagata, M. Shikida. H. Hida, K. Onishi and Y. Ito
    • 学会等名
      4th International Conference on Jets, Wakes and Separated Flows
    • 発表場所
      名古屋大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630051
  • [学会発表] A Technique for the Measurement of Wall Shear Stress Based on Micro Fabricated Hot-Film Sensor2013

    • 著者名/発表者名
      T. Sawada, O. Terashima, Y. Sakai, K. Nagata, M. Shikida, H. Hida, K. Onishi and Y. Ito
    • 学会等名
      ASME 2013 International Mechanical Engineering Congress & Exposition
    • 発表場所
      Manchester Grand Hyatt San Diego, San Diego, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630051
  • [学会発表] 呼気吸気計測を目的とした自己温度補償型カテーテル流量センサの開発, 5AM2-A-52013

    • 著者名/発表者名
      松山拓矢,山﨑雄大,松島充代子,川部勤,式田光宏
    • 学会等名
      電気学会,センサ・マイクロマシン部門大会,第30回センサ・マイクロマシンと応用システム
    • 発表場所
      仙台
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23310091
  • [学会発表] Integration of catheter flow sensor onto tracheal intubation tube system, pp.567-5702013

    • 著者名/発表者名
      T. Matsuyama, K. Yoshikawa, Y. Yamazaki, M. Shikida, M. Matsushima, T. Kawabe
    • 学会等名
      Tech. Dig. of IEEE Micro Electro Mechanical Systems Conference
    • 発表場所
      Taipei, Taiwan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23310091
  • [学会発表] 呼気吸気計測を目的とした 自己温度補償型カテーテル流量センサの開発2013

    • 著者名/発表者名
      松山 拓矢 山﨑 雄大 松島 充代子 川部 勤 式田 光宏
    • 学会等名
      電気学会, センサ・マイクロマシン部門大会, 第30回センサ・マイクロマシンと応用システム
    • 発表場所
      仙台,日本
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23310091
  • [学会発表] パリレン微細加工を用いた高速熱式流量センサの開発2013

    • 著者名/発表者名
      小野良太,松山拓矢,山崎雄大,式田光宏,松島充代子,川部勤
    • 学会等名
      日本機械学会, 2013年度年次大会
    • 発表場所
      岡山
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23310091
  • [学会発表] Temperature-compensated catheter flow sensor and its application to breathing measurement in mouse, pp.1614-16172013

    • 著者名/発表者名
      T. Yamada, Y. Yamazaki, T. Matsuyama, M. Shikida, M. Matsushima, T. Kawabe
    • 学会等名
      Proccedings of IEEE Sensors 2013
    • 発表場所
      Baltimore, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23310091
  • [学会発表] Measurement of breathing characteristic in mouse during inhaling drug, pp.969-9722012

    • 著者名/発表者名
      T. Shikano, M. Shikida, M. Matsushima, T. Kawabe, K. Sato
    • 学会等名
      Tech. Dig. of IEEE Micro Electro Mechanical Systems Conference
    • 発表場所
      Paris, France
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23310091
  • [学会発表] 吸気呼気計測を目的とした温度補償機能付きカテーテル型流量センサの開発2012

    • 著者名/発表者名
      山﨑雄大, 吉川和宏, 式田光宏, 松島充代子, 川部 勤
    • 学会等名
      電気学会第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 発表場所
      北九州
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23310091
  • [学会発表] Integration of temperature detection onto catheter flow sensor for bronchoscope, pp.542-5452012

    • 著者名/発表者名
      Y. Yamazaki, K. Yoshikawa, M. Shikida, M. Matsushima, T. Kawabe
    • 学会等名
      Proccedings of IEEE Sensors 2012
    • 発表場所
      Taipei, Taiwan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23310091
  • [学会発表] Catheter flow sensor system and breathing measurements in rabbit, pp.616-6192012

    • 著者名/発表者名
      M. Matsushima, M. Shikida, Yuki Yamamoto, T. Shikano, K. Yoshikawa, T. Kawabe
    • 学会等名
      Proccedings of IEEE Sensors 2012
    • 発表場所
      Taipei, Taiwan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23310091
  • [学会発表] Measurement of breathing characteristic in mouse during inhaling drug2012

    • 著者名/発表者名
      4.T.Shikano, M.Shikida, M.Matsushima, T.Kawabe, K.Sato
    • 学会等名
      The 25th Intl.Conf.Micro Electro Mechanical Systems
    • 発表場所
      Marriott Paris Rive Gauche Hotel (Paris)
    • 年月日
      2012-02-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23310091
  • [学会発表] 吸気呼気計測を目的とした温度補償機能付きカテーテル型流量センサの開発, pp.676-6792012

    • 著者名/発表者名
      山﨑雄大,吉川和宏,式田光宏,松島充代子,川部勤
    • 学会等名
      電気学会センサ・マイクロマシン部門大会,第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集
    • 発表場所
      北九州
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23310091
  • [学会発表] Catheter flow sensor system and breathing measurements in rabbit2012

    • 著者名/発表者名
      T. Matsuyama, Y. Yamazaki, T. Shikano, M. Shikida, M. Matsushima, T. Kawabe
    • 学会等名
      IEEE Sensors 2012
    • 発表場所
      Taiwan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23310091
  • [学会発表] Integration of temperature detection onto catheter flow sensor for bronchoscope2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Yamazaki, K. Yoshikawa, M. Shikida, M. Matsushima, T. Kawabe
    • 学会等名
      IEEE Sensors 2012
    • 発表場所
      Taiwan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23310091
  • [学会発表] カテーテル型流量センサを用いた呼気吸気計測技術の開発,pp.215-2192011

    • 著者名/発表者名
      鹿野嵩瑛,岩井聡,式田光宏,松島充代子,川部勤,佐藤一雄
    • 学会等名
      第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 発表場所
      船堀
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23310091
  • [学会発表] カテーテル型流量センサを用いた呼気吸気計測技術の開発2011

    • 著者名/発表者名
      鹿野嵩瑛, 岩井聡, 式田光宏, 松島充代子, 川部勤, 佐藤一雄
    • 学会等名
      第28回「センサ・マイクロマシンと応用シスアム」シンポジウム
    • 発表場所
      タワーホール船堀(東京都)
    • 年月日
      2011-09-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23310091
  • [学会発表] 高感度な摩擦力顕微鏡用二軸独立検出型マイクロ・メカニカルプローブ2010

    • 著者名/発表者名
      雨川洋章, 福澤健二, 式田光宏, 張賀東, 伊藤伸太郎
    • 学会等名
      日本機械学会東海支部第59期総会講演会講演論文集No. 103-1, pp. 335-336
    • 発表場所
      名古屋 名城大学
    • 年月日
      2010-03-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360077
  • [学会発表] 摩擦力顕微鏡用二軸独立検出型マイクロ・メカニカルプローブの高精度化2010

    • 著者名/発表者名
      福澤健二, 雨川洋章, 辻弘明, 式田光宏, 伊藤伸太郎, 張賀東
    • 学会等名
      第2回マイクロ・ナノ工学シンポジウム(pp.119-120)
    • 発表場所
      松江市くびきにメッセ
    • 年月日
      2010-10-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360077
  • [学会発表] Development of driving structure with dual-axis micro-mechanical probe for fricion forcemictoscope2010

    • 著者名/発表者名
      H.Amakawa, K.Fukuzawa, M.Shikida, H.Tsuji, H.Zhang, S.Itoh
    • 学会等名
      トライボロジー会議予稿集 福井 2010-9
    • 発表場所
      福井大学(福井市)
    • 年月日
      2010-09-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360077
  • [学会発表] 摩擦力顕微鏡用二軸独立検出型マイクロ・メカニカルプローブの高精度化2010

    • 著者名/発表者名
      福澤健二, 雨川洋章, 辻弘明, 式田光宏, 伊藤伸太郎, 張賀東
    • 学会等名
      第2回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • 発表場所
      くにびきメッセ(松江市)
    • 年月日
      2010-10-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360077
  • [学会発表] 摩擦力顕微鏡用二軸独立型プローブの摩擦力・鉛直力の検出におけるクロストーク効果2010

    • 著者名/発表者名
      雨川洋章, 福澤健二, 式田光宏, 張賀東, 伊藤伸太郎
    • 学会等名
      日本機械学会IIP2011情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, pp. 40-43
    • 発表場所
      東京 電機大学
    • 年月日
      2010-03-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360077
  • [学会発表] 摩擦力顕微鏡用二軸独立型プローブの摩擦力・鉛直力の検出におけるクロストーク効果2010

    • 著者名/発表者名
      雨川洋章, 福澤健二, 式田光宏, 張賀東, 伊藤伸太郎
    • 学会等名
      日本機械学会情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集(pp.40-43)
    • 発表場所
      東京電機大学
    • 年月日
      2010-03-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360077
  • [学会発表] 高感度な摩擦力顕微鏡用二軸独立検出型マイクロ・メカニカルプローブ2010

    • 著者名/発表者名
      雨川洋章, 福澤健二, 式田光宏, 張賀東, 伊藤伸太郎
    • 学会等名
      第59期総会講演会講演論文集(No.103-1, pp.335-336)
    • 発表場所
      名古屋市名城大学
    • 年月日
      2010-03-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360077
  • [学会発表] Development of driving structure with dual-axis micro-mechanical probe for fricion forcemictoscope2010

    • 著者名/発表者名
      雨川洋章, 福澤健二, 式田光宏, 辻弘明, 張賀東, 伊藤伸太郎
    • 学会等名
      トライボロジー会議予稿集(2010-9, pp.495-496)
    • 発表場所
      福井
    • 年月日
      2010-09-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360077
  • [学会発表] 摩擦力顕微鏡用二軸独立型プローブを用いた紫外線照射による潤滑膜の摩擦特性の変化の測定2010

    • 著者名/発表者名
      雨川洋章, 板倉誠史, 張賀東, 福澤健二, 式田光宏, 伊藤伸太郎
    • 学会等名
      日本機械学会2010年度年次大会
    • 発表場所
      名古屋工業大学(名古屋市)
    • 年月日
      2010-09-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360077
  • [学会発表] 摩擦力顕微鏡用二軸独立型プローブを用いた紫外線照射による潤滑膜の摩擦特性の変化の測定2010

    • 著者名/発表者名
      雨川洋章, 板倉誠史, 張賀東, 福澤健二, 式田光宏, 伊藤伸太郎
    • 学会等名
      日本機械学会2010年度年次大会講演論文集(Vol.8, pp.227-228)
    • 発表場所
      名古屋工業大学
    • 年月日
      2010-09-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360077
  • [学会発表] Selective removal of micro-corrugation by anisotropic wet etching2009

    • 著者名/発表者名
      稲垣徳幸, 佐々木光, 式田光宏, 佐藤一雄
    • 学会等名
      15th Intl.Conf.on Solid-State Sensors, Actuator and Microsystems(Transducers '09)
    • 発表場所
      Denver, USA
    • 年月日
      2009-06-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [学会発表] Dual-Axis Micro-Mechanical Probe for Highly Sensitive Friction Force Microscope2009

    • 著者名/発表者名
      雨川洋章, 福澤健二, 式田光宏, 張賀東, 伊藤伸太郎
    • 学会等名
      Proceedings of World Tribology Congress 2009 (WTC2009), p. 261
    • 発表場所
      Kyoto Internationl Conference Center
    • 年月日
      2009-09-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360077
  • [学会発表] Anisotropic nature of Si surface during wet alkaline etching ; Effects of cations and surfactants2009

    • 著者名/発表者名
      K.Sato, M.Shikida, M.A.Gosalvez, Prem Pal, Y.Kimura
    • 学会等名
      The 5th International Colloquium, Micro-Tribology
    • 発表場所
      Milowka, Poland
    • 年月日
      2009-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [学会発表] Selective removal of micro-corrugation by anisotropic wet etching2009

    • 著者名/発表者名
      N. Inagaki, H. Sasaki, M. Shikida, K. Sato
    • 学会等名
      15th Intl. Conf. on Solid-State Sensors, Actuator and Microsystems
    • 発表場所
      Denver, USA(Transducers)
    • 年月日
      2009-06-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [学会発表] Micro/Nano science uncovering the mysteries of silicon wet etching for the fabrication of MEMS structures(invited)2009

    • 著者名/発表者名
      K.Sato, M.Shikida, M.A.Gosalvez, Prem Pal
    • 学会等名
      Intl.Conf.on Materials for Advanced Technologies
    • 発表場所
      Singapore
    • 年月日
      2009-06-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [学会発表] Dual-Axis Micro-Mechanical Probe for Highly Sensitive Friction Force Microscope2009

    • 著者名/発表者名
      雨川洋章, 福澤健二, 式田光宏, 張賀東, 伊藤伸太郎
    • 学会等名
      Proceedings of World Tribology Congress 2009(WTC2009)261
    • 発表場所
      Kyoto International Conference Center
    • 年月日
      2009-09-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360077
  • [学会発表] 磁性微粒子を用いた液滴ハンドリングシステムによる-細胞RT-PCR2009

    • 著者名/発表者名
      熊澤史貴、大河内美奈、土屋裕義、式田光宏、本多裕之
    • 学会等名
      日本化学会第89年会
    • 発表場所
      日本大学
    • 年月日
      2009-03-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360371
  • [学会発表] 磁力を用いた液滴送液システムによる1細胞遺伝子発現解析デバイスの開発2009

    • 著者名/発表者名
      熊澤史貴、大河内美奈、式田光宏、本多裕之
    • 学会等名
      日本生物工学会2009年度大会
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 年月日
      2009-09-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360371
  • [学会発表] Quantification of Friction Force for Dual-Axis Probe Friction Force Microscope2009

    • 著者名/発表者名
      雨川洋章, 福澤健二, 式田光宏, 張賀東, 伊藤伸太郎
    • 学会等名
      Proceedings of the ASME/STLE International Joint Tribology Conference(IJTC2009-15241)
    • 発表場所
      Memphis (USA)(CD-ROM)
    • 年月日
      2009-10-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360077
  • [学会発表] Micro/Nano science uncovering the mysteries of silicon wet etching for the fabrication of MEMS structures2009

    • 著者名/発表者名
      K. Sato, M. Shikida, M.A. Gosalvez, Prem Pal
    • 学会等名
      Intl. Conf. on Materials for Advanced Technologies
    • 発表場所
      Singapore
    • 年月日
      2009-06-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [学会発表] 磁性微粒子を用いた液滴搬送システムによるイノムアッセイチップの開発2009

    • 著者名/発表者名
      大河内美奈、熊澤史貴、シャムスーディンヌルヒダヤ、式田光宏、本多裕之
    • 学会等名
      化学工学会第41回秋季大会
    • 発表場所
      広島大学
    • 年月日
      2009-09-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360371
  • [学会発表] Adsorbed surfactant thickness on a Si wafer dominating etching properties of TMAH solution2009

    • 著者名/発表者名
      B.Tang, M.A.Gosalvez, Prem Pal, S.Itoh, H.Hida, M.Shikida, K.Sato
    • 学会等名
      Intl. Symp. on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS)
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 年月日
      2009-11-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [学会発表] Anisotropic nature of Si surface during wet alkaline etching; Effects of cations and surfactants2009

    • 著者名/発表者名
      K. Sato, M. Shikida, M.A. Gosalvez, Prem Pal, Y. Kimura
    • 学会等名
      The 5th International Colloquium, Micro-Tribology
    • 発表場所
      Milowka, Poland
    • 年月日
      2009-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [学会発表] Adsorbed surfactant thickness on a Si wafer dominating etching properties of TMAH solution2009

    • 著者名/発表者名
      B. Tang, M.A. Gosalvez, Prem Pal, S. Itoh, H. Hida, M. Shikida, K. Sato
    • 学会等名
      ntl. Symp. on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS)
    • 発表場所
      名古屋市
    • 年月日
      2009-11-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [学会発表] Gosalvez and M. Shikida, Microstructures with rounded concave and sharp-edged convex corners in a single step wet anisotropic etching2008

    • 著者名/発表者名
      Prem Pal, K. Sato, M.A. Gosalvez, M. Shikida
    • 学会等名
      SPIE MOEMS-MEMS (Proc. SPIE Vol. 6882)
    • 発表場所
      San Jose, USA
    • 年月日
      2008-01-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [学会発表] 磁性微粒子を用いた電気化学検出による小型簡易分析装置の開発2008

    • 著者名/発表者名
      熊澤史貴、大河内美奈、式田光宏、本多裕之
    • 学会等名
      第39回中部化学関係学協会支部連合秋季大会
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 年月日
      2008-11-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360371
  • [学会発表] 結晶異方性ウェットエッチングによるスキャロッピングの選択除去に関する研究2008

    • 著者名/発表者名
      稲垣徳幸, 佐々木光, Prem Pal, 式田光宏, 佐藤一雄
    • 学会等名
      電気学会センサ・マイクロマシン部門研究会
    • 発表場所
      仙台市 戦災復興記念館
    • 年月日
      2008-06-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [学会発表] Improved Sensitivity of Dual-Axis Micro-Mechanical Probe for Friction Force Microscope2008

    • 著者名/発表者名
      H. Amakawa, K. Fukuzawa, M. Shikida, H. Zhang, S. Itoh
    • 学会等名
      トライボロジー会議予稿集名古屋2008-9(国際セッション)
    • 発表場所
      名古屋
    • 年月日
      2008-09-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360077
  • [学会発表] Suspended Si microstructures with rounded concave and sharp convex corners using wafer bonding and wet anisotropic etching2008

    • 著者名/発表者名
      Prem Pal, 佐藤一雄, 式田光宏
    • 学会等名
      PRiME'08 214th ECS Meeting
    • 発表場所
      Honolulu, Hawaii
    • 年月日
      2008-10-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [学会発表] An improved anisotropic wet etching progress for the fabrication of silicon MEMS structures using a single etching mask2008

    • 著者名/発表者名
      Prem Pal, K. Sato, M. A. Gosalvez and M. Shikida
    • 学会等名
      IEEE Intl. Conf. MEMS08, p327-330
    • 発表場所
      Tucson, USA
    • 年月日
      2008-01-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [学会発表] Improved sensitivity of dual-axis micro-mechanical probe for friction force microscope2008

    • 著者名/発表者名
      雨川洋章, 福澤健二, 式田光宏, 張賀東, 伊藤伸太郎
    • 学会等名
      トライボロジー会議予稿集名古屋(2008-9, pp.493-494)
    • 発表場所
      名古屋
    • 年月日
      2008-09-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360077
  • [学会発表] Magnetic force-based droplet manipulation system for gene expression analysis.2008

    • 著者名/発表者名
      Okochi M., Tsuchiya H., Kumazawa F., Shikida M., Honda H.
    • 学会等名
      The 14th Symposium of Young Asian Biochemical Engineers' Community
    • 発表場所
      Shibaura Institute of Technology
    • 年月日
      2008-11-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360371
  • [学会発表] Suspended Si microstructures with rounded concave and sharp convex corners using wafer bonding and wet anisotropic etching2008

    • 著者名/発表者名
      Prem Pal, K. Sato, M. Shikida
    • 学会等名
      PRiME'08 214th ECS Meeting
    • 発表場所
      Honolulu
    • 年月日
      2008-10-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [学会発表] 結晶異方性ウェットエッチングによるスキャロッピングの選択除去に関する研究2008

    • 著者名/発表者名
      稲垣徳幸, 佐々木光, Prem Pal, 式田光宏, 佐藤一雄
    • 学会等名
      電気学会センサ・マイクロマシン部門研究会
    • 発表場所
      仙台市
    • 年月日
      2008-06-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [学会発表] An improved anisotropic wet etching progress for the fabrication of silicon MEMS structures using a single etching mask2008

    • 著者名/発表者名
      Prem Pal, K. Sato, M.A. Gosalvez, M. Shikida
    • 学会等名
      IEEE Intl. Conf. MEMS08
    • 発表場所
      Tucson, USA
    • 年月日
      2008-01-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [学会発表] Magnetic Force-based lab-on-a-chip for single cell analysis in a droplet.2008

    • 著者名/発表者名
      Okochi M, Tsuchiya H., Kumazawa F., Shikida M., Honda H.
    • 学会等名
      Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid-state Science 2008
    • 発表場所
      Honolulu, Hawaii
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360371
  • [学会発表] 高精度な摩擦力顕微鏡用二軸独立検出型マイクロ・メカニカルプローブの開発2008

    • 著者名/発表者名
      雨川洋章, 福澤健二, 張賀東, 伊藤伸太郎, 式田光宏
    • 学会等名
      日本機械学会2008年度年次大会講演論文集(vol.8, pp.3-4)
    • 発表場所
      横浜国立大学
    • 年月日
      2008-08-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360077
  • [学会発表] Microstructures with rounded concave and sharp-edged convex corners in a single step wet anisotropic etching2008

    • 著者名/発表者名
      Prem Pal, K. Sato, M. A. Gosalvez and M. Shikida
    • 学会等名
      SPIE MOEMS-MEMS(Proc. SPIE Vol.6882)
    • 発表場所
      San Jose, USA
    • 年月日
      2008-01-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [学会発表] Novel wet anisotropic etching process for the realization of new shapesof silicon MEMS structures2007

    • 著者名/発表者名
      Prem Pal, K. Sato, M. A. Gosalvez and M. Shikida
    • 学会等名
      IEEE Intl. Conf. MHS07 & Micro-Nano COE, p499-504
    • 発表場所
      Nagoya
    • 年月日
      2007-11-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [学会発表] Novel wet anisotropic etching process for the realization of new shapes of silicon MEMS structures2007

    • 著者名/発表者名
      Prem Pal, K. Sato, M.A. Gosalvez, M. Shikida
    • 学会等名
      IEEE Intl. Conf. MHS07 & Micro-Nano COE
    • 発表場所
      Nagoya
    • 年月日
      2007-11-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19201026
  • [学会発表] Evaluation of Magnetic Beads Agitation Performance Operated by Multi-layered Flat Coil2007

    • 著者名/発表者名
      M. Koyama, N. Nagao, R. Imai, M. Shikida, H. Honda, 他3名
    • 学会等名
      The 14th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators
    • 発表場所
      Lyon, France
    • 年月日
      2007-06-13
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18310093
  • [学会発表] 樹脂製フィルムデバイスへのMEMS応用

    • 著者名/発表者名
      式田光宏
    • 学会等名
      日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門, 第6回 マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • 発表場所
      松江
    • 年月日
      2014-10-20 – 2014-10-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] Vacuum cavity formation for high thermal isolation in flexible thermal sensor

    • 著者名/発表者名
      P. Kim, S. Shibata, M. Shikida
    • 学会等名
      Tech. Dig. of IEEE Micro Electro Mechanical Systems Conference
    • 発表場所
      Estoril, Portugal
    • 年月日
      2015-01-18 – 2015-01-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] Sharp needle tip formation based on triangular pyramidal structure

    • 著者名/発表者名
      K. Imaeda, K. Bessho, M. Shikida
    • 学会等名
      Proccedings of IEEE Sensors 2014
    • 発表場所
      Valencia, Spain
    • 年月日
      2014-11-02 – 2014-11-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600060
  • [学会発表] 銅張積層板を用いた熱式フレキシブルセンサに関する研究

    • 著者名/発表者名
      柴田峻志, 新美洋介, 式田光宏
    • 学会等名
      日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門, 第6回 マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • 発表場所
      松江
    • 年月日
      2014-10-20 – 2014-10-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] 動物実験における呼吸機能評価を目的とした気道内固定機構付き流量センサの開発

    • 著者名/発表者名
      山田貴之, 松山拓矢, 松島充代子, 川部勤, 式田光宏
    • 学会等名
      第23回日本コンピュータ外科学会大会
    • 発表場所
      大阪大学コンベンションセンター
    • 年月日
      2014-11-08 – 2014-11-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] Flexible thermal MEMS flow sensor based on Cu on polyimide substrate

    • 著者名/発表者名
      S. Shibata, Y. Niimi, M. Shikida
    • 学会等名
      Proccedings of IEEE Sensors 2014
    • 発表場所
      Valencia, Spain
    • 年月日
      2014-11-02 – 2014-11-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] パッチタイプ型熱式フィルムセンサを用いた壁面せん断応力の計測

    • 著者名/発表者名
      村松空,酒井康彦,長田孝二,伊藤靖仁,式田光宏
    • 学会等名
      2014年度日本機械学会年次大会
    • 発表場所
      東京電機大学
    • 年月日
      2014-09-07 – 2014-09-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630051
  • [学会発表] Implantable catheter flow sensor with legs in air passage for laboratory animal

    • 著者名/発表者名
      T. Yamada, R. Ono, T. Matsuyama, M. Matsushima, T. Kawabe, M. Shikida
    • 学会等名
      Proccedings of IEEE Sensors 2014
    • 発表場所
      Valencia, Spain
    • 年月日
      2014-11-02 – 2014-11-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] Wearable displacement sensor system based on elevating tube for measuring breathing pattern

    • 著者名/発表者名
      R. Ono, M. Matsushima, T. Kawabe, M. Shikida
    • 学会等名
      Proccedings of IEEE Sensors 2014
    • 発表場所
      Valencia, Spain
    • 年月日
      2014-11-02 – 2014-11-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26286034
  • [学会発表] 結晶異方性エッチングを用いた三角錐構造体作製方法に関する研究

    • 著者名/発表者名
      今枝航大, 別所克彦, 式田光宏
    • 学会等名
      日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門, 第6回 マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • 発表場所
      松江
    • 年月日
      2014-10-20 – 2014-10-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600060
  • 1.  佐藤 一雄 (30262851)
    共同の研究課題数: 5件
    共同の研究成果数: 67件
  • 2.  本多 裕之 (70209328)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 21件
  • 3.  川部 勤 (20378219)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 64件
  • 4.  安藤 妙子 (70335074)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 11件
  • 5.  福澤 健二 (60324448)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 21件
  • 6.  ゴサルベス ミゲル (10377814)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 36件
  • 7.  大河内 美奈 (70313301)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 14件
  • 8.  加藤 竜司 (50377884)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 1件
  • 9.  溝尻 瑞枝 (70586594)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  プレム パル (20444416)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 24件
  • 11.  木村 康男 (40312673)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 2件
  • 12.  伊藤 伸太郎 (50377826)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 20件
  • 13.  水谷 孝 (70273290)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  長田 孝二 (50274501)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 9件
  • 15.  酒井 康彦 (20162274)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 9件
  • 16.  伊藤 靖仁 (40346078)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 8件
  • 17.  肥田 博隆 (60402509)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 5件
  • 18.  長谷川 義大 (40402507)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 29件
  • 19.  松田 仁樹 (80115633)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 20.  小島 義弘 (80345933)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 21.  秦 誠一 (50293056)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 22.  新井 史人 (90221051)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 23.  三矢 保永 (10200065)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 1件
  • 24.  寺島 修 (50570751)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 8件
  • 25.  ヒュンニネン テーム
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 26.  フェルランド ネストル
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 27.  MOKTADIR Zak
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 28.  CAMON Henri
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 29.  VAN Suchtele
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 30.  ELWENSPOEK M
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 31.  松島 充代子
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 3件

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